Takikawa Hirofumi 滝川浩史

… Alternative Names

TAKIKAWA Hirofumi 滝川浩史

TAKIKAWA Horoshi 滝川浩史

滝川浩史タキカワヒロフミ

Less

Researcher Number	90226952
Other IDs
External Links
Affiliation (Current)	2025: 豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2022 – 2024: 豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 2011 – 2019: 豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 2010 – 2011: 豊橋技術科学大学, 大学院・工学研究科, 教授 2008 – 2010: 豊橋技術科学大学, 工学部, 教授 2005 – 2006: Toyohashi University of Technology, Electrical and Electronic Engineering, Associate Professor, 工学部, 助教授 … More 2003 – 2004: 豊橋技術科学大学, 技術開発センター, 助教授 1996 – 2002: 豊橋技術科学大学, 工学部, 助教授 1996: 豊橋技術科学大学, 大学院工学研究科, 講師 1994: 釧路高等専門学校, 助教授 1993: 豊橋技術科学大学, 工学部, 助手 Less
Review Section/Research Field	Principal Investigator Power engineering/Power conversion/Electric machinery / Electronic materials/Electric materials / Basic Section 21010:Power engineering-related / Nanomaterials/Nanobioscience / 電力工学・電気機器工学 / 電力工学・電気機器工学 Except Principal Investigator Electronic materials/Electric materials / 電力工学・電気機器工学 / Medium-sized Section 64:Environmental conservation measure and related fields / Electron device/Electronic equipment / Energy engineering / 電力工学・電気機器工学
Keywords	Principal Investigator フィルタードアーク蒸着 / ダイヤモンドライクカーボン膜 / ダイヤモンドライクカーボン / 均一成膜 / 真空アーク / カーボンナノホーン / カーボンナノチューブ / TiN膜 / 金属薄膜 / 精密加工 … More / 磁気輸送 / ドロップレット抑制 / 切削工具 / AlCrN膜 / 硬さ / ドロップレット / 陽極コイル / フィルタード真空アーク蒸着 / 高速成膜 / DLC膜 / 窒化物薄膜 / ハードコーティング / 高温金型保護膜 / 電子ビーム蒸発 / 耐熱性向上 / EB蒸着 / 耐熱性 / 機能性薄膜 / 薄膜コーティング / 電子ビーム蒸着 / パルスアーク / Apparatus development / Continuous operation / Mass production / Arc discharge / Carbon nanohorn particle / 収率向上 / 装置開発 / 連続運転 / 量産 / アーク放電法 / カーボンナノホーン粒子 / carbon nanohorn / field emission property / nanotube flake / nanotube formation morphology / substrate dependence / torch arc method / preparation in open-air / multi-walled carbon nanotube / プロセス条件依存性 / 電界電子放出特性 / ナノチューブフレーク / ナノチューブ形成様相 / 基材依存性 / トーチアーク法 / 大気中生成 / 多層カーボンナノチューブ / 摺動性 / 中間層 / フライホール / 相手材攻撃性 / 耐摩耗性 / フライホイール / 軸受け / 積層化 / トライボマテリアル / くし形微細加工 / 異物フリー技術 / 膜厚制御 / 前処理 / 高品質化 / MEMS / エッチング / パターニング / ナノテクノロジー / 微細加工 / ダイヤモンドライクカーボン膜 / 太陽光 / 太陽熱 / 加工技術 / 真空デバイス / 太陽エネルギー変換 / エミッタ / 密度・硬度 / 光学特性 / プラズマガン / 光学膜厚モニタ / 異種元素ドーピング手法 / ダイヤモンドライクカーボン薄膜 / 機能性アモルファスカーボン薄膜 / 真空アークプラズマ / 電気機器 / 反応性真空アーク蒸着 / ワイドバンドギャップ半導体 / カーボンナノコイル / 色素増感太陽電池 / 3次元ナノコーティング / ナノカーボン / 安定運転条件 / 放電特性 / ドロップレットフリー / 連続パルス電流 / 真空アーク蒸着法 / チューブ溶発量 / チューブ損耗量 / チューブ材料依存性 / 低電流から大電流領域 / 電界の強さ-電流特性 / プラスチック溶発アーク … More Except Principal Investigator 真空アーク蒸着 / T-FAD / droplet-free / vacuum arc deposition / aluminum nitride film / 窒化アルミニウム / イオンエネルギー分析 / 結晶配向 / 機械的特性 / 光学的特性 / ドロップレットフリー / 窒化アルミニウム膜 / Cluster / クラスター / フラーレン / 発酵助剤 / 粒状活性炭 / 微生物群集構造解析 / 電圧印加 / 小規模廉価型メタン発酵システム / Large area coating / Plasma scanner / Multi-source gun / Filtered arc with magnetic transportation / Vacuum arc deposition / Dry process / Cu wiring / 大面積成膜 / プラズマスキャナー / マルチソースガン / 磁気輸送フィルタードアーク / ドライプロセス / Cu配線 / Spectroscopic measurement / Cooling effect / pulse modulation / Induction thermal plasma / Nano-material / ナノマテリマル / 分光測定 / 冷却作用 / パルス変調 / 誘導熱プラズマ / ナノマテリアル / film properties / magnetically filtered arc / superconductor shield / enhanced shielded method / 膜質 / 磁気フィルタ型 / 超伝導体シールド / 拡張シールド型 / ion energy distribution / mass analysis / crystalline orientation / mechanical properties / optical properties / 放電維持 / 蒸着装置 / 質量・イオンエネルギー分析 / 酸化チタン膜 / アーク蒸着装置 / 真空アーク / 質量分析 / Fullerene / Inverter / High Rate Processing / Induction Plasma / Plasma Processing / Wide Area Plasma / 均一プロセシング / 熱プラズマプロセシング / 高速プロセミング / インバータ電源 / 高速プロセシング / プラズマ・プロセシング / 大口径プラズマ / 低周波磁界 / フィールドテスト / 全天日射量 / フィールド試験 / 太陽電池 / 日射計 / 農業 / 民生 / 日射量計測 / 電極損耗 / トーチ構造 / マルチ化回路 / グライディングアーク / 大気圧プラズマ / 吸収スペクトル / 発光スペクトル / スペクトル計測 / プラズマパラメータ / プロセスパラメータ / アークの電気式点弧 / イオンエネルギー制御 / ドロップレット抑制 / ノズル付エンハンス型蒸発源 / 逆行運動および限界速度 / 黒鉛陰極 / 真空アーク蒸着法 / ダイヤモンドライクカーボン膜 / C_2分子 / 軸方向温度分布 / 放射スペクトル / 圧力・ギャップ長依存性 / フラーレン収率・生産速度 / 分光学的診断 / アーク放電法 / フラーレン生成 Less

脱炭素資源循環を促すメタン発酵技術における微生物電気化学の夜明け
- Principal Investigator
  
  大門裕之
- Project Period (FY)
  2024 – 2027
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Review Section
  
  Medium-sized Section 64:Environmental conservation measure and related fields
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
板組コイル陽極を用いた金属窒化物膜形成用フィルタードアーク蒸着装置の開発Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  滝川浩史
- Project Period (FY)
  2022 – 2024
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Review Section
  
  Basic Section 21010:Power engineering-related
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
Fabrication of filtered arc deposition system with mixed vapor introduction and preparation of highly functional carbon films with high densityPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Takikawa Hirofumi
- Project Period (FY)
  2017 – 2019
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Power engineering/Power conversion/Electric machinery
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
Feasibility study of tribological coating on bearing for small flywheel batteryPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Takikawa Hirofumi
- Project Period (FY)
  2014 – 2016
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- Research Field
  
  Power engineering/Power conversion/Electric machinery
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
Advancement of Filtered Arc Deposition System and Fabrication and Processing of High-Quality Hydrogen-Free DLC FilmsPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  TAKIKAWA Hirofumi
- Project Period (FY)
  2012 – 2014
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Research Field
  
  Power engineering/Power conversion/Electric machinery
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
Feasibility study on solar energy converter using nanotube electron emitterPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  TAKIKAWA Hirofumi
- Project Period (FY)
  2011 – 2013
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- Research Field
  
  Power engineering/Power conversion/Electric machinery
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
Development of filtered-arc-deposition source with activated anode and preparation of functional-amorphous carbon filmPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  TAKIKAWA Hirofumi
- Project Period (FY)
  2009 – 2011
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Power engineering/Power conversion/Electric machinery
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
Development of wavelength selectivepyranometer for measurement of global solar irradiance and its field test
- Principal Investigator
  
  SAKAKIBARA Tateki
- Project Period (FY)
  2008 – 2010
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Energy engineering
- Research Institution
  Gifu National College of Technology
大気圧メソプラズマ・グライディングアークのマルチ化
- Principal Investigator
  
  榊原建樹
- Project Period (FY)
  2005 – 2006
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Exploratory Research
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Gifu National College of Technology
  Toyohashi University of Technology
ナノカーボンの表面ナノコーティングと太陽電池への適用に対する基礎検討Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  滝川浩史
- Project Period (FY)
  2003 – 2004
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Exploratory Research
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
Development of Mass-Production Technique of Carbon Nanohorn Based on Arc discharge MethodPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  TAKIKAWA Hirofumi
- Project Period (FY)
  2003 – 2005
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Nanomaterials/Nanobioscience
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
Development of High-Speed Dry Coating of Cu-Wiring Using Clean Metal-Arc Plasma
- Principal Investigator
  
  SAKAKIBARA Tateki
- Project Period (FY)
  2003 – 2005
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Electron device/Electronic equipment
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
High Speed Production of Nanotube film for Cold Cathode Electron Emitter and Its Property EvaluationPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  TAKIKAWA Hirofumi
- Project Period (FY)
  2001 – 2002
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
連続パスル真空アーク放電を利用したドロップレットフリー電子材料薄膜創製Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  滝川浩史
- Project Period (FY)
  1999 – 2000
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
Preparation of Insulating Aluminum Nitride Film by Enhanced Shielded Vacuum
- Principal Investigator
  
  SAKAKIBARA Takeki
- Project Period (FY)
  1999 – 2001
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
High-speed synthesis of fullerences by using low-frequency induction thermal plasma with pulse-modulated mode.
- Principal Investigator
  
  SAKUTA Tadahiro
- Project Period (FY)
  1999 – 2001
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Kanazawa University
Development of Low-Fregnency Induction Thermal Plasma for Cluster Synthesis
- Principal Investigator
  
  SAKUTA Tadahiro
- Project Period (FY)
  1996 – 1998
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Kanazawa University
Development of vacuum arc deposition system for fabricating AIN film available to electrical insulation film of power devices with high thermal conduction
- Principal Investigator
  
  SAKAKIBARA Tateki
- Project Period (FY)
  1996 – 1998
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
アーク放電法における高効率フラーレン生成条件とプラズマパラメータ
- Principal Investigator
  
  榊原建樹
- Project Period (FY)
  1994
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
アーク放電法におけるフラーレン生成機構の分光学的研究
- Principal Investigator
  
  SAKAKIBARA Tateki
- Project Period (FY)
  1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
真空アーク蒸着法によるアモルファスカーボン薄膜の効率的生成に関する研究
- Principal Investigator
  
  榊原建樹
- Project Period (FY)
  1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology
大電流領域におけるプラスチック溶発アークの基礎特性Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  滝川浩史
- Project Period (FY)
  1993
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Toyohashi University of Technology

[Book] 最新実用真空技術総覧アークイオンプレーティング2019
- Author(s)
  滝川浩史他
- Total Pages
  1096
- Publisher
  （株）エヌ・ティー・エス
- ISBN
  9784860435592
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Book] プラズマ・核融合学会誌2016
- Author(s)
  滝川浩史
- Total Pages
  6
- Publisher
  フィルタードアーク蒸着装置によりDLCを創る
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Book] 潤滑経済（水素フリーDLCテトラヘドラルアモルファスカーボンの開発）2014
- Author(s)
  滝川浩史
- Total Pages
  80
- Publisher
  潤滑通信社
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Book] 光技術コンタクト（レンズ金型用離型膜へのDLCの応用）2014
- Author(s)
  瀧真，安井治之，神谷雅男，滝川浩史
- Total Pages
  50
- Publisher
  日本オプトメカトロニクス協会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Book] 潤滑経済（水素フリーDLCテトラヘドラルアモルファスカーボンの開発）2014
- Author(s)
  滝川浩史
- Total Pages
  80
- Publisher
  潤滑通信社
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Book] 光技術コンタクト（レンズ金型用離型膜へのDLCの応用）2014
- Author(s)
  瀧真，安井治之，神谷雅男，滝川浩史
- Total Pages
  50
- Publisher
  日本オプトメカトロニクス協会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Book] 光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御第15 節真空アーク蒸着法による光学薄膜の成膜技術と膜質・膜厚の制御2013
- Author(s)
  滝川浩史, 他
- Publisher
  技術情報協会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Book] DLCの応用技術－進化するダイヤモンドライクカーボンの産業応用と未来技術－(普及版)2013
- Author(s)
  滝川浩史　ほか
- Total Pages
  306
- Publisher
  シーエムシー出版
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Book] 光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御　第15節　真空アーク蒸着法による光学薄膜の成膜技術と膜質・膜厚の制御2013
- Author(s)
  滝川浩史ほか
- Total Pages
  890
- Publisher
  技術情報協会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Book] DLCの応用技術－進化するダイヤモンドライクカーボンの産業応用と未来技術－(普及版)2013
- Author(s)
  滝川浩史　ほか
- Total Pages
  306
- Publisher
  シーエムシー出版
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Book] DLC の応用技術-進化するダイヤモンドライクカーボンの産業応用と未来技術-(普及版)2013
- Author(s)
  滝川浩史, 他
- Publisher
  シーエムシー出版
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Book] 光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御　第15節　真空アーク蒸着法による光学薄膜の成膜技術と膜質・膜厚の制御2013
- Author(s)
  滝川浩史　ほか
- Total Pages
  890
- Publisher
  技術情報協会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Journal Article] Development of gas-injected pulsed plasma CVD method using Ar/C2H2 mixed gas for ultra-high-rate diamond-like carbon deposition2023
- Author(s)
  Harigai Toru、Ohhra Hikaru、Bando Takahiro、Takikawa Hirofumi、Kunitsugu Shinsuke、Gonda Hidenobu
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 62 Issue: SL Pages: SL1013-SL1013
- DOI
  10.35848/1347-4065/acd45f
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Journal Article] DC vacuum arc deposition with open winding-path anode assembled with C-ring plates2023
- Author(s)
  Bando Takahiro、Saiki Yoshinori、Kito Jumpei、Hashimoto Yuki、Harigai Toru、Takikawa Hirofumi、Gima Hiroki、Sugita Hiroaki
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 62 Issue: 3 Pages: 0309011-4
- DOI
  10.35848/1347-4065/acbf90
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Journal Article] DC vacuum arc deposition system with an anode generating magnetic field for preparation of TiN films2023
- Author(s)
  Kito Jumpei、Saiki Yoshinori、Homma Kento、Watanabe Seiya、Bando Takahiro、Harigai Toru、Takikawa Hirofumi、Gima Hiroki、Sugita Hiroaki
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 62 Issue: SI Pages: SI1012-SI1012
- DOI
  10.35848/1347-4065/acd068
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Journal Article] Wear-resistive and electrically conductive nitrogen-containing DLC film consisting of ultra-thin multilayers prepared by using filtered arc deposition2019
- Author(s)
  T. Harigai, K. Tamekuni, Y. Iijima, S. Degai, T. Tanimoto, Y. Suda, H. Takikawa, S. Kaneko, S. Kunitsugu, H. Habuchi, M. Kamiya, M. Taki, H. Gonda
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 58 Issue: SE Pages: SEED05-SEED05
- DOI
  10.7567/1347-4065/ab1472
- NAID
  210000156226
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Journal Article] Self-supporting tetrahedral amorphous carbon films consisting of multilayered structure prepared using filtered arc deposition2019
- Author(s)
  T. Harigai, Y. Miyamoto, M. Yamano, T. Tanimoto, Y. Suda, H. Takikawa, T. Kawano, M. Nishiuchi, H. Sakaki, K. Kondo, S. Kaneko, S. Kunitsugu
- Journal Title
  
