Mitani Yuuichiroh 三谷祐一朗

… Alternative Names

MITANI Yuichiro 三谷祐一朗

三谷裕一郎ミタニユウイチロウ

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Researcher Number	00280389
Other IDs
Affiliation (Current)	2025: 沼津工業高等専門学校, 機械工学科, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2016 – 2021: 沼津工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 2004: 沼津工業高等専門学校, 機械工学科, 助教授 2003: 沼津工業高等専門学校, 助教授 2003: Numatsu College of Technology, Department of mechanical Engineering, Lecturer, 機械工学科, 講師 2002: 津沼高等専門学校, 機械工学科, 講師 2001: 沼津高等工業専門学校, 機械工学科, 講師 1998 – 2001: 沼津高等工業専門学校, 助手
Review Section/Research Field	Principal Investigator Science education / Dynamics/Control Except Principal Investigator Dynamics/Control / Basic Section 90130:Medical systems-related
Keywords	Principal Investigator 産業・技術教育 / 制振制御 / 高機能制御機器 / 高専機構・オムロン共同プロジェクト / 生産技術コンテスト / 制御技術教育キャンプ / 日韓合同 / 非接触搬送 / 課題解決 / 企業連携プロジェクト … More / 3軸ロボット / 制御技術教育 / PLC / モーション制御 / 連携プロジェクト / コンテスト / PBL / グループワーク / 適応制御 / 騒音伝達 / 防音壁 / 圧電素子 … More Except Principal Investigator アクティブコントロール / フィードバック制御システム / 圧電素子アクチュエータ / モデリング / 感圧ゴム / 力覚センサー / 医療用ロボット / オンライン同定 / 力覚センサ / LSTM / ニューラルネットワーク / 感圧導電性ゴム / 医療・介護ロボット / 加圧力推定 / 力覚検出デバイス / Insert Material / Spark Plasma Sintering / Joint of Ceramic and Metal / Piezo-electric Actuator / Sound Insulating Panel / Active Noise Control / Floor Impact Noise / 圧電素子の機械強度改良 / 軽量衝撃音 / 金属接合 / バイモルフ圧電素子アクチュエータ / フィードフォワード制御システム / 積層型圧電素子アクチュエータ / インサート材 / 放電プラズマ接合 / セラミックス接合 / 金属 / 遮音パネル / 騒音のアクティブコントロール / 床衝撃音 / micro pressure sensor / Robust feed-back control / Piezoelectric sensor / Piezoelectric Actuator / Active control of sound transmission / Intelligent compound plate / PZT圧電素子 / 遮音の能動制御 / 圧電素子 / 2自由度制御 / 音響・構造系能動制御 / ロバスト制御 / バイモルフ圧電素子 / 音響の能動制御 / 構造 / 微圧力センサ / ロバストフィードバック制御 / 圧電素子センサ / 遮音のアクティブコントロール / 知的複合構造体 Less

Development of a low-cost force sensor device for medical caring robots
- Principal Investigator
  
  ohmukai Masato
- Project Period (FY)
  2019 – 2021
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 90130:Medical systems-related
- Research Institution
  Akashi National College of Technology
Fostering of control engineer of industrial manufacturing systems by using high accuracy robot collaborated between multiple KOSENs and private companyPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Mitani Yuuichiroh
- Project Period (FY)
  2016 – 2019
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Science education
- Research Institution
  Numazu National College of Technology
移動する騒音源に対する有視界性防音壁における騒音伝達のマルチ適応制御Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  三谷祐一朗
- Project Period (FY)
  2003 – 2004
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  Dynamics/Control
- Research Institution
  Numazu National College of Technology
Active Control System for Insulating Floor Impulse Noise
- Principal Investigator
  
  AKISHITA Sadao
- Project Period (FY)
  2001 – 2003
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Dynamics/Control
- Research Institution
  Ritsumeikan University
Sound Transmission Control with Intelligent Compound Structure
- Principal Investigator
  
  AKISHITA Sadao
- Project Period (FY)
  1998 – 2000
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Dynamics/Control
- Research Institution
  Ritsumeikan University

