石井保行 Ishii Yasuyuki

研究者番号	00343905
その他のID
所属 (現在)	2024年度: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子技術基盤研究所先進ビーム利用施設部, 課長
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2023年度: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子応用研究所先進ビーム利用施設部, 課長 2020年度 – 2022年度: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子応用研究所放射線高度利用施設部, 課長 2016年度: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子応用研究所放射線高度利用施設部, 課長(定常) 2015年度: 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構, 原子力科学研究部門高崎量子応用研究所放射線高度利用施設部, 研究主幹 2013年度 – 2014年度: 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 原子力科学研究部門高崎量子応用研究所放射線高度利用施設部, 研究主幹 … もっと見る 2012年度: 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 放射線高度利用施設部, 研究副主幹 2012年度: 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 高崎量子応用研究所, 副主任研究員 2012年度: 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 高崎量子応用研究所, 研究副主幹 2011年度: 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 高崎量子応用研究所放射線高度利用施設部, 研究副主幹 2011年度: 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 高崎量応用研究所・放射線高度利用施設部, 研究副主幹 2010年度: 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 高崎量応用研究所, 研究副主幹 2009年度 – 2010年度: 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 放射線高度利用施設部, 研究副主幹 2008年度: 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 高崎量子応用研究所放射線高度利用施設部, 研究副主幹 2007年度: 日本原子力研究開発機構, 高崎量子応用研究所, 研究副主幹(研究員) 2007年度: 日本原子力研究開発機構, 高崎量子応用研究所, 研究副主幹研究員 2007年度: 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 研究副主幹 2006年度: 日本原子力研究開発機構, 高崎量子応用研究所ビーム技術開発課, 研究副主幹 2005年度: 日本原子力研究機構, 高崎量子ビーム応用研究所(旧:日本原子力研究所・高崎研究所), 副主任研究員隠す
審査区分/研究分野	研究代表者原子力学 / 小区分31010:原子力工学関連研究代表者以外マイクロ・ナノデバイス / 量子ビーム科学 / 量子ビーム科学 / 原子力学
キーワード	研究代表者イオンマイクロビーム / 二段加速レンズ系 / 小型ガスイオンナノビーム形成装置 / 加速レンズ / プラズマ型イオン源 / サブミクロンイオンビーム / 異種イオン混在ビームの発生 / シリコン空孔 / SiC半導体デバイス / 異種イオン … もっと見る / マイクロビーム / 位置決め装置 / イオン源 / SiCデバイス / 混合イオンマイクロビーム / シリオン空孔 / 異種イオン注入 / keVサブミクロンビーム / 電磁石型PIGイオン源 / PIG型イオン源 / 小型イオンマイクロビーム装置 / PIGイオン源 / 絶縁物 / 収差 / 縮小率 / 加速管 / ガスイオンナノビーム / ガスイオンナノビーム形成装置 / 単一ギャップ第3加速レンズ / 小型300keVイオンマイクロビーム形成装置 / 小型イオンマイクロビーム形成装置 / 3段加速レンズ / 単一ギャップ加速速レンズ / 平行ビーム加速電極 / 超小型ガスイオンナノビーム形成装置 / 高縮小率 / 集束ガスイオンビーム / ビーム科学 / 放射線工学 … もっと見る研究代表者以外蛍光板 / プロトンビーム / 微細加工 / 空間分解能 / レジスト / dielectrophoretic device / pillar / micro, nanostructures / resist / high-aspect-ratio structures / glass / polymer / proton / ナノバイオセンサ / 高速プロトタイピング / 集束イオン線 / バイオセンサー / ナノバイオロジー / 導波路 / マイクロフォトニクス / 集束プロトンビーム / 誘電泳動 / ピラー / マイクロ・ナノ構造 / 高アスペクト比構造 / ガラス / ポリマー / プロトン / 微細構造 / 高分解能 / 蛍光体 / 細管構造 / イメージング / ラジオグラフィ / 中性子 / 高アスペクト比 / マスクレス露光 / シングルイオンヒット描画 / 遊星歯車構造 / SU-8レジスト / マスクレス多重露光 / イオンマイクロビーム / MEMS / ナノ細線 / マスクレ描画 / 3Dナノ構造創製 / マイクロビーム / マイクロマシン / ナノデバイス隠す

SiC半導体中のSi空孔製作用の異種イオン混合サブミクロンビーム形成技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  石井保行
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分31010:原子力工学関連
- 研究機関
  国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
微細構造を有する蛍光板による高解像度中性子ラジオグラフィ技術の開発
- 研究代表者
  
  酒井卓郎
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  量子ビーム科学
- 研究機関
  国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
小型MeVマイクロビーム装置用省電力、低エネルギー及び高輝度イオン源に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  石井保行
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  原子力学
- 研究機関
  国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
   国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
最終集束レンズに加速管を用いたガスイオンナノビーム形成技術に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  石井保行
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  原子力学
- 研究機関
  独立行政法人日本原子力研究開発機構
中性子顕微鏡を実現するための要素技術の開発
- 研究代表者
  
  酒井卓郎
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  量子ビーム科学
- 研究機関
  独立行政法人日本原子力研究開発機構
仮想物点による高縮小率レンズ系の構築に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  石井保行
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  原子力学
- 研究機関
  独立行政法人日本原子力研究開発機構
高エネルギーイオンビームの直描式微細加工による3Dナノ構造の創製
- 研究代表者
  
  神谷富裕
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  原子力学
- 研究機関
  独立行政法人日本原子力研究開発機構
集朿プロトン線描画によるポリマー・ガラス材料のマイクロ・ナノ加工に関する研究
- 研究代表者
  
  西川宏之
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  マイクロ・ナノデバイス
- 研究機関
  芝浦工業大学

[雑誌論文] Analysis of Ion-Species of a Dedicated Duoplasmatron-type Ion Source for a 100 keV-Range Compact Ion-Microbeam System2022
- 著者名/発表者名
  Y. Ishii and T. Ohkubo
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series
  
  巻: 2326 号: 1 ページ: 012013-012013
- DOI
  10.1088/1742-6596/2326/1/012013
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02673
[雑誌論文] Reduction of a beam diameter by decreasing the divergence angle of an incident beam in a compact ion microbeam system producing several-hundred-keV beam2017
- 著者名/発表者名
  Yasuyuki Ishii, Takeru Ohkubo, Tomihiro Kamiya
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
  
  巻: - ページ: 65-68
- DOI
  10.1016/j.nimb.2017.01.026
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420878
[雑誌論文] Proton microbeam formation with continuously variable kinetic energy using a compact system for three-dimensional proton beam writing2015
- 著者名/発表者名
  T. Ohkubo and Y. Ishii
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 86 号: 3 ページ: 036102-036102
- DOI
  10.1063/1.4915319
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760723, KAKENHI-PROJECT-26420878
[雑誌論文] Beam size reduction of a several hundred-keV compact ion microbeam system by improving the extraction condition in an ion source2015
- 著者名/発表者名
  Yasuyuki Ishii, Takeru Ohkubo, Tomihiro Kamiya, Yuichi Saitoh
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B:
  
  巻: 348 ページ: 79-82
- DOI
  10.1016/j.nimb.2014.12.011
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420878
[雑誌論文] Construction of a 300-keV Compact Ion Microbeam System with a Three-Stage Acceleration Lens2014
- 著者名/発表者名
  Yasuyuki Ishii, Takeru Ohkubo, Tomihiro Kamiya
- 雑誌名
  
