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Yokotani Atsushi  横谷 篤至

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YOKOTANI Atsushi  横谷 篤至

横谷 私至  ヨコタニ アツシ

横谷 篤志  ヨコタニ アツシ

横谷 篤致  ヨコタニ アツシ

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Researcher Number 00183989
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2019 – 2023: 宮崎大学, 工学部, 教授
2006 – 2008: University of Miyazaki, Engineering, Professor, 工学部, 教授
2005: University of Miyazaki, Dept.of Electrical & Electronic Eng., Assistant professor, 工学部, 助教授
1995 – 2003: 宮崎大学, 工学部, 助教授
Review Section/Research Field
Principal Investigator
Electronic materials/Electric materials / Basic Section 29020:Thin film/surface and interfacial physical properties-related / Electronic materials/Electric materials
Except Principal Investigator
Basic Section 55020:Digestive surgery-related / Electron device/Electronic equipment / Material processing/treatments / 電子デバイス・機器工学 / Applied optics/Quantum optical engineering / Applied optics/Quantum optical engineering
Keywords
Principal Investigator
チタン酸バリウム / 真空紫外光 / フェムト秒レーザー / 膜質向上 / barium titanate / 光コンピューター / BaTiO_3 / チタン酸バリウム結晶 / エキシマランプ / 集光光学系 … More / 分析技術 / 集光照射光学系 / 光脱離分析技術 / レーザー加工 / 近紫外レーザー / 真空紫外 / 分析プローブ / 短パルスレーザー / 2光束干渉 / 真空紫外レーザー / レーザー脱離分析 / photo-chemical vapor deposition / insulator / Via hole / system LSI / vacuum ultraviolet / 光CVD / 積層型システムLSI / 光CVD法 / 絶縁膜 / 貫通電極 / システムLSI / ultraviolet irradiation / Pulsed Laser Deposition / Optical computing / Barium Titanate Thin Film / Barium Titanate / 薄膜作製 / レーザーアブレーション / 紫外線照射 / PLD法 / BaTiO_3薄膜 / BaTiO_3結晶 / pulsed laser deposition / optical computing / 膜質の向上 / エキシマレーザー / レーザーアブレーション法 / 光コンピューテング / optical computer / neuro-computer / photo-refractive effect / 結晶成長 / ニューロコンピューター / フォトリフラクティブ効果 / フォトエッチング / 有機非線形光学結晶 … More
Except Principal Investigator
真空紫外光 / light emitted diode / 腫瘍集積性 / 光線力学的療法 / 胆管癌 / エキシマランプ / SHG / DVD / 光CVD / 真空紫外 / 光電界電離 / 希ガスエキシマ / クリック反応技術 / クリック反応 / 糖鎖連結ポルフィリン錯体 / レーザ治療 / 細胞増殖阻止 / ポルフィリン誘導体 / 細胞内局在と細胞死機序 / 水溶性光増感剤 / 糖鎖連結型 / 水溶性ポルフィリン / LED / 消化器癌治療 / 光線力学学的療法 / femto-second laser / System LSI / VUV-CVD / システムLSI / Sip / System in Package / 半導体絶縁膜 / フェムト秒レーザー / 積層型システムLSI / 真空紫外光CVD / Surface alteration / Coherent vacuum ultraviolet emission / Vacuum ultraviolet lamp / Optical field induced ionization / Photo-induced cleaning / Photo-chemical process / Vacuum ultraviolet / Rare gas excimers / 光還元 / ドライプロセス / 表面反応 / 光化学反応 / 表面改質 / コヒーレント真空紫外光 / 真空紫外ランプ / 光洗浄 / 光量子プロセス / wavelength conversion / waveguide / thermal poling / 欠陥 / 二次非線形光学性 / ポーリング / レーザー / 石英ガラス / 非線形光学 / 波長変換 / 薄膜導波路 / 熱ポーリング / ultrashort pulse laser / rare-gas excimer molecule / photo chemical vapor deposition / coherent control / vacuum ultraviolet laser / 非線形結晶 / 長短パルスレーザー / 高強度電子ビーム装置 / コヒーレント光 / 超短パルスレーザー / 希ガスエキシマ分子 / コヒーレント制御 / 真空紫外レーザー / 短波長光源技術 / 光プロセス / 高強度レーザー / 卓上型レーザー / 光物質プロセス / 超短パルス高強度レーザー / 中空ファイバー / ビッカース硬度 / 位相共役 / 有機非線形光学結晶 / LAP / DLAP / 誘導ブリルアン散乱 / ドライエッチング / 超精密加工 / 紫外レーザー / 有機非線形材料 / 結晶成長 / DAST / 単結晶 / 有機非線形光学材料 Less
  • Research Projects

