Matsui Shinsuke 松井伸介

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MATSUI Shinsuke 松井伸介

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Researcher Number	50612769
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Affiliation (based on the past Project Information) *help	2019 – 2023: 千葉工業大学, 工学部, 教授 2013 – 2017: 千葉工業大学, 工学部, 教授 2012: 千葉工業大学, 工学部, 准教授
Review Section/Research Field	Principal Investigator Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related / Production engineering/Processing studies
Keywords	Principal Investigator AFM / ポリシング / 研磨加工 / メカノケミカル / 研磨 / ダイヤモンド / パワーデバイス / 液中雰囲気 / ナノスクラッチ / GaN … More / ポリッシング / 石英 / スクラッチ加工 / SiC / アルミナ / 切れ刃 / 硬脆材料 / 加工変質層 / メカのケミカル作用 / 原子間力顕微鏡 Less

Research Projects
(4 results)
Research Products
(45 results)

パワーデバイス用難研磨材料のためのAFMスクラッチ等による研磨加工現象の究明Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  松井伸介
- Project Period (FY)
  2022 – 2024
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
- Research Institution
  Chiba Institute of Technology
Study on polishing phenomenon with AFM tip scratch machiningPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Matsui Shinsuke
- Project Period (FY)
  2019 – 2022
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
- Research Institution
  Chiba Institute of Technology
Study on characterization of polishing and nano-micro processing with AFM( Atomic Micro Scope)Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  MATSUI Shinsuke
- Project Period (FY)
  2015 – 2017
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Chiba Institute of Technology
Characterization of Polishing elementary steps with Atomic-Force-Microscope nano machiningPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  MATSUI Shinsuke
- Project Period (FY)
  2012 – 2014
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Chiba Institute of Technology

All 2023 2022 2021 2020 2019 2017 2016 2015 2014 2013 2012 Other

All Journal Article Presentation

[Journal Article] 光ファイバ端面のAFMによるナノ・マイクロ加工2014
- Author(s)
  松井伸介　梅村茂　佐藤天哉
- Journal Title
  
  日本材料科学会誌“材料の科学と工学”
  
  Volume: 51 Pages: 28-32
- NAID
  40020003957
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[Journal Article] Micro taper machining of optical fiber ends for on-site assembled connector (2<sup>nd</sup> report)2013
- Author(s)
  松井伸介　阿部宜輝
- Journal Title
  
  Journal of the Japan Society for Abrasive Technology
  
  Volume: 57 Issue: 7 Pages: 459-464
- DOI
  10.11420/jsat.57.459
- NAID
  10031182909
- ISSN
  0914-2703, 1880-7534
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[Journal Article] Development of micro milling tool made of single crystalline diamond for ceramic cutting2013
- Author(s)
  Hirofumi Suzuki, Mutsumi Okada, Katsuji Fujii, Shinsuke Matsui, Yutaka Yamagata
- Journal Title
  
  CIRP Annals of Manufacturing Technology
  
  Volume: 62 Pages: 59-62
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[Journal Article] Development of Pin-type Vacuum Chuck for Advanced Polishing (2nd report)2013
- Author(s)
  松井伸介　宇根暢篤　鴨打輝正
- Journal Title
  
