Tamaru Yuma 田丸雄摩

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TAMARU Yuuma 田丸雄摩

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Researcher Number	30284590
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Affiliation (Current)	2025: 九州工業大学, 大学院工学研究院, 助教
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2017 – 2024: 九州工業大学, 大学院工学研究院, 助教 2015: 九州工業大学, 大学院工学研究院, 助教 2013 – 2014: 九州工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 2012: 九州工業大学, 大学院・工学研究院, 助教 1996 – 1999: 九州工業大学, 工学部, 助手
Review Section/Research Field	Principal Investigator Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related / 設計工学・機械要素・トライボロジー Except Principal Investigator Production engineering/Processing studies / Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related / 機械工作・生産工学
Keywords	Principal Investigator 位置決め / 非接触微動 / 磁力微動 / 可撓機構 / 微動テーブル / ピエゾ素子 / 非接触支持 / 微動 / スクイーズ効果 / 微動送り … More / PZT / 微動制御 / 機械要素 / 精密位置決め / 圧電素子アクチュエータ … More Except Principal Investigator MEMS / 多点法 / 走査形状測定 / 真直度測定 / 平面度測定 / 機械加工面 / 多点法形状計測 / 運動誤差計測 / 加工計測 / 精密位置決め / 結晶異方性エッチング / 単結晶シリコン / スクイーズ効果 / 直動ステージ / ソフトウェアデータム / 平面計測 / 誤差分離 / 機上計測 / カンチレバー式変位計 / MEMS変位計 / 平面形状測定 / 形状計測 / オンマシン測定 / 運動誤差測定 / PIEZOELECTRIC ELEMENT / PRELOAD CHANGE / DOUBLE NUT / SLIDING SCREW / BALL SCREW / COARSE AND FINE FEEDING / LONG STROKE / ULTRAFINE FEEDING / 台形ねじ / 圧電素子 / 予圧変化 / 予圧ダブルナット / すべりねじ / ボールねじ / 粗微動 / 長ストローク / 超精密送り / 真直度 / 平面度 / 形状測定 Less

単結晶シリコンの多条微細V溝構造をかみ合わせた直動ステージ
- Principal Investigator
  
  清水浩貴
- Project Period (FY)
  2024 – 2026
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
磁力による非接触駆動と可撓機構支持で高精度位置決めを達成する2軸微動装置の開発Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  田丸雄摩
- Project Period (FY)
  2022 – 2024
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
機上測定用3×3センサアレイの開発と冗長データを活用する平面形状測定法の提案
- Principal Investigator
  
  清水浩貴
- Project Period (FY)
  2021 – 2024
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
Development of fine feed mechanism that provides table floating support and precision positioning with squeezed-air effectPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Tamaru Yuma
- Project Period (FY)
  2019 – 2022
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
Development of a profiler device for on-machine measurement of machined planer surface
- Principal Investigator
  
  Shimizu Hiroki
- Project Period (FY)
  2017 – 2019
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
Development of a form measuring device for machined planar surface by multi point method
- Principal Investigator
  
  Shimizu Hiroki
- Project Period (FY)
  2013 – 2015
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
Development of a micro probe unit for motion error measurement using three-point method and proof of an algorithm for reducing zero-adjustment error
- Principal Investigator
  
  SHIMIZU Hiroki
- Project Period (FY)
  2010 – 2012
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
PZTを利用した超微小変位機構の開発Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  田丸雄摩
- Project Period (FY)
  1998 – 1999
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- Research Field
  
  設計工学・機械要素・トライボロジー
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
DEVELOPMENT OF ULTRAFINE FEED UNIT COMBINED BY COARSE AND FINE FEEDING ON SINGLE ELEMENT
- Principal Investigator
  
  NAKASHIMA Katuhiro
- Project Period (FY)
  1996 – 1997
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  KYUSHU INSTITUTE OF TECHNOLOGY

All 2024 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2014 2012 2011 Other

All Journal Article Presentation

[Journal Article] Design and Prototyping of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces2022
- Author(s)
  Yuuma Tamaru, Kensuke Kawata, and Hiroki Shimizu
- Journal Title
  
  International Journal of Automation Technology
  
  Volume: 16 Issue: 5 Pages: 588-597
- DOI
  10.20965/ijat.2022.p0588
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- Year and Date
  2022-09-05
- Language
  English
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[Journal Article] A MEMS Device Integrating Multiple Cantilever Displacement Sensors to Evaluate Flat Machined Surfaces2022
- Author(s)
  Shimizu Hiroki、Graduate School of Engineering, Kyushu Institute of Technology 1-1 Sensui-cho, Tobata-ku, Kitakyushu-shi, Fukuoka 804-8550, Japan、Tamiya Koichi、Mizukami Shoichiro、Tamaru Yuuma
- Journal Title
  
