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TOUGE Mutsumi  峠 睦

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TOUGE Mutumi  峠 睦

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Researcher Number 00107731
Other IDs
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2013 – 2016: 熊本大学, 先進マグネシウム国際研究センター, 教授
2012 – 2015: 熊本大学, 学内共同利用施設等, 教授
2013: 熊本大学, 大学院自然科学研究科, 教授
2011: 熊本大学, 先進マグネシウム国際研究センター, 教授
2006 – 2008: 熊本大学, 大学院・自然科学研究科, 教授 … More
2005 – 2006: 熊本大学, 大学院自然科学研究科, 教授
2004: Kumamoto University, Faculty of Engineering, Assistant Professor, 工学部, 助教授
2002 – 2004: 熊本大学, 大学院・自然科学研究科, 助教授
1998 – 2000: 熊本大学, 工学部, 助教授
1999: 熊本大学, 工学部・知能生産システム工学科, 助教授 Less
Review Section/Research Field
Principal Investigator
Production engineering/Processing studies / 機械工作・生産工学
Except Principal Investigator
Production engineering/Processing studies / 機械工作・生産工学 / Material processing/treatments / Electronic materials/Electric materials / Orthopaedic surgery
Keywords
Principal Investigator
ダイヤモンド基板 / 超精密研磨 / ダイヤモンドウェハ / 砥粒加工 / ポリシング / ラッピング / 水晶振動子 / Lithium niobate / Barium titanate substrate / Polishing … More / Lapping / Abrasive processing / Ultra thinning technology / Quartz substrate / Multifunctional device substrate / シリコンウェハ / ニオブ酸リチウム / チタン酸バリウム / 超薄型化加工 / 水晶基板 / 多機能デバイス基板 / 研削砥石 / 切削工具 / 研磨機構(メカニズム) / 刃先鋭利化 / 鏡面研磨 / 精密研削 / 工具刃先鋭利化 / 超硬 / ダイヤモンド砥石 / PCD / ダイヤモンド製切削工具 / 紫外光励起研磨 / 高能率研削加工 / 鏡面研削 / 作用砥粒数 / 精密ツルーイング / 鋭利化 / PCD製切削工具 / ダイシングブレード / ダイヤモンド / 原子スケール平坦化 / 鏡面加工 / 紫外線照射 / 紫外光支援加工 / 紫外光支援研磨 / 多結晶ダイヤモンド / 仕上げ面粗さの改善 / 切削抵抗低減効果 / 工具切れ刃の鋭利化 / 研磨メカニズム / 超平滑化加工 / 仕上げ面粗さ / 転位 / 紫外光励起 / 紫外線照射研磨 / ベーパーチャンバー / 薄刃砥石 / 微細溝加工 / 親水性(ぬれ性) / ヒートパイプ / CPU冷却 / 超硬メタルソー / ダイシングマシン / 新型熱拡散デバイス / ダイサー / 親水性 / 毛細管力 / メタルソー / 反り / 精密加工 / 薄型ヒートシンク / 放熱板 / マイクロ溝 / 導電性 / 超音波 / ディップ法 / 傷付け処理 / 基板前処理 / ダイヤモンド核生成密度 / ラマン分光 / 精密研磨技術 / 核生成密度 / シリコン基板 / 前処理技術 / プラズマCVD / 細線化 / CVDダイヤモンド膜 / 削除率 / 砥粒径 / シリカ / 水晶 / 発振周波数 / 薄型化加工 … More
Except Principal Investigator
3-D High Precision Work / Laser Processing / Injection Molding / High Functional Plastics / Ceramics Mold / セラミックス金型 / 高精度3次元加工 / レーザー加工 / 射出成形 / 高機能樹脂 / セラミック金型 / Surface roughness / X-ray photo spectroscopy / Diamond single crystal / Silicon carbide single crystal / GaAs semiconductor / Quartz plate / TiO_2 photocatalyst / Polishing machine with UV rays / FT-IR分析 / 分子動力学シミュレーション / 研磨加工 / 酸化膜 / SiC単結晶 / 紫外光線 / TiO_2固体光触媒 / 表面粗さ / XPS分析 / ダイヤモンド単結晶 / SiC単結晶基板 / GaAs基板 / 石英基板 / TiO2光触媒 / 紫外光照射研磨装置 / LARGE DIAMETER WAFER / THIN-SURFACE-GRINDING / COPPER METAL LINE / FINITE ELEMENT METHOD / CHEMICAL MECHANICAL POLISHING / PLANARIZATION POLISHING / VERY LARGE SCALE INTEGRATED SURFACE / SEMICONDUCTOR SUBSTRATE / 研削 / 研磨パッド / シート砥石 / 加工ひずみエネルギー / SG砥石 / 大口径ウエハ / 極表層研削 / Cu配線膜 / 有限要素法解析 / CMP / 平坦化研磨 / 超LSI / 半導体基板 / ダイヤモンド / パワーデバイス / 省エネルギー / トライボロジー / 整形外科 / 砥粒加工 / 精密加工 / ラッピング / 研磨 / 生体反応 / 摩耗 / 合金 / 人工関節 / ポリエチレン / テクスチャリング Less
  • Research Projects

