SATO Tetsuya 佐藤哲也

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佐藤哲也サトウテツヤ

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Researcher Number	60252011
Other IDs
Affiliation (Current)	2025: 山梨大学, 大学院総合研究部, 准教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2023: 山梨大学, 大学院総合研究部, 准教授 2017 – 2019: 山梨大学, 大学院総合研究部, 准教授 2014 – 2016: 山梨大学, 総合研究部, 准教授 2015: 山梨大学, 大学院総合研究部, 准教授 2012 – 2013: 山梨大学, 医学工学総合研究部, 准教授 … More 2012: 山梨大学, 学工学総合研究部, 准教授 2007 – 2011: University of Yamanashi, Clean Energy Research Center, Associate Professor 2006: 山梨大学, クリーンエネルギー研究センター, 助教授 2001 – 2004: 山梨大学, クリーンエネルギー研究センター, 助教授 2000: 山梨大学, 工学部, 助手 1997 – 1998: 山梨大学, 工学部, 助手 Less
Review Section/Research Field	Principal Investigator Basic Section 26030:Composite materials and interfaces-related / Composite materials/Surface and interface engineering / Plasma electronics / Thin film/Surface and interfacial physical properties / Physical chemistry / 分離・精製・検出法 / Physical chemistry Except Principal Investigator Applied materials science/Crystal engineering / Physical chemistry / Astronomy / Electronic materials/Electric materials / Crystal engineering
Keywords	Principal Investigator 極低温 / 低温 / 薄膜 / 電子励起 / 電子衝撃 / アモルファスカーボン / 水素原子 / PTFE / フルオロカーボン / プラズマ … More / クライオ / 凝縮 / アモルファス / カーボン / 欠陥密度 / 低速電子 / 飛行時間型質量分析計 / 表面処理 / EXAFS / 電子照射 / 撥水 / パーフルオロカーボン / オクタフルオロシクロブタン / フッ素樹脂 / 温室効果ガス / フッ素 / 低速電子線 / 水素 / 細孔 / 吸着 / グラファイト / トンネル現象 / DLC / トンネル / メタン / トネンル / 非晶質 / 微結晶シリコン / 太陽電池 / ナノ材料 / 界面準位密度 / シリコン窒化膜 / 水素化アモルファスシリコン / 電子銃 / 放射線化学 / アモルファスシリコン / 電子線誘起反応 / トンネル反応 / 自己組織化膜 / 衝突誘起解離 / タンデムマス / リニア / イオン化 / 赤外レーザー / 生体高分子 / 表面誘起解離 / レーザースプレー / イオン源 / 構造解析 / 衝突反応 / 脱離 / 低速イオン / ファンデルワークス薄膜 / リフレクトロン / 多体効果 / エネルギー緩和 / ファンデルワールス薄膜 / 凝縮固体 / フォノン / 二次イオン / イオン衝撃 … More Except Principal Investigator トンネル反応 / HNC / HCN / thin film transistor / Polycrystalline Si / microwave plasma / 多結晶シリコン・ゲルマニウム / 電界効界トランジスタ / 電界効果トランジスタ / 多結晶シリコン / マイクロ波加熱 / electron impact / silicon / chemical evolution / dark cloud / formaldyhyde / methanol / low-temperature tunneling reaction / FT-IR / シリコン薄膜 / 薄膜半導体 / 水素原子 / 電子衝撃 / シリコン / 化学進化 / 暗黒星雲 / ホルムアルデヒド / メタノール / 低温トンネル反応 / tanneling reaction / dust grain / イソシアン化水素 / シアン化水素 / 星間塵 / ＭＩＳ構造 / MIS構造 / ラジカル酸化 / 誘電体物性 / ゲルマニウム / 金属ジャーマネイト / 原子層堆積法 / プラズマ酸化 / MOS構造 / 超薄膜 / 表面・界面物性 / 誘電体薄膜 / 水素ラジカル加熱 / Ge/Si基板ヘテロ構造 / Ge/Siヘテロ構造 / GeチャネルFET / ラジカル水素加熱 / GeSiヘテロ構造 / プラズマ / シリコン多結晶 / 電子デバイス / 電子材料 / 結晶成長 / 薄膜トランジスタ / 選択加熱 / プラズマ加熱 / 固相成長 / 半導体 Less

