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FURUKAWA Katsuhiko  古川 勝彦

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古川 勝彦  フルカワ カツヒコ

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Researcher Number 40264121
Affiliation (Current) 2025: 九州大学, 学術研究・産学官連携本部, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2003: Kyushu University, Art, Science and Technology Center for Cooperative Research, Associate Professor, 産学連携センター, 助教授
2001 – 2002: 九州大学, 先端科学技術共同研究センター, 助教授
2000: 九州大学, 先端科学技術共同研究センター, 助手
1999: 九州大学, 先端科学技術共同開発センター, 助手
1997 – 1998: 九州大学, 先端科学技術共同研究センター, 助手
1995: 九州大学, 先端科学技術共同研究センター, 助手
Review Section/Research Field
Principal Investigator
Electronic materials/Electric materials / 機能・物性・材料
Except Principal Investigator
Electronic materials/Electric materials
Keywords
Principal Investigator
低温形成 / XPS / AES / ECRスパッダリング / シリコン酸窒化膜 / スパッタリング / ECR / プラズマ酸化 / ゲート酸化膜 / シリコン酸化膜 … More / 構造評価 / ECRスパッタリング / シリコン系絶縁膜 / 有機磁性体モデル分子 / 有機超常磁性体 / 有機超高スピンオリゴマー … More
Except Principal Investigator
スパッタリング / シリコン / stack structure / sislicon nitride film / silicon oxide film / high permittivity insulating film / Sputtering / electron cyclotron resonance plasma / Silicon / 電子サイクロトロンプ共鳴ラズマ / 積層構造 / 窒化膜 / 酸化膜 / 高誘電率絶縁膜 / 電子サイクロトロンプラズマ / SPUTTERING / ELECTRICAL FUNCTIONALITY / LOW TEMPERATURE FORMATION OF THIN FILM / ECR PLASMA / VERY THIN FILM / SILICON / 低温薄膜形成 / 電気的機能性 / 低温形成 / ECRプラズマ / 極薄絶縁膜 Less
  • Research Projects

    (5 results)
  • Co-Researchers

    (1 People)
  •  Low Temperature Fabrication of High-Permittivity Gate Insulating Film and Its Functional Evaluation for Next Generation LSI.

    • Principal Investigator
      NAKASHIMA Hiroshi
    • Project Period (FY)
      2001 – 2003
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Electronic materials/Electric materials
    • Research Institution
      Kyushu University
  •  低温で形成された高品質シリコン酸窒化断縁膜の薄膜化に関する研究Principal Investigator

    • Principal Investigator
      古川 勝彦
    • Project Period (FY)
      2000 – 2001
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
    • Research Field
      Electronic materials/Electric materials
    • Research Institution
      Kyushu University
  •  低温で形成された高品質極薄シリコン系絶縁膜の構造評価に関する研究Principal Investigator

    • Principal Investigator
      古川 勝彦
    • Project Period (FY)
      1998 – 1999
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
    • Research Field
      Electronic materials/Electric materials
    • Research Institution
      Kyushu University
  •  STUDY ON LOW TEMPERATURE FORMATION OF VERY THIN AND HIGH-QUALITY Si-BASED INSULATING FILMS AND ITS FUNCTIONAL EVALUATION

    • Principal Investigator
      NAKASHIMA Hiroshi
    • Project Period (FY)
      1997 – 1998
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      Electronic materials/Electric materials
    • Research Institution
      KYUSHU UNIVERSITY
  •  有機超高スピン分子及び有機超常磁性体のCW及びパルスFT-ESRによる研究Principal Investigator

    • Principal Investigator
      古川 勝彦
    • Project Period (FY)
      1995
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
    • Research Field
      機能・物性・材料
    • Research Institution
      Kyushu University
  • 1.  NAKASHIMA Hiroshi (70172301)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 0 results

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