  Nuclear Instrument and Methods in Physics Research, B
  
  巻: 印刷中ページ: 156-159
- DOI
  10.1016/j.nimb.2014.02.051
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[雑誌論文] Construction of a 300-keV Compact Ion Microbeam System with a Three-Stage Acceleration Lens2014
- 著者名/発表者名
  Y. Ishii, T. Ohkubo, T. Kojima, T. Kamiya
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research
  
  巻: B332 ページ: 156-159
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[雑誌論文] Preliminary study on development of 300 kV compact focused gaseous ion beam system2013
- 著者名/発表者名
  T. Ohkubo, Y. Ishii, Y. Miyake, T. Kamiya
- 雑誌名
  
  AIP Conference Proceedings
  
  ページ: 370-374
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[雑誌論文] Micromachining of Commodity Plastics by Proton Beam Writing and Fabrication of Spatial Resolution Test-chart for Neutron Radiography2013
- 著者名/発表者名
  T. Sakai, R. Yasuda, H. Iikura, T. Nojima, M. Matsubayashi, W. Kada, M. Kohka ,T. Satoh, T. Ohkubo, Y. Ishii and K. Takano
- 雑誌名
  
  Nucl. Instr. Meth. B
  
  巻: 306 ページ: 229-301
- URL
  http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2012.10.030
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22604010
[雑誌論文] Preliminary study on development of 300 Kv compact focused gaseous ion beam system2013
- 著者名/発表者名
  T. Ohkubo, Y. Ishii, Y. Miyake, and T. Kamiya
- 雑誌名
  
  AIP Coference Proceedings
  
  巻: AIP Conf. Proc. 1525 ページ: 370-374
- DOI
  10.1063/1.4802353
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020, KAKENHI-PROJECT-24760723
[雑誌論文] Development of Fine Devices Using Proton Microbeam2011
- 著者名/発表者名
  T. Sakai, R. Yasuda, H. Iikura, T. Nojima, M.Matsubayashi, M. Koka, T. Sato, T. Ohkubo and Y. Ishii
- 雑誌名
  
  JAEA-Review
  
  巻: 2011-043 ページ: 165-165
- URL
  http://jolissrch-inter.tokai-sc.jaea.go.jp/pdfdata/JAEA-Review-2011-043.pdf
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22604010
[雑誌論文] 小型ガスイオンナノビーム形成用の300kV加速管の開発2011
- 著者名/発表者名
  石井保行
- 雑誌名
  
  第24回タンデム加速器及びその周辺技術の研究会　報告集
  
  巻: 24 ページ: 17-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[雑誌論文] Theoretical Approach of the Reduction of the Chromatic and Spherical Aberrations in an Acceleration Lens System for gas-FIB to Form Gaseous Nanobeam2011
- 著者名/発表者名
  T.Ohkubo, Y.Ishii, T.Kojima, T.Kamiya
- 雑誌名
  
  AIP Conf.Proc. Vol.1336
  
  ページ: 176-180
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[雑誌論文] 極微細加工用小型高エネルギー集束プロトンビーム描画システムの開発2010
- 著者名/発表者名
  石井保行
- 雑誌名
  
  放射線化学 89
  
  ページ: 38-41
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[雑誌論文] Development of Neutron Optics Devices Using Proton Microbeam2010
- 著者名/発表者名
  T. Sakai, R. Yasuda, H. Iikura, T. Nojima, M.Matsubayashi, M. Koka, T. Sato, T. Ohkubo and Y. Ishii
- 雑誌名
  
  JAEA-Review
  
  巻: 2010-065 ページ: 172-172
- URL
  http://jolissrch-inter.tokai-sc.jaea.go.jp/pdfdata/JAEA-Review-2010-065.pdf
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22604010
[雑誌論文] 極微細加工用小型高エネルギー集束プロトンビーム描画システムの開発2010
- 著者名/発表者名
  石井保行
- 雑誌名
  
  放射線化学 Vol.89
  
  ページ: 38-41
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[雑誌論文] 300kV領域小型集束ガスイオンナノビーム形成装置の開発2010
- 著者名/発表者名
  石井保行、大久保猛、神谷富裕
- 雑誌名
  
  Proceedings of the Twelfth Symposium on Accelerator and Related Technology
  
  ページ: 65-68
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[雑誌論文] Fabrication of nanowires by varying energy microbeam lithography using heavy ions at the TIARA2009
- 著者名/発表者名
  Kamiya, T, Takano, K, Ishii, Y, Satoh, T, Oikawa, M, Ohkubo, T, Haga, J, Nishikawa, H, Furuta, Y, Uchiya, N, Seki, S, Sugimoto, M
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B-Beam Interactions with Materials and Atoms 267
  
  ページ: 2317-2320
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206105
[雑誌論文] 小型高エネルギー集束イオンビーム形成装置開発に向けた取り組み2009
- 著者名/発表者名
  石井保行
- 雑誌名
  
  放射線 35
  
  ページ: 87-96
- NAID
  10026204531
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[雑誌論文] 小型高エネルギー集束イオンビーム形成装置開発に向けた取り組み2009
- 著者名/発表者名
  石井保行
- 雑誌名
  
  放射線 Vol.35
  
  ページ: 87-96
- NAID
  10026204531
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[雑誌論文] Fabrication of nanowires by varying energy microbeam lithography using heavy ions at the TIARA2009
- 著者名/発表者名
  T.Kamiya, K.Takano, Y.Ishii, T.Satoh, M.Oikawa, T.Ohkubo, J.Haga, H.Nishikawa, Y.Furuta, N.Uchiya, S.Seki, M.Sugimoto
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-Beam Interactions with Materials and Atoms 267
  
  ページ: 2317-2320
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206105
[雑誌論文] 二段加速レンズ系を用いたガスイオンナノビームの形成2009
- 著者名/発表者名
  石井保行、磯矢彰、大久保猛、小嶋拓治
- 雑誌名
  
  放射線と産業 Vol.122
  
  ページ: 4-8
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[雑誌論文] Development of micromachining technology in ion microbeam system at TIARA, JAEA2009
- 著者名/発表者名
  Kamiya, T, Nisikawa, H, Satoh, T, Haga, J, Oikawa, M, Ishii, Y, Ohkubo, T, Uchiya, N, Furuta
- 雑誌名
  
  Applied Radiation and Isotopes 67
  
  ページ: 488-491
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206105
[雑誌論文] Ni electroplating on a resist micro-machined by proton beam writing2008
- 著者名/発表者名
  N.Uchiya, Y.Furuta, H.Nishikawa, T.Watanabe, J.Haga, T.Satoh, M.Oikawa, Y.Ishii, T.Kamiya
- 雑誌名
  
  Microsystem Technologiesオンライン版(Published online:29 January 2008)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Ni electroplating on a resist micro-machined by proton beam writing2008
- 著者名/発表者名
  N. Uchiya, Y. Furuta, H. Nishikawa, T. Watanabe, J. Haga, T. Satoh, M. Oikawa, Y. Ishii, T. Kamiya
- 雑誌名
  