    (11 results)
  • Research Products

    (89 results)
  • Co-Researchers

    (21 People)
  •  Development of process performance for diamond wafers and cutting / grinding tools by ultraviolet irradiation polishingPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      TOUGE Mutsumi
    • Project Period (FY)
      2014 – 2016
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Kumamoto University
  •  Low dislocation diamond wafer for power device

    • Principal Investigator
      Shikata Shinichi
    • Project Period (FY)
      2013 – 2015
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • Research Field
      Electronic materials/Electric materials
    • Research Institution
      Kwansei Gakuin University
      National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
  •  Development of UV-Assisted Polishing Technology to Realize Diamond Wafer for Power Electric DevicesPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      TOUGE Mutsumi
    • Project Period (FY)
      2011 – 2013
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Kumamoto University
  •  Precision surface machining to bearing surface of artificial joint

    • Principal Investigator
      NAKANISHI Yoshitaka
    • Project Period (FY)
      2011 – 2013
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • Research Field
      Orthopaedic surgery
    • Research Institution
      Kumamoto University
  •  Development of precision processing technology for ultra-fine heat radiation fin with high performance, and its applicationPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      TOUGE Mutsumi
    • Project Period (FY)
      2007 – 2008
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Kumamoto University
  •  Development of High Accuracy and High Quality Glass-fiber Reinforced Plastic Product by Hybrid Ceramics Mold

    • Principal Investigator
      SAKAMOTO Hidetoshi
    • Project Period (FY)
      2006 – 2007
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Kumamoto University
  •  導電性CVDダイヤモンド薄膜の微細線化技術の開発Principal Investigator

    • Principal Investigator
      峠 睦
    • Project Period (FY)
      2005 – 2006
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Kumamoto University
  •  Development of ultra-precision processing technology of novel semiconductor substrate applied to devices with nano-structure

    • Principal Investigator
      WATANABE Junji
    • Project Period (FY)
      2002 – 2004
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • Research Field
      機械工作・生産工学
    • Research Institution
      Kumamoto University
  •  Development of Ultra Thinning Technology of Multifunctional Device Substrates by Abrasive ProcessingPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      TOUGE Mutsumi
    • Project Period (FY)
      2002 – 2003
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      機械工作・生産工学
    • Research Institution
      Kumamoto University
  •  片面ラッピングによる次世代超薄型水晶振動子の開発Principal Investigator

    • Principal Investigator
      峠 睦
    • Project Period (FY)
      1998 – 1999
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • Research Field
      機械工作・生産工学
    • Research Institution
      Kumamoto University
  •  HIGH PRECISION-PLANARIZATION WITH CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING FOR LARGE DIAMETER SEMICONDUCTOR SUBSTRATE

    • Principal Investigator
      JUNJI Watanabe
    • Project Period (FY)
      1998 – 2000
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      Material processing/treatments
    • Research Institution
      KUMAMOTO UNIVERSITY

All 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2009 2008 2007 2006 2005 2004 2003 2002 Other

All Journal Article Presentation Book

  • [Book] NEW DIAMOND,ダイヤモンド基板およびその関連材料のUVアシスト研磨2013

    • Author(s)
      峠 睦
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] 石英ツルーイングした小径軸付CBN砥石の研削性能2017

    • Author(s)
      宮本竜成,峠 直樹,坂本武司,久保田章亀,峠  睦
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 61

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Journal Article] 紫外線照射研磨によるPCD製切削工具の高度化と切削性能2017

    • Author(s)
      和泉康夫,後藤健太,坂本武司,久保田章亀,峠  睦
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 61 Pages: 210-215

    • NAID

      130005679549

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Journal Article] UVツルーイングした電着ダイヤモンド砥石の研削性能の向上2017

    • Author(s)
      柴元翔太郎,坂本武司,久保田章亀,峠  睦
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 61 Pages: 204-209

    • NAID

      130005679550

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Journal Article] SiC半導体基板用PCDダイシングブレードの開発2016

    • Author(s)
      和泉康夫,藤田 隆,南 久,渡邉純二,峠  睦
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 60 Pages: 597-602

    • NAID

      130005679509

    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Journal Article] Abrasive-Free Polishing of Single-Crystal 4H-SiC with Silica Glass Plates2015

