• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

林 照剛  Hayashi Terutake

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

林照 剛  HAYASHI Terutake

隠す
研究者番号 00334011
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 九州大学, 工学研究院, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2016年度 – 2021年度: 九州大学, 工学研究院, 准教授
2015年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授
2014年度 – 2015年度: 九州大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
2014年度: 九州大学, 大学院工学研究院, 准教授
2013年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 … もっと見る
2013年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 準教授
2012年度 – 2013年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
2010年度 – 2011年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授
2010年度 – 2011年度: 大阪大学, 工学研究科, 准教授
2009年度: 大阪大学, 工学研究科, 助教
2007年度 – 2008年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教
2006年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助手
2005年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手
2002年度 – 2003年度: 茨城大学, 工学部, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / 材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野 / 機械材料・材料力学 / 計測工学 / 知能機械学・機械システム
研究代表者以外
生産工学・加工学 / 医用生体工学・生体材料学 / 知能機械学・機械システム / 情報システム学(含情報図書館学)
キーワード
研究代表者
ブラウン運動 / 回転拡散係数 / ナノ粒子 / 蛍光偏光法 / フェムト秒レーザー / 粒径計測 / パルストレインビーム / コヒーレントフォノン / 並進拡散係数 / レーザーアブレーション … もっと見る / 表面加工 / レーザー加工 / 表面励起 / ダブルパルス / アブレーション / 表面励起加工 / 回転ブラウン運動 / パルストレイン / アトグラム質点系 / 粒度分布測定 / 粒径測定 / DLS / 蛍光ナノプローブ / ナノ粒子チップ / 粘性係数 / 粒度分布 / 蛍光光子相関法 / CMPスラリー / 粒度分布計測 / 並進ブラウン運動 / 透明材料 / ダブルパルスビーム / 光励起 / 透明基板 / 精密研磨 / ナノ粒子粒径計測 / 蛍光色素 / 拡散係数 / 粘度 / 蛍光プローブ / 回転拡散 / 並進拡散 / 格子振動 / 局在熱エネルギー場 / 低照度光 / レーザーアブレ-ション / ナノ加工 / ダメージレス加工 / インコヒーレント励起 / コヒーレント励起 / デバイストークスアインシュタインの法則 / 偏光解消 / 粘性計測 / SERS / 可視化 / 凝集プロセス / 蛍光偏光 / 凝集 / ナノ構造 / in-situ計測 / 原子直接加工 / コヒーレント振動 / フェムト秒パルス / 非平衡状態 / 原子加工 / レーザ加工 / フェムト秒レーザ / マルチスポット / 偏光 / 蛍光 / 蛍光偏光解消法 / プロテイン / 液晶 / 分子量変化 / タンパク質 / DNA / マルチスポット照明 / 抗原抗体反応 / 共焦点顕微鏡 / レーザー / マルチプローブ / 蛍光検出 / DNAチップ / SNP / 液晶素子 / DNA構造解析 … もっと見る
研究代表者以外
光放射圧 / 水酸化フラーレン / マイクロプローブ / マイクロ部品 / ナノ加工 / レーザトラッピング / Multi-scale measurement / Nanometrology / Surface fine figure / Three dimensional surface / Laser trapping / Microprobe / Radiation pressure / Microparts / 複合計測 / ナノ計測 / 表面微細形状 / 3次元形状 / Sensors / Actuators / Piezoelectric thin films / Diamond thin films / AFM probes / Atomic force microscope / Nanolithography / Smart nano-machining and measurement system / ナノリソグラフィー / 次世代ナノ加工・計測システム / センサ / アクチュエータ / PZT薄膜 / ダイヤモンド薄膜 / AFMプローブ / 原子間力顕微鏡 / ナノリソグラフィ / 次世代ナノ加工計測システム / 化学的相互作用 / 反応性ナノ粒子 / 表面微細構造クラスター / ナノ研磨プロセス / 表面増強ラマン散乱 / 局在型表面プラズモン / 伝搬型表面プラズモン / 真球度 / マイクロ球 / WGM / テーパファイバ / Whispering gallery mode / 直径計測 / マイクロCMM / 加工量計測 / 定在場スケール / 非熱的アブレーション加工 / フェムト秒パルスレーザー / 微粒子レンズ / 超高アスペクト比微細加工 / フォトニック・ナノジェット / バイオMEMS / チップ増強ラマン分光(TERS) / 細胞内デリバリー / 細胞操作 / 細胞機能解析 / 原子間力顕微鏡(AFM) / 走査型プローブ顕微鏡 / レーザトラップ / 交番磁界 / 振動検出 / 磁性微粒子 / 細胞刺激 / 再生医用工学 / 超短パルスレーザー / 加工現象計測・解析 / 表面増強ラマン散乱法 / 分子加工原理 / 材料除去過程 / ナノデジタルパターニング / 加工機能性超微粒子 / 位相シフトデジタルホログラフィ / FDTD法 / 位相再構成シミュレーション / 自己組織化加工制御 / 周波数コムレーザー / ホログラフィー干渉 / インプロセス計測 / ナノ3次元構造 / ポンプープローブ法 / 動的ナノメトロロジー / アクティブ計測 / 超高速表面弾性波 / 加工現象解析 / フェムト秒パルスレーザ / 超時間分解能 / ナノ変位計測 / 強制振動 / 共振現象 / レンズ効果 / レーザアブレーション / 微粒子 / レーザ加工 / 平坦加工 / CMP / フラーレン / 研磨加工 / ナノ粒子 / カーボン / ナノテクノロジー / UVレーザ / 微細加工 / 超平坦加工 / カーボンナノ粒子 / ラピッドプロトタイピング / 癒し / 陶芸品 / 形状評価 / 周波数解析 / フーリエ変換 / 感性因子 / fゆらぎ / 1 隠す
  • 研究課題

    (23件)
  • 研究成果

    (154件)
  • 共同研究者

    (21人)
  •  アトグラム質点系のブラウン運動解析にもとづく高精度ナノ粒子粒度分布計測研究代表者

    • 研究代表者
      林 照剛
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      九州大学
  •  ダブルパルスフェムト秒レーザーによる透明基板の光トリガー加工に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      林 照剛
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2018
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 研究分野
      材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      九州大学
  •  蛍光ナノプローブを用いたブラウン運動評価に基づく高精度ナノ粒子粒度分布解析研究代表者