Low-temperature formation of PTFE thin films by electronic excitation of fluorocarbon condensed layers and its application as a surface treatment method.Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  佐藤哲也
- Project Period (FY)
  2023 – 2025
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 26030:Composite materials and interfaces-related
- Research Institution
  University of Yamanashi
Low temperature synthesis of fluororesin thin films by plasma excitation of fluorocarbon condensed solid thin filmsPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  SATO Tetsuya
- Project Period (FY)
  2017 – 2019
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Composite materials/Surface and interface engineering
- Research Institution
  University of Yamanashi
Study on the ultra-low temperature synthesis of amorphous carbon thin films obtained by plasma excitation method of condensed gas.Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  SATO Tetsuya
- Project Period (FY)
  2014 – 2017
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Plasma electronics
- Research Institution
  University of Yamanashi
Research on high-k germanates and their direct formations on germanium substrates at low-temperature
- Principal Investigator
  
  Fukuda Yukio
- Project Period (FY)
  2014 – 2016
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  Tokyo University of Science, Suwa
Formation technology development of high quality Ge/Si heterostructures using hydrogen radical
- Principal Investigator
  
  NAKAGAWA Kiyokazu
- Project Period (FY)
  2013 – 2015
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Crystal engineering
- Research Institution
  University of Yamanashi
Development of selective heating method using microwave plasmaexcited species
- Principal Investigator
  
  NAKAGAWA Kiyokazu
- Project Period (FY)
  2010 – 2012
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Applied materials science/Crystal engineering
- Research Institution
  University of Yamanashi
Study on the formation of carbon thin films obtained by electron-beam-induced-chemical vapor deposition combined with ultra low-temperature tunneling reaction of H atoms at ultra low temperaturePrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  SATO Tetsuya
- Project Period (FY)
  2009 – 2011
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Thin film/Surface and interfacial physical properties
- Research Institution
  University of Yamanashi
Study on the formation of hydrogenated silicon films and silicon nano-structural materials obtained by electron-beam-induced-chemical vapor deposition at ultra low temperaturePrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  SATO Tetsuya
- Project Period (FY)
  2006 – 2008
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Physical chemistry
- Research Institution
  University of Yamanashi
Selective and rapid heating method for polycrystallization of amorphous Si using microwave plasma irradiation
- Principal Investigator
  
  NAKAGAWA Kiyokazu
- Project Period (FY)
  2006 – 2007
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Applied materials science/Crystal engineering
- Research Institution
  University of Yamanashi
The investigation on low-temperature tunneling reactions and its application
- Principal Investigator
  
  HIRAOKA Kenzo
- Project Period (FY)
  2002 – 2004
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Research Field
  
  Physical chemistry
- Research Institution
  University of Yamanashi
表面誘起解離による生体高分子化合物の構造解析法の開発Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  佐藤哲也
- Project Period (FY)
  2000 – 2001
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- Research Field
  
  分離・精製・検出法
- Research Institution
  University of Yamanashi
低速イオンとファンデルワールス薄膜固体の衝突反応に関する基礎的研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  佐藤哲也
- Project Period (FY)
  1997 – 1998
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- Research Field
  
  Physical chemistry
- Research Institution
  University of Yamanashi
Mechanisms for the formetion of HCN and HNC on the intersteellar dust grains
- Principal Investigator
  
  HIRAOKA Kenzo
- Project Period (FY)
  1997 – 1998
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Astronomy
- Research Institution
  Yamanashi University

