豊田紀章 Toyoda Noriaki

研究者番号	00382276
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2020年度 – 2024年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 2017年度 – 2020年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 准教授 2012年度 – 2013年度: 兵庫県立大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 2011年度: 兵庫県立大学, 准教授 2005年度 – 2006年度: 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 客員助教授
審査区分/研究分野	研究代表者小区分18020:加工学および生産工学関連 / 薄膜・表面界面物性 / ナノ材料・ナノバイオサイエンス / 材料加工・処理研究代表者以外小区分26020:無機材料および物性関連 / 小区分56020:整形外科学関連
キーワード	研究代表者原子層エッチング / クラスター / クラスターイオン / 位置制御 / ガスクラスターイオン / 高精度加工 / クラスタービーム / 超薄膜 / XPS / MoS2 … もっと見る / 遷移金属カルコゲナイド / ガスクラスターイオンビーム / 有機電子材料 / ダメージフリー / ナノ加工 / 有機材料 / 精密研磨 / 精密部品加工 … もっと見る研究代表者以外代謝 / 大気圧 / 生細胞 / 細胞活性 / イオン注入 / イオン銃 / イオン伝導性ガラス / マクロファージ / 細胞応答 / 大気圧プラズマ / イオン放出 / イオン伝導 / ガラス / 骨転移動物モデル / GCIB / 骨転移 / 脊椎インプラント / 徐放化抗がん剤 / 非金属脊椎インプラント / 徐放化抗癌剤 / 脊椎転移隠す

クラスタービーム原子層エッチングと照射位置制御を用いた超高精度形状創成研究代表者
- 研究代表者
  
  豊田紀章
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  兵庫県立大学
徐放化抗がん剤と非金属脊椎インプラントを併用した新しい脊椎転移治療に関する研究
- 研究代表者
  
  角谷賢一朗
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分56020:整形外科学関連
- 研究機関
  神戸大学
先鋭化ガラス先端の増強電場を利用した非真空イオン注入および細胞代謝活性評価
- 研究代表者
  
  大幸裕介
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分26020:無機材料および物性関連
- 研究機関
  名古屋工業大学
ガスクラスタービームによる遷移金属カルコゲナイドの原子層エッチング研究代表者
- 研究代表者
  
  豊田紀章
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  兵庫県立大学
メゾスコピッククラスタービームによる有機電子材料のダメージフリー・ナノ加工研究代表者
- 研究代表者
  
  豊田紀章
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  ナノ材料・ナノバイオサイエンス
- 研究機関
  兵庫県立大学
ガスクラスターイオンビームを用いた超精密3次元形状加工技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  豊田紀章
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  兵庫県立大学

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すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Atomic layer etching of silicon nitride film by oxygen gas cluster ion beam with acetylacetone2023
- 著者名/発表者名
  Takeuchi Masaya、Fujiwara Reki、Toyoda Noriaki
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 62 号: SG ページ: SG1051-SG1051
- DOI
  10.35848/1347-4065/acd065
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K13236, KAKENHI-PROJECT-23K22649
[雑誌論文] クラスターイオンビーム励起による表面反応と原子層エッチングへの応用2022
- 著者名/発表者名
  豊田　紀章
- 雑誌名
  
  光技術コンタクト
  
  巻: 60 ページ: 23-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[雑誌論文] Surface preparation of metal films by gas cluster ion beams using organic acid vapor for Cu?Cu bonding2022
- 著者名/発表者名
  S. Hanahara、M. Takeuchi、N. Toyoda
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 61 号: SF ページ: SF1004-SF1004
- DOI
  10.35848/1347-4065/ac5424
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[雑誌論文] Atomic layer etching by gas cluster ion beams with acetylacetone2019
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda, K. Uematsu
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 58 号: SE ページ: SEEA01-SEEA01
- DOI
  10.7567/1347-4065/ab17c5
- NAID
  210000156295
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[雑誌論文] Cluster beams, nano-ripples, and bio Applications2019
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda, B. Tilakaratne, I. Saleem, W-K. Chu
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Rev.
  
  巻: 6 号: 2 ページ: 020901-020901
- DOI
  10.1063/1.5030500
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[雑誌論文] Ultra-low loss ridge waveguides on lithium niobate via argon ion milling and gas clustered ion beam smoothening2018
- 著者名/発表者名
  Shawn Yohanes Siew, Eric Jun Hao Cheung, Haidong Liang, Andrew Bettiol, Noriaki Toyoda, Bandar Alshehri, Elhadj Dogheche, and Aaron J. Danner
- 雑誌名
  
  Optics express
  
  巻: 26 号: 4 ページ: 4421-4430
- DOI
  10.1364/oe.26.004421
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[雑誌論文] Surface Planarization with Gas Cluster Ion Beams and Application to Wide-Bandgap Semiconductors2018
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 12 号: 2 ページ: 170-174
- DOI
  10.20965/ijat.2018.p0170
- NAID
  130007505896
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- 年月日
  2018-03-05
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[雑誌論文] Irradiation conditions of gas cluster ion beam for surface-activated bonding2018
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda, Tomoya Sasaki, Shota Ikeda, Isao Yamada
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 57 号: 2S1 ページ: 02BA02-02BA02
- DOI
  10.7567/jjap.57.02ba02
- NAID
  210000148617
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[雑誌論文] Gas cluster ion beam irradiation for wafer bonding2017
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda, Tomoya Sasaki, Shota Ikeda, Isao Yamada
- 雑誌名
  
  Proceedings of 5th Int. Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
  
  巻: - ページ: 5-5
- DOI
  10.23919/ltb-3d.2017.7947401
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[雑誌論文] Optimization of GCIB irradiation conditions for surface activated bonding Proceedings of 5th Int. Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration2017
- 著者名/発表者名
  Shota Ikeda, Tomoya Sasaki, Noriaki Toyoda
- 雑誌名
  
  Proceedings of 5th Int. Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
  
  巻: - ページ: 66-66
- DOI
  10.23919/ltb-3d.2017.7947462
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[雑誌論文] Atomic layer etching of Cu film using gas cluster ion beam2017
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda and Akihiro Ogawa
- 雑誌名
  
  Journal of Physics D: Applied Physics
  
  巻: 50 号: 18 ページ: 184003-184003
- DOI
  10.1088/1361-6463/aa6527
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[雑誌論文] Surface morphology and sputtering yield of SiO2 with oblique-incidence gas cluster ion beam2013
- 著者名/発表者名
  K.Sumie, N.Toyoda, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B
  
  巻: 307 ページ: 290-293
- DOI
  10.1016/j.nimb.2013.01.087
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[雑誌論文] Magnetic properties of Fe7Co3 films with gas clusterion beam irradiations2013
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda, A. Fujimoto, I. Yamada
- 雑誌名
  
  Journal of applied physics
  
  巻: 113
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[雑誌論文] Gas cluster ion beam etching under acetic acid vapor for etch-resistant material2013
- 著者名/発表者名
  A. Yamaguchi, R. Hinoura, N. Toyoda, K. Hara, I. Yamada
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 52
- NAID
  40020934185
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[雑誌論文] Evaluation of charge state of gas cluster ions by means of individual crater observations2013
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda, I. Yamada
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B
  
  巻: 307 ページ: 269-272
- NAID
  40020675212
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[雑誌論文] Gas cluster ion beam etching under acetic acid vapor for etch-resistant material2013
- 著者名/発表者名
  A.Yamaguchi, R.Hinoura, N.Toyoda, K.Hara, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 52 号: 5S2 ページ: 05EB05-05EB05
- DOI
  10.7567/jjap.52.05eb05
- NAID
  40020934185
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[雑誌論文] Surface morphology and sputtering yield of SiO2 withoblique-incidence gas cluster ion beam2013
- 著者名/発表者名
  K. Sumie, N. Toyoda, I. Yamada
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B
  
  巻: 52 ページ: 290-293
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[雑誌論文] Irradiation effects of gas cluster ion beamson co-fe films2013
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda, A. Fujimoto, I. Yamada
- 雑誌名
  
  Japanese journal of applied physics
  
  巻: 52
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[雑誌論文] Irradiation effects of gas cluster ion beams on co-fe films2013
- 著者名/発表者名
  N.Toyoda, A.Fujimoto, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Japanese journal of applied physics
  
  巻: 52 号: 6S ページ: 06GF01-06GF01
- DOI
  10.7567/jjap.52.06gf01
- NAID
  40020934190
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[雑誌論文] Magnetic properties of Fe7Co3 films with gas cluster ion beam irradiations2013
- 著者名/発表者名
  N.Toyoda, A.Fujimoto, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Journal of applied physics
  
  巻: 113 号: 17
- DOI
  10.1063/1.4797475
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[雑誌論文] Metal etching with reactive gas cluster ion beams using pickup cell2012
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda, I. Yamada
- 雑誌名
  
  AIP conference proceedings
  
  巻: 1496 ページ: 288-291
- NAID
  40020675205
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[雑誌論文] Gas cluster ion beam technology for nano-fabrication2012
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda, I. Yamada
- 雑誌名
  
  Advances in Science and Technology
  
  巻: 82 ページ: 1-8
- NAID
  40020675203
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[雑誌論文] Development of Cu Etching Using O2 Cluster Ion Beam under Acetic Acid Gas Atmosphere2012
- 著者名/発表者名
  T. Suda, N. Toyoda, K. Hara, I. Yamada
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 51
- NAID
  210000072698
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[雑誌論文] Reduction of irradiation damage using size-controlled nitrogen gas cluster ion beams2012
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda, and I. Yamada
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B
  
  巻: 273 ページ: 11-14
- NAID
  40020675393
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[雑誌論文] Current research topics and applications of gas cluster ion bean processes2006
- 著者名/発表者名
  I.Yamada, N.Toyoda
- 雑誌名
  
  Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. B, 242
  
  ページ: 143-145
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Cluster size effects of gas cluster ion beams on surface modification2006
- 著者名/発表者名
  N.Toyoda, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Proc. of 16th Int. Conf. on Ion Implantation Technology Marseille, France, 2006
  
  ページ: 210-213
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Development of size-selected cluster ion irradiation system2006
- 著者名/発表者名
  N.Toyoda, S.Houzumi, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. B, 242
  
  ページ: 466-468
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Cross-sectional TEM observations of Si wafers irradiated with gas cluster ion beams2006
- 著者名/発表者名
  H.Isogai, E.Toyoda, T.Senda, K.Izunome, K.Kashima, N.Toyoda, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Proc. of 16th Int. Conf. on Ion Implantation Technology Marseille, France, 2006
  
  ページ: 194-197
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Low-damage sputtering of GaAs and GaP using size-selected Ar cluster ion beams2005
- 著者名/発表者名
  M.Nagano, S.Yamada, S.Akita, S.Houzumi, N.Toyoda, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics Vol.44 no.1-7
- NAID
  10014420780
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Morphological evolution of surfaces irradiated by gas cluster ion beams during thin film deposition2005
- 著者名/発表者名
  S.Inoue, N.Toyoda, H.Tsubakino, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments & Methods in Physics Research, Section B 237
  
  ページ: 449-454
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Development of pure O_2 cluster ion beam assisted deposition system2005
- 著者名/発表者名
  T.Nose, S.Inoue, N.Toyoda, K.Mochiji, T.Mitamura, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments & Methods in Physics Research, B 241
  
  ページ: 626-629
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Nano Structure Formations by gas cluster ion beam irradiations at oblique incidence2005
- 著者名/発表者名
  N.Toyoda, T.Mashita, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 232
  
  ページ: 212-216
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Recent advances in R&D of gas cluster ion beam processes and equipment2005
- 著者名/発表者名
  I.Yamada, N.Toyoda
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments & Methods in Physics Research, B 241
  
  ページ: 589-593
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Development of size-selected cluster ion irradiation system2005
- 著者名/発表者名
  N.Toyoda, S.Houzumi, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B 242
  
  ページ: 466-468
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Development of a new cluster size selector2005
- 著者名/発表者名
  K.Ohwaki, Y.Dake, N.Toyoda, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments & Methods in Physics Research, B 241
  
  ページ: 614-617
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Current research topics and applications of gas cluster ion beam processes2005
- 著者名/発表者名
  I.Yamada, N.Toyoda
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B 242
  
  ページ: 143-145
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Summary of recent research on gas cluster ion beam process technology2005
- 著者名/発表者名
  I.Yamada, N.Toyoda
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 232
  
  ページ: 195-199
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Irradiation of silicon surface by Ar cluster ion beam : Cluster size effects2005
- 著者名/発表者名
  Y.Nakayama, S.Houzumi, N.Toyoda, K.Mochiji, T.Mitamura, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments & Methods in Physics Research, Section B 241
  
  ページ: 618-621
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Current research and development topics on gas cluster ion-beam processes2005
- 著者名/発表者名
  I.Yamada, N.Toyoda
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology A Vol.23,No.4
  
  ページ: 1090-1099
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Development of a size-selected gas cluster ion beam system for low-damage processing2005
- 著者名/発表者名
  N.Toyoda, S.Houzumi, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B 241
  
  ページ: 609-613
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[雑誌論文] Scanning Tunneling Microscopy Observation of Graphite Surfaces Irradiated with size-selected Ar cluster ion beams2005
- 著者名/発表者名
  S.Houzumi, K.Mochiji, N.Toyoda, I.Yamada
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics vol.44,no.8,
  
  ページ: 6252-6254
- NAID
  130004534608
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760584
[学会発表] 反応性ガス吸着とGCIB照射を用いたエッチングにおける基板冷却効果2024
- 著者名/発表者名
  伊藤汰一,作田昂大,竹内雅耶,豊田紀章
- 学会等名
  2024年応用物理学会春季講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] 中性ガスクラスタービームを用いたCu膜のドライALE2024
- 著者名/発表者名
  池田　圭佑, 田中　秀幸, 竹内　雅耶, 豊田　紀章
- 学会等名
  2024年応用物理学会春季講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] GCIB照射で極薄化した電子線透過窓を用いた液体セルによるSEM/EDS検出の高感度化2024
- 著者名/発表者名
  竹内雅耶，鈴木哲，豊田紀章
- 学会等名
  2024年応用物理学会春季講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] 2023年中性クラスタービーム照射による金属膜のエッチング2023
- 著者名/発表者名
  田中秀幸、竹内雅耶、豊田紀章
- 学会等名
  応用物理学会秋季講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] O 2 -GCIBとアセチルアセトンによるSiNx膜原子層エッチングプロセスの反応機構の検討2023
- 著者名/発表者名
  竹内雅耶、藤原怜輝、山下大晴、豊田紀章
- 学会等名
  2023年第70回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] 反応性ガス吸着とO 2 -GCIBを用いたNiパターンエッチング2023
- 著者名/発表者名
  作田昂大、竹内雅耶、豊田紀章
- 学会等名
  2023年第70回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] Reactive etching and pressure resistance evaluation of SiNx film by O2-GCIB for electron transmission window of liquid cell2023
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, S. Suzuki, M. Nakamura, T. Hata, N. Toyoda
- 学会等名
  MNC 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] Evaluation of mechanical property of ultra-thin SiNx membranes irradiated by gas cluster ion beam2023
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, N. Toyoda
- 学会等名
  Radiation Effects in Insulator 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] Surface Modification with Neutral Gas Cluster Beams and Its Application to Atomic Layer Etching2023
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda, H. Tanaka, M. Takeuchi
- 学会等名
  Atomic Layer Etching Symposium 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] GCIBを用いた電子透過窓極薄化による液中試料検出の高感度化2023
- 著者名/発表者名
  竹内雅耶，鈴木哲，豊田紀章
- 学会等名
  2023年応用物理学会秋季講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] Surface modification and etching of metal films by neutral cluster beam irradiation2023
- 著者名/発表者名
  H. Tanaka, M. Takeuchi, N.Toyoda
- 学会等名
  Dry Process Symposium 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] 反応性ガス吸着とO2-GCIB照射を用いた金属エッチングの基板冷却効果2023
- 著者名/発表者名
  作田昂大、竹内雅耶、豊田紀章
- 学会等名
  2023年応用物理学会秋季講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] Temperature dependence on metal etching using reactive gas adsorption and GCIB2023
- 著者名/発表者名
  K. Sakuta, M. Takeuchi, N. Toyoda
- 学会等名
  Dry Process Symposium 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] 位置制御とGCIB-ALEを用いた高精度形状加工技術の検討2022
- 著者名/発表者名
  藤原怜輝、竹内雅耶、豊田紀章
- 学会等名
  2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] 窒化シリコン膜へのGCIB照射による低損傷照射効果の検討2022
- 著者名/発表者名
  竹内雅耶、藤原怜輝、豊田紀章
- 学会等名
  2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] 窒化シリコン膜の低損傷かつ原子層制御を実現するGCIBエッチングプロセスの検討2022
- 著者名/発表者名
  竹内雅耶、藤原怜輝、豊田紀章
- 学会等名
  2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] GCIB照射がPEEK製椎弓根スクリューの引き抜き強度に与える影響2022
- 著者名/発表者名
  角谷賢一朗　豊田紀章　長宗高樹　由留部崇　張鍾穎　垣内裕司　武岡由樹　神田裕太郎　辻本龍　宮崎邦彦　宮崎真吾　高田徹　土井田稔　黒田良祐
- 学会等名
  脊椎脊髄病学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K09505
[学会発表] O2-GCIBとacac吸着によるNiパターンのエッチング2022
- 著者名/発表者名
  作田昂大、竹内雅耶、豊田紀章
- 学会等名
  2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22649
[学会発表] hfac吸着表面へのGCIB照射によるNiの原子層エッチング2020
- 著者名/発表者名
  植松　功多,　豊田紀章
- 学会等名
  2020年応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] GCIB照射を用いたMoS2の表面改質とエッチング(Ⅱ)2020
- 著者名/発表者名
  劔持将之, 豊田紀章
- 学会等名
  2020年応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] クラスタービーム励起による表面反応と原子層エッチングへの応用2020
- 著者名/発表者名
  豊田　紀章
- 学会等名
  日本表面真空学会　第12回関東支部セミナー
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] acac吸着表面へのAr-GCIB照射によるNiの原子層エッチング2019
- 著者名/発表者名
  植松　功多,　豊田紀章
- 学会等名
  2019年応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] Analysis of metal surface during atomic layer etching with gas cluster ion beam and organic acid2019
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda, Kota Uematsu
- 学会等名
  America Vacuum Society 66th International Symposium & Exhibition
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] Low temperature wafer bonding with gas cluster ion beams2019
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda, Shota Ikeda
- 学会等名
  2019 6th International IEEE workshop on low temperature bonding for 3D integration
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] GCIB照射を用いたMoS2の表面改質とエッチング2019
- 著者名/発表者名
  劔持将之, 豊田紀章
- 学会等名
  2019年応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] Atomic layer etching of transition metals with gas cluster ion beam irradiation and acetylacetone2019
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda, Kota Uematsu
- 学会等名
  2019 Atomic Layer deposition & Atomic Layer Etching workshop
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] Gas Cluster Ion Beam Etching under Organic Vapor for Atomic Layer Etching2018
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda
- 学会等名
  America Vacuum Society (AVS) Fall symposium 2018
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] Precise polishing and figuring for optical manufacturing with gas cluster ion beam (GCIB)2018
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda
- 学会等名
  International Symposium on Extreme Optical Manufacturing and Laser-Induced Damage in Optics
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] ガスクラスターイオンビームによる原子層エッチング2018
- 著者名/発表者名
  豊田　紀章
- 学会等名
  第79回応用物理学会秋季講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] Atomic layer etching by gas cluster ion beams with acetylacetone2018
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda
- 学会等名
  Dry process symposium (DPS) 2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] Novel atomic layer etching using gas cluster ion beam irradiation2017
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda
- 学会等名
  Material Research Society Fall Meeting 2017
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] Atomic layer etching with gas cluster ion beams2017
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda, Akihiro Ogawa
- 学会等名
  International Conference on Advanced Materials 2017(IUMRS-ICAM2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] Atomic layer etching with gas cluster ion beam irradiation in reactive gas vapor2017
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda, Akihiro Ogawa, Isao Yamada
- 学会等名
  International conference on atomic layer deposition, Atomic layer etching workshop 2017
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] Gas cluster ion beam irradiation for wafer bonding2017
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda, Tomoya Sasaki, Shota Ikeda, Isao Yamada
- 学会等名
  5th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] Atomic layer etching with gas cluster ion beams2017
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda
- 学会等名
  23rd International conference on ion-surface interaction: ISI-2017
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05061
[学会発表] TEM study ofirradiation effects of GCIB2013
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda, A. Yamaguchi, A. Fujimoto, R. Hinoura and I. Yamada
- 学会等名
  第23回日本MRS年次大会
- 発表場所
  横浜(神奈川)
- 年月日
  2013-12-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Low-damage and high-rate sputtering of organic materials with GCIB under H2O vapor environment2013
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda, I. Yamada
- 学会等名
  Surface modification of materials by ionbeams 2013
- 発表場所
  クシャダシ(トルコ)
- 年月日
  2013-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] ガスクラスターイオンビームによる磁性膜の低損傷加工2013
- 著者名/発表者名
  藤本昌宏、木村旭、豊田紀章、山田
- 学会等名
  2013応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2013-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] ガスクラスターイオンビーム照射によるされた DLC膜の表面の構造改質2013
- 著者名/発表者名
  藤本昌宏、豊田紀章、山田公
- 学会等名
  2013応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学(京都)
- 年月日
  2013-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] ガスクラスターイオンビームエッチング後の MRAM材料の表面状態評価2013
- 著者名/発表者名
  日野浦諒、山口明良、豊田紀章、原謙一、山田公
- 学会等名
  2013応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2013-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Ripple formations by gas cluster ions in ambient reactive gas2013
- 著者名/発表者名
  豊田　紀章
- 学会等名
  2013 JSAP-MRSジョイントシンポジウム
- 発表場所
  同志社大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Etching of FeCo films with gas cluster ion beams and their magnetic properties2013
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda
- 学会等名
  12th Joint MMM-IntermagConference 2013
- 発表場所
  シカゴ(米国)
- 年月日
  2013-01-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Low-damage and high-rate sputtering of organic materials with GCIB under H2O vapor environment2013
- 著者名/発表者名
  豊田　紀章
- 学会等名
  Surface modification of materials by ion beams 2013
- 発表場所
  イズミール（トルコ）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] In-situ XPS study of GCIB etching for materialsused in STT-MRAM2013
- 著者名/発表者名
  R. Hinoura, N. Toyoda, I. Yamada
- 学会等名
  ドライプロセスシンポジウム 2013
- 発表場所
  済州島(韓国)
- 年月日
  2013-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Nano-scale surface modification and ion induced reactions with gas cluster ion beams2013
- 著者名/発表者名
  豊田　紀章
- 学会等名
  2013春季ヨーロッパ材料学会（E-MRS）
- 発表場所
  ストラスブール（フランス）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] TEM study of irradiation effects of GCIB2013
- 著者名/発表者名
  豊田　紀章
- 学会等名
  日本MRS年次大会2013
- 発表場所
  横浜開港記念会館
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] ガスクラスターイオンビームによる磁気トンネル接合素子下の平坦化2013
- 著者名/発表者名
  山口明良、日野浦諒、豊田紀章、原謙一、山田公
- 学会等名
  2013応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2013-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Nano-scale surface modification and ion induced reactions withgas cluster ion beams2013
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda, I. Yamada
- 学会等名
  2013春季ヨーロッパ材料学会(E-MRS)
- 発表場所
  ストラスブール(フランス)
- 年月日
  2013-05-28
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] GCIB照射によるメディア保護膜の表面平坦化効果2013
- 著者名/発表者名
  木村旭、富田淳、豊田紀章、谷弘詞、山田公
- 発表場所
  同志社大学(京都)
- 年月日
  2013-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Ripple formations by gas cluster ions inambient reactive gas2013
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda, K. Sumie, A. Kimura, I. Yamada
- 学会等名
  2013 JSAP-MRSジョイントシンポジウム
- 発表場所
  同志社大学(京都)
- 年月日
  2013-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Gas cluster ion beam etching of metals with pick-up cell2012
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda and I. Yamada
- 学会等名
  19th international conference on ionimplantation technology
- 発表場所
  ヴァリャドリード(スペイン)
- 年月日
  2012-06-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Nano-scale Surface Modification and Ion Induced Chemical Reactions with Gas Cluster Ion Beams2012
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda
- 学会等名
  2nd annual world congress of nano-science and technology
- 発表場所
  青島(中国)
- 年月日
  2012-10-28
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Gas cluster ion beam technology for nanofabrication2012
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda and I. Yamada
- 学会等名
  4th international conference smart materials,structures and systems
- 発表場所
  モンテカッティーニテルメ(イタリア)
- 年月日
  2012-06-11
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] What is the key parameter of electron ionization on crater formations on solid surface?2011
- 著者名/発表者名
  N.Toyoda, T.Furuya, I.Yamada
- 学会等名
  11^<th> Workshop on Cluster Ion Beam Technology
- 発表場所
  京都大学品川オフィス(東京都)
- 年月日
  2011-12-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Surface modification and interaction with gas cluster ion beams2011
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda and I. Yamada
- 学会等名
  20th International Conference onIon Beam Analysis
- 発表場所
  イタペマ(ブラジル)
- 年月日
  2011-04-15
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] 雰囲気ガス中 GCIB照射された有機材料の XPSによる評価2011
- 著者名/発表者名
  中桐基裕、豊田紀章、山田公
- 学会等名
  2011年秋季応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形大学(山形県)
- 年月日
  2011-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] GCIB照射損傷のクラスターサイズ依存性の In-situXPSによる評価2011
- 著者名/発表者名
  中桐基裕、豊田紀章、山田公
- 学会等名
  2012年春季応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  早稲田大学(東京都)
- 年月日
  2011-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Surface modification and interaction with gas cluster ion beams2011
- 著者名/発表者名
  N.Toyoda, I.Yamada
- 学会等名
  20^<th> International Conference on Ion Beam Analysis
- 発表場所
  イタペマ(ブラジル)(招待講演)
- 年月日
  2011-04-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] What is the key parameter of electron ionization on crater formations on solid surface ?2011
- 著者名/発表者名
  N. Toyoda, T. Furuya and I. Yamada
- 学会等名
  11th Workshop on Cluster Ion Beam Technology
- 発表場所
  京都大学品川オフィス(東京都)
- 年月日
  2011-12-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] 雰囲気ガス中GCIB照射された有機材料のXPSによる評価2011
- 著者名/発表者名
  中桐基裕、豊田紀章、山田公
- 学会等名
  2011年秋季応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形大学(山形県)
- 年月日
  2011-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] GCIB照射損傷のクラスターサイズ依存性のIn-situ XPSによる評価2011
- 著者名/発表者名
  中桐基裕、豊田紀章、山田公
- 学会等名
  2012年春季応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  早稲田大学(東京都)
- 年月日
  2011-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Gas cluster ion beam technology for nanofabrication
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda
- 学会等名
  4th international conference smart materials, structures and systems
- 発表場所
  モンテカッティーニテルメ（イタリア）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Gas cluster ion beam etching of metals with pick-up cell
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda
- 学会等名
  19th international conference on ion implantation technology
- 発表場所
  ヴァリャドリード（スペイン）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080
[学会発表] Nano-scale Surface Modification and Ion Induced Chemical Reactions with Gas Cluster Ion Beams
- 著者名/発表者名
  Noriaki Toyoda
- 学会等名
  2nd annual world congress of nano-science and technology
- 発表場所
  青島（中国）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23310080

