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三好 隆志  MIYOSHI Takashi

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

岸浪 健史  キシナミ タケシ

岸浪 建史  KISHINAMI Takeshi

隠す
研究者番号 00002048
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2006年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
2006年度: 阪大, 工学(系)研究科(研究院), 教授
1998年度 – 2005年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授
1993年度 – 1997年度: 大阪大学, 工学部, 教授
1993年度 – 1994年度: 北海道大学, 工学部, 教授 … もっと見る
1991年度: 大阪大学, 工学部, 教授
1986年度 – 1990年度: 北海道大学, 工学部, 助教授
1986年度: 北海道大学, 工学部, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
機械工作・生産工学 / 機械工作 / 生産工学・加工学
研究代表者以外
機械工作・生産工学 / 機械工作 / 生産工学・加工学 / 設計工学・機械要素・トライボロジー
キーワード
研究代表者
ナノテクノロジー / 光放射圧 / 研磨加工 / 半導体 / CMP / Laser applied measurement / 光応用計測 / Optical measurement / 表面欠陥 / レーザトラッピング … もっと見る / シリコンウエハ / 平坦化 / ナノ粒子 / レーザ応用計測 / ナノインプロセス計測 / laser trapping / optical radiation pressure / 微粒子 / 金型 / Silicon wafer / nanotechnology / 超精密 / フーリエ変換 / 逆散乱 / インプロセス計測 / Fraunhofer diffraction / In-process measurement / 光散乱 / 超精密加工 / Fraunhofer回折 / 微細加工 / 平坦加工 / フラーレン / Mold and die / Polishing robot / Polishing operation / Knowledge acquisition / Expert / エキスパートシステム / 動作解析 / 磨きの自動化 / 金型磨き作業 / 磨きロボット / 知識獲得 / エキスパ-ト / Spherical grinding wheel / Mold cavity / Dual-axis grinding / Diamond grinding tool / Ceramics / 研削工具 / 自動仕上加工 / 研削仕上 / ダイヤモンド砥石 / 曲面仕上加工 / 球体研削砥石 / 金型自由曲面 / 二軸回転研削 / ダイヤモンド研削 / セラミックス / semiconductor / silicon wafer / planarization / polishing process / レーザトラップ / Semiconductor / Laser light scattering / SiO2 thin film / CMP process / Nano-inprocess measurement / Surface defect / 薄膜表面 / CMP加工 / Fourier transform / Nano in-process measurement / 3D Micro-Profile / Phase retrieval / Optical Inverse Scattering / レーザー応用計測 / マイクロ加工計測 / 微細形状計測 / 位相回復 / Particle / 3D position / Linnik interferometer / Radiation pressure force / Position detecting probe / Laser trapping in air / Microparts / Nano-CMM / Mirau干渉計 / マイクロパ-ツ / 3次元位置座標 / Linnik干渉計 / 位置検出プローブ / 大気中レーザトラッピング / マイクロパーツ / ナノCMM / optical processing / diamond grain / mechanochemical polishing / micro-machining / ダイヤモンド / マイクロ加工 / Surface fitting / Master model / CAD model / 3-D free form surface / Reverse engineering / On-machine measurement / 3-D form measurement / 形状処理 / 曲面あてはめ / マスタモデル / CADモデル / 自由曲面 / リバースエンジニアリング / オンマシン計測 / 3次元形状計測 / BSO crystal / Photorefractive crystal / Nano-technology / Contamination / Surface defects inspection / BSO / ミ-散乱 / BSO結晶 / 光誘起屈折率効果結晶 / 微小付着異物 / 表面欠陥検査 / シリコンウェハ / exponential density filter / optical Fourier transform / inverse scattering phase retrieval / fine profile measurement / inprocess measurement / micromachining / 指数型光減少フィルタ / 光学的フーリエ変換 / 逆散乱位相法 / 微細形状測定 / マイクロマシニング / Fine scratch / Ultra-fine surface / Non-contact measurement / Diamond turning / Ultra-precision / 非接触測定 / Fraunhoter回折 / 表面粗さ / 微細傷 / ナノメ-タ / ダイヤモンド切削 / インプロセス測定 / 研磨スラリー / Cu-CMP / フラーレンC60 / レーザ加工 / ナノ加工 / カーボン / UVレーザ / 水酸化フラーレン / 超平坦加工 / カーボンナノ粒子 / 超砥粒 / スラリー … もっと見る