All 2020 2019 2018 2017 2016 2005 2004 2003 2002

All Journal Article Presentation

[Journal Article] 単軸ステージを用いたシーケンス・モーション・現代制御の統合アクティブラーニングの試み2020
- Author(s)
  三谷祐一朗，村中常高
- Journal Title
  
  沼津工業高等専門学校研究報告
  
  Volume: 第５４号 Pages: 1-8
- NAID
  40022179269
- Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Journal Article] 入出力信号から構成した有限個周波数応答モデルによるPI-D制御系の設計2019
- Author(s)
  上泰，田中椋祐，三谷祐一朗，延山英沢
- Journal Title
  
  電気学会論文誌Ｃ
  
  Volume: Vol.139 No.4 Pages: 402-408
- NAID
  130007622107
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Journal Article] マイコンを用いたリレー・シーケンス制御の学習の試み2019
- Author(s)
  三谷祐一朗，中澤新吾，外園玲央，西由季央
- Journal Title
  
  沼津工業高等専門学校研究報告
  
  Volume: 第53号 Pages: 7-14
- NAID
  40021789518
- Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Journal Article] Control Design Considering Magnetic Flux Characteristic Uncertainty for Magnetic Levitation System with Magnetic Flux and Current Feedback2019
- Author(s)
  Urasaki Shinpachiro、Kobayashi Yoshimitsu、Kami Yasushi、Mitani Yuichiroh、Nobuyama Eitaku
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems
  
  Volume: 139 Issue: 10 Pages: 1159-1166
- DOI
  10.1541/ieejeiss.139.1159
- NAID
  130007722456
- ISSN
  0385-4221, 1348-8155
- Year and Date
  2019-10-01
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Journal Article] PI-D Controller Design with Finite Number of Frequency Responces Model via a Ratio of Fourier Transformations of Input and Output Signals2019
- Author(s)
  上泰，田中亮祐，三谷祐一朗，延山英沢
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems
  
  Volume: 139 Issue: 4 Pages: 402-408
- DOI
  10.1541/ieejeiss.139.402
- NAID
  130007622107
- ISSN
  0385-4221, 1348-8155
- Year and Date
  2019-04-01
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047, KAKENHI-PROJECT-16K14286
[Journal Article] マイクロPLCを活用したアクティブラーニングの試行　－PID制御器の実装を課題とするシーケンス／フィードバック制御の融合－2018
- Author(s)
  三谷祐一朗，藤沼謙斗，西由季央
- Journal Title
  
  沼津工業高等専門学校研究報告
  
  Volume: 第52号 Pages: 1-8
- NAID
  40021446635
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Journal Article] PLCによるサーボ同期制御を用いた非接触搬送教材開発（変位センサ内包型電磁石を用いた自律同定実験効果の検証）2017
- Author(s)
  三谷祐一朗，田中椋祐，小林義光
- Journal Title
  
  計測自動制御学会中部支部教育工学研究委員会教育工学論文集
  
  Volume: Vol.40 Pages: 32-34
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Journal Article] PLCを用いた小型で汎用性のあるシーケンス制御学習教材の開発2017
- Author(s)
  三谷祐一朗，高矢昌紀，西由季央，山之内亘
- Journal Title
  
  沼津工業高等専門学校研究報告
  
  Volume: No.51 Pages: 1-6
- NAID
  40021226566
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Journal Article] Problem Based Learning Style Training Project for the New Generation of Engineers in the Form of A Contest Using High-level Manufacturing Technology2016
- Author(s)
  三谷祐一朗，谷埜博基，堀純也，金田直人
- Journal Title
  
  JOURNAL OF JAPAN SOCIETY FOR DESIGN ENGINEERING
  
  Volume: 51 Issue: 10 Pages: 737-746
- DOI
  10.14953/jjsde.2015.2649
- NAID
  130005249271
- ISSN
  0919-2948, 2188-9023
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Journal Article] 移動騒音源に対する防音壁における騒音伝達の適応制御2005
- Author(s)
  影山淳二, 三谷祐一朗
- Journal Title
  
