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池畑 隆  IKEHATA Takashi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 00159641
その他のID
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2018年度 – 2019年度: 茨城大学, 理工学研究科(工学野), 教授
2010年度 – 2017年度: 茨城大学, 理工学研究科, 教授
2005年度 – 2008年度: 茨城大学, 理工学研究科, 教授
2004年度: 茨城大学, 大学院・理工学研究科, 教授
1998年度 – 1999年度: 茨城大学, 工学部, 教授 … もっと見る
1993年度 – 1995年度: 茨城大学, 工学部, 助教授
1988年度 – 1990年度: 茨城大学, 工学部, 助教授
1985年度 – 1988年度: 茨城大学, 工学部, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
プラズマ科学 / プラズマ理工学 / エネルギー学一般・原子力学 / 物理計測・光学
研究代表者以外
プラズマ理工学 / 電子・電気材料工学 / 電子材料工学 / 材料加工・処理 / 計測工学
キーワード
研究代表者
結晶構造 / マグネシウムシリサイド / 熱電半導体 / スパッタリング / トリフルオロヨードメタン / 有機エレクトロニクス / イオン / 負性ガス / 真空除電 / イオンの発生と輸送 … もっと見る / 有機材料 / 質量分析 / イオン輸送 / CF3I / イオナイザ / コロナ放電 / 静電気除電 / J*B LORENTZ FORCE / PLASMA PRODUCTION / PLASMA MACRO INSTABILITY / PLASMA ACCELERATION / PLASMA CENTRIFUGE / ISOTOPE SEPARATION / ROTATING PLASMA / プラズマの巨視的不安定性 / 電磁力 / J×Bローレンツカ / プラズマ生成 / プラズマ巨視不安定性 / プラズマ加速 / プラズマ遠心分離 / 同位体分離 / 回転プラズマ / ラマンスペクトル / 近赤外分光透過率 / 希ガス雰囲気中アニール処理 / 水素還元 / 高周波プラズマ / 熱処理 / 固相合成 / 薄膜 / 磁場閉じ込め / 金属イオン / パルスパワー / グロー放電 / 薄膜形成 / プラズマ / 薄膜合成 / 大電力パルス放電 / 金属イオン源 / 金属プラズマ源 / 放電 … もっと見る
研究代表者以外
プラズマの有効長 / プラズマの時定数 / マイクロ波放電 / エチレンの分解 / ECRプラズマ / 複合プラズマ / LD-TOFMS / ホローカソード / パルスプロセス / 単結晶・基板 / 赤外センサ / 熱拡散 / OCVD法 / 分光感度 / ライフタイム / Mg2Si / pn接合 / フォトダイオード / マグネシウムシリサイド / 赤外線センサ / Ion beam deposition / Ion beam source / Multi-component ion beam / 多成分イオンビームの / プラズマ源 / パラメータ制御 / イオンビーム蒸着 / 半導体薄膜 / イオン源 / 多成分イオンビーム / zinc vaporization / oxygen plasma / orientation control / momentum control / stoichiometry control / ponderomotive force / transparent conductive film / plasma processing / 亜鉛蒸発 / 透明導電膜 / 低気圧PVD / 酸素プラズマ / 配向性制御 / 運動量制御 / 組成比制御 / 動重力(時間平均マックスウェル応力) / ECR低温プラズマ / 酸化物材料プラズマ合成 / fragmentation / durable fullerene films / ion energy control / ion plating / fullerene ion / magnetized fullerenes / fullerenes / レーザー脱離イオン化TOFMS / 電極バイアス実験 / 捕集電極バイアス実験 / フラーレン・アルゴン混合磁化プラズマ / フラグメンテーション / フラーレン膜の堅牢化 / イオンエネルギー制御 / イオンプレーティング / フラーレンイオン / フラーレン-アルゴン混合磁化プラズマ / フラーレン / 積層プラズマ / 到来方向推定 / アンテナ / 位置推定 / 異常放電 / プラズマチャンバー / 計測システム / 干渉縞 / 相対論的電子ビーム / レーザー / 沿面放電 / 自由電子レーザー / 放射光 / アンジュレーター / プラズマ / ホロ-カソ-ド 隠す
  • 研究課題

    (16件)
  • 研究成果

    (118件)
  • 共同研究者

    (19人)
  •  資源・環境リスクに対応するマグネシウムシリサイド赤外センサの開発

    • 研究代表者
      鵜殿 治彦
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  大気圧N2-CF3Iガス放電における負イオン挙動の解明と有機材料用除電器への応用研究代表者

    • 研究代表者
      池畑 隆
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  プラズマアシストによる熱電半導体Mg2Si薄膜合成の低温化研究代表者

    • 研究代表者
      池畑 隆
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2015
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  大電力パルススパッタ放電の特性解明と成膜用金属イオン源への展開研究代表者

    • 研究代表者
      池畑 隆
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2012
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  プラズマチャンバー内における異常放電発生のリアルタイムモニタリング技術の研究

    • 研究代表者
      尾保手 茂樹
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2008
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発

    • 研究代表者
      佐藤 直幸
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      茨城大学
  •  制御されたフラーレンプラズマによるフラーレン膜の堅牢化

    • 研究代表者
      真瀬 寛
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  短波長・高輝度放射光用プラズママイクロアンジュレーターの原理検証実験

