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Nakagawa Masaru  中川 勝

… Alternative Names

NAKAGAWA Masaru  中川 勝

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Researcher Number 10293052
Other IDs
  • ORCIDhttps://orcid.org/0000-0001-7735-0453
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Affiliation (Current) 2025: 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2025: 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授
2014 – 2018: 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授
2008 – 2011: Tohoku University, 多元物質科学研究所, 教授
2010: 東京工業大学, 資源化学研究所, 准教授
2007: 東京工業大学, 資源化学研究所, 准教授 … More
2002 – 2005: 東京工業大学, 資源化学研究所, 助教授
2000 – 2001: 東京工業大学, 資源化学研究所, 助手
1997: Tokyo Institute of Technology, Research Laboratory of Resources Utilization, Res, 資源化学研究所, 助手 Less
Review Section/Research Field
Principal Investigator
Polymer/Textile materials / 高分子合成 / Medium-sized Section 28:Nano/micro science and related fields / Production engineering/Processing studies / Science and Engineering / Science and Engineering
Except Principal Investigator
Nanomaterials/Nanobioscience / Science and Engineering / 高分子構造・物性(含繊維)
Keywords
Principal Investigator
材料加工・処理 / 高分子合成 / 超薄膜 / 表面・界面物性 / ナノ材料 / マイクロ・ナノデバイス / 微細加工 / 高分子構造・物性 / 表面電位 / 光化学 … More / ナノ加工 / 界面科学 / 表面・海面物性 / ナノインプリント技術 / ドライエッチング / 原子間力顕微鏡 / ミクロゲル / ナノギャップ / 光ラジカル重合 / 蛍光 / ナノインプリント / アライメント / 生産技術 / 化学めっき / 金属化 / ナノ薄膜 / 環境低負荷 / 金属配線 / 化学メッキ / 光加工 / 界面・表面 / 高分子 / 分子シンクロナイゼーション / 界面・表面物性 / 接着 / パターニング / 界面 … More
Except Principal Investigator
配向制御 / 転写プロセス / ミクロ相分離 / ナノ材料 / 原子間力顕微鏡 / Nano-Metallized Materials / Domain-Selective Etching / Domain-Selective Metallization / Templating Process / Perpendicular Alignment / Nanocylindrical Array Structure / Micro-Phase Structure / Amphiphilic Block Copolymer / 高分子凝集体 / 錠剤成型 / 六方格子 / X線小角散乱 / 表面ナノ規則構造 / ナノシリンダーアレイ構造 / ミクロ相分離構 / ナノ金属材料 / 選択的エッチング / 選択的金属化 / 垂直配向 / ナノシリンダー配列構造 / 相分離構造 / 両親媒性ブロック共重合体 / Lyotropic phase / Orientational control / Nematic Phase / Reorientation / Dichorism / Linearly polarized light / Thin film / Azobenzene / 偏光顕微分光 / リオトロピック相 / ネマチック相 / 再配向 / 二色性 / 直線偏光 / 薄膜 / アゾベンゼン / アゾベンゼンメソゲン / リアルタイム同時測定 / X線小角散乱分光同時測定 / 材料開発支援システム / ナノ相分離構造 / 垂直配向ナノシリンダー構造 / 液晶ポリマー / ナノ相分離構造形成 / ブロックコ ポリマー / 転写複合化 / シリンダー構造 / X線散乱 / X線散乱分光同時測定 / ブロックコポリマー / ナノシリンダー構造 / マイクロ・ナノデバイス / イオンチャンネル / ブロック共重合 / 液晶 / レドックス機能 / 超分子化学 / 自己組織化 / デンドロン / ピリジニウムβジケトン / 相互作用経路 / ハイスピン状態 / 多段階レドックス / 共役組織化材料 / 外場応答分子 / 紫外可視吸収ベクトル / 表面電位 / ブリュースター角顕微鏡 / アゾベンゼン誘導体 / 水面単分子膜 / フォトメカニカル効果 Less
  • Research Projects

    (14 results)
  • Research Products

    (152 results)
  • Co-Researchers

    (23 People)
  •  おわん型ナノ集光器配列体の構築による多電子光還元反応の機能化Principal Investigator

    • Principal Investigator
      中川 勝
    • Project Period (FY)
      2025 – 2028
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • Review Section
      Medium-sized Section 28:Nano/micro science and related fields
    • Research Institution
      Tohoku University
  •  Leveling nanometer-scale mechanical properties of photopolymerized monomer ultrathin filmsPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      Nakagawa Masaru
    • Project Period (FY)
      2015 – 2018
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Polymer/Textile materials
    • Research Institution
      Tohoku University
  •  Study of sub-10nm alignment by fluorescence interference fringesPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      NAKAGAWA Masaru
    • Project Period (FY)
      2014 – 2015
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Tohoku University
  •  分子エレクトロニクスに資する電極作製技術と機能分子接合Principal Investigator

    • Principal Investigator
      中川 勝
    • Project Period (FY)
      2010 – 2011
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Innovative Areas (Research in a proposed research area)
    • Review Section
      Science and Engineering
    • Research Institution
      Tohoku University
  •  Study of polymer thin films for processing of metal thin films in thermal nanoimprint lithographyPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      NAKAGAWA Masaru
    • Project Period (FY)
      2008 – 2010
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Polymer/Textile materials
    • Research Institution
      Tohoku University
  •  Simultaneous Dynamic Measurement of Transcription and Formation Processes of Ultra-anisotropic Cylinder Nanostructures

    • Principal Investigator
      IYODA Tomokazu
    • Project Period (FY)
      2006 – 2010
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
    • Research Field
      Nanomaterials/Nanobioscience
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  Fabrication of Perpendicularly Aligned Nanocylinder Array Structures and Nano-Metallized Materials Using Block Copolymer Films

    • Principal Investigator
      IYODA Tomokazu
    • Project Period (FY)
      2003 – 2005
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • Research Field
      Nanomaterials/Nanobioscience
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  レドックス機能共役分子の動的ナノ組織化と電子構造制御

    • Principal Investigator
      IYODA Tomokazu
    • Project Period (FY)
      2002 – 2003
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • Review Section
      Science and Engineering
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  ブロック共重合体のミクロ相分離を利用した電子・イオンチャンネルの作製

    • Principal Investigator
      彌田 智一
    • Project Period (FY)
      2002
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • Review Section
      Science and Engineering
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  ポジ型感光性高分子の界面吸着膜による環境低負荷型金属配線基板の開発Principal Investigator

    • Principal Investigator
      中川 勝
    • Project Period (FY)
      2002 – 2004
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
    • Research Field
      高分子合成
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  パターン化単分子膜上での界面電荷情報の増幅による選択的な物質捕捉Principal Investigator

    • Principal Investigator
      中川 勝
    • Project Period (FY)
      2001 – 2002
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • Review Section
      Science and Engineering
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  界面吸着分子の光重合反応を利用したナノ・マイクロパターン化単分子膜の作製Principal Investigator

    • Principal Investigator
      中川 勝
    • Project Period (FY)
      2000 – 2002
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
    • Research Field
      高分子合成
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  二次元高分子組織体のフォトメカニカル特性

    • Principal Investigator
      関 隆広
    • Project Period (FY)
      1997
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  Orientational photocontrol of dye molecules assisted by polymer surfaces

    • Principal Investigator
      ICHIMURA Kunihiro
    • Project Period (FY)
      1996 – 1997
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      高分子構造・物性(含繊維)
    • Research Institution
      Research Laboratory of Resources Utilization, Tokyo Institute of Technology