  日本機械学会東海支部第54期総会講演会講演論文集 No.053-1
  
  Pages: 29-30
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15760162
[Journal Article] Active Modular Panel System for Insulating Floor Impulse Noise2004
- Author(s)
  S.Akishita, A.Mitani, H.Takanashi
- Journal Title
  
  Proceedings of ICA 2004 We4.D.5III
  
  Pages: 2165-2168
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-13555067
[Journal Article] Active Modular Panel System for Insulating Floor Impulse Noise2004
- Author(s)
  Sadao AKISHITA, Atsushi MITANI, Hiroyuki TAKANASHI
- Journal Title
  
  Proceeding of ICA 2004 We4.D.5 III
  
  Pages: 2165-2168
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-13555067
[Journal Article] [N75]Active Control of Floor Impulse Noise for Condominiums2003
- Author(s)
  S.Akishita, K.Ameyama, A.Mitani, S.Ito
- Journal Title
  
  Proceedings of Inter-noise 2003,Jeju, Korea, August 25-28,2003
  
  Pages: 412-419
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-13555067
[Journal Article] [N75] Active Control of Floor Impulse Noise for Condominiums2003
- Author(s)
  Sadao AKISHITA, Kei AMEYAMA, Atsushi MITANI
- Journal Title
  
  Proceeding of Inter-noise 2003, Jeju, Korea, August 25-28
  
  Pages: 412-419
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-13555067
[Journal Article] Active Control System of Floor Impulse Noise2002
- Author(s)
  Sadao AKISHITA, Satoru MATSUMOTO, Yuichiro MITANI
- Journal Title
  
  Proceeding of ACTIVE 2002, ISVR, Southampton, UK, 2002 July 15-17
  
  Pages: 559-566
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-13555067
[Journal Article] Active Control system of Floor Impulse Noise2002
- Author(s)
  S.Akishita, S.Matsumoto, Y.Mitani
- Journal Title
  