1. 角谷賢一朗 (10533739)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
2. 大幸裕介 (70514404)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
3. 張鍾穎 (00824195)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
4. 由留部崇 (10514648)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
5. 垣内裕司 (40849212)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
6. 篠崎健二 (10723489)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 小幡亜希子 (40402656)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 本間剛 (70447647)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 竹内雅耶 (70889683)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 19件
10. 寺岡有殿 (10343922)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

豊田 紀章 Toyoda Noriaki

研究課題

研究成果

共同研究者

クラスタービーム原子層エッチングと照射位置制御を用いた超高精度形状創成研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

徐放化抗がん剤と非金属脊椎インプラントを併用した新しい脊椎転移治療に関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

先鋭化ガラス先端の増強電場を利用した非真空イオン注入および細胞代謝活性評価

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

ガスクラスタービームによる遷移金属カルコゲナイドの原子層エッチング研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

メゾスコピッククラスタービームによる有機電子材料のダメージフリー・ナノ加工研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ガスクラスターイオンビームを用いた超精密3次元形状加工技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Atomic layer etching of silicon nitride film by oxygen gas cluster ion beam with acetylacetone2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] クラスターイオンビーム励起による表面反応と原子層エッチングへの応用2022

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Surface preparation of metal films by gas cluster ion beams using organic acid vapor for Cu?Cu bonding2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Atomic layer etching by gas cluster ion beams with acetylacetone2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] Cluster beams, nano-ripples, and bio Applications2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Ultra-low loss ridge waveguides on lithium niobate via argon ion milling and gas clustered ion beam smoothening2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Surface Planarization with Gas Cluster Ion Beams and Application to Wide-Bandgap Semiconductors2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Irradiation conditions of gas cluster ion beam for surface-activated bonding2018

豊田紀章 Toyoda Noriaki