All 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2012 2011 2010 2009 2008 2005 2004

All Journal Article Presentation Book Patent

  • [Book] 光機能性有機・高分子材料における新たな息吹(監修 市村國宏)2019

    • Author(s)
      中川勝(第8編6章担当 ナノインプリント技術における光機能材料)
    • Total Pages
      333
    • Publisher
      シーエムシー出版
    • ISBN
      9784781314143
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Book] ナノインプリントの開発とデバイス応用第10章第1節「ナノインプリントパターン評価」2011

    • Author(s)
      久保祥一, 中川勝
    • Publisher
      シーエムシー出版
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Journal Article] Sequential infiltration synthesis- and solvent annealing-induced morphological changes in positive-tone e-beam resist patterns evaluated by atomic force microscopy2019

    • Author(s)
      Y. Ozaki, S. Ito, T. Nakamura, M. Nakagawa
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 58 Issue: SD Pages: SDDJ04-SDDJ04

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab0496

    • NAID

      210000155914

    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860, KAKENHI-PROJECT-17H03423
  • [Journal Article] Surface modification of polyimide laser-drilled screen-printing masks for low-viscosity liquids in print-and-imprint method2019

    • Author(s)
      T. Nakamura, N. Endo, S. Ito, R. Kuroda, M. Nakagawa
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: -

    • NAID

      210000156167

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Journal Article] Selection of diacrylate monomers for sub-15 nm ultraviolet nanoimprinting by resonance shear measurement2018

    • Author(s)
      Ito Shunya、Kasuya Motohiro、Kurihara Kazue、Nakagawa Masaru
    • Journal Title

      Langmuir

      Volume: 34 Issue: 32 Pages: 9366-9375

    • DOI

      10.1021/acs.langmuir.8b01881

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17K05740, KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Journal Article] Visualization of organic/inorganic hybridization of UV-cured films with trimethylaluminum by scanning transmission electron microscopy and energy dispersive x-ray spectroscopy2018

    • Author(s)
      M. Nakagawa, T. Uehara, Y. Ozaki, T. Nakamura, S. Ito
    • Journal Title

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      Volume: 36 Issue: 6

    • DOI

      10.1116/1.5047822

    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860, KAKENHI-PROJECT-17H03423
  • [Journal Article] Elemental depth profiles and plasma etching rates of positive-tone electron beam resists after sequential infiltration synthesis of alumina2018

    • Author(s)
      Y. Ozaki, S. Ito, N. Hiroshiba, T. Nakamura, M. Nakagawa
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 57 Issue: 6S1 Pages: 06HG01-06HG01

    • DOI

      10.7567/jjap.57.06hg01

    • NAID

      210000149169

    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860, KAKENHI-PROJECT-17H03423
  • [Journal Article] Development of UV-curable liquid for in-liquid fluorescence alignment in ultraviolet nanoimprint lithography2018

    • Author(s)
      K. Ochiai, E. Kikuchi, Y. Ishito, M. Kumagai, T. Nakamura, M. Nakagawa
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 57 Issue: 6S1 Pages: 06HG02-06HG02

    • DOI

      10.7567/jjap.57.06hg02

    • NAID

      210000149170

    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860, KAKENHI-PROJECT-17H03423
  • [Journal Article] Pulsed Laser Drilling of Engineering Plastic Films to Fabricate Through-Hole Membranes for Print-and-Imprint Method2018

    • Author(s)
      T. Nakamura, K. Seki, K. Nagase, M. Nakagawa
    • Journal Title

      Transactions of the Materials Research Society of Japan

      Volume: 43 Issue: 5 Pages: 289-292

    • DOI

      10.14723/tmrsj.43.289

    • NAID

      130007491265

    • ISSN
      1382-3469, 2188-1650
    • Year and Date
      2018-10-01
    • Language
      English
    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860, KAKENHI-PROJECT-17H03423
  • [Journal Article] Surface forces between hydrophilic silica surfaces in a moisture-sensitive oleophilic diacrylate monomer liquid2018

    • Author(s)
      Ito Shunya、Kasuya Motohiro、Kurihara Kazue、Nakagawa Masaru
    • Journal Title

      AIP Advances

      Volume: 8 Issue: 2 Pages: 025122-025122

    • DOI

      10.1063/1.4991630

    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17K05740, KAKENHI-PROJECT-26248002, KAKENHI-PROJECT-16J05484, KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Journal Article] Development of UV-Curable Resins Suitable for Reverse-Tone Lithography for Au Metamaterials Using a Print-and-Imprint Method2018

    • Author(s)
      T. Uehara, S. Sato, S. Ito, H. Yano, T. Nakamura, M. Nakagawa
    • Journal Title

      Bull. Chem. Soc. Jpn.

      Volume: 91 Issue: 2 Pages: 178-186

    • DOI

      10.1246/bcsj.20170280

    • NAID

      130006350304

    • ISSN
      0009-2673, 1348-0634
    • Language
      English
    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860, KAKENHI-PROJECT-16J05484, KAKENHI-PROJECT-17H03423
  • [Journal Article] Principle and observation of fluorescence moire fringes for alignment in print and imprint methods2017

    • Author(s)
      E. Kikuchi, Y. Ishito, S. Matsubara, T. Nakamura, M. Abe, M. Nakagawa
    • Journal Title

      Vac. Sci. Technol. B

      Volume: 35 Issue: 6

    • DOI

      10.1116/1.4990844

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Journal Article] Silica imprint templates with concave patterns from single-digit nanometers fabricated by electron beam lithography involving argon ion beam milling2017

    • Author(s)
      S. Ito, E. Kikuchi, M. Watanabe, Y. Sugiyama, Y. Kanamori, M. Nakagawa
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys.

      Volume: 56 Issue: 6S1 Pages: 06GL01-06GL01

    • DOI

      10.7567/jjap.56.06gl01

    • NAID

      210000147918

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Journal Article] 2.Nanometer-Resolved Fluidity of an Oleophilic Monomer between Silica Surfaces Modified with Fluorinated Monolayers for Nanoimprinting2017

    • Author(s)
      Shunya Ito, Motohiro Kasuya, Kazue Kurihara, Masaru Nakagawa
    • Journal Title

      ACS Appl. Mater. Interfaces

      Volume: 9 Issue: 7 Pages: 6591-6598

    • DOI

      10.1021/acsami.6b15139

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26248002, KAKENHI-PROJECT-16J05484, KAKENHI-PROJECT-15K17801, KAKENHI-PROJECT-17K05740, KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Journal Article] 期待のナノインプリントリソグラフィ、現状と今後の課題2016

    • Author(s)
      中川勝
    • Journal Title

      応用物理

      Volume: 85 Pages: 480-484

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Journal Article] Size-Dependent Filling Behavior of UV-Curable Di(meth)acrylate Resins into Carbon-Coated Anodic Aluminum Oxide Pores of around 20 nm2016

    • Author(s)
      M. Nakagawa, A. Nakaya, Y. Hoshikawa, S. Ito, N. Hiroshiba, T. Kyotani
    • Journal Title

      ACS Appl. Mater. Interfaces

      Volume: 8 Issue: 44 Pages: 30628-30634

    • DOI

      10.1021/acsami.6b10561

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860, KAKENHI-PROJECT-16J05484, KAKENHI-PROJECT-26420672
  • [Journal Article] Demolding in Ultraviolet Nanoimprinting Assisted by a Nanoscale Lubricating Fluid Layer of Condensed Alternative Chlorofluorocarbon2016

    • Author(s)
      M. Nakagawa, S. Kaneko, S. Ito
    • Journal Title

      Bull. Chem. Soc. Jpn.