    • 研究代表者
      林 照剛
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      九州大学
  •  フェムトパルストレインビームを用いた局在熱エネルギー場の光励起加工技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      林 照剛
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2015
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      九州大学
  •  時間分解コヒーレントフォノン制御を用いた表面原子のインプロセスナノ加工・計測研究代表者

    • 研究代表者
      林 照剛
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2015
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      九州大学
      大阪大学
  •  細胞機能イメージングを実現する多機能走査型バイオプローブ顕微鏡の開発

    • 研究代表者
      柴田 隆行
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2014
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      医用生体工学・生体材料学
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  その場計測制御による超高アスペクト比微細形状のフォトニック・ナノジェット加工

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2015
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  蛍光ナノプローブを用いた微量サンプルの超精密粘度計測技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      林 照剛
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      機械材料・材料力学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  球内周回光伝搬モード観測によるマイクロ球形状のスキャンレス計測

    • 研究代表者
      道畑 正岐
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  局在・伝搬型表面プラズモン励起ラマン計測による反応性ナノ粒子研磨プロセスの可視化

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  磁性ビーズを用いた細胞壁ナノ振動刺激とダイナミック計測系の確立

    • 研究代表者
      増澤 徹
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2011
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      医用生体工学・生体材料学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  デジタルナノパターニング技術開拓のための水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工研究代表者

    • 研究代表者
      林照 剛 (林 照剛)
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  マルチスポット蛍光偏光法を用いたナノ粒子構造のアクティブ制御研究代表者

    • 研究代表者
      林 照剛
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  自己組織化加工制御のためのナノ3次元構造インプロセス計測に関する基礎研究

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2009
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  フェムト秒時間分解変位計測に関する基礎研究

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  高集積プロテインチップ高速解析のための液晶マルチスポット蛍光偏光法の開発研究代表者

    • 研究代表者
      林 照剛
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  カーボン機能ナノ粒子の光放射圧運動制御による超微細加工に関する研究

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  微粒子レンズを用いた共振レーザアブレーションによる自律型ナノ加工に関する研究

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  陶芸品の1/fゆらぎ成分解析と1/fゆらぎ形状創製装置の試作

    • 研究代表者
      前川 克廣
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      情報システム学(含情報図書館学)
    • 研究機関
      茨城大学
  •  液晶マルチプローブ型マイクロアレイスキャナーによるDNAチップの高速解析研究代表者

    • 研究代表者
      林 照剛
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      茨城大学
  •  圧電検出・駆動型ダイヤモンドマルチプローブを搭載した次世代ナノ加工・計測システム

    • 研究代表者
      柴田 隆行
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      茨城大学

すべて 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] Progress in Optomechatronic Technologies "chapter 4"2014

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Adachi, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • 総ページ数
      205
    • 出版者
      Springer International Publishing
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [雑誌論文] Measurement of molar concentration spectra for nanoparticle with multi-modal nanoparticle size distribution using nanoparticle chip2022

    • 著者名/発表者名
      Jaqing Zhu, Terutake Hayashi, Syuhei Kurokawa
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 74 ページ: 460-468

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2021.08.008

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [雑誌論文] ナノ粒子チップを用いた多分散ナノ粒子の粒度分布計測2020

    • 著者名/発表者名
      朱 家慶, 林 照剛, 黒河 周平
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集

      巻: 86 号: 892 ページ: 20-00220-20-00220

    • DOI

      10.1299/transjsme.20-00220

    • NAID

      130007961493

    • ISSN
      2187-9761
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [雑誌論文] Measurement of number based particle sizing distribution using nanoparticle micro array2019

    • 著者名/発表者名
      Jiaqing Zhu, Terutake Hayashi, Syuhei Kurokawa
    • 雑誌名

      Proceedings of 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2019)

      巻: 1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [雑誌論文] A novel Particle Sizing method for Nano-abrasives in CMP Slurry by Using Fluorescent Nano Probe2017

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Toshiki Seri, and Syuhei Kurokawa
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: -

    • NAID

      130007505952

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [雑誌論文] Dynamics of spallation during femtosecond laser ablation studied by time-resolved reflectivity with double pump pulses2016

    • 著者名/発表者名
      Takayuki Kumada, Tomohito Otobe, Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, and Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 108 号: 1 ページ: 011102-011102

    • DOI

      10.1063/1.4939231

    • NAID

      120006502168

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04706, KAKENHI-PROJECT-26630028, KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [雑誌論文] Wide-range Axial Position Measurement for Jumping Behavior of Optically Trapped Microsphere near Surface using Chromatic Confocal Sensor2015

    • 著者名/発表者名
      Shin-ichi Ueda, Masaki Michihata, Terutake Hayashi and Yasuhiro Takaya
    • 雑誌名

      Int. J. of Optmechatronics

      巻: 9 号: 2 ページ: 131-140

    • DOI

      10.1080/15599612.2015.1034901

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [雑誌論文] Measurement of stylus-probe sphere diameter for micro-CMM based on spectral fingerprint of whispering gallery mode2014

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Ayano Fukui, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • 雑誌名

      CIRP Annals - Manufacturing Technology

      巻: 55 号: 1 ページ: 469-472

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2014.02.002

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [雑誌論文] 蛍光偏光法を用いたナノ粒子粒径計測に関する研究(第1報)-蛍光DNAプローブを用いた回転拡散係数測定システムの開発-2014

    • 著者名/発表者名
      石崎佑樹,林 照剛,道畑正岐,高谷裕浩
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 2 ページ: 214-219

    • NAID

      130003394534

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [雑誌論文] 蛍光偏光法を用いたナノ粒子粒径計測に関する研究(第1報)-蛍光DNAプローブを用いた回転拡散係数測定システムの開発-2014

    • 著者名/発表者名
      石崎佑樹,林照剛,道畑正岐,高谷裕浩
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: VOl.80, No.3 ページ: 214-219

    • NAID

      130003394534

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [雑誌論文] Measurement of stylus-probe sphere diameter for micro-CMM based on spectral fingerprint of whispering gallery mode2014

