河合晃 Kawai Akira

研究者番号	00251851
その他のID
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2016年度 – 2020年度: 長岡技術科学大学, 工学研究科, 教授 2013年度: 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 2011年度 – 2012年度: 長岡技術科学大学, 工学部, 准教授 2008年度: 長岡技術科学大学, 准教授 2008年度: 長岡技術科学大学, 工学部・電気系, 准教授 … もっと見る 2007年度: 長岡技術科学大学, 工学部・(電気系), 准教授 2006年度: 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 1998年度 – 2006年度: 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 1993年度 – 1995年度: 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授隠す
審査区分/研究分野	研究代表者電子デバイス・電子機器 / 電子デバイス・機器工学 / 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / 中区分21:電気電子工学およびその関連分野 / 表面界面物性 / 無機材料・物性研究代表者以外無機材料・物性
キーワード	研究代表者半導体集積回路 / 原子間力顕微鏡 / リソグラフィー / リソグラフィ / 高分子集合体 / 微細加工 / 表面エネルギー / フォトレジスト / レジスト / ラインエッジラフネス … もっと見る / 付着力 / マイクロカプセル / 集積化 / DMFC / IoT / ３次元光造形 / カプセル / マイクロ / 電子デバイス / 燃料電池 / solid surface / lithography / finite element method / surface energy / resist / atomic force microscope / integration circuit / adhesion / 固体表面 / 有限要素法解析 / 接着力 / MEMS / 付着性 / ナノバブル / レジストパターン / ラプラス力 / 環境制御型電子顕微鏡 / ファンデルワールスカ / 薄膜 / 表面自由エネルギー / スピンコート / 共焦点レーザー顕微鏡（CLSM) / プローブ顕微鏡 / 高分子レジスト / 自己整合配列 / ナノ集合体 / 共晶点レーザー顕微鏡（CLSM) / 膨潤 / 浸透 / 走査型共焦点レーザー顕微鏡 / 触媒 / ゼータ電位 / 帯電制御 / 血栓抑制 / 3次元光造形 / マイクロ・ナノデバイス / 表面張力 / マイクロチューブ / グルコース / 生体発電 / イオン導電体 / 医療システム / ラプラスカ / Solid Surface / Lithography / Finite element method / Surface energy / Resist / Atomic force microscope / Integrated Circuit of Semiconductor / Adhesion / 凝集破壊 / 摩擦力 / 有限要素法 / フォトレジストパターン / 光リソグラフィー / 生物・生体工学 / ナノバイオ / マイクロマシン / 生体適合性 / マイクロポンプ / レジスト材料 / プロトン濃度 / ｐＨコントロール / 植物育成 / バイオチップ / 植物成長促進 / バイオデバイス / ゲートパターン / ナノパターン / インデンテーション / マニピュレーション / 感光性樹脂 / 集積回路 / 分子間力 / ナノ固体 / 空孔 / ナノスケールパターン / プラズモン変化 / 貴金属 / 吸着 / エネルギーバランス変化 / 微小気泡 / 亀裂 / 接着 / スパッタリング / 表面粗さ / チタン酸バリウム / 誘電率 … もっと見る研究代表者以外 HIP / PMN / ICTS / PTCR / Zinc Oxide / Electron Capture / Grain Boundary / Barium Titanate / 酸化 / 酸化亜鉛 / 電子捕獲 / 粒界 / チタン酸バリウム隠す

液中浮遊型球状マイクロ燃料電池による血栓抑制システムの創製研究代表者
- 研究代表者
  
  河合晃
- 研究期間 (年度)
  2018 – 2019
- 研究種目
  
  挑戦的研究(萌芽)
- 審査区分
  
  中区分21:電気電子工学およびその関連分野
- 研究機関
  長岡技術科学大学
高分子ナノ集合体の自己整合配列に基づく３次元ナノ構造の創成研究代表者
- 研究代表者
  
  河合晃
- 研究期間 (年度)
  2018 – 2020
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
- 研究機関
  長岡技術科学大学
カプセル型マイクロ燃料電池の創製と微小凝集体の自己分散制御研究代表者
- 研究代表者
  
  河合晃
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2017
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  長岡技術科学大学
１５ｎｍゲートパターンのラインエッジラフネス（ＬＥＲ）抑制技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  河合晃
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  長岡技術科学大学
植物内へのpH制御デバイス挿入による新規成長促進システムの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  河合晃
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2012
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  長岡技術科学大学
ナノスケールで制御された凝集構造を有する25nmサイズの微細レジストパターン開発研究代表者
- 研究代表者
  
  河合晃
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  長岡技術科学大学
微細凹凸構造での微小気泡の吸着・脱離制御に基づく新規メモリデバイスの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  河合晃
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2005
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  長岡技術科学大学
高分子集合体間の相互作用力制御に基づいた35nmサイズの微細レジストパターン開発研究代表者
- 研究代表者
  
  河合晃
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  長岡技術科学大学
原子間力顕微鏡の微細探針を用いた100nm以下のレジストパターンの付着凝集解析研究代表者
- 研究代表者
  
  河合晃
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  長岡技術科学大学
AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  河合晃
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  長岡技術科学大学
0.3μm以下の微細レジストパターンの接着破壊機構に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  河合晃
- 研究期間 (年度)
  1995
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  長岡技術科学大学
超微細サイズにおける誘電体薄膜の誘電メカニズム解析研究代表者
- 研究代表者
  
  河合晃
- 研究期間 (年度)
  1994
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  無機材料・物性
- 研究機関
  長岡技術科学大学
セラミック半導体のトラップ準位の検出と評価
- 研究代表者
  
  高田雅介
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1995
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  無機材料・物性
- 研究機関
  長岡技術科学大学