  Thin Solid Films
  
  Volume: Vol.675 Pages: 123-127
- DOI
  10.1016/j.tsf.2019.02.022
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Journal Article] Electrical resistivity and mechanical properties of nitrogen-containing diamondlike carbon/tungsten and nitrogen-containing diamondlike carbon/tungsten carbide multilayer films prepared under low substrate temperature2019
- Author(s)
  Koki Tamekuni, Toru Harigai, Takafumi Toya, Hirofumi Takikawa, Tsuyoshi Tanimoto, Shigeki Takago, Haruyuki Yasui, Satoru Kaneko, Shinsuke Kunitsugu, Masao Kamiya, Makoto Taki, and Hidenobu Gonda
- Journal Title
  
  Journal of Vacuum Science & Technology B
  
  Volume: 38 Issue: 1
- DOI
  10.1116/1.5129700
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Journal Article] Hydrogen-free fluorinated DLC films with high hardness prepared by using T-shape filtered arc deposition system2018
- Author(s)
  T. Imai, T. Harigai, T. Tanimoto, R. Isono, Y. Iijima, Y. Suda, H. Takikawa, M. Kamiya, M. Taki, Y. Hasegawa, S. Kaneko, S. Kunitsugu, M. Ito
- Journal Title
  
  Vacuum
  
  Volume: In Press Pages: 1-6
- DOI
  10.1016/j.vacuum.2018.07.009
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Journal Article] Preparation of multi-layer film consisting of hydrogen-free DLC and nitrogen-containing DLC for conductive hard coating2018
- Author(s)
  Iijima Yushi、Harigai Toru、Isono Ryo、Degai Satoshi、Tanimoto Tsuyoshi、Suda Yoshiyuki、Takikawa Hirofumi、Yasui Haruyuki、Kaneko Satoru、Kunitsugu Shinsuke、Kamiya Masao、Taki Makoto
- Journal Title
  
  AIP Conference Proceedings
  
  Volume: 1929
- DOI
  10.1063/1.5021937
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Journal Article] Fabrication of nitrogen-containing diamond-like carbon film by filtered arc deposition as conductive hard-coating film2018
- Author(s)
  Y. Iijima, T.u Harigai, R. Isono, T. Imai, Y. Suda, H. Takikawa, M. Kamiya, M. Taki, Y. Hasegawa, N. Tsuji, S. Kaneko, S. Kunitsugu, H. Habuchi, S. Kiyohara, M. Ito, S. Yick, A. Bendavid, P. Martin
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 57 Issue: 1S Pages: 01AE07-01AE07
- DOI
  10.7567/jjap.57.01ae07
- NAID
  210000148556
- Peer Reviewed / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Journal Article] Improvement of adhesion of hydrogen-free DLC film by employing an interlayer of tungsten carbide2018
- Author(s)
  Isono Ryo、Tanimoto Tsuyoshi、Iijima Yushi、Kusumawan Sholihatta Aziz、Harigai Toru、Suda Yoshiyuki、Takikawa Hirofumi、Kamiya Masao、Kaneko Satoru、Kunitsugu Shinsuke、Taki Makoto
- Journal Title
  
  AIP Conference Proceedings
  
  Volume: 1929 Pages: 020019-020019
- DOI
  10.1063/1.5021932
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Journal Article] Fabrication of Tungsten Carbide Films by Filtered Pulse Arc Deposition with Cemented Tungsten Carbide Cathodes2017
- Author(s)
  Isono Ryo、Tanimoto Tsuyoshi、Iijima Yushi、Harigai Toru、Suda Yoshiyuki、Takikawa Hirofumi、Kaneko Satoru
- Journal Title
  
  Materials Sciences and Applications
  
  Volume: 08 Issue: 13 Pages: 966-978
- DOI
  10.4236/msa.2017.813071
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Journal Article] Fabrication of Diamond-Like carbon emitter patterns by room-temperature curing nanoimprint lithography with PDMS molds using polysiloxane2016
- Author(s)
  S. Kiyohara, S. Yoshida, I. Ishikawa, T. Harigai, H. Takikawa, M. Watanabe, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
- Journal Title
  
  MRS Advances
  
  Volume: 2016 Issue: 16 Pages: 1075-1080
- DOI
  10.1557/adv.2016.49
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Journal Article] Dry machining of metal using an engraving cutter coated with a droplet-free ta-C film prepared via a T-shape filtered arc deposition2016
- Author(s)
  Y. Fujii, T. Imai, Y. Miyamoto, N. Ueda, M. Hosoo, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, H. Tanoue, M. Kamiya, M. Taki, Y. Hasegawa, N. Tsuji, S. Kanekoe
- Journal Title
  
  Surface & Coatings Technology
  
  Volume: 307 Pages: 1029-1033
- DOI
  10.1016/j.surfcoat.2016.07.037
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Journal Article] Fabrication of Diamond-Like carbon microgears in room-temperature curing nanoimprint lithography using ladder-type hydrogen silsesquioxane2016
- Author(s)
  S. Kiyohara, Y. Shimizu, I. Ishikawa, T. Harigai, H. Takikawa, M. Watanabe, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
- Journal Title
  
  MRS Advances
  
  Volume: 2016 Issue: 16 Pages: 1-6
- DOI
  10.1557/adv.2016.126
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Journal Article] 水素フリーDLC テトラヘドラルアモルファスカーボンの開発2014
- Author(s)
  滝川浩史
- Journal Title
  
  潤滑経済
  
  Volume: 586号 Pages: 6-9
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Journal Article] Expansion of lattice constants of aluminum nitride thin film prepared on sapphire substrate by ECR plasma sputtering method2014
- Author(s)
  S Kaneko, H Torii, T Amazawa, T Ito, M Yasui, M Kurouchi, A Fukushima, T Tokumasu, S Lee, S Park, H Takikawa, M Yoshimoto
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 53 Issue: 11S Pages: 11RA11-11RA11
- DOI
  10.7567/jjap.53.11ra11
- NAID
  210000144625
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Journal Article] Improved mechanical properties of bucky paper achieved via the addition of carbon nanocoils2014
- Author(s)
  K. Maruyama, Y. Suda, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu and Y. Umeda
- Journal Title
  
  AIP Conference Proceedings
  
  Volume: Vol.1585 Pages: 89-96
- DOI
  10.1063/1.4866624
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197, KAKENHI-PROJECT-24360108, KAKENHI-PROJECT-25630110
[Journal Article] "Optimization of chemical vapor deposition for reducing the fiber　diameter and number of graphene layers in multi-walled carbon nanocoils "2013
- Author(s)
  S. L. Lim, Y. Suda, K. Takimoto, Y. Ishii, K. Maruyama, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu,Y. Umeda
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 52 Issue: 11S Pages: 11NL04-11NL04
- DOI
  10.7567/jjap.52.11nl04
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197, KAKENHI-PROJECT-24360108, KAKENHI-PROJECT-25630110
[Journal Article] フィルタードアーク蒸着で形成したDLC膜の概要と応用 (特集表面改質技術)2013
- Author(s)
  滝川浩史
- Journal Title
  
  月刊トライボロジー
  
  Volume: 27 Pages: 38-40
- NAID
  40019560583
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Journal Article] 水素フリーDLCテトラヘドラルアモルファスカーボンの開発2013
- Author(s)
  滝川浩史
- Journal Title
  
  潤滑経済
  
  Volume: 586 Pages: 6-9
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Journal Article] ピュアカーボンプラズマビームを用いた超硬質DLC 膜の合成と応用2013
- Author(s)
  田上英人, 滝川浩史, 須田善行
- Journal Title
  
  化学工業
  
  Volume: 63巻 Pages: 34-40
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Journal Article] Nanofabrication of DLC-dot Arrays by Room-temperature Curing Imprint-liftoff Method2013
- Author(s)
  S. Kiyohara, S. Matta, I. Ishikawa, H. Tanoue, H. Takikawa, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
- Journal Title
  
  Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
  
  Volume: Vol.1511
- DOI
  10.1557/opl.2013.15
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560144, KAKENHI-PROJECT-24246048
[Journal Article] Fabrication of Micro-OLEDs by Room-temperature Curing Contact-imprint Using DLC Molds2013
- Author(s)
  I. Ishikawa, K. Sakurai, S. Kiyohara, C. Ito, H. Tanoue, Y. Suda, H. Takikawa, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
- Journal Title
  
  Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
  
  Volume: Vol.1511
- DOI
  10.1557/opl.2012.1711
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560144, KAKENHI-PROJECT-24246048
[Journal Article] 水素フリーDLCテトラヘドラルアモルファスカーボンの開発2013
- Author(s)
  滝川浩史
- Journal Title
  
  潤滑経済
  
  Volume: 586 Pages: 6-9
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Journal Article] フィルタードアーク蒸着で形成したDLC膜の概要と応用 (特集表面改質技術)2013
- Author(s)
  滝川浩史
- Journal Title
  
  月刊トライボロジー
  
  Volume: 27 Pages: 38-40
- NAID
  40019560583
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Journal Article] Fabrication of DLC-based Micro-gear patterns by Room-temperature Curing Nanoimprint Lithography Using Glass-like Carbon Molds2013
- Author(s)
  S. Kiyohara, T. Ikegaki,I. Ishikawa,H. Tanoue, H. Takikawa,Y. Taguchi,Y. Sugiyama,Y. Omata,Y. Kurashima
- Journal Title
  
  Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
  
  Volume: Vol.1511 Pages: 1-1
- DOI
  10.1557/opl.2013.21
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560144, KAKENHI-PROJECT-23760258, KAKENHI-PROJECT-24246048
[Journal Article] フィルタードアーク蒸着で形成したDLC 膜の概要と応用(特集表面改質技術)2013
- Author(s)
  滝川浩史
- Journal Title
  
  月刊トライボロジー
  
  Volume: 27巻 Pages: 38-40
- NAID
  40019560583
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Journal Article] ピュアカーボンプラズマビームを用いた超硬質DLC膜の合成と応用2013
- Author(s)
  田上英人，滝川浩史，須田善行
- Journal Title
  
  化学工業
  
  Volume: 63 Pages: 34-40
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Journal Article] ピュアカーボンプラズマビームを用いた超硬質DLC膜の合成と応用2013
- Author(s)
  田上英人，滝川浩史，須田善行
- Journal Title
  
  化学工業
  
  Volume: 63 Pages: 34-40
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Journal Article] Effect of filament discharge on uprightness of carbon nanotwists tightly-adhered to substrate2011
- Author(s)
  Y. Sugioka, M. Yokota, T. Pude, Y. Suda, H. Takikawa, H. Tanoue, H. Ue1, Y. Umeda, and K. Shimizu
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: Vol.50 Issue: 8S1 Pages: 08JF08-08JF08
- DOI
  10.1143/jjap.50.08jf08
- NAID
  210000139469
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Journal Article] Removal of diamond-like carbon film by oxygen-dominated plasma beam converted from filtered carbon-cathodic arc2011
- Author(s)
  H. Tanoue, M. Kamiya, Y. Suda, S. Oke, H. Takikawa, Y. Hasegawa, M. Taki, N. Tsuji, T. Ishikawa, H. Yasui
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: Vol.50
- NAID
  210000138270
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Journal Article] フィルタードアークプラズマビームの磁界制御によるドロップレットフリーDLC膜の形成2011
- Author(s)
  奥田浩史, 滝川浩史, 他
- Journal Title
  
  プラズマ応用科学
  
  Volume: 18-2 Pages: 159-164
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Journal Article] 中真空動作磁気引き出し型ガスプラズマ銃の開発と基礎特性2011
- Author(s)
  柳田太一郎, 田上英人, 神谷雅男, 須田善行, 滝川浩史, 瀧真, 長谷川祐史, 石川剛史
- Journal Title
  
  電気学会論文誌A
  
  Volume: Vol.131, No.2 Pages: 139-144
- NAID
  10027803102
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Journal Article] Effect of Filament Discharge on Uprightness of Carbon Nanotwists Tightly-Adhered to Substrate2011
- Author(s)
  Yuki Sugioka, Masashi Yokota, Tang Pude, Yoshiyuki Suda, Hirofumi Takikawa, Hideto Tanoue, Hitoshi Ue, Yoshito Umeda, and Kazuki Shimizu
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 50
- NAID
  210000139469
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Journal Article] A new simple model of direct spectral irradiance with easily observable atmospheric parameters2010
- Author(s)
  S.Oke, N.Fukushige, Y.Kemmoku, H.Takikawa, T.Sakakibara, K.Araki
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 2010 No.5
  
  Pages: 548-552
- NAID
  10026582071
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Journal Article] Effect of gas introduction position on substrate etching by means of Ar-dominated graphite-cathodic-arc plasma beam in at-FAD2010
- Author(s)
  H. Tanoue, M. Kamiya, S. Oke, Y. Suda, H. Takikawa, Y. Hasegawa, M. Taki, N. Tsuji, T. Ishikawa, H. Yasui, S. Temmei, H. Takahashi
- Journal Title
  