    • Author(s)
      Akihisa Kubota, Yuta Hatasako, Takahiro Takita and Mutsumi Touge
    • Journal Title

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      Volume: 4 Pages: 468-475

    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Journal Article] Two-step polishing technique for single crystal diamond (100) substrate utilizing a chemical reaction with iron plate2015

    • Author(s)
      A.Kubota, S. Nagae, S. Motoyama and M. Touge
    • Journal Title

      Diamond and Related Materials

      Volume: 60 Pages: 75-80

    • DOI

      10.1016/j.diamond.2015.10.026

    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • [Journal Article] Two-step polishing technique for single crystal diamond (100) substrate utilizing a chemical reaction with iron plate2015

    • Author(s)
      Akihisa Kubota, Shin Nagae, Shuya Motoyama and Mutsumi Touge
    • Journal Title

      Diamond & Related Materials

      Volume: 60 Pages: 75-80

    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Journal Article] 4インチSiC基板のUVアシスト研磨に関する研究2014

    • Author(s)
      坂本武司,稲木 匠,小田和明,峠  睦,藤田 隆
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 58 Pages: 235-240

    • NAID

      130004835707

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] 紫外光励起による単結晶ダイヤモンドの研磨メカニズムに関する研究2014

    • Author(s)
      峠 睦, 長野拓義, 田川智彦, 坂本武司, 横井裕之, 岩本知広, 渡邉純二
    • Journal Title

      精密工学会誌

      Volume: 80巻,1号 Pages: 112-116

    • NAID

      130003385047

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] デバイス用ダイヤモンドウェハのUVアシスト研磨に関する研究2014

    • Author(s)
      田川智彦,峠  睦,坂本武司,鹿田真一,山田英明,加藤有香子
    • Journal Title

      精密工学会誌

      Volume: 80 Pages: 587-591

    • NAID

      130004745482

    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Journal Article] 4インチSiC基板のUVアシスト研磨に関する研究2014

    • Author(s)
      坂本武司,稲木 匠,小田和明,峠  睦,藤田 隆
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 58 Pages: 235-240

    • NAID

      130004835707

    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Journal Article] デバイス用ダイヤモンドウェハのUVアシスト研磨に関する研究2014

    • Author(s)
      田川智彦,峠  睦,坂本武司,鹿田真一,山田英明,加藤有香子
    • Journal Title

      精密工学会誌

      Volume: 80

    • NAID

      130004745482

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] 4インチSiC基板のUVアシスト研磨に関する研究2014

    • Author(s)
      坂本武司, 稲木 匠, 小田和明, 峠 睦, 藤田 隆
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 58巻,4号 Pages: 235-240

    • NAID

      130004835707

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] 紫外光励起による単結晶ダイヤモンドの研磨メカニズムに関する研究2014

    • Author(s)
      峠 睦,長野拓義,田川智彦,坂本武司,横井裕之,岩本知広,渡邉純二
    • Journal Title

      精密工学会誌

      Volume: 80 Pages: 112-116

    • NAID

      130003385047

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • [Journal Article] 紫外光励起による単結晶ダイヤモンドの研磨メカニズムに関する研究2014

    • Author(s)
      峠  睦,長野拓義,田川智彦,坂本武司,横井裕之,岩本知広,渡邉純二
    • Journal Title

      精密工学会誌

      Volume: 80 Pages: 112-116

    • NAID

      130003385047

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] デバイス用ダイヤモンドウェハのUVアシスト研磨に関する研究2014

    • Author(s)
      田川智彦, 峠 睦, 坂本武司, 鹿田真一, 山田英明, 加藤有香子
    • Journal Title

      精密工学会誌

      Volume: 80巻,6号(印刷中)

    • NAID

      130004745482

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] デバイス用ダイヤモンドウェハのUVアシスト研磨に関する研究2014

    • Author(s)
      田川智彦,峠 睦,坂本武司,鹿田真一,山田英明,加藤有香子
    • Journal Title

      精密工学会誌

      Volume: 80 Pages: 587-591

    • NAID

      130004745482

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • [Journal Article] Ultraviolet-Irradiated Precision Polishing of Diamond and Its Related Materials2013

    • Author(s)
      Junji Watanabe, Mutsumi Touge, Takeshi Sakamoto
    • Journal Title

      Diamond & Related Materials

      Volume: Vol.39 Pages: 14-19

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] Effect of an Ultraflat Subsurface on the Epitaxial Growth of Chemical-Vapor-Deposited Diamond2013

    • Author(s)
      Y. Kato, H. Umezawa, S. Shikata, M. Touge
    • Journal Title

      Appl. Phys. Express

      Volume: Vol.6 Pages: 225506-225506

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] UVアシスト研磨によるCVDダイヤモンド膜付超硬工具切れ刃の鋭利化と切削性能評価2013

