畝田道雄 Uneda Michio

研究者番号	00298324
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 岐阜大学, 工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2017年度 – 2023年度: 金沢工業大学, 工学部, 教授 2013年度 – 2015年度: 金沢工業大学, 工学部, 教授 2007年度 – 2010年度: 金沢工業大学, 工学部, 准教授 2006年度: 金沢工業大学, 工学部, 助教授 2003年度 – 2005年度: 金沢工業大学, 工学部, 講師 1998年度 – 1999年度: 金沢工業大学, 工学部, 助手
審査区分/研究分野	研究代表者生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / 機械材料・材料力学 / 機械工作・生産工学研究代表者以外生産工学・加工学 / 設計工学・機械機能要素・トライボロジー / 機械工作・生産工学
キーワード	研究代表者 CMP / 研磨・CMP / 超精密加工 / 振動応用 / 最終仕上げ工程 / データドリブン / 革新的ロボット研磨技術 / AI融合最適化 / モデルベースシミュレーション / 表面改質 … もっと見る / 高能率 / ナノバブル / プラズマガス / SiC基板 / 研磨レート / 電界印加 / 研磨条件 / 研磨能率 / スラリー流れ場 / サファイア / 遺伝的アルゴリズム / 最適化 / 形状創成 / 研磨 / 高平坦化 / 大口径ワーク / 揺動制御 / ラッピング / 外周刃 / 材料加工・処理 / 機械工作・生産工学 / 超音波探傷試験 / 高分解能位置標定 / 音響探査 / MUSIC / ミストエアー流速 / ミスト加工液 / スライシング / 硬脆材料 / 高速度カメラ / 外周刃ブレード / エアミスト加工液 … もっと見る研究代表者以外評価・設計法 / 3次元形状分析と設計 / AI / 作刀 / 設計法 / 作刀評価 / 3次元設計 / AI分析 / 可視化 / 設計・評価法 / 美 / 日本刀 / 超押し込み試験 / SiC, GaN, ダイヤモンド / PCVM / TEM / 超押し込み実験 / SiC, GaN, ﾀﾞｲﾔﾓﾝﾄﾞ / フェムト秒(Fs)レーザ / 融合加工装置 / 超難加工結晶 / 加工レート / 疑似ラジカル / 超難加工材料 / 疑似ラジカル場 / P-CVM / CMP / フェムト秒レーザ / 難加工材料 / 表面粗さ / 加工効率 / プラズマ融合CMP / Diamond pellets / High precision lapping / Material machining / Mechanical machining / ダイヤモンドペレット / 精密研磨 / 材料加工・処理 / 機械工作・生産工学 / Hard and brittle material / Semiconductor material / Wire tool / Cutting / Slicing / Grinding / ダイヤモンド砥粒 / マルチワイヤソー / 硬脆材料 / 半導体材料 / ワイヤ工具 / 切断 / スライシング / 研削 / 工具寿命 / 高能率 / 振動 / 外周刃 / 砥粒加工 / 切断加工 / 複合材料 / 切削・研削加工隠す

モデルベースシミュレーションとAI融合最適化に基づく革新的ロボット研磨技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  畝田道雄
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  金沢工業大学
プラズマガス内包ナノバブル添加スラリーによるＳｉＣ基板の高能率研磨加工法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  畝田道雄
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2020
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  金沢工業大学
日本刀の「美」の科学的解明とそれに基づく新しい作刀評価・設計法の提案と実証
- 研究代表者
  
  石川憲一
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  設計工学・機械機能要素・トライボロジー
- 研究機関
  金沢工業大学
難加工性材料の電界・スラリー流れ場制御型高能率研磨加工システムの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  畝田道雄
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  金沢工業大学
究極デバイスとしてのダイヤモンド基板の革新的超精密加工プロセスへのブレークスルー
- 研究代表者
  
  土肥俊郎
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  九州大学
複合材料の振動外周刃切断方式による高能率・長寿命切断技術の開発
- 研究代表者
  
  石川憲一
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  金沢工業大学
揺動制御ラッピング方式による大口径ワークの超精密任意形状創成技術の開発研究研究代表者
- 研究代表者
  
  畝田道雄
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  金沢工業大学
振動スピンドルを用いた振動外周刃切断方式の実用性評価とその超高速切断技術への展開研究代表者
- 研究代表者
  
  畝田道雄
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2007
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  金沢工業大学
ダイヤモンドペレットによる4way方式研削における超高平坦化プロセス技術の開発
- 研究代表者
  
  石川憲一
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  金沢工業大学
MUSIC等の固有値解析法を用いた高分解能材料欠陥位置標定システムの開発研究研究代表者
- 研究代表者
  
  畝田道雄
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2005
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  金沢工業大学
ダイヤモンドワイヤ工具を用いた次世代型超高能率シリコンスライサーの開発
- 研究代表者
  
  石川憲一
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  金沢工業大学
ミスト化した加工液による高性能外周刃振動切断方式の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  畝田道雄
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  金沢工業大学