    (14 results)
  • Research Products

    (67 results)
  • Co-Researchers

    (19 People)
  •  クリック反応技術と軸配位子糖鎖連結ポルフィリン錯体を融合した革新的PDTの開発

    • Principal Investigator
      七島 篤志
    • Project Period (FY)
      2022 – 2024
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Review Section
      Basic Section 55020:Digestive surgery-related
    • Research Institution
      University of Miyazaki
  •  Development of a new surface analysis technique using a vacuum ultraviolet short pulse laser as a probePrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      Yokotani Atsushi
    • Project Period (FY)
      2019 – 2022
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Review Section
      Basic Section 29020:Thin film/surface and interfacial physical properties-related
    • Research Institution
      University of Miyazaki
  •  Development of the enhanced effect and less invasiveness of new photodynamic therapy for bilie duct carcinoma

    • Principal Investigator
      NANASHIMA ATSUSHI
    • Project Period (FY)
      2019 – 2021
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Review Section
      Basic Section 55020:Digestive surgery-related
    • Research Institution
      University of Miyazaki
  •  Development of a compact vacuum ultraviolet laser using a hollow fiber for plasma regulation and applications to photo-materials processing

    • Principal Investigator
      KUBODERA Shoichi
    • Project Period (FY)
      2006 – 2008
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Applied optics/Quantum optical engineering
    • Research Institution
      University of Miyazaki
  •  Development of insulator film for penetrating electrodes of layered system LSIs for the next generationPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      YOKOTANI Atsushi
    • Project Period (FY)
      2005 – 2006
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      Electronic materials/Electric materials
    • Research Institution
      University of Miyazaki
  •  The development of the element process technology for the new type LSI of the product layer by VUV-CVD

    • Principal Investigator
      KAMEYAMA Akihiro, 黒澤 宏
    • Project Period (FY)
      2003 – 2005
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Electron device/Electronic equipment
    • Research Institution
      University of Miyazaki
  •  Development of vacuum-ultraviolet photo-induced cleaning device by use of a rare-gas excimer lamp

    • Principal Investigator
      KUBODERA Shoichi
    • Project Period (FY)
      2001 – 2003
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Material processing/treatments
    • Research Institution
      University of Miyazaki
  •  Development of Fabrication Technique of Crystals for Advanced Optical ComputingPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      YOKOTANI Atsushi
    • Project Period (FY)
      2001 – 2002
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      Electronic materials/Electric materials
    • Research Institution
      MIYAZAKI UNIVERSITY
  •  Improving of Crystal Quality of Optical Computing DevicesPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      YOKOTANI Atsushi
    • Project Period (FY)
      1999 – 2000
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      Electronic materials/Electric materials
    • Research Institution
      Miyazaki University
  •  The development of DVI-SHG laser fabricated by thermally poled SiO_2 waveguide

    • Principal Investigator
      KUROSAWA Kou
    • Project Period (FY)
      1999 – 2001
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      電子デバイス・機器工学
    • Research Institution
      MIYAZAKI UNIVERSITY
      Okazaki National Research Institutes
  •  Ultrahigh peak power vacuum ultraviolet laser and its applications

    • Principal Investigator
      SASAKI Wataru
    • Project Period (FY)
      1998 – 1999
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B).
    • Research Field
      Applied optics/Quantum optical engineering
    • Research Institution
      Miyazaki University
  •  エキシマランプを用いた有機非線形光学結晶の微細加工と素子の試作Principal Investigator

    • Principal Investigator
      横谷 篤至
    • Project Period (FY)
      1996
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • Research Institution
      University of Miyazaki
  •  紫外レーザーを用いた有機材料の超精密加工と波長変換デバイス開発に関する研究

    • Principal Investigator
      佐々木 孝友
    • Project Period (FY)
      1995 – 1997
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • Research Institution
      Osaka University
  •  Growth of high quality barium titanate crystals for neuro-computersPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      YOKOTANI Atsushi
    • Project Period (FY)
      1995 – 1996
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      Electronic materials/Electric materials
    • Research Institution
      Miyazaki University