[Book] Yafo Annual Book2010
- Author(s)
  佐藤哲也
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Journal Article] Role of low-energy ion irradiation in the formation of an aluminum germanate layer on a germanium substrate by radical-enhanced atomic layer deposition2016
- Author(s)
  Y. Fukuda, D. Yamada, T. Yokohira, K. Yanachi, C. Yamamoto, B. Yoo, J. Yamanaka, T. Sato, T. Takamatsu, and H. Okamoto
- Journal Title
  
  Journal of Vacuum Science & Technology A
  
  Volume: 34 Issue: 2
- DOI
  10.1116/1.4932039
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420281
[Journal Article] Selective Heating of Transition Metal Usings Hydrogen Plasma and Its Application to Formation of Nickel Silicide Electrodes for Silicon Ultralarge-Scale Integration Devices2016
- Author(s)
  Tetsuji Arai, Hiroki Nakaie, Kazuki Kamimura, Hiroyuki Nakamura, Satoshi Ariizumi, Satoki Ashizawa, Keisuke Arimoto, Junji Yamanaka, Tetsuya Sato, Kiyokazu Nakagawa, Toshiyuki Takamatsu
- Journal Title
  
  Journal of Materials Science and Chemical Engineering
  
  Volume: 4 Issue: 01 Pages: 29-33
- DOI
  10.4236/msce.2016.41006
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25390065
[Journal Article] メタン凝縮層からの炭素薄膜極低温合成2010
- Author(s)
  佐藤哲也
- Journal Title
  
  New Diamond 96
  
  Pages: 29-32
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Journal Article] メタン凝縮層からの炭素薄膜極低温合成2010
- Author(s)
  佐藤哲也、伊東佑将、森田直樹、井草裕志、小林憲明、中川清和、佐藤昇司
- Journal Title
  
  New Diamon
  
  Volume: vol.96 Pages: 29-32
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Journal Article] Synthesis of Amorphous Germane by Tunneling Reactions of Hydrogen Atoms with van der Waals GeH_4 Films at Cryogenic Temperatures2009
- Author(s)
  Norihito Sogoshi, Shoji Sato, Hideaki Takashima, Tetsuya Sato, and Kenzo Hiraoka
- Journal Title
  
  Jpn. J. of Appl. Phys
  
  Volume: vol.48
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Journal Article] Synthesis of Polysilanes by Tunneling Reactions of H Atoms with Solid Si_2H_6 at 10K2009
- Author(s)
  Norihito Sogoshi, Shoji Sato, Hideaki Takashima, Tetsuya Sato, and Kenzo Hiraoka
- Journal Title
  
  Chemistry Letters
  
  Volume: vol.38 Pages: 986-987
- NAID
  10025547257
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Journal Article] Formation of microcrystalline Silicon and SiNx filmisby electron-beam-induced-chemical vapor deposition at ultra low temperature.2006
- Author(s)
  T.Sato, M.Mitsui, J.Yamanaka, K.Nakagawa, Y.Aoki, S.Sato, C.Miyata
- Journal Title
  
  Thin Solid Films Vol.508
  
  Pages: 61-64
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18550014
[Journal Article] Formation of Microcrystalline Silicon and SiNx Films by Electron-Beam- Induced-Chemical Vapor Deposition at Ultra Low Temperature2006
- Author(s)
  T. Sato, M. Mitsui, J. Yamanaka, K. Nakagawa, et.al
- Journal Title
  
  Thin Solid Films 508
  
  Pages: 61-64
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18550014
[Journal Article] 低速電子誘起反応とトンネル反応を利用したシリコン半導体薄膜の極低温合成2006
- Author(s)
  佐藤哲也
- Journal Title
  