      Volume: 89 Issue: 7 Pages: 786-793

    • DOI

      10.1246/bcsj.20160107

    • NAID

      130005253047

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860, KAKENHI-PROJECT-16J05484
  • [Journal Article] Viscosity range of UV-curable resins usable in print and imprint method for preparing sub-100-nm-wide resin patterns2016

    • Author(s)
      T. Uehara, A. Onuma, A. Tanabe, K. Nagase, H. Ikedo, N. Hiroshiba, T. Nakamura, M. Nakagawa
    • Journal Title

      J. Vac. Sci. Technol. B.

      Volume: 34 Issue: 6

    • DOI

      10.1116/1.4963374

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860, KAKENHI-PROJECT-15J05451
  • [Journal Article] Condition Determination of Ultraviolet Light Exposure for High-Throughput Nanoimprinting2016

    • Author(s)
      Y. Ishito, H. Yano, N. Hiroshiba, S. Kubo, M. Nakagawa
    • Journal Title

      Chem. Lett.

      Volume: 45 Issue: 12 Pages: 1373-1375

    • DOI

      10.1246/cl.160663

    • NAID

      130005475739

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860, KAKENHI-PROJECT-16K20912
  • [Journal Article] Silica/Ultraviolet-Cured Resin Nanocomposites for Replica Molds in Ultraviolet Nanoimprinting2012

    • Author(s)
      C.M.Yun, S.Kudo, K.Nagase, S.Kubo, M.Nakagawa
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 51(採択済)

    • NAID

      210000140802

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Journal Article] ナノインプリントリソグラフィにおける光機能材料化学2011

    • Author(s)
      中川勝、久保祥一
    • Journal Title

      マテリアルインテグレーション

      Volume: 24 Pages: 248-253

    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Journal Article] Resist Pattern Inspection Using Fluorescent Dye-Doped Polystyrene Thin Films in Reactive-Monolayer-Assisted Thermal Nanoimprint Lithography2011

    • Author(s)
      S.Kubo, Y.Sato, Y.Hirai, M.Nakagawa
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 50 Issue: 6S Pages: 06GK10-06GK10

    • DOI

      10.1143/jjap.50.06gk10

    • NAID

      210000070747

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Journal Article] Optically Transparent and Refractive Index-tunable ZrO_2/Photopolymer Composites Designed for Ultraviolet Nanoimprinting2011

    • Author(s)
      S.Kudo, K.Nagase, S.Kubo, M.Nakagawa
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 50 Issue: 6S Pages: 06GK12-06GK12

    • DOI

      10.1143/jjap.50.06gk12

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Journal Article]2011

    • Author(s)
      Shoichi Kubo, Yuko Sato, Yoshihiko Hirai, Masaru Nakagawa
    • Journal Title

      J. Appl. Phys.

      Volume: (in press)

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Journal Article] Resist Properties of Thin Poly (methyl methacrylate) and Polystyrene Films Patterned by Thermal Nanoimprint Lithography for Au Electrodeposition2010

    • Author(s)
      Koichi Nagase, Shoichi Kubo, Masaru Nakagawa
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 49

    • NAID

      210000068708

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Journal Article] Reactive-monolayer-assisted thermal nanoimprint lithography with benzo-phenone-containing trimethoxysilane derivative for patterning thin chromium and copper films2010

    • Author(s)
      Shoichi Kubo, Tomoyuki Ohtake, Eui-Chul Kang, Masaru Nakagawa
    • Journal Title

      J. Photopolym. Sci. Technol.

      Volume: 23 Pages: 83-86

    • NAID

      130004833343

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Journal Article] Resist properties of thin poly(methyl methacrylate)and poly(styrene)films patterned by thermal nanoimprint lithography2010

    • Author(s)
      Koichi Nagase, Shoichi Kubo, Masaru Nakagawa
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys.

      Volume: 49

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Journal Article] Thermal nanoimprint of a poly(styrene)and poly(4-vinylpyridine)double-layer thin film and visualization determination of its internal structure by transmission electron microscopy2009

    • Author(s)
      Masaru Nakagawa, Noriyoshi Kamata, Tomokazu Iyoda, Shinji Matsui
    • Journal Title

      Jpn. J. Appy. Phys.

      Volume: 48

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Journal Article] Photo-induced graft reactions of 4-methoxybenzophenone with thermoplastic polymers designed for reactive monolayer-assisted thermal nanoimprint lithography2009

    • Author(s)
      Tomoyuki Ohtake, Hirokazu Oda, Toshiaki Takaoka, Masaru Nakagawa
    • Journal Title

      J.Photopolym.Sci.Technol. 22

      Pages: 205-211

    • NAID

      130004833264

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Journal Article] Thermal nanoimprint of a poly(styrene)and poly(4-vinylpyridine)double-layer thin film and visualization determination of its internal structure by transmission electron microscopy2009

    • Author(s)
      Masaru Nakagawa, Noriyoshi Kamata, Tomokazu Iyoda, Shinji Matsui
    • Journal Title

      Jpn.J.Appy.Phys. 48

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Journal Article] ポリ(メタクリル酸メチル)へのベンゾフェノン誘導体の光グラフト反応2009

    • Author(s)
      大嶽知之, 高岡利明, 中川勝
    • Journal Title

      高分子論文集

      Volume: 66 Pages: 111-117

    • NAID

      10024760073

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Journal Article] Optical monitoring of a poly(styrene)residual layer on a photocrosslinkable monolayer in thermal nanoimprint2009

    • Author(s)
      Koichi Nagase, Shoichi Kubo, Tomoyuki Ohtake, Toshiaki Takaoka, Masaru Nakagawa
    • Journal Title

      J.Photopolym.Sci.Technol. 22

      Pages: 200-204

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Journal Article] Photo-induced graft reactions of 4-methoxybenzophenone with thermoplastic polymers designed for reactive monolayer-assisted thermal nanoimprint lithography2009

    • Author(s)
      Tomoyuki Ohtake, Hirokazu Oda, Toshiaki Takaoka, Masaru Nakagawa
    • Journal Title

      J. Photopolym. Sci. Technol.

      Volume: 22 Pages: 205-211

    • NAID

      130004833264

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Journal Article] ポリ(メタクリル酸メチル)へのベンゾフェノン誘導体の光グラフト反応2009

    • Author(s)
      大嶽知之, 高岡利明, 中川勝
    • Journal Title

      高分子論文集 66

      Pages: 111-117

    • NAID

      10024760073

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Journal Article] Optical monitoring of a poly(styrene)residual layer on a photocrosslinkable monolayer in thermal nanoimprint2009

    • Author(s)
      Koichi Nagase, Shoichi Kubo, Tomoyuki Ohtake, Toshiaki Takaoka, Masaru Nakagawa
    • Journal Title

      J. Photopolym. Sci. Technol

      Volume: 22 Pages: 200-204

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Journal Article] Photo-reactive chemisorbed monolayer suppressing polymer dewetting in thermal nanoimprint lithography2009

    • Author(s)
      Hirokazu Oda, Tomoyuki Ohtake, Takaoka Toshiaki, Masaru Nakagawa
    • Journal Title

      Langmuir 25

      Pages: 6604-6606

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Journal Article] Photo-reactive chemisorbed monolayer suppressing polymer dewetting in thermal nanoimprint lithography2009