[雑誌論文] Highly efficient chemical mechanical polishing method for SiC substrates using enhanced slurry containing bubbles of ozone gas2020
- 著者名/発表者名
  Uneda Michio、Fujii Koji
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 64 ページ: 91-97
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2020.03.015
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06094
[雑誌論文] Development of High Efficiency Polishing Method of SiC Substrate assisted by Nanobubbles Containing Ozone Gas2019
- 著者名/発表者名
  Koji Fujii and Michio Uneda
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Conference on Planarization/CMP Technology 2019
  
  巻: 1 ページ: 171-172
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06094
[雑誌論文] High Efficient CMP Method of SiC by Enhanced Slurry Containing Nano-bubbleswith Active Gas2018
- 著者名/発表者名
  Koji Fujii, Michio Uneda, Kazutaka Shibuya, Yoshio Nakamura, Daizo Ichikawa and Ken-ichi Ishikawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Conference on Planarization/CMP Technology 2018
  
  巻: 1 ページ: 310-313
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06094
[雑誌論文] <b>Visualization of Hand-Polishing Process for Japanese Swords</b><b> </b>2018
- 著者名/発表者名
  Kyo OI, Michio UNEDA and Ken-ichi ISHIKAWA
- 雑誌名
  
  Advanced Experimental Mechanics
  
  巻: 3 号: 0 ページ: 180-185
- DOI
  10.11395/aem.3.0_180
- NAID
  130007538728
- ISSN
  2189-4752, 2424-175X
- 年月日
  2018-08-10
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[雑誌論文] 感性評価による日本刀の美しさに関する研究2017
- 著者名/発表者名
  畝田道雄，村上昇啓，高島伸治，神宮英夫，石川憲一
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 83 ページ: 361-366
- NAID
  130005548960
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[雑誌論文] Visualization of hand-polishing process for Japanese swords - Mechanical properties of natural and artificial polishing stones and Kansei evaluation by craftsmen -2017
- 著者名/発表者名
  Kyo Oi, Michio Uneda and Ken-ichi Ishikawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of 12th International Symposium on Advanced Science and Technology in Experimental Mechanics 2017
  
  巻: 1 ページ: 1-4
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[雑誌論文] Chamical Mechanical Polishing of SiC Substrate Using Enhanced Slurry Containing Nanobubbles with Active Gas Generated by Plasma2017
- 著者名/発表者名
  Shinya MIZUUCHI, Michio UNEDA, Kazutaka SHIBUYA, Yoshio NAKAMURA, Daizo ICHIKAWA and Ken-ichi ISHIKAWA
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Conference on Planarization/CMP Technology 2017
  
  巻: 1 ページ: 372-376
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06094
[雑誌論文] Analysis of sapphire- chemical mechanical polishing using digital image processing2016
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda, Keiichi Takano, Koji Koyama, Hideo Aida and Ken-ichi Ishikawa
- 雑誌名
  
  Mechanical Engineering Journal
  
  巻: 3 号: 1 ページ: 15-00509-15-00509
- DOI
  10.1299/mej.15-00509
- NAID
  130005126175
- ISSN
  2187-9745
- 言語
  英語
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[雑誌論文] Analysis fo sapphire-chemical mechanical polishing using digital image processing2016
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda, Keiichi Takano, Koji Koyama, Hideo Aida, Ken-ichi Ishikawa
- 雑誌名
  
  Special issue on Micromechatronics ofr Information and Precision Equipment, Mechanical Engineering Journal of 2016 The Japan Society of Mechanical Ingineers
  
  巻: 3（１）ページ: 1-11
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Investigation of Chemical Mechanical Polishing Mechanism of Hard-to-Process Materials Using Commercially Available Single-Sided Polishier2015
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda, Keiichi Takano, Koji Koyama, Hideo Aida, Ken-ichi Ishikawa
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 9(5) ページ: 573-579
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Basic Study on Etching Selectivity of Plasma Chemical Vaporization Machining by Introducing Crystallographic Damage into Work Surface2015
- 著者名/発表者名
  asuhisa Sano, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Yuu Okada, Hiroaki Nishikawa and Kazuto Yamauchi
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 625 ページ: 550-553
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Consideration of Femtosecond Laser-induced Effect on Semiconductor Material SiC Substrate for CMP Processing2015
- 著者名/発表者名
  hengwu WANG, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Yasuhisa SANO, Hideo AIDA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Koki OYAMA, Terutake HAYASHI, Ji ZHANG, Asakawa EIJI
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 799-800 ページ: 458-462
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Investigation of Chemical Mechanical Polishing Mechanism of Hard-to-Process Materials Using Commercially Available Single-Sided Polisher2015
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda, Keiichi Takano, Koji Koyama, Hideo Aida and Ken-ichi Ishikawa
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 9 ページ: 573-579
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[雑誌論文] Dependence of GaN Removal Rate of Plasma Chemical Vaporization Machining on Mechanically Introduced Damage2014
- 著者名/発表者名
  Y.Sano, T.K.Doi, S.Kurokawa, H.Aida, O.Ohnishi, M.Uneda, K.Shiozawa, Y.Okada, K.Yamauchi
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials
  