  山梨大学機器分析センター年報 vol.5
  
  Pages: 11-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18550014
[Patent] 排気ガスの固定化処理法、及びその処理装置2011
- Inventor(s)
  佐藤哲也
- Industrial Property Rights Holder
  国立大学法人山梨大学
- Industrial Property Number
  2011-042049
- Filing Date
  2011-02-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Presentation] NF3およびSF6凝縮層の電子励起によるSiNのクライオエッチング2023
- Author(s)
  小澤一貴, 渡辺龍星, 山田知輝, 佐藤哲也
- Organizer
  2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K04394
[Presentation] 極低温で合成した非晶質カーボン薄膜のNEXAFS解析2023
- Author(s)
  北原広貴，秋山恒樹, 佐藤哲也、塩澤佑一朗
- Organizer
  2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K04394
[Presentation] Synthesis of Super-hydrophobic PTFE Thin Films Using Electronic Excitation of c-C4F8 Condensed Gas2019
- Author(s)
  Toshihiro Mitani, Tetsuya Sato
- Organizer
  The 16th Pacific Polymer Conference
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06816
[Presentation] -C4F8/SiF4混合凝縮層の電子励起によるa-C:Fの低温合成と物性評価2019
- Author(s)
  三谷隼弘，佐藤哲也 , 塩澤佑一朗, 上垣良信
- Organizer
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06816
[Presentation] c-C4F8 凝縮層の電子励起による超撥水性樹状a-C:F の形成2018
- Author(s)
  三谷隼弘，上垣良信, 佐藤哲也
- Organizer
  2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06816
[Presentation] PFC凝縮層へのプラズマ照射によるa-C:F形成とPTFE 表面改質2017
- Author(s)
  佐藤哲也, 山井孝太, 森川恭兵, 曽我遥華, 山本千綾, 山中淳二, 中川清和
- Organizer
  第78回応用物理学会秋季学術講演会2017
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26390095
[Presentation] Effects of gate-electrode metals and postdeposition treatments on the electrical properties of Al2O3/GeO2 gate stack grown on Ge substrate by radical-enhanced atomic layer deposition2016
- Author(s)
  Yukio Fukuda, Daichi Yamada, Yohei Otani, Chiaya Yamamoto, Junji Yamanaka, Tetsuya Sato, Hiroshi Okamoto
- Organizer
  ALD 2016 Ireland
- Place of Presentation
  Dublin Convention Center, Dublin
- Year and Date
  2016-07-24
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420281
[Presentation] ラジカル援用原子層堆積法で形成したAl2O3/GeO2/p-Ge基板上のゲート電極金属が電気的特性に及ぼす影響2016
- Author(s)
  山田大地、王谷洋平、山本千綾、山中淳二、佐藤哲也、岡本浩、福田幸夫
- Organizer
  応用物理学会北陸・信越支部第3回有機・無機エレクトロニクスシンポジウム
- Place of Presentation
  石川県政記念しいのき迎賓館
- Year and Date
  2016-07-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420281
[Presentation] SiF4凝縮層の低速電子線誘起反応と水素原子のトンネル反応を利用したa-SiNxの極低温合成2016
- Author(s)
  坂巻直、佐藤哲也、中川清和
- Organizer
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  東工大大岡山キャンパス（東京都・目黒区）
- Year and Date
  2016-03-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25390065
[Presentation] 微傾斜基板を用いた伸張歪みSi/緩和SiGe/Si(110)ヘテロ構造のモフォロジー及び素子特性2016
- Author(s)
  宇津山直人、佐藤圭、山田崇峰、有元圭介、山中淳二、中川清和、原康介、宇佐美徳隆、澤野憲太郎
- Organizer
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  東工大大岡山キャンパス（東京都・目黒区）
- Year and Date
  2016-03-21
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25390065
[Presentation] Effects of postdeposition treatments on the electrical properties of Al2O3/GeO2 gate stack grown on Ge substrate by radical enhanced atomic layer deposition2016
- Author(s)
  H. Okamoto, D. Yamada, H. Narita, Y. Otani, C. Yamamoto, J. Yamanaka, T. Sato, and Y. Fukuda
- Organizer
  9th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
- Place of Presentation
  Tohoku University
- Year and Date
  2016-01-11
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420281
[Presentation] フッ素化非晶質炭素薄膜の極低温合成および物性評価2016
- Author(s)
  齋藤登之, 年森隆明, 小林直樹, 佐藤哲也
- Organizer
  第 63 回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  東京工業大学（大岡山キャンパス）東京都・目黒区
