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小池 淳一  Koike Junichi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 10261588
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 特任教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2024年度: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 特任教授
2018年度 – 2023年度: 東北大学, 工学研究科, 教授
2012年度 – 2017年度: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授
2016年度: 東北大学, 未来科学技術共同センター, 教授
2010年度 – 2011年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 … もっと見る
2010年度: 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2007年度 – 2008年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授
2006年度: 東北大学, 大学院工学研究科, 教授
2004年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授
2003年度: 東北大学, 大学院・環境科学研究科, 助教授
2002年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授
1997年度 – 2002年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授
1995年度 – 1996年度: 東北大学, 工学部, 助教授 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
構造・機能材料 / 構造・機能材料 / 中区分26:材料工学およびその関連分野 / 金属物性 / 材料加工・組織制御工学 / 理工系
研究代表者以外
構造・機能材料 / 構造・機能材料 / 金属物性・材料 / 材料加工・組織制御工学 / 複合材料・表界面工学 / 金属物性
キーワード
研究代表者
機械的性質 / 半導体 / 薄膜 / 配線 / 多層配線 / 信頼性 / 強度 / バリア層 / リフロー / 界面 … もっと見る / マグネシウム / モリブデン / 弾性定数 / 集積回路 / 配線材料 / 金属間化合物 / 半導体デバイス / 酸化物 / シリサイド / 接触抵抗 / 金属半導体界面 / ショットキー障壁高さ / ギャップ準位 / トランジスタ / コンタクト配線 / 抵抗 / コンタクト / 金属 / 構造・機能材料 / 機能・構造材料 / 半導体超微細化 / 微細化 / Anisotropy / Reliability / ULSI / Thermal stress / Void / Interconnect / Cu / 異方性 / LSI / 熱応力 / ボイド / 銅 / twin / Grain-boundary sliding / Dislocation / Deformation Mechanism / Magnesium / Mg-Zn / ホールペッチ / 延性 / 組織 / クリープ / 相晶 / 粒界すべり / 転位 / 変形機構 / Si_3N_4 / Al_2O_3 / microwave sintering / アルミナ / 遠心成形 / Si3N4 / Al2O3 / マイクロ波焼成 / mechanical property / molybdenum / elastic anharmonicity / elastic modulus / thin films / 弾性非調和効果 / shrot range order / mechanical properties / high-temperature strength / alpha titanium / titanium / 短範囲規則 / 高温強度 / αチタン / チタン合金 / 電解促進拡散 / 対数成長則 / 電界促進拡散 / 銅合金 / 転位すべり / 破壊 / 双晶 / 変形 … もっと見る
研究代表者以外
High Temperature Creep / 高温クリープ / 結晶化 / アモルファス / 不揮発性メモリ / 相変化メモリ / チタンアルミナイド / 高温構造材料 / マルテンサイト変態 / スカンジウム / マグネシウム / Titanium Aluminide / Lamellar Microstructure / Microstructural Control / データベース / ラメラ組織 / 組織制御 / 材料設計 / マグネシウム合金 / BCC/HCP変態 / 時効析出 / 超高硬度 / HCP/BCC変態 / 超弾性・形状記憶 / 軽金属 / 形状記憶 / 超弾性 / 高延性 / 高強度 / 電極材料 / 金属物性 / 電子・電気材料 / 表面・界面物性 / 接触抵抗 / 結晶 / 双晶 / 双晶型 / 転位型 / 制振材料 / 相変化 / Microstructural Degradation / Hall-Petch Relation / Strengthening of Materials / Lamellar Boundary Design / Nano lamellar Structure / Intermetallics / シミュレーション / ミスフィット転位 / ホール・ペッチの関係 / ナノ層状組織 / 組織劣化 / ホールペッチの関係 / 材料強化 / 界面構造設計 / ナノ層組織 / 金属間化合物 / Data Base / Material Design / Structural Materials for High Temperature Use / Hardness / Nondestructive Residual Life Evaluation / Recovery of Lath Structure / Martensitic Lath Structure / High Cr Heat Resistant Steel / Structure Materials for High Temperature Use / 硬度 / 非破壊的余寿命評価 / ラス組織の回復 / マルテンサイトラス組織 / 高クロム耐熱鋼 / Materials Database / Alloy Design / Titanium Aluminides / High Temperature Structural Materials / クリープデータベース / 相変化材料 / 不均一核生成 / 表面酸化 / 結晶成長 / 結晶化速度 / 電子状態 / 電気抵抗 / 密度 / 反射率 / 半導体メモリ / マイクロクラック / せん断帯 / 非底面すべり変形 / ひずみ速度依存性 / 溶質原子 / 変形双晶 / せん断変形 / 高速変形 / 多元系合金 / 鉄合金 / アルミニウム合金 / 寸法効果 / 固溶強化 / 複合強化 / クリープ / 高温変形 隠す
  • 研究課題

    (24件)
  • 研究成果

    (281件)
  • 共同研究者

    (22人)
  •  新規配線材料としての金属間化合物の基礎物性解明研究代表者

    • 研究代表者
      小池 淳一
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分26:材料工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  界面構造制御によるフェルミレベルピニングの開放研究代表者

    • 研究代表者
      小池 淳一
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2020
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分26:材料工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  ダイナミック・ナノリフロー法によるLSI超微細配線の形成と機構解明研究代表者

    • 研究代表者
      小池 淳一
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      材料加工・組織制御工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  2ビット情報の記録可能な積層縦型構造多値記録相変化メモリ素子の創製

    • 研究代表者
      須藤 祐司
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2016
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      金属物性・材料
    • 研究機関
      東北大学
  •  転位・双晶ハイブリッド型制振効果による広周波数域対応α+β二相Mg合金の創製

    • 研究代表者
      安藤 大輔
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2016
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      東北大学
  •  次世代微細PCRAMに向けた相変化材料/電極間の接触界面抵抗に関する研究

    • 研究代表者
      須藤 祐司
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      金属物性・材料
    • 研究機関
      東北大学
  •  BCC/HCP相変態を利用した超高強度かつ高機能性を有するMg-Sc合金の創製

    • 研究代表者
      安藤 大輔
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      材料加工・組織制御工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  優先酸化を利用した極小結晶相電流パス自己形成による相変化メモリのデータ書換高速化

    • 研究代表者
      須藤 祐司
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2014
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      複合材料・表界面工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  不揮発性メモリ用Ge-Cu-Te系相変化材料の研究

    • 研究代表者
      須藤 祐司
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      東北大学
  •  半導体多層配線のプロセス限界を超越する拡散バリア層の開発原理研究代表者

    • 研究代表者
      小池 淳一
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2014
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      東北大学
  •  電界促進効果による超薄膜拡散バリア層の形成機構研究代表者

    • 研究代表者
      小池 淳一
    • 研究期間 (年度)
      2010
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      東北大学
  •  高精度衝撃変形応答解析に基づくマグネシウム合金のマイクロクラック形成機構解明

    • 研究代表者
      向井 敏司
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      神戸大学
      独立行政法人物質・材料研究機構
  •  マグネシウム合金の変形と破壊に及ぼす変形双晶の役割研究代表者

    • 研究代表者
      小池 淳一
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2008
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      東北大学
  •  ナノラメラ材料の限界強度の解明とその向上

    • 研究代表者
      丸山 公一
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      東北大学
  •  超高速LSI用Cu配線におけるボイド形成機構の研究研究代表者

    • 研究代表者
      小池 淳一
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      東北大学
  •  最適快適組織制御によるマグネシウム合金の機械的特性の向上研究代表者

    • 研究代表者
      小池 淳一
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2002
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      東北大学
  •  2相チタンアルミナイドの組織安定化による高温強度向上機構の定量的解明

    • 研究代表者
      丸山 公一
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      東北大学
  •  マルテンサイト系耐熱鋼の非破壊的余寿命評価法の開発

    • 研究代表者
      丸山 公一
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      東北大学
  •  金属薄膜における巨大弾性ひずみと弾性定数の異常研究代表者

    • 研究代表者
      小池 淳一
    • 研究期間 (年度)
      1997
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      東北大学
  •  高速遠心成形・マイクロ波焼成による超高強度セラミックスの作製と機械的特性の評価研究代表者

    • 研究代表者
      小池 淳一
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      東北大学
  •  2相チタンアルミナイド高温材料の組織設計

    • 研究代表者
      丸山 公一
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      東北大学
  •  固溶強化に基づく多元系合金の高温長時間強度の改善

    • 研究代表者
      佐藤 裕之, 及川 洪
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      金属物性
    • 研究機関
      東北大学
  •  αTi-A1個溶液における異常高温強化研究代表者

    • 研究代表者
      小池 淳一, 及川 洪
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      金属物性
    • 研究機関
      東北大学
  •  MO薄膜における弾性非調和効果の研究研究代表者

    • 研究代表者
      小池 淳一
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      金属物性
    • 研究機関
      東北大学

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すべて 雑誌論文 学会発表 産業財産権

  • [雑誌論文] A Comprehensive Evaluation of Time-Dependent Dielectric Breakdown of CuAl2 on SiO2 for Advanced Interconnect Application2024

    • 著者名/発表者名
      Toshihiro Kuge, Masataka Yahagi, Junichi Koike
    • 雑誌名

      IEEE Transactions of Device and Materials Relability

      巻: 24 号: 1 ページ: 17-20

    • DOI

      10.1109/tdmr.2023.3340231

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [雑誌論文] CuAl intermetallic compound for Cu alternative2023

    • 著者名/発表者名
      Toshihiro Kuge, Masataka Yahagi, Junichi Koike
    • 雑誌名

      IEEE International Interconnect Technology Conference 2023

      巻: 0 ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/iitc/mam57687.2023.10154850

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [雑誌論文] Shape Change of Cu Thin Films on Nonreacting Metal Substrates and the Effects of Oxidation during Vacuum Annealing2023

    • 著者名/発表者名
      Yuki Yamada, Junichi Koike
    • 雑誌名

      Journal of Physical Chemistry C

      巻: 127 号: 49 ページ: 23862-23869

    • DOI

      10.1021/acs.jpcc.3c05626

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [雑誌論文] Schottky barrier height and contact resistivity reduction of metal/GaOx/n-GaN structure2023

    • 著者名/発表者名
      J. Koba and J. Koike
    • 雑誌名

      IEEE International Interconnect Technology Conference 2023

      巻: 0 ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/iitc/mam57687.2023.10154793

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [雑誌論文] Effects of composition deviation of CuAl2 on electromigration2022

    • 著者名/発表者名
      T. Kuge, M. Yahagi, and J. Koike
    • 雑誌名

      IEEE International Interconnect Technology Conference

      巻: 0 ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/iitc52079.2022.9881287