  巻: 26 ページ: 429-434
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Influence of Pad Surface Asperity on Removal Rate in Chemical Mechanical Polishing of Large-Diameter Silicon Wafer Which Applies to Substrate of GaN-based LEDs2014
- 著者名/発表者名
  Michio UNEDA, Yuki MAEDA, Kazutaka SHIBUYA, Yoshio NAKAMURA, Daizo ICHIKAWA, Kiyomi FUJII, Ken-ichi ISHIKAWA
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials
  
  巻: 26 ページ: 435-445
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] N-Face Finishing Influence on Geometry of Double-Side Polished GaN Substrate2014
- 著者名/発表者名
  Koji KOYAMA, Hideo AIDA, Michio UNEDA, Hidetoshi TAKEDA, Seong-Woo KIM, Hiroki TAKEI, Tsutomu YAMAZAKI, and Toshiro DOI
- 雑誌名
  
  Int. J. Automation Technology
  
  巻: 8 ページ: 121-127
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] N-Face Finishing Influence on Geometry of Double-Side Polished GaN Substrate2014
- 著者名/発表者名
  Koji Koyama, Hideo Aida, Michio Uneda, Hidetoshi Takeda, Seong-Woo Kim, Hiroki Takei, Tsutomu Yamazaki, Toshiro Doi
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 8 ページ: 121-127
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] サファイアCMPにおける研磨メカニズムの分析2014
- 著者名/発表者名
  畝田道雄，高野圭市，小山浩司，會田英雄，片倉春治，武居裕樹，石川憲一
- 雑誌名
  
  2014年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
  
  巻: 1 ページ: 2-2
- 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] Novel Chemical Mechanical Polishing/Plasma-Chemical Vaporization Machining (CMP/P-CVM) Combined Processing of Hard-to-Process Crystals Based on Innovative Concepts2014
- 著者名/発表者名
  Toshiro K. Doi, Yasuhisa Sano, Syuhei Kurowaka, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda and Koki Ohyama
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials
  
  巻: 26 ページ: 403-415
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] サファイアCMPの研磨レートに及ぼすスラリーフローの影響2014
- 著者名/発表者名
  畝田道雄，福田有哉，横川和弘，堀田和利，杉山博保，玉井一誠，森永均，石川憲一
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 58 ページ: 583-588
- NAID
  130004661519
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[雑誌論文] Novel Chemical Mechanical Polishing/Plasma-Chemical Vaporization Machining [CMP/P-CVM] Combined Processing of Hard-to-Process Crystals Based on Innovative Concepts2014
- 著者名/発表者名
  T. K. Doi, Y. Sano, S. Kurokawa, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Koki Ohyama
- 雑誌名
  
  Sensors & Materials
  
  巻: 未定
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] サファイア基板のメカニカルポリシングに及ぼす定盤表面性状の影響―定盤表面性状とスラリーフロー並びに研磨レートの関係―2014
- 著者名/発表者名
  畝田道雄，福田有哉，伊藤康昭，堀田和利，杉山博保，森永均，石川憲一
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 58 ページ: 314-320
- NAID
  130004835712
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[雑誌論文] Fabrication Mechanism for Patterned Sapphire Substrates by Wet Etching2014
- 著者名/発表者名
  Natsuko Aota, Hideo Aida, Yutaka Kimura, Yuki Kawamata and Michio Uneda
- 雑誌名
  
  ECS Journal of Solid State Science and Technology
  
  巻: 3
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[雑誌論文] Basic Study on Etching Selectivity of Plasma Chemical Vaporization Machining by Introducing Crystallographic Damage into Work Surface2014
- 著者名/発表者名
  Yasuhisa Sano, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Yuu Okada, Hiroaki Nishikawa, Kazuto Yamauchi
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 625 ページ: 550-553
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[雑誌論文] N-Face Finishing Influence on Geometry of Double-Side Polished GaN Substrate2014
- 著者名/発表者名
  Koji Koyama, Hideo Aida, Michio Uneda, Hidetoshi Takeda, Seong-Woo Kim, Hiroki Takei, Tsutomu Yamazaki, and Toshiro Doi
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 8 ページ: 121-127
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[雑誌論文] Study on Quantitative Evaluation of Slurry Flow Mechanism at Lapping Processing using Digital Image Correlation Method-Correlation of Slurry Flow and Lapping Characteristics in Oscillation Controlled Lapping-2010
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 村田慎太郎, 石川憲一
- 雑誌名
  
  Proceedings of 5th International Symposium on Advanced Science and Technology in Experimental Mechanics
  
  巻: (CD-ROM)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[雑誌論文] Study on Quantitative Evaluation of Slurry Flow Mechanism at Lapping Processing using Digital Image Correlation Method-Correlation of Slurry Flow and Lapping Characteristics in Oscillation Controlled Lapping-2010
- 著者名/発表者名
  Michio UNEDA, Shintaro MURATA, Ken-ichi ISHIKAWA
- 雑誌名
  
  Proceedings of 5th International Symposium on Advanced Science and Technology in Experimental Mechanics CD-ROM.
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[雑誌論文] 小径工具による揺動制御ラッピングに関する研究-オーバーハングを考慮した研磨特性とスラリーフローに基づく考察-2009
- 著者名/発表者名
  成瀬尚, 畝田道雄, 石川憲一
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集(C編) 75,757
  
