池原毅 Ikehara Tsuyoshi

研究者番号	10344102
所属 (現在)	2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, その他部局等, 研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2011年度: (独)産業技術総合研究所, 主任研究員
審査区分/研究分野	研究代表者以外機械材料・材料力学
キーワード	研究代表者以外高温試験 / 酸素析出欠陥 / 信頼化 / 共振振動 / 力学特性 / 顕微ラマン分光 / 寿命予測 / 腐食疲労 / 二酸化シリコン / 単結晶シリコン … もっと見る / 信頼性 / 酸化 / 疲労試験 / 引張試験 / MEMS / シリコン隠す

シリコンマイクロ構造体の高信頼化に資する表面酸化反応疲労現象の解明
- 研究代表者
  
  土屋智由
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2011
- 研究種目
  
  若手研究(S)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  京都大学

すべて 2012 2011 2010 2009 2008 2007

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Low-cycle to Ultra-High-cycle Fatigue Lifetime Measurement of Single Crystal Silicon Specimens using a Microresonator Test Deyice2012
- 著者名/発表者名
  T.Ikehara
- 雑誌名
  
  Journal of Microelectromechanical Systems
  
  巻: Vol.21(掲載決定)(未決定)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002
[雑誌論文] Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens2010
- 著者名/発表者名
  T.Ikehara
- 雑誌名
  
  Micro & Nano Letters 5
  
  ページ: 49-52
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002
[雑誌論文] Measure ment of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens2010
- 著者名/発表者名
  T. Ikehara, T. Tsuchiya
- 雑誌名
  
  Micro & Nano Letters
  
  巻: Vol.5, No.1 号: 1 ページ: 49-52
- DOI
  10.1049/mnl.2009.0073
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002
[雑誌論文] Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens2010
- 著者名/発表者名
  T. Ikehara, T. Tsuchiya
- 雑誌名
  
  Micro & Nano Letters Vol. 5 No. 1
  
  ページ: 49-52
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002
[雑誌論文] Development of Amplitude-Controlled, Parallel Fatigue-Test System for Micro-Electro- Mechanical Resonators2010
- 著者名/発表者名
  T.Ikehara
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials 22
  
  ページ: 39-50
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002
[雑誌論文] Effects of anisotropic elasticity on stress concentration in micromechanical structures fabricated on (001) single-crystal silicon films2009
- 著者名/発表者名
  T.Ikehara
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics 105
  
  ページ: 93524-93524
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002
[雑誌論文] High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned specimens2008
- 著者名/発表者名
  T. Ikehara, T. Tsuchiva
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering Vol. 18, No.7
  
  ページ: 75004-75004
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002
[雑誌論文] High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned2008
- 著者名/発表者名
  T. Ikehara
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering 18
  
  ページ: 75004-75004
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002
[雑誌論文] High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned specimens2008
- 著者名/発表者名
  T. Ikehara, T. Tsuchiya
- 雑誌名
  
  Journal of Microme chanics and Microen gineering
  
  巻: Vol.18, No.7 号: 7 ページ: 75004-75004
- DOI
  10.1088/0960-1317/18/7/075004
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002
[雑誌論文] High-cycle fatigue of micromachined single crystal silicon measured,using a parallel fatigue test system2007
- 著者名/発表者名
  T. Ikehara
- 雑誌名
  
  IEICE Electronic Express 4
  
  ページ: 288-293
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002
[学会発表] Measurement of high-cycle fatigue lives of micrometer-sized single-crystal silicon specimens2011
- 著者名/発表者名
  T.Ikehara
- 学会等名
  International Symposium on Plasticity and Its Current Applications
- 発表場所
  Puerto Vallarta, Mexico
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002
[学会発表] MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験2009
- 著者名/発表者名
  池原毅
- 学会等名
  The 9th Society of Exploration Geophysicist of Japan International Symposium
- 発表場所
  盛岡、岩手大学
- 年月日
  2009-10-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002
[学会発表] Abusitripic analysis of stress concentration in a single-crystal-silicon MEMS structure2008
- 著者名/発表者名
  T. Ikehara
- 学会等名
  21th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 発表場所
  福岡
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002
[学会発表] Crystal orientation dependence of fatigue caracteristics in single crystal silicon measured using a rotating micro resonator2008
- 著者名/発表者名
  T. Ikehara
- 学会等名
  The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
- 発表場所
  Tucson, AZ, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002
[学会発表] 単結晶シリコンの曲げ試験における結晶異方性の効果2008
- 著者名/発表者名
  池原毅
- 学会等名
  日本機械学会2008年度年次大会
- 発表場所
  横浜国立大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19676002

1. 土屋智由 (60378792)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件

池原 毅 Ikehara Tsuyoshi

研究課題

研究成果

共同研究者

シリコンマイクロ構造体の高信頼化に資する表面酸化反応疲労現象の解明

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Low-cycle to Ultra-High-cycle Fatigue Lifetime Measurement of Single Crystal Silicon Specimens using a Microresonator Test Deyice2012

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Measure ment of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens2010

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Development of Amplitude-Controlled, Parallel Fatigue-Test System for Micro-Electro- Mechanical Resonators2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Effects of anisotropic elasticity on stress concentration in micromechanical structures fabricated on (001) single-crystal silicon films2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned specimens2008

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned2008

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned specimens2008

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] High-cycle fatigue of micromachined single crystal silicon measured,using a parallel fatigue test system2007

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[学会発表] Measurement of high-cycle fatigue lives of micrometer-sized single-crystal silicon specimens2011

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

[学会発表] MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験2009

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] Abusitripic analysis of stress concentration in a single-crystal-silicon MEMS structure2008

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

[学会発表] Crystal orientation dependence of fatigue caracteristics in single crystal silicon measured using a rotating micro resonator2008

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

[学会発表] 単結晶シリコンの曲げ試験における結晶異方性の効果2008

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

池原毅 Ikehara Tsuyoshi