峠睦 TOUGE Mutsumi

研究者番号	00107731
その他のID
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2013年度 – 2016年度: 熊本大学, 先進マグネシウム国際研究センター, 教授 2012年度 – 2015年度: 熊本大学, 学内共同利用施設等, 教授 2013年度: 熊本大学, 大学院自然科学研究科, 教授 2011年度: 熊本大学, 先進マグネシウム国際研究センター, 教授 2006年度 – 2008年度: 熊本大学, 大学院・自然科学研究科, 教授 … もっと見る 2005年度 – 2006年度: 熊本大学, 大学院自然科学研究科, 教授 2004年度: 熊本大学, 工学部, 助教授 2002年度 – 2004年度: 熊本大学, 大学院・自然科学研究科, 助教授 1998年度 – 2000年度: 熊本大学, 工学部, 助教授 1999年度: 熊本大学, 工学部・知能生産システム工学科, 助教授隠す
審査区分/研究分野	研究代表者生産工学・加工学 / 機械工作・生産工学研究代表者以外生産工学・加工学 / 機械工作・生産工学 / 材料加工・処理 / 電子・電気材料工学 / 整形外科学
キーワード	研究代表者ダイヤモンド基板 / 超精密研磨 / ダイヤモンドウェハ / 砥粒加工 / ポリシング / ラッピング / 水晶振動子 / Lithium niobate / Barium titanate substrate / Polishing … もっと見る / Lapping / Abrasive processing / Ultra thinning technology / Quartz substrate / Multifunctional device substrate / シリコンウェハ / ニオブ酸リチウム / チタン酸バリウム / 超薄型化加工 / 水晶基板 / 多機能デバイス基板 / 研削砥石 / 切削工具 / 研磨機構（メカニズム） / 刃先鋭利化 / 鏡面研磨 / 精密研削 / 工具刃先鋭利化 / 超硬 / ダイヤモンド砥石 / PCD / ダイヤモンド製切削工具 / 紫外光励起研磨 / 高能率研削加工 / 鏡面研削 / 作用砥粒数 / 精密ツルーイング / 鋭利化 / PCD製切削工具 / ダイシングブレード / ダイヤモンド / 原子スケール平坦化 / 鏡面加工 / 紫外線照射 / 紫外光支援加工 / 紫外光支援研磨 / 多結晶ダイヤモンド / 仕上げ面粗さの改善 / 切削抵抗低減効果 / 工具切れ刃の鋭利化 / 研磨メカニズム / 超平滑化加工 / 仕上げ面粗さ / 転位 / 紫外光励起 / 紫外線照射研磨 / ベーパーチャンバー / 薄刃砥石 / 微細溝加工 / 親水性(ぬれ性) / ヒートパイプ / CPU冷却 / 超硬メタルソー / ダイシングマシン / 新型熱拡散デバイス / ダイサー / 親水性 / 毛細管力 / メタルソー / 反り / 精密加工 / 薄型ヒートシンク / 放熱板 / マイクロ溝 / 導電性 / 超音波 / ディップ法 / 傷付け処理 / 基板前処理 / ダイヤモンド核生成密度 / ラマン分光 / 精密研磨技術 / 核生成密度 / シリコン基板 / 前処理技術 / プラズマCVD / 細線化 / CVDダイヤモンド膜 / 削除率 / 砥粒径 / シリカ / 水晶 / 発振周波数 / 薄型化加工 … もっと見る研究代表者以外 3-D High Precision Work / Laser Processing / Injection Molding / High Functional Plastics / Ceramics Mold / セラミックス金型 / 高精度3次元加工 / レーザー加工 / 射出成形 / 高機能樹脂 / セラミック金型 / Surface roughness / X-ray photo spectroscopy / Diamond single crystal / Silicon carbide single crystal / GaAs semiconductor / Quartz plate / TiO_2 photocatalyst / Polishing machine with UV rays / FT-IR分析 / 分子動力学シミュレーション / 研磨加工 / 酸化膜 / SiC単結晶 / 紫外光線 / TiO_2固体光触媒 / 表面粗さ / XPS分析 / ダイヤモンド単結晶 / SiC単結晶基板 / GaAs基板 / 石英基板 / TiO2光触媒 / 紫外光照射研磨装置 / LARGE DIAMETER WAFER / THIN-SURFACE-GRINDING / COPPER METAL LINE / FINITE ELEMENT METHOD / CHEMICAL MECHANICAL POLISHING / PLANARIZATION POLISHING / VERY LARGE SCALE INTEGRATED SURFACE / SEMICONDUCTOR SUBSTRATE / 研削 / 研磨パッド / シート砥石 / 加工ひずみエネルギー / SG砥石 / 大口径ウエハ / 極表層研削 / Cu配線膜 / 有限要素法解析 / CMP / 平坦化研磨 / 超LSI / 半導体基板 / ダイヤモンド / パワーデバイス / 省エネルギー / トライボロジー / 整形外科 / 砥粒加工 / 精密加工 / ラッピング / 研磨 / 生体反応 / 摩耗 / 合金 / 人工関節 / ポリエチレン / テクスチャリング隠す