  ページ: 2581-2588
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[雑誌論文] 複合材料(CFRP)を切断対象とした振動外周刃切断方式の加工特性に関する研究-繊維方向が切断特性に及ぼす影響-2009
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 成瀬尚, 山下義徳, 石川憲一
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 53
  
  ページ: 627-632
- NAID
  10025533820
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560116
[雑誌論文] 小径工具による揺動制御ラッピングに関する研究―オーバーハングを考慮した研磨特性とスラリーフローに基づく考察―2009
- 著者名/発表者名
  成瀬尚, 畝田道雄, 石川憲一
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集(C編) 75
  
  ページ: 2581-2588
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[雑誌論文] 複合材料(CFRP)を切断対象とした振動外周刃切断方式の加工特性に関する研究-繊維方向が切断特性に及ぼす影響-2009
- 著者名/発表者名
  畝田道雄,成瀬尚,山下義徳,石川憲一
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 53,10
  
  ページ: 627-632
- NAID
  10025533820
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560116
[雑誌論文] 複合材料を切断対象とした振動外周刃切断方式の加工特性に関する基礎研究2008
- 著者名/発表者名
  畝田道雄,成瀬尚,石川憲一,諏訪部仁
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 52,7
  
  ページ: 412-416
- NAID
  10021136831
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560116
[雑誌論文] 複合材料を切断対象とした振動外周刃切断方式の加工特性に関する基礎研究2008
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 52
  
  ページ: 412-416
- NAID
  10021136831
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560116
[雑誌論文] Basic study on fixed abrasive lapping characteristics of diamond pellets2007
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda, Ou Sakai, Ken-ichi Ishikawa, Hitoshi Suwabe
- 雑誌名
  
  Journal of the Japan Society for Abrasive Technology 51, 10
  
  ページ: 605-610
- NAID
  10019952681
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[雑誌論文] ダイヤモンドペレットを用いた固定砥粒研磨加工特性に関する研究2007
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 51
  
  ページ: 605-610
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[雑誌論文] 振動外周刃政断方式の加工特性に関する研究-振動による外周刃ブレードの原点復帰効果に関する有限要素解析シミュレーション-2007
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 塚田広昌, 石川憲一, 諏訪部仁
- 雑誌名
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 637-638
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18760105
[雑誌論文] 振動外周刃切断方式の加工特性に関する研究-振動による外周刃ブレードの原点復帰効果に関する有限要素解析と実験検証-2007
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 塚田広昌, 石川憲一, 諏訪部仁
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 73
  
  ページ: 1142-1148
- NAID
  110006403575
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18760105
[雑誌論文] ダイヤモンドペレットを用いた固定砥粒研磨加工特性に関する研究2007
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 51
  
  ページ: 605-610
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[雑誌論文] ダイヤモンドペレットによる定圧研削加工特性に関する研究-研削量と研削距離の相関-2007
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- 雑誌名
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 1121-1122
- NAID
  130005028300
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[雑誌論文] 振動外周刃切断方式の加工特性評価に関する研究2006
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 塚田広昌, 石川憲一, 諏訪部仁
- 雑誌名
  
  2006年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 119-122
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18760105
[雑誌論文] Studies on Slicing Characteristics of Vibratory OD-blade Slicing2006
- 著者名/発表者名
  Michio UNEDA, Hiromasa TSUKAWA, Ken-ichi ISHIKAWA, Hitoshi SUWABE
- 雑誌名
  
  Proceedings of ASPE 2006 Annual Meetings (CD-ROM)
- NAID
  130005028627
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18760105
[雑誌論文] ダイヤモンドペレットによる定圧研削特性に関する基本的研究2006
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会北信越ハイテク加工研究分科会, 2006年度研究・開発成果発表会講演論文集
  
  ページ: 41-42
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[雑誌論文] ダイヤモンドペレットによる定圧研削特性に関する研究2006
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- 雑誌名
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 325-326
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[雑誌論文] マイクロホンの指向性を考慮した音源位置同定法に関する研究2005
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 石川憲一
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 71,11
  
  ページ: 1426-1430
- NAID
  10016764411
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[雑誌論文] 音源位置同定法としての音響ホログラフィ法とMUSIC法の基本性能比較に関する研究2005
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 石川憲一
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 71・4(掲載決定)
- NAID
  110001824157
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[雑誌論文] A Study on Basic Performance Comparison with Acoustic Holography and MUIC Methods in Sound Source Identification2005
- 著者名/発表者名
  Michio UNEDA, Ken-ichi ISHIKAWA
- 雑誌名
  
  Proceedings of The First International Symposium on Advanced Technology of Vibration and Sound 1
  
  ページ: 64-67
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[雑誌論文] マイクロホンの指向性を考慮した音源位置同定法に関する基礎研究2005
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 石川憲一, 新井康平
- 雑誌名
  
  日本機械学会第4回評価・診断に関するシンポジウム講演論文集
  
  ページ: 15-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[雑誌論文] 音響ホログラフィ法とMUSIC法における音源位置同定性能の比較に関する研究2004
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 石川憲一
- 雑誌名
  