    • Author(s)
      石丸大祐, 坂本武司, 神崎成広, 峠 睦
    • Journal Title

      精密工学会誌

      Volume: 79巻,12号 Pages: 1235-1239

    • NAID

      130003384964

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] 2インチSiC基板の紫外光支援研磨に関する研究2013

    • Author(s)
      坂本武司, 久保田章亀, 峠 睦
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 57巻,8号 Pages: 524-529

    • NAID

      10031189082

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] Ultraviolet-Irradiated Precision Polishing of Diamond and Its Related Materials2013

    • Author(s)
      Junji Watanabe, Mutsumi Touge, Takeshi Sakamoto
    • Journal Title

      Diamond & Related Materials

      Volume: 39 Pages: 14-19

    • DOI

      10.1016/j.diamond.2013.07.001

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • [Journal Article] UVアシスト研磨によるCVDダイヤモンド膜付超硬工具切れ刃の鋭利化と切削性能評価2013

    • Author(s)
      石丸大祐,坂本武司,神﨑成広,峠  睦
    • Journal Title

      精密工学会誌

      Volume: 79 Pages: 1235-1239

    • NAID

      130003384964

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] ダイヤモンド砥粒整列ブロックのUVツルーイング技術の開発2013

    • Author(s)
      坂本武司, 南部陽亮, 齋藤廉平, 峠 睦, 川下智幸, 峠 直樹
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 57巻,9号 Pages: 600-604

    • NAID

      10031194042

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] ダイヤモンド砥粒整列ブロックのUVツルーイング技術の開発2013

    • Author(s)
      坂本武司,南部陽亮,齋藤廉平,峠  睦,川下智幸,峠 直樹
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 57 Pages: 600-604

    • NAID

      10031194042

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] ダイヤモンド砥粒整列ブロックのUVツルーイング技術の開発2013

    • Author(s)
      坂本武司,南部陽亮,齋藤廉平,峠 睦,川下智幸,峠 直樹
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 57 Pages: 600-604

    • NAID

      10031194042

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • [Journal Article] 2インチSiC基板の紫外光支援研磨に関する研究2013

    • Author(s)
      坂本武司,久保田章亀,峠  睦
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 57 Pages: 524-529

    • NAID

      10031189082

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] Planarization of C-face 4H-SiC substrate using Fe particles and hydrogen peroxide solution2012

    • Author(s)
      A.Kubota, M.Yoshimura, S.Fukuyama, C.Iwamoto, M.Touge
    • Journal Title

      Precision Engineering

      Volume: 36 Pages: 137-140

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] 単結晶SiC基板の紫外光支援研磨における粒子の影響2011

    • Author(s)
      山口桂司, 峠睦, 久保田章亀, 室田忠俊, 渡邉純二, 豊福陽樹, 沢見有輝
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 55 Pages: 220-225

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Journal Article] Fluid Flow Visualization in a Vapor Chamber2009

    • Author(s)
      小糸康志, 財前智章, 井村英昭, 峠睦
    • Journal Title

      Proceedings of the 9th International Heat Pipe Symposium, Malaysia

      Pages: 90-95

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19560119
  • [Journal Article] パターン形状ダイヤモンドCVD膜の形成技術2006

    • Author(s)
      大久保誠史, 財部 剛, 竹下 温, 峠 睦, 渡邉純二
    • Journal Title

      平成18年度精密工学会九州支部福岡地方講演会

      Pages: 403-404

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17656054
  • [Journal Article] 高品質パターン形状ダイヤモンドCVD膜の形成技術2006

    • Author(s)
      竹下 温, 渡邉純二, 峠 睦, 財部 剛, 大久保誠史, 清田英夫
    • Journal Title

      日本機械学会2006年度年次大会講演論文集 06-1

      Pages: 175-176

    • NAID

      130004657167

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17656054
  • [Journal Article] Investigation of Chemical Mechanical Polishing of GaAs Wafer by the Effect of a Photocatalyst2005

    • Author(s)
      S.H.Hong, H.Ishii, M.Touge, J.Watanabe
    • Journal Title

      Proceedings of the Eighth International Symposium on Advances in Abrasive Technology (発表予定)

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14205026
  • [Journal Article] 任意パターン形状のダイヤモンドCVD膜の形成技術2005

    • Author(s)
      大久保誠史, 渡邉純二, 峠 睦, 竹下 温
    • Journal Title

      2005年度精密工学会九州支部鹿児島地方講演会講演論文集

      Pages: 107-108

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17656054
  • [Journal Article] 高品質パターン形状ダイヤモンドCVD膜の形成技術2005

