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山田 茂  YAMADA Shigeru

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 00174714
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2008年度 – 2011年度: 富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 准教授
2009年度: 富山大学, 大学院・理工学研究部・工学, 准教授
2007年度 – 2008年度: 富山大学, 理工学研究部, 准教授
2006年度: 富山大学, 理工学研究部(工学), 助教授
2004年度 – 2005年度: 富山大学, 工学部, 助教授
1992年度 – 1993年度: 富山大学, 工学部, 助教授
審査区分/研究分野
研究代表者以外
生産工学・加工学 / 機械工作
キーワード
研究代表者以外
極微細加工 / CVD / 多結晶ダイヤモンド / 加工用カンチレバー / ダイヤモンドアレイ工具 / シリコンモールド / 集束イオンビーム / 高精度化 / マイクロダイヤモンド工具 / Ultra Micro Machining … もっと見る / Reactive Ion Etching / Polycrystalline Diamond / Anisotropic Etching / Silicon Mold / Diamond Array Tool / 反応性イオンエッチング / 異方性エッチング / Photolithography / Cantilever for machining / Three-dimensional nanofabrication / Friction force microscope / フォトリソグラフィー / 3次元微細加工 / 摩擦力顕微鏡 / Tool wear / Grain size of diamond / Carbide milling tool / PCD milling tool / Drill-point geometry / Carbide drilling tool / PCD drilling tool / SiCp-MMC / アルミニウム複合材料 / 粒子分散型複合材料 / 炭化珪素 / ダイヤモンドドリル / 超硬ドリル / PCDドリル / 穴明け加工 / TiNコーティングドリル / SiC粒子分散型アルミニウム / スリーレーキ / 工具摩耗 / ダイヤモンド粒径 / 超硬合金フライス工具 / PCDフライス工具 / ドリル先端形状 / 超硬合金ドリル / PCDドリル工具 / SiCp-MMc / SPM / 高アスペクト比 / 微細溝加工 / 選択成長 / 多機能型ダイヤモンド工具 / ナノ加工 / マイクロ加工 / 多機能ダイヤモンド工具 / ダイヤモンド工具 隠す
  • 研究課題

    (6件)
  • 研究成果

    (1件)
  • 共同研究者

    (3人)
  •  加工用カンチレバーを用いたSPM援用高アスペクト比微細V溝曲面加工に関する研究

    • 研究代表者
      高野 登
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      富山大学
  •  多機能型ダイヤモンドツールの開発とマイクロ・ナノスケール加工への応用に関する研究

    • 研究代表者
      森田 昇
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2010
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      富山大学
  •  マイクロダイヤモンド工具の高精度化と実用化に関する研究

    • 研究代表者
      高野 登
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2008
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      富山大学
  •  ダイヤモンドマイクロアレイ工具の創成と極微細加工に関する研究

    • 研究代表者
      高野 登
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      富山大学
  •  超小型3次元ナノ加工・計測システムの開発とナノスケール造形への応用

    • 研究代表者
      森田 昇
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      富山大学
  •  炭化珪素粒子分散型アルミニウム合金の穴明け用多結晶ダイヤモンド工具の設計と製作

    • 研究代表者
      能登谷 久公
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      富山大学

すべて 2008

すべて 学会発表

  • [学会発表] マイクロダイヤモンドツールによる単結晶シリコンのマイクロ加工2008

    • 著者名/発表者名
      稲垣清紀、森田昇、山田茂、高野登、大山達雄
    • 学会等名
      砥粒加工学会北信越ハイテク加工研究分科会2008年度研究・開発成果発表会
    • 発表場所
      金沢工業大学
    • 年月日
      2008-07-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360067
  • 1.  森田 昇 (30239660)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 1件
  • 2.  高野 登 (60251881)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 1件
  • 3.  能登谷 久公 (80019182)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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