  日本機械学会第3回評価・診断に関するシンポジウム講演論文集
  
  ページ: 39-43
- NAID
  110004057743
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[雑誌論文] MUSICアルゴリズムを用いた近距離音源の高分解能位置推定に関する研究2004
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 石川憲一
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 641-642
- NAID
  130004656236
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[雑誌論文] MUSICによる近距離音源の高分解能位置推定法に関する研究-センサ間の振幅・位相偏差とその補償処理が位置推定性能に及ぼす影響-2004
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 石川悪一
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 70・8
  
  ページ: 1111-1116
- NAID
  110001824043
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[雑誌論文] 音源探査における音響ホログラフィ法とMUSIC法の性能比較2004
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 石川憲一
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 995-996
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[学会発表] 小径パッドを用いた大型工作物の研磨特性に及ぼすスラリー挙動の影響2024
- 著者名/発表者名
  齋藤光太郎，畝田道雄，天髙恭祐，堀田和利，森永均
- 学会等名
  2024年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03866
[学会発表] The impact of consumable properties on 3-D polishing through visualization of the polishing process2023
- 著者名/発表者名
  Kotaro Saito, Michio Uneda, Kyousuke Tenkou, Kazutoshi Hotta, and Hitoshi Morinaga
- 学会等名
  International Conference on Planarization/CMP Technology 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03866
[学会発表] 2軸制御研磨装置と小径ポリッシャーを用いた研磨プロセスの見える化による3D研磨のメカニズム考察2023
- 著者名/発表者名
  齋藤光太郎，畝田道雄，天髙恭祐，堀田和利，森永均
- 学会等名
  2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03866
[学会発表] 新作日本刀の姿に着目した特徴分析並びに3次元設計法の提案と実証2021
- 著者名/発表者名
  村上浩規，畝田道雄，石川憲一
- 学会等名
  日本実験力学会2021年度年次講演会講演論文集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[学会発表] ニューラルネットワークを用いたAIによる新作日本刀の科学的特徴解析と設計法の提案2020
- 著者名/発表者名
  横山詳悟，村上浩規，畝田道雄，石川憲一
- 学会等名
  2020年度精密工学会北陸信越支部学術講演会講演論文集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[学会発表] 日本刀の形状美と機能美に着目した「踏ん張り」と「樋」の科学的研究2020
- 著者名/発表者名
  横山詳悟，中村晏奈，畝田道雄，石川憲一
- 学会等名
  2020年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[学会発表] オゾンガス内包ナノバブル添加スラリーによるSiC基板の高能率研磨加工法の研究2019
- 著者名/発表者名
  藤井皐司，畝田道雄
- 学会等名
  2019年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06094
[学会発表] 新作日本刀の評価・設計法の研究－現代刀の審査結果と刀職技術の科学に基づく新作日本刀の設計アプローチ－2019
- 著者名/発表者名
  大井恭，畝田道雄，石川憲一
- 学会等名
  2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[学会発表] 新作日本刀の設計・評価法－サイエンスの視点からの新作日本刀の設計アプローチ－2019
- 著者名/発表者名
  畝田道雄
- 学会等名
  日本刀文化振興協会日本刀の匠たち－第10回新作日本刀研磨外装刀職技術展覧会－講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[学会発表] 鐵の芸術～日本刀～刀剣研師の技の科学2018
- 著者名/発表者名
  畝田道雄
- 学会等名
  日本刀文化振興協会主催「日本刀の匠たち－第9回新作日本刀研磨外装刀職技術展覧会－」講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[学会発表] 活性ガス内包ナノバブル添加スラリーによるSiC基板の高能率研磨加工法の研究2018
- 著者名/発表者名
  水内伸哉，畝田道雄，澁谷和孝，中村由夫，市川大造，石川憲一
- 学会等名
  2018年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06094
[学会発表] 鐵の芸術～日本刀～刀剣研師の技の科学2018
- 著者名/発表者名
  畝田道雄
- 学会等名
  全日本刀匠会主催「お守り刀展覧会」関連行事（刀剣講座）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[学会発表] 新作日本刀の評価・設計法の研究-刀剣研師の感性評価と現代刀の審査結果に基づく新作日本刀の設計アプローチ-2017
- 著者名/発表者名
  大井恭，畝田道雄，石川憲一
- 学会等名
  2018年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[学会発表] 活性ガス内包ナノバブル添加スラリー供給装置の開発とそれによるSiC基板の高能率CMPの試み2017
- 著者名/発表者名
  水内伸哉，畝田道雄，澁谷和孝，中村由夫，市川大造，石川憲一
- 学会等名
  2017年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06094
[学会発表] 日本刀の研ぎに及ぼす研磨工程の基礎科学－天然・人造砥石の機械的特性の調査と匠の意識調査－2017
- 著者名/発表者名
  大井恭，畝田道雄，石川憲一
- 学会等名
  2017年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[学会発表] Influence of Linear Velocity Ratio on Removal Rate in Sapphire- Chemical Mechanical Polishing2015
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda, Keiichi Takano, Koji Koyama, Hideo Aida and Ken-ichi Ishikawa
- 学会等名
  2015 JSME-IIP/ ASME-ISPS Jouint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment
- 発表場所
  神戸国際会議場
- 年月日
  2015-06-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[学会発表] サファイアCMPにおける研磨メカニズムの分析－スラリー並びに修正リングが研磨レートに及ぼす影響－2015
- 著者名/発表者名
  高野圭市，畝田道雄，小山浩司，會田英雄，石川憲一
- 学会等名
  2015年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  慶應義塾大学
- 年月日
  2015-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[学会発表] Consideration of Femtosecond laser-induced Effect on Semiconductor Material SiC Substrate for CMP Processing2015
- 著者名/発表者名
  Syuhei Kurokawa, Toshiro Doi, Yasuhisa Sano, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Koki Ohyama, Terutake Hayashi, Ji Zhang, Asakawa Eiji
- 学会等名
  2015 ASR Bali Conferences(ICMMT2015/ICRE2015/ICLB2015)
- 発表場所
  Bali, Indonesia
- 年月日
  2015-05-09
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] 研磨の見える化（評価技術）とその技術動向2014
- 著者名/発表者名
  畝田道雄
- 学会等名
  精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会主催「CMP技術の基礎を理解するサマーキャンプ2014」
- 発表場所
  新宿ワシントンホテル
- 年月日
  2014-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Removal Rate of Plasma Chemical Vaporization Machining of Intentionally Damaged Surface by Mechanical Action2014
- 著者名/発表者名
  K. Shiozawa, Y. Sano, T. Doi, S. Kurokawa, H. Aida, O.Ohnishi, M. Uneda, Y. Okada, and K. Yamauchi
- 学会等名
  15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014)
- 発表場所
  石川県政記念しいのき迎賓館（石川）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Basic Study on Etching Selectivity of Plasma Chemical Vaporization Machining by Introducing Crystallographic Damage into Work Surface2014
- 著者名/発表者名
  Y. Sano, T. Doi, S. Kurokawa, H. Aida, O. Ohnishi, M. Uneda, Y. Okada, H. Nishikawa, and K. Yamauchi
- 学会等名
  5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2013)
- 発表場所
  Howard Civil International Centre(台湾）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] CMPのサイエンス化に向けて－消耗副資材（スラリー・研磨パッド）からのアプローチ-2014