    • Author(s)
      竹下 温, 財部 剛, 峠 睦, 渡邉純二, 大久保誠史
    • Journal Title

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集

      Pages: 79-80

    • NAID

      130004657167

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17656054
  • [Journal Article] Investigation of Chemical Mechanical Polishing of GaAs Wafer by the Effect of a Photocatalyst2005

    • Author(s)
      S.H.Hong, H.Ishii, M.Touge, J.Watanabe
    • Journal Title

      Proceedings of the Eighth International Symposium on Advances in Abrasive Technology

      Pages: 381-384

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14205026
  • [Journal Article] 高品質ダイヤモンドCVD膜の精密加工と膜物性の評価2005

    • Author(s)
      竹下 温, 峠 睦, 渡邉純二, 大久保誠史, 清田英夫
    • Journal Title

      第20回熊本県産学官技術交流会講演論文集

      Pages: 142-143

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17656054
  • [Journal Article] Thinning Technology of Patterned Silicon Wafer for Micro Pressure Sensor2005

    • Author(s)
      T.Nagano, M.Touge, J.Watanabe
    • Journal Title

      Proceedings of the Eighth International Symposium on Advances in Abrasive Technology (発表予定)

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14205026
  • [Journal Article] エヤー浮上式精密ベルト研削による高精度加工面の形成 第2報:アルミナセラミックスの精密ベルト研削2004

    • Author(s)
      豊浦 茂, 峠 睦, 渡邉純二
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌 48巻・4号

      Pages: 220-224

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14350074
  • [Journal Article] エアー浮上式精密ベルト研削による高精度加工面の形成 第1報、第2報2004

    • Author(s)
      豊浦 茂, 峠 睦, 渡邉 純二
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌 47巻、5号 48巻、4号

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14205026
  • [Journal Article] Development of Ultra Thin Quartz by Abrasive Machining2004

    • Author(s)
      Mutsumi TOUGE, Junji WATANABE, Yoshifumi OHBUCHI, Hidetoshi SAKAMOTO, Noboru UEDA
    • Journal Title

      Key Engineering Materials Vols.257-258

      Pages: 123-128

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14350074
  • [Journal Article] マウス体内埋め込み型マイクロセンサーの関する研究-第1報:マイクロセンサーの設計・製作と基礎特性評価-2004

    • Author(s)
      渡邉純二, 峠 睦, 長野智和, 岩田直也
    • Journal Title

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      Pages: 459-459

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14350074
  • [Journal Article] SiC単結晶の固体触媒応用研磨技術の検討2004

    • Author(s)
      渡邉純二, 横峯和幸, 川向尚, 峠 睦, 黒田規敬, 江龍 修
    • Journal Title

      2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集

      Pages: 69-70

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14205026
  • [Journal Article] マイクロ圧力センサー形成ウェハの薄片化技術2004

    • Author(s)
      長野智和, 伊東 岳, 峠 睦, 渡邉純二
    • Journal Title

      2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集

      Pages: 469-470

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14350074
  • [Journal Article] SiC単結晶の光化学反応とその研磨2004

    • Author(s)
      横峯和幸, 渡邉純二, 峠 睦
    • Journal Title

      2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集

      Pages: 67-68

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14205026
  • [Journal Article] GaAs基板の光触媒研磨技術の検討2004

    • Author(s)
      洪 錫亨, 石井秀明, 渡邉純二, 峠 睦
    • Journal Title

      2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集

      Pages: 73-74

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14205026
  • [Journal Article] シリコン基板の前処理技術とCVDダイヤモンド膜の特性の関係2004

    • Author(s)
      財部 剛, 清水正寛, 峠 睦, 渡邉純二
    • Journal Title

      2004年度精密工学会秋季学術講演会講演論文集

      Pages: 633-634

    • NAID

      130004655669

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14205026
  • [Journal Article] 砥粒加工による誘電体基板の薄片化技術2004

    • Author(s)
      峠 睦, 藤井修治, 在川功一, 渡邉純二
    • Journal Title

      2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集

      Pages: 63-64

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14350074
  • [Journal Article] ダイヤモンド単結晶の光照射研磨の可能性2004

    • Author(s)
      渡邉純二, 横峯和幸, 川向尚, 洪 錫享, 峠 睦
    • Journal Title

      2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集

      Pages: 71-72

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14205026
  • [Journal Article] 光化学反応を応用したGaAsの精密加工技術2004

    • Author(s)
      石井秀明, 渡邉純二, 峠 睦, 洪 錫亨
    • Journal Title

      2004年度精密工学会秋季学術講演会講演論文集

      Pages: 659-660

    • NAID

      130004655684

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14205026
  • [Journal Article] Formation of High Quality Surface by Air-floating Precision Belt Grinding -2nd report : Precision Belt Grinding for Alumina Ceramics2004