All 2022 2021 2020 2009 2008 2007 2006 2005 2004 2003

All Journal Article Presentation Patent

  • [Journal Article] 高性能光ファイバーセンサーの開発2022

    • Author(s)
      亀山晃弘、甲藤正人、横谷篤至
    • Journal Title

      レーザー学会第567回研究会報告 フォトニクスワークショップ in 九州(福岡)

      Volume: RTM-22-31 Pages: 29-33

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19K05273
  • [Journal Article] レーザー脱離分析装置用集光照射部の開発2022

    • Author(s)
      田中芳樹、中井健太、奥村勇之介、亀山晃弘、甲藤正人、横谷篤至
    • Journal Title

      宮崎大学工学部紀要

      Volume: 51 Pages: 29-34

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19K05273
  • [Journal Article] PLD 法によって付着させた Si(111)- 清浄表面上の金原子の STM 観察2021

    • Author(s)
      高田大河、田中芳樹、永崎誠人、亀山晃弘、甲藤正人、横谷篤至
    • Journal Title

      宮崎大学紀要

      Volume: 50 Pages: 51-54

    • Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19K05273
  • [Journal Article] 真空紫外・極端紫外光を用いた光脱離質量分析装置の開発2020

    • Author(s)
      横谷篤至、亀山晃弘、加来昌典、甲藤正人
    • Journal Title

      レーザー加工学会誌

      Volume: 27 Pages: 13-18

    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19K05273
  • [Journal Article] OFI rare-gas excimer amplifier for high-intensity VUV pulse generation2009

    • Author(s)
      M. Katto, M. Kaku, K. Oda, T. Kamikihara, A. Yokotani, S. Kubodera, N. Miyanaga, and K. Mima
    • Journal Title

      Proc. SPIE vol.7196

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [Journal Article] Harmonics generation in VUV spectral region driven by a NIR Ti : sapphire laser in rare gases2009

    • Author(s)
      M. Katto, K. Oda, M. Kaku, S. Kubodera, A.Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • Journal Title

      Proceedings of SPIE vol.7131

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [Journal Article] OFI argon excimer amplifier for intense subpicosecond VUV pulse generation2009

    • Author(s)
      M. Kaku, S. Kubodera, K. Oda, M. Katto, A. Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • Journal Title

      Proc. SPIE vol.7131

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [Journal Article] High-intensity subpicosecond vacuum ultraviolet laser system2008

    • Author(s)
      S. Kubodera, M. Kaku, Y. Taniguchi, M. Katto, A. Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • Journal Title

      Proc. SPIE vol.6874

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [Journal Article] Subpicosecond vacuum ultraviolet laser system for advanced materials processing2007

    • Author(s)
      S. Kubodera, Y. Taniguchi, A. Hosotani, M. Katto, A. Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • Journal Title

      Proc. SPIE vol.6452

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [Journal Article] 高エネルギー及び高輝度光源を用いたマテリアルプロセッシングの研究2005

    • Author(s)
      亀山 晃弘, 甲藤 正人, 横谷 篤至, 黒澤 宏
    • Journal Title

      レーザー研究第241回研究会(レーザー応用) RTM-05-32

      Pages: 5-10

    • NAID

      10016859040

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Analysis of the photochemical reaction on the surface for room temperature deposition of SiO2 thin films by photo-CVD using vacuum ultraviolet light2005

    • Author(s)
      A.Yokotani
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics 44(2)

      Pages: 1019-1021

    • NAID

      130004533297

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Poly-crystallized hydroxyapatite coating deposited by pulsed laser deposition method at room temperature2005

    • Author(s)
      M..Katto, K.Kurosawa, A.Yokotani, S.Kubodera, A.Kameyama, T.Higashiguchi, T.Nakayama, M.Tsukamoto
    • Journal Title

      Applied Surface Science 248,1

      Pages: 365-368

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Applications of OLEDs that use VUV-CVD films2005

    • Author(s)
      K.Toshikawa, J.Miyano, A.Yokotani, K.Kurosawa Y Matsumoto
    • Journal Title

      Journal of the Society for Information Display 13,5

      Pages: 453-457

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Time-resolving image analysis of drilling of thin silicon substrates with femto-second laser ablation2005

    • Author(s)
      A.Yokotani
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics 44-11

      Pages: 7998-8003

    • NAID

      10016871257

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [Journal Article] Time-resolving image analysis of drilling of thin silicon substrates with femto- second laser ablation2005