  Thin Solid Films
  
  Volume: Vol.518, No.13 Pages: 3546-3550
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Journal Article] A new simple model of direct spectral irradiance with easily observable atmospheric parameters2010
- Author(s)
  Shinichiro Oke, Naoyuki Fukushige, Yoshishige Kemmoku, Hirofumi Takikawa, Tateki Sakakibara, Kenji Araki
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Eongineering
  
  Volume: No.5 Pages: 548-552
- NAID
  10026582071
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Journal Article] エコエネルギーシステム設計・運用支援ツールEcoTOP(エコトップ)2010
- Author(s)
  桶真一郎, 東山伸, 村田浩之, 滝川浩史
- Journal Title
  
  電気学会論文誌B
  
  Volume: Vol.130, No.5 Pages: 536-537
- NAID
  10026227021
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Journal Article] フィルタードアークプラズマビームの磁界制御によるドロップレットフリーDLC膜の形成2010
- Author(s)
  奥田浩史, 神谷雅男, 田上英人, 須田善行, 滝川浩史
- Journal Title
  
  プラズマ応用科学
  
  Volume: Vol.18, No.2 Pages: 159-164
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Journal Article] エコエネルギーシステム設計・運用支援ツールEcoTOP(エコトップ)2010
- Author(s)
  桶真一郎,東山伸,村田浩之,滝川浩史
- Journal Title
  
  電気学会論文誌B Vol.130, No.5
  
  Pages: 536-537
- NAID
  10026227021
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Journal Article] フィルタードアーク蒸着で形成したダイヤモンドライクカーボン膜の光学特性2009
- Author(s)
  神谷雅男, 川口裕輔, 田上英人, 須田善行, 滝川浩史
- Journal Title
  
  プラズマ応用科学
  
  Volume: Vol.17, No.2 Pages: 125-132
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Journal Article] Argon-dominated plasma beam generated by filtered vacuum arc and its substrate etching2009
- Author(s)
  H. Tanoue, M. Kamiya, S. Oke, Y. Suda, H. Takikawa, Y. Hasegawa, M. Taki, M. Kumagai, M. Kano, T. Ishikawa, H. Yasui
- Journal Title
  
  Applied Surface Science
  
  Volume: 255 Pages: 7780-7785
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Journal Article] 温室内日射計測のための太陽電池アレイ型簡易日射計の開発2009
- Author(s)
  桶真一郎,杉山智美,須田善行,滝川浩史,川嶋和子
- Journal Title
  
  太陽エネルギー Vol.35, No.5
  
  Pages: 71-76
- NAID
  10025363483
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Journal Article] T-shape filtered arc deposition system with built-in electrostatic macro-particle trap for DLC film preparation2009
- Author(s)
  M. Kamiya, T. Yanagita, H. Tanoue, S. Oke, Y. Suda, H. Takikawa, M. Taki, Y. Hasegawa, T. Ishikawa, H. Yasui
- Journal Title
  
  Thin Solid Films
  
  Volume: Vol.518, No.5 Pages: 1498-1502
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Journal Article] 二軸追尾低集光リニアアレイ太陽光発電システム2009
- Author(s)
  桶真一郎, 市川直毅, 滝川浩史, 榊原建樹, 荒木建次
- Journal Title
  
  電気学会論文誌B Vol.129, No.9
  
  Pages: 1154-1155
- NAID
  10025101017
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Journal Article] 二軸追尾低集光リニアアレイ太陽光発電システム2009
- Author(s)
  桶真一郎,市川直毅,滝川浩史,榊原建樹,荒木建次
- Journal Title
  
  電気学会論文誌B Vol.129, No.9
  
  Pages: 1154-1155
- NAID
  10025101017
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Journal Article] 温室内日射計測のための太陽電池アレイ型簡易日射計の開発2009
- Author(s)
  桶真一郎, 杉山智美, 須田善行, 滝川浩史, 川嶋和子
- Journal Title
  
  太陽エネルギー Vol.135, No.5
  
  Pages: 71-76
- NAID
  10025363483
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Journal Article] 大気圧メゾプラズマの開発と表面処理への応用2006
- Author(s)
  滝川浩史
- Journal Title
  
  プラズマ応用と複合機能材料 Vol.15
  
  Pages: 61-64
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17656094
[Journal Article] Influence of Duct Bias on T-Shape Filtered Arc Deposition Apparatus2005
- Author(s)
  Y.Iwasaki, S.Minamisawa, H.Takikawa, T.Sakakibara, Y.Hasegawa
- Journal Title
  
  The 5^<th> International Symposium on Applied Plasma Science P II-3
  
  Pages: 193-198
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15360189
[Journal Article] Process Condition of Arc Soot as Raw Material for Mass Production of Carbon Nanoballoon2005
- Author(s)
  H.Niwa, K.Higashi, H.Takikawa, G.C.Xu, T.Sakakibara, A.Kondo, K.Yoshikawa, S.Ito
- Journal Title
  
  Extended Abstracts (The 52^<th> Spring Meeting, 2005) ; The Japan Society of Applied Physics 30p-YF-14
  
  Pages: 1056-1056
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15310087
[Journal Article] DLC成膜用T字状フィルタードアーク蒸着装置における成膜速度改善2005
- Author(s)
  滝川浩史
- Journal Title
  
  電気学会基礎・材料・共通部門大会 (3)-3
  
  Pages: 28-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15360189
[Journal Article] Improvement of Deposition Rate of DLC Film in T-Shape Filtered Arc Depension2005
- Author(s)
  Y.Iwasaki, S.Minamisawa, G.C.Xu, H.Takikawa, T.Sakakibara, Y.Hasegawa
- Journal Title
  
  Plasma Application and Hybrid Functionally Materials 14
  
  Pages: 71-74
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15360189
[Journal Article] Synthesis of Nanocarbon Particle by Arc Discharge Plasma and Pt-Ru Catalyst Dispersion2005
- Author(s)
  K.Higashi, H,.Niwa, H.Takikawa, T.Sakakibara, S.Itoh, T.Yamaura, Gu.Xu
- Journal Title
  
  Applied Plasma Science Vol.13
  
  Pages: 99-104
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15310087
[Journal Article] Development of Y-shape Filtered Arc Deposition Apparatus and Cu Film Deposition for Wiring2005
- Author(s)
  H.Hikosaka, Y.Iwasaki, H.Takikawa, T.Sakakibara, Y.Hasegawa, N.Tsuji
- Journal Title
  
  The Papers of Technical Meeting on Electrical Discharges, IEE Japan ED-05-150
  
  Pages: 41-44
- NAID
  10016961167
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15360189
[Journal Article] Improvement of Deposition Rate of Cu Film for Wiring in Filtered Arc Deposition2005
- Author(s)
  Y.Iwasaki, H.Hikosaka, T.Takikawa, T.Sakakibara, Y.Hasegawa, N.Tsuji
- Journal Title
  
  Extended Abstracts (The 66^<th> Autumn Meeting, 2005) ; The Japan Society of Applied Physics 7p-A-12
  
  Pages: 699-699
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15360189
[Journal Article] Development of T/Crank-Hybrid Filtered Arc Deposition Apparatus for multiplayer films2005
- Author(s)
  H.Hikosaka, Y.Iwasaki, H.Takikawa, T.Sakakibara, Y.Hasegawa, N.Tsuji
- Journal Title
  
  The Papers of Technical Meeting on Plasma Science and Technology, IEE Japan PST-05-84
  
  Pages: 55-59
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15360189
[Journal Article] Continious Preparation of Nanocarbon Using Arc Discharge2005
- Author(s)
  H.Niwa, K.Higashi, K.Shinohara, H.Takikawa, T.Sakakibara, A.Kondo, K.Yoshikawa, S.Natsume, S.Ito, T.Yamaura
- Journal Title
  
  Extended Abstracts (The 66^<th> Autumun Meeting, 2005) ; The Japan Society of Applied Physics 9p-F-15
  
  Pages: 817-817
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15310087
[Journal Article] Improvement of Deposition Rate in T-Shape Filtered Arc Deposition2005
- Author(s)
  Y.Iwasaki, S.Minamisawa, H.Takikawa, G.C.Xu, T.Sakakibara, Y.Hasegawa
- Journal Title
  
  Proceedings on PSS-2005 SPP-22
  
  Pages: 173-174
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15360189
[Journal Article] Shape Change of Arc Soot by Thermal Treatment2005
- Author(s)
  H.Niwa, G.C.Xu, T.Imaizumi, H.Takikawa, T.Sakakibara, K.Yoshikawa, A.Kondo, S.Itoh
- Journal Title
  
  Proceedings on PSS-2005/SPP-22 14
  
  Pages: 131-132
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15310087
[Journal Article] Mass Production of Carbon Nanomaterials by Arc Discharge : Influences of Gas and Gas Pressure2005
- Author(s)
  H.Niwa, K.Higashi, G.C.Xu, H.Takikawa, K.Yoshikawa, A.Kondo, S.Itoh, T.Sakakibara
- Journal Title
  
  Abstracts on The 28^<th> Fullerene-Nanotubes General Symposium 1P-42
  
  Pages: 90-90
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15310087
[Journal Article] Fabrication of diamond-like carbon film on rubber by T-shape filtered arc deposition under the influence of various ambient gases2004
- Author(s)
  H.Takikawa
- Journal Title
  
  Thin Slid Films 457
  
  Pages: 143-150
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15656074
[Journal Article] Carbon Nanoballoon Produced by Thermal Treatment of Arc Soot2004
- Author(s)
  G.C.Xu, H.Niwa, T.Imaizumi, H.Takikawa, T.Sakakibara, K.Yoshikawa, A.Kondo, S.Itoh
- Journal Title
  
  New Diamond and Frontier Carbon Technology 15-2
  
  Pages: 73-81
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15310087
[Journal Article] Fabrication of diamond-like carbon film on rubber by T-shape filtered arc deposition under the influence of various ambient gases2004
- Author(s)
  H.Takikawa
- Journal Title
  
