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Miyawaki Jun  宮脇 淳

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Researcher Number 20358138
Affiliation (Current) 2025: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 材料・化学領域, 主任研究員
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2015 – 2016: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, ナノ材料研究部門, 主任研究員
Review Section/Research Field
Principal Investigator
Nanomaterials engineering
Keywords
Principal Investigator
エッチング / プラズマ / 二次元層状物質
  • Research Projects

    (1 results)
  • Research Products

    (17 results)
  • Co-Researchers

    (1 People)
  •  Development of digital etching of 2D layered materials using the inward plasma methodPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      Miyawaki Jun
    • Project Period (FY)
      2015 – 2016
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • Research Field
      Nanomaterials engineering
    • Research Institution
      National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

All 2017 2016 2015

All Presentation Patent

  • [Patent] プラズマエッチング装置2016

    • Inventor(s)
      清水哲夫、宮脇 淳、他6名
    • Industrial Property Rights Holder
      産業技術総合研究所、三友製作所
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2016-050793
    • Filing Date
      2016-03-15
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] Morphology and electrical studies on defect-induced transition metal dichalcogenide nanosheet by O2 plasma treatment2017

    • Author(s)
      安藤淳、宮脇淳、堀川昌代、清水哲夫、久保利隆
    • Organizer
      ISPlasma2017/IC-PLANTS2017
    • Place of Presentation
      中部大学(愛知県春日井市)
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] Etching morphology of HOPG and Molybdenum Disulfide (MoS2) treated with inward-plasma2017

    • Author(s)
      久保利隆、宮脇淳、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
    • Organizer
      ISPlasma2017/IC-PLANTS2017
    • Place of Presentation
      中部大学(愛知県春日井市)
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] 吸引プラズマの精密エッチングレート制御2016

    • Author(s)
      狩野諒、菅洋志、新堀俊一郎、高橋賢、宮脇淳、久保利隆、安藤淳、清水哲夫
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] Single Layer Etching of MoS2 using Inward-Plasma2016

    • Author(s)
      久保 利隆、宮脇 淳、清水 哲夫、新堀俊一郎、高橋 賢、安藤 淳
    • Organizer
      日本化学会第96春季年会
    • Place of Presentation
      同志社大学(京都府京田部市)
    • Year and Date
      2016-03-25
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] STMとモンテカルロシミュレーションによる二次元層状物質の単層プラズマエッチング形状2016

    • Author(s)
      久保利隆、宮脇淳、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
    • Organizer
      ナノ学会
    • Place of Presentation
      北九州国際会議場(福岡県北九州市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] 吸引プラズマを用いたMoS2表面の層状エッチング形状2016

    • Author(s)
      久保利隆、宮脇淳、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
    • Organizer
      2016年真空・表面科学合同講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] 酸素プラズマ処理を用いた欠陥導入に伴う層状半導体の電気特性変化2016

    • Author(s)
      安藤淳、久保利隆、堀川昌代、宮脇淳、清水哲夫、森貴洋
    • Organizer
      ナノ学会
    • Place of Presentation
      北九州国際会議場(福岡県北九州市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] 吸引プラズマによるSi基板の高速局所エッチング加工2016

    • Author(s)
      宮脇 淳、狩野 諒、菅 洋志、久保 利隆、安藤 淳、新堀俊一郎、高橋 賢、清水 哲夫
    • Organizer
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学(東京都目黒区)
    • Year and Date
      2016-03-21
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] 吸引プラズマエッチング法を用いたSiO2ダイヤフラム構造作製技術の開発2016

    • Author(s)
      狩野諒、菅洋志、新堀俊一郎、高橋賢、久保利隆、安藤淳、清水哲夫、宮脇淳
    • Organizer
      2016年真空・表面科学合同講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] STM observation and Monte Carlo simulation of Molybdenum Disulfide (MoS2) Treated with Inward-Plasma Etching2016

    • Author(s)
      宮脇淳、久保利隆、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
    • Organizer
      ICSPM24
    • Place of Presentation
      ハワイコンベンションセンター(米国ハワイ州)
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] Fast local etching of Si substrates using inward plasma2016

    • Author(s)
      宮脇 淳、狩野 諒、菅 洋志、久保 利隆、安藤 淳、新堀俊一郎、高橋 賢、清水 哲夫
    • Organizer
      ISPlasma2016
    • Place of Presentation
      名古屋大学(愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2016-03-09
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] 吸引型プラズマによる二次元層状物質の単層エッチング2015

    • Author(s)
      久保 利隆、宮脇 淳、清水 哲夫、新堀俊一郎、高橋 賢、安藤 淳
    • Organizer
      ナノ学会第13回大会
    • Place of Presentation
      東北大学(宮城県仙台市)
    • Year and Date
      2015-05-11
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] 2D Network-like Nanostructure of Molybdenum Disulfide (MoS2) Formed by Inward-Plasma Etching2015

    • Author(s)
      久保 利隆、宮脇 淳、清水 哲夫、新堀俊一郎、高橋 賢、安藤 淳
    • Organizer
      International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM23)
    • Place of Presentation
      ニセコプリンスホテル(北海道虻田郡ニセコ町)
    • Year and Date
      2015-12-10
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] Morphology and Electrical Studies on Defect-induced MoS2 Nanosheet by O2 Plasma Treatment2015

    • Author(s)
      安藤 淳、堀川 昌代、宮脇 淳、清水 哲夫、久保 利隆
    • Organizer
      23rd International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM23)
    • Place of Presentation
      ニセコプリンスホテル(北海道虻田郡ニセコ町)
    • Year and Date
      2015-12-10
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] 吸引型プラズマによる二次元層状物質の広範囲単層エッチング2015

    • Author(s)
      宮脇 淳、久保 利隆、清水 哲夫、新堀俊一郎、高橋 賢、安藤 淳
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-16
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [Presentation] 二次元原子薄膜材料の単層剥離技術の開発2015

    • Author(s)
      久保 利隆、宮脇 淳、清水 哲夫、新堀俊一郎、高橋 賢、安藤 淳
    • Organizer
      真空・表面科学合同講演会
    • Place of Presentation
      茨城県つくば市
    • Year and Date
      2015-12-03
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • 1.  久保 利隆 (70344124)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 16 results

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