    • 研究代表者
      真瀬 寛
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  J×B駆動回転プラズマを用いた同位体遠心分離法の開発研究研究代表者

    • 研究代表者
      池畑 隆
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1995
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      エネルギー学一般・原子力学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  複合プラズマの生成と反応の制御

    • 研究代表者
      板谷 良平
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      京都大学
  •  複合プラズマの生成と反応の制御

    • 研究代表者
      板谷 良平
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      京都大学
  •  複合プラズマの生成と反応の制御

    • 研究代表者
      板谷 良平
    • 研究期間 (年度)
      1988
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      京都大学
  •  強い遠心力場でのプラズマ粒子輸送と同位体分離への応用研究代表者

    • 研究代表者
      池畑 隆
    • 研究期間 (年度)
      1988
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  多成分イオンビームの生成とその化合物半導体薄膜形成への応用

    • 研究代表者
      真瀬 寛
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1988
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  磁気ミラーにおける軸方向および径方向電位分布の同時形成と制御研究代表者

    • 研究代表者
      池畑 隆
    • 研究期間 (年度)
      1986
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  電子ビーム・キャピラリー放電を用いた高輝度軟X線源の開発研究代表者

    • 研究代表者
      池畑 隆
    • 研究期間 (年度)
      1985
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      物理計測・光学
    • 研究機関
      茨城大学

すべて 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2008 2007 2006 2005 2004 1993 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 産業財産権

  • [雑誌論文] 真空中におけるプラズマによる除電 -真空デバイスプロセスへの適用に向けて-2019

    • 著者名/発表者名
      池畑隆
    • 雑誌名

      静電気学会誌

      巻: 43 ページ: 67-72

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [雑誌論文] A simulation on neutralization performance of a corona discharge air ionizer by using an equivalent circuit2019

    • 著者名/発表者名
      M. Okano, T. Ikehata, S. Suzuki, T. Terashige
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering

      巻: 14 号: 12 ページ: 1732-1738

    • DOI

      10.1002/tee.22998

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [雑誌論文] Static Elimination in Vacuum by Plasma Jet2019

    • 著者名/発表者名
      T. Ikehata
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: 166 ページ: 184-190

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [雑誌論文] Effects of Operating Frequency on Electric Field and Neutralizing Current Density of a Corona Discharge Air Ionizer2019

    • 著者名/発表者名
      M. Okano, T. Ikehata, T. Terashige
    • 雑誌名

      International Journal of Plasma Environmental Science & Technology

      巻: 12 ページ: 120-124

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [雑誌論文] An Equivalent Circuit Simulation of an AC Corona Discharge Air Ionizer - Frequency Dependence of Neutralization Performance -2019

    • 著者名/発表者名
      M. Okano, T. Ikehata, T. Terashige
    • 雑誌名

      International Journal of Plasma Environmental Science & Technology

      巻: 13 ページ: 14-20

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [雑誌論文] Static elimination in vacuum using plasma jet2019

    • 著者名/発表者名
      Ikehata Takashi
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: 166 ページ: 184-190

    • DOI

      10.1016/j.vacuum.2019.04.008

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [雑誌論文] Static elimination in vacuum2017

    • 著者名/発表者名
      T. Ikehata, D. Nemoto, W. He, T. Matsuo, N.Y. Sato, K. Okano
    • 雑誌名

      IEEE Transaction on Inductry Applications

      巻: 53 号: 4 ページ: 3989-3994

    • DOI

      10.1109/tia.2017.2691313

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [雑誌論文] Static elimination performance of a corona ionizer in nitrogen-based electronegative gases2016

    • 著者名/発表者名
      D. Nemoto, W. Hw, T. Matsuo, N.Y. Sato, T. Ikehata, K. Okano
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Industry Applications

      巻: 52 号: 5 ページ: 4345-4350

    • DOI

      10.1109/tia.2016.2582120

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [雑誌論文] Solid-phase growth of Mg2Si by annealing in inert gas atmosphere2013

    • 著者名/発表者名
      T. Ikehata, T. Ando, T. Yamamoto, Y. Takagi, N. Sato, and H. Udono
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi C

      巻: 10 号: 12 ページ: 1708-1711

    • DOI

      10.1002/pssc.201300358

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289081, KAKENHI-PROJECT-25400530
  • [雑誌論文] Dual-plasma ion process for surface treatment of insulators2011

    • 著者名/発表者名
      A. Kantani, H. Sato, Y. Nonaka, N.Y. Sato, T. Ikehata
    • 雑誌名

      Surf. Coat. Technol

      巻: 206 号: 5 ページ: 929-933

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2011.04.041

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [雑誌論文] Positive-plasma-bias method for plasma-based ion implantation and deposition2010

    • 著者名/発表者名
      T.Ikehata, R. Sasaki, T. Tanaka, K. Yukimura
    • 雑誌名

      Surf. Coat. Technol

      巻: 204 号: 18-19 ページ: 2881-2891

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2010.03.004

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [雑誌論文] 質量選択的運動量制御に向けた亜鉛・酸素混合プラズマ中の透明導電膜合成2008

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸・小松良寛・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ研究会資料 PST-08-13

      ページ: 33-38

    • NAID

      10025666551

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 質量選択的運動量制御に向けたECR各種混合プラズマ中の動重力効果の観察2008

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸・薮内祐二・菅谷聡一・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 雑誌名

