鷹林将 Takabayashi Susumu

研究者番号	00464305
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 有明工業高等専門学校, 創造工学科, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2012年度 – 2015年度: 東北大学, 電気通信研究所, 助教
審査区分/研究分野	研究代表者電子・電気材料工学
キーワード	研究代表者電界効果トランジスタ / グラフェン / ダイヤモンドライクカーボン(DLC) / ダイヤモンドライクカーボン / 光電子制御プラズマCVD (PA-PECVD) / 電界効果トランジスタ (FET) / ダイヤモンドライクカーボン (DLC)

変調ドーピング炭素構造によるダイヤモンド電子デバイスの最適化と高信頼化研究代表者
- 研究代表者
  
  鷹林将
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2017
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東北大学
炭素材料の機能化と融合による革新的電子/光デバイスの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  鷹林将
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東北大学
炭素機能性材料を用いた革新的次世代電子デバイスの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  鷹林将
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2013
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東北大学

すべて 2015 2014 2013 2012

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Controlled oxygen-doped diamond-like carbon film synthesized by photoemission-assisted plasma2015
- 著者名/発表者名
  S. Takabayashi, M. Yang, T. Eto, H. Hayashi, S. Ogawa, T. Otsuji, and Y. Takakuwa
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials
  
  巻: 53 ページ: 11-17
- DOI
  10.1016/j.diamond.2015.01.001
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23000008, KAKENHI-PROJECT-26709017
[雑誌論文] Surface oxidation process of a diamond-like carbon film analyzed by difference X-ray photoelectron spectroscopy2015
- 著者名/発表者名
  Susumu Takabayashi, Takayuki Takahagi
- 雑誌名
  
  Surface and Interface Analysis
  
  巻: 47 号: 3 ページ: 345-349
- DOI
  10.1002/sia.5714
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709017
[雑誌論文] Relationship between the structure and electrical characteristics of diamond-like carbon films2014
- 著者名/発表者名
  Susumu Takabayashi, Meng Yang, Shuichi Ogawa, Hiroyuki Hayashi, Radek Jesko, Taiichi Otsuji, Yuji Takakuwa
- 雑誌名
  
  J. Appl. Phys
  
  巻: 116 号: 9
- DOI
  10.1063/1.4894626
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23000008, KAKENHI-PROJECT-26709017
[雑誌論文] X線光電子分光法によるダイヤモンドライクカーボン薄膜の表面化学構造解析2013
- 著者名/発表者名
  鷹林将, 高萩隆行
- 雑誌名
  
  Journal of Surface Analysis,表面分析研究会
  
  巻: 20巻ページ: 25-54
- NAID
  130007686480
- URL
  http://www.sasj.jp/JSA/CONTENTS/jsa_list.html
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[雑誌論文] Formation of diamond-like carbon films by photoemission-assisted plasma-enhanced chemical vapor deposition2013
- 著者名/発表者名
  M. Yang, S. Takabayashi, S. Ogawa, H. Hayashi, R. Jesko, T. Otsuji, and Y. Takakuwa
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys
  
  巻: 52 号: 11R ページ: 110123-110123
- DOI
  10.7567/jjap.52.110123
- NAID
  210000143043
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23000008, KAKENHI-PROJECT-24760247
[雑誌論文] Dielectric-tuned diamondlike carbon materials for an ultrahigh-speed self-aligned graphene channel field effect transistor2013
- 著者名/発表者名
  S. Takabayashi, M. Yang, S. Ogawa, Y. Takakuwa, T. Suemitsu, and T. Otsuji
- 雑誌名
  
  4th Int. Conf. on Smart Materials, Structures, and Systems, CIMTE
  
  巻: 77 ページ: 270-275
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/ast.77.270
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23000008, KAKENHI-PROJECT-24760247
[雑誌論文] Dielectric-tuned Diamondlike Carbon Materials for a High-performance Self-aligned Graphene-channel Field Effect Transistor2012
- 著者名/発表者名
  S. Takabayashi, M. Yang, S. Ogawa, Y. Takakuwa, T. Suemitsu, and T. Otsuji
- 雑誌名
  
  MRS Spring Meeting Proc.
  