紫外光励起研磨によるダイヤモンドウェハおよび工具の高度化技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  峠睦
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  熊本大学
低欠陥ダイヤモンドウェハ
- 研究代表者
  
  鹿田真一
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  関西学院大学
   国立研究開発法人産業技術総合研究所
省エネパワーデバイス用ダイヤモンドウェハ実現のための紫外光支援加工技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  峠睦
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  熊本大学
人工関節に適した金属の研磨技術の開発
- 研究代表者
  
  中西義孝
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  整形外科学
- 研究機関
  熊本大学
高性能超微細放熱フィンの精密加工技術の開発とフィンの応用展開研究代表者
- 研究代表者
  
  峠睦
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  熊本大学
ハイブリッド金型による高機能高付加価値成形品の開発
- 研究代表者
  
  坂本英俊
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  熊本大学
導電性CVDダイヤモンド薄膜の微細線化技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  峠睦
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  熊本大学
ナノグレード素子基板の理想表面形成技術の研究
- 研究代表者
  
  渡邉純二 (渡辺純二)
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  熊本大学
多機能デバイス基板の超薄型化加工技術の研究開発研究代表者
- 研究代表者
  
  峠睦
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  熊本大学
片面ラッピングによる次世代超薄型水晶振動子の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  峠睦
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  熊本大学
大口径半導体基板の超精密平坦化加工(CMP)技術
- 研究代表者
  
  渡邉純二
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  熊本大学

[図書] NEW DIAMOND,ダイヤモンド基板およびその関連材料のUVアシスト研磨2013
- 著者名/発表者名
  峠睦
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] 石英ツルーイングした小径軸付CBN砥石の研削性能2017
- 著者名/発表者名
  宮本竜成，峠　直樹，坂本武司，久保田章亀，峠　　睦
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 61
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[雑誌論文] 紫外線照射研磨によるPCD製切削工具の高度化と切削性能2017
- 著者名/発表者名
  和泉康夫，後藤健太，坂本武司，久保田章亀，峠　　睦
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 61 ページ: 210-215
- NAID
  130005679549
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[雑誌論文] UVツルーイングした電着ダイヤモンド砥石の研削性能の向上2017
- 著者名/発表者名
  柴元翔太郎，坂本武司，久保田章亀，峠　　睦
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 61 ページ: 204-209
- NAID
  130005679550
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[雑誌論文] SiC半導体基板用PCDダイシングブレードの開発2016
- 著者名/発表者名
  和泉康夫，藤田隆，南　久，渡邉純二，峠　　睦
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 60 ページ: 597-602
- NAID
  130005679509
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[雑誌論文] Abrasive-Free Polishing of Single-Crystal 4H-SiC with Silica Glass Plates2015
- 著者名/発表者名
  Akihisa Kubota, Yuta Hatasako, Takahiro Takita and Mutsumi Touge
- 雑誌名
  
  ECS Journal of Solid State Science and Technology
  
  巻: 4 ページ: 468-475
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[雑誌論文] Two-step polishing technique for single crystal diamond (100) substrate utilizing a chemical reaction with iron plate2015
- 著者名/発表者名
  A.Kubota, S. Nagae, S. Motoyama and M. Touge
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials
  
  巻: 60 ページ: 75-80
- DOI
  10.1016/j.diamond.2015.10.026
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036
[雑誌論文] Two-step polishing technique for single crystal diamond (100) substrate utilizing a chemical reaction with iron plate2015
- 著者名/発表者名
  Akihisa Kubota, Shin Nagae, Shuya Motoyama and Mutsumi Touge
- 雑誌名
  
