富永喜久雄 TOMINAGA Kikuo

研究者番号	10035660
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2000年度 – 2005年度: 徳島大学, 工学部, 助教授 1996年度 – 1997年度: 徳島大学, 工学部, 助教授 1993年度: 徳島大学, 工学部, 助教授 1992年度: 徳島大学, 工学部電気電子工学科, 助教授 1989年度 – 1991年度: 徳島大学, 工学部, 助教授
審査区分/研究分野	研究代表者電子・電気材料工学 / 電子材料工学 / 電子・電気材料工学
キーワード	研究代表者透明導電膜 / ZnO-SnO_2 / ITO / ZnO-In_2O_3 / 酸化亜鉛 / ZnO / アモルファス膜 / SnO_2-ZnO / In_2O_3-ZnO / 透明電極 … もっと見る / Amorphous conductive film / sputtered film / sputtering / Transparent electrode / transparent film / AlN / スパッタリング / ZnO : Al / Planar magnetron sputtering / 酸化亜鉛薄膜 / indium oxide / zinc oxide / amorphous film / transparent conductive electrode / ZnO-SnO2 / 酸化インジウム / Highly transparent oxide films / Infrared absorption film / amorphous films / Transparent conductive oxide films / TCO films / 高透過率膜 / 赤外線吸収 / 低抵抗膜 / アモルファス / TCR Film / ZnO:Al / 不純物添加効果 / amorphous conductive film / TCR film / ZnO :Al / transparent conductive film / oxide film / nitride film / Sputtering / 窒化アルミニウム / 酸化物薄膜 / 窒化物薄膜 / film bombardment by energetic particles / UV radiation effect / transparent Conductive films / Zinc oxide film / facing target sputtering system / イオン衝撃 / 対向ターゲット式スパッタリング法 / Zno:Al / 高速粒子衝撃 / 紫外線照射 / プレーナマグネトロンスパッタ法 / 対向ターゲット式スパッタ法 / AlN film / ZnO film / Sputtering system with facing targets / 窒化アルミニウム薄膜 / プレ-ナマグネトロンスパッタリング / 対向タ-ゲット式スパッタリング法隠す

擬2元系アモルファス透明導電膜の開発と透明電極への応用に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  富永喜久雄
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2005
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  徳島大学
アモルファス透明導電膜材料の開発と透明電極への応用に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  富永喜久雄
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  徳島大学
酸化物透明導電性薄膜への層状構造および結晶核生成不純物導入の効果に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  富永喜久雄
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  徳島大学
スパッタ膜作製における低エネルギーイオン照射による膜特性の制御に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  富永喜久雄
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1997
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  徳島大学
紫外線照射下での斜め対向ターゲット式スパッタ法による薄膜作製装置の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  富永喜久雄
- 研究期間 (年度)
  1992 – 1993
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  徳島大学
対向タ-ゲット式プレ-ナマグネトロンスパッタリング法による薄膜作製装置の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  富永喜久雄
- 研究期間 (年度)
  1989 – 1990
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  徳島大学

すべて 2005 2004

すべて雑誌論文

[雑誌論文] Amorphous Transparent Conductive Oxide Films of In_2O_3-ZnO with Additional Al_2O_3 Impurities2005
- 著者名/発表者名
  Kikuo Tominaga et al.
- 雑誌名
  
  The Journal of Vacuum Science and Technology Vol.23, No.3
  
  ページ: 401-407
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16560276
[雑誌論文] Amorphous Transparent Conductive Oxide Films of In_2O_3-ZnO with Additional Al203 Impurities2005
- 著者名/発表者名
  Kikuo Tominaga et al.
- 雑誌名
  
  The Journal of Vacuum Science and Technology 23.3
  
  ページ: 401-407
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16560276
[雑誌論文] Amorphous transparent conductive oxide films of In2O3-ZnO with additional Al2O3 impurities2005
- 著者名/発表者名
  K.Tominaga et al.
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology (In press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16560276
[雑誌論文] Amorphous Transparent Conductive Oxide Films of In2O3-ZnO with Additional Al2O3 Impurities2005
- 著者名/発表者名
  Kikuo Tominaga et al.
- 雑誌名
  
  The Journal of Vacuum Science and Technology Vol.23, No.3
  
  ページ: 401-407
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16560276
[雑誌論文] Al-impurity-doped Transparent Conductive Oxide Films of In_2O_3-ZnO System2004
- 著者名/発表者名
  K.Tominaga et al.
- 雑誌名
  
  Vacuum 74-3-74-4
  
  ページ: 683-687
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16560276
[雑誌論文] Al-impurity-doped transparent conductive oxide films of In2O3-ZnO system2004
- 著者名/発表者名
  K.Tominaga et al.
- 雑誌名
  
  Vacuum Vol.74 No.3-4
  
  ページ: 683-687
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16560276
[雑誌論文] Al-impurity-doped Transparent Conductive Oxide Films of In_2O_3-ZnO System2004
- 著者名/発表者名
  K.Tominaga et al.
- 雑誌名
  
  Vacuum Vol.74 No.3-4
  
  ページ: 683-687
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16560276

1. 中林一郎 (70035624)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 0件
2. 新谷新広 (40035613)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
3. 英崇夫 (20035637)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

富永 喜久雄 TOMINAGA Kikuo

研究課題

研究成果

共同研究者

擬2元系アモルファス透明導電膜の開発と透明電極への応用に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

アモルファス透明導電膜材料の開発と透明電極への応用に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

酸化物透明導電性薄膜への層状構造および結晶核生成不純物導入の効果に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

スパッタ膜作製における低エネルギーイオン照射による膜特性の制御に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

紫外線照射下での斜め対向ターゲット式スパッタ法による薄膜作製装置の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

対向タ-ゲット式プレ-ナマグネトロンスパッタリング法による薄膜作製装置の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Amorphous Transparent Conductive Oxide Films of In_2O_3-ZnO with Additional Al_2O_3 Impurities2005

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Amorphous Transparent Conductive Oxide Films of In_2O_3-ZnO with Additional Al203 Impurities2005

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] Amorphous transparent conductive oxide films of In2O3-ZnO with additional Al2O3 impurities2005

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Amorphous Transparent Conductive Oxide Films of In2O3-ZnO with Additional Al2O3 Impurities2005

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] Al-impurity-doped Transparent Conductive Oxide Films of In_2O_3-ZnO System2004

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] Al-impurity-doped transparent conductive oxide films of In2O3-ZnO system2004

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Al-impurity-doped Transparent Conductive Oxide Films of In_2O_3-ZnO System2004

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

富永喜久雄 TOMINAGA Kikuo