  International Journal of Automation Technology
  
  Volume: 16 Issue: 5 Pages: 582-587
- DOI
  10.20965/ijat.2022.p0582
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- Year and Date
  2022-09-05
- Language
  English
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21K03791
[Journal Article] Square Layout Four-Point Method for Two-Dimensional Profile Measurement and Self-Calibration Method of Zero-Adjustment Error2018
- Author(s)
  Shimizu H., Yamashita R., Hashiguchi T., Miyata T., Tamaru Y.
- Journal Title
  
  International Journal of Automation Technology
  
  Volume: 12 Issue: 5 Pages: 707-713
- DOI
  10.20965/ijat.2018.p0707
- NAID
  130007472276
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- Year and Date
  2018-09-05
- Language
  English
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06082
[Presentation] 永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル（第2報）－出力変位・軸間干渉・姿勢誤差の推定－2024
- Author(s)
  田丸雄摩，床嶋功明，清水浩貴
- Organizer
  2024年度精密工学会春季大会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K03863
[Presentation] 3×3 正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定：第 2 報 ―形状測定用デバイスの設計―2024
- Author(s)
  野田樹生，中原洸太朗，田丸雄摩，清水浩貴
- Organizer
  2024 年度精密工学会春季大会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21K03791
[Presentation] 永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル（第1報）－吸引力校正と変位予測－2023
- Author(s)
  床嶋功明，田丸雄摩，清水浩貴
- Organizer
  2023年度精密工学会秋季大会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K03863
[Presentation] 永久磁石相互の磁気吸引力を用いた可撓支持微動テーブルの性能推定2023
- Author(s)
  床嶋功明，田丸雄摩，清水浩貴
- Organizer
  日本機械学会第54回卒業研究発表会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K03863
[Presentation] 3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定－測定データ接続法の比較－2023
- Author(s)
  時實拓紀，野田樹生，田丸雄摩，清水浩貴
- Organizer
  2023年度精密工学会春季大会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21K03791
[Presentation] Evaluation of Fine Feed Table Positioning for Non-Contact Support based on the Squeezed-Air Effect2023
- Author(s)
  Yuma Tamaru, Tomohiro Ushijima and Hiroki Shimizu
- Organizer
  The 10th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN) 2023
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K03863
[Presentation] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第5報）－長ストローク微動特性－2022
- Author(s)
  田丸雄摩，牛島智大，清水浩貴
- Organizer
  2022年度精密工学会春季大会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[Presentation] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第6報）－小ステップ変位微動特性－2022
- Author(s)
  田丸雄摩,牛島智大,清水浩貴
- Organizer
  2022年度精密工学会秋季大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[Presentation] Positioning Properties of Fine Feed Table for Non-contact Support with Squeezed-air Effect2022
- Author(s)
  Yuma TAMARU,Tomohiro USHIJIMA, and Hiroki SHIMIZU
- Organizer
  The 19th International Conference on Precision Engineering
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[Presentation] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第3報）－平行度調整による支持性能向上の検討－2021
- Author(s)
  田丸雄摩，東福修太朗，清水浩貴
- Organizer
  2021年度精密工学会春季大会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[Presentation] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第4報）－テーブル揺動特性の評価－2021
- Author(s)
  田丸雄摩，牛島智大，清水浩貴
- Organizer
  2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[Presentation] スクイーズ効果支持微動テーブルの性能向上2020
- Author(s)
  東福修太朗，田丸雄摩，清水浩貴
- Organizer
  九州学生会第51回学生員卒業研究発表講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[Presentation] Development of Fine Feed Table for Non-Contact Support and Positioning with Squeezed-Air Effect2019
- Author(s)
  Yuma Tamaru, Tetsuya Matsumoto and Hiroki Shimizu
- Organizer
  8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[Presentation] High sensitivity MEMS displacement sensor device for planar shape measurement by deposition of piezoelectric materials2019
- Author(s)
  K. Murayama, Y. Tamaru, H. Shimizu
- Organizer
  8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06082
[Presentation] Error Evaluation of Straightness Measurement Using a MEMS Device Integrating 10 Cantilever Displacement Sensors2019
- Author(s)
  Hiroki Shimizu, Shoichiro Mizukami, Makoto Manabe, Yuuma Tamaru
- Organizer
  The 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06082
[Presentation] 角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第1報）―測定原理の検討と基礎的検証―2014
- Author(s)
  藤田豊栄, 清水浩貴, 田丸雄摩
- Organizer
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- Place of Presentation
  東京大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[Presentation] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第4報）―表面荒れを抑えた探針製作法―2014
- Author(s)
  殘華智仁, 清水浩貴, 田丸雄摩, 坂本憲児
- Organizer
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- Place of Presentation
  東京大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[Presentation] 三点法を用いた機上測定用機械加工面形状計測装置2014
- Author(s)
  松本恵太, 清水浩貴, 田丸雄摩, 山下亮祐
- Organizer
  日本機械学会九州支部第67期総会・講演会
- Place of Presentation
  九州工業大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[Presentation] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第3報ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合)2012
- Author(s)
  水頭正一郎,清水浩貴,田丸雄摩
- Organizer
  2012年度精密工学会秋季大会
- Place of Presentation
  九州工業大学(福岡)
- Year and Date
  2012-09-10
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[Presentation] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第3報）―ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合―2012
- Author(s)
  水頭正一郎・清水浩貴・田丸雄摩
- Organizer
  2012 年度精密工学会秋季大会学術講演会
- Place of Presentation
  九州工業大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[Presentation] MEMS 技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第2 報マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作)2012
- Author(s)
  柳原慎也,水頭正一郎,清水浩貴,田丸雄摩,馬場昭好
- Organizer
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会
- Place of Presentation
  首都大学東京(東京)
- Year and Date
  2012-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[Presentation] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発-センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計-2011
- Author(s)
  秋好崇宏, 清水浩貴, 田丸雄摩
- Organizer
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会
- Place of Presentation
  東洋大学(東京都)(震災により当日講演中止)
- Year and Date
  2011-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[Presentation] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第2報)-マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作-2011
- Author(s)
  柳原慎也, 水頭正一郎, 清水浩貴, 田丸雄摩, 馬場昭好
- Organizer
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会
- Place of Presentation
  首都大学東京(東京都)
- Year and Date
  2011-03-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[Presentation] MEMS 技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計)2011
- Author(s)
  秋好崇宏,清水浩貴,田丸雄摩
- Organizer
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会
- Place of Presentation
  東洋大学(東京)
- Year and Date
  2011-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[Presentation] MEMS技術を応用した多点法走査型形状測定用センサデバイスの開発（第5報）―平面測定用デバイスの設計と構造解析―
- Author(s)
  菊地洋輝, 清水浩貴, 田丸雄摩, 坂本憲児
- Organizer
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- Place of Presentation
  鳥取大学鳥取キャンパス
- Year and Date
  2014-09-16 – 2014-09-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[Presentation] 角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第2報）-長ピッチ測定を援用した2次誤差軽減法の検討-
- Author(s)
  夘田将太, 清水浩貴, 田丸雄摩
- Organizer
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- Place of Presentation
  東洋大学白山キャンパス
- Year and Date
  2015-03-17 – 2015-03-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[Presentation] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第6報）-平面測定用デバイスの製作-
- Author(s)
  菊地洋輝, 清水浩貴, 田丸雄摩, 坂本憲児
- Organizer
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- Place of Presentation
  東洋大学白山キャンパス
- Year and Date
  2015-03-17 – 2015-03-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420057