研究代表者以外
CAM / 光放射圧 / CAD / マイクロ部品 / Radiation pressure / Laser trapping / レーザトラッピング / マイクロプローブ / Micropart / FDTD simulation / Microparts / ナノCMM / エキスパ-トシステム / 自由曲面 / エキスパートシステム / 金型 / Automatic Programming System / 6-axis NC Electric Discharge Machining / Electric Discharge Machining / 輪郭制御ソフトウエア / NC放電加工 / 放電創成加工法 / 自動プログラミングシステム / 創成放電加工 / 6軸NC制御放電加工 / 放電加工 / Free-form surface / Computer Integrated Manufacturing System / Automatic machining / Automatic Design / Model / Mold / Die / 曲面加工 / モールドフロー解析 / 金型用CAD / 金型設計 / 生産工程設計 / 流動解析 / 金型製作 / キャビティ面 / 金型仕上作業 / 非接触形状測定 / 3次元測定機 / CAT / FEM / CAE / 形状モデル / 表面計測 / コンピュ-タ統合生産システム / 自動加工 / 自動設計 / 模型 / Operation Planning / Process Planning / Hierachical CAM System / Flexible Manufacturing System / 自動プログラミング / 作業設計 / 工程設計 / 階層処理CAM / FA / CIM / FMS / Multi-scale measurement / Nanometrology / Surface fine figure / Three dimensional surface / Microprobe / 複合計測 / ナノ計測 / 表面微細形状 / 3次元形状 / Vibro-probe / Silica particle / Optical fiber / Micro-probe / Nano-CMM / 大気中トラップ / 振動型プローブ / シリカ微粒子 / 光ファイバー / Solidification process analysis / Color doped resin / Overthang form / Image exposure / LCD mask / Stereolithography / 濃淡画像マスク / 動的露光法 / 動画像マスク / FDTDシミュレーション / 樹脂硬化プロセス解析 / 色素添加光硬化性樹脂 / オーバーハング形状 / 面露光法 / 微小部品 / 液晶マスク / 光造形 / Probe tip / Evanescent Light / IR Laser / COP / Nano-defect / Sub-surface / Silicon wafer / エバネセント光検出ユニット / AFM探針 / 赤外エバネセント場 / COP欠陥 / プローブ / 有限差分時間領域法 / エバネセント場 / 赤外レーザ / 加工表面層欠陥 / シリコンウェハ / Optical torque / Particle / Micromachining / Machining tool / Diamond thin film / Silicon mold / Radiation pressure force / 光硬化性樹脂 / TDFD法 / ナノ加工痕 / 円偏光 / 光放射圧トルク / 回転微粒子 / マイクロ加工 / 加工ツール / ダイヤモンド薄膜 / シリコンモールド / マイクロパーツ / Active vibration control / Crystalline lattice / Virtual CMM / Miniature robot / Optical probe / Coordinate metrology / Software datum / Nanometer metrology / 微動テーブル / 超小型自走機械 / 自律校正 / 能動制振 / 結晶格子 / 仮想三次元測定機 / 超小型精密自走機械 / 光プローブ / 座標計測 / ナノメートル計測 / ソフトウェアデータム / modelling / formulation / knowledge acquisition / manufacturing knowledge / 知識 / 生産 / モデリング / 形式化 / 知識獲得 / 生産知識 / Computer model / Curved surface / Autonomous measurement / Normal vector / Position vector / Non-contact measurement / 計算機モデル / 曲面 / 自動計測 / 法線ベクトル / 位置ベクトル / 非接触測定 / Non-Contact Measurement / 3-D Form Measurement / Expert System / Fuzzy Control / Robot / Polishing Tools / Automatic Polishing / Metal Molds / 非接触計測 / 三次元形状計測 / ファジィ制御 / ロボット / 研磨工具 / 自動研磨 / 金型製造 / Expert system / Productive data / Scratch flaw / Surface roughness / Skill machinist / Automatic polishing / Finishing / Die and mold / 知識工学 / 金型仕上熟練工 / 生産情報 / 表面傷 / 仕上げ面粗さ / 熟練工 / 技能 / 仕上加工 / ナノ加工 / 強制振動 / 共振現象 / レンズ効果 / レーザアブレーション / 微粒子 隠す
  • 研究課題