      第25回「プラズマプロセシング研究会」SPP-25プロシーディングス P1-27

      ページ: 161-162

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The investigation of the ponderomotive force effect in ECR gas mixture plasma for mass-selective momentum control2008

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Yuji Yabuuchi, Souichi Sugaya, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi and Jin Oonuki
    • 雑誌名

      The 25th Symposium on Plasma Processing P1-27

      ページ: 161-162

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The synthesis of transparent conductive film in the zinc-oxygen mixture plasma for mass-selective momentum control2008

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Yoshihiro Komatsu, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, and Jin Oonuki
    • 雑誌名

      The Papers of Joint Technical Meeting on Plasma Science and Technology and Pulsed Power Technology, IEE Japan PST-08-13

      ページ: 33-38

    • NAID

      10025666551

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The investigation of the ponderomotive force's enhancement accompanying with the extraction of lower energy lectrons from ECR oxygen plasma for mass-selective momentum control2007

    • 著者名/発表者名
      Yuji yabuuchi, Souichi Sugaya, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, and Jin Oonuki
    • 雑誌名

      The Papers of Technical Meeting on Plasma Science and Technology, IEE Japan PST-07-29

      ページ: 29-34

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 質量選択的運動量制御に向けたECR酸素プラズマの低温部引き出しと動重力増強の観察2007

    • 著者名/発表者名
      藪内祐二・菅谷聡一・佐藤直幸・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ研究会資料 PST-07-29

      ページ: 29-34

    • NAID

      10019514039

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux measurement of ions incident upon the substrate in ECR oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki, Sato・Kousuki, Kinoshita・Takashi, Ikehata・Satoshi, Yamauchi・Jin, Oonuki
    • 雑誌名

      8th Asia-Paeific Conference on Plasma Science and Teehnelogy and 19th Symposium on Plasma Science for Materials, Cairns in Australia http://wwwrsphysse.anu.edu.au/~mdl112/apcpst/Abst

      ページ: 257-257

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Smooth Surface Dry Etching of Diamond by Very High Frequency Inductively Coupled Plasma2006

    • 著者名/発表者名
      Hiromichi, Yoshikawa・Shinichi, Shikata・Naoji, Fujimori・Naoyuki, Sato・Takashi, Ikehata
    • 雑誌名

      New Diamond and Frontier Carbon Technology Vol.16,No.2

      ページ: 97-106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux control of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006

    • 著者名/発表者名
      N.Y, Sato・K, Kinoshita・Y, Nakano・T, Ikehata・S, Yamauchi・J, Oonuki
    • 雑誌名

      Proceeding of the 6^<th> International Conference on Reactive Plasmas and 23^<rd> Symposium on Plasma Processing AP061201・P-1A-06

      ページ: 171-172

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux control of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Sato, K.Kinoshita, Y.Nakano, T.Ikehata, S.Yamauchi, J.Oonuki
    • 雑誌名

      Proceeding of the 6th International Conference on Reactive plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing APO61201・P-1A-06

      ページ: 171-172

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 質量選択的運動量制御による複合化合物材料のプラズマ合成に向けた低気圧低温プラズマの生成2006

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸, 木下廣介, 池畑 隆, 山内 智, 大貫 仁
    • 雑誌名

      第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 1・29(P-C-8)

      ページ: 185-185

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux measurement of ions incident upon on the substrate in ECR oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Kousuke Kinoshita, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi,and Jin Oonuki
    • 雑誌名

      8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 19th Symposium on Plasma Science for Materials, Cairnsin Australia http://wwwrshsse.anu.edu.au/~mdl112/apcpst/AbstractBook.pdf

      ページ: 257-257

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux measurement of ion incident upon on the substrate in ECR oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Kousuke Kinoshita, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, Jin Oonuki
    • 雑誌名

      8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 19th Symposium on Plasma Science for Materials, Cairns in Australia (AbstractBook.pdf)

      ページ: 257-257

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux suppression of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      N. Y. Sato, K. Kinoshita, Y. Nakano, T. Ikehata, S. Yamauchi and J. Oonuki
    • 雑誌名

      THE 18th SYMPOSIUM ON PLASMA SCIENCE FOR MATERIALS ISSN 1342-7210

      ページ: 54-54

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 質量選択的運動量制御による酸化物薄膜の合成に向けた磁場中酸素プラズマの電圧-電流特性2005

    • 著者名/発表者名
      中野恭嗣, 佐藤直幸, 池畑 隆, 山内 智, 大貫 仁
    • 雑誌名

      第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集 No.2・29a-E-1

      ページ: 1027-1027

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Production of zinc-oxide mixture plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki, Sato・Satoshi, Yamauchi・Takashi, Ikehata・Yasushi, Nakano・Jin, Oonuki
    • 雑誌名

      プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-071

      ページ: 615-616

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Characteristics of the magnetized rf oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Yasushi Nakano, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, Jin Oonuki
    • 雑誌名

      プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-072

      ページ: 617-618

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Production of zinc-oxide mixture plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Satoshi Yamauchi, Takashi Ikehata, Yasushi Nakano, Jin Oonuki
    • 雑誌名

      プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-071

      ページ: 615-616

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Measurement of Oxygen Plasma for Diamond Etching Process2005

