堀内敏行 Horiuchi Toshiyuki

研究者番号	00297582
その他のID
所属 (現在)	2026年度: 東京電機大学, 工学部, 研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2018年度 – 2022年度: 東京電機大学, 工学部, 研究員 2014年度 – 2017年度: 東京電機大学, 工学部, 教授 2005年度 – 2006年度: 東京電機大学, 工学部, 教授 1999年度 – 2000年度: 東京電機大学, 工学部・精密機械工学科, 教授
審査区分/研究分野	研究代表者ナノマイクロシステム / 小区分28050:ナノマイクロシステム関連 / 応用光学・量子光工学 / 応用光学・量子光工学
キーワード	研究代表者リソグラフィ / 投影露光 / 光リソグラフィ / 大パターン / scan exposure / projection exposure / optical lithography / 円柱面露光 / マイクロ部品 / 放物面ミラー … もっと見る / 立体面 / 投影像 / 一方向照明 / コリメート照明 / マジックミラー / 放物面鏡 / ヘルスモニタ / 曲面リソグラフィ / 回転放物面ミラー / 立体面投影露光 / デフォーカス投影露光 / 断面形状制御 / レジスト / 2画面切り替え / デフォーカス制御 / レンズアレイ / マイクロレンズ / 側壁制御 / 厚膜レジスト / デフォーカス / レンチキュラーレンズ / マイクロレンズアレイ / inner-surface lithography / micro-coil / exposure on pipe surface / exposure on cylindrical surface / axially symmetrical specimen / 露光 / 側表面 / 回転エンコーダ / 内面露光 / マイクロコイル / 走査露光 / 円筒面露光 / 軸対称回転体 / dose uniformity / pattern stitching / gradation field stitching / field stitching / gradation stitching / 露光フィールド / 露光均一性 / パタン接続 / ぼかしフィールド接続 / フィールド接続 / ぼかし接続 / スキャン露光 / 電解エッチング / 偏心補正 / 円柱面へのリソグラフィ / 円柱面投影露光装置 / SUS304 / 金属管 / レーザ走査露光装置 / 同期走査投影露光装置 / マルチスリット管 / ステント / ウェットエッチング / ステンレス管 / レーザ走査露光 / 同期走査回転投影露光隠す

リソグラフィ用立体面投影露光技術の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀内敏行
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分28050:ナノマイクロシステム関連
- 研究機関
  東京電機大学
厚膜レジストパターンの断面形状制御を利用したマイクロレンズアレイ製作技術の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀内敏行
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  ナノマイクロシステム
- 研究機関
  東京電機大学
小径円筒面への光リソグラフィを応用した医用・バイオ用マイクロ部品製作技術の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀内敏行
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  ナノマイクロシステム
- 研究機関
  東京電機大学
軸対称回転体の側表面上への光リソグラフィ技術に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀内敏行
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  東京電機大学
フィールドをぼかし接続する投影露光リソグラフィ技術の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀内敏行
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  東京電機大学

すべて 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2006 2005 その他

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] Demonstration of stereophonic projection lithography using parabolic mirror optics and collimated illumination from one side2023
- 著者名/発表者名
  Horiuchi Toshiyuki、Iwasaki Jun-ya、Kobayashi Hiroshi
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 62 号: SG ページ: SG1026-SG1026
- DOI
  10.35848/1347-4065/acbbd7
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[雑誌論文] Feasibility of stereophonic projection lithography applying a parabolic magic mirror system2022
- 著者名/発表者名
  Horiuchi Toshiyuki、Kobayashi Hiroshi
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 61 号: SD ページ: SD1042-SD1042
- DOI
  10.35848/1347-4065/ac5e4c
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[雑誌論文] Patterning-Area Expansion of Parabolic-Mirror Projection Optics for Lithography Using One-Sided and Collimated Illumination2022
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi、Jun-ya Iwasaki、Hiroshi Kobayashi
- 雑誌名
  
  IOSR Journal of Applied PHysics
  
  巻: 14(5)Series-2 ページ: 12-20
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[雑誌論文] Stereophonic projection lithography using parabolic mirrors2021
- 著者名/発表者名
  Horiuchi Toshiyuki、Kobayashi Hiroshi
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE
  
  巻: 11908 ページ: 2-2
- DOI
  10.1117/12.2597232
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[雑誌論文] Two-layer resist process for printing thick patterns by exploiting a maskless projection exposure system using a liquid-crystal-display panel2020
- 著者名/発表者名
  Horiuchi Toshiyuki、Okiyama Hayato、Sato Ryuta、Kobayashi Hiroshi
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 59 号: SI ページ: SIIA01-SIIA01
- DOI
  10.35848/1347-4065/ab7438
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[雑誌論文] Performances of Fine-Pitch Lenticular Lens Arrays Fabricated Using Semi-Cylindrical Resist Patterns2019
- 著者名/発表者名
  Horiuchi Toshiyuki、Kurata Maiko、Miyazawa Satoshi、Yanagida Akira、Kobayashi Hiroshi
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 32 号: 1 ページ: 67-72
- DOI
  10.2494/photopolymer.32.67
- NAID
  130007744323
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2019-06-24
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[雑誌論文] Fabrication of a Stent-Like Complicated Structure Using Synchronized Scan Rotation Lithography and Wet Chemical Etching2019
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Kaiki Ito, Yuhta Suzuki, Akira Yanagida and Hiroshi Kobayashi
- 雑誌名
  
  Proceedings of ASPEN2019, 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
  
  巻: なし
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[雑誌論文] Application of projection lithography using a gradient-index lens array and wet etching to texturing for control of the hydrophobic properties of stainless-steel plates2019
- 著者名/発表者名
  Horiuchi Toshiyuki、Kazama Yuta、Yoshida Hiroya、Yanagida Akira、Kobayashi Hiroshi
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 58 号: SD ページ: SDDA01-SDDA01
- DOI
  10.7567/1347-4065/ab0543
- NAID
  210000155917
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[雑誌論文] Improvement of Hydrophobic Property of Stainless-Steel Plates by Forming Lens-Like Protrusions Similar to Oxalis Leaf Surfaces2019
- 著者名/発表者名
  Horiuchi Toshiyuki、Imon Yoshie、Sumimoto Kazuya、Yanagida Akira、Kobayashi Hiroshi
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 813 ページ: 19-24
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.813.19
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[雑誌論文] Effectiveness of fine-pitch lenticular lens arrays fabricated using projection lithography for improving resolution and clearness in switching of two pictures2018
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Maiko Kurata, Satoshi Miyazawa, Yuta Morizane
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE
  
  巻: 10675 ページ: 24-24
- DOI
  10.1117/12.2305690
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[雑誌論文] Evaluation of resist molds formed for fabricating micro-lens arrays and practicability of replicated epoxy resin lenses2018
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Noa Kobayashi, Ryunosuke Sasaki
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE
  
  巻: 10587 ページ: 58-58
- DOI
  10.1117/12.2307043
- オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[雑誌論文] Printing of Lenticular Lens Patterns Using Defocused Projection Lithography2018
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Kobayashi, Yuta Morizane, and Toshiyuki Horiuchi
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 31 ページ: 45-50
- NAID
  130007481447
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[雑誌論文] Measurement of Diffusion Coefficients by Observing Mixing of Two Liquids Simultaneously Injected in a Micro-Mixer2018
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Yuta Morizane
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌．　Ａ
  
  巻: 138 号: 5 ページ: 173-179
- DOI
  10.1541/ieejfms.138.173
- NAID
  130006730665
- ISSN
  0385-4205, 1347-5533
- 年月日
  2018-05-01
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[雑誌論文] Synchronous scan-projection lithography on overall circumference of fine pipes with a diameter of 2 mm2016
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Takahiro Furuhata, and Hideyuki Muro
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 55
- NAID
  210000146693
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390040
[雑誌論文] Synchronous Scan-Projection Lithography for Fabricating Cylindrical Micro-Parts2016
- 著者名/発表者名
  Kaiki Ito, Yuta Suzuki, and Toshiyuki Horiuchi
- 雑誌名
  
  Proc. of SPIE
  
  巻: 9984 ページ: 99840I-99840I
- DOI
  10.1117/12.2240273
- 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390040
[雑誌論文] Laser-Scan Lithography onto Ultra-Fine Pipes 100 μm in diameter2016
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Takahashi, Tomoya Sagara, and Toshiyuki Horiuchi
- 雑誌名
  
  Proc. of SPIE
  
  巻: 9984 ページ: 99840J-99840J
- DOI
  10.1117/12.2240158
- 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390040
[雑誌論文] Lithography onto Surfaces of Fine-Diameter Pipes Using Rotary Scan-Projection Exposure2015
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Hayato Fujii, and Kahori Yasunaga
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 28 ページ: 273-278
- NAID
  130005093857
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390040
[雑誌論文] Fabrication of micro-coils using laser scan lithography on copper pipes2006
- 著者名/発表者名
  Yoshihisa Kaneko, Kohei Hashimoto, Toshiyuki Horiuchi
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering Vol.83
  
  ページ: 1249-1252
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560036
[雑誌論文] Projection lithography onto overall cylindrical surfaces2006
- 著者名/発表者名
  Kohei Hashimoto, Yoshihisa Kaneko, Toshiyuki Horiuchi
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering Vol.83
  
  ページ: 1312-1315
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560036
[雑誌論文] Fabrication of micro-coils using laser scan lithography on copper pipes2006
- 著者名/発表者名
  Yoshihisa Kaneko, Kohei Hashimoto, Toshiyuki Horiuchi
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering 83
  
  ページ: 1249-1252
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560036
[雑誌論文] Projection lithography onto overall cylindrical surfaces2006
- 著者名/発表者名
  Kohei Hashimoto, Yoshihisa Kaneko, Toshiyuki Horiuchi
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering 83
  
  ページ: 1312-1315
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560036
[雑誌論文] Projection Lithography onto Overall Cylindrical Surfaces2005
- 著者名/発表者名
  Kohei Hashimoto, Yoshihisa Kaneko, Toshiyuki Horiuchi
- 雑誌名
  
  31^<st> International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2005
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560036
[雑誌論文] Fabrication of Micro Coils Using Laser Scan Lithography on Copper Pipes2005
- 著者名/発表者名
  Yoshihisa Kaneko, Kohei Hashimoto, Toshiyuki Horiuchi
- 雑誌名
  
  31^<st> International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2005
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560036
[産業財産権] 立体面投影露光装置2022
- 発明者名
  堀内敏行
- 権利者名
  堀内敏行
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2022-130281
- 出願年月日
  2022
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[産業財産権] 内面露光装置および内面露光方法2006
- 発明者名
  堀内敏行, 藤田克行, 安田喬
- 権利者名
  東京電機大学
- 出願年月日
  2006-12-25
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560036
[産業財産権] 特許(PCT)2006
- 発明者名
  堀内敏行, 藤田克行, 安田喬
- 権利者名
  学校法人東京電機大学
- 出願年月日
  2006-12-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560036
[産業財産権] 特許出願2006
- 発明者名
  堀内敏行, 藤田克行, 安田喬
- 権利者名
  東京電機大学
- 産業財産権番号
  2006-034413
- 出願年月日
  2006-01-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560036
[学会発表] 平面レチクルを用いた対向放物面ミラー立体投影露光の可能性2023
- 著者名/発表者名
  堀内敏行，小林宏史
- 学会等名
  第70回応用物理学会春季学術講演会, 講演予稿集 15a-D209-5, 06-005
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[学会発表] Situation of Stereophonic Lithography Using Parabolic Mirrors, Abstract p.592023
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Jun-ya Iwasaki, Hiroshi Kobayashi
- 学会等名
  Photomask Japan 2023, The 29th Symposium on Photomask and NGL Mask Technology, p. 59
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[学会発表] 一方向照明の適用による放物面鏡投影露光レジストパターンの改善2022
- 著者名/発表者名
  堀内敏行, 小林宏史
- 学会等名
  第69回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[学会発表] Stereophonic Lithography Using a Parabolic Mirror Projection System and One-sided Illumination2022
- 著者名/発表者名
  T. Horiuchi, J. Iwasaki, and H. Kobayashi
- 学会等名
  ODF’22 (Sapporo, Japan), Technical Digest, OThA4A-03
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[学会発表] 青色発光ダイオードでコリメート照明した対向放物面鏡立体投影リソグラフィによるスプーン面へのパターン形成の実証2022
- 著者名/発表者名
  堀内敏行，小林宏史
- 学会等名
  第83回応用物理学会秋季学術講演会, 講演予稿集 20a-C101-4, 06-004
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[学会発表] PERFORMANCES OF STEREOPHONIC PROJECTION LITHOGRAPHY USING A PARABOLLIC MIRROR SET ILLUMINATED BY COLLIMATED LIGHT2022
- 著者名/発表者名
  T. Horiuchi, J. Iwasaki, H. Kobayashi
- 学会等名
  35th Int. Microprocesses and Nonotechnol. Conf, (Tokushima, Japan), 11P-4-1
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[学会発表] 透過原図物体を用いた対向放物面ミラー立体投影露光の検討2021
- 著者名/発表者名
  堀内敏行, 小林宏史
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[学会発表] Stereophonic Projection Exposure Using a Pair of Parabolic Mirrors2021
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi and Hiroshi Kobayashi
- 学会等名
  Photomask Japan 2021, The 27th Symposium on Photomask and NGL Mask Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[学会発表] 放物面ミラーを用いた立体リソグラフィ投影露光光学系の検討2021
- 著者名/発表者名
  堀内敏行, 小林宏史
- 学会等名
  令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[学会発表] INVESTIGATION OF PROJECTION EXPOSURE SYSTEM USING A PAIR OF PARABOLIC MIRRORS2021
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi and Hiroshi Kobayashi
- 学会等名
  MNC 2021, 34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[学会発表] 対向放物面ミラープロトタイプ露光装置を用いたレジストパターン形成の実証2021
- 著者名/発表者名
  堀内敏行, 小林宏史
- 学会等名
  第82回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[学会発表] 一列アレイを積層した正方形断面光ファイバマトリックスの露光特性2020
- 著者名/発表者名
  堀内敏行，渡辺潤, 岩崎順哉, 小林宏史
- 学会等名
  第67回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] マジックミラー光学系を用いた立体面投影露光リソグラフィの基礎検討2020
- 著者名/発表者名
  堀内敏行, 小林宏史
- 学会等名
  第81回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[学会発表] Improvement of Hydrophobic Property of Stainless Steel Plates by Forming Lens-Like Protrusions similar to Oxalis Leaf Surfaces2019
- 著者名/発表者名
  Horiuchi Toshiyuki, Imon Yoshie, Sumimoto Kazuya, Yanagida Akira, Kobayashi Hiroshi
- 学会等名
  33rd Conference on Surface Modification Technologies 26-28 June, 2019 Naples, Italy
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] 液晶投影露光により短波長厚膜レジストパターンを形成する二層レジストプロセス2019
- 著者名/発表者名
  堀内敏行, 沖山隼人, 佐藤龍太, 小林宏史
- 学会等名
  電気学会光応用・視覚研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] レンズ状突起の形成によるステンレス鋼板の撥水性向上2019
- 著者名/発表者名
  堀内敏行,井門芳恵, 住本和弥, 柳田明, 小林宏史
- 学会等名
  第80回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] 小径ステンレス管表面への網目パターンの均一形成2019
- 著者名/発表者名
  堀内敏行, 伊藤海樹, 小林宏史
- 学会等名
  2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] Two-Layer Resist Process to Print Thick Patterns by Exploiting Matrix Projection Exposure Using a Liquid-Crystal Display Panel2019
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Hayato Okiyama, Ryuta Sato, and Hiroshi Kobayashi
- 学会等名
  MNC 2019, 32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] 屈折率分布型レンズアレイによる大面積均一投影露光2019
- 著者名/発表者名
  堀内敏行, 風間裕太, 吉田寛弥, 井門芳恵, 住本和弥, 柳田明, 小林宏史
- 学会等名
  令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] Fabrication of a Stent-Like Complicated Structure Using Synchronized Scan Rotation Lithography and Wet Chemical Etching2019
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Kaiki Ito, Yuhta Suzuki, Akira Yanagida and Hiroshi Kobayashi
- 学会等名
  ASPEN 2019, 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] Effectiveness of fine-pitch lenticular lens arrays fabricated using projection lithography for improving resolution and clearness in switching of two pictures2018
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Maiko Kurata, Satoshi Miyazawa, Yuta Morizane
- 学会等名
  SPIE Photonics Europe 2018, Strasbourg, France
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] 凹面レジストパターン形成リソグラフィを用いて製作したマイクロレンズアレイの評価2018
- 著者名/発表者名
  堀内敏行, 小林野歩, 笹木龍之介
- 学会等名
  応用物理学会次世代リソグラフィ技術研究会次世代リソグラフィワークショップ予稿集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] Effectiveness of fine-pitch lenticular lens arrays fabricated using projection lithography for improving resolution and clearness in switching of two pictures2018
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Maiko Kurata, Satoshi Miyazawa, Yuta Morizane
- 学会等名
  SPIE Photonics Europe, Strasbourg, France
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] Applications of photopolymer resists to direct fabrication of three-dimensional micro-structures2018
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Noa Kobayashi, Yuta Morizane, Ryunosuke Sasaki, Maiko Kurata, Satoshi Miyazawa, Kouta Shimizu, Hiroshi Kobayashi, Akira Yanagida
- 学会等名
  Polymer World Congress 2018, Stockholm, Sweden
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] Application of Projection Exposure Using a Gradient Index Lens Array and Wet Etching to Texturing and Hydrophobic-Property Control of Stainless-Steel Plates2018
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Yuta Kazama, Hiroya Yoshida, Akira Yanagida, and Hiroshi Kobayashi
- 学会等名
  MNC 2018, 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Sapporo, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] Evaluation of resist molds formed for fabricating micro-lens arrays and practicability of replicated epoxy resin lenses2018
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Noa Kobayashi, Ryunosuke Sasaki
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography, 2018, San Jose, California, United States
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] Laser-Scan Lithography and Electrolytic Etching of Fine Pipes with a Diameter of 100 μm2017
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Takahashi, Tomoya Sagara, and Toshiyuki Horiuchi
- 学会等名
  Photomask Japan 2016, The 24th Symposium on Photomask and NGL Mask Technology
- 発表場所
  パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
- 年月日
  2017-04-06
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390040
[学会発表] Fabrication of Cylindrical Micro-Parts Using Synchronous Scan-Projection Lithography and Chemical Etching2017
- 著者名/発表者名
  Kaiki Ito, Yuhta Suzuki, and Toshiyuki Horiuchi
- 学会等名
  Photomask Japan 2016, The 24th Symposium on Photomask and NGL Mask Technology
- 発表場所
  パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
- 年月日
  2017-04-06
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390040
[学会発表] マイクロレンズアレイ製作用凹面レジストパターンの曲率半径の測定2017
- 著者名/発表者名
  堀内敏行, 笹木龍之介, 小林野歩
- 学会等名
  電気学会計測研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05021
[学会発表] Laser-Scan Lithography onto Ultra-Fine Pipes 100 μm in diameter2016
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Takahashi, Tomoya Sagara, and Toshiyuki Horiuchi
- 学会等名
  Photomask Japan 2016, The 23rd Symposium on Photomask and NGL Mask Technology
- 発表場所
  パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
- 年月日
  2016-04-06
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390040
[学会発表] 同期走査投影露光と化学エッチングによるマイクロ円筒部品の製作2016
- 著者名/発表者名
  伊藤海樹, 鈴木佑汰, 堀内敏行
- 学会等名
  2016年度第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
- 年月日
  2016-09-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390040
[学会発表] Synchronous Scan-Projection Lithography for Fabricating Cylindrical Micro-Parts2016
- 著者名/発表者名
  Kaiki Ito, Yuhta Suzuki, and Toshiyuki Horiuchi
- 学会等名
  Photomask Japan 2016, The 23rd Symposium on Photomask and NGL Mask Technology
- 発表場所
  パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
- 年月日
  2016-04-06
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390040
[学会発表] 外径100μmのステンレス微細管へのマルチスリット形状電解エッチング2016
- 著者名/発表者名
  髙橋宏志, 相良友也, 堀内敏行
- 学会等名
  2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  茨城大学(茨城県水戸市)
- 年月日
  2016-08-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390040
[学会発表] Scan-Projection Lithography onto Overall Circumferences of Small-diameter Pipes2015
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Takahiro Furuhata and Hideyuki Muro, 12P-7-104, 2015.11.10.
- 学会等名
  MNC 2015, 28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 発表場所
  富山国際会議場(富山県富山市)
- 年月日
  2015-11-10
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390040
[学会発表] 小径管内面へのパターン形成と内面パターンの非破壊観察2015
- 著者名/発表者名
  堀内敏行, 木村のぞみ
- 学会等名
  電気学会光応用・視覚、計測合同研究会, LAV-15-2, IM-15-2, pp. 5-9.
- 発表場所
  徳島県徳島市内ホテル千秋閣
- 年月日
  2015-02-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390040
[学会発表] Patterning of Multi-slits on Pipes for Developing Fine Diameter Stents
- 著者名/発表者名
  Toshiyuki Horiuchi, Hiroshi Sakabe, and Hiroshi Kobayashi
- 学会等名
  BIODEVICES 2015, Proceedings, pp. 103-108, 査読有
- 発表場所
  Lisbon, Portugal
- 年月日
  2015-01-12 – 2015-01-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390040

1. 小林宏史 (80838855)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 16件
2. 伊藤海樹

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
3. 高橋宏志

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
4. 木村のぞみ

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
5. 鈴木佑汰

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
6. 古旗貴大

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
7. 室秀幸

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
8. 相良友也

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
9. 藤井勇人

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
10. 安永かほり

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件

堀内 敏行 Horiuchi Toshiyuki

研究課題

研究成果

共同研究者

リソグラフィ用立体面投影露光技術の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

厚膜レジストパターンの断面形状制御を利用したマイクロレンズアレイ製作技術の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

小径円筒面への光リソグラフィを応用した医用・バイオ用マイクロ部品製作技術の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

軸対称回転体の側表面上への光リソグラフィ技術に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

フィールドをぼかし接続する投影露光リソグラフィ技術の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Demonstration of stereophonic projection lithography using parabolic mirror optics and collimated illumination from one side2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Feasibility of stereophonic projection lithography applying a parabolic magic mirror system2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Patterning-Area Expansion of Parabolic-Mirror Projection Optics for Lithography Using One-Sided and Collimated Illumination2022

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Stereophonic projection lithography using parabolic mirrors2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Two-layer resist process for printing thick patterns by exploiting a maskless projection exposure system using a liquid-crystal-display panel2020

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Performances of Fine-Pitch Lenticular Lens Arrays Fabricated Using Semi-Cylindrical Resist Patterns2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Fabrication of a Stent-Like Complicated Structure Using Synchronized Scan Rotation Lithography and Wet Chemical Etching2019

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Application of projection lithography using a gradient-index lens array and wet etching to texturing for control of the hydrophobic properties of stainless-steel plates2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] Improvement of Hydrophobic Property of Stainless-Steel Plates by Forming Lens-Like Protrusions Similar to Oxalis Leaf Surfaces2019

著者名/発表者名

雑誌名

堀内敏行 Horiuchi Toshiyuki