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [雑誌論文] Electromigration characteristics of CuAl22022

    • 著者名/発表者名
      T. Kuge, M. Yahagi, and J. Koike
    • 雑誌名

      Journal of Alloys and Compounds

      巻: 918 ページ: 163615-163615

    • DOI

      10.1016/j.jallcom.2022.165615

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [雑誌論文] Quantitative thermodynamic investigation of thermal stability and diffusion barrier property of an amorphous cobalt alloy interlayer2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamada, M.Yahagi, and J.Koike
    • 雑誌名

      Journal of vacuum science and technology B

      巻: 40 号: 1 ページ: 013204-013204

    • DOI

      10.1116/6.0001536

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [雑誌論文] Schottky barrier height reduction by oxide layer insertion in Al/n-GaN structure2022

    • 著者名/発表者名
      J. Koba and J. Koike
    • 雑誌名

      IEEE International Interconnect Technology Conference

      巻: 0 ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/iitc52079.2022.9881284

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [雑誌論文] Low contact resistivity of metal/n-GaN by the reduction of gap states with an epitaxially grown GaOx insulating layer2022

    • 著者名/発表者名
      J. Koba and J. Koike
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 12 号: 8 ページ: 085302-085302

    • DOI

      10.1063/5.0100250

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [雑誌論文] Potential of low-resistivity Cu2Mg for highly scaled interconnects and itschallenges2021

    • 著者名/発表者名
      Linghan Chen, Qian Chen, Daisuke Ando, Yuji Sutou, Momoji Kubo, Junichi Koike
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 537 ページ: 148035-148035

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2020.148035

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830, KAKENHI-PROJECT-19J21195
  • [雑誌論文] Thermodynamic evaluation of the liner and barrier properties of a single-phase interlayer for advanced Cu interconnections2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamada, M.Yahagi, and J.Koike
    • 雑誌名

      IEEE International Interconnect Technology Conference

      巻: 0 ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/iitc51362.2021.9537369

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [雑誌論文] Effects of composition deviation of CuAl2 on BTS and TDDB reliability2021

    • 著者名/発表者名
      T. Kuge, M. Yahagi, and J. Koike
    • 雑誌名

      IEEE International Interconnect Technology Conference

      巻: 0 ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/iitc51362.2021.9537528

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [雑誌論文] Interdiffusion reliability and resistivity scaling of intermetallic compounds as advanced interconnect materials2021

    • 著者名/発表者名
      Linghan Chen, Sushant Kumar, Masataka Yahagi, Daisuke Ando, Yuji Sutou, Daniel Gall, Ravishankar Sundararaman, and Junichi Koike
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 129 号: 3

    • DOI

      10.1063/5.0026837

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [雑誌論文] Conformal deposition of RuO2 on Cu via a galvanic cementation reaction2019

    • 著者名/発表者名
      Lin, C., Chou, S.-C., Tso, K.-C., Koike, J., Wu, P.-W
    • 雑誌名

      Journal of the Electrochemical Society

      巻: 166 号: 10 ページ: D476-D482

    • DOI

      10.1149/2.0061912jes

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [雑誌論文] Electrical transport mechanism of the amorphous phase in Cr2Ge2Te6 phase change material2019

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y. Sutou, D. Ando, J. Koike and K. Kobayashi
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 52 号: 10 ページ: 105103-105109

    • DOI

      10.1088/1361-6463/aafa94

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17J02967, KAKENHI-PROJECT-18H03830, KAKENHI-PROJECT-18H02053
  • [雑誌論文] CuAl2 thin films as a low-resistivity interconnect material for advanced semiconductor devices2019

    • 著者名/発表者名
      Chen, L., Ando, D., Sutou, Y., Koike, J.
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics

      巻: 37 号: 3

    • DOI

      10.1116/1.5094404

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [雑誌論文] Liner- and barrier-free NiAl metallization: A perspective from TDDB reliability and interface status2019

    • 著者名/発表者名
      Chen, L., Ando, D., Sutou, Y., Yokogawa, S., Koike, J.
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 497 ページ: 143810-143810

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2019.143810

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830, KAKENHI-PROJECT-15H01786
  • [雑誌論文] New Contact Metallization Scheme for FinFET and beyond2018

    • 著者名/発表者名
      Junichi Koike, Maryamsadat Hosseini, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • 雑誌名

      2018 IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference, EDTM 2018 - Proceedings

      巻: 1 ページ: 169-171

    • DOI

      10.1109/edtm.2018.8421448

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [雑誌論文] Co and CoTix for contact plug and barrier layer in integrated circuits2018

    • 著者名/発表者名
      Maryamsadat Hosseini, Daisuke Ando, Yuji Sutou, Junichi Koike
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 189 ページ: 78-84

    • DOI

      10.1016/j.mee.2017.12.017

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307, KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [雑誌論文] Inverse Resistance Change Cr2Ge2Te6-Based PCRAM Enabling Ultralow-Energy Amorphization2018

    • 著者名/発表者名
      Shogo Hatayama, Yuji Sutou, Satoshi Shindo, Yuta Saito, Yun-Heub Song, Daisuke Ando, and Junichi Koike
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials & Interfaces

      巻: 10 号: 3 ページ: 2725-2734

    • DOI

      10.1021/acsami.7b16755

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307, KAKENHI-PROJECT-15H04113, KAKENHI-PROJECT-17J02967, KAKENHI-PROJECT-17J03876
  • [雑誌論文] NiAl as a Potential Material for Liner- and Barrier-Free Interconnect in Ultrasmall Technology Node2018

    • 著者名/発表者名
      Linghan Chen, Daisuke Ando, Yuji Sutou, Daniel Gall, Junichi Koike
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters, 113, 18, 2018, 183503

      巻: 113 号: 18

    • DOI

      10.1063/1.5049620

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [雑誌論文] Material innovation for MOL, BEOL, and 3D integration2018

    • 著者名/発表者名
      J. Koike, M. Hosseini, H. T. Hai, D. Ando and Y. Sutou
    • 雑誌名

      Proceedings of IEEE IEDM

      巻: 1 ページ: 1-3

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [雑誌論文] New contact metallizationn scheme for FinFET and beyond2018

    • 著者名/発表者名
      J. Koike, M. Hosseini, D. Ando, and Y. Sutou
    • 雑誌名

      Proceedings of IEEE EDTM

      巻: 1 ページ: 1-3

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [雑誌論文] Material innovation for MOL, BEOL, and 3D integration2018

    • 著者名/発表者名
      Junichi Koike, Maryamsadat Hosseini, Hoang Tri Hai, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM

      巻: 1 ページ: 32.3.1-32.3.4

    • DOI

      10.1109/iedm.2017.8268485

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [雑誌論文] Co-Ti alloy for a barrier and contact materials in advanced MOL2017

    • 著者名/発表者名
      J. Koike, M. Hosseini, D. Ando and Y. Sutou
    • 雑誌名

      Proceedings of Advanced Metallization Conference

      巻: 1 ページ: 1-3

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [雑誌論文] Effects of nitrogen doping on the properties of Cr-Ge-Te ternary compound film2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Shuang, S. Hatayama, S. Shindo, D. Ando, Y. Sutou, J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of the 29th symposium on Phase Change Oriented Science

      巻: 1 ページ: 55-56

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] Inverse resistance switching behavior of Cr2Ge2Te6-based PCRAM2017

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y. Sutou, S. Shindo, Y. Saito, Y.H. Song, D. Ando, J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of the 29th symposium on Phase Change Oriented Science

      巻: 1 ページ: 35-36

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] 高Sc濃度を有するMg-Sc-Zn系合金の引張変形挙動に及ぼす初期組織の影響2017

    • 著者名/発表者名
      竹内 悠太, 小川 由希子, 安藤 大輔, 須藤 祐司, 小池 淳一
    • 雑誌名

      日本金属学会誌

      巻: 81 号: 5 ページ: 276-281

    • DOI

      10.2320/jinstmet.JBW201612

    • NAID

      130005611879

    • ISSN
      0021-4876, 1880-6880, 2433-7501
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549
  • [雑誌論文] Metallurgical and electrical characterization of ultrathin CoTix liner/barrier for Cu interconnects2017

    • 著者名/発表者名
      M. Hosseini and J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of IEEE IITC 2017

      巻: 1 ページ: 1-3

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [雑誌論文] Amorphous CoTix as a liner/diffusion barrier material for advanced copper metallization2017

    • 著者名/発表者名
      M. Hosseini and J. Koike
    • 雑誌名

      Journal of Alloys and Compounds

      巻: 721 ページ: 134-142

    • DOI

      10.1016/j.jallcom.2017.05.335

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [雑誌論文] Interfaical properties of electrdes/GeCu2Te3 phase change material2017

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y. Sutou, J. Koike, J.S. An, Y.H. Song, Y. Saito, P. Fons, K. Kobayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of the 29th symposium on Phase Change Oriented Science

      巻: 1 ページ: 33-34

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] Inverse resistance change behavior of Cr2Ge2Te6 phase change material2017

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y. Sutou, S. Shindo, Y. Saito, Y.H. Song, D. Ando, J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of Eropean Phase Change and Ovonic Symposium

      巻: 1 ページ: 174-175

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] Molybdenum oxide-base phase change resistive switching material2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Ogawa, S. Shindo, Y. Sutou, J. Koike
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 111 号: 16 ページ: 163105-163105

    • DOI

      10.1063/1.5000410

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113, KAKENHI-PROJECT-17J03876
  • [雑誌論文] Co/Si contact properties with an amorhous interlayer of CoTix2017

    • 著者名/発表者名
      M. Hosseini, Y. Sutou and J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of ADMETA Plus 2017

      巻: 1 ページ: 1-3

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [雑誌論文] Feasibility study of Cu paste printing techniquie to fill deep via halls for low cost 3D TSV applications2017

    • 著者名/発表者名
      H. T. Hai, K.-W. Lee, D. Ando, Y. Sutou, M. Koyanagi, and J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of IEEE IITC 2017

      巻: 1 ページ: 1-3

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [雑誌論文] Phase chaneg behaviro of N-doped Cr-Ge-Te film2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Shunag, S. Hatayama, S. Shindo, D. Ando, Y. Sutou, J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of European Phase Change and Ovonic Symposium

      巻: 1 ページ: 176-177

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] Texture randomization of hexagonal close packed phase through hexagonal close packed/body centered cubic phase transformation in Mg-Sc alloy2017

    • 著者名/発表者名
      Yukiko Ogawa, Daisuke Ando, Yuji Sutou, and Junichi Koike
    • 雑誌名

