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武井 良憲  Takei Yoshinori

研究者番号 00805145
その他のID
  • ORCIDhttps://orcid.org/0000-0001-5970-3809
所属 (現在) 2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員
2018年度 – 2021年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究員
2014年度 – 2016年度: 東京大学, 工学系研究科, 特別研究員(DC1)
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分21030:計測工学関連 / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / 生産工学・加工学
キーワード
研究代表者
圧力標準 / 標準 / 圧力 / 光学式圧力計 / 真空 / 熱力学温度 / 屈折率 / 超精密加工 / 分極率 / ファブリ・ペロ共振器 … もっと見る / ファブリペロ共振器 / 計測 / ゼロ熱膨張材料 / 真円度測定機 / 重錘形圧力天びん / 屈折率計 / 真空計測 / 大型光学素子 / Large Telescope / 計測システム / 真円度測定 / 回転楕円 / 軟X線集光ミラー / ノズル型EEM / 運動誤差 / 多点法 / 形状修正加工 / 真円度測定器 / マンドレル / EEM / 回転楕円ミラー / 軟X線 / 2ガス法 / 光学式圧力標準 / 温度の絶対値計測 / 気体の屈折率計測 / 真空の圧力の絶対値計測 / 計量 / 光学的圧力計測 / 絶対値 / 不確かさ / ファブリペロ 隠す
  • 研究課題

    (5件)
  • 研究成果

    (44件)
  •  ゼロ熱膨張かつ超精密なピストン-シリンダを備えた世界最高精度圧力天びんの開発研究代表者

    • 研究代表者
      武井 良憲
    • 研究期間 (年度)
      2025 – 2028
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
  •  クアッドキャビティを用いた光学式圧力計による圧力の絶対値計測研究代表者

    • 研究代表者
      武井 良憲
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21030:計測工学関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
  •  レーザーを用いた精確な圧力計測装置の開発~気体の分極率から圧力の絶対値を求める~研究代表者

    • 研究代表者
      武井 良憲
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2021
    • 研究種目
      若手研究
    • 審査区分
      小区分21030:計測工学関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
  •  光学的手法に基づく新たな圧力計測システムの開発~広範囲を一台で高精度に計測~研究代表者

    • 研究代表者
      武井 良憲
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2019
    • 研究種目
      若手研究
    • 審査区分
      小区分21030:計測工学関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
  •  3次元ナノ精度形状修正加工システムの構築と次世代軟X線ミラーへの展開研究代表者

    • 研究代表者
      武井 良憲
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2016
    • 研究種目
      特別研究員奨励費
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東京大学

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すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Challenges of an optical pressure standard in medium vacuum measurements2022

    • 著者名/発表者名
      Takei Yoshinori、Telada Souichi、Yoshida Hajime、Bitou Youichi、Kobata Tokihiko
    • 雑誌名

      Measurement: Sensors

      巻: - ページ: 100371-100371

    • DOI

      10.1016/j.measen.2022.100371

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K14758, KAKENHI-PROJECT-23K22775
  • [雑誌論文] In-situ measurement of mirror deformation using dual Fabry-Perot cavities for optical pressure standard2021

    • 著者名/発表者名
      Takei Yoshinori、Telada Souichi、Yoshida Hajime、Arai Kenta、Bitou Youichi、Kobata Tokihiko
    • 雑誌名

      Measurement

      巻: 173 ページ: 108496-108496

    • DOI

      10.1016/j.measurement.2020.108496

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K14758
  • [雑誌論文] Towards medium vacuum measurements using an optical pressure standard2021

    • 著者名/発表者名
      Takei Yoshinori、Telada Souichi、Yoshida Hajime、Bitou Youichi、Kobata Tokihiko
    • 雑誌名

      Measurement: Sensors

      巻: 18 ページ: 100339-100339

    • DOI

      10.1016/j.measen.2021.100339

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K14758
  • [雑誌論文] Development of an optical pressure measurement system using an external cavity diode laser with a wide tunable frequency range2020