  Diamond & Related Materials
  
  巻: 60 ページ: 75-80
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[雑誌論文] 4インチSiC基板のUVアシスト研磨に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  坂本武司，稲木　匠，小田和明，峠　　睦，藤田　隆
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 58 ページ: 235-240
- NAID
  130004835707
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] 紫外光励起による単結晶ダイヤモンドの研磨メカニズムに関する研究2014
- 著者名/発表者名
  峠睦, 長野拓義, 田川智彦, 坂本武司, 横井裕之, 岩本知広, 渡邉純二
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 80巻,1号ページ: 112-116
- NAID
  130003385047
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] デバイス用ダイヤモンドウェハのUVアシスト研磨に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  田川智彦，峠　　睦，坂本武司，鹿田真一，山田英明，加藤有香子
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 80 ページ: 587-591
- NAID
  130004745482
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[雑誌論文] 4インチSiC基板のUVアシスト研磨に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  坂本武司，稲木　匠，小田和明，峠　　睦，藤田　隆
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 58 ページ: 235-240
- NAID
  130004835707
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[雑誌論文] デバイス用ダイヤモンドウェハのUVアシスト研磨に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  田川智彦，峠　　睦，坂本武司，鹿田真一，山田英明，加藤有香子
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 80
- NAID
  130004745482
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] 4インチSiC基板のUVアシスト研磨に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  坂本武司, 稲木匠, 小田和明, 峠睦, 藤田隆
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 58巻,4号ページ: 235-240
- NAID
  130004835707
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] 紫外光励起による単結晶ダイヤモンドの研磨メカニズムに関する研究2014
- 著者名/発表者名
  峠　睦，長野拓義，田川智彦，坂本武司，横井裕之，岩本知広，渡邉純二
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 80 ページ: 112-116
- NAID
  130003385047
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036
[雑誌論文] 紫外光励起による単結晶ダイヤモンドの研磨メカニズムに関する研究2014
- 著者名/発表者名
  峠　　睦，長野拓義，田川智彦，坂本武司，横井裕之，岩本知広，渡邉純二
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 80 ページ: 112-116
- NAID
  130003385047
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] デバイス用ダイヤモンドウェハのUVアシスト研磨に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  田川智彦, 峠睦, 坂本武司, 鹿田真一, 山田英明, 加藤有香子
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 80巻,6号(印刷中)
- NAID
  130004745482
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] デバイス用ダイヤモンドウェハのUVアシスト研磨に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  田川智彦，峠　睦，坂本武司，鹿田真一，山田英明，加藤有香子
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 80 ページ: 587-591
- NAID
  130004745482
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036
[雑誌論文] Ultraviolet-Irradiated Precision Polishing of Diamond and Its Related Materials2013
- 著者名/発表者名
  Junji Watanabe, Mutsumi Touge, Takeshi Sakamoto
- 雑誌名
  
  Diamond & Related Materials
  
  巻: Vol.39 ページ: 14-19
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] Effect of an Ultraflat Subsurface on the Epitaxial Growth of Chemical-Vapor-Deposited Diamond2013
- 著者名/発表者名
  Y. Kato, H. Umezawa, S. Shikata, M. Touge
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Express
  
  巻: Vol.6 ページ: 225506-225506
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] UVアシスト研磨によるCVDダイヤモンド膜付超硬工具切れ刃の鋭利化と切削性能評価2013
- 著者名/発表者名
  石丸大祐, 坂本武司, 神崎成広, 峠睦
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 79巻,12号ページ: 1235-1239
- NAID
  130003384964
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] 2インチSiC基板の紫外光支援研磨に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  坂本武司, 久保田章亀, 峠睦
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 57巻,8号ページ: 524-529
- NAID
  10031189082
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] Ultraviolet-Irradiated Precision Polishing of Diamond and Its Related Materials2013
- 著者名/発表者名
  Junji Watanabe, Mutsumi Touge, Takeshi Sakamoto
- 雑誌名
  