    • Author(s)
      Hirokazu Oda, Tomoyuki Ohtake, Toshiaki Takaoka, Masaru Nakagawa
    • Journal Title

      Langmuir

      Volume: 25 Pages: 6604-6606

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Journal Article] Selective Ni-P Electroless Plating on Photopatterned Cationic Adsorption Films influenced by Alkyl Chain Lengths of Polyelectrolyte Adsorbates and Additive Surfactants2005

    • Author(s)
      M.Nakagawa
    • Journal Title

      Langmuir 20

      Pages: 9844-9851

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15201024
  • [Journal Article] Tubular and Twisted Ni-P Fibers molded from Morphology-tunable and recyclable Organic Templates of Hydrogen-bonded Supramolecular Assemblages2005

    • Author(s)
      M.Nakagawa
    • Journal Title

      Advanced Materials 17

      Pages: 200-205

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15201024
  • [Journal Article] Aggregation Control and Photochemical Behaviors in UV-Sensitive Organosilane Monolayers Bearing Naphthylmethylsulfonyl Groups2005

    • Author(s)
      M.Tagaya, M.Nakagawa, T.Iyoda
    • Journal Title

      Trans.Mater.Res.Soc.Jpn. (in press)

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14703028
  • [Journal Article] Tubular and Twisted Ni-P Fibers Molded from Morphology-Tunable and Recyclable Organic Templates of Hydrogen-Bonded Supramolecular Assemblages2005

    • Author(s)
      M.Nakagawa, D.Ishii, K.Aoki, T.Seki, T.Iyoda
    • Journal Title

      Adv.Mater. 17(2)

      Pages: 200-205

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14703028
  • [Journal Article] Single-Layer Adsorption Films of a Cationic Polymer Determined by UV-Visible Spectroscopy and Atomic Force Microscopy2005

    • Author(s)
      Y.Suzuki, M.Nakagawa, T.Iyoda
    • Journal Title

      Trans.Mater.Res.Soc.Jpn. (in press)

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14703028
  • [Journal Article] Selective Ni-P Electroless Plating on Photopatterned Cationic Adsorption Films Influenced by Alkyl Chain Lengths of Polyelectrolyte Adsorbates and Additive Surfactants2004

    • Author(s)
      M.Nakagawa, N.Nawa, T.Iyoda
    • Journal Title

      Langmuir 20(22)

      Pages: 9844-9851

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14703028
  • [Journal Article] Photopattern Shapes of a Photodegradable Polyelectrolyte Monolayer Affected by an Ionic Strength of Aqueous Developer Solutions2004

    • Author(s)
      N.Nawa, M.Nakagawa, T.Seki, T.Iyoda
    • Journal Title

      Trans.Mater.Res.Soc.Jpn. 29(3)

      Pages: 881-884

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14703028
  • [Patent] ナノインプリント用複製モールド2011

    • Inventor(s)
      中川勝, 工藤進平, 尹哲民, 永瀬康一, 久保祥一
    • Industrial Property Rights Holder
      国立大学法人東北大学
    • Industrial Property Number
      2011-226695
    • Filing Date
      2011-10-14
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Patent] 金属膜パターン付き基体の製造方法,及びモールドの製造方法2011

    • Inventor(s)
      中川勝, 永瀬康一, 久保祥一
    • Industrial Property Rights Holder
      国立大学法人東北大学
    • Industrial Property Number
      2011-207444
    • Filing Date
      2011-09-22
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Patent] 金属配線基板、およびその製法2009

    • Inventor(s)
      中川勝, 永瀬康一, 大嶽知之, 高岡利明
    • Industrial Property Rights Holder
      日油株式会社, 国立大学法人東北大学
    • Industrial Property Number
      2009-026938
    • Acquisition Date
      2009-02-09
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Patent] 蛍光レジスト組成物および、その用途2009

    • Inventor(s)
      大嶽知之, 中川勝, 川島政彦, 高岡利明, 久保祥一
    • Industrial Property Rights Holder
      日油株式会社, 国立大学法人東北大学, 旭化成イーマテリアルズ株式会社
    • Industrial Property Number
      2009-200307
    • Acquisition Date
      2009-08-31
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Patent] 金属配線基板、およびその製法2009

    • Inventor(s)
      中川勝, 永瀬康一, 大嶽知之, 高岡利明
    • Industrial Property Rights Holder
      国立大学法人東北大学日油株式会社
    • Industrial Property Number
      2009-026938
    • Filing Date
      2009-02-09
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Patent] 透明導電基板の製造方法、及び透明導電基板2009

    • Inventor(s)
      川島政彦, 中川勝, 永瀬康一, 大嶽知之, 高岡利明
    • Industrial Property Rights Holder
      旭化成イーマテリアルズ株式会社, 国立大学法人東北大学, 日油株式会社
    • Industrial Property Number
      2009-200724
    • Acquisition Date
      2009-08-31
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Patent] 金属被覆物、金属配線基板及びそれらの製造方法2005

    • Inventor(s)
      中川 勝, 鈴木 悠二, 名輪 希, 彌田 智一
    • Industrial Property Rights Holder
      国立大学法人 東京工業大学
    • Industrial Property Number
      2005-062184
    • Filing Date
      2005-03-07
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-14703028
  • [Presentation] 光学メタマテリアルの量産複製を目指したナノインプリント技術2019

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      高分子学会 ポリマーフロンティア21
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] ナノインプリント技術の現状と展望2019

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      マテリアル・ファブリケーション・デザインセミナー 同時開催:日本セラミックス協会第7回MFD研究会
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] ナノインプリント技術における新しい材料とプロセスの創製2019

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      信州大学 化学・材料学科 セミナー
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 領域選択的原子層堆積に基づく光ナノインプリントリソグラフィ2018

    • Author(s)
      上原卓也, 尾崎優貴, 廣芝伸哉, 中村貴宏, 中川勝
    • Organizer
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] Morphological changes in positive-tone EB resist patterns induced by sequential infiltration synthesis and solvent annealing2018

    • Author(s)
      Yuki Ozaki, Shunya Ito, Takahiro Nakamura, and Masaru Nakagawa
    • Organizer
      31th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC 2018)
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] トリメチルアルミニウムを用いた3種類の化学気相反応法による光硬化レジストの有機-無機ハイブリッド化の膜厚方向の化学組成解析2018

    • Author(s)
      伊東 駿也, 上原 卓也, 尾崎 優貴, 中村 貴宏, 中川 勝
    • Organizer
      第67回高分子討論会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 重合性液体のシリカナノ空間中での流動性と一桁ナノ造形2018

    • Author(s)
      伊東 駿也, 粕谷 素洋, 栗原 和枝, 中川 勝
    • Organizer
      第4回東北大学若手研究者アンサンブルワークショップ
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] NILレジスト材料の有機/無機ハイブリッド化2018

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      次世代リソグラフィ(NGL)ワークショップ2018
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 二等辺三角形貫通孔の周期配列体を有するアルミニウム薄膜から生じる光誘起起電力と周期配列体の配置2018

    • Author(s)
      矢野春菜, 岩田健吾, 石原照也, 中川勝
    • Organizer
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 反応性無機前駆体の曝露方法の違いによる光硬化樹脂薄膜の有機-無機ハイブリッド化の比較2018

    • Author(s)
      上原卓也, 尾崎優貴, 廣芝伸哉, 中村貴宏, 中川勝
    • Organizer
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] ポジ型電子線レジストの各プロセスにおける分子レベルでの考察2018