    • 著者名/発表者名
      M. Michihata, T. Hayashi, A. Adachi, Y. Takaya
    • 雑誌名

      CIRP Annals

      巻: vol. 63, no. 1(in press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [雑誌論文] ポリグリセロール修飾ナノダイヤモンドを用いた銅膜の平坦化加工に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      村井亮太,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐,小松直樹
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: Vol.58, No.2 ページ: 97-102

    • NAID

      130004835699

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [雑誌論文] Surface analysis of the chemical polishing process using a fullerenol slurry by Raman spectroscopy under surface plasmon excitation2013

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Ryota Murai, Kazumasa Kano
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP

      巻: Vol.62, Issue 1 号: 1 ページ: 571-574

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2013.03.019

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [雑誌論文] Development of nanoparticle sizing system using fluorescence polarization2013

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, and Kok Fonog Lee
    • 雑誌名

      ACTA IMEKO

      巻: Vol. 2, No. 2 ページ: 67-72

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [雑誌論文] New technique for single-beam gradient-force optical trapping in air2013

    • 著者名/発表者名
      M.Michihata, T.Yoshikane, T.Hayashi, Y.Takaya
    • 雑誌名

      International journal of Optomechatronics

      巻: 7 号: 1 ページ: 46-59

    • DOI

      10.1080/15599612.2012.760122

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [雑誌論文] Development of nanoparticle sizing system integrated with optical microscopy using fluorescence polarization2012

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya and Masaki Michihata
    • 雑誌名

      International Journal of Nanomanufacturing

      巻: Vol. 8, Nos. 1/2 ページ: 54-56

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [雑誌論文] Development of nanoparticle sizing system integrated with optical microscopy using fluorescence polarisation2012

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya and Masaki Michihata
    • 雑誌名

      Int. J. Nanomanufacturing

      巻: Vol.8, Nos. 1/ 2 ページ: 54-66

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [雑誌論文] Development of nanoparticle sizing system integrated with optical microscopy using fluorescence polarisation2012

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata
    • 雑誌名

      International Journal of Nanomanufacturing

      巻: 8 ページ: 54-66

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [雑誌論文] Dimensional measurement of microform with high aspect ratio using an opticaly controlled particle with standing wave scale sensing2012

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Michihata, Terutake Hayashi, Taisuke Washitani
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP

      巻: Vol.61, Issue 1 ページ: 479-482

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [雑誌論文] Development of nanoparticle sizing system integrated with optical microscopy using fluorescence polarization2011

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • 雑誌名

      International Journal of nanomanufacturing

      巻: (掲載確定)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [雑誌論文] Chemical mechanical polishing of patterend copper wafer surface using water-soluble fullerenol slurry2011

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Hirotaka Kishida, Terutake Hayashi, Masaki Michihata
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP

      巻: Vol.60 ページ: 567-570

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [雑誌論文] Chemical mechanical polishing of patterned copper wafer surface using water-soluble fullerenol slurry2011

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Hirotaka Kishida, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Ken Kokubo
    • 雑誌名

      CIRP Annals-Manufacturing Technology

      巻: Vol.60, Issue1 ページ: 567-570

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [雑誌論文] Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces2009

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Hideaki Tachika, Terutake Hayashi, Ken Kokubo, Keisuke Suzuki
    • 雑誌名

      The 59th CIRP general assembly, CIRP Annals. Manufacturing Technology

      巻: Vol.58, Issue1 ページ: 495-498

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [雑誌論文] Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces2009

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Hideaki Tachika, Terutake Hayashi, Ken Kokubo, Keisuke Suzuki
    • 雑誌名

      CIRP Annals 1巻

      ページ: 495-498

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [雑誌論文] 水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工に関する研究2009

    • 著者名/発表者名
      田近英之, 高谷裕浩, 林照剛, 田名田祐樹, 小久保研, 鈴木恵友
    • 雑誌名

      精密工学会誌 Vol.75 No.4

      ページ: 489-495

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [雑誌論文] 水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工法に関する研究-研磨特性の検証-2009

    • 著者名/発表者名
      田近英之, 高谷裕浩, 林照剛, 田名田祐樹, 小久保研, 鈴木恵友
    • 雑誌名

      精密工学会誌論文集,精密工学会誌

      巻: Vol.75, No.4 ページ: 489-495

    • NAID

      130000421625

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [雑誌論文] マルチスポットレーザ蛍光偏光法によるタンパク質構造解析に関する研究2007

    • 著者名/発表者名
      赤瀬弘樹, 林照剛, 三好隆志, 高谷裕浩
    • 雑誌名

      2007年度精密工学会春季全国大会 講演論文集 (in print)

    • NAID

      130005028460

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760333
  • [雑誌論文] Evaluation of Laser Trapping Probe Properties for Coordinate Measurement2006

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Instrumentation and Computer-Vision System (SPIE) Vol. 6375

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] A Novel Surface Finishing Technique for Microparts Using an Optically Controlled Microparticle Tool2006

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Torutake Hayashi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL.55/1

      ページ: 613-616

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Study on nano-3D position detection using laser trapping probe with circular motion2006

    • 著者名/発表者名
      Yuto Nagasaka, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      The 6th Manufacturing & Machine Tool Conference, Hayama

      ページ: 129-130

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Evaluation of Laser Trapping Probe Properties for Coordinate Measurement2006

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Instrumentation and Computer-Vision System (SPIE) Vol.6375

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] レーザトラッピングプローブを用いた高精度3次元座標計測に関する研究2006

    • 著者名/発表者名
      道畑正岐, 高谷裕浩, 三好隆志, 林照剛
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 東京

      ページ: 1053-1054

    • NAID

      130005027106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] レーザトラップを用いたナノ3次元位置検出プローブに関する研究-2次元振動プローブの特性評価-2006

    • 著者名/発表者名
      長坂雄人, 高谷裕浩, 三好隆志, 林照剛
    • 雑誌名

      日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会 葉山

      ページ: 129-130

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] The 3D) manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping2006

    • 著者名/発表者名
      Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of Optics and Photonics 2006 (SPIE) Vol.6326, (CD_ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] UVレーザを用いた微粒子トラップによる微細加工に関する研究2006