      Scripta Materialia

      巻: vol. 128 ページ: 27-31

    • DOI

      10.1016/j.scriptamat.2016.09.024

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16J04175, KAKENHI-PROJECT-15H05549
  • [雑誌論文] Contact resistivity of amorphous and crystalline GeCu2Te3 to W electrode for phase change random access memory2016

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y, Sutou, J. Koike, Y. Saito, Y.H. Song
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: 47 ページ: 1-6

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2016.02.006

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] Determination of α/β phase boundaries and mechanical characterization of Mg-Sc binary alloys2016

    • 著者名/発表者名
      Yukiko Ogawa, Daisuke Ando, Yuji Sutou, Kyosuke Yoshimi and Junichi Koike
    • 雑誌名

      Materials science and Engineering A

      巻: 670 ページ: 335-341

    • DOI

      10.1016/j.msea.2016.06.028

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549, KAKENHI-PROJECT-16J04175
  • [雑誌論文] The doping effect of V, Cr and Ni on the crystallization behavior of GeTe amorphous film2016

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, M. Shimoda, S. SHindo, Y. Sutou, J. Koike
    • 雑誌名

      European/Phase Change and Ovonics Symposium (E/PCOS2016) Proceedings

      巻: 1 ページ: 199-200

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] Effect of surface cleaning on contact resistivity of amorphous GeCu2Te3 to a W electrode2016

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y. Sutou, J. Koike, Y. Saito and Y.-H. Song
    • 雑誌名

      MRS advances

      巻: 1 号: 39 ページ: 2731-2736

    • DOI

      10.1557/adv.2016.310

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] Effect of plasma surface finish on wettability and mechanical properties of SAC305 solder joints2016

    • 著者名/発表者名
      K.-H. Kim, J. Koike, J.-W. Yoon, and S. Yoo
    • 雑誌名

      Journal of electronic materials

      巻: 45 号: 12 ページ: 6184-6191

    • DOI

      10.1007/s11664-016-4908-4

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [雑誌論文] The investigation of an amorphous Co-Hf alloy as an ultrathin single layer barrier in LSI devices2016

    • 著者名/発表者名
      H. Koide, D. Ando, Y. Sutou, and J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of ADMETA 2016

      巻: 1 ページ: 35-36

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [雑誌論文] Switching behavior of GeCu2Te3 phase change memory cell2016

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y.Sutou, J. Koike, Y. Saito, J.S. An, Y.H. Song
    • 雑誌名

      Proceedings of the 28th Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS2016)

      巻: 1 ページ: 69-70

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] Contact resistivity for amorphous and crystalline GeCu2Te3 to W electrode for phase change random access memory2016

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y. Sutou, J. Koike, Y. Saito, and Y.-H. Song
    • 雑誌名

      Materials Science in Semicndcutor Processing

      巻: 47 ページ: 1-6

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [雑誌論文] Phase change behaviors of Cr-Ge-Te compound thin film2016

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, S. SHindo, Y. Sutou, J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of the 28th Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS2016)

      巻: 1 ページ: 71-72

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] A study on phase transition behaviors of GeCu2Te3 phase change material for PCRAM application2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, S. Shindo, Y. Saito, J. Koike, H.Y. Song
    • 雑誌名

      Proceedings of the 28th Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS2016)

      巻: 1 ページ: 52-55

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] α+β 二相組織を有する Mg-Sc 合金の時効硬化挙動2016

    • 著者名/発表者名
      Yukiko Ogawa, Daisuke Ando, Yuji Sutou, Junichi Koike
    • 雑誌名

      日本金属学会誌

      巻: 80 号: 3 ページ: 171-175

    • DOI

      10.2320/jinstmet.JBW201511

    • NAID

      130005127238

    • ISSN
      0021-4876, 1880-6880, 2433-7501
    • 言語
      日本語
    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549
  • [雑誌論文] Resistance contrast of GeCu2Te3 phase change memeory cell2016

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y.Sutou, J. Koike, Y. Saito, J.S. An, Y.H. Song
    • 雑誌名

      European/Phase Change and Ovonics Symposium (E/PCOS2016) Proceedings

      巻: 1 ページ: 195-196

    • 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] XAFS analysis on amorphous and crystalline new phase change material GeCu2Te32016

    • 著者名/発表者名
      K. Kamimura, S. Hosokawa, N. Happo, H. Ikemoto, Y. Sutou, S. Shindo, Y. Saito, and J. Koike
    • 雑誌名

      Journal of optoelectronics and advanced materials

      巻: 18 ページ: 248-253

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [雑誌論文] Aging Effect of Mg-Sc Alloy with α+β Two-Phase Microstructure2016

    • 著者名/発表者名
      Yukiko Ogawa, Daisuke Ando, Yuji Sutou and Junichi Koike
    • 雑誌名

      MATERIALS TRANSACTIONS

      巻: 57 号: 7 ページ: 1119-1123

    • DOI

      10.2320/matertrans.M2016093

    • NAID

      130005158400

    • ISSN
      1345-9678, 1347-5320
    • 言語
      英語
    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549, KAKENHI-PROJECT-16J04175
  • [雑誌論文] Amorphous Co-Ti alloy as a single layer barrier for Co local interconnect structure2016

    • 著者名/発表者名
      M. Hosseini, J. Koike, Y. Sutou, L. Zhao, S. Lai and R. Arghavani
    • 雑誌名

      Proceedings of IITC/AMC 2016

      巻: 1 ページ: 162-164

    • DOI

      10.1109/iitc-amc.2016.7507718

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [雑誌論文] A lightweight shape-memory magnesium alloy2016

    • 著者名/発表者名
      Yukiko Ogawa, Daisuke Ando, Yuji Sutou, and Junichi Koike
    • 雑誌名

      Science

      巻: 353 号: 6297 ページ: 368-370

    • DOI

      10.1126/science.aaf6524

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549, KAKENHI-PROJECT-16J04175
  • [雑誌論文] Feasibility study of multi-level PCRAM with multiple phase change layers2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, Y. Saito, S. Shindo, J. Koike, J.M. Lee, Y.H. Song
    • 雑誌名

      European Symposium on Phase Change and Ovonic Science proceedings

      巻: 1 ページ: 133-134

    • 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14104
  • [雑誌論文] Contact resistivity change of GeCu2Te3 to W electrode by crystallization2015

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y. Sutou, J. Koike, Y. Saito
    • 雑誌名

      Proceedings of the 27th Symposium on Phase Change Oriented Science

      巻: 1 ページ: 67-68

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] Crysatlization behavior of Cr-Ge-Te thin films2015

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, S. SHindo, Y. Sutou, J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of the 27th Symposium on Phase Change Oriented Science

      巻: 1 ページ: 65-66

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] Diffusion barrier property of MnSixOy layer formed by chemical vapor deposition for Cu advanced interconnect application2015

    • 著者名/発表者名
      N. M. Phuong, Y. Sutou, J. Koike
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 580 ページ: 56-60

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2015.03.007

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [雑誌論文] Contact resistivity of GeCu2Te3 phase change material on W electrode2015

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y. Sutou, J. Koike, Y. Saito
    • 雑誌名

      European Symposium on Phase Change and Ovonic Science proceedings

      巻: 1 ページ: 147-148

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [雑誌論文] Diffusion barrier property of MnSixOy layer formed by chemical vapor deposition for Cu advanced interconnect application2015

    • 著者名/発表者名
      Mai Phuong Nguyen, Yuji Sutou, Junichi Koike
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 580 ページ: 56-60

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Barrier Properties of CVD Mn Oxide Layer to Cu diffusion for 3-D TSV2014

    • 著者名/発表者名
      Lee. K. -W, Wang. H, Bae. J. -C, Murugesan. M, Sutou. Y, Fukushima. T, Tanaka. T, Koike. J, Koyanagi. M
    • 雑誌名

      Electron device letter

      巻: 35 ページ: 114-116

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Reflow behavior of Cu-Mn in LSI line patterns2014

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, D. Ando, Y. Sutou and J. Koike
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 ページ: 1-3

    • NAID

      210000143942

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Fast crystallization in Si-doped GeTe amorphous film by surface oxidation2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, Y. Saito, J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of European Phase Change and Ovonics Symposium E/PCOS 2014

      巻: 1 ページ: 109-110

    • 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630289
  • [雑誌論文] Formation of metallic Mn layer on porous SiOC by Chemical Vapor Deposition2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Tsuchiya, D. Ando, Y. Sutou and J. Koike
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 ページ: 1-3

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Reflow behavior of Cu-Mn in LSI line patterns2014

    • 著者名/発表者名
      Tomohiro Saito, Daisuke Ando, Yuji Sutou, and Junichi Koike
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53

    • NAID

      210000143942

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Effects of O2 and N2 flow rate on the electrical properties of Fe-O-N films2014

    • 著者名/発表者名
      Yukiko Ogawa, Daisuke Ando, Yuji Sutou and Junichi Koike
    • 雑誌名

      Materials Transactions

      巻: 55 ページ: 1606-1610

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Multiple phase change structure for the scalable phase change random access memory array2014

    • 著者名/発表者名
      鄭鎭源、他
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 号: 4 ページ: 041801-041801

    • DOI

      10.7567/jjap.53.041801

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-13J05796, KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [雑誌論文] A study on phase change characteristics of (GeTe)1-xSix films2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, Y. Saito, J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of the 26th symposium on Phase Change Oriented Science PCOS2014

      巻: 1 ページ: 53-56

    • 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630289
  • [雑誌論文] Barrier properties of CVD Mn Oxide Layer to Cu diffusion for 3-D TSV2014

    • 著者名/発表者名
      Lee. K. -W, Wang. H, Bae. J. -C, Murugesan. M, Sutou. Y, Fukushima. T, Tanaka. T, Koike. J, Koyanagi. M
    • 雑誌名

      IEEE Electron Device Letters

      巻: 35 号: 1 ページ: 114-116

    • DOI

      10.1109/led.2013.2287879

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Formation behavior and adhesion property of metallic Mn layer on porous SiOC by chemical vapor deposition2014

    • 著者名/発表者名
      Yoshiyuki Tsuchiya, Daisuke Ando, Yuji Sutou, and Junichi Koike
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53

    • NAID

      210000143943

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Simultaneous formation of a metallic Mn layer and a MnOx/MnSixOy barrier layer by chemical vapor deposition at 250℃2013

    • 著者名/発表者名
      A. Kurokawa, Y. Sutou, J. Koike, T. Hamada, K. Matsumoto, H. Nagai, K. Maekawa, and H. Kanato
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 5S3 ページ: 05FA02-05FA02

    • DOI

      10.7567/jjap.52.05fa02

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Optical contrast and laser-induced phase transition in GeCu_2Te_3 thin film2013

    • 著者名/発表者名
      齊藤雄太、須藤祐司、小池淳一
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 102 号: 5

