柴山茂久 SHIBAYAMA Shigehisa

研究者番号	00774126
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 名古屋大学, 工学研究科, 助教
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2023年度: 名古屋大学, 工学研究科, 助教 2018年度: 名古屋大学, 工学研究科, 助教 2016年度 – 2017年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 特別研究員
審査区分/研究分野	研究代表者中区分21:電気電子工学およびその関連分野 / 電子・電気材料工学
キーワード	研究代表者アルミニウム-スズ共晶 / スズ / ナノシート / 偏析 / ゲルマニウムスズ / 超格子 / 二元系遷移金属酸化物 / ピエゾ応答力顕微鏡 / ドーピング / 相図 … もっと見る / 核形成 / 強誘電体 / ZrO2 / HfO2 / 相変態 / 反強誘電性 / 強誘電性 / ジルコニウム酸化膜 / ハフニウム酸化膜隠す

研究課題
(2件)
研究成果
(28件)

Al-Sn共晶を媒介とした拡散・偏析法を用いたスズハニカムナノシート合成への挑戦研究代表者
- 研究代表者
  
  柴山茂久
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2024
- 研究種目
  
  挑戦的研究(萌芽)
- 審査区分
  
  中区分21:電気電子工学およびその関連分野
- 研究機関
  名古屋大学
二元系遷移金属酸化物の強誘電性に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  柴山茂久
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  名古屋大学
   東京大学