    • Author(s)
      尾﨑 優貴, 伊東 駿也, 中村 貴宏, 中川 勝
    • Organizer
      2018年度高分子・ハイブリッド材料研究センター(PHyM)若手フォーラム
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 蛍光顕微鏡観察による位置選択的吸着分子膜表面修飾の評価2018

    • Author(s)
      落合 研斗, 伊東 駿也, 中村 貴宏, 中川 勝
    • Organizer
      2018年度高分子・ハイブリッド材料研究センター(PHyM)若手フォーラム
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] ナノインプリントによる一桁ナノ造形2018

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      2018年度日本表面真空学会学術講演会
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] ナノインプリント技術で見えてきた有機分子・高分子薄膜の表面・界面現象2018

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      高分子学会東北支部講演会
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] Improved etching resistance of UV-cured films with/without hydroxy groups by organic/inorganic hybridization through sequential infiltration synthesis and sequential vapor infiltration2018

    • Author(s)
      Takuya Uehara, Yuki Ozaki, Shunya Ito, Nobuya Hiroshiba, Takahiro Nakamura, Masaru Nakagawa,
    • Organizer
      he 62st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2018)
    • Invited / Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 蛍光アライメントに向けた液体の位置選択的成形のための表面修飾2018

    • Author(s)
      落合 研斗, 伊東 駿也, 中村 貴宏, 中川 勝
    • Organizer
      第18回東北大学多元物質科学研究所研究発表会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] Fluidity of an oleophilic monomer in nano-gap between reactive adhesive monolayers for UV nanoimprinting2018

    • Author(s)
      Shunya Ito, Motohiro Kasuya, Kazue Kurihara, Masaru Nakagawa
    • Organizer
      The 62st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2018)
    • Invited / Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] ナノインプリントで一桁ナノ造形に挑む2018

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      高分子・ハイブリッド材料研究センター 2018 PHyMシンポジウム
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 反応性無機前駆体ガスの浸透を利用した光ナノインプリントレジスト材料の改質2018

    • Author(s)
      上原 卓也, 尾﨑 優貴, 伊東 駿也, 廣芝 伸哉, 中村 貴宏, 中川 勝
    • Organizer
      第8回 物質・デバイス領域共同研究拠点活動報告会及び平成29年度ダイナミック・アライアンス成果報告会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 光ナノインプリントによる一桁nm造形に向けた重合性モノマーの粘度増加の理解2018

    • Author(s)
      伊東 駿也, 粕谷 素洋, 栗原 和枝, 中川 勝
    • Organizer
      高分子・ハイブリッド材料研究センター 2018 PHyMシンポジウム
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] ナノインプリントによる高分子材料の一桁ナノ造形への挑戦2018

    • Author(s)
      Shunya Ito, Takahiro Nakamura, Masaru Nakagawa
    • Organizer
      第46回東北地区高分子若手研究会夏季ゼミナール
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 光誘起起電力を示す薄膜アルミニウム電源の複製を目指した光ナノインプリント技術におけるlift-off processの検討2018

    • Author(s)
      矢野春菜, 中川勝
    • Organizer
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] Filling behavior of diacrylate monomers into silica holes of around 10 nm2018

    • Author(s)
      Shunya Ito, Motohiro Kasuya, Kazue Kurihara, Masaru Nakagawa
    • Organizer
      MNE2018
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] Depth profiles of fluorescent dyes in UV-cured resin films evaluated by evanescent wave-induced fluorescence microscopy2018

    • Author(s)
      Shunya Ito, Kento Ochiai, Masaru Nakagawa, Trevor A. Smith
    • Organizer
      Melbourne-Tohoku Workshop 2018
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] ナノインプリントで一桁ナノ造形に挑む2018

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      2018年度第1回極限ナノ造形・構造物性研究会講演会
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] シングルナノ造形にむけた研究2017

    • Author(s)
      中川勝, 伊藤駿也
    • Organizer
      2017年第1回ナノインプリント技術研究会
    • Place of Presentation
      東京都(五反田アリアル会議室)
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] Print and Imprint法によるマイクロ電極作製に向けた残膜厚均一化の検討2017

    • Author(s)
      関健斗, 中村貴宏, 佐藤慎弥, 熊谷真莉, 永瀬和郎, 中川勝
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川県横浜市(パシフィコ横浜)
    • Year and Date
      2017-03-14
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] Print and Imprint法に向けたピコ秒パルスレーザーによる異なるエンジニアリングプラスチックフィルムへの貫通孔の形成加工2017

    • Author(s)
      関健斗, 中村貴宏, 永瀬和郎, 中川勝
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川県横浜市(パシフィコ横浜)
    • Year and Date
      2017-03-14
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 逐次浸透合成によるポジ型電子線レジストの有機-無機ハイブリッド化2017

    • Author(s)
      尾崎優貴, 伊東駿也, 廣芝伸哉, 中村貴宏, 中川勝
    • Organizer
      第66回高分子討論会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 表面力・共振擦り測定に基づく極限ナノインプリント造形2017

    • Author(s)
      伊東駿也, 中川勝
    • Organizer
      2017年度第1回極限ナノ造形・構造物性研究会講演会
    • Place of Presentation
      東京都(東北大学東京分室)
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] アルミニウム薄膜への三角形、正方形、円形の貫通孔配列体の作製とそれらの可視光誘起起電力2017

    • Author(s)
      矢野春菜, 岩田健吾, 石原照也, 中川勝
    • Organizer
      第17回東北大学多元物質科学研究所研究発表会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] シングルナノパターニングに向けた界面分子科学からのアプローチ2017

    • Author(s)
      伊東駿也, 中川勝
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川県横浜市(パシフィコ横浜)
    • Year and Date
      2017-03-14
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] フェムト秒パルスレーザーを用いて作製したポリイミド孔版のホール形状と光硬化性液体の吐出量の関係2016

    • Author(s)
      田辺明, 大町弘毅, 中村貴宏, 佐藤俊一, 中川勝
    • Organizer
      第63回 応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京都(東京工業大学大岡山キャンパス)
    • Year and Date
      2016-03-19
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 光ナノインプリントリソグラフィを目指したレーザー加工による光硬化性液体塗布用孔版の作製2016

    • Author(s)
      関健斗, 永瀬和郎, 中村貴宏, 廣芝伸哉, 中川勝, 中村貴宏
    • Organizer
      第63回 応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京都(東京工業大学大岡山キャンパス)
    • Year and Date
      2016-03-19
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] ナノインプリントリソグラフィにおけるSub-20nmでの課題2016

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      第6回リソグラフィ将来技術調査専門委員会
    • Place of Presentation
      東京都(自動車会館)
    • Year and Date
      2016-01-15
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630016
  • [Presentation] 高分子学会有機エレクトロニクス研究会2016

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      ナノインプリントリソグラフィの総合科学技術の創出に向けて
    • Place of Presentation
      東京都(化学会館ホール)
    • Year and Date
      2016-01-21
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] Nanoscale surface elasticity of photo-cured thin films for UV nanoimprint lithography2016

    • Author(s)
      Haruna Yano, Shoichi Kubo, Ken Nakajima, Masaru Nakagawa
    • Organizer
      The 3rd CWRU-Tohoku Joint workshop Collaboration on Data Science Engineering
    • Place of Presentation
      宮城県仙台市(東北大学片平キャンパス)
    • Year and Date
      2016-08-09
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 光を利用した界面機能分子制御材料の開発2016