    • DOI

      10.1063/1.4791567

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-10J05810, KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [雑誌論文] Deposition behavior and substrate dependency of ALD MnOx diffusion barrier layer2013

    • 著者名/発表者名
      K. Matsumoto, K. Maekawa, H. Nagai and J. Koike
    • 雑誌名

      Proc. IEEE International Interconnect Technology Conference

      巻: 1 ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/iitc.2013.6615566

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Structural Characterization of a Manganese Oxide Barrier Layer Formed by Chemical Vapor Deposition for Advanced Interconnects Application on SiOC Dielectric Substrates2013

    • 著者名/発表者名
      Nguyen Mai Phuong; Sutou, Yuji; Koike, Junichi
    • 雑誌名

      JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY C

      巻: 117 号: 1 ページ: 160-164

    • DOI

      10.1021/jp303241c

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Investigation of a selective switching device using a phase-change material for a 3-dimensional PCRAM array2013

    • 著者名/発表者名
      JM. Lee, YH. Song, Y. Saito, Y. Sutou, J. Koike
    • 雑誌名

      J. Kore. Phys. Soc

      巻: 62 号: 9 ページ: 1258-1263

    • DOI

      10.3938/jkps.62.1258

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297, KAKENHI-PROJECT-25630289
  • [雑誌論文] Fourfold coordicated Te atoms in amorhous GeCu_2Te_3 phase change material2013

    • 著者名/発表者名
      P. Jovari, Y. Sutou, I. Kaban, Y. Saito, J. Koike
    • 雑誌名

      Scr. Mater

      巻: 68 ページ: 122-125

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [雑誌論文] Interface reaction behavior between Mn and SiO2 formed by RF sputter deposition2012

    • 著者名/発表者名
      B.T.Bae, T. Nakano and J. Koike
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: 508 ページ: 48-51

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/kem.508.48

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Characterization of chemically vapor deposited manganese barrier layers using X-ray absorption fine structure2012

    • 著者名/発表者名
      J.M. Ablett, C.J. Wilson, N.M. Phuong and J. Koike
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 号: 5S ページ: 05EB01-05EB01

    • DOI

      10.1143/jjap.51.05eb01

    • NAID

      210000140638

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Crystallization process and thermal stability of Ge_1Cu_2Te_3 amorphous thin films for use as phase change materials2012

    • 著者名/発表者名
      須藤祐司、鎌田俊哉、隅谷真志、齊藤雄太、小池淳一
    • 雑誌名

      Acta Materialia

      巻: 60 号: 3 ページ: 872-880

    • DOI

      10.1016/j.actamat.2011.10.048

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-10J05810, KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [雑誌論文] Fast crystal nucleation induced by surface oxidation in Si-doped GeTe amorphous thin film2012

    • 著者名/発表者名
      齊藤雄太、須藤祐司、小池淳一
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 100 号: 23

    • DOI

      10.1063/1.4726107

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-10J05810, KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [雑誌論文] Effect of Si addition on the crystallization behavior of GeTe phase change materials2012

    • 著者名/発表者名
      齊藤雄太、須藤祐司、小池淳一
    • 雑誌名

      Journal of Physics D : Applied Physics

      巻: 45 号: 40 ページ: 405302-405302

    • DOI

      10.1088/0022-3727/45/40/405302

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-10J05810, KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [雑誌論文] Multi-resistance characteristics of PCRAM with Ge_1Cu_2Te_3 and Ge_2Sb_2Te_5 film2012

    • 著者名/発表者名
      齊藤雄太、Y. H. Song、J. M. Lee、須藤祐司、小池淳一
    • 雑誌名

      IEEE Electron Device Letters

      巻: 33 号: 10 ページ: 1399-1401

    • DOI

      10.1109/led.2012.2210534

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-10J05810, KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [雑誌論文] Crystallization and electrical characteristics of Ge_1Cu_2Te_3 films for phase change random access memory2012

    • 著者名/発表者名
      鎌田俊哉、須藤祐司、隅谷真志、斎藤雄太、小池淳一
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 520 号: 13 ページ: 4389-4393

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2012.02.025

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-10J05810, KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [雑誌論文] Study of GeCu_2Te_3 by hard X-ray photoelectron spectroscopy2012

    • 著者名/発表者名
      K. Kobayashi, M. Kobata, Y. Saito, Y. Sutou, J. Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of PCOS2012

      巻: 1 ページ: 76-84

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [雑誌論文] Crystallization behavior and resistance change in eutectic Si_<15>Te_<85> amorphous film2012

    • 著者名/発表者名
      齊藤雄太、須藤祐司、小池淳一
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 520 号: 6 ページ: 2128-2131

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2011.09.012

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-10J05810, KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [雑誌論文] Crystallization behaviors of Si-doped GeTe phase change materials2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito, Y.Sutou, J.Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of E\PCOS 2011

      巻: 1 ページ: 197-198

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [雑誌論文] Structure and electronic properties of a Mn oxide diffusion barrier layer formed by chemical vapor deposition2011

    • 著者名/発表者名
      V.K.Dixit, K.Neishi, N.Akao, J.Koike
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Device and Materials Reliability

      巻: (accepted)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Metal reaaction doping and ohmic contact with Cu-Mn electrode on amorphous In-Ga-Zn-O semiconductor2011

    • 著者名/発表者名
      P.S.Yun, J.Koike
    • 雑誌名

      J.The Electrochemical Society

      巻: 158

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Effects of adsorbed moisture in SiO_2 substrates on the formation of a Mn oxide layer by chemical vapor deposition2011

    • 著者名/発表者名
      N.M.Phuong, K.Neishi, Y.Sutou, J.Koike
    • 雑誌名

      J.Physical Chemistry C

      巻: 115 号: 34 ページ: 16731-16738

    • DOI

      10.1021/jp201299w

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Phase change characteristics of Ge_1Cu_2Te_3 films2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Sutou, Y.Saito, T.Kamada, M.Sumiya, J.Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of E\PCOS 2011

      巻: 1 ページ: 53-58

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [雑誌論文] Structural and electronic properties of a Mn oxide diffusion barrier layer formed by chemical vapor deposition2011

    • 著者名/発表者名
      P.S.Yun, M.Naito, R.Kumagai, Y.Sutou, J.Koike
    • 雑誌名

      The Society for Inf)rmation Display 2011 Digest

      ページ: 1177-1180

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Structural and electronic properties of a Mn oxide diffusion barrier layer formed by chemical vapor deposition2011

    • 著者名/発表者名
      V.K.Dixit, K.Neishi, N.Akao, J.Koike
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Device and Materials Reliability

      巻: 11 号: 2 ページ: 295-302

    • DOI

      10.1109/tdmr.2011.2141671

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Cu-Mn alloy electrodes on In-Ga-Zn-O semiconductors2011

    • 著者名/発表者名
      P.S.Yun, J.Koike
    • 雑誌名

      International Meeting on Information Display 2011 Digest

      ページ: 62-63

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Ge-Cu-Te films for phase change random access memory2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Sutou, Y.Saito, T.Kamada, M.Sumiya, J.Koike
    • 雑誌名

      Proceedings of the 23^<rd> Symposium on PCOS2011

      巻: 1 ページ: 27-29

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [雑誌論文] Effects of water desorption from SiO2 substrates on the thickness of manganese oxide diffusion barrier layer formed by chemical vapor deposition2010

    • 著者名/発表者名
      K.Matsumoto, K.Neishi, H.Itoh, H.Miyoshi, H.Sato, S.Hosaka, J.Koike
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 49

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Cu alloy TFT electrodes for advanced displays2010

    • 著者名/発表者名
      J.Koike, K.Hirota, P.Yun, Y.Sutou
    • 雑誌名

      Proc.of AM-FPD'10

      ページ: 89-91

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Electrical properties and microstructure of Cu-Mn electrodes on amorphous In-Ga-Zn-O semiconductors2010

    • 著者名/発表者名
      Pilsang Yun, Junichi Koike
    • 雑誌名

      Proc.of AM-FPD'10

      ページ: 45-48

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [雑誌論文] Microstructural investigation of twins under the fracture surface in AZ31 Magnesium alloys2009

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、小池淳一
    • 雑誌名

      Magnesium Technology 2009 (印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [雑誌論文] マグネシウム合金の室温変形機構-変形双晶に注目して-2009

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 雑誌名

      軽金属学会誌 59(印刷中)

    • NAID

      10026208986

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [雑誌論文] Microstructural investigation of twins under the fracture surface in AZ31 magnesium alloys2009

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、小池淳一
    • 雑誌名

      Magnesium Technology 2009 (印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [雑誌論文] マグネシウム合金の室温変形機構-変形双晶に注目して-2009

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 雑誌名

      軽金属学会誌 (印刷中)

    • NAID

      10026208986

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [雑誌論文] Origin of anomalous {1012} twinning during tensile deformation of Mg alloy sheet2008

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、佐藤優典、安藤大輔
    • 雑誌名

      Materials Transaction 49

      ページ: 2792-2800

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [雑誌論文] Origin of anomalous {1012} twinning during tensile deformation of Mgalloy sheet2008

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、佐藤優典、安藤大輔
    • 雑誌名

      Materials Transaction 49

      ページ: 2792-2800

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [雑誌論文] AZ31マグネシウム合金における変形誘起表面起伏と二重双晶の関係2007

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、小池淳一
    • 雑誌名

      日本金属学会誌 71

      ページ: 684-687

    • NAID

      10019854620

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [産業財産権] SEMICONDUCTOR DEVICES INCLUDING COBALT ALLOYS AND FABRICATION2018

    • 発明者名
      Junichi Koike, Reza Arghavani
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2018
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [産業財産権] SEMICONDUCTOR DEVICES INCLUDING COBALT ALLOYS AND FABRICATION2018

    • 発明者名
      Junichi Koike, Reza Arghavani
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2018
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [産業財産権] SEMICONDUCTOR DEVICES INCLUDING COBALT ALLOYS AND FABRICATION2017

    • 発明者名
      Junichi Koike, Reza Arghavani
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2017
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [産業財産権] 相変化材料および相変化メモリ素子2015

    • 発明者名
      須藤祐司、畑山祥吾、進藤怜史、小池淳一、齊藤雄太
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-246075
    • 出願年月日
      2015-12-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [産業財産権] 多段相変化材料および多値記録相変化型メモリ素子2014

    • 発明者名
      須藤祐司、小池淳一、齋藤雄太
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2014-124774
    • 出願年月日
      2014-06-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630289
  • [産業財産権] THIN-FILM TRANSISTOR2013

    • 発明者名
      小池淳一、ユンピルサン、川上英昭
    • 権利者名
      先端配線材料研究所
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2013-05-01
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [産業財産権] Multi-level phase change memory device2012