[図書] 高速・高周波対応部材の最新開発動向2021
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  653
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01494
[図書] 高周波対応基板材料の開発動向と応用展開2021
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  296
- 出版者
  シーエムシー出版
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01494
[図書] プリント配線板材料の開発と実装技術2021
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  713
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01494
[図書] 接着・接合の支配要因と最適化技術2021
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  270
- 出版者
  S＆T出版
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01494
[図書] クリーンルームの微小異物・汚染物対策と作業員教育2020
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  523
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01494
[図書] レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決2018
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  185
- 出版者
  Ｒ＆Ｄ支援センター
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01494
[図書] レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決2018
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  185
- 出版者
  Ｒ＆Ｄ支援センター
- ISBN
  9784905507253
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18854
[図書] 最新フォトレジスト材料開発とプロセス最適化技術2017
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  320
- 出版者
  シーエムシー出版
- ISBN
  9784781312637
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[図書] 高分子の残留応力対策2017
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  480
- 出版者
  技術情報協会
- ISBN
  9784861046483
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[図書] シランカップリング剤の使いこなしノウハウ集2016
- 著者名/発表者名
  河合　晃、他
- 総ページ数
  384
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[図書] 高分子における劣化・破壊現象の写真・データ事例集2014
- 著者名/発表者名
  河合　晃、分担執筆
- 総ページ数
  729
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] 気泡・ボイドの発生メカニズムと未然防止・除去技術,第1章第2節塗るときなぜ気泡が発生するのか2014
- 著者名/発表者名
  河合
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] 気泡・ボイドの発生メカニズムと未然防止・除去技術2014
- 著者名/発表者名
  河合　晃、分担執筆
- 総ページ数
  544
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] 薄膜塗布技術と乾燥トラブル対策2014
- 著者名/発表者名
  河合　晃、分担執筆
- 総ページ数
  825
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] 高分子における劣化・破壊現象の写真・データ事例集, 第14章第6節塗膜の乾燥不良事例～クラック,密着不良～2014
- 著者名/発表者名
  河合
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] 薄膜塗布技術と乾燥トラブル対策,第8章第5節超臨界乾燥, 第10章第6節レべリング性と乾燥速度の両立, 第10章11節さらに高品位な膜を作るためのテクニック2013
- 著者名/発表者名
  河合
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] シランカップリング剤の効果と使用法2012
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  395
- 出版者
  サイエンス＆テクノロジー出版
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[図書] レジストにおけるシランカップリング剤の効果と使用方法および処理装置2012
- 著者名/発表者名
  河合晃他
- 総ページ数
  395
- 出版者
  シランカップリング剤の効果と使用法
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[図書] 「欠陥を出さない！良い塗布膜を得るためのコントロール技術」2012
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  197
- 出版者
  サイエンス＆テクノロジー出版
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[図書] 欠陥を出さない!良い塗布膜を得るためのコントロール技術2012
- 著者名/発表者名
  河合晃
- 総ページ数
  197
- 出版者
  一発必中シリーズ
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[図書] シランカップリング剤の効果と使用法2012
- 著者名/発表者名
  河合
- 出版者
  S&T
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] 現場で応用できるコーティングの理論と現象-トラブルをメカニズムから考える-2012
- 著者名/発表者名
  河合晃
- 総ページ数
  184
- 出版者
  加工技術研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[図書] 現場で応用できるコーティングの理論と現象－トラブルをメカニズムから考える－2012
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  184
- 出版者
  加工技術研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[図書] 現場で応用できるコーティングの理論と現象－トラブルをメカニズムから考える－2012
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  184
- 出版者
  加工技術研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] レジストにおけるシランカップリング剤の効果と使用方法および処理装置2012
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  395
- 出版者
  サイエンス＆テクノロジー出版
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] 現場で応用できるコーティングの理論と現象-トラブルをメカニズムから考える2012
- 著者名/発表者名
  河合晃
- 総ページ数
  184
- 出版者
  加工技術研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] 欠陥を出さない!良い塗布膜を得るためのコントロール技術2012
- 著者名/発表者名
  河合晃
- 総ページ数
  197
- 出版者
  サイエンス&テクノロジー
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] 「欠陥を出さない！良い塗布膜を得るためのコントロール技術」2012
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 総ページ数
  197
- 出版者
  サイエンス＆テクノロジー出版
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] 粒子分散系塗布膜を中心にした高粘度スラリーの調液・塗布・乾燥技術,第5節各種乾燥プロセスにおける装置選定技術2011
- 著者名/発表者名
  河合
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] レジストプロセスの最適化テクニック,～微細化・トラブル解消のための工程別対策および材料技術～2011
- 著者名/発表者名
  河合
- 出版者
  情報機構
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] 塗膜・レジスト膜の乾燥・付着技術とトラブル対策2011
- 著者名/発表者名
  河合晃
- 総ページ数
  196
- 出版者
  情報機構
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] 粒子分散系塗布膜を中心にした高粘度スラリーの調液・塗布・乾燥技術2011
- 著者名/発表者名
  河合晃他
- 総ページ数
  336
- 出版者
  第5節各種乾燥プロセスにおける装置選定技術、技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[図書] 塗膜・レジスト膜の乾燥・付着技術とトラブル対策2011
- 著者名/発表者名
  河合晃
- 総ページ数
  196
- 出版者
  単著、情報機構
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[図書] バインダー(結着剤)の失敗しない選び方・使い方事例集2011
- 著者名/発表者名
  河合晃他
- 総ページ数
  262
- 出版者
  第6節乾燥時のバインダー使用の留意点と条件設定、第7 節バインダー乾燥・焼成装置の機構と条件設定、第8節バインダー乾燥・焼成後のトラブル事例および対策、技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[図書] バインダー(結着剤)の失敗しない選び方・使い方事例集,第6 節乾燥時のバインダー使用の留意点と条件設定,第7 節バインダー乾燥・焼成装置の機構と条件設定,第8 節バインダー乾燥・焼成後のトラブル事例および対策2011
- 著者名/発表者名
  河合
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[図書] 微細化・トラブル解消のための工程別対策および材料技2011
- 著者名/発表者名
  河合晃他
- 総ページ数
  557
- 出版者
  レジストプロセスの最適化テクニック
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[図書] 接着界面の分析・試験法2008
- 著者名/発表者名
  河合晃
- 総ページ数
  242
- 出版者
  情報機構
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[図書] プリンタブル・エレクトロニクス技術開発2008
- 著者名/発表者名
  河合晃
- 総ページ数
  294
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[図書] 乾燥大全集2006
- 著者名/発表者名
  河合晃(分担執筆)
- 総ページ数
  522
- 出版者
  情報機構
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[図書] 新しい分散・乳化の科学と応用技術の新展開2006
- 著者名/発表者名
  河合晃(分担執筆)
- 総ページ数
  1003
- 出版者
  テクノシステム
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[図書] 半導体・液晶ディスプレイフオトリングラフィ技術ハンドブック2006
- 著者名/発表者名
  河合晃(分担執筆)
- 総ページ数
  587
- 出版者
  リアライズ社
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[図書] 粘着技術の3A2006
- 著者名/発表者名
  河合晃(分担執筆)
- 総ページ数
  347
- 出版者
  リアライズ社
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[図書] 表面・界面工学大系(下巻)応用編2005
- 著者名/発表者名
  河合晃(分担執筆)
- 総ページ数
  1393
- 出版者
  テクノシステム
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[図書] 最新レジスト材料ハンドブック2005
- 著者名/発表者名
  河合晃(分担執筆)
- 総ページ数
  315
- 出版者
  情報機構
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Application of Polyimide Porous Membrane to Photopolymer Filter2019
- 著者名/発表者名
  Tsukasa Sugawara, Isao Hirano, Kensuke Kobayashi, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 32 ページ: 791-794
- NAID
  130007789019
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01494
[雑誌論文] Application of Polyimide Porous Membrane to Photopolymer Filter2019
- 著者名/発表者名
  Tsukasa Sugawara, Isao Hirano, Kensuke Kobayashi, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 32 ページ: 791-794
- NAID
  130007789019
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18854
[雑誌論文] Novel Fabrication of Three-Dimensional Homogeneous Microporous Polyimide Membrane2018
- 著者名/発表者名
  Tsukasa Sugawara, Jun Koshiyama, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 31 ページ: 437-440
- NAID
  130007481466
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18854
[雑誌論文] In-Situ Observation of Permeation Behavior and Structural Analysis of Polyimide Membrane with Electrical Properties2018
- 著者名/発表者名
  Tsukasa Sugawara, Hiroyoshi Sago, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 31 ページ: 735-738
- NAID
  130007603678
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18854
[雑誌論文] Novel Fabrication of Three-Dimensional Homogeneous Microporous Polyimide Membrane2018
- 著者名/発表者名
  Tsukasa Sugawara, Jun Koshiyama, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 31 ページ: 437-440
- NAID
  130007481466
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01494
[雑誌論文] In-Situ Observation of Permeation Behavior and Structural Analysis of Polyimide Membrane with Electrical Properties2018
- 著者名/発表者名
  Tsukasa Sugawara, Hiroyoshi Sago, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 31 ページ: 735-738
- NAID
  130007603678
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01494
[雑誌論文] Application to Artificial Skin of Double Cone Tube Made of Acrylic Resin Formed by Micro Stereolithography2017
- 著者名/発表者名
  Katsuaki Yamane and Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 30 ページ: 345-350
- NAID
  130005950276
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[雑誌論文] Three-Dimensional Analysis of Liquid Propagation at Microchannel Junction using ESEM2017
- 著者名/発表者名
  Natsumi Yagi and Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 30 ページ: 709-714
- NAID
  130006309127
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[雑誌論文] Negative pattern formation in positive resist layer by EB / UV hybrid lithography2016
- 著者名/発表者名
  Hiroki Nakano, Kenta Takahashi, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 29 ページ: 603-606
- NAID
  130005261802
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[雑誌論文] In-situ Monitoring of TMAH Developer Intrusion into Resist Film by C-V Method2016
- 著者名/発表者名
  Hodaka Shirataki, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 29 ページ: 817-818
- NAID
  130005337942
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[雑誌論文] Effect of Sub-Pattern on Guiding Liquid Propagation at Microchannel Junction2016
- 著者名/発表者名
  Natsumi Yagi, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 29 ページ: 833-834
- NAID
  130005337943
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[雑誌論文] Fabrication and Durability of Single Chip Micro Direct Methanol Fuel Cell (SC-μDMFC) by Photolithography Process2013
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Daisuke Tanaka, Shunsuke Ohata, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 26(6) ページ: 751-756
- NAID
  130004833549
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Effect of Low Surface Tension Developer on Micro Bubble Removal from Resist Square Window Pattern2013
- 著者名/発表者名
  Kenta Takahashi, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 26(6) ページ: 765-768
- NAID
  130004833551
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Micro Pinhole Formation in Photoresist Multilayer Structure controlled with Hydrophilic Treatment2013
- 著者名/発表者名
  Yuta Noguchi, Kenta Takahashi, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 26(6) ページ: 739-744
- NAID
  130004833547
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Local Heating System Integrated with Platinum Micro Heater and Photopolymer Microfluidic Channel2013
- 著者名/発表者名
  Yuta Noguchi, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 26(6) ページ: 713-716
- NAID
  130004833542
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Fabrication of Micro Tube Array by Combining Positive with Negative Type Photoresists due to Solubility Difference in Developer2013
- 著者名/発表者名
  Kazutoshi Otsuka, Kenta Takahashi, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 26(6) ページ: 717-720
- NAID
  130004833543
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Electrification on Condensation Surface of Micro Particles with Atomic Force Microscope (AFM)2013
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 26(6) ページ: 705-706
- NAID
  130004833540
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Liquid Penetration Control of Photoresist/Perfluorosulfonic Acid (PFSA) Double Layer Structure by Hydrophobic Treatment2013
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Kenta Takahashi, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 26(6) ページ: 727-732
- NAID
  130004833545
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Surface Stability of SU-8 for Accurate Biopotential Detection2012
- 著者名/発表者名
  Yuta Noguchi, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 25 ページ: 719-722
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[雑誌論文] 接着の物理XIV原子間力顕微鏡力顕微鏡(AFM)を用いた微小構造体の付着凝集性解析2012
- 著者名/発表者名
  河合晃
- 雑誌名
  
  日本接着学会誌
  
  巻: vol.48, No.1 ページ: 36-46
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[雑誌論文] Surface Stability of SU-8 film for Accurate Biopotential Detection2012
- 著者名/発表者名
  Yuta Noguchi, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 25(6) ページ: 719-722
- NAID
  130004833506
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Enhanced Adhesive Strength of a Double-layer Cu Film Consisting of an Under-layer Depositedin 10 vol% O_2 in Ar and an Upper-layerDeposited in Pure Ar2012
- 著者名/発表者名
  Satoru Mori, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Adhesion Soc. Japan
  