    (28件)
  • 研究成果

    (63件)
  • 共同研究者

    (38人)
  •  フラーレンナノ粒子の光放射圧制御による超平坦化CMP加工に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  カーボン機能ナノ粒子の光放射圧運動制御による超微細加工に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  微粒子レンズを用いた共振レーザアブレーションによる自律型ナノ加工に関する研究

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  フラーレンナノ粒子の光放射圧制御とその超平坦化CMP加工への応用に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光放射圧制御ナノCMP加工装置の開発研究代表者

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  高アスペクト比をもつ微細加工形状計測用レーザトラッピングプローブに関する研究

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  半導体CMP加工における薄膜表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  非積層型液晶3次元光造形装置の開発

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  赤外エバネセント光を利用したシリコンウェハ加工表面層のナノ欠陥計測法に関する研究

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  微細三次元加工形状の光逆散乱ナノインプロセス計測装置の開発研究代表者

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光放射圧マイクロ加工ツールの試作開発

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ナノCMMレーザトラッピングプローブの試作開発研究代表者

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  座標計測の高度化に関する研究

    • 研究代表者
      下河辺 明
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      設計工学・機械要素・トライボロジー
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  シリコンウェハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  非接触3次元形状計測に基づく意匠設計支援システムの開発研究代表者

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  生産領域における知識獲得の方法論とモデリングの研究

    • 研究代表者
      岩田 一明
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      一般研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  フレキシブルマイクロマシニングにおけるナノインプロセス計測に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  法線と位置の連続検出型非接触プローブによる曲面の自律探査測定システムの試作開発

    • 研究代表者
      青山 英樹
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      慶応義塾大学
      苫小牧工業高等専門学校
  •  金型製造システムの高度化を支援する加工・計測・制御技術の開発

    • 研究代表者
      稲崎 一郎
    • 研究期間 (年度)
      1990 – 1991
    • 研究種目
      総合研究(A)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      慶応義塾大学
  •  超精密加工面性状インプロセス測定装置の試作開発研究代表者

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1990
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      北海道大学
  •  金型設計・製造のためのエキスパートシステムの開発に関する研究

    • 研究代表者
      斉藤 勝政 (斎藤 勝政)
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1990
    • 研究種目
      試験研究
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      北海道大学
  •  金型磨き作業の動作解析と自動化に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1988 – 1989
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      北海道大学
  •  金型設計製作用CADICAMICAEシステムの統合化に関する研究

    • 研究代表者
      斎藤 勝政 (斉藤 勝政)
    • 研究期間 (年度)
      1986 – 1988
    • 研究種目
      一般研究(A)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      北海道大学
  •  半球ダイヤモンド砥石を用いたセラミックス曲面の仕上加工法に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1986 – 1987
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      北海道大学
  •  曲面創成加工用6軸NC放電加工装置の試作開発

    • 研究代表者
      斎藤 勝政 (斉藤 勝政)
    • 研究期間 (年度)
      1986 – 1987
    • 研究種目
      試験研究
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      北海道大学
  •  FMS用総合CAMシステムに関する研究

    • 研究代表者
      岸浪 建史
    • 研究期間 (年度)
      1985 – 1986
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      北海道大学

すべて 2006 2005 2004 2003

すべて 雑誌論文 産業財産権

  • [雑誌論文] The 3D) manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping2006

    • 著者名/発表者名
      Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of Optics and Photonics 2006 (SPIE) Vol.6326, (CD_ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] UVレーザを用いた微粒子トラップによる微細加工に関する研究2006