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei, Kenta Arai, Hajime Yoshida, Youichi Bitou, Souichi Telada, Tokihiko Kobata
    • 雑誌名

      Measurement

      巻: 151 ページ: 1-5

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K13771
  • [雑誌論文] Newly developed pressure measurement system using an optical method at NMIJ2019

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei, Kenta Arai, Hajime Yoshida, Youichi Bitou, Souichi Telada, Tokihiko Kobata
    • 雑誌名

      USB for APMF2019 conference

      巻: 1 ページ: 1-5

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K13771
  • [雑誌論文] Accurate and wide-range radius of curvature measurement directly linked to a time standard using a FabryPerot cavity2018

    • 著者名/発表者名
      Youichi Bitou, Yoshinori Takei, Souichi Telada,
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: Volume 54 ページ: 149-153

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2018.05.011

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K13771
  • [雑誌論文] 軟X線回転体ミラーのマンドレル作製システムの開発(第2報)-複数の変位計を用いた自由曲線形状の計測装置開発-2017

    • 著者名/発表者名
      武井良憲,三村秀和
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 印刷中

    • NAID

      130005689946

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [雑誌論文] 軟X線回転体ミラーのマンドレル作製システムの開発(第1報)2017

    • 著者名/発表者名
      武井良憲,三村秀和
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 83 号: 3 ページ: 245-250

    • DOI

      10.2493/jjspe.83.245

    • NAID

      130005436044

    • ISSN
      0912-0289, 1882-675X
    • 言語
      日本語
    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02041, KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] 光学式圧力標準におけるファブリ・ペロ共振器の熱膨張変形の軽減2024

    • 著者名/発表者名
      武井良憲, 寺田聡一, 吉田肇, 尾藤洋一
    • 学会等名
      精密工学会2023年度春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22775
  • [学会発表] Recent studies for vacuum standards ~ static expansion system, dimensional measurements for pressure balances, and optical pressure standard ~2023

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei
    • 学会等名
      日本表面真空学会学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22775
  • [学会発表] Recent studies to advance pressure and vacuum standards through the use of length and dimensional measurement techniques2023

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei
    • 学会等名
      Emerging Scientist Workshop 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22775
  • [学会発表] Recent studies to advance pressure and vacuum standards through the use of quantum techniques in NMIJ2023

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei
    • 学会等名
      The 65th KVS Summer Annual Conference & IFFM 2023
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22775
  • [学会発表] Vacuum pressure standards through the use of laser and dimensional measurement techniques2023

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei
    • 学会等名
      International Symposium on Ultraprecision Engineering and Nanotechnology
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22775
  • [学会発表] Progress towards dimensional measurements for piston-cylinder of pressure balance2023

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei , Yohan Kondo, Hiroaki Kajikawa, Tsukasa Watanabe
    • 学会等名
      2023 CCM & IMEKO TC16 7th International Conference on Pressure and Vacuum Metrology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22775
  • [学会発表] Measurement of deformation coefficient of Fabry-Perot cavity using two gas method in optical pressure standard2022

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei, Souichi Telada, Hajime Yoshida, Youichi Bitou, Tokihiko Kobata
    • 学会等名
      IVC-22 (The 22nd International Vacuum Congress)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22775
  • [学会発表] レーザの光周波数計測技術の気体圧力計測への応用2022

    • 著者名/発表者名
      武井 良憲、吉田 肇、寺田 聡一、尾藤 洋一、小畠 時彦
    • 学会等名
      精密工学会 2021年度春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K14758
  • [学会発表] ファブリペロ共振器を用いた曲率半径測定2022

    • 著者名/発表者名
      尾藤 洋一、武井 良憲、寺田 聡一
    • 学会等名
      精密工学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22775
  • [学会発表] ファブリ・ペロ共振器を利用した光学式圧力計測装置の開発 ―気体の圧力を屈折率と温度から求める―2021