  Microsystem Technologiesオンライン版(Published online:29 Janualy 2008)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Ni electroplating on a resist micro-machined by proton beam writing2008
- 著者名/発表者名
  N., Uchiya, Y., Furuta, H., Nishikawa, T., Watanabe, J., Haga, T., Satoh, M., Oikawa, Y., Ishii, T., Kamiya
- 雑誌名
  
  Microsystem Technologies Published online
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] 集束プロトンビ-ム描画による3次元構造体の作製2007
- 著者名/発表者名
  古田祐介, 打矢直之, 西川宏之, 芳賀潤二, 及川将一, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕
- 雑誌名
  
  第54回応用物理学関係連合講演会、講演予稿集論文番号29p-SH-14 No.2
  
  ページ: 780-780
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Fabrication of three-dimensional structures of resist by proton beam writing2007
- 著者名/発表者名
  Y.Furuta, N.Uchiya, H.Nishikawa, J.Haga, T.Sato, M.Oikawa, Y.Ishii, T.Kamiya
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science&Technology B:Microelectronics and Nanometer Structures 25
  
  ページ: 2171-2174
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Micro-photoluminescence study on defects induced by ion microbeam in silica glass2007
- 著者名/発表者名
  H., Nishikavva, M., Murai, T., Nakamura, Y., Ohki, M., Oikawa, T., Sato, T., Sakai, Y., Ishii, M., Fukuda
- 雑誌名
  
  Journal of Non-Crystalline Solids 353
  
  ページ: 537-541
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] 量子ビーム応用最前線、PBWで三次元微細加工の新地平を拓く(解説)2007
- 著者名/発表者名
  打矢直之、古田祐介、西川宏之、吉田栄治、芳賀潤二、及川将一、佐藤隆博、石井保行、神谷富裕
- 雑誌名
  
  原子力eye 53
  
  ページ: 48-51
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Micro-machining of resists on silicon by proton beam writing2007
- 著者名/発表者名
  N., Uchiya, T., Harada, M., Murai, H., Nishikawa, J., Haga, T., Sato, Y., Ishii, T., Kamiya
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B260
  
  ページ: 405-408
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Micro-machining of resists on silicon by proton beam writing2007
- 著者名/発表者名
  N. Uchiya, T. Harada, M. Murai, H. Nishikawa, J. Haga, T. Sato, Y. Ishii, T. Kamiya
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B:Beam Interactions with Materials and Atoms 260
  
  ページ: 405-408
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Fabrication of three-dimensional structures of resist by proton beam writing2007
- 著者名/発表者名
  Y., Furuta, N., Uchiya, H., Nishikawa, J., Haga, T., Sato, M., Oikawa, Y., Ishii, T., Kamiya
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science & Technology B : Microelectronics and Nanometer Structures 25
  
  ページ: 2171-2174
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] 量子ビーム応用最前線,PBWで三次元微細加工の新地平を拓く(解説)2007
- 著者名/発表者名
  打矢直之, 古田祐介, 西川宏之, 吉田栄治, 芳賀潤二, 及川将一, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕
- 雑誌名
  
  原子力eye(日刊工業新聞社) 53
  
  ページ: 48-51
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Micro-machining of resists on silicon by proton beam writing2007
- 著者名/発表者名
  N.Uchiya, T.Harada, M.Murai, H.Nishikawa, J.Haga, T.Sato, Y.Ishii and T.Kamiya
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B260
  
  ページ: 405-408
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Modification of structural and optical properties of silica glass induced byion microbeam2007
- 著者名/発表者名
  H. Nishikawa, M. Murai, T. Nakamura, Y. Ohki, M. Oikawa, T. Sato, T. Sakai, Y. Ishii, M. Fukuda
- 雑誌名
  
  Surface and Coatings Technology 201
  
  ページ: 8185-8189
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Fabrication of three-dimensional structures of resist by proton beam writing2007
- 著者名/発表者名
  Y. Furuta, N. Uchiya, H. Nishikawa, J. Haga, T Sato, M. Oikawa, Y. Ishii, T Kamiya
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science&Technology B:Microelectronics and Nanometer Structures 25
  
  ページ: 2171-2174
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] 集束プロトンビーム描画による微細加工と型加工への応用(解説)2007
- 著者名/発表者名
  西川宏之、打矢直之、古田祐介、吉田栄治、芳賀潤二、及川将一、佐藤隆博、石井保行、神谷富裕
- 雑誌名
  
  成形加工(プラスチック成形加工学会誌) 19
  
  ページ: 276-281
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] 集束プロトンビーム描画による微細加工と型加工への応用(解説)2007
- 著者名/発表者名
  西川宏之, 打矢直之, 古田祐介, 吉田栄治, 芳賀潤二, 及川将一, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕
- 雑誌名
  
  成形加工(プラスチック成形加工学会誌) 19
  
  ページ: 276-281
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Modification of structural and optical properties of silica glass induced by ion microbeam2007
- 著者名/発表者名
  H.Nishikawa, M.Murai, T.Nakamura, Y.Ohki, M.Oikawa, T.Sato, T.Sakai, Y.Ishii, M.Fukuda
- 雑誌名
  
  Surface and Coatings Technology 201
  
  ページ: 8185-8189
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] 集束プロトンビ-ム描画による厚膜レジストの微細加工2006
- 著者名/発表者名
  打矢直之, 古田祐介, 西川宏之, 芳賀潤二, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕
- 雑誌名
  
  第67回応用物理学会学術講i演会、講演予稿集論文番号31a-RC-9 No.2
  
  ページ: 649-649
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Accurate Measurements of Beam Energy Spreads Using a Combination of Nuclear Resonance Reaction and a 0-degree Beam-Line analyzing method2006
- 著者名/発表者名
  Y.Ishii, A.Chiba, J.Haga, K.Mizuhashi, T.Kamiya
- 雑誌名
  
  Abstracts of the 10th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications
  
  ページ: 213-213
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] 集束プロトンビ-ム描画による高アスペクト比微細型加工2006
- 著者名/発表者名
  吉田栄治, 西川宏之, 打矢直之, 古田祐介, 神谷富裕, 石井保行, 佐藤隆博, 及川将一, 芳賀潤二
- 雑誌名
  
  成形加工シンポジア'06第14回プラスチック成形加工学会秋季大会予稿集
  
  ページ: 33-44
- NAID
  130005028414
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] プロトンマイクロビーム描画によるレジストの微細加工2006
- 著者名/発表者名
  打矢直之, 原田卓弥, 西川宏之, 芳賀潤二, 酒井卓郎, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕
- 雑誌名
  
  第53回応用物理学関係連合講演会講演予稿集論文番号26a-ZB-10 No.2
  
  ページ: 770-770
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Micro-machining of Resists on Silicon by Proton Beam Writing2006
- 著者名/発表者名
  Naoyuki Uchiya, Takuya Harada, Masato Murai, Hiroyuki Nishikawa, Junji Haga, Takahiro Sato, Yasuyuki Ishii, Tomihiro Kamiya
- 雑誌名
  
  Abstracts of the 10th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications
  
  ページ: 189-189
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] プロトンマイクロビーム照射によるポリマーの微細加工2005
- 著者名/発表者名
  原田卓弥, 打矢直之, 村井将人, 西川宏之, 酒井卓郎, 佐藤隆博, 石井保行, 福田光宏
- 雑誌名
  