    • 著者名/発表者名
      日高敏揮, 高谷裕浩, 三好隆志, 林 照剛
    • 雑誌名

      日本機械学会 第6回生産加工・工学機械部門講演会講演論文集 (in print)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] Evaluation of Laser Trapping Probe Properties for Coordinate Measurement2006

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Instrumentation and Computer-Vision System (SPIE) Vol. 6375

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上げ加工に関する研究(第2報) -局所マイクロ領域におけるナノ平滑化特性-2006

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩, 林照剛
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 東京

      ページ: 1195-1196

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [雑誌論文] The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping2006

    • 著者名/発表者名
      Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of Optics and Photonics 2006 (SPIE) Vol. 6326(CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] A Novel Surface Finishing Technique for Microparts Using an Optically Controlled Microparticle Tool2006

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Torutake Hayashi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL.55/1

      ページ: 613-616

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] A Novel Surface Finishing Technique for Microparts Using an Optically Controlled Microparticle tool2006

    • 著者名/発表者名
      H.Tanada, K.Hida, T.Miyoshi, T.Hayashi
    • 雑誌名

      CIRP Annals - 2006 Manufacturing Technology 55/1

      ページ: 613-616

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] Study on nano-3D position detection using laser trapping probe with circular motion2006

    • 著者名/発表者名
      Yuto Nagasaka, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      The 6th Manufacturing & Machine Tool Conference, Hayama

      ページ: 129-130

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] レーザトラップを用いたナノ3次元位置検出プローブに関する研究? 2次元振動プローブの特性評価?2006

    • 著者名/発表者名
      長坂雄人, 高谷裕浩, 三好隆志, 林照剛
    • 雑誌名

      日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会 葉山

      ページ: 129-130

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Evaluation of Laser Trapping Probe Properties for Coordinate Measurement2006

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Instrumentation and Computer-Vision System (SPIE) Vol.6375

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] レーザトラッピングプローブを用いた高精度3次元座標計測に関する研究2006

    • 著者名/発表者名
      道畑正岐, 高谷裕浩, 三好隆志, 林照剛
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 東京

      ページ: 1053-1054

    • NAID

      130005027106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Novel CMP Technique for Copper Surface Finishing with Fullerene Nano-Particle2006

    • 著者名/発表者名
      H.Tanada, T.Miyoshi, Y.Takaya, T.Hayashi, K.Suzuki
    • 雑誌名

      Proceeding of ASPE 21st Annual Meeting (ASPE'06), Monterey, California

      ページ: 595-598

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] Study on High Precise-3-Dimensional Coordinate Measurement with Laser Trapping Probe2006

    • 著者名/発表者名
      Masaki MICHIHATA, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI, Terutake HAYASHI
    • 雑誌名

      Proceedings of 2006 JSPE general meeting in spring, Tokyo

      ページ: 1053-1054

    • NAID

      130005027106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上加工に関する研究-局所マイクロ領域におけるナノ平滑化特性-2006

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩, 林 照剛
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] フラーレンナノ粒子を用いたCu-CMPの研究-研磨の基本特性2006

    • 著者名/発表者名
      田名田祐樹, 三好隆志, 高谷裕浩, 林 照剛
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集

      ページ: 15-16

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] レーザトラップを用いたナノ3次元位置検出プローブに関する研究-2次元振動プローブの特性評価-2006

    • 著者名/発表者名
      長坂雄人, 高谷裕浩, 三好隆志, 林照剛
    • 雑誌名

      日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会 葉山

      ページ: 129-130

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] A Novel Surface Finishing Technique for Microparts Using an Optically Controlled Microparticle Tool2006

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL. 55/1

      ページ: 613-616

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber - Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping2005

    • 著者名/発表者名
      Sang In EOM, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI
    • 雑誌名

      Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21) Nagoya

      ページ: 365-370

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber -Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping2005

    • 著者名/発表者名
      Sang In EOM, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI
    • 雑誌名

      Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21) Nagoya

      ページ: 365-370

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Dynamic Properties Measurement of Vibrating Microprobe for Nano-Position Sensing Using Radiation Pressure Control2005