    • 著者名/発表者名
      H. Yoshikawa, Y. Nakano, K. Masumura, N. Sato, T. Ikehata
    • 雑誌名

      Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing 2-055

      ページ: 327-328

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux measurement of ions incident upon the substrate in zinc oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      K.Kinoshita, N.Y.Sato, Y.Nakano, T.Ikehata, S.Yamauchi, J.Oonuki
    • 雑誌名

      第18回プラズマ材料科学シンポジウム ISSN1342-7210

      ページ: 55-55

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 質量選択的運動量制御・磁場中酸素プラズマを用いた酸化物薄膜の合成(シンポジウム招待講演30分)2005

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸, 中野恭嗣, 木下廣介, 池畑 隆, 山内 智, 大貫 仁
    • 雑誌名

      第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集 NO.0・8p-N-5

      ページ: 33-33

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 質量選択的運動量制御によるZnO薄膜の合成に向けた磁場中酸素プラズマへの亜鉛蒸気導入2005

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸, 中野恭嗣, 池畑 隆, 山内 智, 大貫 仁
    • 雑誌名

      第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集 No.2・30a-E-6

      ページ: 1092-1092

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Characteristics of the magnetized rf oxygen plasma for ZnO film synthesis besed on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Yasushi Nakano, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi and Jin Oonuki
    • 雑誌名

      Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing P3-072

      ページ: 617-618

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux suppression of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      K. Kinoshita, N. Y. Sato, Y. Nakano, T. Ikehata, S. Yamauchi and J. Oonuki
    • 雑誌名

      THE 18th SYMPOSIUM ON PLASMA SCIENCE FOR MATERIALS ISSN 1342-7210

      ページ: 55-55

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux suppression of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentrm control2005

    • 著者名/発表者名
      N.Y, Sato・K, Kinoshita・Y, Nakano・T, Ikehata・S, Yamauchi・J, Oonuki
    • 雑誌名

      第18回プラズマ材料科学シンポジウム ISSN1342-7210

      ページ: 54-54

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Measurement of Oxygen Plasma for Diamond Etching Process2005

    • 著者名/発表者名
      H, Yoshikawa・Y, Nakano・K, Masumura・N, Sato・T, Ikehata
    • 雑誌名

      プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P2-055

      ページ: 327-328

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Characteristics of the magnetized rf oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentrm control2005

    • 著者名/発表者名
      Yasushi, Nakano・Naoyuki, Sato・Takashi, Ikehata・Satoshi, Yamauchi・Jin Oonuki
    • 雑誌名

      プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-072

      ページ: 617-618

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux suppression of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      N Y.Sato, K.Kinoshita, Y.Nakano, T.Ikehata, S.Yamauchi, J.Oonuki
    • 雑誌名

      第18回プラズマ材料科学シンポジウム ISSN1342-7210

      ページ: 54-54

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Plasma synthesis of zinc-oxide thin film based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Satoshi Yamauchi, Takashi Ikehata, Yasushi Nakano, Jin Oonuki
    • 雑誌名

      プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-070

      ページ: 613-614

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Plasma synthesis of zinc-oxide thin film based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Satoshi Yamauchi, Takashi Ikehata, Yasushi Nakano, and Jin Oonuki
    • 雑誌名

      Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing 3-070

      ページ: 613-614

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Plasma synthesis of zinc-oxide thin film based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Haoyuki, Sato・Satoshi, Yamauchi・Takashi, Ikehata・Yasushi, Nakano・Jin, Oonuki
    • 雑誌名

      プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-070

      ページ: 613-614

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux measurement of ions incident upon the substrate in zinc oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      K, Kinoshita・N.Y, Sato・Y, Nakano・T, Ikehata・S, Yamauchi・J, Oonuki
    • 雑誌名

      第18回プラズマ材料科学シンポジウム ISSN1342-7210

      ページ: 55-55

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Production of zinc-oxide mixture plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Satoshi Yamauchi, Takashi Ikehata, Yasushi Nakano, and Jin Oonuki
    • 雑誌名

      Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing P3-071

      ページ: 615-616

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 動重力効果を利用したイオンの選択的運動量制御によるZnO薄膜合成の実験準備2004

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸・中野恭嗣・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ研究会資料 PST-04-28

      ページ: 91-96

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発2004

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸, 中野恭嗣, 池畑 隆, 山内 智, 大貫 仁
    • 雑誌名

      第65回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 No.1 1a-ZB-8

      ページ: 365-365

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The preliminary experiment of the ZnO thin film synthesis by mass-selective momentum control based on the ponderomotive force on the magnetizedions2004

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Yasushi Nakano, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, Jin Oonuki
    • 雑誌名

      The Papers of Technical Meeting on Plasma Science and Technology, IEE Japan PST-04-28

      ページ: 91-96

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 動重力効果を利用したイオンの選択的運動量制御によるZnO薄膜合成の実験準備2004

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸, 中野恭嗣, 池畑 隆, 山内 智, 大貫 仁
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ研究会資料 PST-04-28

      ページ: 91-96

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 静電気学会誌 17(1)(92)1993

    • 著者名/発表者名
      池畑隆
    • 巻
      43
    • ページ
      -
    • DOI

      10.11501/3215600

    • ISSN
      0386-2550
    • 言語
      日本語
    • オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [産業財産権] 真空除電装置2020

