Kitajima Takeshi 北嶋武

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KITAJIMA Takeshi 北嶋武

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Researcher Number	50424198
Other IDs	https://orcid.org/0000-0002-0884-6751
Affiliation (Current)	2025: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), 電気情報学群, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2015: 防衛大学校, 電気情報学群, 准教授 2013 – 2015: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, その他部局等, 准教授 2012: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, 電気情報学群, 准教授 2009 – 2011: 防衛大学校, 電気情報学群, 准教授
Review Section/Research Field	Principal Investigator Science and Engineering / Thin film/Surface and interfacial physical properties Except Principal Investigator Power engineering/Power conversion/Electric machinery
Keywords	Principal Investigator 電子・電気材料 / プラズマ加工 / 表面・界面物性 / ナノ材料 Except Principal Investigator 表面処理 / 触媒作用 / 高反応性 / 短パルス電圧 / 大気圧非平衡プラズマ

Generation of highly reactive, non-equilibrium plasma at atmospheric pressure by application of short pulse voltage at high repetition frequency
- Principal Investigator
  
  Nakano Toshiki
- Project Period (FY)
  2012 – 2015
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Power engineering/Power conversion/Electric machinery
- Research Institution
  防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群)
プラズマ-ナノ粒子-基板相互界面反応場の局所診断Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  北嶋武
- Project Period (FY)
  2010 – 2011
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Innovative Areas (Research in a proposed research area)
- Review Section
  
  Science and Engineering
- Research Institution
  防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群)
Plasma assisted atomic layer deposition with metastable atom exposurePrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KITAJIMA Takeshi
- Project Period (FY)
  2009 – 2011
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  Thin film/Surface and interfacial physical properties
- Research Institution
  防衛大学校

All 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 Other

All Journal Article Presentation

[Journal Article] プラズマ支援原子層堆積プロセスによるナノスケール薄膜の形成と評価2012
- Author(s)
  北嶋武、中野俊樹
- Journal Title
  
  防衛大学校理工学研究報告
  
  Volume: 50 Pages: 111-116
- NAID
  40019781819
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Journal Article] HfO_2 film growth by Ar/O_2 plasma enhanced atomic layer deposition
- Author(s)
  Takeshi Kitajima, Toshiki Nakano
- Journal Title
  