    • 著者名/発表者名
      武井 良憲、寺田 聡一、吉田 肇、新井 健太、小畠 時彦
    • 学会等名
      精密工学会 2021年度春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K14758
  • [学会発表] 光学式圧力標準の開発 ~圧力を屈折率と温度から求める~2021

    • 著者名/発表者名
      武井 良憲、吉田 肇、寺田 聡一、尾藤 洋一、小畠 時彦
    • 学会等名
      2021年日本表面真空学会学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K14758
  • [学会発表] Towards medium vacuum measurements using an optical pressure standard2021

    • 著者名/発表者名
      Takei Yoshinori、Telada Souichi、Yoshida Hajime、Bitou Youichi、Kobata Tokihiko
    • 学会等名
      IMEKO2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K14758
  • [学会発表] 光学式圧力計の開発と低真空における性能評価2019

    • 著者名/発表者名
      武井 良憲、吉田 肇、新井 健太、寺田 聡一、尾藤 洋一、小畠 時彦
    • 学会等名
      2019年 日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K13771
  • [学会発表] Improvement of optical pressure measurement system by stabilizing temperature inside chamber at 1 mK level.2019

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei, Kenta Arai, Hajime Yoshida, Youichi Bitou, Souichi Telada, Tokihiko Kobata
    • 学会等名
      IVC-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K13771
  • [学会発表] Newly developed pressure measurement system using an optical method at NMIJ2019

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei, Kenta Arai, Hajime Yoshida, Youichi Bitou, Souichi Telada, Tokihiko Kobata
    • 学会等名
      APMF2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K13771
  • [学会発表] Development of a pressure measurement system using an Optical method2018

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei, Kenta Arai, Hajime Yoshida, Youichi Bitou, Souichi Telada, and Tokihiko Kobata.
    • 学会等名
      Asia Pacific Metrology Program(APMP) 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K13771
  • [学会発表] Development of a measurement system for pressures in vacuum regions using an optical method2018

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei, Kenta Arai, Hajime Yoshida, Youichi Bitou, Souichi Telada, and Tokihiko Kobata.
    • 学会等名
      65th AVS(American Vacuum Society) International Symposium and Exhibition.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K13771
  • [学会発表] 圧力計測のためのファブリ・ペロ共振器を用いた屈折率計測システムの開発2018

    • 著者名/発表者名
      武井 良憲、吉田 肇、新井 健太、寺田 聡一、尾藤 洋一、小畠 時彦
    • 学会等名
      公益社団法人 精密工学会 2018年度秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K13771
  • [学会発表] 屈折率の計測による真空域の圧力計測装置の開発2018

    • 著者名/発表者名
      武井 良憲、吉田 肇、新井 健太、寺田 聡一、尾藤 洋一、小畠 時彦
    • 学会等名
      公益社団法人 日本表面真空学会 2018年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K13771
  • [学会発表] 回転楕円ミラー用マンドレルの3次元高精度形状計測法の開発2017

    • 著者名/発表者名
      久米健大,武井良憲,三村秀和
    • 学会等名
      精密工学会
    • 発表場所
      慶応義塾大学
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] 回転楕円ミラーによる高次高調波集光システムの開発2017

    • 著者名/発表者名
      本山央人,岩崎純史,佐藤堯洋,武井良憲,久米健大,江川悟,山内薫,三村秀和
    • 学会等名
      精密工学会
    • 発表場所
      慶応義塾大学
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] Development of a surface profiler for mandrel of ellipsoidal soft x-ray focusing mirror2016

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei, Hidekazu Mimura
    • 学会等名
      SPIE
    • 発表場所
      San diego,United States
    • 年月日
      2016-08-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] Development of figure correction system for master mandrel of ellipsoidal x-ray mirror2016

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei, Takahiro Higashi and Hidekazu Mimura
    • 学会等名
      XOPT
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2016-05-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] X 線集光用回転楕円ミラーのマンドレル作製プロセスの開発2016

    • 著者名/発表者名
      武井良憲,松澤雄介,三村秀和
    • 学会等名
      精密工学会
    • 発表場所
      茨城大学
    • 年月日
      2016-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] evelopment of a surface profiler for mandrel of ellipsoidal soft x-ray focusing mirror2016

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei, Hidekazu Mimura
    • 学会等名
      SPIE
    • 発表場所
      アメリカ、サンディエゴ
    • 年月日
      2016-08-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] Development of figure correction system for master mandrel of ellipsoidal x-ray mirror2016

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei, Takahiro Higashi and Hidekazu Mimura
    • 学会等名
      XOPT
    • 発表場所
      Pacifico Yokohama, Yokohama, Kanagawa
    • 年月日
      2016-05-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] 高精度マンドレル作製と高精度形状転写による軟 X 線回転楕円ミラーの作製2016

    • 著者名/発表者名
      武井良憲,久米健大,竹尾陽子,三村秀和
    • 学会等名
      放射光科学シンポジウム
    • 発表場所
      東京大学、文京区、東京都
    • 年月日
      2016-01-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] 回転楕円ミラー用マンドレルの形状計測装置の開発とその形状修正加工2015

    • 著者名/発表者名
      武井良憲,東隆裕,三村秀和
    • 学会等名
      2015年度精密工学会秋季大会
    • 発表場所
      東北大学、宮城県、仙台市
    • 年月日
      2015-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] Roundness correction processing with nanometer order accuracy.2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Takei and H. Mimura
    • 学会等名
      12th ISMTII
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • 年月日
      2015-09-22
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] Development of ellipsoidal focusing mirror for soft x-ray and extreme ultraviolet light2015

    • 著者名/発表者名
      Hidekazu Mimura, Yoshinori Takei, Takahiro Saito, Takehiro Kume, Hiroto Motoyama, Satoru Egawa, Yoko Takeo, Takahiro Higashi
    • 学会等名
      SPIE
    • 発表場所
      San diego,United States
    • 年月日
      2015-09-07
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] Fabrication of Soft X-ray Ellipsoidal Focusing Mirror by Highly Accurate Electroforming Process

    • 著者名/発表者名
      T. Kume, Y. Takei, T. Saito, H. Motoyama, S. Egawa, H. Mimura
    • 学会等名
      ICPE2014 (The 15th International Conference on Precision Engineering)
    • 発表場所
      Kanazawa, Japan
    • 年月日
      2014-07-22 – 2014-07-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] 複数の1 nm分解能レーザプローブを用いたX線ミラー用計測装置の開発

    • 著者名/発表者名
      東隆裕,武井良憲,三村秀和
    • 学会等名
      2014年精密工学会秋季大会
    • 発表場所
      鳥取大学, 鳥取県
    • 年月日
      2014-09-16 – 2014-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] Roundness correction processing with nanometer order accuracy

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei, Hidekazu Mimura
    • 学会等名
      the 12th International Symposiumon Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • 年月日
      2015-09-22 – 2015-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] 再現性1nmの大型光学素子計測システム

    • 著者名/発表者名
      武井良憲, Renaud Jourdain, Paul Morantz and Paul Shore
    • 学会等名
      2015年精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東洋大学,東京都
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] Investigation of large optics measurement system with 1 nm repeatability

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takei, Renaud Jourdain, Paul Morantz and Paul Shore
    • 学会等名
      Structured & Freeform Surfaces Meeting
    • 発表場所
      Padova, Italy
    • 年月日
      2014-11-19 – 2014-11-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051
  • [学会発表] 複数の1 nm分解能レーザプローブを用いたX線ミラー形状計測装置の開発(第2報) ‐計測精度の向上と評価‐

    • 著者名/発表者名
      東隆裕,武井良憲,齋藤貴宏,久米健大,三村秀和
    • 学会等名
      2015年精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東洋大学, 東京都
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14J08051

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