    • 発明者名
      Y. Sutou,Y. Saito, J. Koike, YH. Song
    • 権利者名
      東北大学, Hanyang 大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2012-04-17
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [産業財産権] 薄膜トランジスタ2011

    • 発明者名
      小池淳一、ユン ピルサン、柴冨昭洋
    • 権利者名
      先端配線材料研究所
    • 出願年月日
      2011-06-30
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [産業財産権] 半導体装置2011

    • 発明者名
      小池淳一、ユン ピルサン、柴冨昭洋
    • 権利者名
      先端配線材料研究所
    • 出願年月日
      2011-06-30
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [産業財産権] Copper alloys and liquid-crystal displays2011

    • 発明者名
      小池淳一、川上英昭
    • 権利者名
      東北大学、先端配線材料研究所
    • 出願年月日
      2011-01-17
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [産業財産権] 薄膜トランジスタ2010

    • 発明者名
      小池淳一、ユン ピルサン、川上英昭
    • 権利者名
      東北大学、先端配線材料研究所
    • 産業財産権番号
      2010-152113
    • 出願年月日
      2010-07-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [産業財産権] 半導体装置の製造方法、半導体装置、電子機器、半導体製造装置及び記憶媒体2010

    • 発明者名
      松本賢治、伊藤仁、佐藤浩、小池淳一、根石浩司
    • 権利者名
      東北大学、東京エレクトロン
    • 出願年月日
      2010-07-12
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [産業財産権] 半導体装置の製造方法、半導体装置、電子機器、半導体製造装置及び記憶媒体2010

    • 発明者名
      松本賢治、伊藤仁、佐藤浩、小池淳一、根石浩司
    • 権利者名
      東北大学、東京エレクトロン
    • 出願年月日
      2010-07-27
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [産業財産権] 成膜方法、前処理装置及び処理系統2010

    • 発明者名
      松本賢治、保坂重敏、根石浩司、小池淳一
    • 権利者名
      東北大学、東京エレクトロン
    • 出願年月日
      2010-06-16
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [産業財産権] 薄膜トランジスタ2010

    • 発明者名
      小池淳一、ユン ピルサン、川上英昭
    • 権利者名
      東北大学、先端配線材料研究所
    • 産業財産権番号
      2010-152112
    • 出願年月日
      2010-07-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [産業財産権] 成膜方法、前処理装置及び処理系統2010

    • 発明者名
      松本賢治、保坂重敏、根石浩司、小池淳一
    • 権利者名
      東北大学、東京エレクトロン
    • 出願年月日
      2010-06-15
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [産業財産権] Copper alloys and liquid-crystal display2010

    • 発明者名
      小池淳一、川上英昭
    • 権利者名
      東北大学、先端配線材料研究所
    • 出願年月日
      2010-07-09
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [産業財産権] Contact plug structure, semiconductor device, and method for forming contact plug2010

    • 発明者名
      小池淳一、柴富昭洋、根石浩司
    • 権利者名
      東北大学、先端配線材料研究所
    • 出願年月日
      2010-09-07
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [産業財産権] 金属酸化膜の成膜方法、酸化マンガンの成膜方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体2010

    • 発明者名
      松本賢治、根石浩司、小池淳一
    • 権利者名
      東北大学、東京エレクトロン
    • 出願年月日
      2010-09-17
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [産業財産権] Copper interconnect structure, semiconductor device, and method for forming copper interconnection structure2010

    • 発明者名
      小池淳一、柴富昭洋
    • 権利者名
      東北大学、先端配線材料研究所
    • 出願年月日
      2010-06-24
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [産業財産権] コンタクトプラグ、配線、半導体装置およびコンタクトプラグ形成方法2010

    • 発明者名
      根石浩司、小池淳一、柴富昭洋
    • 権利者名
      東北大学、先端配線材料研究所
    • 産業財産権番号
      2010-016550
    • 出願年月日
      2010-07-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] 先端ロジックデバイスにおいて 銅の次に来る新しい配線材料とは?2023

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、久家俊洋、Chen Linghan
    • 学会等名
      応用物理学会秋季講演大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [学会発表] Schottky barrier height and contact resistivity reduction of metal/GaOx/n-GaN structure2023

    • 著者名/発表者名
      Jiro Koba and Junichi Koike
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [学会発表] CuAl intermetallic compound for Cu alternative2023

    • 著者名/発表者名
      Toshihiro Kuge, Masataka Yahagi, Junichi Koike
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference 2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [学会発表] Effects of oxide species on the reduction of contact resistivity of Al/oxide/n-GaN MIS devices2023

    • 著者名/発表者名
      Jiro Koba and Junichi Koike
    • 学会等名
      IEEE Electron Devices and Technology Conference 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [学会発表] n-GaN/Oxide/Al構造の接触抵抗率に及ぼす酸化物種の影響2022

    • 著者名/発表者名
      古塲治郎、小池淳一
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [学会発表] Effects of composition deviation of CuAl2 on electromigration2022

    • 著者名/発表者名
      T. Kuge, M. Yahagi, and J. Koike
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [学会発表] n-GaN/Oxide/Alの接触抵抗率に及ぼす酸化物種の影響2022

    • 著者名/発表者名
      古塲治朗、小池淳一
    • 学会等名
      応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [学会発表] 次世代配線材料CuAl2のTDDB信頼性に及ぼす組成の影響2022

    • 著者名/発表者名
      久家俊洋、矢作政隆、小池淳一
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [学会発表] LSI 多層配線単層バリア材料としてのCo-63at%Nb合金の可能性2022

    • 著者名/発表者名
      山田裕貴、矢作政隆、小池淳一
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [学会発表] Schottky barrier height reduction by oxide layer insertion in Al/n-GaN structure2022

    • 著者名/発表者名
      J. Koba and J. Koike
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [学会発表] Thermodynamic Evaluation of the Liner and Barrier Properties of a single-Phase Interlayer for Advanced Cu Interconnections2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamada, M. Yahagi, and J. Koike
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [学会発表] Intermetallic compounds for interconnect metal beyond 3 nm node2021

    • 著者名/発表者名
      J. Koike, T. Kuge, L. Chen, and M. Yahagi
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference 2021
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [学会発表] Effects of composition deviation of CuAl2 on BTS and TDDB reliability2021

    • 著者名/発表者名
      T. Kuge, M. Yahagi, and J. Koike
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04605
  • [学会発表] 極微細配線の課題解決に向けた金属間化合物の可能性2019

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、チェン リンハン、横川慎二
    • 学会等名
      応用物理学会分科会 シリコンテクノロジー
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [学会発表] NiAl as Cu alternative for ultrasmall feature sizes2019

    • 著者名/発表者名
      陳凌寒, 小池淳一, 安藤大輔, 須藤祐司
    • 学会等名
      電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [学会発表] Local interconnections and contact metallization for 3 nm node2019

    • 著者名/発表者名
      J. Koike, L. Chen, K. Sato, K. Kido, M. Hosseini, D. Ando, Y. Sutou
    • 学会等名
      IEEE IITC/MAM 2019
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [学会発表] Low Resistivity NiAl and CuAl2 Thin Films as Copper Alternatives2019

    • 著者名/発表者名
      L. Chen, D. Ando, Y. Sutou, J. Koike
    • 学会等名
      IEEE IITC/MAM 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [学会発表] Intermetallic compounds as possible Cu alternatives2019

    • 著者名/発表者名
      J. Koike, L. Chen, D. Ando, Y. Sutou
    • 学会等名
      2019 MRS Spring Meeting & Exhibit
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [学会発表] Co-Ti alloy for BEOL and MOL metallization for advanced technology node2018

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference Asian Session
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [学会発表] Material innovation for MOL, BEOL, and 3D integration2018

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      International Electron Device Meeting
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [学会発表] Co alloy for Middle of Line for Fin FET of sub-7 nm2018

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      Semicon China
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [学会発表] New contact metallization scheme for FinFET and beyond2018

    • 著者名/発表者名
      J. Koike, M. Hosseini, D. Ando and Y. Sutou
    • 学会等名
      IEEE Electron Device Technology Meeting
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] サブ10nm FinFETにおける低接触抵抗の実現に向けたコバルト合金の特性2018

    • 著者名/発表者名
      小池淳一 マリャムサダト ホセイニ 安藤大輔 須藤祐司
    • 学会等名
      電子情報通信学会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] Co alloy for middle of line for FinFET of sub-7 nm2018

    • 著者名/発表者名
      J. Koike
    • 学会等名
      Semicon China, CSTIC
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] Phase chnage characteristics of TM-Ge-Te (TM:Cu and Cr) compound films for PCRAM2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, S. Shindo, S. Hatayama, Y. Shuang, J. Koike, Y. Saito
    • 学会等名
      2018 MRS Spring meeting&exhibit
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Low contact resistivity between Co and nーSi with a CoTix interface layer2018

    • 著者名/発表者名
      M. Hosseini, J. Koike, D. Ando, and Y. Sutou
    • 学会等名
      Meeting of Advanced Metallization
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] Cu paste metallization for stress critical applications in electrical packaging2018

    • 著者名/発表者名
      J. Koike
    • 学会等名
      Internation workshop on reliability and stress-related phenomena
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] New Contact Metallization Scheme for FinFET and beyond2018

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      Electron Device Technology Meeting
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [学会発表] Cr2Ge2Te6を用いた相変化メモリの動作特性2018

    • 著者名/発表者名
      畑山祥吾、須藤祐司、安藤大輔、小池淳一
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] サブ10nm FinFETにおける低接触抵抗の 実現に向けたコバルト合金の特性2018

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      電子情報通信学会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03830
  • [学会発表] Deformation twinning and Stress induced Martensitic transformation of Mg alloy2017

    • 著者名/発表者名
      D. Ando, Y. Ogawa, Y. Takeuchi, Y. Sutou and J. Koike
    • 学会等名
      日本金属学会 第161回秋期講演大会
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549
  • [学会発表] LSI多層配線の単層拡散バリア層としての非晶質コバルト合金の特性2017

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      応用物理学会2017年春季講演大会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-15
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] Co/Si contact properties with an amorhous interlayer of CoTix2017

    • 著者名/発表者名
      M. Hosseini, Y. Sutou and J. Koike
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference Asian Session
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] Mg-Sc基合金における時効硬化挙動2017

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、竹内悠太、須藤祐司、小川由希子、小池淳一
    • 学会等名
      軽金属学会 第133回秋期大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549
  • [学会発表] Feasibility study of Cu paste printing techniquie to fill deep via halls for low cost 3D TSV applications2017

    • 著者名/発表者名
      H. T. Hai, K.-W. Lee, D. Ando, Y. Sutou, M. Koyanagi, and J. Koike
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] Mg-Y合金における球状圧子を用いたナノインデンテーション応答2017