- Year and Date
  2016-03-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26390095
[Presentation] REALD形成Al2O3/GeO2/p-GeMOSキャパシターの電気的特性に及ぼすゲート電極金属の影響2016
- Author(s)
  山田大地、王谷洋平、山本千綾、山中淳二、佐藤哲也、岡本浩、福田幸夫
- Organizer
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  新潟市・朱鷺メッセ
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420281
[Presentation] Role of low-energy ion irradiation in the formation of aluminum germanate layer on germanium substrate by radical-enhanced atomic layer deposition2015
- Author(s)
  T. Yokohira, K. Yanachi, D. Yamada, C. Yamamoto, B. Yoo, J. Yamanaka, T. Sato, T. Takamatsu, H. Okamoto, and Y. Fukuda
- Organizer
  The 13th International Symposium on Sputtering and Plasma Process
- Place of Presentation
  Kyoto　Research Park
- Year and Date
  2015-07-08
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420281
[Presentation] RE-ALD形成Al2O3/GeO2/p-Geの電気的特性に及ぼす熱処理と酸素ラジカル照射の効果2015
- Author(s)
  梁池昂生、横平知也、山田大地、王谷洋平、柳炳學、関渓太、佐藤哲也、福田幸夫
- Organizer
  応用物理学会第20回ゲートスタック研究会
- Place of Presentation
  三島
- Year and Date
  2015-01-30
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420281
[Presentation] 水素ラジカルによるW、Niの選択加熱を用いたa-Siの固相成長法とTFTの作製2015
- Author(s)
  上村和貴、荒井哲司、有元圭介、山中淳二、佐藤哲也、中家大希、中川清和、高松利行、澤野憲太郎
- Organizer
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  東海大学湘南キャンパス（神奈川県平塚市）
- Year and Date
  2015-03-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25390065
[Presentation] [12p-P17-4] 伸張歪みSi/緩和SiGe/Si(110)の表面モフォロジーへの成長速度の影響2015
- Author(s)
  宇津山直人、佐藤圭、有元圭介、山中淳二、中川清和、宇佐美徳隆、澤野憲太郎
- Organizer
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  東海大学湘南キャンパス（神奈川県平塚市）
- Year and Date
  2015-03-12
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25390065
[Presentation] 水素ラジカルによる遷移金属の選択加熱を用いた多結晶Si膜形成とデバイスプロセス応用2014
- Author(s)
  中家大希，上村和貴，荒井哲司，有元圭介，山中淳二，佐藤哲也，中川清和，高松利行，澤野憲太郎
- Organizer
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  青山学院大学相模原キャンパス
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25390065
[Presentation] 水素ラジカルによる遷移金属の選択加熱とそのデバイス応用2014
- Author(s)
  上村和貴，荒井哲司，有元圭介，山中淳二，佐藤哲也，中川清和，高松利行，澤野憲太郎
- Organizer
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  北海道大学札幌キャンパス（北海道札幌市）
- Year and Date
  2014-09-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25390065
[Presentation] 水素ラジカルを用いた遷移金属の選択加熱現象による薄膜トランジスタ用多結晶Si形成2013
- Author(s)
  中家大希，荒井哲司，有元圭介，山中淳二，佐藤哲也，中川清和，高松利行，澤野憲太郎，白木靖寛
- Organizer
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  同志社大学京田辺キャンパス
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25390065
[Presentation] 水素ラジカルによる遷移金属の選択加熱現象を利用した多結晶 Si形成技術とデバイスへの応用2013
- Author(s)
  中家大希、荒井哲司、大平隆裕、有元圭介、山中淳二、佐藤哲也、中川清和、高松利行、澤野憲太郎、白木靖寛
- Organizer
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  神奈川工科大学
- Year and Date
  2013-03-27
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22560007
[Presentation] 低速電子線誘起反応と低温トンネル反応によるa-SiCx : Hの極低温合成2012
- Author(s)
  山田竜太郎,小林直樹,胡雪冰,佐藤哲也,有元圭介,山中淳二,中川清和
- Organizer
  2012春季第59回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  早稲田大学
- Year and Date
  2012-03-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Presentation] 水素ラジカルによる選択過熱現象を利用した Si1-xGex 薄膜形成技術2012
- Author(s)
  荒井哲司、川口裕樹、中村浩之、有元圭介、山中淳二、佐藤哲也、中川清和、高松利行、澤野憲太郎、星裕介、白木靖寛
- Organizer
  第59回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  早稲田大学
- Year and Date
  2012-03-16
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22560007
[Presentation] 高密度プラズマ形成技術とそのデバイス応用2012
- Author(s)
  荒井哲司、池田礼隆、有元圭介、山中淳二、佐藤哲也、高松利行、中川清和