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Shuichi Dejima, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      SPIE Vol. 5930, (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Dynamic Properties Measurement of Vibrating Microprobe for Nano-Position Sensing Using Radiation Pressure Control2005

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Shuichi Dejima, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      SPIE Vol. 5930(CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber-Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping2005

    • 著者名/発表者名
      Sang In EOM, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI
    • 雑誌名

      Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21), Nagoya

      ページ: 365-370

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Nano-Position Sensing Using Optically Motion-controlled Microprobe with PSD Based on Laser Trapping Technique2005

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Syuichi Dejima, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL. 54/1

      ページ: 467-470

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第13報)-横方向強制振動型プローブの振動検出系の改良-2005

    • 著者名/発表者名
      今井敬次郎, 高谷裕浩, 三好隆志
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会春季大会学術講演会論文集 東京(発表予定)

    • NAID

      130004657757

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上加工に関する研究-加工特性の解析-2005

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩, 林 照剛
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 943-944

    • NAID

      130004657252

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] Laser-assisted CMP for Copper Wafer2005

    • 著者名/発表者名
      T.Ha, K.Kimura, T.Miyoshi, Y.Takaya
    • 雑誌名

      Material Science Forum Vol.2(in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656041
  • [雑誌論文] Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force2005

    • 著者名/発表者名
      Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of the 20^<th> American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'05) Vol.37

      ページ: 464-467

    • NAID

      130004657252

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] Nano-fishing Using a Micro-perticle Controlled by Optical Radiation Force2005

    • 著者名/発表者名
      Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'05) USA

      ページ: 464-467

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [雑誌論文] Laser - assisted CMP for Copper Wafer2005

    • 著者名/発表者名
      Taeho Ha, Keiichi Kimura, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya
    • 雑誌名

      Trans Tech Publications, Material Science Forum Vol.502

      ページ: 351-356

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第13報)-横方向強制振動型プローブの振動検出系の改良-2005

    • 著者名/発表者名
      今井 敬次郎, 高谷 裕浩, 三好 隆志
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 東京

      ページ: 1013-1014

    • NAID

      130004657757

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Nano-Position Sensing Using Optically Motion-controlled Microprobe with PSD Based on Laser Trapping Technique2005

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Syuichi Dejima, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL.54/1

      ページ: 467-470

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Dynamic Properties Measurement of Vibrating Microprobe for Nano-Position Sensing Using Radiation Pressure Control2005

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Shuichi Dejima, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      SPIE Vol.5930(CD-ROM)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上げ加工に関する研究 -加工特性の解析-2005

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 林 照剛
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 京都

      ページ: 943-944

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [雑誌論文] Nano-Position Sensing Using Optically Motion-controlled Microprobe with PSD) Based on Laser Trapping Technique2005

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Shuichi Dejima, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL.54/1

      ページ: 467-470

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Vibrational Probing Technique for the Nano-CMM based on Optical Radiation Pressure Control2004

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, K.Imal, Taeho Ha, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL.53/1

      ページ: 389-392

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] レーザ複合ナノCMP平坦加工に関する研究-レーザ照射によるCu表面層の除去加工特性2004

    • 著者名/発表者名
      宮本利樹, 三好隆志, 高谷裕浩, 木村景一, 鈴木恵友
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 大阪

      ページ: 41-42

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [雑誌論文] Vibrational Probing Technique for the Nano-CMM based on Optical Radiation Pressure Control2004

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, K.Imai, Taeho Ha, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL. 53/1

      ページ: 389-392

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Laser Planarization Process for Copper Surface2004

    • 著者名/発表者名
      K.Kimura, Y.Takaya, T.Miyoshi, T.Miyamoto
    • 雑誌名

      Proc.of The 1st Pac-Rim Int.Conference on Planarization CMP and its Application Technology Vol.1

      ページ: 173-178

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656041
  • [雑誌論文] Laser Planarization Process Assisted by Chemical Mechanical Polishing for Copper Surface2004

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Keiichi Kimura, Takashi Miyoshi, Toshiki Miyamoto, Keisuke Suzuki
    • 雑誌名

      Proceedings of the 19th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'04) Vol.34