  Thin Slid Films 457
  
  Pages: 143-150
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15360189
[Patent] DLC膜及びDLCコート金型2014
- Inventor(s)
  滝川浩史, 田上英人, 神谷雅男, 加藤裕久, 瀧真, 長谷川祐史
- Industrial Property Rights Holder
  豊橋技術科学大学, 伊藤光学工業(株), (株)オンワード技研
- Industrial Property Rights Type
  特許
- Filing Date
  2014-02-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Patent] ＤＬＣ膜の製造方法2013
- Inventor(s)
  滝川浩史，瀧真，長谷川祐史，神谷雅男，加藤裕久
- Industrial Property Rights Holder
  豊橋技術科学大学，伊藤光学工業（株），（株）オンワード技研
- Industrial Property Rights Type
  特許
- Filing Date
  2013-11-05
- Acquisition Date
  2014-12-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Patent] ＤＬＣ膜及びＤＬＣコート金型2013
- Inventor(s)
  滝川浩史，瀧真，長谷川祐史，神谷雅男，加藤裕久
- Industrial Property Rights Holder
  豊橋技術科学大学，伊藤光学工業（株），（株）オンワード技研
- Industrial Property Rights Type
  特許
- Filing Date
  2013-02-04
- Acquisition Date
  2015-03-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Patent] 炭素電極保持構造体2013
- Inventor(s)
  福田博人，辻信弘，長谷川祐史，瀧真，大村佳人，藤田裕希，滝川浩史
- Industrial Property Rights Holder
  トヨタ自動車、オンワード技研、豊橋技術科学大学
- Industrial Property Rights Type
  特許
- Industrial Property Number
  2013-266282
- Filing Date
  2013-12-25
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Patent] プラズマ処理装置2011
- Inventor(s)
  滝川浩史,岩崎康浩,辻信弘,長谷川祐史
- Industrial Property Rights Holder
  豊橋技術科学大学、株式会社オンワード技研
- Acquisition Date
  2011-12-16
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Patent] プラズマ表面処理方法及びプラズマ処理装置2011
- Inventor(s)
  滝川浩史,辻信弘,長谷川祐史
- Industrial Property Rights Holder
  豊橋技術科学大学、株式会社オンワード技研
- Acquisition Date
  2011-12-16
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Patent] DLC被覆工具2011
- Inventor(s)
  滝川浩史,長谷川祐史,瀧真
- Industrial Property Rights Holder
  豊橋技術科学大学、株式会社オンワード技研
- Acquisition Date
  2011-07-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Patent] DLC被覆工具2009
- Inventor(s)
  滝川浩史、長谷川祐史、瀧真
- Industrial Property Rights Holder
  豊橋技術科学大学、株式会社オンワード技研
- Filing Date
  2009-06-08
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Patent] プラズマ生成装置2009
- Inventor(s)
  滝川浩史、椎名祐一
- Industrial Property Rights Holder
  滝川浩史,株式会社フェローテック
- Acquisition Date
  2009-09-11
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Patent] プラズマ生成装置2009
- Inventor(s)
  滝川浩史,椎名祐一
- Industrial Property Rights Holder
  滝川浩史,株式会社フェローテック
- Acquisition Date
  2009-06-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Patent] プラズマ生成装置2009
- Inventor(s)
  滝川浩史,椎名祐一
- Industrial Property Rights Holder
  滝川浩史,株式会社フェローテック
- Acquisition Date
  2009-09-11
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Patent] プラズマ生成装置2009
- Inventor(s)
  滝川浩史、椎名祐一
- Industrial Property Rights Holder
  滝川浩史,株式会社フェローテック
- Acquisition Date
  2009-06-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Patent] DLC被覆工具2009
- Inventor(s)
  滝川浩史、長谷川祐史、瀧真
- Industrial Property Rights Holder
  豊橋技術科学大学、株式会社オンワード技研
- Acquisition Date
  2009-12-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Patent] DLC被覆工具2009
- Inventor(s)
  滝川浩史,長谷川祐史,瀧真
- Industrial Property Rights Holder
  豊橋技術科学大学、株式会社オンワード技研
- Acquisition Date
  2009-12-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Patent] DLC被覆工具2009
- Inventor(s)
  滝川浩史, 長谷川祐史, 瀧真
- Industrial Property Rights Holder
  国立大学法人豊橋技術科学大学, 株式会社オンワード技研
- Filing Date
  2009-06-08
- Acquisition Date
  2011-07-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Patent] 日射計測装置2008
- Inventor(s)
  桶真一郎, 滝川浩史, 杉山智美
- Industrial Property Rights Holder
  豊橋技術科学大学
- Industrial Property Number
  2008-323006
- Filing Date
  2008-12-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Presentation] 酸素プラズマを用いた DLC 膜の除膜法の検討2023
- Author(s)
  三浦竹次朗, 谷本壮, 臼木貴羅, 税木善則, 針谷達, 坂東隆宏, 滝川浩史
- Organizer
  令和5年度電気・電子・情報関係学会四国支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] High-Speed Deposition of Ta-C Film by DC Linear Filtered Arc Deposition Employing Coiled Anode2023
- Author(s)
  S.Watanabe, J.Kito, T.Bando, T.Harigai, H.Takikawa, H.Sugita, T.Hattori, H.Gima
- Organizer
  DPS2023
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] UVナノインプリントシステムを用いた機能性DLCデバイスの開発と半導体人材育成2023
- Author(s)
  清原修二，石川一平，坂東隆宏，針谷達，滝川浩史，倉島優一，廣芝伸哉
- Organizer
  SEMICON Japan 2023
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] 水素フリーDLC膜高速形成用黒鉛陰極真空アークの安定条件2023
- Author(s)
  渡辺聖也, 鬼頭純平, 税木善則, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 杉田博昭, 服部貴大, 儀間弘樹
- Organizer
  令和５年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] コイル陽極フィルタードアークを用いた水素フリーDLC膜の高速形成2023
- Author(s)
  渡辺聖也, 鬼頭純平, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 杉田博昭, 服部貴大, 儀間弘樹
- Organizer
  2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] 超音波振動を利用した液滴室温マイクロコンタクトプリントによるDLC マイクロギヤの作製2023
- Author(s)
  武川真絹, 清原修二, 石川一平, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 倉島優一
- Organizer
  2023年度関西地方定期学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] コイル状陽極を用いた直流真空アーク蒸着によるTiN膜の作製2023
- Author(s)
  鬼頭純平, 税木善則, 本間健斗, 渡辺聖也, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 儀間弘樹, 杉田博昭
- Organizer
  第70回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] 室温ナノインプリントによるDLCマイクロ・ナノパターン形成と半導体人材育成2023
- Author(s)
  清原修二, 石川一平, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 倉島優一
- Organizer
  2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] DLC超高速成膜のためのガスインジェクションパルスプラズマCVD法2023
- Author(s)
  針谷達, 滝川浩史, 國次真輔
- Organizer
  令和6年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] 紫外線硬化型液滴室温ナノインプリントによる L&S・マイクロギヤパターンの作製2023
- Author(s)
  武川真絹，清原修二，石川一平，坂東隆宏，針谷達，滝川浩史，倉島優一，廣芝伸哉
- Organizer
  SEMICON Japan 2023
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] ＥＣＲ酸素イオンビームによる超精密切削用多結晶ダイヤモンド工具の再生2023
- Author(s)
  阿武将汰, 清原修二, 石川一平, 坂東隆宏，針谷達，滝川浩史, 倉島優一
- Organizer
  2023年度関西地方定期学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] 超音波振動液滴室温ナノコンタクトプリントによるDLCマイクロギヤの作製2023
- Author(s)
  武川真絹，清原修二，石川一平，坂東隆宏，針谷達，滝川浩史，倉島優一，廣芝伸哉
- Organizer
  SEMICON Japan 2023
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] 真空アーク蒸着を用いた水素フリーDLC膜形成におけるコイル陽極の巻き数依存性2023
- Author(s)
  渡辺聖也, 鬼頭純平, 佐野絃貴, 大根田みらの, 坂東隆宏, 滝川浩史, 杉田博昭, 服部貴大, 儀間弘樹
- Organizer
  2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] コイル状陽極を用いた直流真空アーク蒸着によるAlCrN膜の作製2023
- Author(s)
  鬼頭純平, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 杉田博昭, 服部貴大, 儀間弘樹
- Organizer
  2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] AlCrN 膜形成におけるステアド真空アークの陰極点運動と膜質への影響2023
- Author(s)
  鬼頭純平, 渡辺聖也, 大根田みらの, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 杉田博昭, 服部貴大, 儀間弘樹
- Organizer
  令和５年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] ドロップレットフィルタ兼用陽極を用いた直流フィルタードアーク蒸着によるTiN膜形成2022
- Author(s)
  鬼頭純平, 橋本侑樹, 税木善則, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 儀間弘樹
- Organizer
  第83回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] Development of DC Vacuum Arc Deposition System with Adode Generating Magnetic Field and Preparation of TiN Film2022
- Author(s)
  J.Kito, K.Homma, Y.Saiki, S.Watanabe, T.Bando, T.Haigai, H.Takikawa, H.Sugita, H.Gima
- Organizer
  43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] TiN膜成膜用フィルタードアーク蒸着における陰極点の磁気駆動2022
- Author(s)
  鬼頭純平, 橋本侑樹, 税木義則, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 儀間弘樹
- Organizer
  令和4年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] TiN Film Formation by Linear and Novel Winding Filtered-Arc Deposition2022
- Author(s)
  Yoshinori Saiki, Jumpei Kito, Yuki Hashimoto, Takahiro Bando, Toru Harigai, Hirofumi Takikawa, Hiroki Gima, Hiroaki Sugita
- Organizer
  75th Annual Gaseous Electronics Conference
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22741
[Presentation] Fabrication of diamond-like Carbon films using filtered pulse arc deposition with Si-Contained graphite target2019
- Author(s)
  T. Toya, T. Harigai, Y. Sugie, T. Tanimoto, H. Takikawa, M. Kamiya, S. Kunitsugu, S. Kaneko, M. Taki
- Organizer
  ISSP2019
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 超音波液滴室温ナノインプリントによるDLCドットアレイの作製2019
- Author(s)
  伊藤大洋，清原修二，石川一平，針谷達，谷本壮，滝川浩史，倉島優一
- Organizer
  平成30年度電気学会関西支部高専卒業研究発表会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] CFRP加工用切削工具へのDLCコーティング2019
- Author(s)
  針谷達，出貝敏，谷本壮，須田善行，滝川浩史，権田英修，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] フィルタードアーク蒸着法で作製した水素フリーおよび水素化DLC膜の特性と分類2019
- Author(s)
  針谷達，今井貴大，戸谷陽文，滝川浩史，金子智，國次真輔，新部正人，神田一浩，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  第33回ダイヤモンドシンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Application of Diamond-Like Carbon Film Prepared by Filtered Arc Deposition2019
- Author(s)
  H. Takikawa
- Organizer
  ISAPS 19
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Recent Topics of Diamond-Like Carbon Films prepared by Filtered Arc Deposition2019
- Author(s)
  H. Takikawa
- Organizer
  IUMRS-ICA 2019
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Recent topics of preparation and application of diamond-Like Carbon Film2019
- Author(s)
  H. Takikawa, T. Harigai, T. Tanimoto
- Organizer
  IAPS Meeting 2019
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] EB 蒸着源を備えたフィルタードパルスアーク蒸着装置によるSi-DLC 膜の形成2019
- Author(s)
  杉江侑哉，針谷達，戸谷陽文，滝川浩史，神谷雅男
- Organizer
  令和元年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] フィルタードパルスアーク蒸着法を用いたシリコン含有DLC膜の形成2019
- Author(s)
  杉江侑哉, 戸谷陽文, 谷本壮, 針谷達, 須田善行, 滝川浩史, 神谷雅男, 國次真輔, 金子智, 瀧真
- Organizer
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Fabrication of Tungsten Carbide Films by Unbalanced Magnetron Sputtering2019
- Author(s)
  K. Tamekuni, T. Harigai, S. Degai, T. Tanimoto, Y. Suda, H. Takikawa, S. Takago, H. Yasui, S. Kaneko, S. Kunitsugu, M. Kamiya, M. Taki
- Organizer
  ISPlasma2019
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Removal of Various Diamond-Like Carbon Films by Oxygen Plasma Treatment2019
- Author(s)
  T. Tanimoto, Y. Kondo, K. Tamekuni, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, H. Gonda, Y. Hadano, M. Kamiya
- Organizer
  ISPlasma2019
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Preparation of Si-Contained DLC by Co-Deposition of Filtered-Pulse-Arc and Electron-Beam Depositions2019
- Author(s)
  Y.Sugie, T.Harigai, T.Toya, H.Takikawa, M.kamiya
- Organizer
  DPS2019
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 周期的N-DLC/WC積層構造を持つ導電性耐摩耗膜の作製2019
- Author(s)
  爲國公貴, 針谷達, 出貝敏, 谷本壮, 須田善行, 滝川浩史, 鷹合滋樹, 安井治之, 金子智, 國次真輔, 神谷雅男, 瀧真
- Organizer
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Application of Diamond-Like carbon film prepared by filtered arc deposition2019
- Author(s)
  H. Takikawa, T. Harigai, S. Degai, T. Tanimot, H. Gonda, M. Kamiya, M. Taki, S. Kanek, S. Kunitsugu
- Organizer
  Conference Book of ISAPS '19
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Periodic multilayer film consisted of N-DLC and WC layers prepared by using filtered arc deposition and UBMS2019
- Author(s)
  K. Tamekuni, T. Harigai, T. Tanimoto, H. Takikawa, S. Takago, H. Yasui, S. Kaneko, S. Kunitsugu, M. Kamiya, M. Taki
- Organizer
  ISSP2019
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 層厚の異なるN-DLC/WC 積層膜の耐摩耗性2019
- Author(s)
  爲國公貴，針谷達，戸谷陽文，滝川浩史，鷹合滋樹，安井治之，金子智，國次真輔，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  令和元年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 真空アーク蒸着におけるパーティクルフリーコーティング技術と応用展開2019
- Author(s)
  H. Takikawa
- Organizer
  精密工学会第403回講習会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] UV-PDMSモールドを用いた液滴室温リバーサルマイクロコンタクトプリントによるDしCドットアレイの作製2018
- Author(s)
  筒井舜平，清原修二，石川一平, 針谷達，谷本壮，滝川浩史，倉島優一
- Organizer
  平成29年度高専研究発表会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] UV-PDMSモールド液滴室温リバーサルマイクロコンタクトプリントによるDLCドットアレイの作製2018
- Author(s)
  伊藤大洋，清原修二，福田京平，石川一平，針谷達，谷本壮，滝川浩史，倉島優一
- Organizer
  日本高専学会第24回年会講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 2種類の成膜方法で作製したタングステンカーバイド薄膜の比較2018
- Author(s)
  谷本壮，磯野凌，杉江侑哉，針谷達，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，金子智，國次真輔，瀧真
- Organizer
  第12回核融合エネルギー連合講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Ni めっき材のプレス加工に適したDLC 保護膜の探究2018
- Author(s)
  依田文徳，針谷達，出貝敏，爲國公貴，谷本壮，須田善行，滝川浩史，朝倉義博，鷹合滋樹，安井治之，新部正人，神田一浩，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  表面技術協会　第138回講演大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] めっき金属材の曲げプレス加工傷抑制のためのDLC保護膜2018
- Author(s)
  針谷達，依田文徳，出貝敏，爲國公貴，谷本壮，須田善行，滝川浩史，朝倉義博，鷹合滋樹，安井治之，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] グラファイト状窒化炭素薄膜の電気伝導特性の観測2018
- Author(s)
  青山宏明、安田和史、羽渕仁恵、飯田民夫、滝川浩史
- Organizer
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Influence of Substrate Bias of DLC Film prepared by Pulse Arc Jet Plasma2018
- Author(s)
  T. Tanimoto, I. Fujita, Y. Kondo, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, H. Gonda, Y. Hadano, M. Kamiya
- Organizer
  ISPlasma2018
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] New methods for direct growth of graphene on insulator ~ paper, pencil, carbon dioxide ~2018
- Author(s)
  S. Kaneko, S. Yasuhara, T. Endo, R. Sudo, T. Tokumasu, K. Satoh, M. Kurouchi, M. Yasui, T. Rachi, S. Tanaka, C. Kato, A. Matsuda, M. Yoshimoto,H. Takikawa
- Organizer
  IUMRS-ICEM2018
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] フィルタードアーク蒸着法で形成したDLC膜のレーザー損傷観察2018
- Author(s)
  出貝敏，針谷達，爲國公貴，谷本壮，須田善行，滝川浩史，権田英修，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 低電力電源を用いた酸素プラズマによるDLC膜の除膜2018
- Author(s)
  谷本壮，近藤勇樹，爲國公貴，針谷達，須田善行，滝川浩史，権田英修，羽田野泰弘，神谷雅男
- Organizer
  第35回プラズマ・核融合学会年会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] DLC膜の分類，特性，加工具保護膜への応用2018
- Author(s)
  滝川　浩史
- Organizer
  第64回生産加工研究会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Tungsten Carbide Film Suitable for Adhesion Improvement of Hydrogen-Free DLC Film_nanimoto2018
- Author(s)
  T. Tanimoto, R. Isono, Y. Sugie, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, M. Kamiya, S. Kaneko, S. Kunitsugu, M. Taki
- Organizer
  IUMRS-ICEM2018
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] T-FADを用いて形成したDLC保護膜による曲げプレス加工時のショックラインの抑制2018
- Author(s)
  依田文徳，針谷達，出貝敏，爲國公貴，谷本壮，須田善行，滝川浩史，朝倉義博，鷹合滋樹，安井治之，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Effect of Substrate Bias for Removal of DLC Film by using Oxygen Plasma2018
- Author(s)
  Y. Kondo, I. Fujita, T. Tanimoto, F. Yoda, S. Degai, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, H. Gonda, Y. Hadano, M. Kamiya
- Organizer
  ISPlasma2018
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] ナノテクノロジー教育のためのポータブル室温ナノインプリントシステムの開発2018
- Author(s)
  Nakul Thanatith，清原修二，伊東成留，石川一平，滝川浩史，倉島優一
- Organizer
  日本高専学会第24回年会講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 酸素プラズマによるDLC膜の除膜と母材への影響2018
- Author(s)
  近藤勇樹，谷本壮，針谷達，爲國公貴，須田善行，滝川浩史，権田英修，羽田野泰弘，神谷雅男
- Organizer
  平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Preparation of Conductive Hard Film Consisting of Ultra-Thin N-DLC Multilayers2018
- Author(s)
  T. Harigai, Y. Iijima, K. Tamekuni, T. Toya, S. Degai, T. Tanimoto, Y. Suda, H. Takikawa, S. Takago, H. Yasui, S. Kaneko, S. Kunitsugu, H. Habuchi, M. Kamiya, M. Taki, and H. Gonda
- Organizer
  2018 International Symposium on Dry Process
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 紫外，緑，および近赤外レーザーを用いた水素フリーおよび水素含有DLC膜のラマン分光分析2018
- Author(s)
  出貝敏，針谷達，谷本壮，須田善行，滝川浩史，権田英修，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 低周波および直流放電プラズマを用いたDLC 膜の成膜と除膜2018
- Author(s)
  谷本壮，藤田至，近藤勇樹，針谷達，須田善行，滝川浩史，権田英修，羽田野泰弘，神谷雅男
- Organizer
  平成30年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 導電性ハードコーティングに向けた周期的N-DLC/金属積層膜の作製2018
- Author(s)
  爲國公貴，針谷達，出貝敏，谷本壮，須田善行，滝川浩史，安井治之，金子智，國次真輔，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Self-supporting ta-C film consisting of laminated layers prepared using T-shape filtered arc deposition2018
- Author(s)
  T. Harigai, M. Yamano, Y. Kondo, F. Yoda, S. Degai, T. Tanimoto, Y. Suda, H. Takikawa, M. Nishiuchi, H. Sakaki, K. Kondo, S. Kaneko, S. Kunitsugu
- Organizer
  IUMRS-ICEM2018
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 加熱処理によるダイヤモンドライクカーボン膜の構造変化2018
- Author(s)
  杉江侑哉，谷本壮，爲國公貴，針谷達，須田善行，滝川浩史，角口公章，國次真輔，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 窒素含有DLC層とW層とから成る周期的積層膜の機械的・電気的特性2018
- Author(s)