  Diamond & Related Materials
  
  巻: 39 ページ: 14-19
- DOI
  10.1016/j.diamond.2013.07.001
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036
[雑誌論文] UVアシスト研磨によるCVDダイヤモンド膜付超硬工具切れ刃の鋭利化と切削性能評価2013
- 著者名/発表者名
  石丸大祐，坂本武司，神﨑成広，峠　　睦
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 79 ページ: 1235-1239
- NAID
  130003384964
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] ダイヤモンド砥粒整列ブロックのUVツルーイング技術の開発2013
- 著者名/発表者名
  坂本武司, 南部陽亮, 齋藤廉平, 峠睦, 川下智幸, 峠直樹
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 57巻,9号ページ: 600-604
- NAID
  10031194042
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] ダイヤモンド砥粒整列ブロックのUVツルーイング技術の開発2013
- 著者名/発表者名
  坂本武司，南部陽亮，齋藤廉平，峠　　睦，川下智幸，峠　直樹
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 57 ページ: 600-604
- NAID
  10031194042
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] ダイヤモンド砥粒整列ブロックのUVツルーイング技術の開発2013
- 著者名/発表者名
  坂本武司，南部陽亮，齋藤廉平，峠　睦，川下智幸，峠　直樹
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 57 ページ: 600-604
- NAID
  10031194042
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036
[雑誌論文] 2インチSiC基板の紫外光支援研磨に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  坂本武司，久保田章亀，峠　　睦
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 57 ページ: 524-529
- NAID
  10031189082
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] Planarization of C-face 4H-SiC substrate using Fe particles and hydrogen peroxide solution2012
- 著者名/発表者名
  A.Kubota, M.Yoshimura, S.Fukuyama, C.Iwamoto, M.Touge
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 36 ページ: 137-140
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] 単結晶SiC基板の紫外光支援研磨における粒子の影響2011
- 著者名/発表者名
  山口桂司, 峠睦, 久保田章亀, 室田忠俊, 渡邉純二, 豊福陽樹, 沢見有輝
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55 ページ: 220-225
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] Fluid Flow Visualization in a Vapor Chamber2009
- 著者名/発表者名
  小糸康志, 財前智章, 井村英昭, 峠睦
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 9th International Heat Pipe Symposium, Malaysia
  
  ページ: 90-95
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560119
[雑誌論文] パターン形状ダイヤモンドCVD膜の形成技術2006
- 著者名/発表者名
  大久保誠史, 財部剛, 竹下温, 峠睦, 渡邉純二
- 雑誌名
  
  平成18年度精密工学会九州支部福岡地方講演会
  
  ページ: 403-404
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656054
[雑誌論文] 高品質パターン形状ダイヤモンドCVD膜の形成技術2006
- 著者名/発表者名
  竹下温, 渡邉純二, 峠睦, 財部剛, 大久保誠史, 清田英夫
- 雑誌名
  
  日本機械学会2006年度年次大会講演論文集 06-1
  
  ページ: 175-176
- NAID
  130004657167
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656054
[雑誌論文] Investigation of Chemical Mechanical Polishing of GaAs Wafer by the Effect of a Photocatalyst2005
- 著者名/発表者名
  S.H.Hong, H.Ishii, M.Touge, J.Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of the Eighth International Symposium on Advances in Abrasive Technology (発表予定)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205026
[雑誌論文] 任意パターン形状のダイヤモンドCVD膜の形成技術2005
- 著者名/発表者名
  大久保誠史, 渡邉純二, 峠睦, 竹下温
- 雑誌名
  
  2005年度精密工学会九州支部鹿児島地方講演会講演論文集
  
  ページ: 107-108
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656054
[雑誌論文] 高品質パターン形状ダイヤモンドCVD膜の形成技術2005
- 著者名/発表者名
  竹下温, 財部剛, 峠睦, 渡邉純二, 大久保誠史
- 雑誌名
  
  2005年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集
  
  ページ: 79-80
- NAID
  130004657167
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656054
[雑誌論文] Investigation of Chemical Mechanical Polishing of GaAs Wafer by the Effect of a Photocatalyst2005
- 著者名/発表者名
  S.H.Hong, H.Ishii, M.Touge, J.Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of the Eighth International Symposium on Advances in Abrasive Technology
  
  ページ: 381-384
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205026
[雑誌論文] 高品質ダイヤモンドCVD膜の精密加工と膜物性の評価2005
- 著者名/発表者名
  竹下温, 峠睦, 渡邉純二, 大久保誠史, 清田英夫
- 雑誌名
  