    • 発明者名
      池畑隆、野村信雄、最上智史、峯村和樹
    • 権利者名
      国立大学法人茨城大学、春日電機株式会社
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2020-055558
    • 出願年月日
      2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [産業財産権] 帯電物体の位置決め方法と除電装置2018

    • 発明者名
      池畑隆、野村信雄、峯村和樹、最上智史
    • 権利者名
      茨城大学、春日電機株式会社
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2018-002302
    • 出願年月日
      2018
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [学会発表] 自己放電式プラズマによる真空除電2019

    • 著者名/発表者名
      池畑隆、包睿達、最上智史、峯村和樹、野村信雄
    • 学会等名
      第43回静電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [学会発表] Observation of Magnesium-Induced Crystallization (Mg-MIC) of a-Si Thin Film2019

    • 著者名/発表者名
      T. Ikehata, R. Sasajima, M. Saijo, N. Sato, H. Udono
    • 学会等名
      APAC SILICIDE 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03228
  • [学会発表] 真空中のプラズマ除電に関する研究2018

    • 著者名/発表者名
      包睿達、木島智貴、佐藤直幸、池畑 隆
    • 学会等名
      2018年度静電気学会春季講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [学会発表] 高速バルブを用いたプラズマ放電式除電器の開発2018

    • 著者名/発表者名
      峯村和樹、最上智史、野村信雄、池畑隆
    • 学会等名
      静電気学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [学会発表] スパッタ成膜におけるターゲット損耗リアルタイムモニタリング法の提案2018

    • 著者名/発表者名
      池畑隆、小﨑匡史、岩田浩輔、佐藤直幸
    • 学会等名
      電気学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [学会発表] マグネシウム誘起結晶化(Mg-MIC)による多結晶シリコン薄膜の低温合成 #22018

    • 著者名/発表者名
      南 亮輔,梨岡岳斗,春山敦史,池畑 隆,佐藤直幸,鵜殿治彦
    • 学会等名
      電気学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [学会発表] レーザーイオン化質量分析による環境中微量物質のリアルタイム分析2018

    • 著者名/発表者名
      小崎匡史,池畑 隆,佐藤直幸,岩田浩輔
    • 学会等名
      電気学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [学会発表] 真空中のプラズマ除電のモデル2018

    • 著者名/発表者名
      池畑隆、包睿達、佐藤直幸
    • 学会等名
      静電気学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [学会発表] 真空中のプラズマ除電2017

    • 著者名/発表者名
      包睿達、佐藤直幸、池畑隆
    • 学会等名
      電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [学会発表] 真空中の静電気除去に関する検討2017

    • 著者名/発表者名
      池畑隆、包睿達、佐藤直幸
    • 学会等名
      電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [学会発表] マグネシウム誘起結晶化による多結晶シリコン薄膜の低温合成2017

    • 著者名/発表者名
      南亮輔,笹島良太,鵜殿治彦,佐藤直幸,池畑隆
    • 学会等名
      平成29年度 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03228
  • [学会発表] 減圧されたN2-O2混合ガス中のACイオナイザ静電気除電特性2016

    • 著者名/発表者名
      包 睿達、池畑隆、佐藤直幸
    • 学会等名
      第24回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • 発表場所
      茨城県日立市シビックセンター
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [学会発表] 真空中での除電2016

    • 著者名/発表者名
      松尾武、須藤仁、佐藤直幸、池畑隆
    • 学会等名
      第24回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • 発表場所
      茨城県日立市シビックセンター
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K05628
  • [学会発表] Solid-phase synthesis of Mg2Si thin film on sapphire substrate2016

    • 著者名/発表者名
      Motomu Saijo, Kazuhiro Kunitake, Ryota Sasajima, Yuta Takagi, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conference on Semiconducting Silicides and Related Materials Science and Technology Towards Sustainable Electronics ( APAC Silicide 2016 )
    • 発表場所
      九州大学西新プラザ
    • 年月日
      2016-07-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400530
  • [学会発表] サファイア基板上におけるマグネシウムシリサイド薄膜の固相合成-アニール温度の効果2015

    • 著者名/発表者名
      笹島良太、西城要、國武和広、河原航、池畑隆、佐藤直幸、鵜殿治彦
    • 学会等名
      電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • 発表場所
      茨城県日立市シビックセンター
    • 年月日
      2015-11-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400530
  • [学会発表] 減圧雰囲気におけるイオナイザ除電器の挙動2015

    • 著者名/発表者名
      池畑隆, 根本大輔, 賀婉テイ, 松尾武, 佐藤直幸, 岡野一雄
    • 学会等名
      電気学会A部門大会
    • 発表場所
      金沢大学
    • 年月日
      2015-09-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400530
  • [学会発表] サファイア基板へのマグネシウムシリサイド薄膜固相合成2015

    • 著者名/発表者名
      武和広、高木雄太、張 月、西城 要、石村洋彦、佐藤直幸、池畑 隆、鵜殿治彦
    • 学会等名
      電気学会全国大会
    • 発表場所
      東京都市大学
    • 年月日
      2015-03-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400530
  • [学会発表] サファイア基板上におけるマグネシウムシリサイド薄膜固相合成2015

    • 著者名/発表者名
      國武和広、西城要、笹島良太、河原航、池畑隆、佐藤直幸、鵜殿治彦
    • 学会等名
      電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • 発表場所
      茨城県日立市シビックセンター
    • 年月日
      2015-11-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400530
  • [学会発表] サファイア基板へのマグネシウムシリサイド薄膜固 相合成 - 第二報2015