1. SHIMIZU Hiroki (50323043)

# of Collaborated Projects: 5 results

# of Collaborated Products: 16 results
2. TAKEUCHI Shuuzou

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
3. BABA Akiyoshi (80304872)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 2 results
4. SAKAMOTO KENJI (10379290)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 3 results
5. NAKASHIMA Katuhiro (30093967)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
6. TAKAFUJI Kazuki (20128119)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results

Tamaru Yuma 田丸 雄摩

TAMARU Yuuma 田丸 雄摩

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

単結晶シリコンの多条微細V溝構造をかみ合わせた直動ステージ

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

磁力による非接触駆動と可撓機構支持で高精度位置決めを達成する2軸微動装置の開発Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

機上測定用3×3センサアレイの開発と冗長データを活用する平面形状測定法の提案

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Development of fine feed mechanism that provides table floating support and precision positioning with squeezed-air effectPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Development of a profiler device for on-machine measurement of machined planer surface

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Development of a form measuring device for machined planar surface by multi point method

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Development of a micro probe unit for motion error measurement using three-point method and proof of an algorithm for reducing zero-adjustment error

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

PZTを利用した超微小変位機構の開発Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

DEVELOPMENT OF ULTRAFINE FEED UNIT COMBINED BY COARSE AND FINE FEEDING ON SINGLE ELEMENT

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Journal Article] Design and Prototyping of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces2022

Author(s)

Journal Title

DOI

ISSN

Year and Date

Language

Data Source

[Journal Article] A MEMS Device Integrating Multiple Cantilever Displacement Sensors to Evaluate Flat Machined Surfaces2022

Author(s)

Journal Title

DOI

ISSN

Year and Date

Language

Data Source

[Journal Article] Square Layout Four-Point Method for Two-Dimensional Profile Measurement and Self-Calibration Method of Zero-Adjustment Error2018

Author(s)

Journal Title

DOI

NAID

Tamaru Yuma 田丸雄摩

TAMARU Yuuma 田丸雄摩

[Presentation] 永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル（第2報）－出力変位・軸間干渉・姿勢誤差の推定－2024

[Presentation] 永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル（第1報）－吸引力校正と変位予測－2023

[Presentation] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第5報）－長ストローク微動特性－2022

[Presentation] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第6報）－小ステップ変位微動特性－2022

[Presentation] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第3報）－平行度調整による支持性能向上の検討－2021

[Presentation] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第4報）－テーブル揺動特性の評価－2021