    • Author(s)
      A.Yokotani
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics 44・11

      Pages: 7998-8003

    • NAID

      10016871257

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [Journal Article] Analysis of the photochemical reaction on the surface for room temperature deposition of SiO2 thin films by photo-CVD using vacuum ultraviolet light2005

    • Author(s)
      A.Yokotani, K.Amari, Y.Maezono, K.Toshikawa, K.Kurosawa
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics 44,2

      Pages: 1019-1021

    • NAID

      130004533297

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] 真空紫外光CVDを用いた半導体プロセス低温化技術2005

    • Author(s)
      横谷 篤至
    • Journal Title

      電気学会 光・量子デバイス研究会 OQD-04-34

      Pages: 13-18

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Time-resolving image analysis of drilling of thin silicon substrates with femtosecond laser ablation2005

    • Author(s)
      A.Yokotani
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Pysics 44・11

      Pages: 7998-8003

    • NAID

      10016871257

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [Journal Article] Time-resolving image analysis of drilling of thin silicon substrates with femtosecond laser ablation2005

    • Author(s)
      A.Yokotani
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics 44(11)

      Pages: 7998-8003

    • NAID

      10016871257

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Time-resolving image analysis of drilling of thin silicon substrates with femtosecond laser ablation2005

    • Author(s)
      A.Yokotani, T.Mukumoto, Y.Kanamitsu, H.Fukumoto, K.Kurosawa
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics 44,11

      Pages: 7998-8003

    • NAID

      10016871257

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Amorphous silicon film deposition from SiH4 by chemical vapor deposition with argon excimer lamp2005

    • Author(s)
      K.Toshikawa, A.Yokotani, K.Kurosawa
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics 44,11

      Pages: 7785-7788

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Poly-crystallized hydroxyapatite coating deposited by pulsed laser deposition method at room temperature2005

    • Author(s)
      M.Katto, K.Kurosawa, A.Yokotani, S.Kubodera, A.Kameyama, T.Higashiguchi, T.Nakayama, M.Tsukamoto
    • Journal Title

      Applied Surface Science 248,1

      Pages: 365-368

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Analysis of the Photochemical Reaction on the Surface for Room Temperature Deposition of SiO_2 Thin Films by Photo-CVD using Vacuum Ultraviolet Light2005

    • Author(s)
      Atsushi Yokotani
    • Journal Title

      Jpn.Journal of Applied Physics 44・2

      Pages: 1019-1021

    • NAID

      10014419047

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] 高エネルギー及び高輝度光源を用いたマテリアルプロセッシングの研究2005

    • Author(s)
      亀山 晃弘, 甲藤 正人, 横谷 篤至, 黒澤 宏
    • Journal Title

      レーザー研究第241回研究会(レーザー応用) RTM-05-3 2

      Pages: 5-10

    • NAID

      10016859040

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Applications of OLEDs that use VUV-CVD films2005

    • Author(s)
      K.Toshikawa, J.Miyano, A.Yokotani, K.Kurosawa, Y Matsumoto
    • Journal Title

      Journal of the Society for Information Display 13,5

      Pages: 453-457

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] 真空紫外エキシマランプ光CVDによるシリカ薄膜常圧形成技術の開発2004

    • Author(s)
      前園好成, 横谷篤至, 黒澤宏, 菱沼宣是, 松野博光
    • Journal Title

      レーザー研究 32(1)

      Pages: 54-57

    • NAID

      10011982586

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] シリコン清浄表面上におけるTEOS分子の光分解過程の観測2004

    • Author(s)
      柳田英明, 上村一秀, 黒澤宏, 横谷篤至
    • Journal Title

      電気学会論文誌C 124(7)

      Pages: 1410-1415

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] PLD法によるハイドロキシアパタイト被膜の形成2004

    • Author(s)
      横谷 篤至
    • Journal Title

      電気学会 光・量子デバイス研究会 OQD-04-33

      Pages: 7-11

    • NAID

      10025660151

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] フェムト秒レーザーを用いた半導体関連材料の加工と特性の評価2004

    • Author(s)
      横谷 篤至
    • Journal Title

      電気学会論文誌C C-124(11)

      Pages: 2267-2273

    • NAID

      10013713752

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] 真空紫外エキシマランプ光CVDによるシリカ薄膜常圧形成技術の開発2004