    • 著者名/発表者名
      西城要,國武和広,笹島良太,河原航, 高木雄太,佐藤直幸,池畑隆,鵜殿治彦
    • 学会等名
      電気学会A部門大会
    • 発表場所
      金沢大学
    • 年月日
      2015-09-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400530
  • [学会発表] サファイア基板上Mg/Si共堆積膜のポストアニールによるMg2Si膜固相合成2014

    • 著者名/発表者名
      高木雄太、張月、國武和広、佐藤直幸、池畑隆、鵜殿治彦
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋期学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400530
  • [学会発表] 固相拡散法による単結晶サファイア基板へのマグネシウムシリサイド(Mg2Si)薄膜合成2014

    • 著者名/発表者名
      國武和広,高木雄太,張月,西城要,石村洋彦,佐藤直幸,池畑隆、鵜殿治彦
    • 学会等名
      第22回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会(優秀発表賞受賞)
    • 発表場所
      日立市シビックセンター
    • 年月日
      2014-11-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400530
  • [学会発表] 固相拡散法による単結晶Si基板へのマグネシウムシリサイド(Mg2Si)薄膜合成2014

    • 著者名/発表者名
      張月,高木雄太,國武和広,西城要, 石村洋彦,佐藤直幸,池畑隆、鵜殿治彦
    • 学会等名
      第22回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • 発表場所
      日立市シビックセンター
    • 年月日
      2014-11-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400530
  • [学会発表] Ar雰囲気中アニールによるMg2Si膜固相合成におけるマグネシウム蒸発の観察2014

    • 著者名/発表者名
      高木雄太、山本拓哉、張月、佐藤直幸、池畑 隆、鵜殿治彦
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      青山学院大相模原キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400530
  • [学会発表] 大電力パルス駆動ペニングスパッタ装置における高密度プラズマの生 成に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      菊地貴允、佐藤直幸、東 欣吾、(池畑 隆)
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      茨城大学、日立キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] Solid-phase growth of Mg2Si by annealing in inert gas atmosphere2013

    • 著者名/発表者名
      (T. Ikehata), T. Ando, T. Yamamoto, R. Takagi, N.Y. Sato, H. Udono
    • 学会等名
      2013 Asia-Pacific Conference on Green Technology with Silicides and Related Materials
    • 発表場所
      Tsukuba University, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] Si基板上Mgスパッタ膜のアニール処理によるMg2Siの合成と微細構造 解析2013

    • 著者名/発表者名
      山本拓哉、安藤龍哉、高木雄太、佐藤直幸、鵜殿治彦、(池畑 隆)
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      茨城大学、日立キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] Si基板上Mgスパッタ膜のアニール処理によるMg2Siの合成と微細構造解析2013

    • 著者名/発表者名
      山本拓哉、安藤龍哉、高木雄太、佐藤直幸、鵜殿治彦、池畑 隆
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会、PST-13-014
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] Si基板上Mgスパッタ膜のアルゴン雰囲気中アニール処理によるMg2Si膜の合成2013

    • 著者名/発表者名
      池畑隆、安藤龍哉、山本拓哉、高木雄太、佐藤直幸、鵜殿治彦
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会、30a-G7-1
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] Si 基板上Mg スパッタ膜のアルゴン雰囲気中アニール処理によるMg2Si 膜の合成2013

    • 著者名/発表者名
      (池畑隆)、安藤龍哉、山本拓哉、高木雄太、佐藤直幸、鵜殿治彦
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      神奈川工科大学 厚木キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] HiPIMS-高密度金属プラズマが拓く未来2013

    • 著者名/発表者名
      池畑隆
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      同志社大京田辺キャンパス
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400530
  • [学会発表] 大電力パルス駆動ペニングスパッタ装置における高密度プラズマの生成に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      菊地貴允、佐藤直幸、東 欣吾、池畑 隆
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会、PST-13-025
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] 熱電半導体Mg2Si膜の固相合成におけるマグネシウム蒸発量の調査2013

    • 著者名/発表者名
      高木雄太、山本拓哉、張月、國武和広、佐藤直幸、鵜殿治彦、池畑隆
    • 学会等名
      電気学会
    • 発表場所
      日立シビックセンター
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400530
  • [学会発表] 熱電半導体Mg2Si膜の固相合成と微細構造解析2013

    • 著者名/発表者名
      山本拓哉、高木雄太、張月、國武和広、佐藤直幸、鵜殿治彦、池畑隆
    • 学会等名
      電気学会
    • 発表場所
      日立シビックセンター
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25400530
  • [学会発表] 希ガス雰囲気中アニール処理によるMg2Siの合成 - アニール温度特性2012

    • 著者名/発表者名
      安藤龍哉、山本拓哉、高木雄太、佐藤直幸、鵜殿治彦、(池畑隆)
    • 学会等名
      電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • 発表場所
      茨城県日立市 日立シビックセンター
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] 希ガス雰囲気中アニール処理によるMg2Siの合成-雰囲気圧力特性2012

    • 著者名/発表者名
      山本拓哉、安藤龍哉、高木雄太、佐藤直幸、鵜殿治彦、(池畑隆)
    • 学会等名
      電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • 発表場所
      茨城県日立市 日立シビックセンター
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] A novel plasma technology for surface modification of semiconducting and insulating materials2012