    • 著者名/発表者名
      日高敏揮, 高谷裕浩, 三好隆志, 林 照剛
    • 雑誌名

      日本機械学会 第6回生産加工・工学機械部門講演会講演論文集 (in print)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上げ加工に関する研究(第2報) -局所マイクロ領域におけるナノ平滑化特性-2006

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩, 林照剛
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 東京

      ページ: 1195-1196

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [雑誌論文] レーザトラップを用いたナノ3次元位置検出プローブに関する研究? 2次元振動プローブの特性評価?2006

    • 著者名/発表者名
      長坂雄人, 高谷裕浩, 三好隆志, 林照剛
    • 雑誌名

      日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会 葉山

      ページ: 129-130

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Novel CMP Technique for Copper Surface Finishing with Fullerene Nano-Particle2006

    • 著者名/発表者名
      H.Tanada, T.Miyoshi, Y.Takaya, T.Hayashi, K.Suzuki
    • 雑誌名

      Proceeding of ASPE 21st Annual Meeting (ASPE'06), Monterey, California

      ページ: 595-598

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] Study on High Precise-3-Dimensional Coordinate Measurement with Laser Trapping Probe2006

    • 著者名/発表者名
      Masaki MICHIHATA, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI, Terutake HAYASHI
    • 雑誌名

      Proceedings of 2006 JSPE general meeting in spring, Tokyo

      ページ: 1053-1054

    • NAID

      130005027106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上加工に関する研究-局所マイクロ領域におけるナノ平滑化特性-2006

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩, 林 照剛
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping2006

    • 著者名/発表者名
      Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of Optics and Photonics 2006 (SPIE) Vol. 6326(CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] A Novel Surface Finishing Technique for Microparts Using an Optically Controlled Microparticle tool2006

    • 著者名/発表者名
      H.Tanada, K.Hida, T.Miyoshi, T.Hayashi
    • 雑誌名

      CIRP Annals - 2006 Manufacturing Technology 55/1

      ページ: 613-616

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] マルチスポットレーザ蛍光偏光法によるタンパク質構造の高速解析-蛍光偏光測定光学系の設計と構築-2006

    • 著者名/発表者名
      赤瀬弘樹, 林 照剛, 三好隆志, 高谷裕浩
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集

      ページ: 77-78

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760333
  • [雑誌論文] フラーレンナノ粒子を用いたCu-CMPの研究-研磨の基本特性2006

    • 著者名/発表者名
      田名田祐樹, 三好隆志, 高谷裕浩, 林 照剛
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集

      ページ: 15-16

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] A Novel Surface Finishing Technique for Microparts Using an Optically Controlled Microparticle Tool2006

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL. 55/1

      ページ: 613-616

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上加工に関する研究-加工特性の解析-2005

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩, 林 照剛
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 943-944

    • NAID

      130004657252

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] Nano-fishing Using a Micro-perticle Controlled by Optical Radiation Force2005

    • 著者名/発表者名
      Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'05) USA

      ページ: 464-467

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [雑誌論文] セラミックナノ粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形法に関する研究2005

    • 著者名/発表者名
      李 東建, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 河 兌坪, 林 照剛
    • 雑誌名

      精密工学会誌 Vol.71,No.11

      ページ: 1415-1420

    • NAID

      10016764394

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760333
  • [雑誌論文] Selective Laser Sintering Method using Titanium Powder Sheet Toward Fabrication of Porous Bone Substitutes2005

    • 著者名/発表者名
      Terutake HAYASHI, Katsuhiro MAEKAWA, Masashi TAMURA, Kenichi HANYU
    • 雑誌名

      JSME International Journal Volume 48, No.4 Series A

      ページ: 369-375

    • NAID

      110004820585

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760333
  • [雑誌論文] Laser Surface Alloying of SUS316 Stainless Steel with Al-Si - Effect of Substrate Temperature on Structure and Properties of Modified Layer -2005

    • 著者名/発表者名
      Sergey Zherebtsov, Katsuhiro Maekawa, Terutake Hayashi, Masatoshi Futakawa
    • 雑誌名

      JSME International Journal Volume 48, No.4 Series A

      ページ: 292-298

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760333
  • [雑誌論文] 有気孔人工骨作製に向けたチタン粉末シートのレーザ焼結プロセスの検討2005

    • 著者名/発表者名
      林 照剛, 前川克廣, 田村政司, 羽生謙市
    • 雑誌名

      日本実験力学会誌 第5巻,1号

      ページ: 29-34

    • NAID

      10015505640

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760333
  • [雑誌論文] Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force2005

    • 著者名/発表者名
      Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of the 20^<th> American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'05) Vol.37

      ページ: 464-467

    • NAID

      130004657252

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上げ加工に関する研究 -加工特性の解析-2005

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 林 照剛
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 京都

      ページ: 943-944

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [産業財産権] 粒子分析用の基板、粒子分析システム、及び粒子の分析方法2019

    • 発明者名
      林 照剛,黒河周平
    • 権利者名
      九州大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 公開番号
      2020-052043
    • 出願年月日
      2019
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [産業財産権] レーザー加工装置2015

    • 発明者名
      林 照剛,黒河周平
    • 権利者名
      九州大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-170450
    • 出願年月日
      2015-08-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630028
  • [産業財産権] レーザー加工装置2015

    • 発明者名
      林 照剛,黒河周平
    • 権利者名
      九州大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-170450
    • 出願年月日
      2015-08-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [産業財産権] レーザー加工装置,レーザー加工方法及び加工物の製造方法2014

    • 発明者名
      林 照剛,高谷裕浩,道畑正岐
    • 権利者名
      林 照剛,高谷裕浩,道畑正岐
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2014
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [産業財産権] 液晶を用いた共焦点顕微鏡及び液晶を用いた共焦点顕微鏡によるマイクロアレイ基板からの蛍光測定法

    • 発明者名
      林 照剛, 前川 克廣, 柴田 隆行
    • 権利者名
      JST
    • 産業財産権番号
      2002-287422
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760333
  • [学会発表] ナノ粒子チップを用いた多分散粒子の粒度分布計測に関する研究(第三報) ―AFMを用いた高さ相当径の評価2022

    • 著者名/発表者名
      朱家慶,林照剛,黒河周平
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春期全国大会
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [学会発表] Nanoparticle sizing for CMP slurry using nanoparticle chip2021