      ページ: 705-708

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [雑誌論文] レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第12報)-横方向強制振動型プローブ測定物近傍での振動特性-2004

    • 著者名/発表者名
      今井敬次郎, 高谷裕浩, 三好隆志
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集 島根

      ページ: 993-994

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Position Sensitivity of Micro Probe with Transverse Vibration Using Optical Trap2004

    • 著者名/発表者名
      Keijiro Imai, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Taeho Ha, Keiichi
    • 雑誌名

      Proceedings of International Symposium on Photonics in Measurement 2004 Frankfurt

      ページ: 277-284

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Laser Planarization Process for Copper Surface2004

    • 著者名/発表者名
      K.Kimura, Y.Takaya, T.Miyoshi, T.Miyamoto
    • 雑誌名

      Proc.of The 1st Pac-Rim Int.Conference on Planarization CMP and its Application Technology Vol.1

      ページ: 173-178

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第12報)?横方向強制振動型プローブの測定物近傍での振動特性?2004

    • 著者名/発表者名
      今井敬次郎, 高谷裕浩, 三好隆志
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集 島根

      ページ: 993-994

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Laser Planarization Process Assisted by Chemical Mechanical Polishing for Copper Surface2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Takaya, K.Kimura, T.Miyoshi, T.Miyamoto, K.Suzuki
    • 雑誌名

      Proc.of the 19th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'04) Vol.34

      ページ: 705-708

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] Vibrational Probing Technique for the Nano-CMM based on Optical Radiation Pressure Control2004

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, K.Imai, Taeho Ha, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL.53/1

      ページ: 389-392

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] レーザ複合ナノCMP平坦加工に関する研究2004

    • 著者名/発表者名
      宮本利樹, 三好隆志, 高谷裕浩, 木村景一
    • 雑誌名

      精密工学会2004年度関西地方定期公演会論文集

      ページ: 41-42

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656041
  • [雑誌論文] Position Sensitivity of Micro Probe with Transverse Vibration Using Optical Trap2004

    • 著者名/発表者名
      Keijiro Imai, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Taeho Ha, Keiichi Kimura
    • 雑誌名

      Proceedings of International Symposium on Photonics in Measurement 2004 VDI-Berich te 1844

      ページ: 277-284

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Nano-CMM probing technique using optical fiber trapping (2nd report)-Fundamental analysis of laser trapping using optical fiber-2004

    • 著者名/発表者名
      Takaki HASHIMOTO, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI
    • 雑誌名

      Proceedings of 2004 JSPE general meeting in spring, Tokyo

      ページ: 673-674

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Position Sensitivity of Micro Probe with Transverse Vibration Using Optical Trap2004

    • 著者名/発表者名
      Keijiro Imai, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Taeho Ha, Keiichi Kimura
    • 雑誌名

      Proceedings of International Symposium on Photonics in Measurement 2004, VDI-Berichte 1844

      ページ: 277-284

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ加工に関する研究2004

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩
    • 雑誌名

      精密工学会2004年度関西地方定期公演会論文集

      ページ: 43-44

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上加工に関する研究2004

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 大阪

      ページ: 43-44

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [雑誌論文] 光ファイバを用いたナノCMMプローブの研究(第2報)-光ファイバによるレーザトラッピング基礎特性解析-2004

    • 著者名/発表者名
      橋本隆希, 高谷裕浩, 三好隆志
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 東京

      ページ: 673-674

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Study of Probing Technique for Nano-CMM Using Laser Trap(12nd Report)-Basic Characteristic of Vibration Probe-2004

    • 著者名/発表者名
      Keijiro IMAI, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI
    • 雑誌名

      Proceedings of 2004 JSPE general meeting in autumn, Shimane

      ページ: 993-994

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] レーザ複合ナノCMP平坦加工に関する研究2004

    • 著者名/発表者名
      宮本利樹, 三好隆志, 高谷裕浩, 木村景一
    • 雑誌名

      精密工学会2004年度関西地方定期公演会論文集

      ページ: 41-42

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] Fundamental Properties of The Forced Vibrational Laser Traooing Probe for The Nano-CMM2003