  Journal of the Japan Society for Precision Engineering
  
  Volume: 79 Issue: 12 Pages: 1246-1250
- DOI
  10.2493/jjspe.79.1246
- NAID
  130003384966
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[Presentation] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価2023
- Author(s)
  小菅春毅　松井伸介，河村昌悟，三井貴彦，嶋田貴大，矢島利康，二宮大輔，灘原大
- Organizer
  2023年度砥粒加工学会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K03844
[Presentation] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価第5報～砥粒径とpHの変化による加工特性の評価～2023
- Author(s)
  河村昌悟，小城慶也，松井伸介，三井貴彦，嶋田貴大，矢島利康，二宮大輔，灘原大
- Organizer
  2023年度精密工学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K03844
[Presentation] Highly efficient polishing of GaN substrates by UV irradiation assist with mesh polisher made of durable plastics2023
- Author(s)
  SHINSUKE Matsui, SHOGO Kawamura, HARUKI Kosuge, TAKAHIKO Mitsui, TAKAHIRO Shimada, TOSHIYASU Yajima, DAISUKE Ninomiya, DAI Nadahara
- Organizer
  The 25th International Symposium on Advances in Abrasive Technology
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K03844
[Presentation] AFMスクラッチによる研磨加工特性の評価-第12報：各種スクラッチ触針の材料基板に対する加工特性-2023
- Author(s)
  小城慶也、松井伸介、鳥居典博
- Organizer
  2023年度砥粒加工学会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K03844
[Presentation] AFM スクラッチによる研磨加工特性の評価　第 1１報：各種材料基板に対するスクラッチ加工2022
- Author(s)
  礒野泰地，松井伸介，鳥居典博
- Organizer
  2022年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2022）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] UV 直接照射アシストによる GaN 基板の研磨の評価第 4 報～pHと酸化剤の変化による加工特性の評価～2022
- Author(s)
  河村昌悟　松井伸介　山本栄一　矢島利康　二宮大輔
- Organizer
  精密工学会秋季全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K03844
[Presentation] Characterization of high-speed polishing system with small rectangular pads by quantification of material-removal amount and comparison with simulation2022
- Author(s)
  Shinsuke MATSUI , Kouta HIROSHIMA , and Atsunobu UNE
- Organizer
  19th International Conference on Precision Engineering
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] Evaluation of machining characteristics by Atomic-force-microscopy scratching2022
- Author(s)
  Taichi ISONO , Shinsuke MATSUI , Norihiro TORII
- Organizer
  19th International Conference on Precision Engineering
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] Highly efficient polishing of GaN substrates by direct UV irradiation assist2022
- Author(s)
  T. Kanaeda, S. Matsui, E. Yamamoto, T. Yajima, D. Ninomiya
- Organizer
  19th International Conference on Precision Engineering
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K03844
[Presentation] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価第3報～研磨速度に対するポリシャの効果～2021
- Author(s)
  金枝知季　松井伸介，山本栄一，矢島利康　二宮大輔
- Organizer
  精密工学会秋季大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] AFMスクラッチによる加工特性評価ー第10報：アルミナ，SiC触針による加工の比較検討ー2021
- Author(s)
  礒野泰地，松井伸介
- Organizer
  砥粒加工学会全国大会　ABTEC2021
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] 光ファイバ先端マイクロ形状加工の検討2021
- Author(s)
  鈴木春成，松井伸介
- Organizer
  精密工学会秋季大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] 矩形小型パッドによる高速研磨技術の検討（第4報） -パッドに形成した溝効果による加工形状と加工量の検討-2021
- Author(s)
  廣島　康太　松井伸介，宇根　篤暢
- Organizer
  精密工学会秋季大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] UV-light assist chemical mechanical polishing of GaN with mesh polisher made of chemical durable plastics2020
- Author(s)
  Shinsuke Matsui, Mizuki Akahori,Takuma Suzuki,Eiichi Yamamoto,Tsubasa Bando,Yasutoshi Yajima and Daisuke Ninomiya
- Organizer
  2020 euspen’s international conference and exhibition
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価　第2報～酸化剤を用いた研磨高能率化～2020
- Author(s)
  上田大成、松井伸介、山本栄一、坂東翼、矢島利康、二宮大輔
- Organizer
  精密工学会秋季大会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] AFMによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工　第9報 ―SiC触針による加工の検討―2020
- Author(s)
  赤坂孝幸，松井伸介
- Organizer
  2020年度砥粒加工学会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価2019
- Author(s)
  赤堀瑞樹、松井伸介、矢島利康、二宮大輔、山本栄一、坂東　翼、上田大成
- Organizer
  2019年度精密工学会秋季大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] AFMスクラッチ加工による研磨加工特性評価2019
- Author(s)
  赤坂　孝幸、松井　伸介
- Organizer
  2019年度砥粒加工学会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] 小型研磨機によるSiC基板の研磨特性の評価(第2報)2019
- Author(s)
  鈴木　拓磨、松井　伸介、矢島　利康、二宮　大輔
- Organizer
  2019年度砥粒加工学会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] 小型研磨機を用いたGaNの研磨加工の検討　酸化剤とpH及びUVの効果2019
- Author(s)
  鈴木拓磨、松井伸介、矢島利康、二宮大輔、山本栄一
- Organizer
  2019年度精密工学会秋季大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] 矩形小型パッドによる高速研磨技術の検討（第3報）;パッドに形成した溝効果による高速化の検討と形状評価2019
- Author(s)
  中野尭仁、松井伸介、宇根篤暢
- Organizer
  2019年度精密工学会秋季大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] 紫外線照射・小型研磨機による酸・アルカリの効果と評価2019
- Author(s)
  上田　大成、松井　伸介、矢島　利康、二宮　大輔、山本　栄一
- Organizer
  2019年度砥粒加工学会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[Presentation] AFMナノ・マイクロスクラッチ加工による研磨加工特性評価2017
- Author(s)
  木村　賢之心，松井　伸介
- Organizer