  Journal of Vacuum Science and Technology A
  
  Volume: (投稿中)
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] He/O2混合ガスを用いて生成した短パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマによる高分子表面酸化2016
- Author(s)
  門脇俊輔、中野俊樹、北嶋　武
- Organizer
  平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  九州工業大学　戸畑キャンパス
- Year and Date
  2016-09-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[Presentation] 短電圧パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマによる高分子表面処理2016
- Author(s)
  門脇俊輔、中野俊樹、北嶋　武
- Organizer
  平成28年電気大会全国大会
- Place of Presentation
  東北大学　川内北キャンパス
- Year and Date
  2016-03-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[Presentation] 狭ギャップ電極系用いた大気圧非平衡プラズマの生成と診断2015
- Author(s)
  中野俊樹，北嶋武
- Organizer
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  東海大学湘南キャンパス
- Year and Date
  2015-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[Presentation] 狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成と高分子表面処理への応用2015
- Author(s)
  門脇俊輔、中野俊樹、北嶋　武
- Organizer
  平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  金沢大学　角間キャンパス
- Year and Date
  2015-09-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[Presentation] 短パルス電圧によって生成された狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成2015
- Author(s)
  中野俊樹，北嶋武
- Organizer
  平成27年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  東京都市大学世田谷キャンパス
- Year and Date
  2015-03-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[Presentation] He/O2混合ガスによる狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成と高分子表面処理への応用2015
- Author(s)
  門脇俊輔、中野俊樹、北嶋　武
- Organizer
  2015年放電学会年次大会
- Place of Presentation
  防衛大学校
- Year and Date
  2015-12-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[Presentation] 狭ギャップ電極系による大気圧非平衡プラズマの生成2014
- Author(s)
  中野俊樹, 北嶋武
- Organizer
  平成26年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  信州大学長野キャンパス
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[Presentation] 短パルス電圧による大気圧非平衡プラズマ生成時の放電遅れ時間分布と発光強度の関係2013
- Author(s)
  中野俊樹、白井博之、北嶋武
- Organizer
  平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  横浜国立大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[Presentation] 方形波電圧パルスによる大気圧非平衡プラズマ生成時のパルス幅の最適化の検討2013
- Author(s)
  中野俊樹、白井博之、北嶋武
- Organizer
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  同志社大学京田辺キャンパス
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[Presentation] Size effect of Hf nitridation under nitrogen plasma exposure2012
- Author(s)
  T.Kitajima, T.Nakano
- Organizer
  4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P3-045A
- Place of Presentation
  中部大学(愛知県)
- Year and Date
  2012-03-07
- Data Source
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[Presentation] SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製～N原子表面反応へのHfのサイズ効果22012
- Author(s)
  北嶋武、中野俊樹
- Organizer
  応用物理学会第59回応用物理学関係連合講演会,17p-B8-10
- Place of Presentation
  早稲田大学(東京都)
- Year and Date
  2012-03-17
- Data Source
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[Presentation] Size effect of Hf nitridation under nitrogen plasma exposure2012
- Author(s)
  Takeshi Kitajima, Toshiki Nakano
- Organizer
  4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
- Place of Presentation
  中部大学(愛知県)
- Year and Date
  2012-03-07
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] Plasma Diagnostics and Nanoscale Surface Processing-Application to SiO_2, High-k PVD and ALD2011
- Author(s)
  T. Kitajima, T. Nakano
- Organizer
  American Vacuum Society 58th International Symposium
- Place of Presentation
  ナッシュビルコンベンションセンター(アメリカ合衆国、テネシー州)
- Year and Date
  2011-11-02
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] 窒素プラズマ誘起固液界面反応によるHfSiON膜作製:層間SiO_2厚さの影響2011
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  応用物理学会第58回応用物理学関連連合講演会
- Place of Presentation
  神奈川工科大学(神奈川県)
- Year and Date
  2011-03-25
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] Nitrogen Plasma induced HfSiON growth from Hf nanoparticles on SiO_2/Si(100)-Roughness improvement by interfacial SiO_2-2011
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
- Place of Presentation
  名古屋工業大学(愛知県)
- Year and Date
  2011-03-09
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] High-k/substrate interface reaction by plasma assisted ALD and PVD2011
- Author(s)
  T.Kitajima, T.Nakano
- Organizer
  Plasma Conference 2011, 24G10
- Place of Presentation
  石川県立音楽堂(石川県)
- Year and Date
  2011-11-24
- Data Source
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[Presentation] SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製～N原子表面反応へのHfのサイズ効果2011
- Author(s)
  北嶋武、中野俊樹
- Organizer
  応用物理学会第72回応用物理学会学術講演会1a-ZC-16
- Place of Presentation
  山形大学(山形県)
- Year and Date
  2011-09-01
- Data Source
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[Presentation] High-k/substrate interface reaction by plasma assisted ALD and PVD2011
- Author(s)
  T. Kitajima, T. Nakano
- Organizer
  Plasma Conference 2011
- Place of Presentation
  石川県立音楽堂(石川県)
- Year and Date
  2011-11-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] Plasma Diagnostics and Nanoscale Surface Processing-Application to SiO_2, High-k PVD and ALD2011
- Author(s)
  T.Kitajima
- Organizer
  American Vacuum Society 58th International Symposium, PS+SS-WeM-3
- Place of Presentation
  Nashville, Tennessee, USA(invited)
- Year and Date
  2011-11-02
- Data Source
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[Presentation] O_2プラズマ支援HfO2 ALDでのAr希釈の効果2011
- Author(s)
  北嶋武、中野俊樹
- Organizer
  応用物理学会,第72回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  山形大学(山形県)
- Year and Date
  2011-08-31
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製～金属Hfの特性と役割2011
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  第58回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  神奈川工科大学(神奈川県)
- Year and Date
  2011-03-27
- Data Source
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[Presentation] 窒素プラズマ誘起固液界面反応によるHfSiON膜作製:層間SiO_2厚さの影響2011