    • 著者名/発表者名
      Jiaqing ZHU, Terutake HAYASHI and Syuhei KUROKAWA
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Center(LEM21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [学会発表] Measurement of molar concentration spectrum based on number-weighted particle size distribution for poly-dispersed particles using nanoparticle chip2021

    • 著者名/発表者名
      Jiaqing Zhu, Terutake Hayashi, Syuhei Kurokawa
    • 学会等名
      XXIII IMEKO World Congress August 30-September 3, 2021, Yokohama, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [学会発表] Measurement of molar concentration spectrum for nanoparticle with multi-modal nanoparticle size distribution using nanoparticle chip2020

    • 著者名/発表者名
      Jiaqing ZHU, Terutake HAYASHI and Syuhei KUROKAWA
    • 学会等名
      The 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020 in Kobe)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02043
  • [学会発表] 蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究 ~第5報 蛍光色素を標識したナノ粒子の並進拡散時間評価~2019

    • 著者名/発表者名
      草場博喜,林照剛,黒河周平,赤星圭将
    • 学会等名
      2019年度精密工学会春期全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [学会発表] 蛍光プローブを用いた高精度ナノ粒子径計測に関する研究2019

    • 著者名/発表者名
      赤星 圭将,林 照剛,黒河 周平,草場 博喜
    • 学会等名
      日本機械学会九州支部第72期総会・講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [学会発表] フェムト秒レーザを用いた薄膜付き透明材料の光励起加工に関する研究2019

    • 著者名/発表者名
      廣津 佑紀,林 照剛,黒河 周平,水町 遼祐
    • 学会等名
      日本機械学会九州支部第72期総会・講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K18831
  • [学会発表] A novel nano particle characterizing method using nano particle micro array2018

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Syuhei KUROKAWA and Zhu Jiaqing
    • 学会等名
      17th International Conference on Precision Engineering (ICPE2018)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [学会発表] フェムト秒レーザによる膜付き絶縁体に対する光励起加工に関する研究2018

    • 著者名/発表者名
      廣津佑紀,林照剛,黒河周平,水町遼祐,松川洋二
    • 学会等名
      2018年度精密工学会九州支部講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K18831
  • [学会発表] ナノ粒子粒径計測時におけるブラウン運動2018

    • 著者名/発表者名
      赤星 圭将,林 照剛,黒河 周平,草場 博喜
    • 学会等名
      2018年度精密工学会九州支部講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [学会発表] フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究(第九報) ―加工変質層の元素組成評価―2018

    • 著者名/発表者名
      松永啓伍,林照剛,黒河周平,廣津佑紀,松川洋二,長谷川登,錦野将元
    • 学会等名
      2018年度精密工学会春期全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K18831
  • [学会発表] CMP スラリー中のナノ粒子粒径評価に関する研究2018

    • 著者名/発表者名
      林 照剛,黒河 周平,草場 博喜,赤星 圭介,松川 洋二
    • 学会等名
      2018年度機械学会年次大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [学会発表] 蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究 ~第3報 蛍光プローブの並進拡散係数の評価~2018

    • 著者名/発表者名
      草場博喜,林照剛,黒河周平
    • 学会等名
      2018年度精密工学会九州支部講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [学会発表] 蛍光ナノプローブを用いたブラウン運動解析に基づくナノ粒子粒径計測(第3報)2017

    • 著者名/発表者名
      林照剛,世利俊樹,黒河周平,松川洋二
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      慶應義塾大学 矢上キャンパス
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [学会発表] ナノ粒子粒径評価のためのブラウン運動解析に基づく粘性計測2017

    • 著者名/発表者名
      世利俊樹,林照剛,黒河周平,松川洋二
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会
    • 発表場所
      慶應義塾大学 矢上キャンパス
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [学会発表] 蛍光ナノプローブを用いたブラウン運動解析に基づくナノ粒子粒径計測(第2報) -光子相関法による並進拡散係数計測-2016

    • 著者名/発表者名
      林 照剛, 世利俊樹,黒河周平,松川洋二
    • 学会等名
      2016年度精密工学会秋期大会
    • 発表場所
      茨城大学 水戸キャンパス
    • 年月日
      2016-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [学会発表] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究2016

    • 著者名/発表者名
      林 照剛,横尾英昭,黒河周平,松永啓伍,王 成武,松川洋二
    • 学会等名
      精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東京理科大学
    • 年月日
      2016-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [学会発表] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究2016

    • 著者名/発表者名
      林 照剛,横尾英昭,黒河周平,松永啓伍,王 成武,松川洋二
    • 学会等名
      精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東京理科大学
    • 年月日
      2016-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630028
  • [学会発表] Particle Size Distribution Analysis for Nano-abrasives in CMP Slurry by Using Fluorescent Nano Probe2016

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Toshiki Seri, and Syuhei Kurokawa
    • 学会等名
      International Conference on Planarization/ CMP Technology
    • 発表場所
      Beijing,China
    • 年月日
      2016-10-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04249
  • [学会発表] ダブルパルスビームを用いた時間分解表面励起加工に関する研究2016

    • 著者名/発表者名
      林 照剛,横尾英昭,王成武,松川洋二,黒河周平
    • 学会等名
      電気加工学会全国大会
    • 発表場所
      四国大学交流プラザ
    • 年月日
      2016-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [学会発表] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第2報)-加工エネルギー閾値の検討2015

    • 著者名/発表者名
      林 照剛,横尾英昭,黒河周平,王 成武,松川洋二
    • 学会等名
      精密工学会秋期全国大会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2015-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [学会発表] フェムト秒レーザーを用いた半導体表面励起加工に関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      林 照剛, 横尾英昭, 王 成武, 松川洋二, 黒河周平
    • 学会等名
      日本機械学会年次大会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [学会発表] フェムト秒レーザーを用いた半導体表面励起加工に関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      林 照剛, 横尾英昭, 王 成武, 松川洋二, 黒河周平
    • 学会等名
      日本機械学会年次大会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630028
  • [学会発表] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第2報)-加工エネルギー閾値の検討2015