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      ポリマーフロンティア21講演会
    • Place of Presentation
      東京都(東京工業大学蔵前会館)
    • Year and Date
      2016-03-10
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] Visualization of microgels formed in UV-cured thin films by AFM2016

    • Author(s)
      Haruna Yano, Masaru Nakagawa
    • Organizer
      The 9th Integrated Molecular / Materials Science & Engineering (IMSE-9)
    • Place of Presentation
      Qingdao,China(Qingdao University of Science & Technology)
    • Year and Date
      2016-10-13
    • Invited / Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] Print and imprint for nanofabrication2016

    • Author(s)
      Takahiro Nakamura, Kento Seki, Masaru Nakagawa
    • Organizer
      2nd International Conference on Photoalignment & Photopatterning in Soft Materials (PhoSM)2016
    • Place of Presentation
      Nagoya(Nagoya University)
    • Year and Date
      2016-11-24
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] Etching durability enhanced with silane-containing additives in UV nanoimprint lithography2016

    • Author(s)
      Shunya Ito, Masaru Nakagawa
    • Organizer
      The 9th Integrated Molecular / Materials Science & Engineering (IMSE-9)
    • Place of Presentation
      Qingdao,China(Qingdao University of Science & Technology)
    • Year and Date
      2016-10-13
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] ピコ秒パルスレーザー穴あけ加工によるポリイミド孔版の作製と光硬化性液体の位置選択的塗布2016

    • Author(s)
      中村貴宏, 関健斗, 永瀬和郎, 中川勝
    • Organizer
      応用物理学会次世代リソグラフィ(NGL)技術研究会ワークショップ2016
    • Place of Presentation
      東京都(東京工業大学蔵前会館)
    • Year and Date
      2016-07-07
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] Nanoimprinting silica templates with Micro-, Sub-20-nm, and 7-nm patterns fabricated by electron beam lithography2016

    • Author(s)
      Shunya Ito, Eri Kikuchi, Masahiko Watanabe, Yoshinari Sugiyama, Masaru Nakagawa
    • Organizer
      29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC 2016)
    • Place of Presentation
      Kyoto(ANA Crowne Plaza)
    • Year and Date
      2016-11-08
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] ナノインプリントリソグラフィにおけるSub-20nmでの課題2016

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      第6回リソグラフィ将来技術調査専門委員会
    • Place of Presentation
      東京都(自動車会館)
    • Year and Date
      2016-01-15
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] Dependence of film thickness on surface elasticity and acrylate consumption in UV-cured thin films on Au surfaces2016

    • Author(s)
      Haruna Yano, Xiaobin Liang, Shoichi Kubo, Nobuko Fukuda, Hirobumi Ushijima, Ken Nakajima, Masaru Nakagawa
    • Organizer
      29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC 2016)
    • Place of Presentation
      Kyoto(ANA Crowne Plaza)
    • Year and Date
      2016-11-08
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 原原子間力顕微鏡で観察される膜厚sub-100 nmでの光硬化樹脂薄膜における表面弾性率の膜厚依存性2016

    • Author(s)
      矢野 春菜, 久保祥一,中川勝, 藤浪想, 中嶋健
    • Organizer
      第63回 応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京都(東京工業大学大岡山キャンパス)
    • Year and Date
      2016-03-19
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 光硬化樹脂薄膜の表面弾性率マッピング像における膜厚依存性に関する考察2016

    • Author(s)
      矢野春菜, 久保祥一, 中川勝, 梁暁斌, 藤波想, 中嶋健
    • Organizer
      応用物理学会次世代リソグラフィ(NGL)技術研究会ワークショップ2016
    • Place of Presentation
      東京都(東京工業大学蔵前会館)
    • Year and Date
      2016-07-07
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] ナノインプリントリソグラフィの総合科学技術の創出に向けて2016

    • Author(s)
      中川 勝
    • Organizer
      高分子学会有機エレクトロニクス研究会
    • Place of Presentation
      東京都(化学会館ホール)
    • Year and Date
      2016-01-21
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630016
  • [Presentation] ナノインプリントリソグラフィの現状と界面機能分子制御2016

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      第25回光反応・電子用材料研究会講座
    • Place of Presentation
      東京都(東京理科大学森戸記念館)
    • Year and Date
      2016-01-20
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 界面機能分子制御に立脚したナノインプリントリソグラフィ2015

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      2015年度精密工学会秋季大会 学術講演会
    • Place of Presentation
      宮城県仙台市(東北大学川内キャンパス)
    • Year and Date
      2015-09-05
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630016
  • [Presentation] Development of silicon-containing additives to improve etching durability for sub-50 nm patterning by UV nanoimprint lithography2015

    • Author(s)
      Shunya Ito, Hiroki Sato, Kimihito Watanuki, Nobukatsu Nemoto, Masaru Nakagawa
    • Organizer
      28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC 2015)
    • Place of Presentation
      Toyama,Japan(Toyama International Conference Center)
    • Year and Date
      2015-11-12
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 界面機能分子制御に立脚したナノインプリントリソグラフィ2015

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      先端ナノデバイス・材料テクノロジー第151委員会 平成27年度 第1回合同研究会
    • Place of Presentation
      東京都(早稲田大学西早稲田キャンパス)
    • Year and Date
      2015-07-03
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630016
  • [Presentation] ナノインプリントリソグラフィの科学2015

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      第209回フォトポリマー懇話会
    • Place of Presentation
      東京都(東京理科大学森戸記念館)
    • Year and Date
      2015-04-24
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630016
  • [Presentation] 光硬化樹脂薄膜のナノスケールで不均一な表面弾性率とエッチング耐性2015

    • Author(s)
      久保祥一, 矢野春菜, 上原卓也, 中川勝, 梁暁斌, 藤波想, 中嶋健
    • Organizer
      第64回高分子討論会
    • Place of Presentation
      宮城県仙台市(東北大学川内キャンパス)
    • Year and Date
      2015-09-17
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 界面機能分子制御に立脚したナノインプリントリソグラフィ2015

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      2015年度精密工学会秋季大会 学術講演会
    • Place of Presentation
      宮城県仙台市(東北大学川内キャンパス)
    • Year and Date
      2015-09-05
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 酸素反応性イオンエッチングによる線幅45 nm光硬化樹脂パターンの残膜除去2015

    • Author(s)
      上原卓也, 廣芝伸哉, 中川勝
    • Organizer
      第64回高分子討論会
    • Place of Presentation
      宮城県仙台市(東北大学川内キャンパス)
    • Year and Date
      2015-09-17
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 光示差走査熱量測定による光ナノインプリント用光硬化性組成物の重合性基消費率の検討2015

    • Author(s)
      佐藤慎弥, 伊東駿也, 中川勝
    • Organizer
      2015高分子学会東北支部研究発表会
    • Place of Presentation
      秋田県秋田市(秋田大学国際資源学部附属鉱業博物館)
    • Year and Date
      2015-11-12
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 光ナノインプリントリソグラフィに向けた高粘性光硬化性組成物のスクリーン印刷2015

    • Author(s)
      廣芝伸哉, 田辺明, 上原卓也, 中川勝
    • Organizer
      次世代リソグラフィー(NGL)ワークショップ2015
    • Place of Presentation
      東京都(東京工業大学蔵前会館)
    • Year and Date
      2015-07-06
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] ナノ触診AFMによる光ナノインプリントレジストの開発2015