  巻: 48(1) ページ: 10-16
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[雑誌論文] Interfacial Microstructure of a Double-layer Cu Film Consisting of an Under-layer Deposited on SiO2 Substrate in Ar-10 vol% O2 and an Upper-layer Deposited in Pure Ar2012
- 著者名/発表者名
  Satoru Mori, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Adhesion Soc. Japan
  
  巻: 48(1) ページ: 10-16
- NAID
  130004568093
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Micro Cantilever Motion in Micro Pattern Peeling by DPAT Method2012
- 著者名/発表者名
  Takashi Aiba, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 25(6) ページ: 729-733
- NAID
  130004833508
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Mechanical Stress on Ionic Conductivity of Perfluorosulfonic Acid (PFSA) Film by Photolithography2012
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 25 ページ: 723-726
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[雑誌論文] Mechanical Stress Effect on Ionic Conductivity of Perfluorosulfonic Acid (PFSA) Film by Photolithography2012
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 25(6) ページ: 723-727
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Micro Cantilever Motion in Micro Pattern Peeling by DPAT Method2012
- 著者名/発表者名
  Takashi Aiba, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 25 ページ: 727-731
- NAID
  130004833508
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[雑誌論文] Fluid Control MEMS constructed with Polymer Materials2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 24 ページ: 573-598
- NAID
  130004833420
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Fluid Control MEMSconstructed with Polymer Materials2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 24,(5) ページ: 573-598
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[雑誌論文] Micro Polymer Capsule Constructed with Micro Pillars Formed by Multi Laminating Method2011
- 著者名/発表者名
  Masayoshi Yamada, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 24 ページ: 647-650
- NAID
  130004464934
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[雑誌論文] 塗工液の液物性コントロールとトラブル対策2011
- 著者名/発表者名
  河合晃
- 雑誌名
  
  塗装工学
  
  巻: vol.46, No.7 ページ: 225-237
- NAID
  40018934246
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[雑誌論文] Micro Polymer Capsule Constructed with Micro Pillars Formed by Multi Laminating Method2011
- 著者名/発表者名
  Masayoshi Yamada, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 24 ページ: 647-650
- NAID
  130004464934
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Fluid Control MEMS constructed with Polymer Materials2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 24(5) ページ: 587-593
- NAID
  130004833420
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Micro Polymer Capsule Constructed with Micro Pillars Formed by Multi Laminating Method2011
- 著者名/発表者名
  Masayoshi Yamada, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 24(6) ページ: 647-650
- NAID
  130004464934
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[雑誌論文] Fluid Control MEMS constructed with Polymer Materials2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 24 ページ: 573-598
- NAID
  130004833420
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[雑誌論文] Analysis of self-standing structure composed by thick resist layers., J2009
- 著者名/発表者名
  Akihiro Takano, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Photopolymer Science and Technology 22(in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Characterization of photpmask substrate in optical lithography2009
- 著者名/発表者名
  Junji Miyazaki, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 22(in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Katsuyoshi Hamasaki, Dielectric dispersion analysis of resist layer2009
- 著者名/発表者名
  Hiroki Sasazaki, Takahiro Kato, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 22(in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Mask defect transfer in Si anisotropoc wet etching2009
- 著者名/発表者名
  Junji Miyazaki, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 22(in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Surface Energy change of Si(100)Wafer by Exposing to Air2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Junko Kawakami, Hiroki Sasazaki
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 21
  
  ページ: 739-740
- NAID
  130004833239
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Internal Stress of Dry Film Resist in Multilayer Structure2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Takashi Yamaji
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Sci. Technol. 21
  
  ページ: 725-726
- NAID
  130004833234
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Micro channel device composed by fry film resist2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Daisuke Tanaka, Tomotaka Ariga
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 21
  
  ページ: 43-46
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Adsouption of micro tip on various surface energy substrates2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Takashi Yamaji, Hiroshi Horiguchi
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer and Science and Technology 21
  
  ページ: 85-88
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Non-contact deformation of micro resist pattern due to van der Waals force2008
- 著者名/発表者名
  Takashi Yamaji, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 21
  
  ページ: 89-94
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Micro Bubble Removal depending on Glass Cleanness2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Daisuke Tanaka
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Sci. Technol. 21
  
  ページ: 727-728
- NAID
  130004833235
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Pinning Effects of Micro Bubbles adhered on Resist Substrate2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Hotaka Endo, Daisuke Tanaka
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 21
  
  ページ: 753-754
- NAID
  130004833242
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Hotaka Endo and Daisuke Tanaka, Pinning Effects of Micro Bubbles adhered on Resist Substrate2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science. Technol. 21
  
  ページ: 753-754
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Adsouption of micro tip on various surface energy substrates2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Takashi Yamaj i, Hiroshi Horiguchi
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 21
  
  ページ: 85-88
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Internal stress of Dry Film Resist in Multilayer Structure2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Takashi Yamaji
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 21
  
  ページ: 725-726
- NAID
  130004833234
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Nano-scale Deformation of Resist Film Surface by Humidifying and Drying Processes2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Masahito Hirano, Takashi Yamaii
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 21
  
  ページ: 737-738
- NAID
  130004833238
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Spreading of Liquid Drop on Resist Film Surface2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Akihiro Takano
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 21
  
  ページ: 759-760
- NAID
  130004833244
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Spreading of Liquid Drop on Resist Film Surface2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Akihiro Takano
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Sci. Technol. 21
  
  ページ: 759-760
- NAID
  130004833244
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Flowing control of micro bubbles in DFR micro fluidic channel formed on metal/insulatro composit substrate2008
- 著者名/発表者名
  Daisuke Tanaka, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 21
  
  ページ: 63-68
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Nano-scale Deformation of Resist Film Surface by Humidifying and Drying Processes2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Masahito Hirano and Takashi Yamaji
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Sci. Technol. 21
  
  ページ: 737-738
- NAID
  130004833238
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Micro Bubble Removal depending on Glass Cleanness2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Daisuke Tanaka
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 21
  
  ページ: 727-728
- NAID
  130004833235
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Flowing control of micro bubbles in DFR micro fluidic channel formed on metal /insulatro composit substrate2008
- 著者名/発表者名
  Daisuke Tanaka, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 21
  
  ページ: 63-68
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Surface Energy change of Si(100)Wafer by Exposing to Air2008
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Junko Kawakami, Hiroki Sasazaki
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Sci. Technol 21
  
  ページ: 739-740
- NAID
  130004833239
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Analysis of micro meniscus shape by light scattering2007
- 著者名/発表者名
  Masaki Yamanaka, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 20
  
  ページ: 781-782
- NAID
  130004833187
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Micro bubbles formed on ArF excimer resist surface detected by tip scanning method2007
- 著者名/発表者名
  Kenta Suzuki, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 20
  
  ページ: 805-806
- NAID
  130004833192
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Visualization of stress distribution in resist film by surface plasma treatment2007
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Norio Moriike
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 20
  
  ページ: 783-785
- NAID
  130004833188
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Native oxide growth on Si (100) surface in liquid environment2007
- 著者名/発表者名
  Harumitsu Kubota, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 20
  
  ページ: 823-824
- NAID
  130004833198
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Nano-wetting of DI-water analyzed by AFM2007
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Masahito Hirano
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 20
  
  ページ: 813-814
- NAID
  130004833195
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Wetting analysis of hydrophobic substrate treated by HMDS primer2007
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Junko Kawakami
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 20
  
  ページ: 815-816
- NAID
  130004833196
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Native oxide growth on Si(100) surface in liquid environment2007
- 著者名/発表者名
  Harumitsu Kubota, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 20
  
  ページ: 823-824
- NAID
  130004833198
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Bubbles Condensed at Water/Resist Interface Analyzed by Atomic Force Microscopy2007
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Kenta Suzuki
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 20
  
  ページ: 673-678
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Non-contacting deformation (NCD) of line resist pattern due to interaction force with AFM tip2007
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Takahiro Moriuchi
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 20
  
  ページ: 777-780
- NAID
  130004833186
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[雑誌論文] Formation factors of watermark for immersion lithography2006
- 著者名/発表者名
  Takayoshi Niiyama, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 45
  
  ページ: 5383-5387
- NAID
  10017998531
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Removal mechanism of nano-bubble with AFM for Immersion Lithography2006
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Kenta Suzuki
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering 83
  
  ページ: 655-658
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Condensation Mechanism of Micro Bubbles Depending on DFR Pattern Design2006
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Hotaka Endo, Tomotaka Ariga
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering (in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Adhesion Improvement of ArF Resist Pattern Depending on BARC Material2006
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Takahiro Moriuchi, Takayoshi Niiyama
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering (in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Condensation Mechanism of Micro Bubbles Depending on DFR Pattern Design2006
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Hotaka Endo, Tomotaka Ariga
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering (in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Adhesion Improvement of ArF Resist Pattern Depending on BARC Material2006
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Takahiro Moriuchi, Takayoshi Niiyama
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering (in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Removal mechanism of nano-bubble with AFM for Immersion Lithography2006
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Kenta Suzuki
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering (in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Effect of low surface tension liquid on pattern collapse analyzed by dynamic meniscus observation2006
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Kenta Suzuki
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 45
  