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、須藤祐司、小池淳一、Warren Poole
    • 学会等名
      日本金属学会2017年春期講演大会
    • 発表場所
      首都大学東京、東京
    • 年月日
      2017-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549
  • [学会発表] Magnesium-based shape memory alloy2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, Y. Ogawa, D. Ando, J. Koike
    • 学会等名
      ICOMAT2017
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549
  • [学会発表] Effects of nitrogen doping on the properties of Cr-Ge-Te ternary compound film2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Shuang, S. Hatayama, S. Shindo, D. Ando, Y. Sutou, J. Koike
    • 学会等名
      The 29th symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS2017)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Material innovation for MOL, BEOL, and 3D integration2017

    • 著者名/発表者名
      J. Koike, M. Hosseini, H. T. Hai, D. Ando and Y. Sutou
    • 学会等名
      IEEE International Electron Device Meeting
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] bcc構造を有するMg-Sc-Zn合金の機械的性質2017

    • 著者名/発表者名
      竹内悠太, 小川由希子, 安藤大輔, 須藤祐司, 小池淳一
    • 学会等名
      日本材料科学会 第24回若手研究者討論会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549
  • [学会発表] Metallurgical and electrical characterization of ultrathin CoTix liner/barrier for Cu interconnects2017

    • 著者名/発表者名
      M. Hosseini and J. Koike
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] The effects of Zn addition on mechanical properties and martensitic transformation temperature for Mg-Sc alloy2017

    • 著者名/発表者名
      Yuta Takeuchi, Daisuke Ando, Yukiko Ogawa, Junichi Koike
    • 学会等名
      EUROMAT2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549
  • [学会発表] Interfaical properties of electrdes/GeCu2Te3 phase change material2017

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y. Sutou, J. Koike, J.S. An, Y.H. Song, Y. Saito, P. Fons, K. Kobayashi
    • 学会等名
      The 29th symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS2017)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Martensitic transformable Mg-Sc based Alloy and its functionality2017

    • 著者名/発表者名
      D. Ando, Y. Takeuchi, Y. Ogawa, Y. Sutou and J. Koike
    • 学会等名
      EUROMAT2017
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549
  • [学会発表] Transition metal-Ge-Te chalcogenides for PCRAM material2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, S. Shindo, S. Hatayama, Y. Saito, J. Koike
    • 学会等名
      2017 International Conference on Soilid State Devices and Materials
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Inverse resistance switching behavior of Cr2Ge2Te6-based PCRAM2017

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y. Sutou, S. Shindo, Y. Saito, Y.H. Song, D. Ando, J. Koike
    • 学会等名
      The 29th symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS2017)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Mg-Sc合金へのZn添加がマルテンサイト変態温度並びに形状記憶特性に与える影響2017

    • 著者名/発表者名
      竹内悠太, 小川由希子, 安藤大輔, 須藤祐司, 小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会 第161回秋期講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549
  • [学会発表] Mg-Sc based alloys and its functionality2017

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Ando, Yukiko Ogawa, Yuta Takeuchi, Yuji Sutou, Junichi Koike
    • 学会等名
      TMS annual meeting 2017
    • 発表場所
      San Diego, USA
    • 年月日
      2017-02-26
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549
  • [学会発表] Co-Ti alloy for a barrier and contact materials in advanced MOL2017

    • 著者名/発表者名
      J. Koike, M. Hosseini, D. Ando and Y. Sutou
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] Inverse resistance change behavior of Cr2Ge2Te6 phase change material2017

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, Y. Sutou, S. Shindo, Y. Saito, Y.H. Song, D. Ando, J. Koike
    • 学会等名
      Eropean Phase Change and Ovonic Symposium (EPCOS2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Age hardening behavior in BCC type Mg-Sc alloy2017

    • 著者名/発表者名
      D. Ando, Y. Ogawa, Y. Sutou, J. Koike
    • 学会等名
      ICOMAT2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05549
  • [学会発表] Phase chaneg behaviro of N-doped Cr-Ge-Te film2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Shunag, S. Hatayama, S. Shindo, D. Ando, Y. Sutou, J. Koike
    • 学会等名
      Eropean Phase Change and Ovonic Symposium (EPCOS2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Cr-Ge-Te化合物薄膜の相変化挙動2016

    • 著者名/発表者名
      畑山 祥吾、進藤 怜史、安藤 大輔、須藤 祐司、小池 淳一
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東工大 大岡山キャンパス, 東京
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] マグネシウム系形状記憶合2016

    • 著者名/発表者名
      須藤祐司、小川由希子、安藤大輔、小池淳一
    • 学会等名
      SMAシンポシウム2016 「先進機能材料・先進生体材料としての形状記憶合金の用途開発」
    • 発表場所
      横浜市立大学、神奈川
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14151
  • [学会発表] Phase change behaviors of Cr-Ge-Te compound thin film2016

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, S. SHindo, Y. Sutou, J. Koike
    • 学会等名
      The 28th Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS2016)
    • 発表場所
      KKRホテル熱海、熱海
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] A study on phase transition behaviors of GeCu2Te3 phase change material for PCRAM application2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, S. Shindo, Y. Saito, J. Koike, H.Y. Song
    • 学会等名
      The 28th Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS2016)
    • 発表場所
      KKRホテル熱海、熱海
    • 年月日
      2016-11-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Cu/酸化物層/Siの密着強度と拡散バリア性2016

    • 著者名/発表者名
      齋藤友大、安藤大輔、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] Resistance contrast of GeCu2Te3 phase change memeory cell2016

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y.Sutou, J. Koike, Y. Saito, J.S. An, Y.H. Song
    • 学会等名
      European/Phase Change and Ovonics Symposium (E/PCOS2016)
    • 発表場所
      Cambridge, United Kingdom
    • 年月日
      2016-09-05
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] A new amorphous alloy having liner/barrier function for sub-10 nm technology node of LSI interconnection2016

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      ENGE2016
    • 発表場所
      韓国済州市
    • 年月日
      2016-11-09
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] W電極/GeCu2Te3相変化材料間のコンタクト抵抗2016

    • 著者名/発表者名
      進藤怜史、須藤祐司、安藤大輔、小池淳一、齊藤雄太
    • 学会等名
      日本金属学会2016年秋期講演大会
    • 発表場所
      大阪大学、大阪
    • 年月日
      2016-09-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] BCC+HCP二相組織を有するMg-Sc-Zn合金の機構的性質2016

    • 著者名/発表者名
      竹内悠太、小川由希子、安藤大輔、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会2016年秋期講演大会
    • 発表場所
      大阪大学、大阪
    • 年月日
      2016-09-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14151
  • [学会発表] Phase-change induced contact resistance changes of GeCu2Te3/metal contact due to phase change transitions2016

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y, Sutou, J. Koike, Y. Saito, H. Song
    • 学会等名
      2016 MRS Spring Meeting&Exhibit
    • 発表場所
      Phoenix, United States of America
    • 年月日
      2016-03-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Ge-Cu-Te phase change material for PCRAM application2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, Y. Saito, S. Shindo, J. Koike
    • 学会等名
      PRiME2016
    • 発表場所
      Honolulu, Hawai
    • 年月日
      2016-10-02
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14104
  • [学会発表] The doping effect of V, Cr and Ni on the crystallization behavior of GeTe amorphous film2016

    • 著者名/発表者名
      S. Hatayama, M. Shimoda, S. SHindo, Y. Sutou, J. Koike
    • 学会等名
      European/Phase Change and Ovonics Symposium (E/PCOS2016)
    • 発表場所
      Cambridge, United Kingdom
    • 年月日
      2016-09-05
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Switching behavior of GeCu2Te3 phase change memory cell2016

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y.Sutou, J. Koike, Y. Saito, J.S. An, Y.H. Song
    • 学会等名
      The 28th Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS2016)
    • 発表場所
      KKRホテル熱海、熱海
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] GeTe薄膜の相変化挙動に及ぼすCr添加の影響2016

    • 著者名/発表者名
      畑山祥吾、進藤怜史、須藤祐司、小池淳一、齊藤雄太
    • 学会等名
      日本金属学会2016年秋期講演大会
    • 発表場所
      大阪大学、大阪
    • 年月日
      2016-09-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] CVD法によるMnOx拡散バリア層の形成に伴うポーラスSiOHへのMn拡散2016

    • 著者名/発表者名
      小出紘之、王甲、安藤大輔、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] W電極上のGeCu2Te3の相変態に伴う界面接触抵抗変化2015

    • 著者名/発表者名
      進藤 怜史、須藤 祐司、小池 淳一、齊藤 雄太
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場, 名古屋
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] The effect of the Mn penetration in porous SiOCH for CVD-Mn diffusion barrier2015

    • 著者名/発表者名
      H. Koide, H. Wang, D.Ando, Y. Sutou, J. Koike
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2015 Asian Session
    • 発表場所
      韓国 ソウル
    • 年月日
      2015-09-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] Contact resistivity of GeCu2Te3 phase change material on W electrode2015

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y. Sutou, J. Koike, Y. Saito
    • 学会等名
      European/Phase Change and Ovonics Symposium 2015
    • 発表場所
      Amsterdam, Netherlands
    • 年月日
      2015-09-07
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Cr-Ge-Te薄膜の相変化挙動2015

    • 著者名/発表者名
      畑山祥吾, 安藤大輔, 須藤祐司, 小池淳一
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場, 名古屋
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Microstructure and Mechanical Properties of High Strength BCC/HCP dual phase Mg-Sc Alloys2015

    • 著者名/発表者名
      Daisuke ANDO, Yukiko OGAWA, Tetsu SUZUKI, Yuji SUTOU, Junichi KOIKE
    • 学会等名
      FiMPART2015
    • 発表場所
      Hyderabad, India
    • 年月日
      2015-06-12
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14151
  • [学会発表] Grain growth and resistivity reduction of reflowed Cu-Mn in SiOC trench lines2015

    • 著者名/発表者名
      K. Satou, T. Saito, D.Ando, Y. Sutou, J. Koike
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2015 Asian Session
    • 発表場所
      韓国 ソウル
    • 年月日
      2015-09-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] Contact resistivity change of GeCu2Te3 to W electrode by crystallization2015

    • 著者名/発表者名
      S.Shindo, Y. Sutou, J. Koike, Y. Saito
    • 学会等名
      The 27th Symposium on Phase Change Oriented Science
    • 発表場所
      熱海ニューフジヤホテル, 熱海
    • 年月日
      2015-11-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Crystallization behavior of Cr-Ge-Te thin films2015