  第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集論文番号9a-ZD-11 No.2
  
  ページ: 629-629
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Modification of structural and optical properties of silica glass induced by ion microbeam,2005
- 著者名/発表者名
  H.Nishikawa, M.Murai, T.Nakamura, Y.Ohki, M.Oikawa, T.Sato, T.Sakai, Y.Ishii, M.Fukuda
- 雑誌名
  
  International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB'05), Paper No.MP-08
  
  ページ: 85-85
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] プロトンマイクロビーム描画によるレジストの微細加工2005
- 著者名/発表者名
  打矢直之, 原田卓弥, 西川宏之, 芳賀潤二, 酒井卓郎, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕
- 雑誌名
  
  2005年放電学会年次大会講演論文集 (CD-ROM)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[雑誌論文] Design of a Compact Focusing Lens System with Short Acceleration Tube at 300kV
- 著者名/発表者名
  Y.Ishii, T.Ohkubo, T.Kamiya
- 雑誌名
  
  Nuclear instrument and method in physics research Section B (Accepted)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[雑誌論文] Microbeam complex at TIARA : Technologies to meet a wide range of applications
- 著者名/発表者名
  T.Kamiya, K.Takano, T.Satoh, Y.Ishii, H.Nishikawa, S.Seki, M.Sugimoto, S.Okumura, M.Fukuda
- 雑誌名
  