- 著者名/発表者名
  畝田道雄
- 学会等名
  先進研磨技術研究会第5回講演会
- 発表場所
  キャンパスプラザ京都（京都府）
- 年月日
  2014-08-27
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] サファイア・GaN基板の加工・研磨技術とその応用2014
- 著者名/発表者名
  小山浩司，畝田道雄，小堀康之
- 学会等名
  日本テクノセンター主催セミナー
- 発表場所
  日本テクノセンター(東京都）
- 年月日
  2014-07-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Relationships Between Polishing Variables, Removal Rate and Slurry Flow in Sapphire-CMP2013
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda, Yuya Fukuta, Yasuaki Itou, Kazutoshi Hotta, Kazusei Tamai, Hitoshi Morinaga and Ken-ichi Ishikawa
- 学会等名
  Proceedings of ICPT2013
- 発表場所
  Ambassador Hotel, Hsinchu, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[学会発表] サファイアCMPの研磨レートに及ぼすスラリーフローの影響2013
- 著者名/発表者名
  畝田道雄，福田有哉，伊藤康昭，堀田和利，玉井一誠，森永均，石川憲一
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[学会発表] 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究（第4報）－加工変質層の断面TEM による評価とそのPCVM加工特性－2013
- 著者名/発表者名
  塩澤昂祐, 佐野泰久, 土肥俊郎, 黒河周平, 會田英雄, 大西修, 畝田道雄, 岡田悠, 山内和人
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Effects of In-Situ Monitoring and Its Impact on Chemical Mechanical Polishing of Compound Materials2013
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda
- 学会等名
  Workshop on Ultra-Precision Processing for III-Nitride
- 発表場所
  Best Western Plus Pepper Tree Inn, Santa Barbara, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[学会発表] Characteristics of Sapphire CMP Under Various Gas Conditions Using Bell-Jar Type CMP Machine2012
- 著者名/発表者名
  Takateru EGASHIRA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Isamu KOSHIYAMA, and Daizo ICHIKAWA
- 学会等名
  Advanced Metallization Conference 2012
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究-揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローと研磨特性の相関関係-2010
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 村田慎太郎, 石川憲一
- 学会等名
  2010年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2010-09-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[学会発表] デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究-揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローのベクトル評価-2010
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 村田慎太郎, 石川憲一
- 学会等名
  砥粒加工学会・先端加工学会共催先端加工ネットワーク2010年度研究・開発成果発表会講演論文集
- 発表場所
  金沢工業大学
- 年月日
  2010-07-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[学会発表] デジタル画像相関法を用いた揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローの定量評価研究2010
- 著者名/発表者名
  村田慎太郎, 後閑一洋, 畝田道雄, 石川憲一
- 学会等名
  日本機械学会北陸信越支部第39回学生員卒業研究発表講演会講演論文集 59-60
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[学会発表] デジタル画像相関法を用いた揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローの定量評価研究2010
- 著者名/発表者名
  村田慎太郎, 後閑一洋, 畝田道雄, 石川憲一
- 学会等名
  社団法人日本機械学会
- 発表場所
  新潟大学
- 年月日
  2010-03-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[学会発表] デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究-揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローのベクトル評価-2010
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 村田慎太郎, 石川憲一
- 学会等名
  砥粒加工学会・先端加工学会共催先端加工ネットワーク 2010年度研究・開発成果発表会講演論文集 47-48
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[学会発表] デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究-揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローと研磨特性の相関関係-2010
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 村田慎太郎, 石川憲一
- 学会等名
  2010年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 357-358
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[学会発表] 小径工具を用いた揺動制御ラッピングの研究2009
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- 学会等名
  2009年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 299-300
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[学会発表] 小径工具を用いた揺動制御ラッピングの研究2009
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- 学会等名
  2009年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  中央大学
- 年月日
  2009-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[学会発表] Study on fixed abrasive lapping characteristics of diamond pellets and optimized simulation of layout method of pellet2008
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda, Ou Sakai, Ken-ichi Ishikawa, Hitoshi Suwabe
- 学会等名
  Proceedings of Spring Meeting of the Japan Society for Precision Engineering
- 発表場所
  Meiji University
- 年月日
  2008-03-25
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[学会発表] 小径工具を用いた大口径ウェーハの揺動制御ラッピングに関する研究-オーバーラップ時に生じる偏荷重の簡易モデル化と実験検証-2008
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- 学会等名
  砥粒加工学会北信越ハイテク加工研究分科会2008年度研究・開発成果発表会講演論文集 21-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[学会発表] 複合材料を切断対象とした振動外周刃切断方式の加工特性に関する研究2008
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- 学会等名
  2008年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  明治大学
- 年月日
  2008-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18760105
[学会発表] ダイヤモンドペレットによる固定砥粒研磨加工特性とそれに基づくペレットの最適配置シミュレーションに関する研究2008
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- 学会等名
  2008年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  明治大学
- 年月日
  2008-03-17
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[学会発表] 小径工具を用いた揺動制御ラッピングに関する研究-オーバーラップを考慮したウェーバ全面研磨の基礎検討-2008
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- 学会等名
  2008年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  滋賀県立大学
- 年月日
  2008-09-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[学会発表] 小径工具を用いた揺動制御ラッピングに関する研究-オーバーラップを考慮したウェーハ全面研磨の基礎検討-2008
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- 学会等名
  2008年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集 21-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[学会発表] 小径工具を用いた大口径ウェーハの揺動制御ラッピングに関する研究-オーバーラップ時に生じる偏荷重の簡易モデル化と実験検証-2008