    • Author(s)
      畔柳志帆, 伊東駿也, 梁暁斌, 中嶋健, 中川勝
    • Organizer
      2015高分子学会東北支部研究発表会
    • Place of Presentation
      秋田県秋田市(秋田大学国際資源学部附属鉱業博物館)
    • Year and Date
      2015-11-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] サブ20nmの直径を有する炭素被覆モールド空隙への光硬化性組成物の充填挙動2015

    • Author(s)
      中川勝, 中谷顕史, 廣芝伸哉
    • Organizer
      次世代リソグラフィー(NGL)ワークショップ2015
    • Place of Presentation
      東京都(東京工業大学蔵前会館)
    • Year and Date
      2015-07-07
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] 界面機能分子制御に立脚したナノインプリントリソグラフィ2015

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      先端ナノデバイス・材料テクノロジー第151委員会 平成27年度 第1回合同研究会
    • Place of Presentation
      東京都(早稲田大学西早稲田キャンパス)
    • Year and Date
      2015-07-03
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15H03860
  • [Presentation] Rapid curing for UV-nanoimprinting2014

    • Author(s)
      Yota Ishito, Masaru Nakagawa
    • Organizer
      International Symposium on Integrated Molecular/Materials
    • Place of Presentation
      China, Jiangsu, Nanjing
    • Year and Date
      2014-11-01
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630016
  • [Presentation] Investigation of the minimum UV-exposure period for high-throughput UV nanoimprinting2014

    • Author(s)
      Yota Ishito, Masaru Nakagawa
    • Organizer
      13th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT 2014)
    • Place of Presentation
      京都府京都市
    • Year and Date
      2014-10-23
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630016
  • [Presentation] 光ナノインプリントプロセスの高速化を目指した最短成型時間に関する考察2014

    • Author(s)
      石戸洋太, 中川勝
    • Organizer
      第63回高分子討論会
    • Place of Presentation
      長崎県長崎市
    • Year and Date
      2014-09-24
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630016
  • [Presentation] ナノインプリントリソグラフィの科学2014

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      第63回高分子討論会
    • Place of Presentation
      長崎県長崎市
    • Year and Date
      2014-09-24
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-26630016
  • [Presentation] 界面化学結合型熱ナノインプリントリソグラフィによる貴金属格子パターンの作製と透明導電膜への応用2011

    • Author(s)
      久保祥一, 永瀬康一, 大嶽知之, 姜義哲, 片岡浩, 山田正, 中川勝
    • Organizer
      第60回高分子討論会
    • Place of Presentation
      岡山
    • Year and Date
      2011-09-29
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Presentation] Resolution Limit to Observe Nanoimprinted Patterns Using Fluorescent Molecules2011

    • Author(s)
      T.Tamioka, K.Kobayashi, S.Kubo, M.Nakagawa
    • Organizer
      International Symposium on Integrated Molecular/Materials Engineering 2011
    • Place of Presentation
      北京(中国)
    • Year and Date
      2011-06-07
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Presentation] 界面化学結合型熱ナノインプリントリソグラフィにより得られる透明導電銀樹脂シート2011

    • Author(s)
      永瀬康一, 久保祥一, 中川勝
    • Organizer
      東北大学多元物質科学研究所高分子・ハイブリッド材料研究センターシンポジウム
    • Place of Presentation
      仙台
    • Year and Date
      2011-06-17
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Presentation] Silica/UV-Cured Resin Nanocomposites for Replica Molds in UV Nanoimprinting2011

    • Author(s)
      S.Kudo, C.M.Yun, K.Nagase, S.Kubo, M.Nakagawa
    • Organizer
      24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2011)
    • Place of Presentation
      京都
    • Year and Date
      2011-10-27
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Presentation] 界面化学結合型熱ナノインプリントリソグラフィにより作製される網目状透明導電樹脂基板2011

    • Author(s)
      久保祥一, 中川勝
    • Organizer
      NGLワークショップ2011
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2011-07-12
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Presentation] Transparent Conductive Polymer Substrates Covered with a Silver Fish-Net Structure Prepared by Reactive-Monolayer-Assisted Thermal Nanoimprint Lithography2011

    • Author(s)
      K.Nagase, M.Kawashima, T.Ohtake, E.C.Kang, S.Kubo, M.Nakagawa
    • Organizer
      26th European Photovoltaic Solar Energy Conference (EU PVSEC 2011)
    • Place of Presentation
      ハンブルグ(ドイツ)
    • Year and Date
      2011-09-08
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Presentation] 界面化学結合型熱ナノインプリントリソグラフィによる高分子薄膜の成型と金属薄膜の微細加工2010

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      第18回ポリマー材料フォーラム
    • Place of Presentation
      三井化学グループ横浜研究センター(神奈川県)
    • Year and Date
      2010-06-20
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] Resist Pattern Inspection Using Fluorescent Dye-Doped Poly (styrene) Thin Films in Reactive-Monolayer-Assisted Thermal Nanoimprint Lithography2010

    • Author(s)
      S.Kubo, Y.Sato, M.Nakagawa
    • Organizer
      The 23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2010)
    • Place of Presentation
      福岡県小倉
    • Year and Date
      2010-11-11
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Presentation] Reactive-Monolayer-Assisted Thermal Nanoimprint Lithography for Fine Metal Patterning2010

    • Author(s)
      S.Kubo, K.Nagase, M.Nakagawa
    • Organizer
      The 9th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT2010)
    • Place of Presentation
      デンマーク(コペンハーゲン)
    • Year and Date
      2010-10-14
    • Data Source
      KAKENHI-PUBLICLY-22108502
  • [Presentation] 残膜除去プロセスによるポリ(スチレン)薄膜内部の親水化2010

    • Author(s)
      久保祥一, 佐藤祐子, 中川勝
    • Organizer
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      平塚
    • Year and Date
      2010-03-20
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] ナノインプリントリソグラフィにおける界面機能分子制御2010

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      平成22年東北ポリマー懇話会
    • Place of Presentation
      岩手
    • Year and Date
      2010-01-22
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] ナノインプリント密着層および離型層の材料化学2010

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      日本化学会ATP(ナノインプリント)
    • Place of Presentation
      大阪
    • Year and Date
      2010-03-27
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] 界面化学結合型ナノインプリントリソグラフィーによる高分子薄膜の成型と金属薄膜の微細加工2010

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      ソフトナノ材料研究ステーション・高分子学会東北支部ジョイントシンポジウム
    • Place of Presentation
      仙台
    • Year and Date
      2010-03-11
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] 界面化学結合型ナノインプリントリソグラフィによる高分子薄膜の成型と金属膜の微細加工2009

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      第18回ポリマー材料フォーラム
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2009-11-26
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] Resist properties of poly(methyl methacrylate)and poly(styrene)thin films patterned by thermal nanoimprint lithography for Auelectrodeposition2009

    • Author(s)
      永瀬康一, 久保祥一, 中川勝
    • Organizer
      MNC2009
    • Place of Presentation
      札幌
    • Year and Date
      2009-11-18
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] 界面化学結合型熱ナノインプリントリソグラフィ(III)-熱ナノインプリント用蛍光レジスト-2009

    • Author(s)
      佐藤祐子, 永瀬康一, 久保祥一, 中川勝
    • Organizer
      第58回高分子討論会
    • Place of Presentation
      熊本
    • Year and Date
      2009-09-17
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] 光反応性吸着単分子膜上におけるポリ(スチレン)薄膜の脱ぬれの光制御2009

    • Author(s)
      小田博和, 大嶽知之, 高岡利明, 中川勝
    • Organizer
      第58回高分子年次大会
    • Place of Presentation
      神戸
    • Year and Date
      2009-05-27
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] 熱ナノインプリント用蛍光レジストにおけるドライエッチングの影響2009