  Nucl.Instr.Meth. B(in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206105
[産業財産権] 強電場勾配型単一ギャップ加速管2012
- 発明者名
  石井保行, 大久保猛, 神谷富裕, 三宅善信
- 権利者名
  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 株式会社ビーム精工
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2012-197645
- 出願年月日
  2012-07-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[産業財産権] 強電場勾配型単一ギャップ加速管2012
- 発明者名
  石井保行、大久保猛、神谷富裕、三宅善信
- 権利者名
  石井保行、大久保猛、神谷富裕、三宅善信
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2012-197645
- 出願年月日
  2012-07-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[学会発表] 単一イオン注入装置用二段加速レンズの設計2023
- 著者名/発表者名
  石井保行、宮脇信正、百合庸介、小野田忍、鳴海一雅、齋藤勇一
- 学会等名
  第70回　応用物理学会　春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02673
[学会発表] Design of a collimetor-less two-stage acceleration lens for a singleion-implantation system2022
- 著者名/発表者名
  Y. Ishii, T. Ohkubo, Y. Saito, K. Narumi, N. Miyawaki
- 学会等名
  18th International Conference of Nuclear Technology and Applications
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02673
[学会発表] 単一イオン注入装置における静電レンズの比較2022
- 著者名/発表者名
  石井保行、大久保猛、宮脇信正、鳴海一雅、齋藤勇一
- 学会等名
  第69回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02673
[学会発表] 小型イオンマイクロビーム装置用のデュオプラズマトロン型イオン源のイオン種分析2021
- 著者名/発表者名
  石井保行、大久保猛
- 学会等名
  第82回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02673
[学会発表] Analysis of Ion Beam Generated by a Duoplasmatron-type Ion Source for a Compact 100 keV Ion Microbeam System2021
- 著者名/発表者名
  Y. Ishii, and T. Ohkubo
- 学会等名
  25th International Conference on Ion Beam Analysis & 17th International Conference on Particle Induce X-ray Emission & International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02673
[学会発表] Measurement of Ion Beam Energy Spreads Produced by a Penning Ionization Gauge-Type Ion Source for a Mega-electron Volt Compact Ion Microbeam System2020
- 著者名/発表者名
  Yasuyuki Ishii, Takeru Ohkubo
- 学会等名
  4th QST International Symposium
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02673
[学会発表] 小型イオンマイクロビーム装置用PIGイオン源のビームエネルギー幅の測定2020
- 著者名/発表者名
  石井保行、大久保猛
- 学会等名
  QST高崎サイエンスフェスタ2020
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02673
[学会発表] 小型イオンマイクロビーム装置用PIGイオン源の開発2017
- 著者名/発表者名
  石井保行、大久保猛、三宅善信
- 学会等名
  日本応用物理学会
- 発表場所
  パシフィコ横浜（神奈川県・横浜市）
- 年月日
  2017-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420878
[学会発表] 数100keV 小型イオンマイクロビーム装置で形成されたビーム径の縮小化(II)2016
- 著者名/発表者名
  石井保行、大久保猛
- 学会等名
  2016 年(平成27 年) 第63 回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学　大岡山キャンパス（東京都目黒区）
- 年月日
  2016-03-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420878
[学会発表] 数百keV 級イオンマイクロビームシステムにおけるビーム径の縮小2016
- 著者名/発表者名
  石井保行、大久保猛
- 学会等名
  第3 回プロトンビームライティングとその応用に関するシンポジウム
- 発表場所
  芝浦工業大学　豊洲キャンパス（東京都江東区）
- 年月日
  2016-02-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420878
[学会発表] 300keV 小型イオンマイクロビーム装置で形成されたビーム径の縮小化2015
- 著者名/発表者名
  石井保行 , 大久保猛
- 学会等名
  日本応用物理学会
- 発表場所
  神奈川県平塚市　東海大学
- 年月日
  2015-03-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420878
[学会発表] 数百keV 小型イオンマイクロビーム装置でのビームサイズの縮小2015
- 著者名/発表者名
  石井保行、大久保猛
- 学会等名
  第31 回PIXE シンポジウム
- 発表場所
  国立研究開発法人　日本原子力研究開発機構　高崎量子応用研究所（群馬県高崎市）
- 年月日
  2015-10-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420878
[学会発表] 300keV 小型集束イオンビーム形成装置の加速管のレンズ効果2013
- 著者名/発表者名
  石井保行、大久保猛、神谷富裕、三宅善信
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  神奈川県厚木市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[学会発表] Construction of 300 keV Compact Ion Microbeam System with Acceleration Lenses2013
- 著者名/発表者名
  Yasuyuki Ishii, Takeru Ohkubo and Tomihiro Kamiya
- 学会等名
  21th International Conference on Ion Beam Analysis (IBA 2013)
- 発表場所
  アメリカ合衆国、シアトル市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[学会発表] 300keV小型集束イオンビーム_形成装置の加速管のレンズ効果2013
- 著者名/発表者名
  石井保行, 大久保猛, 神谷富裕, 三宅善信
- 学会等名
  2013年第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川県厚木市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[学会発表] 300kV単ギャップ加速管を用いたイオンナノビーム形成小型装置開発2013
- 著者名/発表者名
  大久保猛、石井保行、斎藤勇一
- 学会等名
  日本原子力学会
- 発表場所
  青森県八戸市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[学会発表] Construction of 300 keV Compact Ion Microbeam System with Acceleration Lenses2013
- 著者名/発表者名
  Yasuyuki Ishii, Takeru Ohkubo, Takuji Kojima, Tomihiro Kamiya
- 学会等名
  21th International Conference on Ion Beam Analysis (IBA2013)
- 発表場所
  USA Seattle
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[学会発表] Preliminary study to form 300keV proton nanobeam on development of compact focused gaseous ion beam system T. Ohkubo, Y. Ishii, Y. Miyake, T. Kamiya2012
- 著者名/発表者名
  T. Ohkubo, Y. Ishii, Y. Miyake, T. Kamiya
- 学会等名
  22nd International Conference on the Application of Accelerators in Research and Industry
- 発表場所
  USA, Texas
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[学会発表] Effectiveness of Three-Stage Acceleration Lens used in 300 keV Compact Focused Gaseous Ion Beam System2012
- 著者名/発表者名
  Y. Ishii, T. Ohkubo, Y. Miyake, T. Kamiya
- 学会等名
  International Conference of Nuclear Microprobe Technology and Applications 2012
- 発表場所
  Portugal, Lisbon
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[学会発表] Preliminary study to form 300keV proton nanobeam on development of compact focused gaseous ion beam system2012
- 著者名/発表者名
  T. Ohkubo, Y. Ishii, Y. Miyake, T. Kamiya
- 学会等名
  22nd International Conference on the Application of Accelerators in Research and Industry
- 発表場所
  USA Texas
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[学会発表] プロトンマイクロビームとレーザー蒸着法による中性子用素子の開発2012
- 著者名/発表者名
  酒井卓郎、安田良、飯倉寛、野島健大、松林政仁、山本春也、江夏昌志、佐藤隆博、大久保猛、石井保行、高野勝昌
- 学会等名
  第7回高崎量子応用シンポジウム
- 発表場所
  高崎市
- 年月日
  2012-10-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22604010
[学会発表] 小型高エネルギー集束イオンビーム装置用の単一ギャップ加速レンズの設計2012
- 著者名/発表者名
  石井保行
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  早稲田大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[学会発表] Micromachining of Commodity Plastics by Proton Beam Writing and Fabrication of Spatial Resolution Test-chart for Neutron Radiography2012
- 著者名/発表者名
  T. Sakai, R. Yasuda, H. Iikura, T. Nojima, M. Matsubayashi, W. Kada, M. Kohka ,T. Satoh, T. Ohkubo, Y. Ishii and K. Takano
- 学会等名
  第13回核マイクロプローブ技術と応用に関する国際会議(ICNMTA-13)
- 発表場所
  リスボン(ポルトガル)
- 年月日
  2012-07-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22604010
[学会発表] Effectiveness of Three-stage Acceleration Lens used in 300 keV Compact Focused Gaseous Ion Beam System2012
- 著者名/発表者名
  Y. Ishii, T. Ohkubo, Y. Miyake, T. Kamiya
- 学会等名
  International Conference of Nuclear Microprobe Technology and Applications, Lisbon Portugal
- 発表場所
  Portugal,Lisbon
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[学会発表] プロトンマイクロビームによる微細素子の開発2011
- 著者名/発表者名
  酒井卓郎、安田良、飯倉寛、野島健大、松林政仁、山本春也、江夏昌志、佐藤隆博、大久保猛、石井保行、高野勝昌
- 学会等名
  第6回高崎量子応用シンポジウム
- 発表場所
  高崎市
- 年月日
  2011-10-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22604010
[学会発表] 小型ガスイオンナノビーム形成用の300kV加速管の開発2011
- 著者名/発表者名
  石井保行
- 学会等名
  第24回タンデム加速器及びその周辺技術の研究会
- 発表場所
  奈良女子大
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020
[学会発表] PBW装置開発と小型化の課題2011
- 著者名/発表者名
  石井保行、大久保猛、神谷富裕
- 学会等名
  フレキシブル微細加工センターシンポジュウム
- 発表場所
  東京、芝浦工業大学
- 年月日
  2011-03-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] 300kV領域小型集束ガスイオンナノビーム形成装置の開発2010
- 著者名/発表者名
  石井保行、大久保猛、神谷富裕
- 学会等名
  Twelfth Symposium on Accelerator and Related Technology
- 発表場所
  東京、東京工業大学
- 年月日
  2010-06-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] イオンマイクロビームによる中性子用光学素子の開発2010
- 著者名/発表者名
  酒井卓郎、安田良、飯倉寛、野島健大、松林政仁、山本春也、江夏昌志、佐藤隆博、大久保猛、石井保行
- 学会等名
  第5回高崎量子応用シンポジウム
- 発表場所
  高崎市
- 年月日
  2010-10-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22604010
[学会発表] Design of a Compact Gaseous Ion Nanobeam Apparatus with a High Demagnification Acceleration Lens System2010
- 著者名/発表者名
  Y.Ishii, T.Ohkubo, T.Kamiya
- 学会等名
  12th International Conference Nuclear Microprobe Technology and Applications
- 発表場所
  ドイツ国、ライプチッヒ市
- 年月日
  2010-07-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] 300kV領域小型集束ガスイオンナノビーム形成装置の開発2010
- 著者名/発表者名
  石井保行、大久保猛、神谷富裕
- 学会等名
  Twelfth Symposium on Accelerator and Related Technology
- 発表場所
  東京工業大学(東京)
- 年月日
  2010-06-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] Preliminary Study of Micro Processing for Polymer Targets by MeV Proton Beam Writings2009
- 著者名/発表者名
  Takano, K, Satoh, T, Ishii, Y, Kamiya, T, Ohkubo, T, Sugimoto, M, Nishikawa, H, Seki, S
- 学会等名
  16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams
- 発表場所
  Odaiba, Tokyo
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206105
[学会発表] MeV級イオンマイクロビームを用いた3次元マイクロプロセッシング2009
- 著者名/発表者名
  高野勝昌, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕, 大久保猛, 江夏昌志, 杉本雅樹, 西川宏之, 関修平
- 学会等名
  第13回放射線プロセスシンポジウム
- 発表場所
  東京お台場
- 年月日
  2009-11-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206105
[学会発表] 数100keV小型集束プロトンビーム形成装置のための高縮小率レンズ系の開発2009
- 著者名/発表者名
  石井保行
- 学会等名
  日本応用物理学会
- 発表場所
  富山大(富山県)
- 年月日
  2009-09-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] ガスイオンナノビーム形成のための加速レンズ系収差制御2009
- 著者名/発表者名
  大久保猛, 石井保行
- 学会等名
  日本物理学会第64回年次大会
- 発表場所
  東京、池袋
- 年月日
  2009-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] 数100keV小型集束プロトンビーム形成装置のための高縮小率レンズ系の開発2009
- 著者名/発表者名
  石井保行
- 学会等名
  日本応用物理学会
- 発表場所
  富山大学(富山県)
- 年月日
  2009-09-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] Reduction of Aberration Coefficents in an Accelerator Lens System to Form the Gaseous Ion Nanobeam2008
- 著者名/発表者名
  T. Ohkubo, T. Ishii
- 学会等名
  11th International Conference on Nuclear Microprobe Technoology and Applications
- 発表場所
  Hangary,Debrecen 市
- 年月日
  2008-07-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] イオンマイクロビームを用いた3次元描画2008
- 著者名/発表者名
  高野勝昌, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕, 大久保猛, 杉本雅樹
- 学会等名
  第21回タンデム加速器およびその周辺技術の研究会
- 発表場所
  群馬県高崎市、原子力機構高崎
- 年月日
  2008-07-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206105
[学会発表] 微細加工用小型高エネルギー集束プロトンビーム描画システムの開発2008
- 著者名/発表者名
  石井保行
- 学会等名
  第4回高崎量子応用研究シンポジウム
- 発表場所
  高崎シティーギャラリー(群馬県、高崎市)
- 年月日
  2008-10-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] Development of an Ion Beam Brightness Measurement System using Luminescence Analysis for Formation of MeV Ion Nanobeam2008
- 著者名/発表者名
  Y.Ishii, A.Chiba, J.Haga, A.Yokoyama, K.Agematsu, T.Kamiya, K.Mizuhashi
- 学会等名
  11th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications
- 発表場所
  Hungary, Debrecen市
- 年月日
  2008-07-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] MeV級イオンマイクロビームを利用した微細加工2008
- 著者名/発表者名
  高野勝昌, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕, 大久保猛, 杉本雅樹, 西川宏之, 関修平
- 学会等名
  第27回法政大学イオンビーム工学研究所シンポジウム
- 発表場所
  東京 (法政大学小金井キャンパス)
- 年月日
  2008-12-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206105
[学会発表] 微細加工用小型高エネルギー集束プロトンビーム描画システムの開発2008
- 著者名/発表者名
  石井保行、大久保猛、佐藤隆博、神谷富裕、小嶋拓治,西川宏之
- 学会等名
  第3回高崎量子応用研究所シンポジウム
- 発表場所
  群馬県(高崎市)
- 年月日
  2008-10-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] Development of an Ion Beam Brightness Measurement System using Luminescence Analysis for Formation of MeV Ion Nanobeam2008
- 著者名/発表者名
  Y. Ishii, A. Chiba, J. Haga, A. Yokoyama, K. Agematsu, T. Kamiya, K. Mizuhashi
- 学会等名
  11th International Conference on Nuclear Microprobe Technoology and Applications
- 発表場所
  Hangary, Debrecen 市
- 年月日
  2008-07-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] シロキサン系薄膜の集束イオンビーム描画による微細加工2008
- 著者名/発表者名
  土屋龍太郎, 古田祐介, 打矢直之, 西川宏之, 芳賀潤二, 及川将一, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕
- 学会等名
  第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集No.2, 30p-ZL-2, p.750
- 発表場所
  日本大学理工学部(千葉)
- 年月日
  2008-03-30
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] 加速レンズによる小型高エネルギー集束イオンビーム装置開発に向けた取り組み2008
- 著者名/発表者名
  石井保行
- 学会等名
  日本応用物理学会
- 発表場所
  愛知県春日井市
- 年月日
  2008-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] 集束プロトンビーム微細加工を応用した微生物濃縮セルの作製と評2008
- 著者名/発表者名
  古田祐介、打矢直之、西川宏之、芳賀潤二、及川将一、佐藤隆博、石井保行、神谷富裕、中尾亮太、内田諭
- 学会等名
  第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集No.3(27a-ZL-1, p.714)
- 発表場所
  日本大学理工学部(千葉)
- 年月日
  2008-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] シロキサン系薄膜の集束イオンビーム描画による微細加工2008
- 著者名/発表者名
  土屋竜太郎、古田祐介、打矢直之、西川宏之、芳賀潤二、及川将一、佐藤隆博、石井保行、神谷富裕
- 学会等名
  第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集No.2(30p-ZL-2, p.750)
- 発表場所
  日本大学理工学部(千葉)
- 年月日
  2008-03-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] 集束プロトンビーム微細加工を応用した微生物濃縮セルの作製と評価2008
- 著者名/発表者名
  古田祐介, 打矢直之, 西川宏之, 芳賀潤二, 及川将一, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕, 中尾亮太, 内田諭
- 学会等名
  第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集No.3, 27a-ZL-1, p.714
- 発表場所
  日本大学理工学部(千葉)
- 年月日
  2008-03-27
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] 微細加工用小型高エネルギー集束プロトンビーム描画システムの開発2008
- 著者名/発表者名
  石井保行, 大久保猛, 佐藤隆博, 神谷富裕, 小嶋拓治, 西川宏之
- 学会等名
  第3回高崎量子応用研究所シンポジウム
- 発表場所
  群馬県、高崎市
- 年月日
  2008-10-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] 11th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications, Reduction of Aberration Coefficients in an Accelerator Lens System to Form the Gaseous Ion Nanobeam2008
- 著者名/発表者名
  大久保猛, 石井保行
- 学会等名
  11th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications
- 発表場所
  Hungary, Debrecen市
- 年月日
  2008-07-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] 集束陽子線による微細構造のPDMSによる転写2008
- 著者名/発表者名
  関佳裕, 西川宏之, 打矢直之, 古田祐介, 芳賀潤二, 及川将一, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕
- 学会等名
  第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集No.2, 29a-ZL-19, p.732
- 発表場所
  日本大学理工学部(千葉)
- 年月日
  2008-03-29
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] 集束陽子線による微細構造のPDMSによる転写2008
- 著者名/発表者名
  関佳裕、西川宏之、打矢直之、古田祐介、芳賀潤二、及川将一、佐藤隆博、石井保行、神谷富裕
- 学会等名
  第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集No.2(29a-ZL-19, p.732)
- 発表場所
  日本大学理工学部(千葉)
- 年月日
  2008-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] 小型高エネルギー集束イオンビーム形成装置開発に向けた取り組み2008
- 著者名/発表者名
  石井保行、大久保猛
- 学会等名
  2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
- 年月日
  2008-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] 小型高エネルギー集束イオンビーム形成装置開発に向けた取り組み2008
- 著者名/発表者名
  石井保行, 大久保猛
- 学会等名
  2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛知県、春日井市
- 年月日
  2008-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] 小型高エネルギー集束イオンビーム形成装置開発に向けた取り組み2008
- 著者名/発表者名
  石井保行
- 学会等名
  2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  中部大(愛知県、春日井市)
- 年月日
  2008-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560779
[学会発表] Fabrication of High-Aspect-Ratio Microstructures by Proton Beam Writing(PBW)2007
- 著者名/発表者名
  N., Uchiya, Y., Furuta, H., Nishikawa, T., Watanabe, J., Haga, T., Sato, Y., Ishii, T., Kamiya
- 学会等名
  7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, Abstracts, 201-202
- 発表場所
  France
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Lithography Using Focused High-Energy Proton Beam for Fabrication of High-Aspect-Ratio Microstructures2007
- 著者名/発表者名
  H.Nishikawa, Y.Furuta, N.Uchiya, J.Haga, M.Oikawa, T.Satoh, Y.Ishii, T.Kamiya
- 学会等名
  20th Microprocesses and Nanotechnology Conference, pp.66-67, Paper No.6A-4-12
- 発表場所
  京都
- 年月日
  2007-11-06
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] 集束プロトン線による高アスペクト比ピラー形成とデバイス応用2007
- 著者名/発表者名
  古田祐介, 打矢直之, 西川宏之, 芳賀潤二, 及川将一, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕, 中尾亮太, 内田諭
- 学会等名
  第68回秋季応用物理学会学術講演会講演予稿集No.2, 5a-C-21, p.736
- 発表場所
  北海道工業大学(北海道)
- 年月日
  2007-09-05
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Proton Beam Writingによる3次元微細加工2007
- 著者名/発表者名
  打矢直之, 西川宏之, 古田祐介, 吉田栄治, 芳賀潤二, 及川将一, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕
- 学会等名
  第12回放射線プロセスシンポジウム要旨集pp.95-98
- 発表場所
  日本科学未来館(東京)
- 年月日
  2007-11-30
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Electroplating of Metal Micro-Structure Using a Resist Micro-Machined by Proton Beam Writing2007
- 著者名/発表者名
  N.Uchiya, Y.Furuta, H.Nishikawa, T.Watanabe, J.Haga, T.Satoh, M.Oikawa, T.Ohkubo, Y.Ishii, T.Kamiya
- 学会等名
  20th Microprocesses and Nanotechnology Conference, pp.288-289, Paper No.6A-4-113
- 発表場所
  京都国際会館(京都)
- 年月日
  2007-11-06
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Fabrication of High-Aspect-Ratio Pillars by Proton Beam Writing and Application to DEP-Devices2007
- 著者名/発表者名
  Y.Furuta, N.Uchiya, H.Nishikawa, J.Haga, M.Oikawa, T.Satoh, Y.Ishii, T.Kamiya, R.Nakao, S.Uchida
- 学会等名
  20th Microprocesses and Nanotechnology Conference, pp.340-341, Paper No.6A-4-139
- 発表場所
  京都国際会館(京都)
- 年月日
  2007-11-06
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Lithography Using Focused High-Energy Proton Beam for Fabrication of High-Aspect-Ratio Microstructures2007
- 著者名/発表者名
  H. Nishikawa, Y. Furuta, N. Uchiya, J. Haga, M. Oikawa, T. Satoh, Y. Ishii, T. Kamiya
- 学会等名
  20th Microprocesses and Nanotechnology Conference(pp.66-67, Paper No.6A-4-12)
- 発表場所
  Kyoto
- 年月日