  巻: 1451 ページ: 185-190
- DOI
  10.1557/opl.2012.960
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23000008, KAKENHI-PROJECT-24760247
[雑誌論文] Synthesis of diamond-like carbon films on Si substrates by photoemission-assisted plasma-enhanced chemical vapor deposition2012
- 著者名/発表者名
  M. Yang, S. Ogawa, S. Takabayashi, T. Otsuji, and Y. Takakuwa
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 523 ページ: 25-28
- DOI
  10.1016/j.tsf.2012.05.059
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23000008, KAKENHI-PROJECT-24760247
[雑誌論文] Carbonaceous field effect transistor with graphene and diamondlike carbon2012
- 著者名/発表者名
  Susumu Takabayashi, Shuichi Ogawa, Yuji Takakuwa, Hyun-Chul Kang, Ryota Takahashi, Hirokazu Fukidome, Maki Suemitsu, Tetsuya Suemitsu, Taiichi Otsuji
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials
  
  巻: 22 ページ: 118-123
- DOI
  10.1016/j.diamond.2011.12.037
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] 光電子制御プラズマCVDによるゲートスタック用DLCの誘電率制御： Low-kからHigh-kまで2014
- 著者名/発表者名
  林広幸, 鷹林将, 楊猛, 小川修一, 尾辻泰一, 高桑雄二
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス (神奈川県相模原市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] ダイヤモンドライクカーボン薄膜のラマン解析 (II): 電気特性との関係性2014
- 著者名/発表者名
  鷹林将, 林広幸, 楊猛, 小川修一, 尾辻泰一, 高桑雄二
- 学会等名
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  北海道大学 (北海道札幌市)
- 年月日
  2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709017
[学会発表] ダイヤモンドライクカーボン薄膜のラマン解析 (I): 関数解析について2014
- 著者名/発表者名
  鷹林将, 林広幸, 楊猛, 小川修一, 尾辻泰一, 高桑雄二
- 学会等名
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  北海道大学 (北海道札幌市)
- 年月日
  2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709017
[学会発表] ダイヤモンドライクカーボン薄膜へのナノ制御ドーピング2014
- 著者名/発表者名
  鷹林将, 林広幸, 楊猛, 小川修一, 尾辻泰一, 高桑雄二
- 学会等名
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  北海道大学 (北海道札幌市)
- 年月日
  2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709017
[学会発表] ダイヤモンドライクカーボン中へのナノ制御ヘテロドーピング2014
- 著者名/発表者名
  鷹林将, 楊猛, 江藤隆紀, 林広幸, 小川修一, 尾辻泰一, 高桑雄二
- 学会等名
  第41回炭素材料学会年会
- 発表場所
  大野城まどかぴあ (福岡県大野城市)
- 年月日
  2014-12-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709017
[学会発表] 電気特性とラマンスペクトルの関係性から得たダイヤモンドライクカーボンの構造モデル2014
- 著者名/発表者名
  鷹林将, 楊猛, 小川修一, 林広幸, ラデクイェシコ, 尾辻泰一, 高桑雄二
- 学会等名
  第41回炭素材料学会年会
- 発表場所
  大野城まどかぴあ (福岡県大野城市)
- 年月日
  2014-12-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709017
[学会発表] グラフェンFET用DLCの光電子制御プラズマCVDプロセスの開発2014
- 著者名/発表者名
  林広幸, 鷹林将, 楊猛, イエシュコラデク, 小川修一, 尾辻泰一, 高桑雄二
- 学会等名
  第19回ゲートスタック研究会
- 発表場所
  ニューウェルシティー湯河原 (静岡県熱海市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] 光電子制御プラズマCVD法によるδ-ドープダイヤモンドライクカーボン薄膜の作製2013
- 著者名/発表者名
  鷹林将,楊猛,林広幸,ラデクイェシコ,小川修一,尾辻泰一,高桑雄二
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学,京都府京田辺市
- 年月日
  2013-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] Deposition of thick dielectric films of diamond-like carbon for graphene-channel THz laser by photoemission-assisted plasma-enhanced CVD2013
- 著者名/発表者名
  Radek Jesko, Meng Yang, Hiroyuki, Hayashi, Shuichi. Ogawa, Susumu Takabayashi, Takanori Etou, Yuki Kurita, Taiichi Otsuji, Yuji Takakuwa
- 学会等名
  The 12th. International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP2013)
- 発表場所
  Kyoto Research Park, Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] Growth Mechanism Analysis and Precise Control of Electrical and Optical Characteristics of Diamond-Like Carbon Films2013
- 著者名/発表者名
  Susumu Takabayashi, Hiroyuki Hayashi, Meng. Yang, Radek Ješko, Shuichi Ogawa, Taiichi Otsuji and Yuji Takakuwa
- 学会等名
  12th. International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-12)
- 発表場所
  Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan
- 年月日