    • Author(s)
      佐藤祐子, 久保祥一, 中川勝
    • Organizer
      2009高分子学会東北支部研究発表会
    • Place of Presentation
      青森
    • Year and Date
      2009-11-19
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] 界面化学結合型熱ナノインプリントリソグラフィによる高分子薄膜の成型と金属薄膜の微細加工2009

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      第18回ポリマー材料フォーラム
    • Place of Presentation
      船堀(東京都)
    • Year and Date
      2009-11-26
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] 光架橋型単分子密着層を特徴とする界面化学結合型熱ナノインプリントリソグラフィ2009

    • Author(s)
      久保祥一, 小田博和, 中川勝
    • Organizer
      第37回東北地区高分子若手研究会夏季ゼミナール
    • Place of Presentation
      山形
    • Year and Date
      2009-07-30
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] 界面化学結合型熱ナノインプリントリソグラフィ(II)-電解めっきによるサブミクロン金パターンの形成-2009

    • Author(s)
      永瀬康一, 大嶽知之, 高岡利明, 久保祥一, 中川勝
    • Organizer
      第58回高分子討論会
    • Place of Presentation
      熊本
    • Year and Date
      2009-09-17
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] ナノインプリントリソグラフィによる金属パターン形成2009

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      第5回高分子学会東北地区若手セミナー
    • Place of Presentation
      仙台
    • Year and Date
      2009-03-09
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] UV/オゾン処理によるポリ(スチレン)薄膜のウエットエッチング耐性変化2009

    • Author(s)
      佐藤祐子, 月館義隆, 久保祥一, 中川勝
    • Organizer
      弟9回東北大学多元物質科学研究所研究発表会
    • Place of Presentation
      仙台
    • Year and Date
      2009-12-10
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] 界面化学結合型熱ナノインプリントリソグラフィ(I)-和周波発生分光法による単分子膜の光グラフト反応の追跡-2009

    • Author(s)
      小田博和, 恩田健, 中川勝
    • Organizer
      第58回高分子討論会
    • Place of Presentation
      熊本
    • Year and Date
      2009-09-17
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] 熱ナノインプリント-電解めっき法によるマイクロ金バンプの作製2009

    • Author(s)
      永瀬康一, 大嶽知之, 高岡利明, 中川勝
    • Organizer
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      筑波
    • Year and Date
      2009-03-30
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] 界面化学結合型熱ナノインプリントリソグラフィによるポリスチレン成型と電解めっきによる金薄膜のマイクロサイズ加工2009

    • Author(s)
      永瀬康一, 久保祥一, 中川勝
    • Organizer
      第37回東北地区高分子若手研究会夏季ゼミナール
    • Place of Presentation
      山形
    • Year and Date
      2009-07-30
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] Reactive-monolayer-assisted thermal nanoimprint lithography2009

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      ISIMME2009
    • Place of Presentation
      成都、中国
    • Year and Date
      2009-10-27
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] Photo-induced grafit reactions of 4-methoxybenzophenone with thermoplastic polymers designed for reactive-monolayer-assisted thermal nanoimprint lithography2009

    • Author(s)
      Tomoyuki Ohtake, Toshikaki Takaoka, Hirokazu Oda, Masaru Nakagawa
    • Organizer
      26th International Conference of Photopolymer Science and Technology(ICPST-26)
    • Place of Presentation
      千葉
    • Year and Date
      2009-07-01
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] 光反応性密着層を特徴とするナノインプリント法2009

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      第31回ナノテク部会研究会
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2009-07-09
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] Thermal nanoimprinting and visualization of poly(styrene)and poly(4-vinylpyridine)double-layered thin films designed for electroless deposition2008

    • Author(s)
      Masaru Nakagawa, Noriyoshi Kamata
    • Organizer
      21st, International Macroprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2008)
    • Place of Presentation
      Fukuoka
    • Year and Date
      2008-10-29
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] Optical study on poly(styrene)resist patterns prepared by thermal nanoimprint lithography2008

    • Author(s)
      永瀬康一, 中川勝
    • Organizer
      3rd Internal Symposium on Integrated Molecular/Materials Engineering(ISIME2008)
    • Place of Presentation
      Xian, China
    • Year and Date
      2008-11-07
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] Submicron pattern of a gold thin film by thermal nanoimprint and wet-etching with a photo-crosslinkable thiol-type monolayer2008

    • Author(s)
      小田博和, 大嶽知之, 高岡利明, 中川勝
    • Organizer
      3rd Internal Symposium on Integrated Molecular/Materials Engineering(ISIME2008)
    • Place of Presentation
      Xian, China
    • Year and Date
      2008-11-06
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] ポリ(スチレン)薄膜の熱ナノインプリント成型における光架橋型吸着膜のパーシャルフィル抑制効果2008

    • Author(s)
      小田博和, 大嶽知之, 高岡利明, 中川勝
    • Organizer
      東北大学 多元物質科学研究所発表会
    • Place of Presentation
      仙台
    • Year and Date
      2008-12-11
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] Profiling of a poly(styrene)residual layer in hot emboss using a mm-scale mold by a reflective thickness monitor2008

    • Author(s)
      永瀬康一, 中川勝
    • Organizer
      7th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT08)
    • Place of Presentation
      Kyoto
    • Year and Date
      2008-10-14
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] Thermal nanoimprinting of poly(styrene)and poly(4-vinylpyridine)double-layered thin films and internal-structure visualization by TEM2008

    • Author(s)
      中川勝
    • Organizer
      3rd Internal Symposium on Integrated Molecular/Materials Engineering(ISIME2008)
    • Place of Presentation
      Xian, China
    • Year and Date
      2008-11-07
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • [Presentation] Photo-induced chemisorption of poly(styrene)resist suppressing partial filling in thermal nanoimprint lithography2008

    • Author(s)
      小田博和, 大嶽知之, 高岡利明, 中川勝
    • Organizer
      7th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology(NNT08)
    • Place of Presentation
      Kyoto
    • Year and Date
      2008-10-14
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20350103
  • 1.  IYODA Tomokazu (90168534)
    # of Collaborated Projects: 4 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 2.  ASAOKA Sadayuki (50336525)
    # of Collaborated Projects: 3 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 3.  KAMATA Kaori (00361791)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 4.  YOSHIDA Hirohisa (20094287)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 5.  KUBO Shoichi (20514863)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 19 results
  • 6.  KOMURA Motonori (90401512)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 7.  WATANABE Shigeru (70253333)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 8.  MATSUI Shinji (00312306)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 2 results
  • 9.  ICHIMURA Kunihiro (90232412)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 10.  関 隆広 (40163084)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 11.  森野 慎也 (00282856)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 12.  林 ゆう子 (30218599)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 13.  廣芝 伸哉 (40635190)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 13 results
  • 14.  中嶋 健 (90301770)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 6 results
  • 15.  NAGAI Keiji
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 16.  ISHITO Yota
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 3 results
  • 17.  MATSUBARA Shinya
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 18.  KIKUCHI Eri
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 19.  ITO Shunya
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 2 results
  • 20.  LI Jingze
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 21.  WANG Feng
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 22.  KASUYA Motohiro
    # of Collaborated Projects: 0 results
    # of Collaborated Products: 3 results
  • 23.  栗原 和枝
    # of Collaborated Projects: 0 results
    # of Collaborated Products: 1 results

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