    • Author(s)
      横谷 篤至
    • Journal Title

      レーザー研究 32(1)

      Pages: 54-57

    • NAID

      10011982586

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] フェムト秒レーザーを用いた半導体関連材料の加工と特性の評価2004

    • Author(s)
      横谷篤至, 水野俊男, 向本徹, 川原公介, 二宮孝文, 沢田博司, 黒澤宏
    • Journal Title

      電気学会論文誌C 124(11)

      Pages: 2267-2273

    • NAID

      10013713752

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Characterization of SiO_2 Films Deposited by VUV-CVD Using OMCTS Precursor2004

    • Author(s)
      K.Toshikawa, J.Miyano, Y.Yagi, A.Yokotani, K.Kurosawa
    • Journal Title

      4^<th>-International Symposium on Dry Process 2004 6(5)

      Pages: 341-346

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] 真空紫外光CVDを用いた半導体プロセス低温化技術2004

    • Author(s)
      横谷篤至, 甘利紘一, 石村想, 黒澤宏, 歳川清彦, 宮野淳一
    • Journal Title

      電気学会 光・量子デバイス研究会 OQD-04-34

      Pages: 13-18

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Second-order optical nonlinearity and change in refractive index in silica glasses by a combination of thermal poling and x-ray irradiation2004

    • Author(s)
      A.Kameyama, A.Yokotani, K.Kurosawa
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics 248,1

      Pages: 4000-4006

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] フェムト病レーザーを用いた半導体関連材料の加工と特性の評価2004

    • Author(s)
      横谷 篤至
    • Journal Title

      宮崎大学工学部紀要 33

      Pages: 93-99

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] シリコン清浄表面上におけるTEOS分子の光分解過程の観察2004

    • Author(s)
      横谷 篤至
    • Journal Title

      電気学会論文誌C C-124(7)

      Pages: 1410-1415

    • NAID

      10013268147

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] 真空紫外光CVD法による有機シロキサンを用いた酸化膜形成評価2003

    • Author(s)
      宮野淳一, 黒澤宏, 横谷篤至
    • Journal Title

      電気学会論文誌C 123(5)

      Pages: 858-863

    • NAID

      130000089275

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Development of Dicing Technique for Thin Semiconductor Substrate With Femtosecond Laser2003

    • Author(s)
      A.Yokotani, Y.Kurogi, N.Matsuo, K.Kurosawa, K.Kawahara, T.Ninomiya, H.Sawada
    • Journal Title

      Proc. of The Third Asian Pacific Laser Symposium 2002(APLS2002)

      Pages: 27-30

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Development of Dicing Technique for Thin Semiconductor Substrate With Femtosecond Laser2003

    • Author(s)
      A.Yokotani
    • Journal Title

      Proc.of The Third Asian Pacific Laser Symposium 2002(APLS2002)

      Pages: 27-30

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] フェムト秒レーザアブレーションにおけるレーザ発振条件の加工特性に及ぽす影響2003

    • Author(s)
      沢田博司, 川原公介, 二宮孝文, 横谷篤至, 黒澤宏
    • Journal Title

      精密工学会誌 69(1)

      Pages: 83-88

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Second harmonic generation in high-purity silica glasses by a combination of thermal poling and UV laser pulse irradiation2003

    • Author(s)
      A.Kameyama, A.Yokotani, K.Kurosawa
    • Journal Title

      Proc. of The Third Asian Pacific Laser Symposium 2002(APLS2002)

      Pages: 86-89

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] VUV-CVD法で生成したシリカ膜の電気特性2003

    • Author(s)
      本山理一, 黒澤宏, 横谷篤至
    • Journal Title

      電子情報通信学会(エレクトロニクスソサイエティ C) 86(8)

      Pages: 913-919

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Atomospheric pressure deposition of silica thin films by photo-CVD using vacuum ultraviolet excimer lamp2003

    • Author(s)
      Y.Maezono, K.Nishi, A.Yokotani, K.Kurosawa
    • Journal Title

      Proc. of Chemical Vapor Deposition XVI and EUROCVD 14 1

      Pages: 596-602

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Room Temperature Deposition of SiO_2 thin film by Photo-CVD using Vacuum Ultraviolet Light2003

    • Author(s)
      Y.Maezono, J.Miyano, A.Yokotani, K.Kurosawa
    • Journal Title

      Proc. of The Third Asian Pacific Laser Symposium 2002(APLS2002)