    • 著者名/発表者名
      S.Hatayama, S. Shindo, Y. Suto, J. Koike
    • 学会等名
      The 27th Symposium on Phase Change Oriented Science
    • 発表場所
      熱海ニューフジヤホテル, 熱海
    • 年月日
      2015-11-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Electrical contact property and interfacial reaction of Mn on surface-treated-InGaAs2015

    • 著者名/発表者名
      E. Lee, D. Ando, Y. Sutou, J. Koike
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2015 Asian Session
    • 発表場所
      韓国 ソウル
    • 年月日
      2015-09-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02307
  • [学会発表] GeTe-CuTe擬二元系薄膜の相変化挙動2015

    • 著者名/発表者名
      須藤祐司, 齊藤雄太, 進藤怜史, 小池淳一
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場, 名古屋
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H04113
  • [学会発表] Phase transition characteristics of GeCu_2Te_3 for PCRAM2013

    • 著者名/発表者名
      Y, Sutou, Y. Saito, J. Koike
    • 学会等名
      ADMETA2013
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2013-10-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [学会発表] Phase Transition Characteristics of GeCu2Te3Film for PCRAM2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, Y. Saito, and J. Koike
    • 学会等名
      ADMETA2013
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630289
  • [学会発表] Feasibility study of Ge2Sb2Te5/GeCu2Te3 memory cell with multi-level resistance2013

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y. Saito, Y. Sutou, J. Koike, J.M. Lee and Y.H. Song
    • 学会等名
      PCOS 2013
    • 発表場所
      仙台
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630289
  • [学会発表] 湿式処理によるCu/Si界面の拡散バリア層の形成2013

    • 著者名/発表者名
      田辺成俊、安藤大輔、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会秋季大会
    • 発表場所
      金沢大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Evaluation of adhesion strength and electrical property of Cu metal films on ZnO:Al2013

    • 著者名/発表者名
      Z. F. Li, D. Ando, Y. Sutou, and J. Koike
    • 学会等名
      JSAP-MRS Joint Symposia
    • 発表場所
      同志社大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Phase transition characteristics of GeCu2Te3 for PCRAM2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, Y. Saito, J. Koike
    • 学会等名
      ADMETA 2013
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [学会発表] Feasibility study of Ge2Sb2Te5/GeCu2Te3 memory cell with multi-level resistance2013

    • 著者名/発表者名
      S. Shindo, Y. Saito, Y. Sutou, J. Koike, J.M. Lee, Y.H. Song
    • 学会等名
      PCOS 2013
    • 発表場所
      仙台
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [学会発表] A study on phase change characteristics of Ge-Cu-Te ternary alloy thin films2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, Y. Saito, J. Koike
    • 学会等名
      PCOS2012
    • 発表場所
      静岡
    • 年月日
      2012-11-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [学会発表] Crystallization behaviors and structural study of amorhous GeCu_2Te_32012

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, Y. Saito, J. Koike, P. Jovari, I. Kaban
    • 学会等名
      EPCOS2012
    • 発表場所
      フィンランド, タンペレ
    • 年月日
      2012-07-09
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [学会発表] Study of GeCu_2Te_3 by hard X-ray photoelectron spectroscopy2012

    • 著者名/発表者名
      K. Kobayashi, M. Kobata, Y. Saito, Y. Sutou, J. Koike
    • 学会等名
      PCOS2012
    • 発表場所
      静岡
    • 年月日
      2012-11-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [学会発表] The contact properties and TFT structures of a-IGZO TFTs combined with Cu-Mn alloy electrodes2011

    • 著者名/発表者名
      P.S.Yun, M.Naito, R.Kumagai, Y.Sutou, J.Koike
    • 学会等名
      The Society for Information Display 2011
    • 発表場所
      Los Angels, USA
    • 年月日
      2011-05-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Growth behavior of an interface layer between Mn and SiO22011

    • 著者名/発表者名
      B.T.Bae, J.Koike
    • 学会等名
      東北大学GCOE-ストックホルム大学研究交流プログラムBaltic Boat Conference 2011
    • 発表場所
      Stockholm, Sweden
    • 年月日
      2011-06-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Ge-Cu-Te films for phase change random access memory2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Sutou, Y.Saito, T.Kamada, M.Sumiya, J.Koike
    • 学会等名
      PCOS相変化研究会
    • 発表場所
      熱海
    • 年月日
      2011-11-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [学会発表] Metal reaction doping and selective back channel etching process of amorphous In-Ga-Zn-O channel with Cu-Mn electrode for high performance thin film2011

    • 著者名/発表者名
      P.S.Yun, J.Koike
    • 学会等名
      GCOE国際会議&KINKEN-WAKATE2011
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2011-12-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Cu-Mn alloy electrodes on IGZO semiconductors for back-channel-etched TFT2011

    • 著者名/発表者名
      J.Koike, P.S.Yun
    • 学会等名
      11th Int.Meeting on Information Display
    • 発表場所
      Seoul, Korea(招待講演)
    • 年月日
      2011-10-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Thermal stability of MnOx Diffusion barrier layer formed by chemical vapor deposition2011

    • 著者名/発表者名
      N.M.Phuong, Y.Sutou, J.Koike
    • 学会等名
      ADMETA Plus 2011
    • 発表場所
      芝浦工業大学
    • 年月日
      2011-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Phase change characteristics of Ge_1Cu_2Te_3 films for use as phase change material2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, Y. Saito, T. Kamada, M. Sumiya, J. Koike
    • 学会等名
      EPCOS2011
    • 発表場所
      スイス, チューリッヒ
    • 年月日
      2011-09-05
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [学会発表] The contact properties and TFT structures of oxide semiconductor TFTs combined with metal electrodes2011

    • 著者名/発表者名
      P.S.Yun, J.Koike
    • 学会等名
      12th Conference of the European Ceramic Society
    • 発表場所
      Stockholm, Sweden
    • 年月日
      2011-06-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] GeCu_2Te_3の電気特性とその相変化挙動2011

    • 著者名/発表者名
      隅谷真志、鎌田俊哉、齋藤雄太、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      2011年日本金属学会秋期大会
    • 発表場所
      沖縄
    • 年月日
      2011-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [学会発表] Phase change characteristics of Ge_1Cu_2Te_3 films for use as phase change material2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Sutou, Y.Saito, T.Kamada, M.Sumiya, J.Koike
    • 学会等名
      European\Phase Changed and Ovonics Symposium (E\PCOS2011)
    • 発表場所
      スイス(チューリッヒ)(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [学会発表] Adhesion strength of metal/polyimide interface and other related topics for flexible and printable electronics2011

    • 著者名/発表者名
      J.Koike
    • 学会等名
      Int.Workshop on Flexible and Printable Electronics
    • 発表場所
      Muju, Korea(招待講演)
    • 年月日
      2011-11-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] アミディネート前駆体を用いたMn酸化物の化学気相成長2011

    • 著者名/発表者名
      黒川温子、安藤大輔、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会第149回秋期大会
    • 発表場所
      沖縄コンベンションセンター
    • 年月日
      2011-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Cu-Mn合金の電気抵抗率に及ぼす熱処理時の酸素圧と温度の影響2011

    • 著者名/発表者名
      東城裕樹、安藤大輔、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会第149回秋期大会
    • 発表場所
      沖縄コンベンションセンター
    • 年月日
      2011-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Crystallization behaviors of Si-doped GeTe phase change materials2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito, Y.Sutou, J.Koike
    • 学会等名
      European\Phase Changed and Ovonics Symposium (E\PCOS2011)
    • 発表場所
      スイス(チューリッヒ)
    • 年月日
      2011-09-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360297
  • [学会発表] Interface reaction behavior between Mn and SiO2 and the effects of moisture in SiO22011

    • 著者名/発表者名
      B.T.Bae, J.Koike
    • 学会等名
      ADMETA Plus 2011
    • 発表場所
      芝浦工業大学
    • 年月日
      2011-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] 金属/非晶質In-Ga-Zn-O(a-IGZO)における反応挙動とコンタクト特性2011

    • 著者名/発表者名
      内藤まゆみ、尹弼相、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会第149回秋期大会
    • 発表場所
      沖縄コンベンションセンター
    • 年月日
      2011-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Interface reaction behavior between Mn and SiO2 under the influence of electric field2011

    • 著者名/発表者名
      B.T.Bae, J.Koike
    • 学会等名
      GCOE国際会議&KINKEN-WAKATE2011
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2011-12-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Back-channel etching process of amorphous IGZO thin film transistors using Cu-based electrodes2010

    • 著者名/発表者名
      P.S.Yun, J.Koike
    • 学会等名
      International Conference on Electronic Materials and Nanotechnology for Green Environment, ENGE2010
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2010-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Cu-Mn合金配線を用いた液晶ディスプレイ用TFTの電気特性2010

    • 著者名/発表者名
      内藤まゆみ、廣田和彦、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2010-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Cu-Mn合金電極を用いた非晶質IGZO薄膜トランジスタのバックチャネルエッチング特性2010

    • 著者名/発表者名
      尹弼相、小池淳一
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2010-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] A diffusion barrier layer of manganese oxide formed by chemical vapor deposition on TEOS-SiO2 substrates2010

    • 著者名/発表者名
      N.M.Phuong, J.Koike
    • 学会等名
      International Conference on Electronic Materials and Nanotechnology for Green Environment, ENGE2010
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2010-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Electrical Properties and Microstructure of Cu-Mn Electrodes on Amorphous In-Ga-Zn-O Semiconductors2010

    • 著者名/発表者名
      P.S.Yun, J.Koike
    • 学会等名
      Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2010-07-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Novel Cu alloy interconnections for advanced semiconductors and displays2010

    • 著者名/発表者名
      J.Koike, S.M.Chung, K.Neishi, Y.Sutou
    • 学会等名
      2010 i-SEDEX
    • 発表場所
      Seoul, Korea(招待)
    • 年月日
      2010-10-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Cu-Mn Alloy Electrodes for Advances Electronic Devices2010

    • 著者名/発表者名
      J.Koike, S.M.Chung, N.M.Phuong, P.S.Yun, Y.Sutou
    • 学会等名
      International Conference on Electronic Materials and Nanotechnology for Green Environment, ENGE2010
    • 発表場所
      Jeju, Korea(招待)
    • 年月日
      2010-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Cu Alloy TFT Electrodes for Advanced Displays2010

    • 著者名/発表者名
      J.Koike, K.Hirota, P.S.Yun, Y.Sutou
    • 学会等名
      Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices
    • 発表場所
      東京工業大学(招待)
    • 年月日
      2010-07-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Microstructure Analysis and Electrical Properties of Cu-Mn Electrode for Back-Channel Etching a-IGZO TFT2010