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- 学会等名
  砥粒加工学会北信越ハイテク加工研究分科会2008年度研究・開発成果発表会講演論文集
- 発表場所
  金沢工業大学
- 年月日
  2008-07-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[学会発表] Basic study on fixed abrasive lapping characteristics of diamond pellets2007
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda, Ou Sakai, Ken-ichi Ishikawa, Hitoshi Suwabe
- 学会等名
  Proceedings of Meeting of the Hokushinetu Research Committee on High Processing Technology
- 発表場所
  Kanazawa Institute of Technology
- 年月日
  2007-07-06
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[学会発表] ダイヤモンドペレットによる定圧研削加工特性に関する研究-研削量と研削距離の相関-2007
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- 学会等名
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  芝浦工業大学
- 年月日
  2007-03-20
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[学会発表] Study on Grinding Characteristics of Diamond Pellets-Relation between Grinding Profile and Grinding Distance-2007
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda, Ou Sakai, Ken-ichi Ishikawa, Hitoshi Suwabe
- 学会等名
  Proceedings of Spring Meeting of the Japan Society for Precision Engineering
- 発表場所
  Shibaura Institute of Technology
- 年月日
  2007-03-20
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[学会発表] ダイヤモンドペレットによる固定砥粒研磨加工特性に関する基礎研究2007
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- 学会等名
  砥粒加工学会北信越ハイテク加工研究分科会2007年度研究・開発成果発表会講演論文集
- 発表場所
  金沢工業大学
- 年月日
  2007-07-06
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[学会発表] ダイヤモンドペレットを用いた固定砥粒研磨加工特性に関する基礎的研究2007
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- 学会等名
  2007年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  東京工業大学
- 年月日
  2007-09-05
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[学会発表] Basic study on fixed abrasive lapping characteristics of diamond pellets2007
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda, Ou Sakai, Ken-ichi Ishikawa, Hitoshi Suwabe
- 学会等名
  Proceedings of Meeting of the Japan Society for Abrasive Technology
- 発表場所
  Tokyo Institute of Technology
- 年月日
  2007-09-05
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[学会発表] ダイヤモンドペレットによる定圧研削加工特性に関する研究2006
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- 学会等名
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  宇都宮大学
- 年月日
  2006-09-20
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[学会発表] Basic Study on Grinding Characteristics of Diamond Pellets2006
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda, Ou Sakai, Ken-ichi Ishikawa, Hitoshi Suwabe
- 学会等名
  Proceedings of Meeting of the Hokushinetu Research Committee on High Processing Technology
- 発表場所
  Kanazawa Institute of Technology
- 年月日
  2006-07-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[学会発表] ダイヤモンドペレットによる研削加工特性に関する基礎的研究2006
- 著者名/発表者名
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- 学会等名
  砥粒加工学会北信越ハイテク加工研究分科会2006年度研究・開発成果発表会講演論文集
- 発表場所
  金沢工業大学
- 年月日
  2006-07-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[学会発表] Study on Grinding Characteristics of Diamond Pellets2006
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda, Ou Sakai, Ken-ichi Ishikawa, Hitoshi Suwabe
- 学会等名
  Proceedings of Fall Meeting of the Japan Society for Precision Engineering
- 発表場所
  Utsunomiya University
- 年月日
  2006-09-20
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[学会発表] Innovation in Chemical Mechanical Polishing(CMP): Plasma Fusion CMP for Highly Efficient Processing of Next-Generation Optoelectronics Single Crystals
- 著者名/発表者名
  Hideo Aida, Toshiro Doi, Yasuhisa Sano, Syuhei Kurokawa, Seong Woo Kim, Koki Oyama, Tadakazu Miyashita, Michio Uneda, Osamu Ohnishi, Chengwu Wang
- 学会等名
  The 8th Manufacturing Institute for Research on Advanced Initiatives
- 発表場所
  Taiwan
- 年月日
  2015-03-25 – 2015-03-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Removal Rate of Plasma Chemical Vaporization Machining of Intentionally Damaged Surface by Mechanical Action
- 著者名/発表者名
  K. Shiozawa, Y. Sano, T. Doi, S. Kurokawa, H. Aida, O. Ohnishi, M. Uneda, Y. Okada, and K. Yamauchi
- 学会等名
  15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014)
- 発表場所
  ホテル日航金沢（石川県金沢市）
- 年月日
  2014-07-22 – 2014-07-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] サファイアCMPにおける研磨メカニズムの分析
- 著者名/発表者名
  畝田道雄，高野圭市，小山浩司，會田英雄，片倉春治，武居裕樹，石川憲一
- 学会等名
  2014年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  岩手大学（岩手県盛岡市）
- 年月日
  2014-09-11 – 2014-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[学会発表] 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究（第2報）－疑似ラジカル場を想定した加工変質層の形成によるPCVM加工速度の増大－
- 著者名/発表者名
  佐野泰久、土肥俊郎、黒河周平、曾田秀雄、大西修、畝田道雄、岡田悠、西川央明、山内和人
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Investigation of Polishing Mechanism of Sapphire-CMP Using Commercially Available Single-Sided Polisher
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda
- 学会等名
  Workshop on Ultra-Precision Processing (WUPP) for Wide-gap Semiconductors 2014
- 発表場所
  Hilton Bath City Hotel (英国)
- 年月日
  2014-08-20 – 2014-08-22
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[学会発表] Investigation of Polishing Mechanism of Sapphire-CMP Using Commercially Available Single-Sided Polisher
- 著者名/発表者名
  Michio Uneda
- 学会等名
  Workshop on Ultra-Precision Processing for Wide band gap Semiconductors 2014
- 発表場所
  Bath, UK
- 年月日
  2014-08-20 – 2014-08-22
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[学会発表] 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究（第1報）-新しい概念を導入した加工プロセスの提案－
- 著者名/発表者名
  土肥俊郎、佐野泰久、黒河周平、曾田秀雄、大西修、畝田道雄
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24226005