  第20回熊本県産学官技術交流会講演論文集
  
  ページ: 142-143
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656054
[雑誌論文] Thinning Technology of Patterned Silicon Wafer for Micro Pressure Sensor2005
- 著者名/発表者名
  T.Nagano, M.Touge, J.Watanabe
- 雑誌名
  
  Proceedings of the Eighth International Symposium on Advances in Abrasive Technology (発表予定)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205026
[雑誌論文] エヤー浮上式精密ベルト研削による高精度加工面の形成第2報:アルミナセラミックスの精密ベルト研削2004
- 著者名/発表者名
  豊浦茂, 峠睦, 渡邉純二
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 48巻・4号
  
  ページ: 220-224
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350074
[雑誌論文] エアー浮上式精密ベルト研削による高精度加工面の形成第1報、第2報2004
- 著者名/発表者名
  豊浦茂, 峠睦, 渡邉純二
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 47巻、5号 48巻、4号
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205026
[雑誌論文] Development of Ultra Thin Quartz by Abrasive Machining2004
- 著者名/発表者名
  Mutsumi TOUGE, Junji WATANABE, Yoshifumi OHBUCHI, Hidetoshi SAKAMOTO, Noboru UEDA
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials Vols.257-258
  
  ページ: 123-128
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350074
[雑誌論文] マウス体内埋め込み型マイクロセンサーの関する研究-第1報:マイクロセンサーの設計・製作と基礎特性評価-2004
- 著者名/発表者名
  渡邉純二, 峠睦, 長野智和, 岩田直也
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 459-459
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350074
[雑誌論文] SiC単結晶の固体触媒応用研磨技術の検討2004
- 著者名/発表者名
  渡邉純二, 横峯和幸, 川向尚, 峠睦, 黒田規敬, 江龍修
- 雑誌名
  
  2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 69-70
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205026
[雑誌論文] マイクロ圧力センサー形成ウェハの薄片化技術2004
- 著者名/発表者名
  長野智和, 伊東岳, 峠睦, 渡邉純二
- 雑誌名
  
  2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 469-470
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350074
[雑誌論文] SiC単結晶の光化学反応とその研磨2004
- 著者名/発表者名
  横峯和幸, 渡邉純二, 峠睦
- 雑誌名
  
  2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 67-68
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205026
[雑誌論文] GaAs基板の光触媒研磨技術の検討2004
- 著者名/発表者名
  洪錫亨, 石井秀明, 渡邉純二, 峠睦
- 雑誌名
  
  2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 73-74
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205026
[雑誌論文] シリコン基板の前処理技術とCVDダイヤモンド膜の特性の関係2004
- 著者名/発表者名
  財部剛, 清水正寛, 峠睦, 渡邉純二
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会秋季学術講演会講演論文集
  
  ページ: 633-634
- NAID
  130004655669
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205026
[雑誌論文] 砥粒加工による誘電体基板の薄片化技術2004
- 著者名/発表者名
  峠睦, 藤井修治, 在川功一, 渡邉純二
- 雑誌名
  
  2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 63-64
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350074
[雑誌論文] ダイヤモンド単結晶の光照射研磨の可能性2004
- 著者名/発表者名
  渡邉純二, 横峯和幸, 川向尚, 洪錫享, 峠睦
- 雑誌名
  
  2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 71-72
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205026
[雑誌論文] 光化学反応を応用したGaAsの精密加工技術2004
- 著者名/発表者名
  石井秀明, 渡邉純二, 峠睦, 洪錫亨
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会秋季学術講演会講演論文集
  
  ページ: 659-660
- NAID
  130004655684
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205026
[雑誌論文] Formation of High Quality Surface by Air-floating Precision Belt Grinding -2nd report : Precision Belt Grinding for Alumina Ceramics2004
- 著者名/発表者名
  Shigeru TOYOURA, Mutsumi TOUGE, Junji WATANABE
- 雑誌名
  
  Journal of the Japan Society for Abrasive Technology Vol.48
  
  ページ: 220-224
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350074
[雑誌論文] Development of Ultra Thin Quartz by Abrasive Machining2004
- 著者名/発表者名
  M.Touge, J.Watanabe, Y.Ohbuchi, H.Sakamoto, N.Ueda
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 257-258
  