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  第58回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  神奈川工科大学(神奈川県)
- Year and Date
  2011-03-25
- Data Source
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[Presentation] SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製～金属Hfの特性と役割2011
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  応用物理学会第58回応用物理学関連連合講演会
- Place of Presentation
  神奈川工科大学(神奈川県)
- Year and Date
  2011-03-27
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] Nitrogen Plasma induced HfSiON growth from Hf nanoparticles on SiO_2/Si(100)-Roughness improvement by interfacial SiO_22011
- Author(s)
  Takeshi Kitajima
- Organizer
  第3回先進プラズマ科学と窒化物及びナノ材料への応用に関する国際シンポジウム
- Place of Presentation
  名古屋工業大学(愛知県)
- Year and Date
  2011-03-09
- Data Source
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[Presentation] Plasma Diagnostics and Nanoscale Surface Processing-Application to SiO2, High-k PVD and ALD2011
- Author(s)
  Takeshi Kitajima, Toshiki Nakano
- Organizer
  American Vacuum Society 58th International Symposium
- Place of Presentation
  Nashville Convention Center, Nashville, TN, USA(invited)
- Year and Date
  2011-11-02
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] O_2プラズマ支援HfO_2 ALDでのAr希釈の効果2011
- Author(s)
  北嶋武、中野俊樹
- Organizer
  応用物理学会第72回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  山形大学(山形県)
- Year and Date
  2011-08-31
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] 窒素プラズマ誘起固液界面反応によるHfSiON膜作製:界面SiO_2との反応過程2010
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  第71回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  長崎大学(長崎県)
- Year and Date
  2010-09-15
- Data Source
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[Presentation] 窒素プラズマ誘起固液界面反応によるHfSiON膜作製:界面SiO_2との反応過程2010
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  応用物理学会第71回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  長崎大学(長崎県)
- Year and Date
  2010-09-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] Plasma induced chemistry of self-assembled nanoparticles and underlying surface for High-k film growth2010
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas
- Place of Presentation
  メゾン・デ・キミー(フランス・パリ)
- Year and Date
  2010-10-08
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] 窒素プラズマ誘起固液界面反応によるHfTiSiON膜作製:ナノ粒子均一性の影響2010
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  応用物理学会第57回応用物理学関連連合講演会
- Place of Presentation
  東海大学(神奈川県)
- Year and Date
  2010-03-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] 窒素ICP照射によるSiO_2薄膜上Ti配合HfナノドットからのHfriSiON膜の形成2010
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  応用物理学会第27回プラズマプロセシング研究会
- Place of Presentation
  横浜市開港記念会館(神奈川県)
- Year and Date
  2010-02-01
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製～Hf膜厚依存性2010
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  第71回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  長崎大学(長崎県)
- Year and Date
  2010-09-17
- Data Source
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[Presentation] SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製～Hf膜厚依存性2010
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  応用物理学会第71回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  長崎大学(長崎県)
- Year and Date
  2010-09-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] HfTiSiON Film Growth by N_2 Plasma Exposure to Hf-Ti Liquid Nano Particles on SiO_2/Si2010
- Author(s)
  Takeshi Kitajima
- Organizer
  AVS 57th International Symposium & Exhibition
- Place of Presentation
  アルバカーキーコンベンションセンター(アメリカ合衆国)
- Year and Date
  2010-10-21
- Data Source
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[Presentation] Plasma induced chemistry of self-assembled nanoparticles and underlying surface for High-k film growth2010
- Author(s)
  Takeshi Kitajima
- Organizer
  63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
- Place of Presentation
  メゾン・デ・キミー(フランス・パリ)
- Year and Date
  2010-10-08
- Data Source
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[Presentation] HfTiSiON Film Growth by N_2 Plasma Exposure to Hf-Ti Liquid Nano Particles on SiO_2/Si2010
- Author(s)
  Takeshi Kitajima
- Organizer
  第20回日本MRS学術シンポジウム
- Place of Presentation
  横浜市開港記念会館(神奈川県)
- Year and Date
  2010-12-20
- Data Source
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[Presentation] HfTiSiON Film Growth by N_2 Plasma Exposure to Hf-Ti Liquid Nano Particles on SiO_2/Si2010
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  American Vacuum Society 57th International Symposium
- Place of Presentation
  アルバカーキーコンベンションセンター(アメリカ合衆国)
- Year and Date
  2010-10-21
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製2009
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  応用物理学会第70回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  富山大学(富山県)
- Year and Date
  2009-09-10
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] 窒素プラズマ誘起固液界面反応によるTi添加HfSiON膜作製2009
- Author(s)
  北嶋武
- Organizer
  応用物理学会第70回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  富山大学(富山県)
- Year and Date
  2009-09-08
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[Presentation] 高周波化バリア放電による高密度小径オゾナイザの開発
- Author(s)
  辻野純司, 北嶋武, 中野俊樹
- Organizer
  第 61 回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  青山学院大学相模原キャンパス
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[Presentation] The influence of the repetition frequency on generation of atmospheric-pressure non-equilibrium plasma by 500-ns rectangular pulses
- Author(s)
  Toshiki Nakano, Takeshi Kitajima, Hiroyuki Shirai
- Organizer
  8th International Confernece on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
- Place of Presentation
  Fukuoka International Congress Center, Fukuoka, Japan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[Presentation] 短パルス電圧による大気圧非平衡プラズマの生成に関するパルス繰り返し周波数の影響
- Author(s)
  中野俊樹, 北嶋武
- Organizer
  平成26年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  愛媛大学城北キャンパス
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560359