  2007-11-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Fabrication of High-Aspect-Ratio Pillars by Proton Beam Writing and Application to DEP-Devices2007
- 著者名/発表者名
  Y., Furuta, N., Uchiya, H., Nishikawa, J., Haga, M., Oikawa, T., Satoh, Y., Ishii, T., Kamiya, R., Nakao, S., Uchida
- 学会等名
  20th Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 発表場所
  Kyoto
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Fabrication of High-Aspect-Ratio Microstructures by Proton Beam Writing(PBW)2007
- 著者名/発表者名
  N.Uchiya, Y.Furuta, H.Nishikawa, T.Watanabe, J.Haga, T.Sato, Y.Ishii, T.Kamiya
- 学会等名
  7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, Abstracts, pp.201-202
- 発表場所
  フランス
- 年月日
  2007-06-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] 集束プロトンビーム描画による3次元構造体の作製2007
- 著者名/発表者名
  古田祐介, 打矢直之, 西川宏之, 芳賀潤二, 及川将一, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕
- 学会等名
  第54回応用物理学関係連合講演会, 講演予稿集論文番号29p-SH-14
- 発表場所
  青山学院大学
- 年月日
  2007-03-29
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Fabrication of 3-D Structures of Resist by Proton Beam Writing2007
- 著者名/発表者名
  Y.Furuta, N.Uchiya, H.Nishikawa, J.Haga, T.Satoh, M.Oikawa, Y.Ishii, T.Kamiya
- 学会等名
  The 51st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication, Paper 7A.5
- 発表場所
  米国コロラド州
- 年月日
  2007-06-01
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] 集束プロトンビーム描画による高アスペクト比微細型加工2007
- 著者名/発表者名
  吉田栄治, 古田祐介, 打矢直之, 西川宏之, 芳賀潤二, 及川将一, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕
- 学会等名
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 論文番号C47, pp.253-254
- 発表場所
  芝浦工業大学
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Fabrication of 3-D Structures of Resist by Proton Beam Writing2007
- 著者名/発表者名
  Y., Furuta, N., Uchiya, H., Nishikawa, J., Haga, T., Satoh, M., Oikawa, Y., Ishii, T., Kamiya
- 学会等名
  The 51st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication
- 発表場所
  USA
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Electroplating of Metal Micro-Structure Using a Resist Micro-Machined by Proton Beam Writing2007
- 著者名/発表者名
  N. Uchiya, Y. Furuta, H. Nishikawa, T. Watanabe, J. Haga, T. Satoh, M. Oikawa, T. Ohkubo, Y. Ishii, T. Kamiya
- 学会等名
  20th Microprocesses and Nanotechnology Conference(pp.288-289, Paper No.6A-4-113)
- 発表場所
  京都国際会館(京都)
- 年月日
  2007-11-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Fabrication of High-Aspect-Ratio Pillars by Proton Beam Writing and Application to DEP-Devices2007
- 著者名/発表者名
  Y. Furuta, N. Uchiya, H. Nishikawa, J. Haga, M. Oikawa, T. Satoh, Y. Ishii, T. Kamiya, R. Nakao, S. Uchida
- 学会等名
  20th Microprocesses and Nanotechnology Conference(pp.340-341, Paper No.6A-4-139)
- 発表場所
  京都国際会館(京都)
- 年月日
  2007-11-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Electroplating of Metal Micro-Structure Using a Resist Micro-Machined by Proton Beam Writing2007
- 著者名/発表者名
  N., Uchiya, Y., Furuta, H., Nishikawa, T., Watanabe, J., Haga, T., Satoh, M., Oikawa, T., Ohkubo, Y., Ishii, T., Kamiya
- 学会等名
  20th Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 発表場所
  Kyoto
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Proton Beam Writingによる3次元微細加工2007
- 著者名/発表者名
  打矢直之、西川宏之、古田祐介、吉田栄治、芳賀潤二、及川将一、佐藤隆博、石井保行、神谷富裕
- 学会等名
  第12回放射線プロセスシンポジウム講演要旨・ポスター発表要旨集(pp.95-98)
- 発表場所
  日本科学未来館(東京)
- 年月日
  2007-11-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Fabrication of 3-D Structures of Resist by Proton Beam Writing2007
- 著者名/発表者名
  Y. Furuta, N. Uchiya, H. Nishikawa, J. Haga, T Satoh, M. Oikawa, Y. Ishii, T. Kamiya
- 学会等名
  The 51st International Conference on Electron, Ion, and PhotonBeam Technology and Nanofabrication, Paper 7A.5
- 発表場所
  米国コロラド州
- 年月日
  2007-06-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] 集束プロトン線による高アスペクト比ピラー形成とデバイス応用2007
- 著者名/発表者名
  古田祐介、打矢直之、西川宏之、芳賀潤二、及川将一、佐藤隆博、石井保行、神谷富裕、中尾亮太、内田諭
- 学会等名
  第68回秋季応用物理学会学術講演会講演予稿集No.2(5a-C-21, p.736)
- 発表場所
  北海道工業大学(北海道)
- 年月日
  2007-09-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Fabrication of High-Aspect-Ratio Microstructures by Proton Beam Writing(PBW)2007
- 著者名/発表者名
  N. Uchiya, Y. Furuta, H. Nishikawa, T. Watanabe, J. Haga, T. Sato, Y. Ishii, T. Kamiya
- 学会等名
  7th International Workshop on High-Aspect-RatioMicro-Structure Technology, Abstracts(pp.201-202)
- 発表場所
  フランス
- 年月日
  2007-06-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Lithography Using Focused High-Energy Proton Beam for Fabrication of High-Aspect-Ratio Microstructures2007
- 著者名/発表者名
  H., Nishikawa, Y., Furuta, N., Uchiya, J., Haga, M., Oikawa, T., Satoh, Y., Ishii, T., Kamiya
- 学会等名
  20th Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 発表場所
  Kyoto
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] 集束プロトンビーム描画による厚膜レジストの微細加工2006
- 著者名/発表者名
  打矢直之, 古田祐介, 西川宏之, 芳賀潤二, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕
- 学会等名
  第67回応用物理学会学術講演会, 講i演予稿集論文番号31a-RC-9, p.694
- 発表場所
  立命館大学
- 年月日
  2006-08-31
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] シリカガラスに生じたイオンマイクロビーム誘起変形と屈折率変化の熱的特性2006
- 著者名/発表者名
  相場洋彦, 大木義路, 中村知晴, 西川宏之, 村井将人, 荒川和夫, 福田光宏, 酒井卓郎, 及川将一, 佐藤隆博, 石井保行, 山本春也
- 学会等名
  第1回高崎量子応用研究シンポジウム, 1P-73
- 発表場所
  高崎市民ギャラリー
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Micro-machining of Resists on Silicon by Proton Beam Writing2006
- 著者名/発表者名
  Naoyuki, Uchiya, Takuya, Harada, Masato, Murai, Hiroyuki, Nishikawa, Junji, Haga, Takahiro, Sato, Yasuyuki, Ishii, Tomihiro, Kamiya
- 学会等名
  10th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications
- 発表場所
  Singapore
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] 集束プロトンビーム描画によるレジスト材料のマイクロマシニング2006
- 著者名/発表者名
  打矢直之, 原田卓也, 村井将人, 西川宏之, 芳賀潤二, 酒井卓郎, 佐藤隆博, 及川将一, 石井保行, 福田光宏, 山本春也, 神谷富裕
- 学会等名
  第1回高崎量子応用研究シンポジウム, 2P-68
- 発表場所
  高崎市民ギャラリー
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Accurate Measurements of Beam Energy Spreads Using a Combination of Nuclear Resonance Reaction and a 0-degree Beam-Line analyzing method2006
- 著者名/発表者名
  Y., Ishii, A., Chiba, J., Haga, K., Mizuhashi, T., Kamiya
- 学会等名
  The 10th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] 集束プロトンビーム描画による高アスペクト比微細型加工2006
- 著者名/発表者名
  吉田栄治, 西川宏之, 打矢直之, 古田祐介, 神谷富裕, 石井保行, 佐藤隆博, 及川将一, 芳賀潤二
- 学会等名
  成形加エシンポジア'06第14回プラスチック成形加工学会秋季大会予稿集pp.33-34
- 発表場所
  岐阜大学
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Micro-machining of Resists on Silicon by Proton Beam Writing2006
- 著者名/発表者名
  Naoyuki Uchiya, Takuya Harada, Masato Murai, Hiroyuki Nishikawa, Junji Haga, Takahiro Sato, Yasuyuki Ishii, Tomihiro Kamiya
- 学会等名
  Abstracts of the 10th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications
- 発表場所
  Singapore
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Accurate Measurements of Beam Energy Spreads Using a Combination of Nuclear Resonance Reaction and a 0-degree Beam-Line analyzing method2006
- 著者名/発表者名
  Y.Ishii, A.Chiba, J.Haga, K.Mizuhashi, T.Kamiya
- 学会等名
  Abstracts of the 10th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications
- 発表場所
  Singapore
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] プロトンマイクロビーム照射によるポリマーの微細加工2005
- 著者名/発表者名
  原田卓弥, 打矢直之, 村井将人, 西川宏之, 酒井卓郎, 佐藤隆博, 石井保行, 福田光宏
- 学会等名
  第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集No.2, p.629, 9a-ZD-11
- 発表場所
  徳島大学
- 年月日
  2005-09-09
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] プロトンマイクロビーム描画によるレジストの微細加工2005
- 著者名/発表者名
  打矢直之, 原田卓弥, 西川宏之, 芳賀潤二, 酒井卓郎, 佐藤隆博, 石井保行, 神谷富裕
- 学会等名
  2005年放電学会年次大会講演論文集論文番号D-4-6
- 発表場所
  芝浦工業大学
- 年月日
  2005-11-10
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Modification of structural and optical properties of silica glass induced by ion microbeam2005
- 著者名/発表者名
  H.Nishikawa, M.Murai, T.Nakamura, Y.Ohki, M.Oikawa, T.Sato, T.Sakai, Y.Ishii, and M.Fukuda
- 学会等名
  International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams(SMMIB'05), Paper No.MP-08, p.85
- 発表場所
  Turkey
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] Modification of structural and optical properties of silica glass induced by ion microbeam2005
- 著者名/発表者名
  H., Nishikawa, M., Murai, T., Nakamura, Y., Ohki, M., Oikawa, T., Sato, T., Sakai, Y., Ishii, M., Fukuda
- 学会等名
  International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams(SMMIB'05), Paper, MP-O8
- 発表場所
  Turkey
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310085
[学会発表] 300kV単ギャップ加速管を用いたイオンナノビーム形成小型装置開発
- 著者名/発表者名
  大久保猛, 石井保行, 斎藤勇一
- 学会等名
  日本原子力学会「2013年秋の大会」
- 発表場所
  青森県八戸市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561020