  ページ: 123-128
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350074
[雑誌論文] Polishing Characteristics of Glass Magnetic Disk Substrates Using Elastic Plates2003
- 著者名/発表者名
  Mutsumi TOUGE, Junji WATANABE
- 雑誌名
  
  Journal of the Japan Society for Precision Engineering Vol.69
  
  ページ: 1469-1473
- NAID
  110001373507
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350074
[雑誌論文] Development of Ultra Thin Quartz by Abrasive Machining2003
- 著者名/発表者名
  M.Touge, J.Watanabe, Y.Ohbuchi, H.Sakamoto, N.Ueda
- 雑誌名
  
  Proceedings of the Sixth International Symposium on Advances in Abrasive Technology
  
  ページ: 123-128
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205026
[雑誌論文] エアー浮上式精密ベルト研削による高精度加工面の形成第1報、第2報2003
- 著者名/発表者名
  豊浦茂, 峠睦, 渡邉純二
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 47巻、5号, 48巻、4号
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205026
[雑誌論文] 弾性定盤を用いたガラス磁気ディスク基板のポリシング特性2003
- 著者名/発表者名
  峠睦, 渡邉純二
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 69巻・10号
  
  ページ: 1469-1473
- NAID
  110001373507
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350074
[雑誌論文] High Removal Rate Polishing of Glass Substrate Using Epoxy Resin Plate2002
- 著者名/発表者名
  M.TOUGE, J.WATANABE, H.SAKAMOTO, H.WAN, T.MURAKAMI
- 雑誌名
  
  Proceeding of 6th International Conference on Progress of Machining Technology (ICPMT'2002)
  