    • 著者名/発表者名
      T Ikehata, M. Tomita, T. Mashiko, N.Y. Sato
    • 学会等名
      (Invited) Proc. 7th Asia-Pacific Symposium on Plasma Technologies (APSPT-7)
    • 発表場所
      Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] Mg2Si Thin Film Prepared by Annealing in Noble Gas Atmosphere2012

    • 著者名/発表者名
      T. Ando, T. Yamamoto, Y. Takagi, N. Sato, H. Udono, T. Ikehata
    • 学会等名
      8th International Student Conference at Ibaraki University (ISCIU8)
    • 発表場所
      Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] A Novel Plasma Technology for Surface Modification of Semiconducting and Insulating Materials2012

    • 著者名/発表者名
      (T. Ikehata), M. Tomita, T. Mashiko, NY. Sato
    • 学会等名
      tth Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] A high-power pulsed sputtering devie with modified penning geometer2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kikuchi, N.Y. Sato, T. Ikehata
    • 学会等名
      8th International Student Conference at Ibaraki University (ISCIU8)
    • 発表場所
      Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] Si基板上Mgスパッタ膜のアニール処理によるMg2Siの合成2012

    • 著者名/発表者名
      安藤龍哉、山本拓哉、高木雄太、(池畑 隆)、佐藤直幸、鵜殿治彦
    • 学会等名
      電気学会プラズマ・パルスパワー合同研究会
    • 発表場所
      東京大学、本郷キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] Si基板上Mgスパッタ膜のアニール処理によるMg2Siの合成2012

    • 著者名/発表者名
      安藤龍哉、山本拓哉、高木雄太、池畑 隆、佐藤直幸、鵜殿治彦
    • 学会等名
      電気学会プラズマ・パルスパワー合同研究会、PST-12-094
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] ペニングスパッタ装置の大電力パルス動作と高密度プラズマ生成2012

    • 著者名/発表者名
      菊地貴允、佐藤直幸、東欣吾、(池畑隆)
    • 学会等名
      電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • 発表場所
      茨城県日立市 日立シビックセンター
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] 大電力パルススパッタによるMg2Siプラズマの発生と成膜2011

    • 著者名/発表者名
      安藤龍哉, 菊地貴充, 佐藤直幸, 池畑隆
    • 学会等名
      第19回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • 発表場所
      日立市シビックセンター
    • 年月日
      2011-11-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] Discharge and plasma production characteristics of a disc magnetron operated in dc and pulsed sputtering modes2011

    • 著者名/発表者名
      T. Ikehata, S. Nemoto, T. Ando, N.Y. Sato
    • 学会等名
      11th Int. Workshop on Plasma-Based Ion Implantation and Deposition (PBII&D2011)
    • 発表場所
      China
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] Ion-assisted surface smoothing of semiconducting and insulating materials2011

    • 著者名/発表者名
      富田和成、増子冬馬、佐藤直幸、池畑隆
    • 学会等名
      7th Int.Conf.Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB2011)
    • 発表場所
      Harbin, China
    • 年月日
      2011-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] 大電力パルスマグネトロンスパッタによる高密度メタルプラズマの発生2011

    • 著者名/発表者名
      安藤龍哉, 根本翔, 深澤孝嘉, 池畑隆, 佐藤直幸, 東欣吾
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県厚木市)
    • 年月日
      2011-03-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] Discharge and plasma production characteristics of a disc magnetron operated in dc and pulsed sputtering modes2011

    • 著者名/発表者名
      池畑隆, 根本翔, 安藤龍哉, 佐藤直幸
    • 学会等名
      11th Int.Workshop on Plasma-Based Ion Implantation and Deposition (PBII&D2011)
    • 発表場所
      Harbin, China
    • 年月日
      2011-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] 高密度・高電離度金属プラズマの発生に関する研究(招待講演)2011

    • 著者名/発表者名
      池畑 隆
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会、PST-11-045
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] 高密度・高電離度金属プラズマの発生に関する研究2011

    • 著者名/発表者名
      池畑隆
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      大阪工業大学(招待講演)
    • 年月日
      2011-08-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] 大電力パルスマグネトロンスパッタによる高密度メタルプラズマの生成と空間分布2010

    • 著者名/発表者名
      根本翔, 安藤龍哉, 深澤孝嘉, 池畑隆, 佐藤直幸, 東欣吾
    • 学会等名
      電気学会プラズマ・パルスパワー合同研究会
    • 発表場所
      東京工業大学(大岡山キャンパス)
    • 年月日
      2010-12-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] 大電力パルススパッタを用いた高密度メタルプラズマの生成に関する研究2010

    • 著者名/発表者名
      根本翔、安藤龍哉、深澤孝嘉、池畑隆、佐藤直幸
    • 学会等名
      第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会、PA30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] 大電力パルススパッタを用いた高密度メタルプラズマの生成に関する研究2010

    • 著者名/発表者名
      根本翔, 安藤龍哉, 深澤孝嘉、池畑隆, 佐藤直幸
    • 学会等名
      第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • 発表場所
      日立シビックセンター(茨城県日立市)
    • 年月日
      2010-11-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] 大電力パルスマグネトロンスパッタによる高密度メタルプラズマの生成と空間分布(優秀発表賞受賞)2010

