Yoshitomi Kenichiro 吉冨健一郎

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吉冨健一郎ヨシトミケンイチロウ

YOSHITOMI Kenichiro 吉冨健一郎

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Researcher Number	40546149
Affiliation (Current)	2025: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), システム工学群, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2021 – 2023: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), システム工学群, 教授 2017: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), システム工学群, 准教授 2016: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, システム工学群, 准教授 2014 – 2015: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, その他部局等, 准教授 2012 – 2013: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, システム工学群, 准教授
Review Section/Research Field	Principal Investigator Production engineering/Processing studies / Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
Keywords	Principal Investigator 薄型基板 / 冷凍液 / 冷凍ピンチャック / 反り / 石英ガラス基板 / ディスペンサ / 半導体デバイス / 水膜チャック / 研磨パッド / 高平坦化 … More / 高能率研磨 / スラリ / 水膜ポーラスチャック / 溝パターン / 研磨パット / 加工レート / 高回転高圧研磨 / 凝固保持 / 研磨 / 石英ガラス / 真空チャック / 基板変形 / ウエハ保持 / 石英ガラスウエハ / 研削・研磨 / 石英ウエハ / マスク基板 / 凝固固着 / 平坦化研磨 Less

ディスペンサを用いた精密パルス供給による高回転高圧研磨に関する研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  吉冨健一郎
- Project Period (FY)
  2021 – 2024
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
- Research Institution
  防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群)
The study of polishing process to fabricate a nonwarped thin substrate using freezing pin chuckPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Yoshitomi Kenichiro
- Project Period (FY)
  2015 – 2017
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群)
Basic study of a fabrication technique of a nonwarped waferPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  YOSHITOMI Kenichiro
- Project Period (FY)
  2012 – 2014
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群)

All 2023 2022 2017 2016 2015 2014 2013 2012

All Journal Article Presentation

[Journal Article] Development of High-Speed Rotation Polishing System with Slurry Confinement and Friction-State Control2023
- Author(s)
  Kenichiro Yoshitomi , Yoshinori Shimada, Atsunobu Une
- Journal Title
  
  International Journal of Automation Technology
  
  Volume: 17 Issue: 1 Pages: 55-63
- DOI
  10.20965/ijat.2023.p0055
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- Year and Date
  2023-01-05
- Language
  English
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21K03800
[Journal Article] Development of a Freezing Pin Chuck for Polishing (2nd Report)2016
- Author(s)
  吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，餅田正秋
- Journal Title
  
  Journal of the Japan Society for Precision Engineering
  
  Volume: 82 Issue: 1 Pages: 82-86
- DOI
  10.2493/jjspe.82.82
- NAID
  130005118321
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05748
[Journal Article] Development of a Freezing Pin Chuck for Polishing (1st Report)2014
- Author(s)
  吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，小笠原永久，餅田正秋
- Journal Title
  
