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UEDA Yoko  上田 洋子

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Researcher Number 70274529
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2000: 九大, (総合)理工学研究科, 助手
1999: 九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 助手
1998: 九州大学, 大学院総合理工学研究科, 助手
1995 – 1997: 九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 助手
1995: KYUSHU UNIVERSITY,Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Res, 大学院総合理工学研究科, 助手
Review Section/Research Field
Principal Investigator
プラズマ理工学
Except Principal Investigator
プラズマ理工学
Keywords
Principal Investigator
異常波 / 磁気ミラー / 共鳴領域 / 半導体プロセス用プラズマ / L波 / R波 / 電磁波動 / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / ホロー型電子密度分布。 / ホイッスラ-波 … More / X波(異常波) / L波(左周り偏波) / R波(右廻り偏波) / ECRプラズマ源 / 大口径一様ECRプラズマ … More
Except Principal Investigator
電子ビーム・プラズマ不安定性 / 相関次元 / ダブルプラズマ / 間欠カオス / ECRプラズマ / プラズマカオス / 不安定系 / electron beam plasma instability / ion acoustic instability / corelation dimension / type-1 / intermittent chaos / period doubling / drift velocity / unstable system / 電子ブーム・プラズマ不安定性 / イオン音波不安定性 / タイプ-1 / 周期倍加 / ドリフト速度 / microwave propagation characteristics / amorphous silicon / reactive gas / silane gas / multi-slot antenna / ECR plasma / large diameter plasma / microwave / 反応性プラズマ / マイクロ波伝播特性 / アモルファスシリコン / 反応性ガス / シランガス / マルチスロットアンテナ / 大口径プラズマ / マイクロ波 / correlation dimension / subharmonics / chaos / double plasma / electron beam plasma system / 分岐現象 / カオス過程 / 静電波動 / サブハ-モニクス / カオス / 電子ビーム・プラズマ系 / フルート波 / 間欠性カオス / 磁化プラズマ Less
  • Research Projects

    (6 results)
  • Co-Researchers

    (5 People)
  •  ECRプラズマの一様性・制御における電磁波のモード変換・吸収の役割Principal Investigator

    • Principal Investigator
      上田 洋子
    • Project Period (FY)
      1999 – 2000
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
    • Research Field
      プラズマ理工学
    • Research Institution
      Kyushu University
  •  ECRプロセスプラズマーの一様性における電磁波動の役割Principal Investigator

    • Principal Investigator
      上田 洋子
    • Project Period (FY)
      1997 – 1998
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
    • Research Field
      プラズマ理工学
    • Research Institution
      Kyushu University
  •  有限磁化プラズマのカオス的振る舞い

    • Principal Investigator
      KAWAI Yoshinobu
    • Project Period (FY)
      1997 – 1998
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • Research Field
      プラズマ理工学
    • Research Institution
      Kyushu University
  •  Chaotic Phenomena in Unstable System

    • Principal Investigator
      KAWAI Yoshinobu
    • Project Period (FY)
      1996 – 1997
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      プラズマ理工学
    • Research Institution
      KYUSHU UNIVERSITY
  •  Development of the Device for Producing a Large Area Thin Film by a New Maicrowave Mode

    • Principal Investigator
      KAWAI Yoshinobu
    • Project Period (FY)
      1995 – 1996
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • Research Field
      プラズマ理工学
    • Research Institution
      KYUSHU UNIVERSITY
  •  Chaotic Process in Plasma Wave System

    • Principal Investigator
      KAWAI Yoshinobu
    • Project Period (FY)
      1994 – 1995
    • Research Category
      Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
    • Research Field
      プラズマ理工学
    • Research Institution
      KYUSHU UNIVERSITY
  • 1.  KAWAI Yoshinobu (10038565)
    # of Collaborated Projects: 4 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 2.  HATORI Tadatsugu (80023729)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 3.  SHINOHARA Shunjiro (10134446)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 4.  田中 雅慶 (90163576)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 5.  FUJIWARA Masami (10023722)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results

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