    • 著者名/発表者名
      林 照剛,横尾英昭,黒河周平,王 成武,松川洋二
    • 学会等名
      精密工学会秋期全国大会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2015-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630028
  • [学会発表] ダブルパルスビームを用いた時間分解表面励起加工に関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      林 照剛,横尾英昭,王成武,松川洋二,黒河周平
    • 学会等名
      電気加工学会全国大会
    • 発表場所
      四国大学交流プラザ
    • 年月日
      2015-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630028
  • [学会発表] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第3 報) -DNA を用いたナノ粒子計測プローブの開発-2014

    • 著者名/発表者名
      林 照剛,石崎佑樹,道畑正岐,高谷裕浩,田中慎一
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [学会発表] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第二報) -コヒーレントフォノン励起状態の時間分解計測-2014

    • 著者名/発表者名
      林 照剛, 大菊崇弘, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • 学会等名
      精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [学会発表] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第二報) -粒径と蛍光DNAプローブの回転拡散係数の関係性についての検討-2014

    • 著者名/発表者名
      石崎佑樹,林照剛,道畑正岐,高谷裕浩
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測 (第2報) -WGM波長スペクトルを用いた球径の推定方法-2014

    • 著者名/発表者名
      道畑正岐,足立 篤,林 照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2014年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第三報) -テラヘルツ帯域でのエネルギー伝達機構の検討-2014

    • 著者名/発表者名
      林 照剛, 大島玄喜, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • 学会等名
      精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [学会発表] Measurement of axial position of a microsphere using chromatic confocal system for probe system based on the laser trapping with the standing wave scale2014

    • 著者名/発表者名
      Shin-ichi Ueda, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      International Symposium on Optomechatronic Technologies 2014
    • 発表場所
      University of Washington (Seattle, USA)
    • 年月日
      2014-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] フォトニックナノジェットを利用した表面微細加工に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      上野原努,道畑正岐,高谷裕浩,林 照剛
    • 学会等名
      2014年度砥粒加工学会学術講演会 (ABTEC2014)
    • 発表場所
      岩手大学(岩手市)
    • 年月日
      2014-09-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第 4 報) ~マイクロ球光軸方向位置の共焦点計測~2014

    • 著者名/発表者名
      上野原努,道畑正岐,高谷裕浩,林 照剛
    • 学会等名
      2014年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • 発表場所
      鳥取大学 (鳥取市)
    • 年月日
      2014-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] 局在型表面プラズモン励起ラマン分光による水酸化フラーレンのCu-CMP加工特性解析2014

    • 著者名/発表者名
      旭真史,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • 学会等名
      日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学(堺市)
    • 年月日
      2014-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [学会発表] 表面プラズモン励起ラマン計測による水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      村井亮太,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京大学(東京都)
    • 年月日
      2014-03-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [学会発表] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第二報)-粒径と蛍光DNAプローブの回転拡散係数の関係性についての検討-2014

    • 著者名/発表者名
      石崎佑樹,林照剛,道畑正岐,高谷裕浩
    • 学会等名
      2014年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第2報) -WGM波長スペクトルを用いた球径の推定方法-2014

    • 著者名/発表者名
      道畑正岐,足立篤,林照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2014年度精密工学会学術講演会春季大会講演論文集
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第3報)-DNAを用いたナノ粒子計測プローブの開発-2014

    • 著者名/発表者名
      林照剛,石崎佑樹,道畑正岐,高谷裕浩,田中慎一
    • 学会等名
      2014年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [学会発表] Study on material removal mechanism by reactive fullerenol molecules in Cu-CMP using high-sensitive Raman spectroscopy2013

    • 著者名/発表者名
      Ryota Murai, Yasuhiro Yakaya, Terutake Hayashi and Masaki Michihata
    • 学会等名
      5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • 発表場所
      Taipei(Taiwan)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [学会発表] Study on material removal mechanism by reactive fullerenol molecules in Cu-CMP using high-sensitive Raman spectroscopy2013

    • 著者名/発表者名
      Ryota Murai, Yasuhiro Yakaya, Terutake Hayashi and Masaki Michihata
    • 学会等名
      5^<th > International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • 発表場所
      Taipei(Taiwan)Howard Civil International Centre
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [学会発表] Development of nanoparticles sizing method based on fluorescence polarization2013

    • 著者名/発表者名
      Yuki Ishizaki,Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      ISMQC2013
    • 発表場所
      University, Cracow, Poland (Best paper award)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [学会発表] Study on surface processing by using femto-second pulse train beam with excitation of coherent phonon2013

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Yusuke Fukuta, Masaki Michihata, and Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, (ASPE2013)
    • 発表場所
      St. Paul, Minnesota, USA,
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [学会発表] Optimization of coupling condition in distance between the sphere and the tapered fiber for diameter measurement of microsphere by using WGM resonance2013

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Adachi, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      International Symposium on Optomechatronic Technologies (ISOT2013)
    • 発表場所
      Jeju island, South Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第2報)―定在場中でのプローブ球の挙動解析―2013

    • 著者名/発表者名
      鷲谷泰佑,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] CMMによる高精度測定のための微小球共振を用いたプローブ球の直径測定2013

    • 著者名/発表者名
      峨家諒介、道畑正岐、林 照剛、高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] WGモード解析に基づくマイクロプローブの直径計測原理に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      足立篤,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2012年度日本機械学会関西学生会卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      大阪工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] Fundamental Study on Chemical Mechanical Polishing of Copper Wafer Surface using Water-soluble Fullerenol as a Functional Molecule2013

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi
    • 学会等名
      The collaborative conference on Materials Research (CCMR) 2013
    • 発表場所
      Jeju Island(South Korea)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第1報) -結合条件が共振ピークに与える影響-2013

    • 著者名/発表者名
      足立篤,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会学術講演会秋季大会講演論文集
    • 発表場所
      関西大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] 表面微細構造を用いた光放射圧プローブスタイラスの捕捉(第2報)―基板材料と表面離脱性の関係―2013

    • 著者名/発表者名
      吉兼匡昭,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] Fundamental verification of diameter measurement of a micro-CMM probe by using whispering gallery mode resonance2013

    • 著者名/発表者名
      M. Michihata, R. Gake, T. Hayashi, Y. Takaya
    • 学会等名
      Proc. the 11th international symposium on measurement technology and intelligent instruments
    • 発表場所
      Aachen/Braunschweig, Germany
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] Fundamental Study on Chemical Mechanical Polishing of Copper Wafer Surface using Water-soluble Fullerenol as a Functional Molecule2013