      Pages: 127-130

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Characteristics of double pulsed femtosecond laser ablation on silicon2003

    • Author(s)
      T.Ninomiya, H.Sawada, A.Yokotani, K.Kurosawa
    • Journal Title

      Proc. of The Third Asian Pacific Laser Symposium 2002(APLS2002)

      Pages: 7-10

    • NAID

      10010447130

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Growth of oriented LaF_3 thin films on Si(100) substrates by the pursed laser deposition method2003

    • Author(s)
      A.Yokotani
    • Journal Title

      J.Korean Cryst.Growth and Cryst.Technol. 13(4)

      Pages: 157-161

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] Growth of orienied LaF_3 thin films on Si (100) substrates by the pulsed laser deposition method2003

    • Author(s)
      A.Yokotani, T.Ito, A.Sato, K.Kurosawa
    • Journal Title

      J. Korean Cryst. Growth and Cryst. Technol 13(4)

      Pages: 157-161

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Journal Article] フェムト秒レーザを用いた薄板半導体基板の切断加工技術の開発2003

    • Author(s)
      横谷篤至, 黒木泰宣, 松尾直之, 川原公介, 二宮孝文, 黒澤宏
    • Journal Title

      電気学会論文誌C 123(2)

      Pages: 216-221

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Patent] 水溶液あるいは微粒子懸濁液を用いた被膜生成手法(被膜生成方法および被膜生成装置)2006

    • Inventor(s)
      甲藤 正人, 東口 武史, 窪寺 昌一, 横谷 篤至
    • Industrial Property Rights Holder
      宮崎大学
    • Industrial Property Number
      2006-143925
    • Filing Date
      2006-05-24
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [Patent] 光ファイバーブラッググレーティングおよびその作製方法(ファイバブラッググレーティングの消去方法、ファイバブラッググレーテイングの調整方法、ファイバブラッググレーティングを備え光部品の製造方法及び同光部品の製造装置)2006

    • Inventor(s)
      横谷 篤至, 前薗 好成
    • Industrial Property Rights Holder
      宮崎大学
    • Industrial Property Number
      2006-230997
    • Filing Date
      2006-08-28
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [Patent] 光ファイバーブラッググレーティングおよびその作製方法(ファイバブラッググレーティングの消去方法、ファイバブラッググレーティングの調整方法、ファイバブラッググレーティングを備えた光部品の製造方法及び同光製品の製造装置)2006

    • Inventor(s)
      横谷 篤至, 前薗 好成
    • Industrial Property Rights Holder
      宮崎大学
    • Industrial Property Number
      2006-230997
    • Filing Date
      2006-08-28
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [Patent] プラスチック表面の改質方法、プラスチック表面のメッキ方法、プラスチック、プラスチック表面改質装置2006

    • Inventor(s)
      横谷 篤至, 黒澤 宏
    • Industrial Property Rights Holder
      宮崎大学
    • Industrial Property Number
      2006-136944
    • Filing Date
      2006-05-16
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [Patent] 薄膜作製方法2006

    • Inventor(s)
      横谷 篤至
    • Industrial Property Rights Holder
      宮崎大学
    • Industrial Property Number
      2006-133269
    • Filing Date
      2006-05-12
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [Patent] 被覆の窒化方法2005

    • Inventor(s)
      横谷 篤至
    • Industrial Property Rights Holder
      宮崎大学
    • Industrial Property Number
      2005-254698
    • Filing Date
      2005-09-02
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [Patent] プラスチックの表面の改質方法、プラスチック表面のメッキ方法、プラスチック・プラスチック表面改質装置2005

    • Inventor(s)
      横谷篤至
    • Industrial Property Rights Holder
      宮崎大学
    • Industrial Property Number
      2005-098776
    • Filing Date
      2005-03-30
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Patent] 被膜の窒化方法2005

    • Inventor(s)
      横谷 篤至
    • Industrial Property Rights Holder
      宮崎大学
    • Industrial Property Number
      2005-254698
    • Filing Date
      2005-09-02
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [Patent] FBG製造装置2005

    • Inventor(s)
      黒澤 宏, 横谷 篤至, 亀山 晃弘
    • Industrial Property Rights Holder
      宮崎大学
    • Industrial Property Number
      2005-306488
    • Filing Date
      2005-10-21
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [Patent] プラスチックの表面の改質方法、プラスチック表面のメッキ方法、プラスチック・プラスチック表面改質装置2005

    • Inventor(s)
      横谷 篤至, 黒澤 宏
    • Industrial Property Rights Holder
      宮崎大学
    • Industrial Property Number
      2005-098776
    • Filing Date
      2005-03-30
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [Patent] FBG製造装置2005

    • Inventor(s)
      黒澤宏, 横谷篤至, 亀山晃弘
    • Industrial Property Rights Holder
      宮崎大学
    • Industrial Property Number
      2005-306488
    • Filing Date
      2005-10-25
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Patent] FBGを用いた歪み計測システム2005

    • Inventor(s)
      黒澤宏, 横谷篤至, 亀山晃弘
    • Industrial Property Rights Holder
      宮崎大学
    • Industrial Property Number
      2005-306487
    • Filing Date
      2005-10-25
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Patent] 被覆の窒化方法2005

    • Inventor(s)
      黒澤宏, 横谷篤至
    • Industrial Property Rights Holder
      宮崎大学
    • Industrial Property Number
      2005-254698
    • Filing Date
      2005-09-02
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360194
  • [Patent] FBGを用いた歪み計測システム2005

    • Inventor(s)
      黒澤 宏, 横谷 篤至, 亀山 晃弘
    • Industrial Property Rights Holder
      宮崎大学
    • Industrial Property Number
      2005-306487
    • Filing Date
      2005-10-21
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [Presentation] 高性能光ファイバーセンサーの開発2022

    • Author(s)
      亀山晃弘、甲藤正人、横谷篤至
    • Organizer
      レーザー学会第567回研究会報告 フォトニクスワークショップ in 九州(福岡)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19K05273
  • [Presentation] OFI rare-gas excimer amplifier for high-intensity VUV pulse generation2009

    • Author(s)
      S. Kubodera, M. Kaku, K. Oda, T. Kamikihara, M. Katto, A. Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • Organizer
      Photonics West 2009 (SPIE Meeting)
    • Place of Presentation
      San Jose (USA)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [Presentation] Optical amplification of the OFI rare-gas excimers in the vacuum ultraviolet2008

    • Author(s)
      M. Kaku, S. Harano, S. Touge, M. Katto, A. Yokotani, S. Kubodera, N. Miyanaga, and K. Mima
    • Organizer
      The 21st Annual Meeting of the IEEE Lasers & Electro-Optics Society (IEEE/LEOS 2008)
    • Place of Presentation
      Newport Beach (USA)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [Presentation] 真空紫外光源とその応用2007

    • Author(s)
      窪寺昌一、甲藤正人、横谷篤至
    • Organizer
      レーザー学会学術講演会第27回年次大会
    • Place of Presentation
      宮崎
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [Presentation] 真空紫外光で拓く環境調和型プロセスに向けて~高輝度真空紫外コヒーレント光の発生とその応用技術の開発~2006

    • Author(s)
      甲藤正人、横谷篤至、窪寺昌一、宮永憲明、三間圀興
    • Organizer
      第67回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      立命館大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • 1.  KUROSAWA Kou (80109892)
    # of Collaborated Projects: 5 results
    # of Collaborated Products: 25 results
  • 2.  KAMEYAMA Akihiro (00264367)
    # of Collaborated Projects: 5 results
    # of Collaborated Products: 6 results
  • 3.  KAWANAKA Junji (50264362)
    # of Collaborated Projects: 3 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 4.  KUBODERA Shoichi (00264359)
    # of Collaborated Projects: 3 results
    # of Collaborated Products: 9 results
  • 5.  KATTO Masahito (80268466)
    # of Collaborated Projects: 3 results
    # of Collaborated Products: 9 results
  • 6.  SASAKI Wataru (30081300)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 7.  NANASHIMA ATSUSHI (60380838)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 8.  菱川 善隆 (60304276)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 9.  松本 仁 (90363572)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 10.  徐 岩 (40506763)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 11.  KAKU Masanori (10425621)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 6 results
  • 12.  FUKUI Kazutoshi (80156752)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 13.  HIGASHIGUCHI Takeshi (80336289)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 14.  佐々木 孝友 (50029237)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 15.  吉田 国雄 (70029338)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 16.  山口 優也 (60779966)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 17.  甲斐 健吾 (90851585)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 18.  池ノ上 実 (40612370)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 19.  SAUERBREY Ro
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results

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