    • Author(s)
      Shigeru TOYOURA, Mutsumi TOUGE, Junji WATANABE
    • Journal Title

      Journal of the Japan Society for Abrasive Technology Vol.48

      Pages: 220-224

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14350074
  • [Journal Article] Development of Ultra Thin Quartz by Abrasive Machining2004

    • Author(s)
      M.Touge, J.Watanabe, Y.Ohbuchi, H.Sakamoto, N.Ueda
    • Journal Title

      Key Engineering Materials 257-258

      Pages: 123-128

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14350074
  • [Journal Article] Polishing Characteristics of Glass Magnetic Disk Substrates Using Elastic Plates2003

    • Author(s)
      Mutsumi TOUGE, Junji WATANABE
    • Journal Title

      Journal of the Japan Society for Precision Engineering Vol.69

      Pages: 1469-1473

    • NAID

      110001373507

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14350074
  • [Journal Article] Development of Ultra Thin Quartz by Abrasive Machining2003

    • Author(s)
      M.Touge, J.Watanabe, Y.Ohbuchi, H.Sakamoto, N.Ueda
    • Journal Title

      Proceedings of the Sixth International Symposium on Advances in Abrasive Technology

      Pages: 123-128

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14205026
  • [Journal Article] エアー浮上式精密ベルト研削による高精度加工面の形成 第1報、第2報2003

    • Author(s)
      豊浦 茂, 峠 睦, 渡邉 純二
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌 47巻、5号, 48巻、4号

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14205026
  • [Journal Article] 弾性定盤を用いたガラス磁気ディスク基板のポリシング特性2003

    • Author(s)
      峠 睦, 渡邉純二
    • Journal Title

      精密工学会誌 69巻・10号

      Pages: 1469-1473

    • NAID

      110001373507

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14350074
  • [Journal Article] High Removal Rate Polishing of Glass Substrate Using Epoxy Resin Plate2002

    • Author(s)
      M.TOUGE, J.WATANABE, H.SAKAMOTO, H.WAN, T.MURAKAMI
    • Journal Title

      Proceeding of 6th International Conference on Progress of Machining Technology (ICPMT'2002)

      Pages: 357-362

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14205026
  • [Presentation] Development of Ductile mode grooving with PCD(Poly-Crystalline Diamond) Blade2016

    • Author(s)
      Y. Izumi, M. Touge
    • Organizer
      16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
    • Place of Presentation
      浜松市
    • Year and Date
      2016-11-14
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Presentation] 紫外線照射研磨を用いたPCD製工具の切削性能の改善2016

    • Author(s)
      後藤健太,和泉康夫,坂本武司,久保田章亀,峠 睦
    • Organizer
      2016年度砥粒加工学会学術講演会
    • Place of Presentation
      兵庫県立大学
    • Year and Date
      2016-08-31
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Presentation] Cutting Performance of PCD Tools Improved by Ultraviolet-ray Irradiation Polishing2016

    • Author(s)
      K. Goto, Y. Izumi, T. Sakamoto, A. Kubota, M. Touge
    • Organizer
      International Committee for Abrasive Technology,ISAAT 2016
    • Place of Presentation
      Stockholm, Sweden
    • Year and Date
      2016-10-02
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Presentation] UVツルーイングによるダイヤモンド砥石の研削性能の向上と寿命評価2016

    • Author(s)
      柴元翔太郎,坂本武司,久保田章亀,峠 睦
    • Organizer
      2016年度砥粒加工学会学術講演会
    • Place of Presentation
      兵庫県立大学
    • Year and Date
      2016-08-31
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Presentation] 石英ツルーイングしたCBN軸付砥石の研削性能評価とツルーイングメカニズムの解明2016

    • Author(s)
      宮本竜成,峠 直樹,坂本武司,久保田章亀,峠 睦
    • Organizer
      2016年度砥粒加工学会学術講演会
    • Place of Presentation
      兵庫県立大学
    • Year and Date
      2016-08-31
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Presentation] 石英を用いたCBN砥石の精密ツルーイングと研削性能2015

    • Author(s)
      藤林太郎,坂本武司,峠 直樹,峠  睦
    • Organizer
      2015年度砥粒加工学会学術講演会
    • Place of Presentation
      慶應義塾大学
    • Year and Date
      2015-09-11
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Presentation] 石英を用いたCBN砥石の精密ツルーイングと研削性能,2015

    • Author(s)
      藤林太郎,坂本武司,峠 直樹,峠  睦
    • Organizer
      砥粒加工学会
    • Place of Presentation
      慶応義塾大学(神奈川県横浜市)
    • Year and Date
      2015-09-11
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • [Presentation] 砥粒整列ダイヤモンド砥石のUVツルーイング技術の開発とその加工性能評価2013