  2017年砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2017)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[Presentation] GaN研磨加工高能率化の研究（第1報） -小型研磨機を用いた反射型光路による紫外線照射と強アルカリ機能水の効果-2017
- Author(s)
  藤野雄大,松井伸介,遠藤謙人矢島利康,二宮大輔, 山本栄一,伊東利洋
- Organizer
  2017年精密工学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[Presentation] Nano micro-scratch machining by atomic force microscope (AFM) for investigating fundamental characteristics of polishing2017
- Author(s)
  S. Matsui and K. Kimura
- Organizer
  EUSPEN'S 17th International Conference & Exhibition
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[Presentation] High speed orbital revolution polishing with grooved small rectangular pad2017
- Author(s)
  Shinsuke Matsui and Atsunobu Une
- Organizer
  The 20th International Symposium on Advances in Abrasive Technology
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[Presentation] Nano micro-scratch machining by atomic force microscope (AFM) for investigating fundamental characteristics of polishing2017
- Author(s)
  Shinsuke Matsui and Ken-noshin Kimura
- Organizer
  17th International Conference & Exhibition(EUSPEN)
- Place of Presentation
  Hannover, Germany
- Year and Date
  2017-05-29
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[Presentation] 小型研磨機によるGaNの研磨加工特性の評価 -アルカリ液と紫外線照射の効果-2017
- Author(s)
  藤野雄大，松井伸介，遠藤謙人，矢島利康，二宮大輔，山本栄一，伊東利洋
- Organizer
  2017年砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2017)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[Presentation] Nano-micro scratch machining by atomic force microscope (AFM) to investigate the fundamental characteristics of the polishing.2016
- Author(s)
  Shinsuke Matsui and Mao Shiseki
- Organizer
  The 19th International Symposium on Advances in Abrasive Technology
- Place of Presentation
  Stockholm, Sweden
- Year and Date
  2016-10-02
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[Presentation] AFMによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工　第5報ー加工における触針材質および雰囲気の影響ー2016
- Author(s)
  志関　真生、松井　伸介
- Organizer
  2016年度砥粒加工学会学術講演会
- Place of Presentation
  兵庫県立大学姫路環境人間キャンパス（兵庫県姫路市）
- Year and Date
  2016-08-31
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[Presentation] 水素添加ECR スパッタカーボン膜形成における基板バイアスの効果2016
- Author(s)
  明石幸治、松井伸介、梅村　茂、若井　俊
- Organizer
  精密工学会秋季全国大会
- Place of Presentation
  茨城大学水戸キャンパス（茨城県水戸市）
- Year and Date
  2016-09-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[Presentation] 小径パッドによる部分研磨の検討2016
- Author(s)
  松井伸介、青山卓也
- Organizer
  2016年度砥粒加工学会学術講演会
- Place of Presentation
  兵庫県立大学姫路環境人間キャンパス（兵庫県姫路市）
- Year and Date
  2016-08-31
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[Presentation] AFMによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工2016
- Author(s)
  志関真生、松井伸介
- Organizer
  精密工学会秋季全国大会
- Place of Presentation
  茨城大学水戸キャンパス（茨城県水戸市）
- Year and Date
  2016-09-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[Presentation] ＡＦＭによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工　第4報‐触針摩耗の検討‐2015
- Author(s)
  志関真生　松井伸介
- Organizer
  ２０１５年度砥粒加工学会学術講演会
- Place of Presentation
  慶応義塾大学日吉キャンパス(神奈川県横浜市）
- Year and Date
  2015-09-09
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[Presentation] Subsurface Damaged Layer Reduction with Atomic Force Microscope Scratch Nano Machinig on Optical fiber End Plane2014
- Author(s)
  S. Matsui, S. Umemura, T. Sato
- Organizer
  european society for precision engineering & nanotechnology
- Place of Presentation
  Dubrovnik, Croatia
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[Presentation] Characterization of Nano-micro machining made by Atomic Force Microscope Scratch on Optical-fiber End Plane2013
- Author(s)
  Shinsuke Matsui, Shigeru Umemura
- Organizer
  ASPE 2013 Annual Meeting
- Place of Presentation
  St. Paul USA
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[Presentation] AFMによる光ファイバ端面のナノ･マイクロ加工第２報-液雰囲気の検討-2013
- Author(s)
  佐藤天哉　松井伸介　梅村茂
- Organizer
  砥粒加工学会
- Place of Presentation
  日本大学　東京
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[Presentation] AFMによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工2012
- Author(s)
  松井伸介
- Organizer
  砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2012）
- Place of Presentation
  同志社大学（京都府）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[Presentation] AFMによる光ファイバ端面のナノ･マイクロ加工　第3報－低ダメージ加工の検討－
- Author(s)
  佐藤天哉　松井伸介　梅村茂
- Organizer
  2014年度砥粒加工学会学術講演会
- Place of Presentation
  岩手大学（岩手県盛岡市）
- Year and Date
  2014-09-11 – 2014-09-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[Presentation] ECRスパッタ法による高硬度･極薄膜作成のための検討
- Author(s)
  若井俊　上方翔平　松井伸介　梅村茂
- Organizer
  2015年度精密工学会春季大会
- Place of Presentation
  東洋大学（東京都文京区）
- Year and Date
  2015-03-17 – 2015-03-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[Presentation] AFMスクラッチ加工の加工特性の評価
- Author(s)
  佐藤天哉　松井伸介　梅村茂
- Organizer
  2014年度精密工学会秋季大会
- Place of Presentation
  鳥取大学（鳥取県鳥取市）
- Year and Date
  2014-09-16 – 2014-09-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24560143