  ページ: 357-362
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205026
[学会発表] Development of Ductile mode grooving with PCD(Poly-Crystalline Diamond) Blade2016
- 著者名/発表者名
  Y. Izumi, M. Touge
- 学会等名
  16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
- 発表場所
  浜松市
- 年月日
  2016-11-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[学会発表] 紫外線照射研磨を用いたPCD製工具の切削性能の改善2016
- 著者名/発表者名
  後藤健太，和泉康夫，坂本武司，久保田章亀，峠睦
- 学会等名
  2016年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  兵庫県立大学
- 年月日
  2016-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[学会発表] Cutting Performance of PCD Tools Improved by Ultraviolet-ray Irradiation Polishing2016
- 著者名/発表者名
  K. Goto, Y. Izumi, T. Sakamoto, A. Kubota, M. Touge
- 学会等名
  International Committee for Abrasive Technology，ISAAT 2016
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- 年月日
  2016-10-02
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[学会発表] UVツルーイングによるダイヤモンド砥石の研削性能の向上と寿命評価2016
- 著者名/発表者名
  柴元翔太郎，坂本武司，久保田章亀，峠睦
- 学会等名
  2016年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  兵庫県立大学
- 年月日
  2016-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[学会発表] 石英ツルーイングしたCBN軸付砥石の研削性能評価とツルーイングメカニズムの解明2016
- 著者名/発表者名
  宮本竜成，峠　直樹，坂本武司，久保田章亀，峠睦
- 学会等名
  2016年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  兵庫県立大学
- 年月日
  2016-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[学会発表] 石英を用いたCBN砥石の精密ツルーイングと研削性能2015
- 著者名/発表者名
  藤林太郎，坂本武司，峠　直樹，峠　　睦
- 学会等名
  2015年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  慶應義塾大学
- 年月日
  2015-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[学会発表] 石英を用いたCBN砥石の精密ツルーイングと研削性能，2015
- 著者名/発表者名
  藤林太郎，坂本武司，峠　直樹，峠　　睦
- 学会等名
  砥粒加工学会
- 発表場所
  慶応義塾大学（神奈川県横浜市）
- 年月日
  2015-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036
[学会発表] 砥粒整列ダイヤモンド砥石のUVツルーイング技術の開発とその加工性能評価2013
- 著者名/発表者名
  南部陽亮，齋藤廉平，坂本武司，峠　睦，峠　直樹，川下智幸
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学（大阪府　吹田市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036
[学会発表] 大口径ダイヤモンドウェハへのUVアシスト研磨技術の開発2013
- 著者名/発表者名
  田川智彦, 峠睦, 久保田章亀, 坂本武司, 鹿田真一(産総研), 山田英明(産総研), 加藤有香子(産総研)
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] UV鋭利化技術により高度化されたダイヤモンド工具による超精密切削2013
- 著者名/発表者名
  神崎成広, 坂本武司, 峠睦
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] Reduction of epitaxial growth dislocations originate from the surface2013
- 著者名/発表者名
  S. Shikata, Y. Kato, H. Umezawa and M.Touge
- 学会等名
  JSAP-MRS Joint Symposium
- 発表場所
  Kyoto,Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036
[学会発表] 大口径ダイヤモンドウェハへのUVアシスト研磨技術の開発2013
- 著者名/発表者名
  田川智彦，峠　睦，久保田章亀，坂本武司，鹿田真一，山田英明，加藤有香子
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学（大阪府　吹田市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036
[学会発表] UVアシスト研磨による大口径SiC基板の高能率加工技術の開発2013
- 著者名/発表者名
  稲木匠, 小田和明, 坂本武司, 峠睦, 久保田章亀
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 砥粒整列ダイヤモンド砥石のUVツルーイング技術の開発とその加工性能評価2013
- 著者名/発表者名
  南部陽亮, 齋藤廉平, 坂本武司, 峠睦, 峠直樹(ノリタケカンパニーリミテド), 川下智幸(佐世保高専)
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 溶媒中での鉄の反応性を利用した単結晶ダイヤモンドの研磨メカニズムに関する研究2013
- 著者名/発表者名
  本山修也，久保田章亀，峠　睦
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学（大阪府　吹田市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036
[学会発表] 摩耗したPCD工具の紫外光支援加工法を用いた再研磨技術2012
- 著者名/発表者名
  石丸大祐, 坂本武司, 久保田章亀, 峠睦
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  首都大学東京南大沢キャンパス
- 年月日
  2012-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 触媒反応援用研磨法による単結晶ダイヤモンド基板表面の超平坦化2012
- 著者名/発表者名
  久保田章亀, 峠睦
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  首都大学東京南大沢キャンパス
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 紫外光支援加工によるPCD製金型の精密加工2012
- 著者名/発表者名
  峠睦, 久保田章亀, 坂本武司
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  首都大学東京南大沢キャンパス
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板の紫外光支援加工に関する研究～研磨条件が削除率に及ぼす影響～2012
- 著者名/発表者名
  長野拓義, 坂本武司, 久保田章亀, 峠睦, 渡邉純二, 横井裕之
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  首都大学東京南大沢キャンパス
- 年月日
  2012-03-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 紫外光支援加工による2インチ単結晶SiCウェハの研磨特性2012
- 著者名/発表者名
  坂本武司, 沢見有輝, 久保田章亀, 峠睦, 渡邉純二, 藤田隆, 金澤雅喜, 五十嵐健二
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  首都大学東京南大沢キャンパス
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] Research on Ultra-Precision Polishing of Diamond and Related Materials by Ultraviolet Rays Assisted Machining2011
- 著者名/発表者名
  M.Touge, K.Yamaguchi, A.Kubota, J.Watanabe
- 学会等名
  Int.Conf.on New Diamond and Nano Carbons 2011 (NDNC2011)
- 発表場所
  島根県立産業交流会館(くにびきメッセ)
- 年月日
  2011-05-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] Smoothing of single crystal diamond (100) substrate by polishing technique2011
- 著者名/発表者名
  A.Kubota, S.Fukuyama, Y.Ichimori, M.Touge
- 学会等名
  Int.Conf.on New Diamond and Nano Carbons 2011 (NDNC2011)
- 発表場所
  島根県立産業交流会館(くにびきメッセ)
- 年月日
  2011-05-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 毛細管構造体の精密加工技術の開発と応用2008
- 著者名/発表者名
  古賀昭信, 峠睦, 小糸康志, 豊福陽樹
- 学会等名
  2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学川内北キャンパス
- 年月日
  2008-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560119
[学会発表] 新型熱輸送デバイス用マイクロ溝の精密加工技術の開発2007
- 著者名/発表者名
  古賀昭信, 峠睦, 渡邉純二, 小糸康志, 久保田豊
- 学会等名
  日本機械学会九州支部沖縄講演会
- 発表場所
  琉球大学工学部
- 年月日
  2007-10-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560119
[学会発表] UV-truing of Diamond Grit-arranged Wheel and Evaluation of its Grinding Performance
- 著者名/発表者名
  M. TOUGE, T. SAKAMOTO, Y. NAMBU, K. TAKAKI, A. KUBOTA and T. KAWASHITA
- 学会等名
  15th Int. Conf. on Precision Engineering
- 発表場所
  Kanazawa Univ.,Kanazawa,Japan
- 年月日
  2014-07-22 – 2014-07-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036
[学会発表] 単結晶ダイヤモンドに対する紫外線照射研磨メカニズムの解明
- 著者名/発表者名
  浦川　翔，峠　睦，久保田章亀，坂本武司，山中康乃介
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取大学、鳥取
- 年月日
  2014-09-16 – 2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036
[学会発表] 超砥粒軸付砥石の UV ツルーイングに関する研究
- 著者名/発表者名
  坂本武司，三角真彦，久保田章亀，峠　　睦
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  岩手大学、盛岡
- 年月日
  2014-09-11 – 2014-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036
[学会発表] 紫外線照射研磨によるダイヤモンドホイール研削性能の高度化
- 著者名/発表者名
  峠　　睦，坂本武司，久保田章亀，川下智幸，峠　直樹
- 学会等名
  砥粒加工学会
- 発表場所
  岩手大学工学部
- 年月日
  2014-09-11 – 2014-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板の紫外線照射研磨条件の最適化
- 著者名/発表者名
  浦川　翔，小田和明，坂本武司，横井裕之，峠　睦
- 学会等名
  精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京大学、東京
- 年月日
  2015-03-17 – 2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036
[学会発表] 超砥粒軸付砥石の UV ツルーイングに関する研究
- 著者名/発表者名
  坂本武司，三角真彦，久保田章亀，峠　　睦
- 学会等名
  砥粒加工学会
- 発表場所
  岩手大学工学部
- 年月日
  2014-09-11 – 2014-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[学会発表] 紫外線照射研磨によるダイヤモンドホイール研削性能の高度化
- 著者名/発表者名
  峠　　睦，坂本武司，久保田章亀，川下智幸，峠　直樹
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  岩手大学、盛岡
- 年月日
  2014-09-11 – 2014-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249036