    • Author(s)
      南部陽亮,齋藤廉平,坂本武司,峠 睦,峠 直樹,川下智幸
    • Organizer
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      関西大学(大阪府 吹田市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • [Presentation] 大口径ダイヤモンドウェハへのUVアシスト研磨技術の開発2013

    • Author(s)
      田川智彦, 峠 睦, 久保田章亀, 坂本武司, 鹿田真一(産総研), 山田英明(産総研), 加藤有香子(産総研)
    • Organizer
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      関西大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Presentation] UV鋭利化技術により高度化されたダイヤモンド工具による超精密切削2013

    • Author(s)
      神崎成広, 坂本武司, 峠 睦
    • Organizer
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      関西大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Presentation] Reduction of epitaxial growth dislocations originate from the surface2013

    • Author(s)
      S. Shikata, Y. Kato, H. Umezawa and M.Touge
    • Organizer
      JSAP-MRS Joint Symposium
    • Place of Presentation
      Kyoto,Japan
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • [Presentation] 大口径ダイヤモンドウェハへのUVアシスト研磨技術の開発2013

    • Author(s)
      田川智彦,峠 睦,久保田章亀,坂本武司,鹿田真一,山田英明,加藤有香子
    • Organizer
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      関西大学(大阪府 吹田市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • [Presentation] UVアシスト研磨による大口径SiC基板の高能率加工技術の開発2013

    • Author(s)
      稲木 匠, 小田和明, 坂本武司, 峠 睦, 久保田章亀
    • Organizer
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      関西大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Presentation] 砥粒整列ダイヤモンド砥石のUVツルーイング技術の開発とその加工性能評価2013

    • Author(s)
      南部陽亮, 齋藤廉平, 坂本武司, 峠 睦, 峠 直樹(ノリタケカンパニーリミテド), 川下智幸(佐世保高専)
    • Organizer
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      関西大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Presentation] 溶媒中での鉄の反応性を利用した単結晶ダイヤモンドの研磨メカニズムに関する研究2013

    • Author(s)
      本山修也,久保田章亀,峠 睦
    • Organizer
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      関西大学(大阪府 吹田市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • [Presentation] 摩耗したPCD工具の紫外光支援加工法を用いた再研磨技術2012

    • Author(s)
      石丸大祐, 坂本武司, 久保田章亀, 峠睦
    • Organizer
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • Place of Presentation
      首都大学東京南大沢キャンパス
    • Year and Date
      2012-03-14
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Presentation] 触媒反応援用研磨法による単結晶ダイヤモンド基板表面の超平坦化2012

    • Author(s)
      久保田章亀, 峠睦
    • Organizer
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • Place of Presentation
      首都大学東京南大沢キャンパス
    • Year and Date
      2012-03-15
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Presentation] 紫外光支援加工によるPCD製金型の精密加工2012

    • Author(s)
      峠睦, 久保田章亀, 坂本武司
    • Organizer
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • Place of Presentation
      首都大学東京南大沢キャンパス
    • Year and Date
      2012-03-15
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Presentation] 単結晶ダイヤモンド基板の紫外光支援加工に関する研究~研磨条件が削除率に及ぼす影響~2012

    • Author(s)
      長野拓義, 坂本武司, 久保田章亀, 峠睦, 渡邉純二, 横井裕之
    • Organizer
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • Place of Presentation
      首都大学東京南大沢キャンパス
    • Year and Date
      2012-03-16
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Presentation] 紫外光支援加工による2インチ単結晶SiCウェハの研磨特性2012

    • Author(s)
      坂本武司, 沢見有輝, 久保田章亀, 峠睦, 渡邉純二, 藤田隆, 金澤雅喜, 五十嵐健二
    • Organizer
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • Place of Presentation
      首都大学東京南大沢キャンパス
    • Year and Date
      2012-03-15
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Presentation] Research on Ultra-Precision Polishing of Diamond and Related Materials by Ultraviolet Rays Assisted Machining2011

    • Author(s)
      M.Touge, K.Yamaguchi, A.Kubota, J.Watanabe
    • Organizer
      Int.Conf.on New Diamond and Nano Carbons 2011 (NDNC2011)
    • Place of Presentation
      島根県立産業交流会館(くにびきメッセ)
    • Year and Date
      2011-05-19
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Presentation] Smoothing of single crystal diamond (100) substrate by polishing technique2011

    • Author(s)
      A.Kubota, S.Fukuyama, Y.Ichimori, M.Touge
    • Organizer
      Int.Conf.on New Diamond and Nano Carbons 2011 (NDNC2011)
    • Place of Presentation
      島根県立産業交流会館(くにびきメッセ)
    • Year and Date
      2011-05-17
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23360070
  • [Presentation] 毛細管構造体の精密加工技術の開発と応用2008