  Proceedings of ACTIVE 2002,ISVR, Southampton, UK,2002 July 15-17
  
  Pages: 559-566
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-13555067
[Presentation] ロバスト安定性を保証した磁気浮上システムにおける非接触搬送系の構築2019
- Author(s)
  松井陽樹，三谷祐一朗，小林義光，上泰
- Organizer
  富士山麓アカデミック＆サイエンスフェア 2019
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] グループワークの取り組み方を理解させるためのPBL教育の準備のコツ2019
- Author(s)
  上泰，佐藤拓，三谷祐一朗，山之内亘，石川洋平，西由季央，村中常高
- Organizer
  第63回システム制御情報学会研究発表講演会 (SCI’19)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] 高機能PLC を活用した産業界のニーズに応える制御教材開発2019
- Author(s)
  三谷祐一朗，上泰，小林義光
- Organizer
  第１６７回教育工学研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] 非接触搬送システムにおける有限周波数応答データを用いた振れ制御系の設計と実装2019
- Author(s)
  三谷　祐一朗，松井　陽樹，小林　義光，上　泰，三好　孝典
- Organizer
  平成30 年度先進的技術に関するシンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] 自律同定機能を有する3軸ステージによる非接触搬送システムの開発－搬送時における安定性の検証および高速化の検討－2018
- Author(s)
  田中椋祐，三谷祐一朗，小林義光，浪江正樹
- Organizer
  第23回高専シンポジウム in KOBE
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] Non-contact Conveyance Control System with Self-identification Function of the Levitation Object -Investigation of Stability of the Conveyance Control System-2018
- Author(s)
  三谷祐一朗，田中亮祐，小林義光，上泰，浪江正樹
- Organizer
  The 14th International Conference on Motion and Vibration Control
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] 自律同定機能を有する3軸ステージによる非接触搬送システムの開発 -搬送時における安定性の検証および高速化の検討-2018
- Author(s)
  田中亮祐，三谷祐一朗，小林義光，浪江正樹
- Organizer
  第23回高専シンポジウム in KOBE
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] 自律同定機能を有する非接触搬送制御システムの安定性の検証2018
- Author(s)
  三谷祐一朗，松井陽樹，小林義光，上泰，浪江正樹
- Organizer
  日本機械学会 2018年度年次大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] 非接触搬送制御システムにおける有限個周波数応答モデルを用いた制御系の有効性の検証2018
- Author(s)
  田中椋祐，三谷祐一朗，上泰，小林義光
- Organizer
  平成30年電気学会電子・情報・システム部門大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] PLCを用いた磁気浮上制御の教材装置の小型化2017
- Author(s)
  小林義光，浦崎新八郎，三谷祐一朗
- Organizer
  日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス部門　ロボティクス・メカトロニクス講演会- 2017 in Fukushima
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] 自律同定機能を有する3軸ステージによる非接触搬送システムの開発2017
- Author(s)
  田中椋祐，三谷祐一朗，小林義光，浪江正樹
- Organizer
  日本高専学会第23回年会講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] Non-contact conveyance control system with self-identification function of the levitation object (Certification of the self-identification function)2017
- Author(s)
  Yuuichiroh Mitani, Ryosuke Tanaka, Yoshimitsu Kobayashi and Masaki Namie
- Organizer
  The 5th Japan-Korea Joint Symposium on Dynamics & Control
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] PLCによるサーボ同期制御を用いた非接触搬送教材開発2017
- Author(s)
  三谷祐一朗，小林義光，田中椋祐
- Organizer
  第161回教育工学研究会
- Place of Presentation
  大同大学滝春校舎
- Year and Date
  2017-03-21
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] PLCを用いた磁気浮上制御の教材装置の小型化2017
- Author(s)
  小林義光，学浦崎新八郎，三谷祐一朗
- Organizer
  ロボティクス・メカトロニクス講演会- 2017 in Fukushima
- Place of Presentation
  ビッグパレットふくしま
- Year and Date
  2017-05-10
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] オムロン・高専機構共同教育プジェクト制御技術教育キャンプ・生産技術コンテストの成果と今後2017
- Author(s)
  上泰，三谷祐一朗，佐藤拓，下尾浩正，鈴木真ノ介，山之内亘，岩野裕樹
- Organizer
  平成29年度全国高専フォーラム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] オムロン・高専機構共同教育プロジェクト　～生産技術コンテスト～2016
- Author(s)
  三谷祐一朗，上泰，佐藤拓，下尾浩正，小林義光，西由季央
- Organizer
  平成28年度　全国高専フォーラム
- Place of Presentation
  国立大学法人岡山大学津島キャンパス
- Year and Date
  2016-08-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] オムロン株式会社との実践的技術者育成事業「制御技術教育キャンプ～日韓合同インターンシップ～」の実践報告2016
- Author(s)
  上泰，三谷祐一朗，佐藤拓，下尾浩正，佐竹卓彦，岸祐一，西由季央，山之内亘
- Organizer
  平成28年度　全国高専フォーラム
- Place of Presentation
  国立大学法人岡山大学津島キャンパス
- Year and Date
  2016-08-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] 企業と連携したシーケンス制御教育2016
- Author(s)
  三谷祐一朗，西由季央
- Organizer
  日本高専学会第22回年会
- Place of Presentation
  沼津工業高等専門学校
- Year and Date
  2016-08-27
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] PLC機器を用いた磁気浮上制御の教材開発－機械・電気系の時間応答に着目した制御設計－2016
- Author(s)
  小林義光，奥村亮太，中村善洋，三谷祐一朗
- Organizer
  JSMEロボティクス・メカトロニクス講演会2016
- Place of Presentation
  パシフィコ横浜
- Year and Date
  2016-06-08
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] EDUCATIONAL TRAINING JAPAN-KOREA JOINT PROGRAM FOR THE MANUFACTURING CONTROL SYSTEM2016
- Author(s)
  Y.Mitani, Y.Kami, T.Sato, Y.Nishi
- Organizer
  The 10th International Symposium on Advances in Technology Education
- Place of Presentation
  東北大学
- Year and Date
  2016-09-13
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] 小型磁気浮上装置における動特性の検証と活用方法の検討2016
- Author(s)
  森川拓磨，三谷祐一朗
- Organizer
  日本高専学会第22回年会
- Place of Presentation
  沼津工業高等専門学校
- Year and Date
  2016-08-27
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] 新世代PLCによる統合制御を用いた高齢者向け超小型モビリティに関する研究2016
- Author(s)
  佐藤拓，伊藤昌彦，大泉哲也，熊谷和志，三谷祐一朗，小熊博
- Organizer
  平成28年度　全国高専フォーラム
- Place of Presentation
  国立大学法人岡山大学津島キャンパス
- Year and Date
  2016-08-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047
[Presentation] 生産システム制御技術の教育支援～オムロン株式会社との共同プロジェクト～2016
- Author(s)
  三谷祐一朗
- Organizer
  静岡県東部テクノフォーラムin沼津高専
- Place of Presentation
  沼津工業高等専門学校
- Year and Date
  2016-12-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K01047

