Fukuda Akira 福田明

Researcher Number	80643220
Other IDs
Affiliation (Current)	2025: 徳山工業高等専門学校, 機械電気工学科, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2021 – 2022: 徳山工業高等専門学校, 機械電気工学科, 教授 2015 – 2020: 徳山工業高等専門学校, 機械電気工学科, 准教授
Review Section/Research Field	Principal Investigator Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related / Production engineering/Processing studies
Keywords	Principal Investigator 研磨パッド / スラリー流れ / 化学的機械研磨 / 研磨能率 / 研磨 / 摩耗 / 下降流 / 上昇流 / 相関 / 研磨速度 … More / 流れの相似則 / 研磨レート / 循環流れ / ミクロスケール / 可視化 Less

Enhancing material removal rate in polishing through control and optimization of micro slurry circulation flowPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Fukuda Akira
- Project Period (FY)
  2018 – 2022
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
- Research Institution
  Tokuyama College of Technology
Elucidation of polishing mechanism by visualization of microscale slurry flowPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Fukuda Akira
- Project Period (FY)
  2015 – 2017
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Tokuyama College of Technology

All 2023 2021 2019 2018 2017 2016

All Journal Article Presentation

[Journal Article] CMPにおけるミクロなスラリー循環流れと研磨レートとの関係2023
- Author(s)
  福田　明
- Journal Title
  
  砥粒加工学会誌
  
  Volume: 67 Pages: 79-82
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18K03893
[Journal Article] Microscale Circulation Flow of Slurry in Polishing Pad Asperities2018
- Author(s)
  福田　明
- Journal Title
  
  Journal of the Japan Society for Precision Engineering
  
  Volume: 84 Issue: 2 Pages: 182-187
- DOI
  10.2493/jjspe.84.182
- NAID
  130006337597
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05743
[Journal Article] Method for Slurry Flow Visualization in Polishing Pad Asperities2017
- Author(s)
  福田明，御手洗真人
- Journal Title
  
  Journal of the Japan Society for Precision Engineering
  
  Volume: 83 Issue: 2 Pages: 173-179
- DOI
  10.2493/jjspe.83.173
- NAID
  130005313314
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05743
[Presentation] ガラス研磨における研磨レートとスラリー流れの関係2021
- Author(s)
  南桑辰徳, 山本颯真, 金盛智志, 福田明
- Organizer
  2021年度精密工学会秋季大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18K03893
[Presentation] ウェーハ・研磨パッド間アスペリティ領域におけるスラリー流れの可視化（第2報）ミクロな循環流れの存在について2019
- Author(s)
  福田　明
- Organizer
  精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会第177回研究会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18K03893
[Presentation] CMPにおけるウェーハ・研磨パッド間スラリー流れの可視化（第3報）ウェーハ・研磨パッド間凹凸領域における循環流れの存在について2017
- Author(s)
  福田明，秀毛春也，山縣　翔，渡辺健介
- Organizer
  2017年度精密工学会春季大会学術講演会
- Place of Presentation
  慶應義塾大学矢上キャンパス（横浜市）
- Year and Date
  2017-03-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05743
[Presentation] CMPにおけるウェーハ・研磨パッド間スラリー流れの可視化（第2報）パッド摩耗の影響の可視化に関する試み2016
- Author(s)
  福田明，石田　士，潮田拓海
- Organizer
  2016年度精密工学会春季大会学術講演会
- Place of Presentation
  東京理科大学野田キャンパス（千葉県野田市）
- Year and Date
  2016-03-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K05743

1. SUZUKI Keisuke (50585156)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results

Fukuda Akira 福田 明

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Enhancing material removal rate in polishing through control and optimization of micro slurry circulation flowPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Elucidation of polishing mechanism by visualization of microscale slurry flowPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Journal Article] CMPにおけるミクロなスラリー循環流れと研磨レートとの関係2023

Author(s)

Journal Title

Data Source

[Journal Article] Microscale Circulation Flow of Slurry in Polishing Pad Asperities2018

Author(s)

Journal Title

DOI

NAID

ISSN

Language

Data Source

[Journal Article] Method for Slurry Flow Visualization in Polishing Pad Asperities2017

Author(s)

Journal Title

DOI

NAID

ISSN

Language

Data Source

[Presentation] ガラス研磨における研磨レートとスラリー流れの関係2021

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] ウェーハ・研磨パッド間アスペリティ領域におけるスラリー流れの可視化（第2報）ミクロな循環流れの存在について2019

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] CMPにおけるウェーハ・研磨パッド間スラリー流れの可視化（第3報）ウェーハ・研磨パッド間凹凸領域における循環流れの存在について2017

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

[Presentation] CMPにおけるウェーハ・研磨パッド間スラリー流れの可視化（第2報）パッド摩耗の影響の可視化に関する試み2016

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

Fukuda Akira 福田明