  ページ: 5429-5434
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Removal mechanism of nano-bubble with AFM for Immersion Lithography2006
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Kenta Suzuki
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering (in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Effect of low surface tension liquid on pattern collapse analyzed by dynamic meniscus observation2006
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Kenta Suzuki
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys. 45
  
  ページ: 5429-5434
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Formation factors of watermark for immersion lithography2006
- 著者名/発表者名
  Takayoshi Niiyama, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys. 45
  
  ページ: 5383-5387
- NAID
  10017998531
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Micro wetting system by controlling pinning and capillary forces2006
- 著者名/発表者名
  Takayoshi Niiyama, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering- 83
  
  ページ: 1280-1283
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Condensation Mechanism of Micro Bubbles Depending on DFR Pattern Design2006
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Hotaka Endo, Tomotaka Ariga
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering 83
  
  ページ: 1167-1169
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Removal mechanism of nano-bubble with AFM for Immersion Lithography2006
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Kenta Suzuki
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering- 83
  
  ページ: 655-658
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Micro wetting system by controlling pinning and capillary forces2006
- 著者名/発表者名
  Takayoshi Niiyama, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering 83
  
  ページ: 1280-1283
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Dot Pattern Collapse due to Laplace Force Analyzed by Dynamical Meniscus Model2005
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Kenta Suzuki
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Sci.Technol 18(6)
  
  ページ: 679-679
- NAID
  130004464458
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Condensation Behavior of nanoscale bubbles on ArF excimer resist surface analyzed by atomic force microscope2005
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Sci.Technol 18(3)
  
  ページ: 349-354
- NAID
  130004833035
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Interaction Analysis of DI-water/Air/ArF resist System using Atomic Force Microscope2005
- 著者名/発表者名
  Takayoshi Niiyama, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Science and Technology 18.3
  
  ページ: 373-380
- NAID
  130004833038
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Condensation Behavior of nanoscale bubbles on ArF excimer resist surface analyzed by atomic force microscope2005
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Sci.Technol, 18(3)
  
  ページ: 349-349
- NAID
  130004833035
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Condensation of Nano-size Polymer Aggregates by spin drying2005
- 著者名/発表者名
  Atsushi Ishikawa, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of the Society of Adhesion and Interface, Korea 6・1
  
  ページ: 7-10
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Interaction Analysis of DI-water/Air/ArF resist System using Atomic Force Microscope2005
- 著者名/発表者名
  Takayoshi Niiyama, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 18・3
  
  ページ: 373-380
- NAID
  130004833038
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Dot Pattern Collapse due to Laplace Force Analyzed by Dynamical Meniscus Model2005
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Kenta Suzuki
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Sci.Technol. 18(6)
  
  ページ: 679-679
- NAID
  130004464458
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Deflection Analysis of Micro Cantilever due to Water Vapor Adsorption2005
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Takahiro Moriuchi
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Sci.Technol. 18(6)
  
  ページ: 681-681
- NAID
  130004464459
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Dot Pattern Collapse due to Laplace Force Analyzed by Dynamical Meniscus Model2005
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Kenta Suzuk
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Sci.Technol 18・6
  
  ページ: 679-680
- NAID
  130004464458
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Condensation Behavior of nanoscale bubbles on ArF excimer resist surface analyzed by atomic force microscope2005
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Sci.Technol. 18(3)
  
  ページ: 349-349
- NAID
  130004833035
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Condensation Behavior of nanoscale bubbles on ArF excimer resist surface analyzed by atomic force microscope2005
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Sci. Technol 18(3)
  
  ページ: 349-354
- NAID
  130004833035
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Dot Pattern Collapse due to Laplace Force Analyzed by Dynamical Meniscus Model2005
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Kenta Suzuki
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Sci. Technol 18・6
  
  ページ: 679-680
- NAID
  130004464458
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Deflection Analysis of Micro Cantilever due to Water Vapor Adsorption2005
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Takahiro Moriuchi
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Sci.Technol, 18(6)
  
  ページ: 681-681
- NAID
  130004464459
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Pinning effect of micro drops on geometrical complex substrates composed with different surface energy material2004
- 著者名/発表者名
  Masaki Yamanaka, Akira Okada, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J.Vac.Sci.& Technol B22
  
  ページ: 3525-3527
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Determination of Young's modulus of polymer aggregate based on Hertz theory2004
- 著者名/発表者名
  Atsushi Ishikawa, Takashi Tanji, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 715-718
- NAID
  130004832992
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Viscous finger pattern formed in photoresist film during heat treatment2004
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Akihiko Seki, Hotaka Endo
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 103-104
- NAID
  130004832955
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Analysis of drying behavior of rinse water depended on resist pattern arrangement2004
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Masahito Hirano, Takayoshi Niiyama
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 461-464
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Micro bubbles captured at micro defect on resist film2004
- 著者名/発表者名
  Hotaka Endo, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 105-106
- NAID
  130004832956
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Interaction force analysis of resist film surface in water vapor2004
- 著者名/発表者名
  Takayoshi Niiyama, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 453-456
- NAID
  130004464372
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Adhesion Mechanism of Micro Bubbles on ArF and F2 Excimer Resists2004
- 著者名/発表者名
  Hotaka Endo, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 17・5
  
  ページ: 713-714
- NAID
  130004832991
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Determination of Young' s Modulus of Polymer Aggregate based on Hertz Theory2004
- 著者名/発表者名
  Atsushi Ishikawa, Takashi Tanji, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 17・5
  
  ページ: 715-718
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Meniscus analysis in microgap during liquid drying process2004
- 著者名/発表者名
  Atsushi Ishikawa, Makoto Sakata, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 457-460
- NAID
  130004464373
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Analysis for Drying Behavior of Rinse Water Depended on Resist Pattern Arrangement2004
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Masahito Hirano, Takayoshi Niiyama
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 17・3
  
  ページ: 461-464
- NAID
  130004464374
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Cohesion property of polymer aggregate depending on hardening treatment2004
- 著者名/発表者名
  Atsushi Ishikawa, Takashi Tanji, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 99-102
- NAID
  130004832985
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Interaction force analysis of resist film surface in water vapor2004
- 著者名/発表者名
  Takayoshi Niiyama, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 453-456
- NAID
  130004464372
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Adhesion mechanism of micro bubbles on ArF and F2 excimer resists2004
- 著者名/発表者名
  Hotaka Endo, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 713-714
- NAID
  130004832991
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Determination of Young' s Modulus of Polymer Aggregate based on Hertz Theory2004
- 著者名/発表者名
  Atsushi Ishikawa, Takashi Tanji, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Science and Technology. 17・5
  
  ページ: 715-718
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Micro bubbles captured at micro defect on resist film2004
- 著者名/発表者名
  Hotaka Endo, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 105-106
- NAID
  130004832956
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Cohesion Property of Resist Pattern Surface analyzed by Tip Indentation Method2004
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Science and Technology 17・3
  
  ページ: 441-448
- NAID
  130004464370
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Cohesion Property of Resist Pattern Surface analyzed by Tip Indentation Method2004
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J. Photopolymer Science and Technology 17・3
  
  ページ: 441-448
- NAID
  130004464370
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Adhesion mechanism of micro bubbles on ArF and F2 excimer resists2004
- 著者名/発表者名
  Hotaka Endo, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 713-714
- NAID
  130004832991
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Pinning effect of micro liquid drop on geometrical complex substrates composed with different surface energy materials2004
- 著者名/発表者名
  Masaki Yamanaka, Akira Okada, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B 22・6
  
  ページ: 3525-3527
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Cohesion property of resist pattern surface analyzed by tip indentation method2004
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 441-448
- NAID
  130004464370
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Adhesion Mechanism of Micro Bubbles on ArF and F2 Excimer Resists2004
- 著者名/発表者名
  Hotaka Endo, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Science and Technology 17・5
  
  ページ: 713-714
- NAID
  130004832991
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Pinning effect of micro drops on geometrical complex substrates composed with different surface energy material2004
- 著者名/発表者名
  Masaki Yamanaka, Akira Okada, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  J.Vac.Sci.& Technol B22
  
  ページ: 3525-3527
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Cohesion property of polymer aggregate depending on hardening treatment2004
- 著者名/発表者名
  Atsushi Ishikawa, Takashi Tanji, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 99-102
- NAID
  130004832985
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Meniscus analysis in microgap during liquid drying process2004
- 著者名/発表者名
  Atsushi Ishikawa, Makoto Sakata, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 457-460
- NAID
  130004464373
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Analysis for Drying Behavior of Rinse Water Depended on Resist Pattern Arrangement2004
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Masahito Hirano, Takayoshi Niiyama
- 雑誌名
  
  J.Photopolymer Science and Technology- 17・3
  
  ページ: 461-464
- NAID
  130004464374
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Determination of Young's modulus of polymer aggregate based on Hertz theory2004
- 著者名/発表者名
  Atsushi Ishikawa, Takashi Tanji, Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 715-718
- NAID
  130004832992
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Analysis of drying behavior of rinse water depended on resist pattern arrangement2004
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Masahito Hirano, Takayoshi Niiyama
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 461-464
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16360171
[雑誌論文] Viscous finger pattern formed in photoresist film during heat treatment2004
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Akihito Seki, Hotaka Endo
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 103-104
- NAID
  130004832955
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[雑誌論文] Cohesion property of resist pattern surface analyzed by tip indentation method2004
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology 17
  