1. 渡邊純二 (40281076)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 28件
2. 坂本英俊 (10153917)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 2件
3. 大渕慶史 (10176993)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 3件
4. 上田昇 (10040437)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 2件
5. 久保田章亀 (80404325)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 24件
6. 中西義孝 (90304740)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
7. 三浦裕正 (10239189)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 岸本淳司 (00317322)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 鹿田真一 (00415689)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
10. 茶谷原昭義 (10357501)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 杢野由明 (60358166)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 梅沢仁 (80329135)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
13. 加藤有香子 (90509837)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
14. 岩本知広 (60311635)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 稲村豊四郎 (60107539)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 松本泰道 (80114172)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 黒田規敬 (40005963)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
18. 島田尚一 (20029317)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
19. 江龍修 (10223679)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
20. 高橋孝誠 (50426566)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
21. 横井裕之 (50358305)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

峠 睦 TOUGE Mutsumi

研究課題

研究成果

共同研究者

紫外光励起研磨によるダイヤモンドウェハおよび工具の高度化技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

低欠陥ダイヤモンドウェハ

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

省エネパワーデバイス用ダイヤモンドウェハ実現のための紫外光支援加工技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

人工関節に適した金属の研磨技術の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高性能超微細放熱フィンの精密加工技術の開発とフィンの応用展開研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ハイブリッド金型による高機能高付加価値成形品の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

導電性CVDダイヤモンド薄膜の微細線化技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノグレード素子基板の理想表面形成技術の研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

多機能デバイス基板の超薄型化加工技術の研究開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

片面ラッピングによる次世代超薄型水晶振動子の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

大口径半導体基板の超精密平坦化加工(CMP)技術

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] NEW DIAMOND,ダイヤモンド基板およびその関連材料のUVアシスト研磨2013

著者名/発表者名

データソース

[雑誌論文] 石英ツルーイングした小径軸付CBN砥石の研削性能2017

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] 紫外線照射研磨によるPCD製切削工具の高度化と切削性能2017

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峠睦 TOUGE Mutsumi