1. AKISHITA Sadao (40202527)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 6 results
2. 上泰 (20413809)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 12 results
3. AMEYAMA Kei (10184243)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
4. ohmukai Masato (70259901)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
5. 佐藤拓 (30451545)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 6 results
6. 岩野優樹 (90413799)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 1 results
7. 田崎良佑 (70644467)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
8. OKUDAIRA Yuzo

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
9. KATO Yoshiyuki

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
10. 飴山惠

# of Collaborated Projects: 0 results

# of Collaborated Products: 2 results

Mitani Yuuichiroh 三谷 祐一朗

MITANI Yuichiro 三谷 祐一朗

三谷 裕一郎 ミタニ ユウイチロウ

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Development of a low-cost force sensor device for medical caring robots

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Fostering of control engineer of industrial manufacturing systems by using high accuracy robot collaborated between multiple KOSENs and private companyPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

移動する騒音源に対する有視界性防音壁における騒音伝達のマルチ適応制御Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Active Control System for Insulating Floor Impulse Noise

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Sound Transmission Control with Intelligent Compound Structure

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Journal Article] 単軸ステージを用いたシーケンス・モーション・現代制御の 統合アクティブラーニングの試み2020

Author(s)

Journal Title

NAID

Data Source

[Journal Article] 入出力信号から構成した有限個周波数応答モデルによるPI-D制御系の設計2019

Author(s)

Journal Title

NAID

Data Source

[Journal Article] マイコンを用いたリレー・シーケンス制御の学習の試み2019

Author(s)

Journal Title

NAID

Data Source

[Journal Article] Control Design Considering Magnetic Flux Characteristic Uncertainty for Magnetic Levitation System with Magnetic Flux and Current Feedback2019

Author(s)

Journal Title

DOI

NAID

ISSN

Year and Date

Language

Data Source

[Journal Article] PI-D Controller Design with Finite Number of Frequency Responces Model via a Ratio of Fourier Transformations of Input and Output Signals2019

Author(s)

Journal Title

DOI

NAID

ISSN

Year and Date

Language

Data Source

[Journal Article] マイクロPLCを活用したアクティブラーニングの試行 －PID制御器の実装を課題とするシーケンス／フィードバック制御の融合－2018

Author(s)

Journal Title

NAID

Data Source

[Journal Article] PLCによるサーボ同期制御を用いた非接触搬送教材開発（変位センサ内包型電磁石を用いた自律同定実験効果の検証）2017

Author(s)

Journal Title

Data Source

[Journal Article] PLCを用いた小型で汎用性のあるシーケンス制御学習教材の開発2017

Author(s)

Mitani Yuuichiroh 三谷祐一朗

MITANI Yuichiro 三谷祐一朗

三谷裕一郎ミタニユウイチロウ

[Journal Article] 単軸ステージを用いたシーケンス・モーション・現代制御の統合アクティブラーニングの試み2020

[Journal Article] マイクロPLCを活用したアクティブラーニングの試行　－PID制御器の実装を課題とするシーケンス／フィードバック制御の融合－2018

[Presentation] 自律同定機能を有する3軸ステージによる非接触搬送システムの開発－搬送時における安定性の検証および高速化の検討－2018

[Presentation] 自律同定機能を有する3軸ステージによる非接触搬送システムの開発 -搬送時における安定性の検証および高速化の検討-2018