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山中 卓也  yamanaka takuya

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 00546335
所属 (現在) 2025年度: 徳島大学, 技術支援部常三島技術部門, 技術支援職員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2012年度 – 2014年度: 徳島大学, ソシオテクノサイエンス研究部, 技術専門職員
審査区分/研究分野
研究代表者以外
薄膜・表面界面物性
キーワード
研究代表者以外
シミュレーション / ヘリウムイオン / 二次電子放出 / イオン顕微鏡
  • 研究課題

    (1件)
  • 研究成果

    (6件)
  • 共同研究者

    (1人)
  •  ヘリウムイオン顕微鏡の二次電子信号評価シミュレーション

    • 研究代表者
      大宅 薫
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2014
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      薄膜・表面界面物性
    • 研究機関
      徳島大学

すべて 2013 その他

すべて 学会発表

  • [学会発表] 走査イオン顕微鏡によるラインパターン計測のシミュレーション2013

    • 著者名/発表者名
      山中 卓也,大宅 薫
    • 学会等名
      第33回ナノテスティングシンポジウム
    • 発表場所
      千里ライフサイエンスセンター(大阪府)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560029
  • [学会発表] Modeling Secondary Electron Emission from Line Edge Patterns in Scanning Ion Microscopes2013

    • 著者名/発表者名
      Ohya K, Yamanaka K
    • 学会等名
      26th International Microprocess and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Royton Sapporo (Hokkaido)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560029
  • [学会発表] Modeling secondary electron emission in scanning He ion microscope: comparison with scanning Ga ion and electron microscopes2013

    • 著者名/発表者名
      Ohya K, Yamanaka K
    • 学会等名
      19th International Vacuum Congress
    • 発表場所
      Paris Palais des Congres (France)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560029
  • [学会発表] Modeling Ion Induced Secondary Electron Emission in Scanning Ion Microscopes2013

    • 著者名/発表者名
      Ohya K, Yamanaka K
    • 学会等名
      9th International Symposium on Atomic Level Characterization for New Materials and Devices'13
    • 発表場所
      Sheraton Kona (USA)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560029
  • [学会発表] Modelling and observastion of a trench pattern on a silicon substrate in helium ion microscope

    • 著者名/発表者名
      Takuya Yamanaka, Kaoru Ohya, Emile van Veldhoven, Paul F. A. Alkemade, Diederik J. Maas
    • 学会等名
      19th International Conference on Ion Beam Modification of Materials
    • 発表場所
      Pieter De Somer Auditorium, Leuven (Belgium)
    • 年月日
      2014-09-14 – 2014-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560029
  • [学会発表] Helium ion beam charging of an oxide layer on a silicon substrate: a comparison between observed and Monte Carlo-simulated results

    • 著者名/発表者名
      Kaoru Ohya, Takuya Yamanaka, Emile van Veldhoven, Paul F. A. Alkemade, Diederik J. Maas
    • 学会等名
      19th International Conference on Ion Beam Modification of Materials
    • 発表場所
      Pieter De Somer Auditorium, Leuven (Belgium)
    • 年月日
      2014-09-14 – 2014-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24560029
  • 1.  大宅 薫 (10108855)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 6件

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