  爲國公貴，針谷達，出貝敏，谷本壮，須田善行，滝川浩史，鷹合滋樹，安井治之，金子智，國次真輔，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 紫外，可視，および近赤外レーザー照射に対するDLC膜の損傷観察2018
- Author(s)
  出貝敏，針谷達，爲國公貴，谷本壮，須田善行，滝川浩史，権田英修，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 真空雰囲気下でのグラファイト状窒化炭素薄膜の電気伝導2018
- Author(s)
  安田和史，青山宏明，羽渕仁恵，滝川浩史
- Organizer
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 二つの電源で発生させたプラズマを用いたDLC膜の除膜2018
- Author(s)
  近藤勇樹，谷本壮，針谷達，依田文徳，出貝敏，須田善行，滝川浩史，権田英修，羽田野泰弘，神谷雅男
- Organizer
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] フィルタードアーク蒸着法を用いて作製したDLC膜の加熱テスト2018
- Author(s)
  杉江侑哉，谷本壮，爲國公貴，針谷達，須田善行，滝川浩史，國次真輔，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Niめっき部品の曲げプレス加工用金型に適したDLC保護膜の形成2018
- Author(s)
  依田文徳，針谷達，出貝敏，谷本壮，須田善行，滝川浩史，朝倉義博，安井治之，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  表面技術協会　第137回講演大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Improvement of Adhesion of Hydrogen-Free DLC Film by Employing Interlayer of Tungsten Carbide2017
- Author(s)
  R. Isono, T. Tanimoto, Y. Iijima, S. Aziz, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, M. Kamiya, S. Kaneko, S. Kunitsugu, M. Taki
- Organizer
  The Irago Conference 2017
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] フィルタードパルスアーク蒸着法を用いたタングステンカーバイド膜の作製と分析2017
- Author(s)
  磯野凌，針谷達，飯島佑史，出貝敏，須田善行，滝川浩史
- Organizer
  第135回表面技術協会講演大会
- Place of Presentation
  東洋大学　川越キャンパス
- Year and Date
  2017-03-09
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] ＤＬＣ膜の特性，作り方，応用例2017
- Author(s)
  滝川　浩史
- Organizer
  第１１回マイクロナノ加工研究会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] DLC膜の分類とフィルタードアークで作る高品位DLC膜2017
- Author(s)
  滝川　浩史
- Organizer
  第 50 回ドライコーティング研究会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] ダイヤモンドライクカーボン膜，その作り方と光学特性他諸特性2017
- Author(s)
  滝川　浩史
- Organizer
  2017年度第2回光学薄膜研究会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] ダイヤコート工具へのT-FADを用いたDLC均一成膜とその表面観察2017
- Author(s)
  出貝敏，飯島佑史，針谷達，谷本壮，須田善行，滝川浩史，権田英修，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] パルスアークジェットを用いて成膜したDLC膜の基板バイアス依存性2017
- Author(s)
  藤田至，近藤勇樹，谷本壮，針谷達，須田善行，滝川浩史，権田英修，羽田野泰弘，神谷雅男
- Organizer
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 導電性ハードコーティングに向けたDLCおよび窒化DLC膜の積層2017
- Author(s)
  飯島佑史，今井貴大，磯野凌，針谷達，須田善行，　滝川浩史，神谷雅男，金子智，國次真輔
- Organizer
  第64回応用物理学会春季
- Place of Presentation
  パシフィコ横浜
- Year and Date
  2017-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] 酸素プラズマを用いたDLC膜の除膜におけるバイアス電圧の影響2017
- Author(s)
  近藤勇樹，藤田至，谷本壮，針谷達，出貝敏，須田善行，滝川浩史，権田英修，羽田野泰弘，神谷雅男
- Organizer
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 液滴室温リバーサマルマイクロコンタクトプリントによるDLCドットアレイの作製2017
- Author(s)
  吉田圭汰，清原修二，石川一平，筒井舜平，針谷達，谷本壮，滝川浩史
- Organizer
  精密工学会2017年度関西地方定期学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 水素フリーおよび水素化DLC膜の形成と膜質分析2017
- Author(s)
  針谷達，今井貴大，飯島佑史，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，金子智，國次真輔，新部正人，　神田一浩
- Organizer
  第64回応用物理学会春季
- Place of Presentation
  パシフィコ横浜
- Year and Date
  2017-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] パルスアーク蒸着法におけるタングステンカーバイド薄膜の膜厚制御2017
- Author(s)
  磯野凌, 谷本壮，飯島佑史，針谷達，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，金子智，瀧真
- Organizer
  平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Fabrication of Nitrogen-Containing DLC Film by Fliltered Arc Deposition2017
- Author(s)
  Y. Iijima, T. Imai, R. Isono, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, M. Kamiya, M. Taki, Y. Hasegawa, N. Tsuji, S. Kaneko, S. Kunitsugu, H. Habuchi, S. Kiyohara, M. Ito, S. Yick, A. Bendavid. P. Martin
- Organizer
  ISPlasma2017
- Place of Presentation
  中部大学
- Year and Date
  2017-03-01
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] ダイヤコーティング工具への各種DLC膜のオーバーコート2017
- Author(s)
  出貝敏，飯島佑史，針谷達，谷本壮，須田善行，滝川浩史，権田英修，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Dependence of self-heating on DLC film properties in filtered arc deposition system2017
- Author(s)
  T. Harigai, Y. Fujii, S. Degai, T.Imai, Y. Suda, H. Takikawa, H. Tanoue, M. Kamiya, S. Kaneko, Y. Haruyuki, S. Kunitsugu, M. Kawaguchi, K. Miura
- Organizer
  ISSP2017
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] XPS spectral changes of DLC thin films obtained by argon ion sputtering2017
- Author(s)
  K. Yamada, T. Imai, Y. Iijima, T. Harigai, Y. Suda, H.Takikawa
- Organizer
  ALC'17
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Characterization of tungsten carbide films prepared by filtered pulse arc deposition.2017
- Author(s)
  R. Isono, T. Harigai, T. Tanimoto, Y. Iijima, Y. Suda, H. Takikawa
- Organizer
  ISSP2017
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 水素フリーDLCと窒素含有DLCとの交互積層膜の作製と耐摩擦摩耗性2017
- Author(s)
  飯島佑史，磯野凌，出貝敏，針谷達，谷本壮，須田善行，滝川浩史，安井治之，金子智，國次真輔，神谷雅男，瀧真
- Organizer
  平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Hydrogen-free fluorinated DLC films prepared by filtered arc deposition system2017
- Author(s)
  T. Tanimoto, T. Imai, T. Harigai, R. Isono, Y. Iijima, Y. Suda, H. Takikawa, M. kamiya, M. Taki, Y. Hasegawa, N. Tusji, S. Kaneko, S. Kunitsugu, M. Ito
- Organizer
  ISAPS 2017
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Classification of Hydrogen-Free and Hydrogenated DLC Films Prepared by Filtered Arc Deposition2017
- Author(s)
  T. Harigai, T. Imai, Y. Suda, H. Takikawa, M. Kamiya, S. Kaneko, S. Kunitsugu, N. Niibe, K. Kanda
- Organizer
  IUMRS-ICAM 2017
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Preparation of multilayer film consisted of hydrogen-free DLC and nitrogen-containing DLC for conductive hard coating2017
- Author(s)
  Y. Iijima, T. Harigai, R. Isono, S. Degai, T. Tanimoto, Y. Suda, H. Takikawa, H. Yasui, S. Kaneko, S. Kunitsugu, M. Kamiya, M. Taki
- Organizer
  The Irago Conference 2017
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 空気プラズマおよび酸素プラズマを用いたDLC膜の除膜2017
- Author(s)
  近藤勇樹，藤田至，谷本壮，針谷達，出貝　敏，須田善行，滝川浩史，権田英修，羽田野泰弘，神谷雅男
- Organizer
  平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] Analysis of DLC thin films obtained by XPS spectrum separation2017
- Author(s)
  K. Yamada, A. Takeda, T. Imai, Y. Iijima, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa
- Organizer
  ISSP2017
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] タングステンカーバイド中間層を用いた水素フリーDLC膜の密着性改善2017
- Author(s)
  磯野凌, 谷本壮, 飯島佑史, 針谷達, 須田善行, 滝川浩史, 神谷雅男, 金子智, 瀧真
- Organizer
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] パルスアークジェットにおけるプラズマ様相の基板バイアス依存性2017
- Author(s)
  藤田至，近藤勇樹，谷本壮，針谷達，須田善行，滝川浩史，権田英修，羽田野泰弘，神谷雅男
- Organizer
  平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] ＤＬＣの特徴，つくり方，応用2017
- Author(s)
  滝川　浩史
- Organizer
  第52回熱処理研究会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] 積層DLC/N-DLC膜の電気抵抗率および摩擦係数2017
- Author(s)
  飯島佑史, 磯野凌, 出貝敏, 針谷達, 谷本壮, 須田善行, 滝川浩史, 安井治之, 金子智, 國次真輔, 神谷雅男, 瀧真
- Organizer
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03217
[Presentation] ta-C/ダイヤモンド膜のカロテスト摩耗試験2016
- Author(s)
  今井貴大，藤井裕真，山野将史，針谷達，須田善行，滝川浩史，、神谷雅男.、瀧真，長谷川祐史，辻信広
- Organizer
  第63回応用物理学会
- Place of Presentation
  東京工業大学、大岡山キャンパス
- Year and Date
  2016-03-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] 炭素/ 水素比の異なる雰囲気ガスを導入したT-FAD によるta-C:H およびa-C:H の形成2016
- Author(s)
  今井貴大，飯島佑史，針谷達，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，金子智，吉田健太郎，國次真輔，川口雅弘，清原修二，四戸汐里，寒河江祐介，伊藤未希雄，山田健二
- Organizer
  表面技術協会（第134回講演大会）
- Place of Presentation
  東北大学、川内北キャンパス
- Year and Date
  2016-09-01
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] フィルタードパルスアーク蒸着装置の放電特性とDLC 膜の形成2016
- Author(s)
  磯野凌，針谷達，今井貴大，山野将史，須田善行，滝川浩史，羽渕仁恵
- Organizer
  平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Place of Presentation
  豊田工業高等専門学校
- Year and Date
  2016-09-12
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] T-FAD を用いたDLC:H 膜のPVD-CVD ハイブリッド成膜2016
- Author(s)
  今井貴大，飯島佑史，針谷達，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，金子智，吉田健太郎，國次真輔，川口雅弘，清原修二，四戸汐里，寒河江祐介，伊藤未希雄，山田健
- Organizer
  平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Place of Presentation
  豊田工業高等専門学校
- Year and Date
  2016-09-12
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] Ｔ字状磁気フィルタ型真空アーク蒸着装置および高品位ＤＬＣ膜の開発2016
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  トライボロジー会議2016 春東京
- Place of Presentation
  国立オリンピック記念青少年総合センター
- Year and Date
  2016-05-23
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] PVD-CVD ハイブリッドプロセスによる窒素含有DLC 膜の形成2016
- Author(s)
  飯島佑史, 今井貴大, 磯野凌, 針谷達, 須田善行, 滝川浩史, 神谷雅男, 瀧真, 長谷川祐史, 辻信広, 金子智, 國次真輔, サムイック, アヴィベンデイビッド, フィルマーティン,羽渕仁恵
- Organizer
  第77回応用物理学会秋季
- Place of Presentation
  朱鷺メッセ
- Year and Date
  2016-09-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] T-FAD を用いた窒素含有DLC 膜の作製2016
- Author(s)
  飯島佑史，今井貴大，磯野凌，針谷達，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，金子智，國次真輔，川口雅弘，羽渕仁恵，清原修二，伊藤未希雄，サムイック，アヴィベンデイビッド，フィルマーチン
- Organizer
  平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Place of Presentation
  豊田工業高等専門学校
- Year and Date
  2016-09-12
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] フィルタードパルスアーク蒸着法を用いたDLC 膜の作製と分析2016
- Author(s)
  磯野凌, 針谷達, 飯島佑史, 今井貴大, 山野将史, 須田善行, 滝川浩史, 羽渕仁恵
- Organizer
  第77回応用物理学会秋季
- Place of Presentation
  朱鷺メッセ
- Year and Date
  2016-09-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] フィルタードアーク蒸着法を用いた他元素添加による機能化DLC膜の形成2016
- Author(s)
  針谷達，今井貴大，飯島佑史，磯野凌，藤井裕真，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広
- Organizer
  第69回応用物理学会
- Place of Presentation
  東京工業大学、大岡山キャンパス
- Year and Date
  2016-03-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] 成膜温度制御によるフィルタードアーク蒸着DLC の膜質変化2015
- Author(s)
  藤井裕真，今井貴大，宮本優，針谷達，須田善行，滝川浩史，田上英人（北九州高専），神谷雅男（伊藤光学），瀧真，長谷川祐史，辻信広（オンワード技研），金子智（神奈川産技セ），安井治之（石川工試），國次真輔（岡山工技セ），川口雅弘（東京都産技研），三浦健一（大阪府産技研）
- Organizer
  平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Place of Presentation
  愛知県、名古屋工業大学
- Year and Date
  2015-09-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] 凹形状ドットPDMSモールド室温硬化ナノインプリントによるDLCエミッタパターンの形状2015
- Author(s)
  吉田健吾，清原修二，石川一平，針谷達，滝川浩史，渡邊雅彦，杉山嘉也，小俣有紀子，倉島優一
- Organizer
  精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
- Place of Presentation
  京都工芸繊維大学　松ヶ崎ｷｬﾝﾊﾟｽ
- Year and Date
  2015-06-23
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] フィルタードアーク蒸着によって形成したフッ素含有ダイヤモンドライクカーボン膜2015
- Author(s)
  今井貴大，藤井裕真，山野将史，針谷達，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広
- Organizer
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  愛知県、名古屋国際会議場
- Year and Date
  2015-09-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] Fabrication of Diamond-Like carbon emitter patterns by Room-Temperature curing nanoimprint lithography with PDMS molds using polysiloxane2015
- Author(s)
  S. Kiyohara, S. Yoshida, I. Ishikawa, T. Harigai, H. Takikawa, M. Watanabe, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
- Organizer
  2015 MRS Fall Meeting & Exhibit
- Place of Presentation
  Boston, MA, USA
- Year and Date
  2015-11-29
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] フィルタードアーク蒸着法によるフッ素含有ダイヤモンドライクカーボン膜の形成2015
- Author(s)
  今井貴大，藤井裕真，針谷達，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広
- Organizer
  表面技術協会（第132回講演大会）
- Place of Presentation
  長野県、信州大学
- Year and Date
  2015-09-09
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] Super DLC coating on cutter for metal nameplates by T-shaped filtered arc deposition2015
- Author(s)
  Y. Fujii, T. Imai, Y. Miyamoto, N. Ueda, M. Hosoo, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, H. Tanoue, M. Kamiya, M. Taki, Y. Hasegawa, N. Tsuji
- Organizer
  10th Anniversary Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015)
- Place of Presentation
  Korea,Jeju
- Year and Date
  2015-09-22
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] フィルタードアーク蒸着DLC膜の100℃近傍の成膜温度依存性2015
- Author(s)
  藤井裕真，今井貴大，宮本優，針谷達，須田善行，滝川浩史，田上英人，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，金子智，安井治之，國次真輔，川口雅弘，三浦健一
- Organizer
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  愛知県、名古屋国際会議場
- Year and Date
  2015-09-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] フィルタードアーク蒸着法を用いたF-DLC 膜の形成2015
- Author(s)
  今井貴大，藤井裕真，山野将史，針谷達，須田善行，滝川浩史，神谷雅男（伊藤光学工業），瀧真，長谷川祐史，辻信広（オンワード技研）
- Organizer
  平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Place of Presentation
  愛知県、名古屋工業大学
- Year and Date
  2015-09-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] Fabrication of Diamond-Like carbon microgears in Room-Temperature curing nanoimprint lithography using ladder-type hydrogen silsesquioxane2015
- Author(s)
  S. Kiyohara, Y. Shimizu, I. Ishikawa, T. Harigai, H. Takikawa, M. Watanabe, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
- Organizer
  2015 MRS Fall Meeting & Exhibit
- Place of Presentation
  Boston, MA, USA
- Year and Date
  2015-11-29
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] ポリジメチルシロキサンを転写材料として用いた室温インプリントによるDLCピットパターンの形成2015
- Author(s)
  清水友人，清原修二，石川一平，針谷達，滝川浩史，渡邊雅彦，杉山嘉也，小俣有紀子，倉島優一
- Organizer
  精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
- Place of Presentation
  京都工芸繊維大学　松ヶ崎ｷｬﾝﾊﾟｽ
- Year and Date
  2015-06-23
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] Fabricasion of diamond-like carbon-based micro/nano device using room-temperature nanoimprint by industry-university collabotrtive reseach2015
- Author(s)
  S. Kiyohara, I. Ishikawa, Y. Shimizu, S. Yoshida, T. Harigai, H. Takikawa, M Watanabe, Y. Sugiyama, Y. Omata Y. Kurashima
- Organizer
  The 9th International Symposium on Advances in Technology Education
- Place of Presentation
  Nagaoka, Japan
- Year and Date
  2015-09-16
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] はしご型 HSQ を用いた室温硬化ナノインプリトソグラフィによるDLCマイクロギヤの開発2014
- Author(s)
  婦木陽介 , 清原修二 , 石川一平，滝川浩史，渡邊雅彦 , 杉山嘉也 , 小俣有紀子，倉島優一
- Organizer
  2014年度精密工学会関西地方学術講演会
- Place of Presentation
  近畿大学（大阪府・東大阪市)
- Year and Date
  2014-07-04
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] Synthesis of high purity carbon nanocoils on the sheet-like carbon deposits and reduction of byproducts using Fe fine particles2014
- Author(s)
  清水慶明，丸山皓司，飯田哲生，須田善行，田上英人，滝川浩史，植仁志，清水一樹，梅田良人
- Organizer
  第46回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
- Place of Presentation
  東京都、東京大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Synthesis of high purity carbon nanocoils on the sheet-like carbon deposits and reduction of byproducts using Fe fine particles2014
- Author(s)
  清水慶明, 丸山皓司, 飯田哲生, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第46回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
- Place of Presentation
  東京大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] PDMS モールド室温硬化ナノインプリトリソグラフィによる DLC ドットアレイの作製2014
- Author(s)
  吉田捷吾 , 清原修二 , 石川一平，滝川浩史，渡邊雅彦 , 杉山嘉也 , 小俣有紀子，倉島優一
- Organizer
  2014年度精密工学会関西地方学術講演会
- Place of Presentation
  近畿大学（大阪府・東大阪市)
- Year and Date
  2014-07-04
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] PDMS モールド室温硬化ナノインプリトリソグラフィによる DLC ドットアレイの作製2014
- Author(s)
  吉田捷吾 , 清原修二 , 石川一平，滝川浩史，渡邊雅彦 , 杉山嘉也 , 小俣有紀子，倉島優一
- Organizer
  2014年度精密工学会関西地方学術講演会
- Place of Presentation
  大阪府、近畿大学
- Year and Date
  2014-07-04
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] 鉄微粉末を使用したカーボンナノコイルの高純度合成および不純物の低減2014
- Author(s)
  清水慶明，丸山皓司，飯田哲生，須田善行，田上英人，滝川浩史，植仁志，清水一樹，梅田良人
- Organizer
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  神奈川県、青山学院大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] はしご型 HSQ を用いた室温硬化ナノインプリトソグラフィによるDLCマイクロギヤの開発2014
- Author(s)
  婦木陽介 , 清原修二 , 石川一平，滝川浩史，渡邊雅彦 , 杉山嘉也 , 小俣有紀子，倉島優一
- Organizer
  2014年度精密工学会関西地方学術講演会
- Place of Presentation
  大阪府、近畿大学
- Year and Date
  2014-07-04
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] 鉄微粉末を使用したカーボンナノコイルの高純度合成および不純物の低減2014
- Author(s)
  清水慶明, 丸山皓司, 飯田哲生, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  青山学院大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] 水素含有DLC(ta-C:Hおよびa-C:H)膜のTDS分析2013
- Author(s)
  田上英人，角口公章，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，サーレアブスアイリキ
- Organizer
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  神奈川工科大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] カーボンナノコイルの高収率化に向けた合成条件の改善2013
- Author(s)