    • 著者名/発表者名
      P.S.Yun, J.Koike
    • 学会等名
      The 17th Internatinal Display Workshops
    • 発表場所
      福岡市
    • 年月日
      2010-12-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] 先端LSI-Cu配線用MnOxバリア層形成と信頼性評価2010

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      北海道大学(基調)
    • 年月日
      2010-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Cu-Mn合金の先端デバイス配線としての基礎と応用2010

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      大阪大学(招待)
    • 年月日
      2010-11-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] 変形双晶と機械的信頼性(基調講演)2009

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会2009年春期(第144回)大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-03-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Microstructural investigation of twins under the fracture surface in AZ31 magnesium allos2009

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、小池淳一
    • 学会等名
      TMS 2009 Annual Meeting
    • 発表場所
      San Francisco
    • 年月日
      2009-02-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] AZ31マグネシウム合金における二重双晶によるクラック形成過程の観察2009

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会2009年春期大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Microstructural investigation of twins under the fracture surface in AZ31 Magnesium alloys2009

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、小池淳一
    • 学会等名
      TMS 2009 Annual Meeting
    • 発表場所
      サンフランシスコ、アメリカ
    • 年月日
      2009-02-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] 変形双晶と機械的信頼性2009

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      日本金属瓦解2009年春期大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-03-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] AZ31マグネシウム合金における二重双晶によるクラック形成過程の観察2009

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会2009年春期(第144回)大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] マグネシウム合金における変形双晶の重要性(基調講演)2008

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、安藤大輔
    • 学会等名
      軽金属学会第115回秋期大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-11-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] マグネシウム合金における変形双晶の重要性2008

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、安藤大輔
    • 学会等名
      軽金属学会秋期大会
    • 発表場所
      東京(基調講演)
    • 年月日
      2008-11-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] マグネシウム合金における破壊起点となる双晶タイプ2008

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      軽金属学会第115回秋期大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-11-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] 微小ひずみ領域におけるAZ31マグネシウム合金の変形挙動2008

    • 著者名/発表者名
      藤山直人、安藤大輔、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会2008年秋期大会
    • 発表場所
      熊本
    • 年月日
      2008-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Deformation mechanisms of Mg alloys at ambient temperature(招待講演)2008

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、安藤大輔
    • 学会等名
      NIMS Week
    • 発表場所
      つくば
    • 年月日
      2008-07-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Deformation mechanisms of Mg alloys at ambient temperature2008

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、安藤大輔
    • 学会等名
      NIMS Week
    • 発表場所
      Tsukuba(招待講演)
    • 年月日
      2008-07-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] 軽金属構造材料の応用の可能性とその実際2008

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      マグネシウム合金の変形における双晶の役割、軽金属学会東北支部シンポジウム
    • 発表場所
      仙台(招待講演)
    • 年月日
      2008-02-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] AZ31マグネシウム合金の破断面の組織学的形態と内部双晶タイプの関係2008

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会2008年春期大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-03-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Strain accommodation twins and failure initiation twins in magnesium alloys(招待講演)2008

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、安藤大輔
    • 学会等名
      MagNET Workshop
    • 発表場所
      バンクーバー、カナダ
    • 年月日
      2008-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] {1011}-{1012}双晶のシュミット因子と表面起伏の関係2008

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、藤山直人、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会2008年秋期(第143回)大会
    • 発表場所
      熊本
    • 年月日
      2008-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Strain accommodation twins and failure initiation twins in magnesium alloys2008

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、安藤大輔
    • 学会等名
      MagNET Workshop
    • 発表場所
      Vancouver,Canada(招待講演)
    • 年月日
      2008-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Formation mechanisms of{1012}twins in Mg alloys during a-axis tension2008

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、安藤大輔
    • 学会等名
      Materials Science and Engineering Conference
    • 発表場所
      ニュルンベルグ、ドイツ
    • 年月日
      2008-09-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Deformation twinning for stress accolnmodation and failure initiation in Mg alloys(招待講演)2008

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、安藤大輔
    • 学会等名
      International Materials Research Congress
    • 発表場所
      重慶、中国
    • 年月日
      2008-06-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] 微小ひずみ領域におけるAZ31マグネシウム合金の変形挙動2008

    • 著者名/発表者名
      藤山直人、安藤大輔、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会2008年秋期(第143回)大会
    • 発表場所
      熊本
    • 年月日
      2008-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Formation mechanisms of {1012} twins in Mg alloys during a-axis tension2008

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、安藤大輔
    • 学会等名
      Materials Science and Engineering Conference
    • 発表場所
      Nurnberg,Germany
    • 年月日
      2008-09-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] マグネシウム合金における破壊基点となる双晶タイプ2008

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、須藤祐司、安藤大輔、小池淳一
    • 学会等名
      軽金属学会秋期大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-11-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表]2008

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、藤山直人、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会2008年秋期大会
    • 発表場所
      熊本
    • 年月日
      2008-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Deformation twinning for stress accommodation and failure initiation in Mg alloys2008

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、安藤大輔
    • 学会等名
      International Materials Research Congress
    • 発表場所
      重慶、中国
    • 年月日
      2008-06-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] AZ31マグネシウム合金における結晶粒径と変形・破壊挙動の関係2007

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会2007年秋期大会
    • 発表場所
      岐阜
    • 年月日
      2007-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Role of twinning on deformation mechanisms of Mg alloys2007

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、安藤大輔、佐藤優典、宮村剛夫
    • 学会等名
      The 2nd Asian Symposium on Magnesium Alloys
    • 発表場所
      福岡(招待講演)
    • 年月日
      2007-10-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] AZ31マグネシウム合金における変形双晶形成に及ぼす結晶粒径の影響2007

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、小池淳一
    • 学会等名
      軽金属学会秋期大会
    • 発表場所
      千葉
    • 年月日
      2007-11-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Mg合金の塑性変形異方性と変形・破壊機構の特徴2007

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      鉄鋼協会自主フォーラム
    • 発表場所
      豊橋(招待講演)
    • 年月日
      2007-08-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Mg合金の変形と破壊の微視的機構2007

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      第17回高性能Mg合金創成加工研究会
    • 発表場所
      熊本
    • 年月日
      2007-07-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Relation between deformation-induced surface relief and double twinning in AZ31 Mg alloy sheets2007

    • 著者名/発表者名
      安藤大輔、小池淳一
    • 学会等名
      The 2nd Asian Symposium on Magnesium Alloys
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2007-10-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Role of twinning on fracture in Mg alloys2007

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、安藤大輔、宮村剛夫
    • 学会等名
      Workshop on Advanced Magnesium Alloys and Their Applications
    • 発表場所
      上海、中国(招待講演)
    • 年月日
      2007-08-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] Deformation and Fracture mechanisms of magnesium alloys2007

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      Asian Forum on Light Metals & Exhibition
    • 発表場所
      高雄、台湾(招待講演)
    • 年月日
      2007-12-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] マグネシウム合金の転位すべり・変形双晶に着目した変形機構の粒径依存性2007

    • 著者名/発表者名
      小池淳一、安藤大輔、佐藤優典
    • 学会等名
      日本金属学会2007年秋期大会
    • 発表場所
      岐阜
    • 年月日
      2007-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360325
  • [学会発表] 7nmノード以降の未踏領域における多層配線のあり方

    • 著者名/発表者名
      小池淳一
    • 学会等名
      Semicon Japan
    • 発表場所
      東京ビッグサイト(東京)
    • 年月日
      2014-12-04 – 2014-12-06
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Specific contact resistivity measurements between Cu alloy and ZnGaAs using by Refined TLM

    • 著者名/発表者名
      B. T. Bae, D. Ando, Y.Sutou, and J. Koike
    • 学会等名
      ADMETA2013
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] A study on phase change characteristics of (GeTe)1-xSix films

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, Y. Saito, J. Koike
    • 学会等名
      The 26th symposium on Phase Chnage Oriented Science PCOS2014
    • 発表場所
      浜松、浜名湖ロイヤルホテル
    • 年月日
      2014-12-04 – 2014-12-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630289
  • [学会発表] Fast crystallization in Si-doped GeTe amorphous film by surface oxidation

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou, Y. Saito, J. Koike
    • 学会等名
      European Phase Change and Ovonics Symposium E/PCOS 2014
    • 発表場所
      マルセイユ、フランス
    • 年月日
      2014-09-07 – 2014-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630289
  • [学会発表] Cu/Si界面のMn酸化物拡散バリア層の特性評価

    • 著者名/発表者名
      田辺成俊、安藤大輔、須藤祐司、小池淳一
    • 学会等名
      日本金属学会2014年秋期講演大会
    • 発表場所
      名古屋大学東山キャンパス(名古屋市)
    • 年月日
      2014-09-24 – 2014-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] What can we do about barrier layer scaling to 5 nm node technology

    • 著者名/発表者名
      Junichi Koike
    • 学会等名
      Symposia on VLSI Technology and Circuits
    • 発表場所
      Honolulu, USA
    • 年月日
      2014-06-10 – 2014-06-13
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Grawth and diffusion barrier properties of CVD Mn oxide in a TSV structure

    • 著者名/発表者名
      Hao Wang, Yuji Sutou, Ando Daisuke, Junichi Koike, Kangwook Lee, Jicheil Bae, Mariappan Murugesan, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      ADMETA2013
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Formation of Mn barrier layer on porous SiOC by Chemical Vapor Deposition

    • 著者名/発表者名
      Y. Tsuchiya, D. Ando, Y. Sutou, and J. Koike
    • 学会等名
      ADMETA2013
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • [学会発表] Simultaneous formation of a mwtallic Mn layer and a MnOx/MnSixOy barrier layer by chemical vapor deposition at 250℃

    • 著者名/発表者名
      J. Koike
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference
    • 発表場所
      アルバニー(アメリカ)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22226012
  • 1.  須藤 祐司 (80375196)
    共同の研究課題数: 8件
    共同の研究成果数: 130件
  • 2.  安藤 大輔 (50615820)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 58件
  • 3.  丸山 公一 (90108465)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  佐藤 裕之 (10225998)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  及川 洪 (30005243)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  鈴木 真由美 (20292245)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  根石 浩司 (00404020)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 5件
  • 8.  小林 啓介 (50372149)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 41件
  • 9.  山崎 仁丈 (30292246)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  進藤 怜史
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 39件
  • 11.  向井 敏司 (40254429)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  染川 英俊 (50391222)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  シン アロック (60354213)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  渡辺 博行 (90416339)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  田島 俊造 (40136130)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  齊藤 雄太 (50738052)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 20件
  • 17.  佐治 他三郎
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  野中 勇
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  小川 由希子
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 11件
  • 20.  竹内 悠太
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 7件
  • 21.  SONG Yun-Heub
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 15件
  • 22.  鄭 鎭源
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 2件

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