  2013-11-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] グラフェンチャネルFET用DLC膜の誘電率制御2013
- 著者名/発表者名
  林広幸, 鷹林将, 楊猛, 小川修一, 尾辻泰一, 高桑雄二
- 学会等名
  第68回応用物理学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  山形大学工学部 (山形県米沢市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] Formation of aδ-Doped Diamond-Like Carbon Film with a Modulation-doped Gate Dielectric Structure2013
- 著者名/発表者名
  Susumu Takabayashi, Hiroyuki Hayashi, Meng Yang, Radek Ješko, Rie Shishido, Shuichi Ogawa, Taiichi Otsuji and Yuji Takakuwa
- 学会等名
  12th. International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-12)
- 発表場所
  Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan
- 年月日
  2013-11-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] Tuning of the Dielectric Constant of Diamond-Like Carbon Films Synthesized by Photoemission-Assisted Plasma-Enhanced CVD2013
- 著者名/発表者名
  Hiroyuki Hayashi, Susumu Takabayashi, Meng Yang, Radek Jesko, Shuichi Ogawa, Taiichi Otsuji, Yuji Takakuwa
- 学会等名
  2013 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES - SCIENCE AND TECHNOLOGY -
- 発表場所
  University of Tsukuba, Tokyo Campus, Tokyo, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] テラヘルツ通信を志向したダイヤモンドライクカーボンゲート絶縁膜を有するグラフェンFET2013
- 著者名/発表者名
  江藤隆紀, 鷹林将, 栗田裕記, 楊猛, 林広幸, イェシコラディック, 小川修一, 高桑雄二, 末光哲也, 尾辻泰一
- 学会等名
  第18 回ゲートスタック研究会
- 発表場所
  ニューウェルシティー湯河原 (神奈川県湯河原師)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] 光電子制御プラズマCVD法によるδ-ドープダイヤモンドライクカーボン薄膜の作製2013
- 著者名/発表者名
  鷹林将, 楊猛, 林広幸, ラデクイェシコ, 小川修一, 尾辻泰一, 高桑雄二
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス (京都府京田辺市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] ダイヤモンドライクカーボン薄膜のラマン解析とXPS解析との関係2013
- 著者名/発表者名
  鷹林将,高萩隆行
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学,京都府京田辺市
- 年月日
  2013-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] Graphene-Channel FET with δ-Doped Diamondlike Carbon Top-Gate Dielectrics2013
- 著者名/発表者名
  Takanori Eto, Susumu Takabayashi , Yuki Kurita, Meng Yang, Hiroyuki Hayashi, Radek Ješko, Shuichi Ogawa, Yuji Takakuwa, Tetsuya Suemitsu, Taiichi Otsuji
- 学会等名
  The 9th. International Thin-Film Transistor Conference (ITC2013)
- 発表場所
  東京大学 (東京都文京区)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] Thermal Stability of Thick DLC Dielectric Films for Graphene-Channel THz Laser Prepared by Photoemission-Assisted Plasma-Enhanced CVD2013
- 著者名/発表者名
  Radek Jesko, Hiroyuki Hayashi, Shuichi Ogawa, Susumu Takabayashi, Takanori Etoh, Yuki Kurita, Taiichi Otsuji, Yuji Takakuwa
- 学会等名
  12th. International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-12)
- 発表場所
  Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] ダイヤモンドライクカーボン薄膜のラマン解析とXPS解析との関係2013
- 著者名/発表者名
  鷹林将, 高萩隆行
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス (京都府京田辺市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] Formation of a δ-Doped Diamond-Like Carbon Film with a Modulation-doped Gate Dielectric Structure2013
- 著者名/発表者名
  Susumu Takabayashi, Hiroyuki Hayashi, Meng Yang, Radek Jesko, Rie Shishido, Shuichi Ogawa, Taiichi Otsuji, Yuji Takakuwa
- 学会等名
  12th. International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-12)
- 発表場所
  Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] Dielectric-Tuned Diamondlike Carbon Materials for High-Performance Self-Aligned Graphene-Channel Field Effect Transistors2012
- 著者名/発表者名
  Susumu Takabayashi, Meng Yang, Shuichi Ogawa, Yuji Takakuwa, Tetsuya Suemitsu, Taiichi Otsuji
- 学会等名
  2012 Material Research Soicety (MRS) Spring Meeting
- 発表場所
  Moscone West Convention Center/Marriott Marquis (San Francisco, California, USA)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] Carrier Remote Doping Effect in Graphene- Channel FET's with Diamondlike Carbon Gate Dielectrics2012
- 著者名/発表者名
  Susumu Takabayashi, Meng Yang, Takanori Eto, Hiroyuki Hayashi, Shuichi Ogawa, Yuji Takakuwa, Tetsuya Suemitsu, Taiichi Otsuji
- 学会等名
  3rd. International Symposium on Graphene Devices (ISGD-3)
- 発表場所
  Synchrotron Radiation SOLEIL, Saint Aubin, France
- 年月日
  2012-11-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] ダイヤモンドライクカーボン(DLC)薄膜の誘電率制御およびリモートキャリア注入機構2012
- 著者名/発表者名
  鷹林将, 楊猛, 林広幸, 江藤隆紀, 小川修一, 高桑雄二, 末光哲也, 尾辻泰一
- 学会等名
  第32回表面科学学術講演会
- 発表場所
  東北大学 (宮城県仙台市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] ダイヤモンドライクカーボン薄膜の誘電率制御およびリモートキャリア注入機構2012
- 著者名/発表者名
  鷹林将,楊猛,林広幸,江藤隆紀,小川修一,高桑雄二,末光哲也,尾辻泰一
- 学会等名
  第32回表面科学学術講演会
- 発表場所
  東北大学,宮城県仙台市
- 年月日
  2012-11-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] グラフェン/SiC/SiバックゲートFET特性とSiC層厚の関係2012
- 著者名/発表者名
  江藤隆紀, 鷹林将, 三本菅正太, 猪俣州哉, 吹留博一, 末光眞希, 末光哲也, 尾辻泰一
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学 (愛媛県松山市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] Dielectric-tuned Diamondlike Carbon Materials for an Ultrahigh-speed Self-aligned Graphene Channel Field Effect Transistor2012
- 著者名/発表者名
  Susumu Takabayashi, Meng Yang, Shuichi Ogawa, Yuji Takakuwa, Tetsuya Suemitsu, Taiichi Otsuji
- 学会等名
  4th. Internationals Conferences on Modern Materials and Technologies (CIMTEC2012)
- 発表場所
  Montecatini Terme, Tuscany, Italy,
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] Dielectric-tuned Diamondlike Carbon Materials for an Ultrahigh-speed Self-aligned Graphene Channel Field Effect Transistor2012
- 著者名/発表者名
  Susumu Takabayashi, Meng Yang, Shuichi Ogawa, Yuji Takakuwa, Tetsuya Suemitsu, Taiichi Otsuji
- 学会等名
  4th. Internationals Conferences on Modern Materials and Technologies (CIMTEC2012)
- 発表場所
  Montecatini Terme, Tuscany, Italy
- 年月日
  2012-06-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] ダイヤモンドライクカーボン絶縁膜を用いたグラフェンFET2012
- 著者名/発表者名
  鷹林将, 楊猛, 小川修一, 林　広幸, 栗田裕記, 高桑雄二, 末光哲也, 尾辻泰一
- 学会等名
  電子情報通信学会　電子デバイス研究会
- 発表場所
  福井大学 (福井県福井市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] Dielectric-Tuned Diamondlike Carbon Materials for High-Performance Self-Aligned Graphene- Channel Field Effect Transistors2012
- 著者名/発表者名
  Susumu Takabayashi, Meng Yang, Shuichi Ogawa, Yuji Takakuwa, Tetsuya Suemitsu, Taiichi Otsuji
- 学会等名
  2012 Material Research Society (MRS) Spring Meeting
- 発表場所
  Moscone West Convention Center/Marriott Marquis, San Francisco, California, USA
- 年月日
  2012-04-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] Dielectric-Tuning of Diamondlike Carbon Gate Dielectrics Prepared by Photoemission-Assisted Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition2012
- 著者名/発表者名
  Meng Yang, Susumu Takabayashi, Shuichi Ogawa, Hiroyuki Hayashi, Takanori Eto, Taiichi Otsuji, Yuji Takakuwa
- 学会等名
  3rd. International Symposium on Graphene Devices (ISGD2012)
- 発表場所
  Synchrotron Radiation SOLEIL, Saint Aubin, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] Carrier Remote Doping Effect in Graphene-Channel FET’s with Diamondlike Carbon Gate Dielectrics2012
- 著者名/発表者名
  Susumu Takabayashi, Meng Yang, Takanori Eto, Hiroyuki Hayashi, Shuichi Ogawa, Yuji Takakuwa, Tetsuya Suemitsu, Taiichi Otsuji
- 学会等名
  3rd. International Symposium on Graphene Devices (ISGD2012)
- 発表場所
  Synchrotron Radiation SOLEIL, Saint Aubin, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247
[学会発表] ダイヤモンドライクカーボン絶縁膜を用いたグラフェンFET2012
- 著者名/発表者名
  鷹林将, 楊猛, 小川修一, 林広幸, 栗田裕記, 高桑雄二, 末光哲也, 尾辻泰一
- 学会等名
  電子情報通信学会電子デバイス研究会
- 発表場所
  福井大学,福井県福井市
- 年月日
  2012-07-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760247