すべて 2024 2023 2019 2018 2017 2016

すべて雑誌論文学会発表図書

[図書] Ferroelectricity in Doped Hafnium Oxide 1st Edition (CHAPTER 3.3 Ferroelectric Films by Physical Vapor Deposition and Ion Implantation)2019
- 著者名/発表者名
  Akira Toriumi, Lun Xu, Shigehisa Shibayama, Shinji Migita
- 総ページ数
  570
- 出版者
  ELSEVIER
- ISBN
  9780081024300
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[雑誌論文] Thermodynamic control of ferroelectric-phase formation in HfxZr1－xO2 and ZrO22018
- 著者名/発表者名
  S. Shibayama, T. Nishimura, S. Migita, and A. Toriumi
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 122 号: 18
- DOI
  10.1063/1.5028181
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[雑誌論文] Evolution of ferroelectric HfO2 in ultrathin region down to 3-nm2018
- 著者名/発表者名
  Tian Xuan、Shibayama Shigehisa、Nishimura Tomonori、Yajima Takeaki、Migita Shinji、Toriumi Akira
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 112 号: 10
- DOI
  10.1063/1.5017094
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225, KAKENHI-PROJECT-15J10995
[雑誌論文] Ferroelectricity of Non-doped Thin HfO2 Films in TiN/HfO2/TiN Stacks2016
- 著者名/発表者名
  T. Nishimura, L. Xu, S. Shibayama, T. Yajima, S. Migita, and A. Toriumi
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 55 号: 8S2 ページ: 08PB01-08PB01
- DOI
  10.7567/jjap.55.08pb01
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15J10995, KAKENHI-PROJECT-16K14225
[雑誌論文] Ferroelectric phase stabilization of HfO2 by nitrogen doping2016
- 著者名/発表者名
  L. Xu, T. Nishimura, S. Shibayama, T. Yajima, S. Migita, and A. Toriumi
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 9 号: 9 ページ: 091501-091501
- DOI
  10.7567/apex.9.091501
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15J10995, KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] Al/GeSn(111)構造上への熱処理による極薄・高Sn組成GeSn表面偏析2024
- 著者名/発表者名
  柴山茂久、松本泰河、大田晃生、横川凌、坂下満男、黒澤昌志、中塚理
- 学会等名
  特別研究会「電子デバイス界面テクノロジー研究会―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」（第29回）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K17745
[学会発表] Al/GeSn(111)構造からの偏析を用いた極薄・高Sn組成GeSnの形成2023
- 著者名/発表者名
  松本泰河、大田晃生、横川凌、坂下満男、黒澤昌志、中塚理、柴山茂久
- 学会等名
  第10回応用物理学会SC東海地区学術講演会 2023 (JSAP SCTS 2023)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K17745
[学会発表] Al/GeSn(111)エピタキシャル層構造からの偏析による極薄GeSn形成2023
- 著者名/発表者名
  松本泰河、柴山茂久、大田晃生、横川凌、黒澤昌志、坂下満男、中塚理
- 学会等名
  2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K17745
[学会発表] HfO2-ZrO2系薄膜の反強誘電性の発現過程について2019
- 著者名/発表者名
  柴山茂久, 坂下満男, 中塚理, 財満鎭明
- 学会等名
  2019年第66回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] アンドープZrO2薄膜における強誘電性の実現2018
- 著者名/発表者名
  柴山茂久、西村知紀、右田真司、鳥海明
- 学会等名
  2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] Ferroelectric and anti-ferroelectric phase control of un-doped ZrO22018
- 著者名/発表者名
  S. Shibayama, T. Nishimura, S. Migita, and A. Toriumi
- 学会等名
  2018 ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference (IFAAP 2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] HfxZr1-xO2が広い濃度領域で強誘電性を示す起源について2018
- 著者名/発表者名
  柴山茂久、西村知紀、右田真司、鳥海明
- 学会等名
  2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] Effect of internal-strain caused by monoclinic phase formation on ferroelectric phase formation of ZrO22018
- 著者名/発表者名
  S. Shibayama, T. Nishimura, X. Tian, S. Migita, and A. Toriumi
- 学会等名
  2018 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] Nucleation-Driven Ferroelectric Phase Formation in ZrO2 Thin Films -What is Different in ZrO2 from HfO2 ?-2018
- 著者名/発表者名
  S. Shibayama, T. Nishimura, S. Migita, and A. Toriumi
- 学会等名
  2nd Electron Devices Technology and Manufacturing (EDTM) Conference 2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] Understanding of ferroelectric phase formation mechanism for un-doped ZrO22018
- 著者名/発表者名
  S. Shibayama, T. Nishimura, S. Migita, and A. Toriumi
- 学会等名
  12th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] HfO2膜の強誘電相形成における熱履歴の重要性2017
- 著者名/発表者名
  柴山茂久、徐倫、田旋、右田真司、鳥海明
- 学会等名
  2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜（横浜）
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] General relationship for cation and anion doping effects on ferroelectric HfO2 formation2017
- 著者名/発表者名
  L. Xu, S. Shibayama, K. Izukashi, T. Nishimura, T. Yajima, S. Migita, and A. Toriumi
- 学会等名
  応用物理シリコンテクノロジー分科会第197回　研究集会
- 発表場所
  機会振興会館（東京）
- 年月日
  2017-01-30
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] 圧電応答力顕微鏡を用いたYドープHfO2の強誘電性ドメインの観察2017
- 著者名/発表者名
  柴山茂久、徐倫、田旋、右田真司、鳥海明
- 学会等名
  特別研究会「電子デバイス界面テクノロジー研究会―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」（第22回）
- 発表場所
  東レ研修センター（三島）
- 年月日
  2017-01-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] Dopant-independent maximum Pr of doped ferroelectric HfO22017
- 著者名/発表者名
  L. Xu, S. Shibayama, T. Nishimura, T. Yajima, S. Migita, and A. Toriumi
- 学会等名
  2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜（横浜）
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] 10-nm-Scale Ferroelectric Domain Distribution in Ferroelectric HfO2 Observed by Using Piezo-Response Force Microscopy2016
- 著者名/発表者名
  S. Shibayama, L. Xu, X. Tian, S. Migita, and A. Toriumi
- 学会等名
  7th International Symposium on control of semiconductor interfaces (ISCSI-VII)/International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM 2016)
- 発表場所
  Noyori Conference Hall, Nagoya University, Chikusa-ku, Nagoya (Japan)
- 年月日
  2016-06-07
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] General relationship for cation and anion doping effects on ferroelectric HfO2 formation2016
- 著者名/発表者名
  L. Xu, S. Shibayama, K. Izukashi, T. Nishimura, T. Yajima, S. Migita, and A. Toriumi
- 学会等名
  2016 IEEE International Electron Devices Meeting
- 発表場所
  San Francisco (USA)
- 年月日
  2016-12-03
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] 圧電応答力顕微鏡を用いた強誘電性HfO2のエージング特性に関する研究2016
- 著者名/発表者名
  柴山茂久, 徐倫, 右田真司, 鳥海明
- 学会等名
  応用物理シリコンテクノロジー分科会第194回　研究集会「2016 VLSI特別シンポジウム」特集
- 発表場所
  甲南大学（東京）
- 年月日
  2016-08-23
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] Study of polarization uniformity in N-doped ferroelectric HfO2 by piezo-response force microscopy2016
- 著者名/発表者名
  L. Xu, S. Shibayama, T. Nishimura, T. Yajima, S. Migita, and A. Toriumi
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟）
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] 強誘電性HfO2膜における局所内部電界に起因する分極の不均質性2016
- 著者名/発表者名
  柴山茂久、徐倫、田旋、右田真司、鳥海明
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟）
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] Opportunity of Ferroelectric Phase Formation in Nitrogen-doped HfO22016
- 著者名/発表者名
  L. Xu, S. Shibayama, T. Nishimura, T. Yajima, S. Migita, and A. Toriumi
- 学会等名
  2016 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  Tsukuba International Congress Center, Tsukuba (Japan)
- 年月日
  2016-09-26
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] Depolarization Process in Ferroelectric HfO2 Probed by Piezo-response Force Microscopy (PFM)2016
- 著者名/発表者名
  S. Shibayama, L. Xu, X. Tian, S. Migita, and A. Toriumi
- 学会等名
  2016 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  Tsukuba International Congress Center, Tsukuba (Japan)
- 年月日
  2016-09-26
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] Effects of nitrogen bonding on para-/ferroelectric transition of HfO22016
- 著者名/発表者名
  L. Xu, T. Nishimura, S. Shibayama, T. Yajima, S. Migita, and A. Toriumi
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟）
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225
[学会発表] Study of Wake‐up and Fatigue Properties in Doped and Undoped Ferroelectric HfO2 in Conjunction with Piezo‐Response Force Microscopy Analysis2016
- 著者名/発表者名
  S. Shibayama, L. Xu, S. Migita, and A. Toriumi
- 学会等名
  2016 Symposia on VLSI Technology and Circuits
- 発表場所
  Hawaii (USA)
- 年月日
  2016-06-13
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K14225