    • 著者名/発表者名
      根本 翔、安藤龍哉、深澤孝嘉、池畑 隆、佐藤直幸、東欣吾
    • 学会等名
      電気学会プラズマ・パルスパワー合同研究会
    • 発表場所
      東工大大岡山
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22540501
  • [学会発表] 質量選択的運動量制御に向けたZnO薄膜プラズマ合成中の抵抗率測定2008

    • 著者名/発表者名
      小松良寛・佐藤直幸・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      船橋市,日本大学理工学部
    • 年月日
      2008-03-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] 質量選択的運動量制御による複合化合物材料のプラズマ合成に向けた低気圧低温プラズマの生成2006

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸・木下廣介・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 学会等名
      第54回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      相模原市,青山学院大学
    • 年月日
      2006-03-29
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] Plasma application of mass-selective momentum control to complex compound synthesis2005

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Yasushi Nakano, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, Jin Oonuki
    • 学会等名
      Extended Abstracts(The 65th Autumn Meeting, 2005) The Japan Society of Applied Physics No.1 1a-ZB-8
    • 発表場所
      in Japanese
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] Fabrication of diamond single crystal by employing VHF-ICP plasma2005

    • 著者名/発表者名
      H. Yoshikawa, YNakano, N. Y. Sato&T. Ikehata
    • 学会等名
      Extended Abstracts(The 52nd Spring Meeting, 2005) The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.2 30a-G-2
    • 発表場所
      in Japanese
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] Voltage-current characteristics of the magnetized oxygen plasma for oxide film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakano. N. Y. Sato. T. Ikehata, S. Yamauchi&J. Oonuki
    • 学会等名
      Extended Abstracts(The 52nd Spring Meeting, 2005) The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.2 29a-E-1
    • 発表場所
      in Japanese
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] 質量選択的運動量制御によるZnO薄膜の合成に向けた磁場中酸素プラズマへの亜鉛蒸気導入2005

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸・中野恭嗣・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 学会等名
      第52回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      さいたま市,埼玉大学
    • 年月日
      2005-03-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] 質量選択的運動量制御による酸化物薄膜の合成に向けた磁場中酸素プラズマの電圧-電流特性2005

    • 著者名/発表者名
      中野恭嗣・佐藤直幸・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 学会等名
      第52回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      さいたま市,埼玉大学
    • 年月日
      2005-03-29
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] 質量選択的運動量制御・磁場中酸素プラズマを用いた酸化物薄膜の合成(シンポジウム招待講演 30分)2005

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸・中野恭嗣・木下廣介・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 学会等名
      第66回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      徳島市,徳島大学
    • 年月日
      2005-09-08
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] VHF帯誘導結合プラズマ(VHF-ICP)を用いたダイヤモンドの加工2005

    • 著者名/発表者名
      吉川博道・中野恭嗣・佐藤直幸・池畑 隆
    • 学会等名
      第52回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      さいたま市,埼玉大学
    • 年月日
      2005-03-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] 複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発2005

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸・中野恭嗣・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 学会等名
      第65回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      仙台市,東北学院大学
    • 年月日
      2005-09-01
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] Introduction of zinc intot the magnetized oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      N. Y. Sato, Y. Nakano, T. Ikehata, S. Yamauchi&J. Oonuki
    • 学会等名
      Extended Abstracts(The 52nd Spring Meeting, 2005) The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.2 30a-E-6
    • 発表場所
      in Japanese
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] The resistivity measurement in the plasma deposition of ZnO thin film for mass-selective momentum control

    • 著者名/発表者名
      Yoshihiro Komatsu, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, and Jin Oonuki
    • 学会等名
      Extended Abstracts(The 55th Spring Meeting, 2008) The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No,1 28p-ZJ-10
    • 発表場所
      in Japanese
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] Oxide film synthesis in the magnetized oxygen plasma based on mass-selective momentum control(invited on 8 Sep.2005)

    • 著者名/発表者名
      N. Y. Sato, Y. Nakano, K. Kinoshita, T. Ikehata, S. Yamauchi&J. Oonuki
    • 学会等名
      Extended Abstracts(The 66th Autumn Meeting, 2005) The Japan Society of Applied Physics No,0 8p-N-5
    • 発表場所
      in Japanese
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] Production of low temperature plasma under low pressure for complex compound synthesis by mass-selective momentum control

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Kousuke Kinoshita, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi
    • 学会等名
      Extended Abstracts(The 54th Autumn Spring 2006) The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.1 29p-C-8
    • 発表場所
      in Japanese
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • 1.  佐藤 直幸 (80225979)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 63件
  • 2.  真瀬 寛 (30007611)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  板谷 良平 (90025833)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  吉本 昌弘 (20210776)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  松波 弘之 (50026035)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  鵜殿 治彦 (10282279)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 13件
  • 7.  久保 寔 (80089127)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  尾保手 茂樹 (50323209)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  鹿子嶋 憲一 (70292472)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  田中 正俊 (10250979)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  山内 智 (30292478)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 46件
  • 12.  大貫 仁 (70315612)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 45件
  • 13.  山下 正人 (10159212)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  八坂 保能 (30109037)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  板倉 賢 (20203078)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  塩見 淳一郎 (40451786)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  江坂 文孝 (40354865)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  東 欣吾
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  鈴木 康夫
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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