  ページ: 441-448
- NAID
  130004464370
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656105
[産業財産権] ナノ気泡の判別方法及びその装置2007
- 発明者名
  鈴木健太, 河合晃
- 権利者名
  長岡技術科学大学
- 産業財産権種類
  特許
- 取得年月日
  2007-11-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[産業財産権] 振動測定装置及び振動測定方法2007
- 発明者名
  河合晃
- 権利者名
  長岡技術科学大学
- 産業財産権種類
  特許
- 取得年月日
  2007-06-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[産業財産権] ナノ気泡の判別方法及びその装置2007
- 発明者名
  鈴木健太、河合晃
- 権利者名
  長岡技術科学大学
- 産業財産権番号
  2007-293673
- 出願年月日
  2007-11-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[産業財産権] 振動測定装置及び振動測定方法2007
- 発明者名
  河合晃
- 権利者名
  長岡技術科学大学
- 産業財産権番号
  2007-169543
- 出願年月日
  2007-06-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[産業財産権] 屈折率分布の解析方法2007
- 発明者名
  河合晃、川上喜章
- 権利者名
  長岡技術科学大学
- 産業財産権番号
  2007-038310
- 出願年月日
  2007-02-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[産業財産権] ナノ気泡の判別方法及びその装置2007
- 発明者名
  鈴木健太, 河合晃
- 権利者名
  長岡技術科学大学
- 産業財産権番号
  2007-293673
- 出願年月日
  2007-11-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] Adhesion Improvement of Photoresist; Destruction Mode Analysis2020
- 著者名/発表者名
  Keita Hasegawa, Akira Kawai
- 学会等名
  SPIE2020 Microlithography
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01494
[学会発表] Local condensation of TMAH developer at photoresist/glass interface analyzed by using confocal laser scanning microscope (CLSM)2020
- 著者名/発表者名
  Hirom Takemi, Akira Kawai
- 学会等名
  SPIE2020 Microlithography
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18854
[学会発表] Adhesion Improvement of Photoresist; Destruction Mode Analysis2020
- 著者名/発表者名
  Keita Hasegawa, Akira Kawai
- 学会等名
  SPIE2020 Microlithography
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18854
[学会発表] Local condensation of TMAH developer at photoresist/glass interface analyzed by using confocal laser scanning microscope2020
- 著者名/発表者名
  Hirom Takemi, Akira Kawai
- 学会等名
  SPIE2020 Microlithography
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01494
[学会発表] 接着層の耐久試験の高機能化2019
- 著者名/発表者名
  山浦　樹，河合　晃
- 学会等名
  令和元年電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18854
[学会発表] 多層レジストプロセスの高機能化によるCu配線技術2019
- 著者名/発表者名
  高垣　信巨，河合　晃
- 学会等名
  令和元年電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18854
[学会発表] Fabrication of MOS Transistor Array Pattern on i-line Photoresist Film By the Hyblid Lithography2018
- 著者名/発表者名
  Ryosuke Sato, Akira Kawai
- 学会等名
  GIGAKU conference 2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01494
[学会発表] Fabrication of MOS Transistor Array Pattern on i-line Photoresist Film By the Hyblid Lithography2018
- 著者名/発表者名
  Ryosuke Sato, Satoshi Shindo, Akira Kawai
- 学会等名
  GIGAKU Conference 2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18854
[学会発表] Fabrication of Double Cone Tube Formed by Micro Stereolithography for Molding of Three-Dimensional Metal Structure2017
- 著者名/発表者名
  Katsuaki Yamane and Akira Kawai
- 学会等名
  The 6th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Application to Artificial Skin of Double Cone Tube Made of Acrylic Resin Formed by Micro Stereolithography2017
- 著者名/発表者名
  Katsuaki Yamane and Akira Kawai
- 学会等名
  The 34th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-34)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Durability of Resist Film in TMAH Developer Analyzed by C-V Method"2017
- 著者名/発表者名
  Hodaka Shirataki, Akira Kawai
- 学会等名
  International Conference of Science of Technology Innovation 2017 (STI-Gigaku 2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Characterization of Nanoscale Bubble and Polymer Aggregate Adhered on Substrate by using Atomic Force Microscope (AFM) Tip2016
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Hodaka Shirataki, Kazuho Kai, Natsumi Yagi, Katsuaki Yamane, Tomohiro Maruyama
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
- 発表場所
  Vienna, Austria
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Application of Micro Heating System to Plant Vital Control2016
- 著者名/発表者名
  Kazuho Kai, Akira Kawai
- 学会等名
  The 5th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2016)
- 発表場所
  Nagaoka University of Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Biomimetic Fabrication of Gas Storage System in Micro Two Step Cone Tube2016
- 著者名/発表者名
  Katsuaki Yamane, Akira Kawai
- 学会等名
  The 5th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2016)
- 発表場所
  Nagaoka University of Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Negative Pattern Formation in Positive Resist Layer by EB / UV Hybrid Lithography2016
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Tomohiro Maruyama, Hiroki Nakano
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
- 発表場所
  Vienna, Austria
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Bubble Trap Analysis for Smooth Fluid Flowing in Micro Channel / Tube Network2016
- 著者名/発表者名
  Natsumi Yagi, Kazuho Kai, Tomotaka Ariga, Hotaka Endo, Akira Kawai
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
- 発表場所
  Vienna, Austria
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Characterization of SAN (Self-Assembled Network) Structure Formed in Ultra Thin Film by using AFM (atomic force microscope)2016
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Maruyama, Katsuaki Yamane, Hiroki Nakano, Akira Kawai
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
- 発表場所
  Vienna, Austria
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Negative pattern formation in positive resist layer by EB / UV hybrid lithography2016
- 著者名/発表者名
  Hiroki Nakano, Kenta Takahashi, Akira Kawai
- 学会等名
  International Conference of Photopolymer Science and Technology ICPST-32
- 発表場所
  Chiba, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Smooth Fluid Flow at Micro Channel/Tube Junction2016
- 著者名/発表者名
  Natsumi Yagi, Akira Kawai
- 学会等名
  The 5th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2016)
- 発表場所
  Nagaoka University of Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Fuel Cell Operation in Liquid Environment by Gas-Liquid Interface Control System2016
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Katsuaki Yamane, Masaya Shinozaki, Yosuke Sakurai
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
- 発表場所
  Vienna, Austria
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Dielectric Dispersion Analysis of Resist Materials by Parallel Plate Capacitor Structure2016
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Hodaka Shirataki, Hiroki Sasazaki, Shogo Ohtani
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
- 発表場所
  Vienna, Austria
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Analysis of TMAH Developer Intrusion into Resist Film by C-V Curve of MIS Capacitor2016
- 著者名/発表者名
  Hodaka Shirataki, Akira Kawai
- 学会等名
  The 5th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2016)
- 発表場所
  Nagaoka University of Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Combination of Micro-Heater and Water Channel Device and Its Application to Plant Cell Vital Control2016
- 著者名/発表者名
  Kazuho Kai, Natsumi Yagi, Yuta Noguchi, Akira Kawai
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
- 発表場所
  Vienna, Austria
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] TMAH Developer Intrusion into Resist Film Analyzed by C-V Method of MIS Structure2016
- 著者名/発表者名
  Hodaka Shirataki, Akira Kawai
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
- 発表場所
  Vienna, Austria
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Formation of Ultra Thin Continuous Resist Film Less Than 10nm2016
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Maruyama, Akira Kawai
- 学会等名
  The 5th International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN 2016)
- 発表場所
  Nagaoka University of Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] Development of Micro Cone Shape Tube Utilizing for Gas Trap Sysytem2016
- 著者名/発表者名
  Katsuaki Yamane, Tomohiro Maruyama, Yosuke Sakurai, Akira Kawai
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
- 発表場所
  Vienna, Austria
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14250
[学会発表] 紫外線照射による酸化チタン膜表面の活性化2013
- 著者名/発表者名
  鎌田　隼，河合　晃
- 学会等名
  平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  新潟大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Effect of Mechanical Stress on Electrolyte Film for Flexible Sheet Type Direct Methanol Fuel Cell2013
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Akira Kawai
- 学会等名
  The 2nd International GIGAKU Conference in Nagaoka
- 発表場所
  Nagaoka University of Technology
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] マイクロヒータ／チャネルデバイスの局所加熱特性2013
- 著者名/発表者名
  野口悠太、河合　晃
- 学会等名
  平成25年度（第23回）電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  新潟大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Single chip micro direct methanol fuel cell (SC-μDMFC) fabricated by MEMS Process2013
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Daisuke Tanaka, Shunsuke Ohata, Akira Kawai
- 学会等名
  IEEEポスターセッション平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  新潟大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] リソグラフィプロセスを用いた燃料電池用電解質のマイクロパターン形成2013
- 著者名/発表者名
  桜井、河合
- 学会等名
  平成２５年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  新潟大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] ポジ型およびネガ型フォトレジストの溶解度の差を用いたマイクロチューブの作製2013
- 著者名/発表者名
  大塚、高橋、河合
- 学会等名
  平成２５年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  新潟大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] A SU-8 Photoresist Film as Electrical Stable Layer in Liquid Environment2013
- 著者名/発表者名
  Yuta Noguchi, Akira Kawai
- 学会等名
  The 2nd International GIGAKU Conference in Nagaoka
- 発表場所
  新潟大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Micro local heating system integrated with surround microfluidic channel2013
- 著者名/発表者名
  Yuta Noguchi, Akira Kawai
- 学会等名
  電気学会センサ・マイクロマシン部門　第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  仙台国際会議場
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] 紫外線照射により活性化された二酸化チタン膜における表面エネルギーの解析2013
- 著者名/発表者名
  鎌田　隼，河合　晃
- 学会等名
  第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」
- 発表場所
  仙台国際会議場
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Surface energy analysis of Indium Tin Oxide (ITO) thin films on annealing treatment2013
- 著者名/発表者名
  Shun Kamada，Akira Kawai
- 学会等名
  IEEEポスターセッション平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  新潟大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Photoresist/Pt Electrode/Perflurosulfonic Acid (PFSA) Multilayer Structure for Single Chip Micro Direct Methanol Fuel Cell (SC-μDMFC)2013
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Daisuke Tanaka, Shunsuke Ohata, Akira Kawai
- 学会等名
  26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2013)
- 発表場所
  Hotel Roiton(Sapporo)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Bio-plant power collecting system by functional electrode2013
- 著者名/発表者名
  大谷翔吾、河合　晃
- 学会等名
  電気学会センサ・マイクロマシン部門大会　第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  仙台国際会議場
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] C-V測定を用いた誘電膜の特性評価2013
- 著者名/発表者名
  篠崎雅也、河合　晃
- 学会等名
  平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  新潟大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Fabrication of Micro Tube Array by Combining Positive with Negative Photoresist due to Solubility Difference in Developer2013
- 著者名/発表者名
  Kazutoshi Otsuka, Kenta Takahashi, Akira Kawai
- 学会等名
  電気学会センサ・マイクロマシン部門, 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  仙台国際会議場
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Micro Pattern Fabrication of Perflurosulfonic Acid (PFSA) Film by CF4 RIE Process2013
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Kenta Takahashi, Akira Kawai
- 学会等名
  26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2013)
- 発表場所
  Hotel Roiton(Sapporo)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Condensation control of nanoscale polymer aggregates by using atomic force microscope (AFM) tip2012
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  1st International GIGAKU Conference in Nagaoka(招待講演)
- 発表場所
  Nagaoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Monitoring and Modeling for Response Time of Biopotential in Plant Cells2012
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  The Electrochemical Society
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] SU-8フォトレジストの人工皮膚材料としての検討、I-022012
- 著者名/発表者名
  大塚和俊、河合晃
- 学会等名
  平成24年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Stress Durability of Electrolyte Structure in Flexible Sheet type Direct Methanol Fuel Cell (FS-DMFC)2012
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  The Electrochemical Society
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] 摩擦蓄電エネルギーの民生機器の実用化の検討2012
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 学会等名
  平成２４年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] 植物電位と表面温度の多点測定による緑葉植物の育成観察2012
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 学会等名
  平成２４年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Peeling Force of Polymer Micro Pattern by Direct Peelingby using AFM Tip (DPAT)2012
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  The Electrochemical Society
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Stress Durability of Electrolyte Structure in Flexible Sheet type Direct Methanol Fuel Cell (FS-DMFC)2012
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  The Electrochemical Society
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] 植物電位と表面温度の多点測定による緑葉植物の育成観察2012
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 学会等名
  平成２４年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Condensation control ofNanoscale Polymer Aggregates by using atomic force microscope tip2012
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  1^st International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN2012)
- 発表場所
  Nagaoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Monitoring andModeling for Response Time of Biopotential in Plant Cells2012
- 著者名/発表者名
  Yuta Noguchi, Akira Kawai
- 学会等名
  The Electrochemical Society, Abstract #69, Honolulu PRiME
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] 植物の細胞間電位の測定とモニタリング2012
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 学会等名
  平成２４年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Monitoring and Modeling for Response Time of Biopotential in Plant Cells2012
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  The Electrochemical Society
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] 植物電位と表面温度の多点測定による緑葉植物の育成観察、II-132012
- 著者名/発表者名
  大谷翔梧、河合晃
- 学会等名
  平成24年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Stress Durability of Electrolyte Structure in Flexible Sheet type Direct Methanol Fuel Cell(FS-DMFC)2012
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Akira Kawai
- 学会等名
  The Electrochemical Society, Abstract #59, Honolulu PRiME
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] 摩擦蓄電エネルギーの民生機器の実用化の検討2012
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 学会等名
  平成２４年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Condensation control of Nanoscale Polymer Aggregates by using atomic force microscope tip2012
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  1st International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN2012)
- 発表場所
  Nagaoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Condensation control of nanoscale polymer aggregates by using atomic force microscope (AFM) tip2012
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  1st International GIGAKU Conference in Nagaoka
- 発表場所
  Nagaoka, Japan(招待講演)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Peeling Force of Polymer Micro Pattern by Direct Peelingby using AFM Tip (DPAT)2012
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  The Electrochemical Society
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] SU-8フォトレジストの人工皮膚材料としての検討2012
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 学会等名
  平成２４年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Condensation control of Nanoscale Polymer Aggregates by using atomic force microscope tip2012
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  The Electrochemical Society
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Condensation control of Nanoscale Polymer Aggregates by using atomic force microscope tip2012
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  The Electrochemical Society
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] 摩擦蓄電エネルギーの民生機器の実用化の検討、P-142012
- 著者名/発表者名
  窪田直也、河合晃
- 学会等名
  平成24年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] SU-8フォトレジストの人工皮膚材料としての検討2012
- 著者名/発表者名
  河合　晃
- 学会等名
  平成２４年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Peeling Force ofPolymer Micro Pattern by Direct Peelingby using AFM Tip (DPAT)2012
- 著者名/発表者名
  Takashi Aiba, Akira Kawai
- 学会等名
  The ElectrochemicalSociety, Abstract #68, Honolulu PRiME
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Nano- Porous Structure in Polymer Micro Pattern Analyzed by Atomic Force Microscopy (AFM)2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  Nano S&T 2011(招待講演)
- 発表場所
  Dalian, China
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] メタノール水溶液中でのワイヤー電極の電位検出2011
- 著者名/発表者名
  森永和也, 河合晃
- 学会等名
  電気学会C部門大会講演
- 発表場所
  富山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] X線光電子分光法(XPS)によるSi基板上のシランカップリング処理層の再生評価と制御2011
- 著者名/発表者名
  相場崇、河合晃
- 学会等名
  電気学会C部門大会
- 発表場所
  富山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] 植物の細胞間電位の測定とモニタリング2011
- 著者名/発表者名
  野口悠太、河合晃
- 学会等名
  電気学会C部門大会講演
- 発表場所
  富山大
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Nano- Porous Structure in Polymer Micro Pattern Analyzed by Atomic Force Microscopy(AFM)2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  Nano S&T 2011
- 発表場所
  Dalian, China. Invited
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Nanoscale Topography of Polymer Film Surface in Dry/Wet Conditions2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  Nano S&T 2011(招待講演)
- 発表場所
  Dalian, China
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] X線光電子分光法(XPS)によるSi 基板上のシランカップリング処理層の再生評価と制御2011
- 著者名/発表者名
  相場崇、河合晃
- 学会等名
  電気学会C部門大会講演
- 発表場所
  富山大
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] シート型直接メタノール燃料電池(DMFC)の外部荷重による発電基礎特性2011
- 著者名/発表者名
  桜井洋輔、河合晃
- 学会等名
  電気学会A部門大会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] シート型直接メタノール燃料電池(DMFC)の外部荷重による発電基礎特性2011
- 著者名/発表者名
  桜井洋輔、河合晃
- 学会等名
  電気学会A部門大会講演
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Nano- Porous Structure in Polymer Micro Pattern Analyzed by Atomic2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  Force Microscopy(AFM) Nano S&T 2011
- 発表場所
  Dalian, China
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] 植物の細胞間電位の測定とモニタリング2011
- 著者名/発表者名
  野口悠太, 河合晃
- 学会等名
  電気学会C 部門大会
- 発表場所
  富山大
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] 植物の細胞間電位の測定とモニタリング2011
- 著者名/発表者名
  野口悠太、河合　晃
- 学会等名
  電気学会C部門大会
- 発表場所
  富山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Fluid Control MEMS constructed with Polymer Materials2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  International symposium on materials & processes for advanced giga-bit-scale lithography 2011
- 発表場所
  Chiba, Japan
- 年月日
  2011-06-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] 植物の細胞間電位の測定とモニタリング2011
- 著者名/発表者名
  野口悠太、河合晃
- 学会等名
  電気学会C部門大会
- 発表場所
  富山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Fluid Control MEMS constructed with Polymer Materials2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  International symposium on materials &processes for advanced giga-bit-scale lithography
- 発表場所
  Chiba, Japan. invited.
- 年月日
  2011-06-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Nanoscale Topographyof Polymer Film Surface in Dry/Wet Conditions2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  Nano S&T 2011
- 発表場所
  Dalian, China.
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] 緑葉植物の0～700mVの局所電位測定と解析2011
- 著者名/発表者名
  大谷翔吾、河合晃
- 学会等名
  電気学会A部門大会講演
- 発表場所
  東工大
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] シート型直接メタノール燃料電池(DMFC)の外部荷重による発電基礎特性2011
- 著者名/発表者名
  桜井洋輔、河合　晃
- 学会等名
  電気学会A部門大会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] Nano-Porous Structure in Polymer Micro Pattern Analyzed by Atomic Force Microscopy (AFM)2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  Nano S&T 2011
- 発表場所
  Dalian, China(招待講演)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] X 線光電子分光法(XPS)によるSi 基板上のシランカップリング処理層の再生評価と制御2011
- 著者名/発表者名
  相場崇, 河合晃
- 学会等名
  電気学会C 部門大会講演
- 発表場所
  富山大
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] 緑葉植物の0～ 700mV の局所電位測定と解析2011
- 著者名/発表者名
  大谷翔吾, 河合晃
- 学会等名
  電気学会A 部門大会講演
- 発表場所
  東工大
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] メタノール水溶液中でのワイヤー電極の電位検出2011
- 著者名/発表者名
  森永和也、河合晃
- 学会等名
  電気学会C部門大会講演
- 発表場所
  富山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] メタノール水溶液中でのワイヤー電極の電位検出2011
- 著者名/発表者名
  森永和也、河合晃
- 学会等名
  電気学会C部門大会
- 発表場所
  富山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Nanoscale Topography of Polymer Film Surface in Dry/Wet Conditions2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  Nano S&T 2011
- 発表場所
  Dalian, China(招待講演)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Fluid Control MEMS constructed with Polymer Materials2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  International symposium on materials & processes for advanced giga-bit-scale lithography 2011(招待講演)
- 発表場所
  Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] メタノール水溶液中での高分子膜内の微小電流解析2011
- 著者名/発表者名
  森田直也、河合　晃
- 学会等名
  電気学会A部門大会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] メタノール水溶液中でのワイヤー電極の電位検出2011
- 著者名/発表者名
  森永和也、河合　晃
- 学会等名
  電気学会C部門大会
- 発表場所
  富山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] X線光電子分光法(XPS)によるSi基板上のシランカップリング処理層の再生評価と制御2011
- 著者名/発表者名
  相場崇、河合晃
- 学会等名
  電気学会C部門大会
- 発表場所
  富山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Nanoscale Topography of Polymer Film Surface in Dry/Wet Conditions2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  Nano S&T 2011
- 発表場所
  Dalian, China
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] シート型直接メタノール燃料電池(DMFC)の外部荷重による発電基礎特性2011
- 著者名/発表者名
  桜井洋輔, 河合晃
- 学会等名
  電気学会A 部門大会講演
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] 緑葉植物の0～700mVの局所電位測定と解析2011
- 著者名/発表者名
  大谷翔吾、河合　晃
- 学会等名
  電気学会A部門大会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] メタノール水溶液中での高分子膜内の微小電流解析2011
- 著者名/発表者名
  森田直也, 河合晃
- 学会等名
  電気学会A 部門大会講演
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] 緑葉植物の0～700mVの局所電位測定と解析2011
- 著者名/発表者名
  大谷翔吾、河合晃
- 学会等名
  電気学会A部門大会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Fluid Control MEMS constructed with Polymer Materials2011
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai
- 学会等名
  International symposium on materials & processes for advanced giga-bit-scale lithography 2011
- 発表場所
  Chiba, Japan(招待講演)
- 年月日
  2011-06-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] メタノール水溶液中での高分子膜内の微小電流解析2011
- 著者名/発表者名
  森田直也、河合晃
- 学会等名
  電気学会A部門大会講演
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656235
[学会発表] メタノール水溶液中での高分子膜内の微小電流解析2011
- 著者名/発表者名
  森田直也、河合晃
- 学会等名
  電気学会A部門大会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Analysis of self-standing structure composedby thick resist layers2009
- 著者名/発表者名
  Akihiro Takano, Akira Kawai
- 学会等名
  International symposium on materials & processes for advanced microlithography and nanotechnology 2009
- 発表場所
  Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] Dissolved oxygen concentration (DO) monitoring in deionized water by electrolysis method2009
- 著者名/発表者名
  Akihiro Takano, Akira Kawai
- 学会等名
  ACA2009(the third Asian Conference on Adhesion)
- 発表場所
  Hamamatsu, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] Optical fringe pattern observed on condensed micro water droplets2009
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Tomomi Nishimura, Hiroki Sasazaki
- 学会等名
  ACA2009(the third Asian Conference on Adhesion)
- 発表場所
  Hamamatsu, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] Nanoscale lithograph of Si surface with micro tip depending on surface adsorption water2009
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai, Fumi Nishizaki, Akihiro Takano
- 学会等名
  ACA2009(the third Asian Conference on Adhesion)
- 発表場所
  Hamamatsu, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] Dielectric dispersio analysis of resist laye2009
- 著者名/発表者名
  Hiroki Sasazaki, Takahiro Kato, Akira Kawai, Katsuyoshi Hamasaki
- 学会等名
  International symposium on materials & processes for advanced microlithography and nanotechnology 2009
- 発表場所
  Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] Characterization of photomask substrate in optical lithography2009
- 著者名/発表者名
  Junji Miyazaki, Akira Kawai
- 学会等名
  International symposium on materials & processes for advanced microlithography and nanotechnology 2009
- 発表場所
  Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] Frequency dispersion of dielectric constant of liquid nitrogen2009
- 著者名/発表者名
  Hiroki Sasazaki, Takahiro Kato, Akira Kawai, Katsuyoshi Hamasaki
- 学会等名
  ACA2009(the third Asian Conference on Adhesion)
- 発表場所
  Hamamatsu, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] Analysis of self-standing structure composed by thick resist layers.2009
- 著者名/発表者名
  Akihiro Takano, Akira Kawai
- 学会等名
  International symposium on materials & processes for advanced microlithography and nanotechnology 2009
- 発表場所
  Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] Fabrication of micro-channel network composed with polymer material2009
- 著者名/発表者名
  Akihiro Takano, Akira Kawai
- 学会等名
  ACA2009(the third Asian Conference on Adhesion)
- 発表場所
  Hamamatsu, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] Characterization of photomask substrate in optical lithography2009
- 著者名/発表者名
  Junji Miyazaki, Akira Kawai
- 学会等名
  ACA2009(the third Asian Conference on Adhesion)
- 発表場所
  Hamamatsu, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] Trap control of micro bubbles on patterned wall surface2009
- 著者名/発表者名
  Hiroki Sasazaki, Akira Kawai
- 学会等名
  ACA2009(the third Asian Conference on Adhesion)
- 発表場所
  Hamamatsu
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] アニール処理中のシリコン基板の表面酸化抑制2008
- 著者名/発表者名
  河合晃, エクスリヤペットプーチヤイ
- 学会等名
  平成20年度(第18回)電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  新潟大学
- 年月日
  2008-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 静電容量測定による液体窒素の誘電率の周波数分散特性2008
- 著者名/発表者名
  笹崎大生, 加藤孝弘, 河合晃, 濱崎勝義
- 学会等名
  平成20年度(第18回)電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  新潟大学
- 年月日
  2008-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] マスクシフト型異方性エッチングによるSi(100)面の真円加工2008
- 著者名/発表者名
  山路貴司、河合晃
- 学会等名
  平成20年度(第18回)電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  新潟大学
- 年月日
  2008-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] バブル法による液中ガス溶解度解析2008
- 著者名/発表者名
  田中大祐、河合晃
- 学会等名
  平成20年度(第18回)電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  新潟大学
- 年月日
  2008-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 純水中のイオン電流測定による溶存酸素濃度モニタリング2008
- 著者名/発表者名
  高野覚啓、河合晃
- 学会等名
  平成20年度(第18回)電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  新潟大学
- 年月日
  2008-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] エクスリヤペットプーチャイ、アニール処理中のシリコン基板の表面酸化抑制2008
- 著者名/発表者名
  河合晃
- 学会等名
  平成20年度(第18回)電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  新潟大学
- 年月日
  2008-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 局所電界印加法による基板上に付着した10.3μmφシリカ粒子の非接触除去2007
- 著者名/発表者名
  久保田陽満、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 自己振動プローブ機構を用いた地震振動スペクトルの新規検出システムの開発2007
- 著者名/発表者名
  黒田真吾、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 原子間力顕微鏡(AFM)によるナノバブルの付着凝集解析2007
- 著者名/発表者名
  河合晃、倉野一俊、鈴木健太
- 学会等名
  日本接着学会第45回年次大会
- 発表場所
  東京大学
- 年月日
  2007-06-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] シード層によるCuメッキ薄膜の成長促進メカニズム2007
- 著者名/発表者名
  田中竜太郎、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 試作した縮小投影露光装置を用いた3μmルールリソグラフィー技術の開発2007
- 著者名/発表者名
  田中大祐、山中雅貴、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- 年月日
  2007-11-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 環境制御型走査電子顕微鏡(ESEM)を用いた直系10μm微粒子間のメニスカス操作による再配列技術の開発2007
- 著者名/発表者名
  倉野一俊、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 自己振動プローブ機構を用いた地震振動スペクトルの新規検出システムの開発2007
- 著者名/発表者名
  黒田真吾、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- 年月日
  2007-11-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 微小液滴の冷却過程とカプセル化2007
- 著者名/発表者名
  倉野一俊、河合晃
- 学会等名
  日本接着学会第45回年次大会、講演予稿集
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 液中動作MEMSデバイス内の微細パターン構造の破壊抑制2007
- 著者名/発表者名
  倉野一俊、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 原子間力顕微鏡(AFM)によるナノバブルの付着凝集解析2007
- 著者名/発表者名
  河合晃、倉野一俊、鈴木健太
- 学会等名
  日本接着学会第45回年次大会、講演予稿集
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 微小液滴の冷却過程とカプセル化2007
- 著者名/発表者名
  倉野一俊、河合晃
- 学会等名
  日本接着学会第45回年次大会
- 発表場所
  東京大学
- 年月日
  2007-06-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 擬似欠陥マスクを用いたSi異方性エッチング形状異常の発生メカニズム2007
- 著者名/発表者名
  黒田真吾、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- 年月日
  2007-11-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 10.3μmΦシリカ粒子表面への銅薄膜メッキ技術の開発2007
- 著者名/発表者名
  久保田陽満、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- 年月日
  2007-11-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] Bubbles condensed at resist/water interface analyzed by atomic force microscopy2007
- 著者名/発表者名
  Akira Kawai and Kenta Suzuki
- 学会等名
  International symposium on materials & processes for advanced microlithography and nanotechnology 2006
- 発表場所
  Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 10.3μmφシリカ粒子表面への銅薄膜メッキ技術の開発2007
- 著者名/発表者名
  久保田陽満、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 10nm以下の極近接領域で作用する固体の引力と変位解析2007
- 著者名/発表者名
  山路貴司、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 液中動作MEMSデバイス内の微細パターン構造の破壊抑制2007
- 著者名/発表者名
  倉野一俊、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- 年月日
  2007-11-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 10nm以下の極近接領域で作用する固体の引力と変位解析2007
- 著者名/発表者名
  山路貴司、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- 年月日
  2007-11-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 試作した縮小投影露光装置を用いた3μmルールリソグラフィー技術の開発2007
- 著者名/発表者名
  田中大祐, 山中雅貴、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 局所電界印加法による基板上に付着した10.3μmΦシリカ粒子の非接触除去2007
- 著者名/発表者名
  久保田陽満、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- 年月日
  2007-11-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 擬似欠陥マスクを用いたSi異方性エッチング形状異常の発生メカニズム2007
- 著者名/発表者名
  黒田真吾、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] シード層によるCuメッキ薄膜の成長促進メカニズム2007
- 著者名/発表者名
  田中竜太郎、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- 年月日
  2007-11-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] 環境制御型走査電子顕微鏡(ESEM)を用いた直系10μm微粒子間のメニスカス操作による再配列技術の開発2007
- 著者名/発表者名
  倉野一俊、河合晃
- 学会等名
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- 発表場所
  長岡技術科学大学
- 年月日
  2007-11-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360157
[学会発表] C-V 測定を用いた誘電膜の特性評価
- 著者名/発表者名
  篠崎雅也, 河合晃
- 学会等名
  平成25年度(第23回)電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Peeling Force of Polymer Micro Pattern by Direct Peeling by using AFM Tip (DPAT)
- 著者名/発表者名
  Takashi Aiba, Akira Kawai
- 学会等名
  The Electrochemical Society, Abstract #68, Honolulu PRiME
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] リソグラフィプロセスを用いた燃料電池用電解質のマイクロパターン形成, I-13
- 著者名/発表者名
  桜井, 河合
- 学会等名
  平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Single chip micro direct methanol fuel cell (SC-μDMFC) fabricated by MEMS Process
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Daisuke Tanaka, Shunsuke Ohata, Akira Kawai
- 学会等名
  IEEE ポスターセッション平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Photoresist/Pt Electrode/Perflurosulfonic Acid (PFSA) Multilayer Structure for Single Chip Micro Direct Methanol Fuel Cell (SC- μ DMFC)
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Daisuke Tanaka, Shunsuke Ohata, Akira Kawai
- 学会等名
  26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2013)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] 摩擦蓄電エネルギーの民生機器の実用化の検討
- 著者名/発表者名
  窪田直也, 河合晃
- 学会等名
  平成24年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Single Chip Micro Direct Methanol Fuel Cell (SC-μDMFC) composed with Multilayer Structure
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Daisuke Tanaka, Shunsuke Ohata, Akira Kawai
- 学会等名
  電気学会センサ・マイクロマシン部門第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 5PM3-PSS-119
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Stress Durability of Electrolyte Structure in Flexible Sheet type Direct Methanol Fuel Cell (FS-DMFC)
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Akira Kawai
- 学会等名
  The Electrochemical Society, Abstract #59, Honolulu PRiME
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] マイクロヒータ/チャネルデバイスの局所加熱特性
- 著者名/発表者名
  野口, 河合
- 学会等名
  (第23回)電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Surface energy analysis of Indium Tin Oxide (ITO) thin films on annealing treatment
- 著者名/発表者名
  Shun Kamada, Akira Kawai
- 学会等名
  平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会, IEEE-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Bio-plant power collecting system by functional electrode
- 著者名/発表者名
  大谷翔吾, 河合晃
- 学会等名
  電気学会センサ・マイクロマシン部門大会第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Fabrication of Micro Tube Array by Combining Positive with Negative Photoresist due to Solubility Difference in Developer
- 著者名/発表者名
  Kazutoshi Otsuka, Kenta Takahashi, Akira Kawai
- 学会等名
  電気学会センサ・マイクロマシン部門, 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Micro Pattern Fabrication of Perflurosulfonic Acid (PFSA) Film by CF4 RIE Process
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Kenta Takahashi, Akira Kawai
- 学会等名
  26thInternational Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2013)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] A SU-8 Photoresist Film as Electrical Stable Layer in Liquid Environment MP-11
- 著者名/発表者名
  Yuta Noguchi, Akira Kawai
- 学会等名
  The 2nd International GIGAKU Conference in Nagaoka
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Monitoring and Modeling for Response Time of Biopotential in Plant Cells
- 著者名/発表者名
  Yuta Noguchi, Akira Kawai
- 学会等名
  The Electrochemical Society, Abstract #69, Honolulu PRiME
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] 植物電位・電流シグナルにおける測定部位の検討
- 著者名/発表者名
  大谷翔吾, 河合晃
- 学会等名
  平成25年度電気学会東京支部新潟支所発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Effect of Mechanical Stress on Electrolyte Film for Flexible Sheet Type Direct Methanol Fuel Cell
- 著者名/発表者名
  Yosuke Sakurai, Akira Kawai
- 学会等名
  The 2ndInternational GIGAKU Conference in Nagaoka (2nd IGCN)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] 植物電位と表面温度の多点測定による緑葉植物の育成観察
- 著者名/発表者名
  大谷翔梧, 河合晃
- 学会等名
  平成24年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] 紫外線照射による酸化チタン膜表面の活性化
- 著者名/発表者名
  鎌田隼, 河合晃
- 学会等名
  平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] Micro local heating system integrated with surround microfluidic channel
- 著者名/発表者名
  Yuta Noguchi, Akira Kawai
- 学会等名
  電気学会センサ・マイクロマシン部門第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 6PM3-PSS-128
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] 紫外線照射により活性化された二酸化チタン膜における表面エネルギーの解析
- 著者名/発表者名
  鎌田隼, 河合晃
- 学会等名
  電気学会センサ・マイクロマシン部門大会第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] SU-8 フォトレジストの人工皮膚材料としての検討
- 著者名/発表者名
  大塚和俊, 河合晃
- 学会等名
  平成24年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150
[学会発表] ポジ型およびネガ型フォトレジストの溶解度の差を用いたマイクロチューブの作製, I-14
- 著者名/発表者名
  大塚, 高橋, 河合
- 学会等名
  平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360150

1. 加藤有行 (10303190)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
2. 木村宗弘 (20242456)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
3. 進藤怜史 (90826223)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
4. 高田雅介 (20107551)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. ヒューブレヒツベン (60251849)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 田中久仁彦 (30334692)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

河合 晃 Kawai Akira

研究課題

研究成果

共同研究者

液中浮遊型球状マイクロ燃料電池による血栓抑制システムの創製研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

高分子ナノ集合体の自己整合配列に基づく３次元ナノ構造の創成研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

カプセル型マイクロ燃料電池の創製と微小凝集体の自己分散制御研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

１５ｎｍゲートパターンのラインエッジラフネス（ＬＥＲ）抑制技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

植物内へのpH制御デバイス挿入による新規成長促進システムの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノスケールで制御された凝集構造を有する25nmサイズの微細レジストパターン開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

微細凹凸構造での微小気泡の吸着・脱離制御に基づく新規メモリデバイスの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高分子集合体間の相互作用力制御に基づいた35nmサイズの微細レジストパターン開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

原子間力顕微鏡の微細探針を用いた100nm以下のレジストパターンの付着凝集解析研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

0.3μm以下の微細レジストパターンの接着破壊機構に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超微細サイズにおける誘電体薄膜の誘電メカニズム解析研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

セラミック半導体のトラップ準位の検出と評価

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

河合晃 Kawai Akira

[図書] シランカップリング剤の使いこなしノウハウ集2016

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