Matsui Shinsuke 松井 伸介

MATSUI Shinsuke 松井 伸介

Research Projects

Research Products

パワーデバイス用難研磨材料のためのAFMスクラッチ等による研磨加工現象の究明Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Study on polishing phenomenon with AFM tip scratch machiningPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Study on characterization of polishing and nano-micro processing with AFM( Atomic Micro Scope)Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Characterization of Polishing elementary steps with Atomic-Force-Microscope nano machiningPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Journal Article] 光ファイバ端面のAFMによるナノ・マイクロ加工2014

Author(s)

Journal Title

NAID

Data Source

[Journal Article] Micro taper machining of optical fiber ends for on-site assembled connector (2<sup>nd</sup> report)2013

Author(s)

Journal Title

DOI

NAID

ISSN

Language

Data Source

[Journal Article] Development of micro milling tool made of single crystalline diamond for ceramic cutting2013

Author(s)

Journal Title

Data Source

[Journal Article] Development of Pin-type Vacuum Chuck for Advanced Polishing (2nd report)2013

Author(s)

Journal Title

DOI

NAID

ISSN

Language

Data Source

[Presentation] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価2023

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価第5報 ～砥粒径とpHの変化による加工特性の評価～2023

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] Highly efficient polishing of GaN substrates by UV irradiation assist with mesh polisher made of durable plastics2023

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] AFMスクラッチによる研磨加工特性の評価-第12報：各種スクラッチ触針の材料基板に対する加工特性-2023

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] AFM スクラッチによる研磨加工特性の評価 第 1１報：各種材料基板に対するスクラッチ加工2022

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] UV 直接照射アシストによる GaN 基板の研磨の評価第 4 報～pHと酸化剤の変化による加工特性の評価～2022

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] Characterization of high-speed polishing system with small rectangular pads by quantification of material-removal amount and comparison with simulation2022

Author(s)

Organizer

Matsui Shinsuke 松井伸介

MATSUI Shinsuke 松井伸介

[Presentation] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価第5報～砥粒径とpHの変化による加工特性の評価～2023

[Presentation] AFM スクラッチによる研磨加工特性の評価　第 1１報：各種材料基板に対するスクラッチ加工2022

[Presentation] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価第3報～研磨速度に対するポリシャの効果～2021

[Presentation] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価　第2報～酸化剤を用いた研磨高能率化～2020

[Presentation] AFMによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工　第9報 ―SiC触針による加工の検討―2020

[Presentation] 小型研磨機を用いたGaNの研磨加工の検討　酸化剤とpH及びUVの効果2019