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山田 茂
YAMADA Shigeru
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*注記
研究者番号
00174714
所属 (過去の研究課題情報に基づく)
*注記
2008年度 – 2011年度: 富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 准教授
2009年度: 富山大学, 大学院・理工学研究部・工学, 准教授
2007年度 – 2008年度: 富山大学, 理工学研究部, 准教授
2006年度: 富山大学, 理工学研究部(工学), 助教授
2004年度 – 2005年度: 富山大学, 工学部, 助教授
1992年度 – 1993年度: 富山大学, 工学部, 助教授
審査区分/研究分野
研究代表者以外
生産工学・加工学
/
機械工作
キーワード
研究代表者以外
極微細加工 / マイクロダイヤモンド工具 / 高精度化 / 集束イオンビーム / シリコンモールド / ダイヤモンドアレイ工具 / 加工用カンチレバー / 多結晶ダイヤモンド / CVD / ダイヤモンド工具
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/ 多機能ダイヤモンド工具 / マイクロ加工 / ナノ加工 / 多機能型ダイヤモンド工具 / 選択成長 / 微細溝加工 / 高アスペクト比 / SPM / SiCp-MMc / PCDドリル工具 / 超硬合金ドリル / ドリル先端形状 / PCDフライス工具 / 超硬合金フライス工具 / ダイヤモンド粒径 / 工具摩耗 / スリーレーキ / SiC粒子分散型アルミニウム / TiNコーティングドリル / 穴明け加工 / PCDドリル / 超硬ドリル / ダイヤモンドドリル / 炭化珪素 / 粒子分散型複合材料 / アルミニウム複合材料 / SiCp-MMC / PCD drilling tool / Carbide drilling tool / Drill-point geometry / PCD milling tool / Carbide milling tool / Grain size of diamond / Tool wear / 摩擦力顕微鏡 / 3次元微細加工 / フォトリソグラフィー / Friction force microscope / Three-dimensional nanofabrication / Cantilever for machining / Photolithography / 異方性エッチング / 反応性イオンエッチング / Diamond Array Tool / Silicon Mold / Anisotropic Etching / Polycrystalline Diamond / Reactive Ion Etching / Ultra Micro Machining
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研究課題
(
6
件)
研究成果
(
1
件)
共同研究者
(
3
人)
研究開始年: 新しい順
研究開始年: 古い順
加工用カンチレバーを用いたSPM援用高アスペクト比微細V溝曲面加工に関する研究
研究代表者
高野 登
研究期間 (年度)
2009 – 2011
研究種目
基盤研究(C)
研究分野
生産工学・加工学
研究機関
富山大学
多機能型ダイヤモンドツールの開発とマイクロ・ナノスケール加工への応用に関する研究
研究代表者
森田 昇
研究期間 (年度)
2008 – 2010
研究種目
基盤研究(B)
研究分野
生産工学・加工学
研究機関
富山大学
マイクロダイヤモンド工具の高精度化と実用化に関する研究
研究代表者
高野 登
研究期間 (年度)
2007 – 2008
研究種目
基盤研究(C)
研究分野
生産工学・加工学
研究機関
富山大学
ダイヤモンドマイクロアレイ工具の創成と極微細加工に関する研究
研究代表者
高野 登
研究期間 (年度)
2005 – 2006
研究種目
基盤研究(C)
研究分野
生産工学・加工学
研究機関
富山大学
超小型3次元ナノ加工・計測システムの開発とナノスケール造形への応用
研究代表者
森田 昇
研究期間 (年度)
2004 – 2005
研究種目
基盤研究(B)
研究分野
生産工学・加工学
研究機関
富山大学
炭化珪素粒子分散型アルミニウム合金の穴明け用多結晶ダイヤモンド工具の設計と製作
研究代表者
能登谷 久公
研究期間 (年度)
1992 – 1993
研究種目
一般研究(C)
研究分野
機械工作
研究機関
富山大学
すべて
2008
すべて
学会発表
[学会発表] マイクロダイヤモンドツールによる単結晶シリコンのマイクロ加工
2008
著者名/発表者名
稲垣清紀、森田昇、山田茂、高野登、大山達雄
学会等名
砥粒加工学会北信越ハイテク加工研究分科会2008年度研究・開発成果発表会
発表場所
金沢工業大学
年月日
2008-07-04
データソース
KAKENHI-PROJECT-20360067
研究課題数: 降順
研究課題数: 昇順
1.
森田 昇
(30239660)
共同の研究課題数:
6件
共同の研究成果数:
1件
2.
高野 登
(60251881)
共同の研究課題数:
5件
共同の研究成果数:
1件
3.
能登谷 久公
(80019182)
共同の研究課題数:
1件
共同の研究成果数:
0件
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