  丸山皓司, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  同志社大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] カーボンナノコイル単体の電気抵抗測定2013
- Author(s)
  國本隆司, 米村泰一郎, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  同志社大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Variation of lattice constants in MgO film prepared in oxidizing atmosphere2013
- Author(s)
  S. Kaneko, H. Torii, T. Ito, M. Yasui, A. Fukushima, T. Tokumasu, S. Park, T. Endo H. Takikawa, M. Yoshimoto
- Organizer
  23rd annual meeting MRS-J, International Symposium
- Place of Presentation
  Yokohama, Japan
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] 室温硬化ナノインプリント法による有機ELの微細加工に関する研究2013
- Author(s)
  櫻井圭輔，松本拓也，石川一平，清原修二，田上英人，須田善行，滝川浩史，田口佳男，杉山嘉也，小俣有紀子，倉島優一
- Organizer
  精密工学会　2013年度関西地方定期学術講演会
- Place of Presentation
  大阪府，大阪工業大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] マイクロ波プラズマCVDによる窒化炭素合成における水素フローの影響2013
- Author(s)
  髙橋侑佑，羽渕仁恵，滝川浩史
- Organizer
  2014年第74回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  京都府、同志社大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] DLCモールドを用いた室温硬化ナノインプリントリソグラフィによる超微細有機ELの作製2013
- Author(s)
  櫻井圭輔，石川一平，清原修二，田口佳男，杉山嘉也，小俣有紀子，田上英人，須田善行，滝川浩史，倉島優一
- Organizer
  ナノ学会第11回大会
- Place of Presentation
  東京都、東京工業大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] カーボンナノコイルの高収率化に向けた合成条件の改善2013
- Author(s)
  丸山皓司, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第45回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
- Place of Presentation
  大阪大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Preparation of measurement inductance device for single carbon nanocoil2013
- Author(s)
  K. Kunimoto, F. Futagawa, Y. Suda, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu, Y. Umeda
- Organizer
  The Irago Conference 2013
- Place of Presentation
  Irago, Japan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Measurement of electric resistance of a single carbon nanocoil2013
- Author(s)
  國本隆司, 米村泰一郎, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第44回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
- Place of Presentation
  東京大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Improvement of chemical vapor deposition for the purity of multi-walled carbon nanocoils2013
- Author(s)
  Y. Suda, S. L. Lim, K. Maruyama, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu
- Organizer
  ISPlasma2013
- Place of Presentation
  名古屋大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] はしご型HSQを用いた室温硬化ナノインプリント法による超微細有機ELの開発2013
- Author(s)
  松本拓也，石川一平，清原修二，櫻井圭輔，田上英人，須田善行，滝川浩史，渡邊雅彦，杉山嘉也，小俣有紀子，倉島優一
- Organizer
  日本高専学会第19回年会講演会
- Place of Presentation
  高知県，高知工業高等専門学校
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] カーボンナノコイル添加によるバッキーペーパーの機械的特性の向上2013
- Author(s)
  丸山皓司, 須田善行, 滝川浩史, 田上英人, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第44回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
- Place of Presentation
  東京大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Torsion fracture of carbon nanocoils2013
- Author(s)
  T. Yonemura, Y. Suda, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu, Y. Umeda
- Organizer
  2013 JSAP-MRS Joint symposia
- Place of Presentation
  Doshisya Univ
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Preparation of Measurement Inductance Device for Single Carbon Nanocoil2013
- Author(s)
  R. Kunimoto, M. Futagawa, Y. Suda, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu and Y. Umeda
- Organizer
  The Irago Conference 2013
- Place of Presentation
  Irago Sea-Park & Spa Hotel, Japan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Improvement of chemical vapor deposition for the purity of multi-walled carbon nanocoils2013
- Author(s)
  Y. Suda, S. L. Lim, K. Maruyama, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu
- Organizer
  IS Plasma 2013
- Place of Presentation
  Nagoya Univ
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Improved mechanical property of bucky paper by adding carbon nanocoils2013
- Author(s)
  Y. Suda, K. Maruyama, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu, Y. umeda
- Organizer
  The Irago Conference 2013
- Place of Presentation
  Irago, Japan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] カーボンナノコイル単体の電気抵抗測定2013
- Author(s)
  國本隆司, 米村泰一郎, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  平成25年度電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  横浜国立大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Electrical resistance measurement of single carbon nanocoil2013
- Author(s)
  國本隆司, 米村泰一郎, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第45回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
- Place of Presentation
  大阪大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Electrical resistance measurement of single carbon nanocoil2013
- Author(s)
  國本隆司, 米村泰一郎, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志,　清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第45回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
- Place of Presentation
  大阪府、大阪大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Super DLC Film Formation with Filtered Vacuum Arc Deposition2013
- Author(s)
  H. Takikawa
- Organizer
  The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013)
- Place of Presentation
  Jeju, Korea
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] Spring Constant Measurement of Carbon Nanocoils2013
- Author(s)
  米村泰一郎, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第45回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
- Place of Presentation
  大阪府、大阪大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] 反射率のその場計測によるスーパーDLC膜の膜厚制御2013
- Author(s)
  細尾倫成，田上英人，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，サーレアブスアイリキ
- Organizer
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  京都府、同志社大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] カーボンナノコイルのばね定数測定2013
- Author(s)
  米村泰一郎, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第45回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
- Place of Presentation
  大阪大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] カーボンナノコイル単体の電気抵抗測定2013
- Author(s)
  國本隆司，米村泰一郎，須田善行，田上英人，滝川浩史, 植仁志,　清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  京都府、同志社大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] カーボンナノコイル単体の電気抵抗測定結果2013
- Author(s)
  國本隆司，須田善行，田上英人，滝川浩史, 植仁志,　清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  平成25年電気学会基礎・材料共通部門大会
- Place of Presentation
  神奈川県、横浜国立大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Properties of epitaxial AlN thin film deposited onsapphire substrate by ECR plasma2013
- Author(s)
  S. Kaneko, T. Ito, M. Yasui, M. Kurouchi, T. Nagano, H. Torii, T. Amazawa, L. Seughwan, S. Park, A. Fukushima, T. Tikumasu, H. Takikawa
- Organizer
  6th International Conference on Advanced Infocomm Technology (ICAIT)
- Place of Presentation
  Hsinchu, Taiwan
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] Torsion Fracture of Carbon Nanocoils2013
- Author(s)
  T. Yonemura, Y. Suda, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu and Y. Umeda
- Organizer
  2013 JSAP-MRS Joint Symposia
- Place of Presentation
  Doshisha Univ., Japan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Improvement of synthesis conditions for high yield of carbon nanocoils2013
- Author(s)
  丸山皓司, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志,　清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第45回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
- Place of Presentation
  大阪府、大阪大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Increasing Carbon Nanocoil Purity by Optimizing Fe/Sn Molar Ratio2013
- Author(s)
  K. Maruyama, Y. Suda, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu and Y. Umeda
- Organizer
  The Irago Conference 2013
- Place of Presentation
  Irago Sea-Park & Spa Hotel, Japan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] サーレアブスアイリキ, 反射率のその場計測によるスーパーDLC 膜の膜厚制御2013
- Author(s)
  細尾倫成, 田上英人, 須田善行, 滝川浩史, 神谷雅男, 瀧真, 長谷川祐史, 辻信広
- Organizer
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  同志社大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Super DLC film formation with filtered vacuum arc deposition2013
- Author(s)
  H. Takikawa
- Organizer
  The 9th Asian- European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013)
- Place of Presentation
  Jeju, Korea
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] 反射率のその場計測によるスーパーDLC膜の膜厚制御2013
- Author(s)
  細尾倫成，田上英人，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，サーレアブスアイリキ
- Organizer
  2014年第74回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  京都府、同志社大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] Improved Mechanical Property of Bucky Paper by Adding Carbon Nanocoils2013
- Author(s)
  Y. Suda, K. Maruyama, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu and Y. Umeda
- Organizer
  The Irago Conference 2013
- Place of Presentation
  Irago Sea-Park & Spa Hotel, Japan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] 細孔底面への水素フリーDLC膜の成膜速度の向上2013
- Author(s)
  森田悠介，田上英人，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，サーレアブスアイリキ
- Organizer
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  神奈川工科大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] 室温硬化インプリント‐リフトオフ法によるDLCドットアレイの作製2013
- Author(s)
  松田将平，清原修二，石川一平，田口佳男，杉山嘉也，小俣有紀子，田上英人，滝川浩史，倉島優一
- Organizer
  ナノ学会第11回大会
- Place of Presentation
  東京都、東京工業大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] カーボンナノコイルの高収率化に向けた合成条件の改善2013
- Author(s)
  丸山皓司，須田善行，田上英人，滝川浩史, 植仁志,　清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  京都府、同志社大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Siウエハ上への水素フリーDLC膜の均一形成と微細パターン加工2013
- Author(s)
  細尾倫成，田上英人，須田善行，滝川浩史，川島貴弘，柴田隆行，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，サーレアブスアイリキ，辻信弘
- Organizer
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  神奈川工科大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] はしご型HSQを用いたPDMSモールド室温硬化ナノインプリント法によるDLCナノドットアレイのパターン形成2013
- Author(s)
  松田将平，清原修二，石川一平，田口佳男，杉山嘉也，小俣有紀子，田上英人，滝川浩史，倉島優一
- Organizer
  精密工学会　2013年度関西地方定期学術講演会
- Place of Presentation
  大阪府，大阪工業大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] Super DLC Film Formation with Filtered Vacuum Arc Deposition (Invited)2013
- Author(s)
  H. Takikawa
- Organizer
  "The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013) "
- Place of Presentation
  Jeju, Korea
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Increasing carbon nanocoil purity by optimizing Fe/Sn molar ratio2013
- Author(s)
  K. Maruyama, Y. Suda, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu, Y. Umeda
- Organizer
  The Irago Conference 2013
- Place of Presentation
  Irago, Japan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Effects of dielectric barrier discharge treatment conditions on carbon nanofibers -their stand-up and enhancement of field emission property2012
- Author(s)
  Y. Suda, Y. Sugioka, R. Kunimoto, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu, Y. Umeda
- Organizer
  International Conference on Electronic materials (IUMRS-ICEM2012)
- Place of Presentation
  Pacifico Yokohama
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Effects of Dielectric Barrier Discharge Treatment COnditions on Carbon Nanofibers -Their Stand-up and Enhancement of Field Emission Property-2012
- Author(s)
  Y. Suda, Y. Sugioka, R. Kunimoto, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu and Y. Umeda
- Organizer
  IUMRS-ICEM 2012 (Internariona Union of Materials Research Societhies - International Conference on Electronic Materials 2012)
- Place of Presentation
  パシフィコ横浜
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] フィルタードアーク蒸着法における細孔底面への水素フリーDLC膜の形成2012
- Author(s)
  森田悠介，細尾倫成，柏木大幸，田上英人，須田善行，滝川浩史
- Organizer
  平成24年度電気関係学会東海支部大会
- Place of Presentation
  豊橋技術科学大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] マイクロ波プラズマCVD による窒化炭素合成における基板依存性2012
- Author(s)
  高橋侑佑，羽渕仁恵，鵜木武人，細野幸太，滝川浩史
- Organizer
  第73回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  愛媛大学・松山大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] 室温硬化ナノインプリントによるポリジメチルシロキサン酸化マスクパターンの形成2012
- Author(s)
  池垣斗夢，清原修二，石川一平，滝川浩史，田口佳男，杉山嘉也，小俣有紀子，倉島優一
- Organizer
  2012年度精密工学会関西地方定期学術講演会
- Place of Presentation
  立命館大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] SEM 内におけるカーボンナノコイルの電気的特性の測定2012
- Author(s)
  國本隆司, 米村泰一郎, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第43回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
- Place of Presentation
  東北大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] カーボンナノコイルの分散に対する界面活性剤の比較2012
- Author(s)
  丸山皓司, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  平成24年度電気関係学会東海支部大会
- Place of Presentation
  豊橋技術科学大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] 室温硬化ナノインプリント-リフトオフ法にようるアルミニウムマスクパターンの形成2012
- Author(s)
  池垣斗夢，清原修二，石川一平，田口佳男，杉山嘉也，小俣有紀子，滝川浩史，倉島優一
- Organizer
  ナノ学会第10回大会
- Place of Presentation
  大阪大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] 黒鉛化処理がカーボンナノコイルの引張変形に及ぼす影響2012
- Author(s)
  國本隆司, 須田善行, 滝川浩史, 田上英人, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  日本ばね学会秋季定例講演会
- Place of Presentation
  京都タワーホテル
- Year and Date
  2012-11-02
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] SEM内におけるカーボンナノコイルの電気的特性の測定2012
- Author(s)
  國本隆司，米村泰一郎，須田善行，田上英人，滝川浩史，植仁志，清水一樹，梅田良人
- Organizer
  第43回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
- Place of Presentation
  東北大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Patterning of Tetrahedral Amorphous-Carbon Film by Electron Beam Lithography and Pick Up from Si-Wafer in Focused Ion Beam System2012
- Author(s)
  田上英人, 滝川浩史, 他
- Organizer
  4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 2012
- Place of Presentation
  中部大学
- Year and Date
  2012-03-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 水素フリー高密度DLC膜のパターニング,単離およびハンドリング2012
- Author(s)
  田上英人, 滝川浩史, 他
- Organizer
  第59回春季応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  早稲田大学
- Year and Date
  2012-03-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 室温硬化ナノインプリントによる医療マイクロマシン用ダイヤモンドギアの作製2012
- Author(s)
  伊藤茅，清原修二，石川一平，滝川浩史，田口佳男，杉山嘉也，小俣有紀子，倉島優一
- Organizer
  ナノ学会第10回大会
- Place of Presentation
  大阪大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] カーボンナノコイルの引張前後における電気抵抗の測定用試料の作製2012
- Author(s)
  國本隆司, 米村泰一郎, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第73回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  愛媛大学・松山大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] 分散時間に対するカーボンナノコイルの長さ依存性2012
- Author(s)
  丸山皓司, 須田善行, 滝川浩史, 田上英人, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第43回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
- Place of Presentation
  東北大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] 進化するスーパーDLCコーティング技術2012
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  平成23年度ものづくり交流フォーラム
- Place of Presentation
  名古屋市工業研究所
- Year and Date
  2012-02-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] T字状フィルタードアーク蒸着装置を用いた半球面状基材への水素フリーDLC膜均一成膜2012
- Author(s)
  田上英人, 滝川浩史, 他
- Organizer
  2012年第125回表面技術協会講演大会
- Place of Presentation
  東京都市大学
- Year and Date
  2012-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] カーボンアークプラズマビームを用いた4インチSiウェハへのDLC膜の均一成膜2012
- Author(s)
  細尾倫成，奥田浩史，田上英人，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，長谷川祐史，瀧真，辻信広，石川剛史
- Organizer
  平成24年度電気関係学会東海支部大会
- Place of Presentation
  豊橋技術科学大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] 室温硬化ナノインプリントによる医療MEMS用DLCマイクロギアの開発2012
- Author(s)
  伊藤茅，石川一平，清原修二，滝川浩史，田口佳男，杉山嘉也，小俣有紀子，倉島優一
- Organizer
  2012年度精密工学会関西地方定期学術講演会
- Place of Presentation
  立命館大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] 水素含有および水素フリーDLC膜の加熱に伴う構造変化2012
- Author(s)
  角口公章, 滝川浩史, 他
- Organizer
  第59回春季応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  早稲田大学
- Year and Date
  2012-03-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 水素含有DLC膜の昇温脱離質量分析における昇温速度の影響2012
- Author(s)
  角口公章，田上英人，須田善行，滝川浩史，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，石川剛史
- Organizer
  平成24年度電気関係学会東海支部大会
- Place of Presentation
  豊橋技術科学大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] ダイヤモンドライクカーボン膜を作る・使う・評価する-成膜技術・応用領域・評価法2011
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  KAST教育講座
- Place of Presentation
  神奈川科学技術アカデミー
- Year and Date
  2011-07-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] フィルタードアーク蒸着とスーパーハードDLC膜2011
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第122回定例研究会テーマ:「ハードマテリアルに関する最近の動向」
- Place of Presentation
  機械振興会館
- Year and Date
  2011-03-10
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] カーボンナノツイスト膜のフィラメント放電起毛に及ぼすPt オーバーコートの影響2011
- Author(s)
  杉岡由基, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植仁志, 清水一樹, 梅田良人
- Organizer
  第72回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  山形大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Pattering of Tetrahedral Amorphous Carbon Film by Electron Beam Lithography2011
- Author(s)
  柏木大幸, 滝川浩史, 他
- Organizer
  The Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference 2011
- Place of Presentation
  豊橋技術科学大学
- Year and Date
  2011-11-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 水素フリーダイヤモンドライクカーボン膜の半導体性評価2011
- Author(s)
  田上英人,柏木大幸,奥田浩史,角口公章,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,石川剛史
- Organizer
  平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
- Place of Presentation
  三重大学,三重県
- Year and Date
  2011-09-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 水素フリーダイヤモンドライクカーボン膜の半導体性評価2011
- Author(s)
  田上英人, 滝川浩史, 他
- Organizer
  平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
- Place of Presentation
  三重大学
- Year and Date
  2011-09-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] DLCの成膜方法と膜構造2011
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  日本機械学会イベント総括!DLC膜を創る・測る・活かす
- Place of Presentation
  名古屋大学VBL
- Year and Date
  2011-01-07
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] ダイヤモンドライクカーボン膜を作る・使う・評価する-成膜技術・応用領域・評価法2011
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  KAST教育講座
- Place of Presentation
  かながわサイエンスパーク,神奈川県
- Year and Date
  2011-07-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] Uniform Coating of High-Quality Tetrahedral Amorphous Carbon (ta-C) film on Si Wafer by Carbon Plasma Beam2011
- Author(s)
  奥田浩史, 滝川浩史, 他
- Organizer
  The Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference 2011
- Place of Presentation
  豊橋技術科学大学
- Year and Date
  2011-11-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 水素含有ダイヤモンドライクカーボン膜の昇温脱離質量分析と熱処理による特性変化2011
- Author(s)
  角口公章, 滝川浩史, 他
- Organizer
  平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
- Place of Presentation
  三重大学
- Year and Date
  2011-09-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] フィルタードアークプラズマビームを用いた半球面状金型へのta-C均一成膜2011
- Author(s)
  奥田浩史, 滝川浩史, 他
- Organizer
  平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
- Place of Presentation
  三重大学
- Year and Date
  2011-09-27
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] DLC膜の成膜技術、分類および応用展開2011
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  技術者・研究者向け研修セミナー
- Place of Presentation
  カメリアプラザ
- Year and Date
  2011-02-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] フィルタードアーク蒸着で形成したDLC膜の酸素イオンエッチング2011
- Author(s)
  柏木大幸, 滝川浩史, 他
- Organizer
  平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
- Place of Presentation
  三重大学
- Year and Date
  2011-09-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] DLCの成膜方法と膜構造(II)2011
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  日本機械学会講習会総括!DLCを創る・測る・活かす
- Place of Presentation
  名古屋大学
- Year and Date
  2011-11-16
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] カーボンナノツイスト膜のフィラメント放電起毛に及ぼすPtオーバーコートの影響2011
- Author(s)
  杉岡由基，須田善行，田上英人，滝川浩史，植　仁志，清水一樹，梅田良人
- Organizer
  第72回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  山形県，山形大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23656197
[Presentation] Super Hard Diamond-like Carbon Films -A State-of-the-Art-2011
- Author(s)
  H.Takikawa
- Organizer
  Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2011)
- Place of Presentation
  名古屋工業大学
- Year and Date
  2011-03-07
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] Development of simple pyranometer using PV-cell array2010
- Author(s)
  S.Satomi, A.Farizul, H.Tanoue, Y.Suda, H.Takikawa, S.Oke, K.Kawashima
- Organizer
  17th Asian Symposium on Ecotechnology(p.92)
- Place of Presentation
  Unazuki, Japan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Presentation] (招待)未来を拓くダイヤモンドライクカーボン膜2010
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  名工大-産総研調査研究関連研究会
- Place of Presentation
  産総研中部センター
- Year and Date
  2010-01-21
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] スーパーハードDLC膜の作り方と応用2010
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  ニューダイヤモンドフォーラム
- Place of Presentation
  日本大学駿河台校舎
- Year and Date
  2010-10-16
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 真空アークの計測とシミュレーション2010
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  2010年度放電学会シンポジウム
- Place of Presentation
  日本大学駿河台校舎
- Year and Date
  2010-11-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] Development of simple pyranometer using PV-cell array2010
- Author(s)
  S.Sugiyama, M.A.Farizul, S.Oke, Y.Suda, H.Takikawa, K.Kawashima
- Organizer
  17th Asian Symposium on Ecotechnology
- Place of Presentation
  Unazuki
- Year and Date
  2010-11-12
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Presentation] フィルタードアークプラズマビームを用いた水素フリーDLC膜の生成2010
- Author(s)
  奥田浩史,田上英人,神谷雅男,柳田太一郎,内藤翔太,須田善行,滝川浩史,長谷川祐史,瀧真,辻信広,石川剛史,安井治之
- Organizer
  平成22年電気学会放電・静止器・開閉保護合同研究会
- Place of Presentation
  東京都市大学,東京都
- Year and Date
  2010-06-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 太陽電池アレイ型簡易日射計の温度特性計測2010
- Author(s)
  杉山智美, MOHD ARIF FARIZUL, 田上英人, 須田善行, 滝川浩史, 川嶋和子, 桶真一郎
- Organizer
  平成22年度日本太陽エネルギー学会・日本風力エネルギー協会合同研究発表会
- Place of Presentation
  日本大学
- Year and Date
  2010-11-04
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Presentation] DLC膜の基礎科学/プラズマビームでつくるDLC超硬質膜とその特徴・応用可能性2010
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  KAST教育講座
- Place of Presentation
  かながわサイエンスパーク
- Year and Date
  2010-09-07
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 太陽電池アレイ型簡易日射計の温度補正2010
- Author(s)
  杉山智美,Mohd Arif Farizul,須田善行,滝川浩史,桶真一郎,川嶋和子
- Organizer
  平成22年電気関係学会東海支部連合大会講演論文集(O4-1)
- Place of Presentation
  中部大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Presentation] 真空アークによる薄膜合成新展開2010
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  第7回プラズマ新領域研究会
- Place of Presentation
  金沢大学自然科学研究棟本館
- Year and Date
  2010-11-30
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 太陽電池アレイ型簡易日射計の温度特性の計測2010
- Author(s)
  杉山智美,Mohd Arif Farizul,田上英人,須田善行,滝川浩史,桶真一郎,川嶋和子
- Organizer
  太陽/風力エネルギー講演論文集2010(pp.585-588)
- Place of Presentation
  日本大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Presentation] (招待)T字状フィルタードアーク蒸着装置と高品質スーパーハードDLC膜の開発2010
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  第12回『トライボコーティングの現状と将来』シンポジウム
- Place of Presentation
  理化学研究所和光研究所鈴木梅太郎記念ホール
- Year and Date
  2010-02-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] フィルタードアークプラズマビームの回転スキャンおよび偏向制御2010
- Author(s)
  奥田浩史,柏木大幸,田上英人,神谷雅男,柳田太一郎,須田善行,滝川浩史,長谷川祐史,瀧真,辻信広,石川剛史,安井治之,金子智
- Organizer
  平成22年電気関係学会東海支部連合大会,I5-2
- Place of Presentation
  中部大学,愛知県
- Year and Date
  2010-08-31
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 高品質DLC膜形成に向けた真空アークプラズマビームの制御2010
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  琉球大学
- Year and Date
  2010-09-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 薄膜高機能化を実現するフィルタードアーク蒸着システム2010
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  第24回プラズマが拓くものづくり研究会(PLAM)
- Place of Presentation
  サイエンス交流プラザ
- Year and Date
  2010-09-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 太陽電池アレイ型簡易日射計の温度補正2010
- Author(s)
  杉山智美, Mohd Arif Farizul, 須田善行, 滝川浩史, 桶真一郎, 川嶋和子
- Organizer
  平成22年電気関係学会東海支部連合大会
- Place of Presentation
  中部大学
- Year and Date
  2010-08-30
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Presentation] Advanced Vacuum Arc Technology for Thin Film Preparation2009
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  22nd SYMPOSIUM ON PLASMA SCIENCE FOR MATERIALS
- Place of Presentation
  The University of Tokyo
- Year and Date
  2009-06-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] Super Hard DLC CoatingTechnology2009
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  World Tribology Congress2009
- Place of Presentation
  国立京都国際会館,京都府
- Year and Date
  2009-09-08
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] Effect ofgas introduction position on substrateetching using Ar plasma-beam inμT-FAD2009
- Author(s)
  H. Tanoue, M. Kamiya, S. Oke, Y. Suda, H. Takikawa, Y. Hasegawa, M. Taki, N. Tsuji, T. Ishikawa, H. Yasui
- Organizer
  SPSM-22
- Place of Presentation
  東京大学,東京都
- Year and Date
  2009-06-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] (招待)Super Hard DLC Coating Technology2009
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  World Tribology Congress 2009 (WTC IV 2009)
- Place of Presentation
  Kyoto International Conference Center, Japan
- Year and Date
  2009-09-08
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 太陽電池アレイ型簡易日射計の開発とフィールド試験2009
- Author(s)
  杉山智美, Mohd Arif Farizul Bin Yahya, 桶真一郎, 須田善行, 滝川浩史, 川嶋和子
- Organizer
  太陽エネルギー学会/風力エネルギー協会合同研究発表会
- Place of Presentation
  長崎ブリックホール
- Year and Date
  2009-11-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Presentation] 太陽電池アレイ型簡易日射計の開発とフィールド試験2009
- Author(s)
  杉山智美,Mohd Arif Farizul,桶真一郎,須田善行,滝川浩史
- Organizer
  太陽/風力エネルギー講演論文集(pp.235-238)
- Place of Presentation
  長崎ブリックホール
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Presentation] (招待)フィルタードアーク蒸着とスーパーハードDLC成膜技術2009
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  第50回CVD研究会
- Place of Presentation
  名古屋大学環境総合館
- Year and Date
  2009-12-10
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] (招待)フィルタードアーク蒸着システムの機能アップ2009
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  イオン・プラズマフォーラム第21回三次元イオンプロセス研究会/第9回クリーントライボ研究会
- Place of Presentation
  京都テルサ
- Year and Date
  2009-11-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] (招待)フィルタードアーク蒸着システムの開発と機能性薄膜合成2009
- Author(s)
  滝川浩史
- Organizer
  (社)表面技術協会表面改質・硬化部会/材料機能ドライプロセス部会合同例会
- Place of Presentation
  東京都立産業技術研究センター
- Year and Date
  2009-07-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21360131
[Presentation] 温室内日射の計測のための太陽電池を用いた新型日射計の開発2008
- Author(s)
  杉山智美,桶真一郎,須田善行,滝川浩史
- Organizer
  平成20年度電気学会東海支部若手セミナー「環境と調和した電力・エネルギー技術」
- Place of Presentation
  豊橋技術科学大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560786
[Presentation] 自立機能性膜作製に向けた塩化ナトリウム薄膜犠牲層の形成
- Author(s)
  宮本優，藤井裕真，須田善行，滝川浩史，田上英人，西内満美子，榊泰直，近藤公伯
- Organizer
  表面技術協会第130回講演大会
- Place of Presentation
  京都府、京都大学
- Year and Date
  2014-09-22 – 2014-09-23
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] チタンバッファーを用いたシリコン基板上に成長したダイアモンドライクカーボン
- Author(s)
  金子智，松永崇，池永薫，伊藤健，安井学，堀内崇弘，安原重雄，三尋木勝洋，熊谷正夫，滝川浩史，下平英二，小林昌純，須藤理枝子，松田晃史，吉本護
- Organizer
  第７５回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  北海道、北海道大学
- Year and Date
  2014-09-17 – 2014-09-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] 塩化ナトリウム犠牲層薄膜を用いた自立金薄膜の作製
- Author(s)
  宮本優，藤井裕真，須田善行，滝川浩史，田上英人，西内満美子，榊泰直，近藤公伯
- Organizer
  電気・電子・情報関係学会東海支部連合会
- Place of Presentation
  愛知県、中京大学
- Year and Date
  2014-09-08 – 2014-09-09
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] Vacuum depositon of sodium chloride for using as a sacrifice layer
- Author(s)
  Y. Miyamoto, Y. FUjii, Y. Suda, H. Takikawa, H. Tanoue, M. Nishiuchi, K. Kondo
- Organizer
  IS Plasma 2015
- Place of Presentation
  Nagoya, Japan
- Year and Date
  2015-03-27 – 2015-03-30
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] フィルタードアーク蒸着スーパーDLC膜付カッターを用いた種々の金属のドライ切削
- Author(s)
  藤井裕真，宮本優，須田善行，滝川浩史，田上英人，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広
- Organizer
  電気・電子・情報関係学会東海支部連合会
- Place of Presentation
  愛知県、中京大学
- Year and Date
  2014-09-08 – 2014-09-09
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] 浸漬離膜すくい上げ法による多孔基板上への自立Au 薄膜の作製
- Author(s)
  宮本優，山野将史，藤井裕真，須田善行，滝川浩史，田上英人，西内満美子，榊泰直，近藤公伯
- Organizer
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  神奈川県、東海大学
- Year and Date
  2015-03-11 – 2015-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] フィルタードアーク蒸着スーパーDLC膜付カッターを用いた種々の金属のドライ切削
- Author(s)
  藤井裕真，宮本優，須田善行，滝川浩史，田上英人，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広
- Organizer
  電気・電子・情報関係学会東海支部連合会
- Place of Presentation
  中京大学（愛知県・名古屋市）
- Year and Date
  2014-09-08 – 2014-09-09
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] フィルタードアーク蒸着においてDC バイアスで成膜したDLC 膜の諸特性
- Author(s)
  藤井裕真，今井貴大，宮本優，須田善行，滝川浩史，田上英人，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，金子智，安井治之，國次真輔，川口雅弘，三浦健一
- Organizer
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  神奈川県、東海大学
- Year and Date
  2015-03-11 – 2015-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] 水素フリー超硬質ＤＬＣ薄膜に接する混合有機溶媒の構造＊ＦＭ-ＡＦＭと中性子反射率による解析
- Author(s)
  水光俊介，藤井裕真，滝川浩史，平山朋子，大西洋
- Organizer
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  東海大学（神奈川県・平塚市）
- Year and Date
  2015-03-11 – 2015-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] フィルタードアーク蒸着法で形成したDLC 膜の諸特性
- Author(s)
  藤井裕真，今井貴大，宮本優，須田善行，滝川浩史，田上英人，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，金子智，安井治之，國次真輔，川口雅弘，三浦健一
- Organizer
  表面技術協会第131回講演大会
- Place of Presentation
  関東学院大学（神奈川県・横浜市）
- Year and Date
  2015-03-04 – 2015-03-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] スーパーDLCコーティングカッターを用いた金属銘板のドライ加工切削
- Author(s)
  藤井裕真，宮本優，須田善行，滝川浩史，田上英人，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広
- Organizer
  表面技術協会第130回講演大会
- Place of Presentation
  京都府、京都大学
- Year and Date
  2014-09-22 – 2014-09-23
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] スーパーDLCコーティングカッターを用いた金属銘板のドライ加工切削
- Author(s)
  藤井裕真，宮本優，須田善行，滝川浩史，田上英人，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広
- Organizer
  表面技術協会第130回講演大会
- Place of Presentation
  京都大学（京都府・京都市）
- Year and Date
  2014-09-22 – 2014-09-23
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] Dry engraving of metales nameplates using cutter with super DLC coat
- Author(s)
  Y. Fujii, Y. Miyamoto, Y. Suda, H. Takikawa, H. Tanoue, M. Kamiya, M, Taki, Y. Hasegawa, N. Tsuji
- Organizer
  IS Plasma 2015
- Place of Presentation
  Nagoya Univ. (Aichi, Nagoya)
- Year and Date
  2015-03-27 – 2015-03-30
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] 水素フリー超硬質ＤＬＣ薄膜に接する混合有機溶媒の構造＊ＦＭ-ＡＦＭと中性子反射率による解析
- Author(s)
  水光俊介，藤井裕真，滝川浩史，平山朋子，大西洋
- Organizer
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  神奈川県、東海大学
- Year and Date
  2015-03-11 – 2015-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] チタンバッファーを用いたシリコン基板上に成長したダイアモンドライクカーボン
- Author(s)
  金子智，松永崇，池永薫，伊藤健，安井学，堀内崇弘，安原重雄，三尋木勝洋，熊谷正夫，滝川浩史，下平英二，小林昌純，須藤理枝子，松田晃史，吉本護
- Organizer
  第７５回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  北海道大学（北海道・札幌市）
- Year and Date
  2014-09-17 – 2014-09-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26630112
[Presentation] フィルタードアーク蒸着法で形成したDLC 膜の諸特性
- Author(s)
  藤井裕真，今井貴大，宮本優，須田善行，滝川浩史，田上英人，神谷雅男，瀧真，長谷川祐史，辻信広，金子智，安井治之，國次真輔，川口雅弘，三浦健一
- Organizer
  表面技術協会第131回講演大会
- Place of Presentation
  神奈川県、関東学院大学
- Year and Date
  2015-03-04 – 2015-03-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] Dry engraving of metales nameplates using cutter with super DLC coat
- Author(s)
  Y. Fujii, Y. Miyamoto, Y. Suda, H. Takikawa, H. Tanoue, M. Kamiya, M, Taki, Y. Hasegawa, N. Tsuji
- Organizer
  IS Plasma 2015
- Place of Presentation
  Nagoya, Japan
- Year and Date
  2015-03-27 – 2015-03-30
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048
[Presentation] グラファイト状窒化炭素薄膜の合成とその評価
- Author(s)
  藤田詩織，羽渕仁恵，髙木俊作，滝川浩史
- Organizer
  第７５回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  北海道、北海道大学
- Year and Date
  2014-09-17 – 2014-09-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24246048

