HAMAMATSU Hiroshi 浜松弘

Researcher Number	70390531
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Affiliation (Current)	2025: 北九州工業高等専門学校, 生産デザイン工学科, 特任教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2004: Kitakyushu National College of Technology, Department of Control and Information Systems Engineering, Professor, 制御情報工学科, 教授
Review Section/Research Field	Except Principal Investigator Dynamics/Control
Keywords	Except Principal Investigator ball screw / two-degree-of-freedom control / filter / Taguchi method / acceleration control / robust / IC production equipment / predictive control / 剛体系 / 2慣性系 … More / 加速度フィードバック / 同期誤差 / 予測制御 / 位置決め / 共振 / サーボ系 / 動特性 / リニアモータ / 同期制御 / 半導体露光装置 / ボールねじ / 2自由度制御 / フィルタ / タグチメソッド / 加速度制御 / ロバスト性 / 露光装置 / 二重予測制御 Less

High-speed nanometer synchronous position control of semiconductor exposure apparatus by new control method
- Principal Investigator
  
  TSUJI Teruo
- Project Period (FY)
  2002 – 2004
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Dynamics/Control
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology

All 2005 2004 2003 Other

All Journal Article

[Journal Article] ボールねじ駆動テーブルの2自由度制御を用いた高速位置決め2005
- Author(s)
  浜松弘
- Journal Title
  
  日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会 05-6号
  
  Pages: 48-50
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] ベルト駆動機構のモデリングと振動抑制2005
- Author(s)
  浜松弘
- Journal Title
  
  日本機械学会九州支部第58期総会講演会
  
  Pages: 241-242
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] ボールねじ駆動機構における2自由度制御系設計2005
- Author(s)
  浜松弘
- Journal Title
  
  日本機械学会九州支部第58期総会講演会 058-1号
  
  Pages: 243-244
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] Modeling and vibration control for belt driving mechanism(In Japanese)2005
- Author(s)
  Hiroshi Hamamatsu
- Journal Title
  
  The Japan society of mechanical engineers Kyushu branch annual conference No,058-1
  
  Pages: 241-242
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] ベルト駆動機構のモデリングと振動抑制2005
- Author(s)
  浜松弘
- Journal Title
  
  日本機械学会九州支部第58期総会講演会 058-1号
  
  Pages: 241-242
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] ボールねじ駆動機構における2自由度制御系設計2005
- Author(s)
  浜松弘
- Journal Title
  
  日本機械学会九州支部第58期総会講演会
  
  Pages: 243-244
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] ボールねじ駆動テーブルの2自由度制御系を用いた高速位置決め2005
- Author(s)
  浜松弘
- Journal Title
  
  日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会
  
  Pages: 48-50
- NAID
  40007336909
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] Design of two-degree-of freedom control for ball screw driving mechanism(In Japanese)2005
- Author(s)
  Hiroshi Hamamatsu
- Journal Title
  
  The Japan society of mechanical engineers Kyushu branch annual conference No,058-1
  
  Pages: 243-244
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] Design of adaptive filter for the mechatronics system with resonance vibration(In Japanese)2004
- Author(s)
  Hiroshi Hamamatsu
- Journal Title
  
  The 16^<th> symposium on electro-magnetic and dynamics No.04-251
  
  Pages: 279-280
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] Two-degree-of-freedom control design for ball screw driving table using full-closed loop(In Japanese)2004
- Author(s)
  Hiroshi Hamamatsu
- Journal Title
  
  The Japan society of mechanical engineers Kyushu branch annual conference No.048-1
  
  Pages: 441-442
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] Filter design for resonance repression of ball screw driving table2004
- Author(s)
  Hiroshi Hamamatsu
- Journal Title
  
  International Symposium on Bio-inspired Systems Part V International Workshop on Robotics and Motion Control
  
  Pages: 51-56
- NAID
  110002483172
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] ベルト駆動機構の加速度フィードバックによる振動抑制2004
- Author(s)
  浜松弘
- Journal Title
  
  第23回計測自動制御学会九州支部学術講演会
  
  Pages: 109-110
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] High-speed positioning control for linear motor driving table without base vibration(In Japanese)2004
- Author(s)
  Hiroshi Hamamatsu
- Journal Title
  
  Journal of the Japan society for precision engineering Vol.70, No.5
  
  Pages: 645-650
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] 機械共振をもつメカトロニクス機器における振動抑制適応フィルタの設計法2004
- Author(s)
  浜松弘
- Journal Title
  
  第16回電磁力関連のダイナミクスシンポジウム
  
  Pages: 279-280
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] High speed positioning for ball screw driving table using two-degree-of freedom control(In Japanese)2004
- Author(s)
  Hiroshi Hamamatsu
- Journal Title
  
  Conference on Information, Intelligence and precision equipment No,05-6
  
  Pages: 48-50
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] 機械共振をもつメカトロニクス機器における振動抑制適応フィルタの設計法2004
- Author(s)
  浜松弘
- Journal Title
  
