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Fukuda Akira  福田 明

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Researcher Number 80643220
Other IDs
Affiliation (Current) 2025: 徳山工業高等専門学校, 機械電気工学科, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2021 – 2022: 徳山工業高等専門学校, 機械電気工学科, 教授
2015 – 2020: 徳山工業高等専門学校, 機械電気工学科, 准教授
Review Section/Research Field
Principal Investigator
Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related / Production engineering/Processing studies
Keywords
Principal Investigator
研磨パッド / スラリー流れ / 化学的機械研磨 / 研磨能率 / 研磨 / 摩耗 / 下降流 / 上昇流 / 相関 / 研磨速度 … More / 流れの相似則 / 研磨レート / 循環流れ / ミクロスケール / 可視化 Less
  • Research Projects

    (2 results)
  • Research Products

    (7 results)
  • Co-Researchers

    (1 People)
  •  Enhancing material removal rate in polishing through control and optimization of micro slurry circulation flowPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      Fukuda Akira
    • Project Period (FY)
      2018 – 2022
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Review Section
      Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
    • Research Institution
      Tokuyama College of Technology
  •  Elucidation of polishing mechanism by visualization of microscale slurry flowPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      Fukuda Akira
    • Project Period (FY)
      2015 – 2017
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      Production engineering/Processing studies
    • Research Institution
      Tokuyama College of Technology

All 2023 2021 2019 2018 2017 2016

All Journal Article Presentation

  • [Journal Article] CMPにおけるミクロなスラリー循環流れと研磨レートとの関係2023

    • Author(s)
      福田 明
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 67 Pages: 79-82

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-18K03893
  • [Journal Article] Microscale Circulation Flow of Slurry in Polishing Pad Asperities2018

    • Author(s)
      福田 明
    • Journal Title

      Journal of the Japan Society for Precision Engineering

      Volume: 84 Issue: 2 Pages: 182-187

    • DOI

      10.2493/jjspe.84.182

    • NAID

      130006337597

    • ISSN
      0912-0289, 1882-675X
    • Language
      Japanese
    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K05743
  • [Journal Article] Method for Slurry Flow Visualization in Polishing Pad Asperities2017

    • Author(s)
      福田 明,御手洗 真人
    • Journal Title

      Journal of the Japan Society for Precision Engineering

      Volume: 83 Issue: 2 Pages: 173-179

    • DOI

      10.2493/jjspe.83.173

    • NAID

      130005313314

    • ISSN
      0912-0289, 1882-675X
    • Language
      Japanese
    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K05743
  • [Presentation] ガラス研磨における研磨レートとスラリー流れの関係2021

    • Author(s)
      南桑 辰徳, 山本 颯真, 金盛 智志, 福田 明
    • Organizer
      2021年度精密工学会秋季大会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-18K03893
  • [Presentation] ウェーハ・研磨パッド間アスペリティ領域におけるスラリー流れの可視化(第2報)ミクロな循環流れの存在について2019

    • Author(s)
      福田 明
    • Organizer
      精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 第177回研究会
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-18K03893
  • [Presentation] CMPにおけるウェーハ・研磨パッド間スラリー流れの可視化(第3報)ウェーハ・研磨パッド間凹凸領域における循環流れの存在について2017

    • Author(s)
      福田 明,秀毛春也,山縣 翔,渡辺健介
    • Organizer
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      慶應義塾大学 矢上キャンパス(横浜市)
    • Year and Date
      2017-03-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K05743
  • [Presentation] CMPにおけるウェーハ・研磨パッド間スラリー流れの可視化(第2報)パッド摩耗の影響の可視化に関する試み2016

    • Author(s)
      福田 明,石田 士,潮田拓海
    • Organizer
      2016年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      東京理科大学 野田キャンパス(千葉県野田市)
    • Year and Date
      2016-03-15
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K05743
  • 1.  SUZUKI Keisuke (50585156)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results

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