  Journal of the Japan Society for Precision Engineering
  
  Volume: 80 Issue: 10 Pages: 950-955
- DOI
  10.2493/jjspe.80.950
- NAID
  130004696414
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24760113
[Presentation] 水膜チャック用微細気孔ポーラス材の平坦化研磨とチャック特性2023
- Author(s)
  吉冨健一郎、宇根篤暢
- Organizer
  2023年度砥粒加工学会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21K03800
[Presentation] 水膜ポーラスチャックの開発2022
- Author(s)
  吉冨健一郎、宇根篤暢
- Organizer
  2022年度砥粒加工学会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21K03800
[Presentation] 水膜ポーラスチャックの基板保持特性2022
- Author(s)
  吉冨健一郎、宇根篤暢
- Organizer
  2022年度砥粒加工学会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21K03800
[Presentation] 冷凍ピンチャックを用いた石英ガラス基板の平坦化研磨ーピン間冷却液の効果ー2017
- Author(s)
  吉冨健一郎,宇根篤暢,餅田正秋
- Organizer
  2017年度砥粒加工学会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05748
[Presentation] Grinding characteristics using a freezing pin chuck for a warped quartz glass wafer2017
- Author(s)
  K. Yoshitomi, A. Une, M. Mochida
- Organizer
  The 20th International Symposium on Advancesin Abrasive Technology
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05748
[Presentation] Development of a freezing pin chuck system to prevent a thin substrate from deformation2016
- Author(s)
  K. Yoshitomi,K. Tada,A. Une,M. Mochida
- Organizer
  The 19th International Symposium on Advancesin Abrasive Technology
- Place of Presentation
  Stockholm, Sweden
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05748
[Presentation] 冷凍ピンチャックを用いた基板保持手順の最適化2016
- Author(s)
  吉冨健一郎,多田一生,宇根篤暢,餅田正秋
- Organizer
  砥粒加工学会
- Place of Presentation
  兵庫県立大学（兵庫県，姫路市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05748
[Presentation] 冷凍ピンチャックを用いた高平坦化研磨（第１報）－メニスカス力の基板変形への影響－2015
- Author(s)
  多田一生，吉冨健一郎，餅田正秋，宇根篤暢
- Organizer
  精密工学会
- Place of Presentation
  宮城県，仙台市
- Year and Date
  2015-09-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05748
[Presentation] 冷凍ピンチャックにおける冷凍液の最適塗布法2015
- Author(s)
  多田一生，吉冨健一郎，餅田正秋，宇根篤暢
- Organizer
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- Place of Presentation
  東洋大学
- Year and Date
  2015-03-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24760113
[Presentation] 研磨用冷凍ピンチャックの基板保持特性2014
- Author(s)
  多田一生，吉冨健一郎，餅田正秋，宇根篤暢
- Organizer
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- Place of Presentation
  鳥取大学
- Year and Date
  2014-09-16
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24760113
[Presentation] 研磨による無反りウエハの創成（第3報）－冷凍ピンチャックの冷却特性と研磨への適用－2013
- Author(s)
  吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，餅田正秋
- Organizer
  2013年度精密工学会春季大会
- Place of Presentation
  目黒区，東京都
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24760113
[Presentation] Development of a freezing pin chuck for polishing to fabricate a nonwarped substrate: Fixing characteristics to polish a quartz glass wafer2013
- Author(s)
  K. Yoshitomi, A. Une, K. Takehana and M. Mochida
- Organizer
  13th Euspen International Conference
- Place of Presentation
  ベルリン，ドイツ
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24760113
[Presentation] Development of a freezing pin chuck for fabricating a nonwarped substrate: Peeling due to thermal stress during polishing and deformation during fixing2012
- Author(s)
  K. Takehana, A. Une, N. Ogasawara, K. Yoshitomi, M. Mochida
- Organizer
  12th Euspen International Conference
- Place of Presentation
  ストックホルム，スウェーデン
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24760113
[Presentation] 研磨による無反りウエハの創成（第2報）－揺動速度制御型塗布法と研磨熱によるはく離メカニズムの解明－2012
- Author(s)
  竹鼻亮道，宇根篤暢，吉冨健一郎，餅田正秋
- Organizer
  2012年度精密工学会秋季大会
- Place of Presentation
  北九州市，福岡県
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24760113
[Presentation] 冷凍ピンチャックを用いた石英ウエハの研磨加工（第1 報）－低温度条件下における研磨速度－2012
- Author(s)
  吉冨健一郎，餅田正秋
- Organizer
  2012年度砥粒加工学会学術講演会
- Place of Presentation
  京田辺市，京都
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24760113

1. Une Atsunobu (10535371)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 5 results

Yoshitomi Kenichiro 吉冨 健一郎

吉冨 健一郎 ヨシトミ ケンイチロウ

YOSHITOMI Kenichiro 吉冨 健一郎

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

ディスペンサを用いた精密パルス供給による高回転高圧研磨に関する研究Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

The study of polishing process to fabricate a nonwarped thin substrate using freezing pin chuckPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Basic study of a fabrication technique of a nonwarped waferPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Journal Article] Development of High-Speed Rotation Polishing System with Slurry Confinement and Friction-State Control2023

Author(s)

Journal Title

DOI

ISSN

Year and Date

Language

Data Source

[Journal Article] Development of a Freezing Pin Chuck for Polishing (2nd Report)2016

Author(s)

Journal Title

DOI

NAID

ISSN

Language

Data Source

[Journal Article] Development of a Freezing Pin Chuck for Polishing (1st Report)2014

Author(s)

Journal Title

DOI

NAID

ISSN

Language

Data Source

[Presentation] 水膜チャック用微細気孔ポーラス材の平坦化研磨とチャック特性2023

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] 水膜ポーラスチャックの開発2022

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] 水膜ポーラスチャックの基板保持特性2022

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] 冷凍ピンチャックを用いた石英ガラス基板の平坦化研磨ーピン間冷却液の効果ー2017

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] Grinding characteristics using a freezing pin chuck for a warped quartz glass wafer2017

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] Development of a freezing pin chuck system to prevent a thin substrate from deformation2016

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Data Source

[Presentation] 冷凍ピンチャックを用いた基板保持手順の最適化2016

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Data Source

[Presentation] 冷凍ピンチャックを用いた高平坦化研磨（第１報）－メニスカス力の基板変形への影響－2015

Author(s)

Yoshitomi Kenichiro 吉冨健一郎

吉冨健一郎ヨシトミケンイチロウ

YOSHITOMI Kenichiro 吉冨健一郎