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro TAKAYA, Keijiro IMAI, Taeho Ha, Takashi MIYOSHI
    • 雑誌名

      Proceedings of 2003 JSPE Hokkaido branch meeting, Muroran

      ページ: 3-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Nano-CMM Probe using' Optical Fiber Trapping-Trapping Force Simulation using FDTD Method-2003

    • 著者名/発表者名
      Takaki HASHIMOTO, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI, Ryuusuke NAKAJIMA
    • 雑誌名

      Proceedings of 2003 JSPE Kansai Branch regular meeting, Osaka

      ページ: 71-72

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Fundamental Analysis on the Novel 3-D Probing Technique for Microparts Using the Optical Fiber Trapping2003

    • 著者名/発表者名
      Takaki Hashimoto, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi. Ryusuke Nakajima
    • 雑誌名

      Proceedings of the 18th American Society for Precision Engineering Annual Meeting, Portland

      ページ: 83-86

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 強制振動型ナノCMMレーザトラッピングプローブの基本特性2003

    • 著者名/発表者名
      高谷裕浩, 今井 敬次郎, 河 兌坪, 三好隆志
    • 雑誌名

      2003年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集 室蘭

      ページ: 3-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Fundamental Analysis on the Novel 3-D Probing Technique for Microparts Using the Optical Fiber Trapping2003

    • 著者名/発表者名
      Takaki Hashimoto, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Ryusuke Nakajima
    • 雑誌名

      Proceedings of the 18th American Society for Precision Engineering Annual Meeting Portland

      ページ: 83-86

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 光ファイバを用いたナノCMMプローブの研究 -トラップカのFDTDシミユレーションー2003

    • 著者名/発表者名
      橋本隆希, 高谷裕浩, 三好隆志, 中島隆介
    • 雑誌名

      2003年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 大阪

      ページ: 71-72

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [産業財産権] 研磨スラリー2005

    • 発明者名
      三好隆志他4名
    • 権利者名
      大阪大学他1企業
    • 産業財産権番号
      2005-263163
    • 出願年月日
      2005-08-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17656052
  • [産業財産権] 被加工物の目的材料除去を行う加工方法及び加工装置2004

    • 発明者名
      高谷 裕浩, 三好 隆志, 木村 景一
    • 産業財産権番号
      2004-088359
    • 出願年月日
      2004-03-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [産業財産権] 被加工物の目的材料除去を行う加工方法および加工装置2004

    • 発明者名
      高谷 裕浩, 三好 隆志, 木村 景一
    • 産業財産権番号
      2004-088359
    • 出願年月日
      2004-03-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • 1.  高谷 裕浩 (70243178)
    共同の研究課題数: 17件
    共同の研究成果数: 59件
  • 2.  高橋 哲 (30283724)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  斎藤 勝政 (40001169)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  三好 隆志 (30001796)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  林 照剛 (00334011)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 21件
  • 6.  金井 理 (90194878)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  楢原 弘之 (80208082)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  島田 尚一 (20029317)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  幸田 盛堂
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  河 兌坪
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  稲崎 一郎 (30051650)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  青山 藤詞郎 (70129302)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  三井 公之 (90219668)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  竹内 芳美 (50107546)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  柴田 順二 (30052822)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  青山 英樹 (40149894)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  岩田 一明 (30031066)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  平井 慎一 (90212167)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  小野里 雅彦 (80177279)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  白井 良明 (50206273)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  花崎 伸作 (50029097)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  下河辺 明 (40016796)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  高増 潔 (70154896)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 24.  高田 孝次 (80126474)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 25.  清野 慧 (40005468)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 26.  大園 成夫 (10010878)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  柴田 隆行 (10235575)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 28.  坂井 誠
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 29.  佐々木 哲夫
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 30.  沢部 雅二
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 31.  沢田 祐造
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 32.  大杉 幸久
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 33.  村上 光平
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 34.  松宮 貞行
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 35.  木村 景一
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 36.  田中 守
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 37.  鈴木 恵友
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 38.  沢辺 雅二
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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