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大竹 浩人  オオタケ ヒロト

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 00436156
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2009年度 – 2011年度: 東北大学, 流体科学研究所, 准教授
審査区分/研究分野
研究代表者
薄膜・表面界面物性
キーワード
研究代表者
チャージアップ / イオン軌道 / モニタリング / オンウエハセンサ / プラズマ加工
  • 研究課題

    (1件)
  • 研究成果

    (3件)
  • 共同研究者

    (1人)
  •  オンウエハセンサ技術による基板電荷蓄積量とイオンエネルギー分布計測技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      大竹 浩人
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      薄膜・表面界面物性
    • 研究機関
      東北大学

すべて 2009

すべて 学会発表

  • [学会発表] Ion Trajectory Prediction at High-Aspect-Ratio Hole Etching by the Combination of On-Water Monitoring and Sheath Modeling2009

    • 著者名/発表者名
      大竹浩人, 福田誠一, 陣内佛霖, 辰巳知彦, 寒川誠二
    • 学会等名
      AVS 56th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      アメリカ合衆国・カリフォルニア州・サンノゼ
    • 年月日
      2009-11-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21560026
  • [学会発表] オンウエハモニタリング技術による異常形状発生予測2009

    • 著者名/発表者名
      大竹浩人、福田誠一、陣内佛霖、辰巳知彦、寒川誠二
    • 学会等名
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山県・富山市
    • 年月日
      2009-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21560026
  • [学会発表] Prediction of Abnormal Etching Profile in High-Aspect-Ratio Via/Hole Etching Using On-Water Monitoring System2009

    • 著者名/発表者名
      大竹浩人, 福田誠一, 陣内佛霖, 辰巳知彦, 寒川誠二
    • 学会等名
      International meeting on solid state device and materials
    • 発表場所
      宮城県・仙台市
    • 年月日
      2009-10-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21560026
  • 1.  寒川 誠二 (30323108)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 3件

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