    • Author(s)
      古賀昭信, 峠睦, 小糸康志, 豊福陽樹
    • Organizer
      2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      東北大学川内北キャンパス
    • Year and Date
      2008-09-10
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19560119
  • [Presentation] 新型熱輸送デバイス用マイクロ溝の精密加工技術の開発2007

    • Author(s)
      古賀昭信, 峠睦, 渡邉純二, 小糸康志, 久保田豊
    • Organizer
      日本機械学会九州支部沖縄講演会
    • Place of Presentation
      琉球大学工学部
    • Year and Date
      2007-10-20
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19560119
  • [Presentation] UV-truing of Diamond Grit-arranged Wheel and Evaluation of its Grinding Performance

    • Author(s)
      M. TOUGE, T. SAKAMOTO, Y. NAMBU, K. TAKAKI, A. KUBOTA and T. KAWASHITA
    • Organizer
      15th Int. Conf. on Precision Engineering
    • Place of Presentation
      Kanazawa Univ.,Kanazawa,Japan
    • Year and Date
      2014-07-22 – 2014-07-25
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • [Presentation] 単結晶ダイヤモンドに対する紫外線照射研磨メカニズムの解明

    • Author(s)
      浦川 翔,峠 睦,久保田章亀,坂本武司,山中康乃介
    • Organizer
      精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      鳥取大学、鳥取
    • Year and Date
      2014-09-16 – 2014-09-18
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • [Presentation] 超砥粒軸付砥石の UV ツルーイングに関する研究

    • Author(s)
      坂本武司,三角真彦,久保田章亀,峠  睦
    • Organizer
      砥粒加工学会学術講演会
    • Place of Presentation
      岩手大学、盛岡
    • Year and Date
      2014-09-11 – 2014-09-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • [Presentation] 紫外線照射研磨によるダイヤモンドホイール研削性能の高度化

    • Author(s)
      峠  睦,坂本武司,久保田章亀,川下智幸,峠 直樹
    • Organizer
      砥粒加工学会
    • Place of Presentation
      岩手大学工学部
    • Year and Date
      2014-09-11 – 2014-09-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Presentation] 単結晶ダイヤモンド基板の紫外線照射研磨条件の最適化

    • Author(s)
      浦川 翔,小田和明,坂本武司,横井裕之,峠 睦
    • Organizer
      精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      東京大学、東京
    • Year and Date
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • [Presentation] 超砥粒軸付砥石の UV ツルーイングに関する研究

    • Author(s)
      坂本武司,三角真彦,久保田章亀,峠  睦
    • Organizer
      砥粒加工学会
    • Place of Presentation
      岩手大学工学部
    • Year and Date
      2014-09-11 – 2014-09-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26289020
  • [Presentation] 紫外線照射研磨によるダイヤモンドホイール研削性能の高度化

    • Author(s)
      峠  睦,坂本武司,久保田章亀,川下智幸,峠 直樹
    • Organizer
      砥粒加工学会学術講演会
    • Place of Presentation
      岩手大学、盛岡
    • Year and Date
      2014-09-11 – 2014-09-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25249036
  • 1.  WATANABE Junji (40281076)
    # of Collaborated Projects: 6 results
    # of Collaborated Products: 28 results
  • 2.  SAKAMOTO Hidetoshi (10153917)
    # of Collaborated Projects: 6 results
    # of Collaborated Products: 2 results
  • 3.  OBUCHI Yoshifumi (10176993)
    # of Collaborated Projects: 4 results
    # of Collaborated Products: 3 results
  • 4.  UEDA Noboru (10040437)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 2 results
  • 5.  KUBOTA Akihisa (80404325)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 24 results
  • 6.  NAKANISHI Yoshitaka (90304740)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 7.  MIURA Hiromasa (10239189)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 8.  KISHIMOTO Junji (00317322)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 9.  Shikata Shinichi (00415689)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 3 results
  • 10.  CHAYAHARA Akiyosshi (10357501)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 11.  MOKUNO Yoshiaki (60358166)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 12.  UMEZAWA Hitoshi (80329135)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 1 results
  • 13.  KATOU Yukako (90509837)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 3 results
  • 14.  IWAMOTO Chihiro (60311635)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 15.  INAMURA Toyoshiroh (60107539)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 16.  MATSUMOTO Yasumichi (80114172)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 17.  KURODA Noritaka (40005963)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 1 results
  • 18.  SHIMADA Shoichi (20029317)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 19.  ERYU Osamu (10223679)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 1 results
  • 20.  TAKAHASHI Kousei (50426566)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 21.  横井 裕之 (50358305)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results

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