1. 佐藤隆博 (10370404)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 76件
2. 大久保猛 (40446456)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 44件
3. 酒井卓郎 (70370400)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 20件
4. 神谷富裕 (70370385)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 63件
5. 西川宏之 (40247226)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 66件
6. 関修平 (30273709)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
7. 杉本雅樹 (90354943)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 7件
8. 安田良 (20414592)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 7件
9. 松村一成 (10348899)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 芳賀潤二 (00414566)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 山崎雄一 (10595060)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

石井 保行 Ishii Yasuyuki

研究課題

研究成果

共同研究者

SiC半導体中のSi空孔製作用の異種イオン混合サブミクロンビーム形成技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

微細構造を有する蛍光板による高解像度中性子ラジオグラフィ技術の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

小型MeVマイクロビーム装置用省電力、低エネルギー及び高輝度イオン源に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

最終集束レンズに加速管を用いたガスイオンナノビーム形成技術に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

中性子顕微鏡を実現するための要素技術の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

仮想物点による高縮小率レンズ系の構築に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高エネルギーイオンビームの直描式微細加工による3Dナノ構造の創製

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

集朿プロトン線描画によるポリマー・ガラス材料のマイクロ・ナノ加工に関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Analysis of Ion-Species of a Dedicated Duoplasmatron-type Ion Source for a 100 keV-Range Compact Ion-Microbeam System2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Reduction of a beam diameter by decreasing the divergence angle of an incident beam in a compact ion microbeam system producing several-hundred-keV beam2017

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Proton microbeam formation with continuously variable kinetic energy using a compact system for three-dimensional proton beam writing2015

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[雑誌論文] Beam size reduction of a several hundred-keV compact ion microbeam system by improving the extraction condition in an ion source2015

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[雑誌論文] Construction of a 300-keV Compact Ion Microbeam System with a Three-Stage Acceleration Lens2014

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[雑誌論文] Construction of a 300-keV Compact Ion Microbeam System with a Three-Stage Acceleration Lens2014

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石井保行 Ishii Yasuyuki