1. 石川憲一 (00064452)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 30件
2. 佐野泰久 (40252598)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 14件
3. 諏訪部仁 (40202139)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
4. 土肥俊郎 (30207675)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 17件
5. 黒河周平 (90243899)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 14件
6. 大西修 (50315107)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 15件
7. 鈴木教和 (00359754)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 鍛冶倉惇

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 西本吉伸

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 會田英雄

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 17件
11. 鍛治倉惇

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

畝田 道雄 Uneda Michio

研究課題

研究成果

共同研究者

モデルベースシミュレーションとAI融合最適化に基づく革新的ロボット研磨技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

プラズマガス内包ナノバブル添加スラリーによるＳｉＣ基板の高能率研磨加工法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

日本刀の「美」の科学的解明とそれに基づく新しい作刀評価・設計法の提案と実証

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

難加工性材料の電界・スラリー流れ場制御型高能率研磨加工システムの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

究極デバイスとしてのダイヤモンド基板の革新的超精密加工プロセスへのブレークスルー

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

複合材料の振動外周刃切断方式による高能率・長寿命切断技術の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

揺動制御ラッピング方式による大口径ワークの超精密任意形状創成技術の開発研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

振動スピンドルを用いた振動外周刃切断方式の実用性評価とその超高速切断技術への展開研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ダイヤモンドペレットによる4way方式研削における超高平坦化プロセス技術の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

MUSIC等の固有値解析法を用いた高分解能材料欠陥位置標定システムの開発研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ダイヤモンドワイヤ工具を用いた次世代型超高能率シリコンスライサーの開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ミスト化した加工液による高性能外周刃振動切断方式の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Highly efficient chemical mechanical polishing method for SiC substrates using enhanced slurry containing bubbles of ozone gas2020

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

畝田道雄 Uneda Michio