1. 高桑雄二

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 6件
2. 末光哲也

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 2件
3. 尾辻泰一

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 6件
4. 末光眞希

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 2件

鷹林 将 Takabayashi Susumu

研究課題

研究成果

共同研究者

変調ドーピング炭素構造によるダイヤモンド電子デバイスの最適化と高信頼化研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

炭素材料の機能化と融合による革新的電子/光デバイスの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

炭素機能性材料を用いた革新的次世代電子デバイスの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Controlled oxygen-doped diamond-like carbon film synthesized by photoemission-assisted plasma2015

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Surface oxidation process of a diamond-like carbon film analyzed by difference X-ray photoelectron spectroscopy2015

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Relationship between the structure and electrical characteristics of diamond-like carbon films2014

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] X線光電子分光法によるダイヤモンドライクカーボン薄膜の表面化学構造解析2013

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

URL

データソース

[雑誌論文] Formation of diamond-like carbon films by photoemission-assisted plasma-enhanced chemical vapor deposition2013

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] Dielectric-tuned diamondlike carbon materials for an ultrahigh-speed self-aligned graphene channel field effect transistor2013

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Dielectric-tuned Diamondlike Carbon Materials for a High-performance Self-aligned Graphene-channel Field Effect Transistor2012

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Synthesis of diamond-like carbon films on Si substrates by photoemission-assisted plasma-enhanced chemical vapor deposition2012

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Carbonaceous field effect transistor with graphene and diamondlike carbon2012

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[学会発表] 光電子制御プラズマCVDによるゲートスタック用DLCの誘電率制御： Low-kからHigh-kまで2014

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

[学会発表] ダイヤモンドライクカーボン薄膜のラマン解析 (II): 電気特性との関係性2014

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

鷹林将 Takabayashi Susumu