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi
    • 学会等名
      The collaborative conference on Materials Research (CCMR) 2013
    • 発表場所
      Jeju Island(South Korea)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [学会発表] Micro-probing system for coordinate metrology using a particle controlled by optical radiation pressure based on standing wave scale sensing method2013

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi
    • 学会等名
      International Conference on Optics in Precision Engineering and Nanotechnology (icOPEN) 2013
    • 発表場所
      Singapore
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第3報)~スケールの内挿誤差の検討~2013

    • 著者名/発表者名
      上田真一,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      関西大学 (吹田市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] Fundamental verification of diameter measurement of a micro-CMM probe by using whispering gallery mode resonance2013

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Ryosuke Gake, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII)
    • 発表場所
      Aachen
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] CMMによる高精度測定のための微小球共振を用いたプローブ球の直径測定2013

    • 著者名/発表者名
      峨家諒介,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会学術講演会春季大会講演論文集
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] Fundamental verification of diameter measurement of a micro-CMM probe by using whispering gallery mode resonance2013

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Ryosuke Gake, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII)
    • 発表場所
      Aachen/Braunschweig, Germany
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] Development of nanoparticles sizing method based on fluorescence polarization2013

    • 著者名/発表者名
      Yuki Ishizaki, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      ISMQC2013
    • 発表場所
      University, Cracow, Poland
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [学会発表] Optimization of coupling condition in distance between the sphere and the tapered fiber for diameter measurement of microsphere by using WGM resonance2013

    • 著者名/発表者名
      A. Adachi, M. Michihata, T. Hayashi, Y. Takaya
    • 学会等名
      International symposium on optomechatronic technologies
    • 発表場所
      Jeju island, South Korea, M1C-3
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] 表面微細構造を用いた光放射圧プローブスタイラスの捕捉(第2報)~基板材質と表面離脱性の関係~2013

    • 著者名/発表者名
      吉兼匡昭、道畑正岐、林 照剛、高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測 (第1報) -結合条件が共振ピークに与える影響-2013

    • 著者名/発表者名
      足立篤,道畑正岐,林 照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • 発表場所
      関西大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] Mode selective probing method of micro trench structure using optically trapped probe2012

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi and Taisuke Washitani
    • 学会等名
      ISOT’12 (International Symposium on Optomechatronic Technologies)
    • 発表場所
      Paris (France)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] Development of Nano Particle Sizing System Using Fluorescence Polarization2012

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, and Kok Foong Lee
    • 学会等名
      XX IMEKO World Congress Metrology for Green Growth
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [学会発表] Development of a Novel Surface Processing System Using Femtosecond Pulse Train2012

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Fukuta, Terutake Hayashi, Masaki Michihata and Yasuhiro Takaya,
    • 学会等名
      International Conference on Precision Engineering
    • 発表場所
      To be published
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656041
  • [学会発表] Scanning measurement of step height and freeform surface by using optically trapped microsphere2012

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Taisuke Washitani, Terutake Hayashi
    • 学会等名
      The 12th euspen International Conference
    • 発表場所
      Stockholm (Sweden)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第一報)ブラウン粒子の回転相関時間計測システムの開2012

    • 著者名/発表者名
      Lee Kok Foong, 林照剛, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      首都大学東京
    • 年月日
      2012-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [学会発表] Development of Nano Particle Sizing System Using Fluorescence Polarization2012

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, and Kok Foong Lee
    • 学会等名
      XX IMEKO World Congress Busan Korea
    • 発表場所
      (To be published)
    • 年月日
      2012-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [学会発表] 水酸化フラーレンを用いたCu-CMPにおける化学反応過程の解明(第一報)-In-situラマン分光分析装置の開発ー2012

    • 著者名/発表者名
      鹿野和昌, 高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐, 小久保研
    • 学会等名
      精密工学会, 2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      首都大学東京
    • 年月日
      2012-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] New technique of single-beam gradient-force laser trapping in air condition2012

    • 著者名/発表者名
      Masaki MICHIHATA, Tadaaki YOSHIKANE, Terutake HAYASHI and Yasuhiro TAKAYA
    • 学会等名
      ISOT’12 (International Symposium on Optomechatronic Technologies)
    • 発表場所
      Paris (France)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] フェムトパルストレインによる表面原子加工システムの開発2012

    • 著者名/発表者名
      福田悠介, 林照剛, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会(2012)
    • 発表場所
      金沢大学
    • 年月日
      2012-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656041
  • [学会発表] 磁気ビーズ細胞励振系およびナノ振動計測系の開発2012

    • 著者名/発表者名
      服部圭介、増澤徹、長真啓、林照剛
    • 学会等名
      第21回ライフサポート学会フロンティア講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-03-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22650100
  • [学会発表] In Situ Raman Analysis of Chemical Reaction for Copper CMP Using Water-soluble Fullerenol2011

    • 著者名/発表者名
      Kazumasa Kano, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata and Ken Kokubo
    • 学会等名
      Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2011
    • 発表場所
      China, Hong Kong
    • 年月日
      2011-11-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] 水酸化フラーレンを用いたCu-CMP加工に関する研究(第3報)-パターンウエハの研磨特製の評価-2011

    • 著者名/発表者名
      岸田裕貴, 高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐, 小久保研
    • 学会等名
      精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      東洋大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] フェムトパルストレインによる表面原子加工技術の開発2011

    • 著者名/発表者名
      福田悠介, 林照剛, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2011年度精密工学会秋期大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      金沢大学
    • 年月日
      2011-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656041
  • [学会発表] Development of in-situ evaluation system for monitoring the size of nanoparticles based on fluorescence polarization, Proc2011

    • 著者名/発表者名
      Kok Foong Lee, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      The 10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • 発表場所
      Daejeon, Korea
    • 年月日
      2011-06-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [学会発表] 水酸化フラーレンを用いたCu-CMP加工における表面反応層の形成2010

    • 著者名/発表者名
      岸田裕貴, 高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐, 小久保研
    • 学会等名
      2010年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(JSPE)
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2010-09-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] Verification of Generation and Removal Process of Surface Brittle Film, In Polishing Water Soluble Fullerenol, Proc2010