  第16回電磁力関連のダイナミクスシンポジウム 04-251号
  
  Pages: 279-280
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] フルクローズドループを構成したボールねじ駆動テーブルの2自由度制御系の設計2004
- Author(s)
  浜松弘
- Journal Title
  
  日本機械学会九州支部第57期総会・講演会論文集
  
  Pages: 441-442
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] Filter design for resonance repression of ball screw driving table2004
- Author(s)
  Hiroshi Hamamatsu
- Journal Title
  
  International Symposium on Bio-inspired Systems PartV International Workshop on Robotics and Motion Control
  
  Pages: 51-56
- NAID
  110002483172
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] 機台振動の抑制を図ったリニアモータ駆動テーブルの高速位置決め制御2004
- Author(s)
  浜松弘
- Journal Title
  
  精密工学会誌 70巻・5号
  
  Pages: 645-650
- NAID
  110001823986
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] Vibration control for belt driving mechanism by acceleration feedback(In Japanese)2004
- Author(s)
  Hiroshi Hamamatsu
- Journal Title
  
  The 23rd SICE Kyushu branch annual conference
  
  Pages: 109-110
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] ボールねじ駆動テーブルにおける重力軸の機械モデル同定2003
- Author(s)
  浜松弘
- Journal Title
  
  日本機械学会九州支部第56期総会講演会論文集
  
  Pages: 189-190
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] ボールねじ駆動機構における共振抑制フィルタ設計2003
- Author(s)
  浜松弘
- Journal Title
  
  日本機械学会Dynamics and Design Conference 2003講演会論文集 (CD-ROM)
  
  Pages: 6-6
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] Dynamics modeling for ball screw driving table with the gravity-axis(In Japanese)2003
- Author(s)
  Hiroshi Hamamatsu
- Journal Title
  
  The Japan society of mechanical engineers Kyushu branch annual conference No.038-1
  
  Pages: 189-190
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] ボールねじ駆動テーブルにおける共振抑制のためのフィルタ設計法2003
- Author(s)
  浜松弘
- Journal Title
  
  日本機械学会九州支部第56期総会講演会論文集
  
  Pages: 191-192
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] Filter design foe resonance repression of the ball screw driving table (2^<nd> report : The adjustment method for the multiple filters)(In Japanese)2003
- Author(s)
  Hiroshi Hamamatsu
- Journal Title
  
  The Japan society of mechanical engineers Kyushu branch annual conference No.038-1
  
  Pages: 191-192
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122
[Journal Article] Filter design for resonance repression of ball screw driving table(In Japanese)
- Author(s)
  Hiroshi Hamamatsu
- Journal Title
  
  The Japan society of mechanical engineers Dynamics and Design Conference No.03-7
  
  Pages: 6-6
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-14350122

1. TSUJI Teruo (90039090)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
2. FUTAMI Shigeru

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
3. MAKINOUCHI Susumu

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
4. 中村裕司

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results

HAMAMATSU Hiroshi 浜松 弘

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

High-speed nanometer synchronous position control of semiconductor exposure apparatus by new control method

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Journal Article] ボールねじ駆動テーブルの2自由度制御を用いた高速位置決め2005

Author(s)

Journal Title

Data Source

[Journal Article] ベルト駆動機構のモデリングと振動抑制2005

Author(s)

Journal Title

Description

Data Source

[Journal Article] ボールねじ駆動機構における2自由度制御系設計2005

Author(s)

Journal Title

Data Source

[Journal Article] Modeling and vibration control for belt driving mechanism(In Japanese)2005

Author(s)

Journal Title

Description

Data Source

[Journal Article] ベルト駆動機構のモデリングと振動抑制2005

Author(s)

Journal Title

Data Source

[Journal Article] ボールねじ駆動機構における2自由度制御系設計2005

Author(s)

Journal Title

Description

Data Source

[Journal Article] ボールねじ駆動テーブルの2自由度制御系を用いた高速位置決め2005

Author(s)

Journal Title

NAID

Description

Data Source

[Journal Article] Design of two-degree-of freedom control for ball screw driving mechanism(In Japanese)2005

Author(s)

Journal Title

Description

Data Source

[Journal Article] Design of adaptive filter for the mechatronics system with resonance vibration(In Japanese)2004

Author(s)

Journal Title

Description

Data Source

[Journal Article] Two-degree-of-freedom control design for ball screw driving table using full-closed loop(In Japanese)2004

Author(s)

Journal Title

Description

Data Source

[Journal Article] Filter design for resonance repression of ball screw driving table2004

Author(s)

Journal Title

NAID

Description

Data Source

[Journal Article] ベルト駆動機構の加速度フィードバックによる振動抑制2004

Author(s)

Journal Title

Description

Data Source

[Journal Article] High-speed positioning control for linear motor driving table without base vibration(In Japanese)2004

Author(s)

Journal Title

Description

Data Source

[Journal Article] 機械共振をもつメカトロニクス機器における振動抑制適応フィルタの設計法2004

Author(s)

Journal Title

Description

Data Source

[Journal Article] High speed positioning for ball screw driving table using two-degree-of freedom control(In Japanese)2004

HAMAMATSU Hiroshi 浜松弘