- Organizer
  第73回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  愛媛大学
- Year and Date
  2012-09-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22560007
[Presentation] C_3F_8凝縮層の低速電子線衝撃によるa-C : F薄膜の極低温合成2012
- Author(s)
  胡雪冰,山田竜太郎,小林直樹,川上浩一,佐藤哲也
- Organizer
  2012春季第59回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  早稲田大学
- Year and Date
  2012-03-16
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Presentation] 低速電子線照射により極低温合成したカーボン膜のESRによる構造欠陥評価2011
- Author(s)
  小林直樹,山田竜太郎,年森隆明,森田直樹,佐藤哲也,有元圭介,山中淳二,中川清和
- Organizer
  2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  山形大学小白川キャンパス
- Year and Date
  2011-08-31
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Presentation] Selective Heating Method forPoly-crystallization of Amorphous Si UsingHydrogen Microwave Plasma2011
- Author(s)
  T. Arai, H. Nakamura, S. Ariizumi, A.Ashizawa, T. Takamatsu, K. Arimoto, J.Yamanaka, T. Sato, K. Nakagawa, K. Sawano,Y. Shiraki
- Organizer
  The 5th AsianConference on Crystal Growth and CrystalTechnology
- Place of Presentation
  Singapore
- Year and Date
  2011-06-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22560007
[Presentation] フルオロカーボン凝縮層の低速電子線照射によるa-C : Fの極低温合成2011
- Author(s)
  胡雪冰,鍋田貴大,土屋新平,石川政彦,川上浩一,佐藤哲也
- Organizer
  2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  山形大学小白川キャンパス
- Year and Date
  2011-09-01
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Presentation] CH_4/Ar固体薄膜への低速電子線衝撃: Arマトリックス単離赤外分光法による反応解析(16a-ND-9)2010
- Author(s)
  佐藤哲也,渡邊陵,小林直樹,森田直樹,伊東佑将,荒井哲司,宮嶋尚哉,中川清和
- Organizer
  2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  長崎大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Presentation] 低速電子線誘起反応と低温トンネル反応により合成した炭素膜のTEM観察2010
- Author(s)
  森田直樹,伊東佑将,渡辺陵,荒井哲司,佐藤哲也,山本千綾,有元圭介,山中淳二,中川清和
- Organizer
  第57回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  東海大学湘南キャンパス
- Year and Date
  2010-03-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Presentation] CF_4凝縮層の低速電子線衝撃によるa-C : F薄膜の極低温合成2010
- Author(s)
  胡雪冰,鍋田貴大,土屋新平,森田直樹,佐藤哲也
- Organizer
  2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  長崎大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Presentation] CH_4 Ar固体薄膜への低速電子線衝撃: Arマトリックス単離赤外分光法による反応解析2010
- Author(s)
  佐藤哲也
- Organizer
  第71回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  長崎大学
- Year and Date
  2010-09-16
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Presentation] 低速電子線誘起反応と水素原子の低温トンネル反応による炭素薄膜の極低温合成2009
- Author(s)
  佐藤哲也
- Organizer
  2009年度実用表面分析講演会(PSA-09)
- Place of Presentation
  山梨大学
- Year and Date
  2009-11-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Presentation] 低速電子線誘起堆積法と水素原子の低温トンネル反応による炭素薄膜の極低温合成2009
- Author(s)
  伊東佑将,胡雪氷,土屋新平,森田直樹,荒井哲司,佐藤哲也,中川清和
- Organizer
  2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  富山大学
- Year and Date
  2009-09-09
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Presentation] 低速電子線誘起反応と水素原子の低温トンネル反応による炭素薄膜の極低温合成2009
- Author(s)
  佐藤哲也
- Organizer
  009年度実用表面分析講演会(PSA-09)
- Place of Presentation
  山梨大学
- Year and Date
  2009-11-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Presentation] 低速電子線誘起反応とトンネル反応により合成した炭素薄膜の表面分析2009
- Author(s)
  森田直樹,伊東佑将,胡雪氷,土屋新平,渡辺陵,佐藤哲也,山本千綾,有元圭介,山中淳二,中川清和
- Organizer
  2009年度実用表面分析講演会(PSA-09)
- Place of Presentation
  山梨大学
- Year and Date
  2009-11-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21560031
[Presentation] メタン凝縮層の低速電子線衝撃による炭素薄膜の極低温合成(II)2009
- Author(s)
  佐藤哲也
- Organizer
  第56回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  筑波大学
- Year and Date
  2009-03-30
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18550014
[Presentation] メタン凝縮層の低速電子線衝撃によるダイヤモンド状アモルファス炭素膜の極低温合成2008
- Author(s)
  伊東佑将, 井草裕志, 小林憲明, 荒井哲司, 佐藤昇司, 佐藤哲也
- Organizer
  2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  中部大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18550014
[Presentation] 有機フィルム基板上へのSiNxおよびa-Si:Hの極低温形成2007
- Author(s)
  佐藤哲也
- Organizer
  第50回放射線化学討論会
- Place of Presentation
  京都大学(宇治キャンパス)
- Year and Date
  2007-10-11
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18550014
[Presentation] 低速電子線誘起堆積法とH原子トンネル反応を利用した水素化アモルファスシリコンの合成2007
- Author(s)
  佐藤哲也, 小林憲明, 今村友一, 中川清和, 佐藤昇司
- Organizer
  第54回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  青山学院大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18550014
[Presentation] 低速電子誘起成膜法によるSiNxの極低温合成と物性評価2007
- Author(s)
  小林憲明, 伊東佑将, 佐藤哲也, 三井実, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 佐藤昇司
- Organizer
  第50回放射線化学討論会
- Place of Presentation
  京都大学, 宇治キャンパス
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18550014
[Presentation] 有機フィルム基板上へのSiNx およびa-Si : H の極低温形成2007
- Author(s)
  佐藤哲也, 伊東佑将, 小林憲明, 中川清和, 青木裕, 佐藤昇司, 宮田千治
- Organizer
  第50回放射線化学討論会
- Place of Presentation
  京都大学, 宇治キャンパス
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18550014
[Presentation] 極低温合成a-C:F膜のマイクロスクラッチ試験による密着性評価
- Author(s)
  曽我遥華、山井孝太、森川恭兵、佐藤哲也、中川清和
- Organizer
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  東海大学湘南ｌキャンパス（神奈川）
- Year and Date
  2015-03-11 – 2015-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26390095
[Presentation] 種々の炭化水素を原料として極低温合成したa-C:Hの物性評価
- Author(s)
  齋藤登之、内藤瑛慈、小林直樹、佐藤哲也
- Organizer
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  東海大学湘南ｌキャンパス（神奈川）
- Year and Date
  2015-03-11 – 2015-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26390095
[Presentation] Formation of Metal Germanate Interlayer for High-k/Ge Metal-Oxide-Semiconductor Structures by Atomic Layer Deposition Assisted by Microwave-generated Atomic Oxygen
- Author(s)
  Y. Otani, K. Yanachi, H. Ishizaki, Y. Fukuda, C. Yamamoto, J. Yamanaka, and T.Sato
- Organizer
  The 14th International Conference on Atomic Layer Deposition
- Place of Presentation
  Kyoto
- Year and Date
  2014-06-15 – 2014-06-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420281
[Presentation] Radical-Enhanced ALD法によるGe基板上Alジャーマネイトの形成機構に関する検討
- Author(s)
  横平知也、梁池昂生、柳炳學、山本千綾、山中淳二、佐藤哲也、岡本浩、福田幸夫
- Organizer
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  東海大学
- Year and Date
  2015-03-11 – 2015-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420281
[Presentation] FC凝縮層へのプラズマ照射により合成したa-C:F薄膜の物性評価
- Author(s)
  曽我遥華, 山井孝太,森川恭兵,佐藤哲也,中川清和
- Organizer
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  北海道大学（北海道）
- Year and Date
  2014-09-17 – 2014-09-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26390095
[Presentation] ALD形成Al2O3/GeO2/p-Geの電気的特性に及ぼす熱処理効果の検討
- Author(s)
  梁池昂生、横平知也、山田大地、王谷洋平、関渓太、佐藤哲也、福田幸夫
- Organizer
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  北海道大学
- Year and Date
  2014-09-17 – 2014-09-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420281
[Presentation] Al2O3/GeO2/p-Geの電気的特性に及ぼす酸素ラジカル照射の効果
- Author(s)
  王谷洋平、梁池昂生、横平知也、山田大地、関渓太、佐藤哲也、福田幸夫
- Organizer
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  北海道大学
- Year and Date
  2014-09-17 – 2014-09-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420281