    • 著者名/発表者名
      Kazumasa Kano, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya, Ken Kokubo
    • 学会等名
      10th International Symposium on Measurement and Quality Control(ISMQC)
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2010-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] Structual of Metal Nanoparticles by Photoinduced Aggregation, Proc2010

    • 著者名/発表者名
      Kok Foong Lee, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya,
    • 学会等名
      10th International Symposium on Measurement and Quality Contro
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2010-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [学会発表] 蛍光偏光法を用いた自己組織化過程におけるin-situナノ粒子径評価(第2報)2010

    • 著者名/発表者名
      大田悟嗣, 林照剛, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2010年度精密工学会春季大会学術講演会(2010)
    • 発表場所
      埼玉大学
    • 年月日
      2010-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [学会発表] Weakly Copper-Fullerenol Layer on Chemical Mechanical Polishing Using Water Soluble Fullerenol, Proc2010

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Kishida, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Ken Kokubo
    • 学会等名
      2010 American Society for Precision Engineering(ASPE)
    • 発表場所
      Atlanta, USA
    • 年月日
      2010-11-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] 水酸化フラーレンにおける脆性膜の生成および除去過程の検討2010

    • 著者名/発表者名
      鹿野和昌, 高谷裕浩, 林照剛
    • 学会等名
      精密工学会2010年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      京都大学
    • 年月日
      2010-05-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] 蛍光偏光法を用いた自己組織化過程におけるin-situナノ粒子径評価(第2報)~金ナノ粒子の粒子成長評価~2010

    • 著者名/発表者名
      大田悟嗣, 林照剛, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2010年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      埼玉大学,埼玉県
    • 年月日
      2010-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [学会発表] Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces2009

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Hideaki Tachika, Terutake Hayashi, Ken Kokubo, Keisuke Suzuki
    • 学会等名
      The 59th CIRP general assembly
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 年月日
      2009-08-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] In-situ measurement system for the particle growth in self-assembly process based on fluorescence polarization2009

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Ota, Terutake hayashi, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology
    • 発表場所
      Included in Digital Media
    • 年月日
      2009-11-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [学会発表] Effect of Fullerene Poly-hydroxide on Cu-CMP Process2009

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Kishida, Terutake hayashi, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st
    • 発表場所
      Century, Japan
    • 年月日
      2009-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] 蛍光偏光法を用いた自己組織化過程におけるin-situナノ粒子径評価2009

    • 著者名/発表者名
      大田悟嗣, 林照剛, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2009年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      神戸大学,兵庫県神戸市
    • 年月日
      2009-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [学会発表] In-situ measurement system for the particle growth in self-assembly process based on fluorescence polarization2009

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Ota, Terutake.Hayashi, Yasurhio Takaya
    • 学会等名
      3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN)
    • 発表場所
      Station Hotel Kokura, Kokura, Kitakyushu
    • 年月日
      2009-11-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [学会発表] 蛍光偏光法を用いた自己組織化過程におけるin-situナノ粒子径2009

    • 著者名/発表者名
      大田悟嗣, 林照剛, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2009年度精密工学会秋季大会学術講演会(2009)
    • 発表場所
      神戸大学
    • 年月日
      2009-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21686015
  • [学会発表] フェムト秒レーザ干渉を用いた超時間分解能ナノ変位計測に関する研究2008

    • 著者名/発表者名
      中塚雄貴, 高谷裕浩, 林照剛
    • 学会等名
      2007年度日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2008-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656047
  • [学会発表] Development of a Novel Surface Processing System Using Femtosecond Pulse Train

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Fukuta, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      14th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2012)
    • 発表場所
      Awaji, Hyogo(2012年11月発表予定)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656041
  • [学会発表] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第 2 報) -コヒーレントフォノンの時間分解計測システムの開発-

    • 著者名/発表者名
      大菊 崇弘, 林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東洋大学
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [学会発表] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第 2 報) -コヒーレントフォノンの時間分解計測システムの開発-

    • 著者名/発表者名
      大菊 崇弘, 林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      2015年度精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東洋大学
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630028
  • [学会発表] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究

    • 著者名/発表者名
      林 照剛, 横尾英昭,王成武,松川洋二,黒河周平
    • 学会等名
      精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東洋大学
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [学会発表] 局在型表面プラズモン励起ラマン分光による水酸化フラーレンのCu-CMP加工特性解析

    • 著者名/発表者名
      旭真史,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • 学会等名
      日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学 (堺市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [学会発表] フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究

    • 著者名/発表者名
      林 照剛, 横尾英昭,王成武,松川洋二,黒河周平
    • 学会等名
      2015年度精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東洋大学
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630028
  • [学会発表] フォトニック・ナノジェットを利用した微細加工に関する基礎研究

    • 著者名/発表者名
      上野原 努,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • 学会等名
      日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学 (堺市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] フォトニック・ナノジェットの生成に関する研究 ―ベッセルビーム照明条件の検討―

    • 著者名/発表者名
      大島玄喜,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • 学会等名
      2013年度精密工学会関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      大阪工業大学(大阪市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • 1.  高谷 裕浩 (70243178)
    共同の研究課題数: 12件
    共同の研究成果数: 93件
  • 2.  道畑 正岐 (70588855)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 66件
  • 3.  三好 隆志 (00002048)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 21件
  • 4.  黒河 周平 (90243899)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 20件
  • 5.  柴田 隆行 (10235575)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  河 兌坪
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  小久保 研 (20304008)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 12件
  • 8.  増澤 徹 (40199691)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 9.  木村 剛 (10393216)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  川島 貴弘 (50378270)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  永井 萌土 (00580557)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  水谷 康弘 (40374152)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  牧野 英司 (70109495)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  前川 克廣 (20126329)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  赤羽 秀郎 (50192886)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  脇山 茂
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  鈴木 恵友
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  乙部 智仁
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件
  • 19.  長谷川 登
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件
  • 20.  熊田 高之
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件
  • 21.  錦野 将元
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件

URL: 

この研究者とORCID iDの連携を行いますか?
※ この処理は、研究者本人だけが実行できます。

Are you sure that you want to link your ORCID iD to your KAKEN Researcher profile?
* This action can be performed only by the researcher himself/herself who is listed on the KAKEN Researcher’s page. Are you sure that this KAKEN Researcher’s page is your page?

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi