Shinkai Satoko 新海聡子

… Alternative Names

SHINKAI Shinichi 新海聡子

SHINKAI Satoko 新海聡子

Less

Researcher Number	90374785
Other IDs
Affiliation (Current)	2025: 九州工業大学, 大学院情報工学研究院, 准教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2020 – 2024: 九州工業大学, 大学院情報工学研究院, 准教授 2020: 九州工業大学, 大学院情報工学研究院, 准教授 2012 – 2019: 九州工業大学, マイクロ化総合技術センター, 准教授 2007 – 2008: Kyushu Institute of Technology, マイクロ化総合技術センター, 講師
Review Section/Research Field	Principal Investigator Basic Section 21010:Power engineering-related / Basic Section 21050:Electric and electronic materials-related / Applied materials science/Crystal engineering Except Principal Investigator Basic Section 21010:Power engineering-related / Power engineering/Power conversion/Electric machinery / Basic Section 21050:Electric and electronic materials-related
Keywords	Principal Investigator トレンチ / ドライエッチング / 酸化ガリウム / コーナー / ウエットエッチング / 熱処理 / Ga2O3 / BCl3 / Cl2 / β-Ga2O3 … More / GaN / ICP-RIE / ICP電力 / プロセス圧力 / バイアス電力 / 三塩化ホウ素 / 塩素 / エッチングレート / 表面形態 / 表面粗さ / エッチング / Si / スパッタ / タンタル / 銅 / 配線 / LSI / 拡散バリア / エピタキシャル成長 … More Except Principal Investigator パワーSoC / 集積化電源 / GaN / ３次元IC / パワーIC / ウエハー接合技術 / バンド構造制御 / シリコン光エレクトロニクス / シリサイド半導体 / ヘテロジニアスインテフレーション / ３次元集積回路 / 3次元パワーIC / GaNパワーデバイス / ヘテロジニアスインテグレーション / 3DIC / 3D パワーIC / サーマルマネージメント / 小型化 / ｈ－BN / ２次元物質 / 排熱・抜熱技術 / 表面活性化接合 / グラファイト薄膜 / マルチレイヤーグラフェン / h-BN / ３次元パワーSoC / 3次元集積化 / 高周波スイッチング電源 / 異種デバイス集積化 / 集積システム / 3次元パワーSoC / ノイズ遮蔽 / ３次元構造 / 集積化 / スイッチング電源 / パワーSupply on Chip / パワーエレクトロニクス / 電力工学 / DCーDCコンバーター / 小型電源 / POL / DCーDCコンバータ / 実装 / 高温動作 / パワーMOSFET / パワーSOC / 集積化パワーシステム / DC-DCコンバータ / SOD / SOD基板 / 抜熱 / 排熱 / Si on Diamond Less

Generation of Optical Functions in Silicide Semiconductors by Site-Selective Substitution of Elements
- Principal Investigator
  
  寺井慶和
- Project Period (FY)
  2023 – 2025
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Review Section
  
  Basic Section 21050:Electric and electronic materials-related
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
酸化ガリウムの表面および界面処理技術の研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  新海聡子
- Project Period (FY)
  2022 – 2024
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 21010:Power engineering-related
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
Study on heterogeneous integration technology for high power power IC
- Principal Investigator
  
  MATSUMOTO Satoshi
- Project Period (FY)
  2021 – 2023
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Review Section
  
  Basic Section 21010:Power engineering-related
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
Establishment of gallium oxide manufacturing process for trenchPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  SHINKAI Satoko
- Project Period (FY)
  2018 – 2020
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 21050:Electric and electronic materials-related
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
Development of the 3D Power Supply on Chip
- Principal Investigator
  
  MATSUMOTO Satosi
- Project Period (FY)
  2018 – 2020
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Review Section
  
  Basic Section 21010:Power engineering-related
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
Investigation of a substrate with both high heat exhausting and elctro magnetic noise sielding layer for power supply on chip applications
- Principal Investigator
  
  Matsumoto Satoshi
- Project Period (FY)
  2015 – 2017
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Power engineering/Power conversion/Electric machinery
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
Study on a substrate for ultra high density power supply on chip
- Principal Investigator
  
  Matsumoto Satoshi
- Project Period (FY)
  2012 – 2015
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Power engineering/Power conversion/Electric machinery
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology
Characteristics of Ta diffusion barrierPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  SHINKAI Satoko
- Project Period (FY)
  2007 – 2008
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  Applied materials science/Crystal engineering
- Research Institution
  Kyushu Institute of Technology

All 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2009 2008 2007 Other

All Journal Article Presentation Patent

[Journal Article] Crystal Orientation of Epitaxial (110)α-Ta Thin Films Grown on (100) and (111)Si Substrates by Sputtering2008
- Author(s)
  M. Kudo, S. Shinkai, H. Yanagisawa, K. Sasaki, and Y. Abe
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics vol.47
  
  Pages: 5608-5612
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19760015
[Journal Article] Crystal Orientation of Epitaxial α-Ta(110) Thin Films Grown on Si(100) and Si(111) Substrates by Sputtering2008
- Author(s)
  Masahiro Kudo, Satoko Shinkai, Hideto Yanagisawa, Katsutaka Sasaki, and Yoshio Abe
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47
  
  Pages: 5608-5612
- NAID
  40016161803
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19760015
[Journal Article] Crystal Orientation of Epitaxial (110)α -Ta Thin Films Grown on(100)and (lll) Si Substrates by Sputtering
- Author(s)
  M. Kudo, S. Shinkai, H. Yanagisawa, K. Sasaki, and Y. Abe
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47(印刷中)
  
  Pages: 5608-5612
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19760015
[Patent] 基板の表面処理方法、表面処理装置および表面処理溶液2021
- Inventor(s)
  新海聡子
- Industrial Property Rights Holder
  新海聡子
- Industrial Property Rights Type
  特許
- Industrial Property Number
  2021-211935
- Filing Date
  2021
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01430
[Presentation] アルコール希釈TMAHを用いた窒化ガリウムのウエットエッチング2022
- Author(s)
  濵屋有志，岡本萌，新海聡子
- Organizer
  第69回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01314
[Presentation] エッチング条件によるβ-Ga2O3表面形態への影響2020
- Author(s)
  森山裕貴，新海聡子
- Organizer
  第67 回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18K04239
[Presentation] Cl2を用いた低バイアスドライエッチングで出現するGaNの異方性2020
- Author(s)
  濱屋有志，岡本萌，新海聡子
- Organizer
  第67 回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01430
[Presentation] Cl2を用いたGaNエッチングに及ぼす装置からの影響2020
- Author(s)
  岡本萌，濱屋有志，森山裕貴，新海聡子
- Organizer
  第67 回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01430
[Presentation] 低バイアスエッチング後の GaN on GaN 表面形態2019
- Author(s)
  宇崎滉太，新海聡子
- Organizer
  第 66 回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01430
[Presentation] 3次元Power Supply on chip実現のためのプロセス技術開発2019
- Author(s)
  横井雅志，小野晃太，石戸降希，新海聡子，松本聡
- Organizer
  電気学会　電子デバイス/半導体電力変換合同研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01430
[Presentation] AlGaN/GaN/Buffer (111)SiとSiO2/(100)Siウエハのドライエッチング2019
- Author(s)
  横井雅志，森山裕貴，新海聡子
- Organizer
  第80 回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01430
[Presentation] ドライエッチング後のn-GaN/i-GaN on Siにおける表面形態2019
- Author(s)
  岡本萌，森山裕貴，新海聡子
- Organizer
  第80 回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01430
[Presentation] β-Ga2O3ドライエッチングにおけるドープ種の影響2019
- Author(s)
  森山裕貴，新海聡子
- Organizer
  第80 回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18K04239
[Presentation] 走査型電子顕微鏡を用いたエッチング後のGaN表面観察2018
- Author(s)
  林卓矢，宇崎滉太，新海聡子
- Organizer
  平成30年度応用物理学会九州支部学術講演
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01430
[Presentation] 各種 GaN 基板におけるエッチング依存性2018
- Author(s)
  宇崎滉太，新海聡子
- Organizer
  平成30年度応用物理学会九州支部学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01430
[Presentation] 希釈溶媒を変化させたTMAHによるGaN表面処理2018
- Author(s)
  今熊豪，宇崎滉太，新海聡子
- Organizer
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03965
[Presentation] Cl2およびBCl3を用いたICP-RIEによるGaN表面粗さへの影響2018
- Author(s)
  宇崎滉太，今熊豪，新海聡子
- Organizer
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03965
[Presentation] 低バイアスドライエッチングによる多結晶β-Ga2O3の表面粗さ評価2018
- Author(s)
  森山裕貴，西山和輝，宇崎滉太，川棚湧貴，新海聡子
- Organizer
  平成30年度応用物理学会九州支部学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18K04239
[Presentation] 低バイアスICP-RIEによるn-GaN表面粗さ評価2018
- Author(s)
  宇﨑滉太, 新海聡子, 大槻秀夫
- Organizer
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18K04239
[Presentation] ICP-RIEを使用したスキャロップ削減方法の検討2018
- Author(s)
  宇崎滉太，穴井宏樹，川棚湧貴，新海聡子
- Organizer
  平成30年度　日本表面真空学会　九州支部学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18K04239
[Presentation] ミストCVD法によって成膜したGa2O3の結晶性評価2018
- Author(s)
  西山和輝，森山裕貴，新海聡子
- Organizer
  平成30年度応用物理学会九州支部学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18K04239
[Presentation] 低バイアスICP-RIEによるn-GaN表面粗さ評価2018
- Author(s)
  宇崎滉太，新海聡子，大槻秀夫
- Organizer
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01430
[Presentation] TMAH溶液のエッチングによるGaNの表面粗さの改善2017
- Author(s)
  今熊豪，宇崎滉太，新海聡子
- Organizer
  平成29年度応用物理学会九州支部学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03965
[Presentation] ICP-RIEを施したGaN表面のエッチングダメージ評価2017
- Author(s)
  宇崎滉太，今熊豪，新海聡子
- Organizer
  平成29年度応用物理学会九州支部学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15H03965
[Presentation] 同時スパッタで作製したNb-Hf合金膜による陽極酸化膜キャパシタの損失特性2009
- Author(s)
  君崎英史,柴田智晴,本間康之,新海聡子,佐々木克孝,山根美佐雄,阿部良夫
- Organizer
  2009年(平成21年)春季第56回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  筑波大学
- Year and Date
  2009-04-01
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19760015
[Presentation] Hfを添加したNb合金による陽極酸化膜キャパシタの損失特性2008
- Author(s)
  柴田智晴,君崎英史,佐々木克孝,山根美佐雄,阿部良夫,新海聡子
- Organizer
  2008年(平成20年)秋季第69回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  中部大学
- Year and Date
  2008-09-02
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19760015
[Presentation] TiNゲートAlGaN/GaN HFETの特性評価2007
- Author(s)
  敖金平,澤田剛一,新海聡子,岡田政也,胡成余,廣瀬和之,河合弘治,大野泰夫
- Organizer
  2007年(平成19年)秋季第68回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  北海道工業大学
- Year and Date
  2007-09-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19760015
[Presentation] n-GaNへの高温処理ZrN電極ショットキー特性2007
- Author(s)
  澤田剛一, 新海聡子, 敖金平, 岡田政也, 胡成余, 廣瀬和之, 河合弘治, 大野泰夫
- Organizer
  第68回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  北海道工業大学
- Year and Date
  2007-09-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19760015
[Presentation] n-GaNへの高温処理ZrN電極ショットキー特性2007
- Author(s)
  澤田剛一,新海聡子,敖金平,岡田政也,胡成余,廣瀬和之,河合弘治,大野泰夫
- Organizer
  2007年(平成19年)秋季第68回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  北海道工業大学
- Year and Date
  2007-09-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19760015
[Presentation] TiNゲートAIGaN/GaN HFETの特性評価2007
- Author(s)
  敖金平, 澤田剛一, 新海聡子, 岡田政也, 胡成余, 廣瀬和之, 河合弘治, 大野泰夫
- Organizer
  第68回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  北海道工業大学
- Year and Date
  2007-09-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19760015

1. Matsumoto Satoshi (10577282)

# of Collaborated Projects: 6 results

# of Collaborated Products: 1 results
2. BABA Akiyoshi (80304872)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
3. 長谷川雅考 (20357776)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
4. NISHIZAWA Shinichi (40267414)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
5. 小金丸正明 (20416506)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
6. 寺井慶和 (90360049)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results

Shinkai Satoko 新海 聡子

SHINKAI Shinichi 新海 聡子

SHINKAI Satoko 新海 聡子

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Generation of Optical Functions in Silicide Semiconductors by Site-Selective Substitution of Elements

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

酸化ガリウムの表面および界面処理技術の研究Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Study on heterogeneous integration technology for high power power IC

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Establishment of gallium oxide manufacturing process for trenchPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Development of the 3D Power Supply on Chip

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Investigation of a substrate with both high heat exhausting and elctro magnetic noise sielding layer for power supply on chip applications

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Study on a substrate for ultra high density power supply on chip

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Characteristics of Ta diffusion barrierPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Journal Article] Crystal Orientation of Epitaxial (110)α-Ta Thin Films Grown on (100) and (111)Si Substrates by Sputtering2008

Author(s)

Journal Title

Data Source

[Journal Article] Crystal Orientation of Epitaxial α-Ta(110) Thin Films Grown on Si(100) and Si(111) Substrates by Sputtering2008

Author(s)

Journal Title

NAID

Data Source

[Journal Article] Crystal Orientation of Epitaxial (110)α -Ta Thin Films Grown on(100)and (lll) Si Substrates by Sputtering

Author(s)

Journal Title

Data Source

[Patent] 基板の表面処理方法、表面処理装置および表面処理溶液2021

Inventor(s)

Industrial Property Rights Holder

Industrial Property Rights Type

Industrial Property Number

Filing Date

Data Source

[Presentation] アルコール希釈TMAHを用いた窒化ガリウムのウエットエッチング2022

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] エッチング条件によるβ-Ga2O3表面形態への影響2020

Author(s)

Shinkai Satoko 新海聡子

SHINKAI Shinichi 新海聡子

SHINKAI Satoko 新海聡子