柴山 茂久 SHIBAYAMA Shigehisa

研究課題

研究成果

Al-Sn共晶を媒介とした拡散・偏析法を用いたスズハニカムナノシート合成への挑戦研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

二元系遷移金属酸化物の強誘電性に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] Ferroelectricity in Doped Hafnium Oxide 1st Edition (CHAPTER 3.3 Ferroelectric Films by Physical Vapor Deposition and Ion Implantation)2019

著者名/発表者名

総ページ数

出版者

ISBN

データソース

[雑誌論文] Thermodynamic control of ferroelectric-phase formation in HfxZr1－xO2 and ZrO22018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Evolution of ferroelectric HfO2 in ultrathin region down to 3-nm2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Ferroelectricity of Non-doped Thin HfO2 Films in TiN/HfO2/TiN Stacks2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Ferroelectric phase stabilization of HfO2 by nitrogen doping2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[学会発表] Al/GeSn(111)構造上への熱処理による極薄・高Sn組成GeSn表面偏析2024

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Al/GeSn(111)構造からの偏析を用いた極薄・高Sn組成GeSnの形成2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Al/GeSn(111)エピタキシャル層構造からの偏析による極薄GeSn形成2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] HfO2-ZrO2系薄膜の反強誘電性の発現過程について2019

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] アンドープZrO2薄膜における強誘電性の実現2018

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Ferroelectric and anti-ferroelectric phase control of un-doped ZrO22018

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] HfxZr1-xO2が広い濃度領域で強誘電性を示す起源について2018

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Effect of internal-strain caused by monoclinic phase formation on ferroelectric phase formation of ZrO22018

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Nucleation-Driven Ferroelectric Phase Formation in ZrO2 Thin Films -What is Different in ZrO2 from HfO2 ?-2018

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Understanding of ferroelectric phase formation mechanism for un-doped ZrO22018

著者名/発表者名

学会等名

柴山茂久 SHIBAYAMA Shigehisa