1. SAKAKIBARA Tateki (10023243)

# of Collaborated Projects: 10 results

# of Collaborated Products: 16 results
2. SUDA Yoshiyuki (70301942)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 54 results
3. KIYOHARA Syuji (40299326)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 33 results
4. KANEKO Satoru (40426359)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 49 results
5. OKE Shinichiro (20362329)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 22 results
6. TANOUE Hideto (50580578)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 30 results
7. SAKUTA Tadahiro (80135318)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
8. TANAKA Yasunori (90303263)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
9. MIYAMOTO Masahiro

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
10. TOKORO Tetsurou (10155525)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
11. NAKAGAWA Shigeyasu (60155679)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
12. KEMMOKU Yoshishige (60273330)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 2 results
13. YAMADA Kenji (50249778)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
14. HABUCHI Hitoe (90270264)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 3 results
15. SHIBATA Takayuki (10235575)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 1 results
16. KAWASHIMA Takahiro (50378270)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 1 results
17. HARIGAI Toru (20757108)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 26 results
18. NAGAO Masayuki (30115612)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
19. MATSUO Hironobu (70293610)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
20. 若原昭浩 (00230912)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
21. 大門裕之 (60335106)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
22. 小山光彦 (50794038)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
23. SUZUKI Yasuo

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
24. 石井孝也

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
25. 丸中正雄

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
26. ISHIKAWA Ippei

# of Collaborated Projects: 0 results

# of Collaborated Products: 3 results

Takikawa Hirofumi 滝川 浩史

TAKIKAWA Hirofumi 滝川 浩史

TAKIKAWA Horoshi 滝川 浩史

滝川 浩史 タキカワ ヒロフミ

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

板組コイル陽極を用いた金属窒化物膜形成用フィルタードアーク蒸着装置の開発Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Fabrication of filtered arc deposition system with mixed vapor introduction and preparation of highly functional carbon films with high densityPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Feasibility study of tribological coating on bearing for small flywheel batteryPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Advancement of Filtered Arc Deposition System and Fabrication and Processing of High-Quality Hydrogen-Free DLC FilmsPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Feasibility study on solar energy converter using nanotube electron emitterPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Development of filtered-arc-deposition source with activated anode and preparation of functional-amorphous carbon filmPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

ナノカーボンの表面ナノコーティングと太陽電池への適用に対する基礎検討Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Development of Mass-Production Technique of Carbon Nanohorn Based on Arc discharge MethodPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

High Speed Production of Nanotube film for Cold Cathode Electron Emitter and Its Property EvaluationPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Takikawa Hirofumi 滝川浩史

TAKIKAWA Hirofumi 滝川浩史

TAKIKAWA Horoshi 滝川浩史

滝川浩史タキカワヒロフミ

[Book] 最新実用真空技術総覧アークイオンプレーティング2019