1. Nakano Toshiki (10531791)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 12 results

Kitajima Takeshi 北嶋 武

KITAJIMA Takeshi 北嶋 武

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Generation of highly reactive, non-equilibrium plasma at atmospheric pressure by application of short pulse voltage at high repetition frequency

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

プラズマ-ナノ粒子-基板相互界面反応場の局所診断Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Plasma assisted atomic layer deposition with metastable atom exposurePrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Journal Article] プラズマ支援原子層堆積プロセスによるナノスケール薄膜の形成と評価2012

Author(s)

Journal Title

NAID

Data Source

[Journal Article] HfO_2 film growth by Ar/O_2 plasma enhanced atomic layer deposition

Author(s)

Journal Title

Data Source

[Presentation] He/O2混合ガスを用いて生成した短パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマによる高分子表面酸化2016

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

[Presentation] 短電圧パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマによる高分子表面処理2016

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

[Presentation] 狭ギャップ電極系用いた大気圧非平衡プラズマの生成と診断2015

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

[Presentation] 狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成と高分子表面処理への応用2015

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

[Presentation] 短パルス電圧によって生成された狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成2015

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

[Presentation] He/O2混合ガスによる狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成と高分子表面処理への応用2015

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

[Presentation] 狭ギャップ電極系による大気圧非平衡プラズマの生成2014

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Data Source

[Presentation] 短パルス電圧による大気圧非平衡プラズマ生成時の放電遅れ時間分布と発光強度の関係2013

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Data Source

[Presentation] 方形波電圧パルスによる大気圧非平衡プラズマ生成時のパルス幅の最適化の検討2013

Author(s)

Kitajima Takeshi 北嶋武

KITAJIMA Takeshi 北嶋武