1. NAKAGAWA Kiyokazu (40324181)

# of Collaborated Projects: 6 results

# of Collaborated Products: 27 results
2. YAMNAKA Junji (20293441)

# of Collaborated Projects: 5 results

# of Collaborated Products: 18 results
3. ARIMOTO Keisuke (30345699)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 5 results
4. HIRAOKA Kenzo (80107218)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
5. MIYAJIMA Naoya (20345698)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 1 results
6. Fukuda Yukio (50367546)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 11 results
7. WADA Akira (70377604)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
8. SAWAN Kentaro (90409376)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
9. 岡本浩 (00513342)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 7 results
10. 王谷洋平 (40434485)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 8 results
11. 曾越宣仁

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results

SATO Tetsuya 佐藤 哲也

佐藤 哲也 サトウ テツヤ

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Low-temperature formation of PTFE thin films by electronic excitation of fluorocarbon condensed layers and its application as a surface treatment method.Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Low temperature synthesis of fluororesin thin films by plasma excitation of fluorocarbon condensed solid thin filmsPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Study on the ultra-low temperature synthesis of amorphous carbon thin films obtained by plasma excitation method of condensed gas.Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Research on high-k germanates and their direct formations on germanium substrates at low-temperature

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Formation technology development of high quality Ge/Si heterostructures using hydrogen radical

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Development of selective heating method using microwave plasmaexcited species

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Study on the formation of carbon thin films obtained by electron-beam-induced-chemical vapor deposition combined with ultra low-temperature tunneling reaction of H atoms at ultra low temperaturePrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Study on the formation of hydrogenated silicon films and silicon nano-structural materials obtained by electron-beam-induced-chemical vapor deposition at ultra low temperaturePrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Selective and rapid heating method for polycrystallization of amorphous Si using microwave plasma irradiation

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

The investigation on low-temperature tunneling reactions and its application

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

表面誘起解離による生体高分子化合物の構造解析法の開発Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

低速イオンとファンデルワールス薄膜固体の衝突反応に関する基礎的研究Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Mechanisms for the formetion of HCN and HNC on the intersteellar dust grains

Principal Investigator

Project Period (FY)

SATO Tetsuya 佐藤哲也

佐藤哲也サトウテツヤ