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清水 三聡  Shimizu Mitsuaki

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 10357212
所属 (現在) 2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, ラボ長
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2018年度 – 2022年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, ラボ長
2017年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域, ラボ長
2016年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 窒化物半導体先進デバイスイノベーションラボラトリ, ラボ長
2015年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 先進パワーエレクト ロニクス研究センター, 研究チーム長
2011年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, 先進パワーエレクトロニクス研究センター, 研究チーム長
審査区分/研究分野
研究代表者以外
小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / 電子・電気材料工学 / 応用物性・結晶工学
キーワード
研究代表者以外
GaN / FinFET / パワーデバイス / 立体チャネル / 選択成長 / Fin FET / 窒化ガリウム / 結晶成長 / 電気・電子材料 / 電子デバイス … もっと見る / GaNデバイス / トランジスタ / 窒化ガリウムGaN / 屈折率 / SiO_2 / 光取出し効率 / MOCVD / 放射パターン / AlGaAs / 光取り出し効率 / FDTD / GaAs / 結合 / 空気伝播光 / 指向性 / リッジ構造 / エバネッセント光 / 光物性 隠す
  • 研究課題

    (3件)
  • 研究成果

    (13件)
  • 共同研究者

    (7人)
  •  選択成長Fin構造による動作形態の異なるGaN系立体チャネルトランジスタの研究

    • 研究代表者
      筒井 一生
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2022
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  選択成長法を用いたGaN系立体チャネル型トランジスタの研究

    • 研究代表者
      筒井 一生
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  形状基板によるエバネッセント光の空気伝播光変換技術の研究

    • 研究代表者
      王 学論
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      独立行政法人産業技術総合研究所

すべて 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016

すべて 学会発表

  • [学会発表] 選択成長法を用いたGaN FinFETの作製:成長窓形成プロセス改善2022

    • 著者名/発表者名
      久恒悠介、太田貴士、佐々木満孝、高橋言緒、井手利英、清水三聡、星井拓也、角嶋邦之、若林整、筒井一生
    • 学会等名
      2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02192
  • [学会発表] 選択成長法を用いたGaN FinFETの作製:成長窓形成プロセスの検討2021

    • 著者名/発表者名
      太田 貴士、佐々木 満考、高山 研、濱田 拓也、高橋 言緒、井出 利英、清水 三聡、星井 拓也、角嶋 邦之、若林 整、筒井 一生
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02192
  • [学会発表] 選択成長法を用いたGaN 系FinFET2021

    • 著者名/発表者名
      筒井一生,濱田拓也,高山 研,金 相佑,星井拓也,角嶋邦之,若林 整,高橋言緒,井手利英,清水三聡
    • 学会等名
      電気学会電子デバイス研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02192
  • [学会発表] 選択成長法を用いたGaN FinFETの作製:リーク電流抑制の改良2020

    • 著者名/発表者名
      高山 研、太田 貴士、佐々木 満孝、向井 勇人、濱田 拓也、高橋 言雄、井出 利英、清水 三聡、星井 拓也、角嶋 邦之、若林 整、筒井 一生
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02192
  • [学会発表] GaN Fin構造選択成長における低抵抗領域の発生原因の検討2019

    • 著者名/発表者名
      高山研、向井勇人、濱田拓也、高橋言緒、井手利英、清水三総、星井拓也、角嶋邦之、若林整、岩井洋、筒井一生
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02192
  • [学会発表] FinFET応用に向けた選択成長GaNチャネルの電気特性2019

    • 著者名/発表者名
      濱田 拓也、向井 勇人、高橋 言緒、井手 利英、清水 三聡、星井 拓也、角嶋 邦之、若林 整、岩井 洋、筒井 一生
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03972
  • [学会発表] 選択成長法を用いたGaN FinFETの作製2019

    • 著者名/発表者名
      向井勇人、髙山研、濱田拓也、高橋言緒、井手利英、清水三聡、星井拓也、角嶋邦之、若林整、岩井洋、筒井一生
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02192
  • [学会発表] 立体チャネルトランジスタ応用に向けた選択成長GaNの貫通転位の低減2018

    • 著者名/発表者名
      濱田 拓也、黒岩 宏紀、高橋 言緒、井手 利英、清水 三聡、星井 拓也、角嶋 邦之、若林 整、岩井 洋、筒井 一生
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03972
  • [学会発表] 立体チャネルトランジスタ応用に向けた選択成長GaNの異方性エッチング2018

    • 著者名/発表者名
      向井 勇人、濱田 拓也、高橋 言緒、井出 利英、清水 三聡、星井 拓也、角嶋 邦之、若林 整、岩井 洋、筒井 一生
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03972
  • [学会発表] FinFET応用に向けた選択成長GaNチャネルの電気特性2018

    • 著者名/発表者名
      濱田拓也, 向井勇人, 高橋言緒, 井手利英, 清水三聡, 星井拓也, 角嶋邦之, 若林整, 岩井洋, 筒井一生
    • 学会等名
      第82回半導体・集積回路シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03972
  • [学会発表] Electrical properties of selectively grown GaN channel for FinFETs2018

    • 著者名/発表者名
      Takuya Hamada, Hayato Mukai, Tokio Takahashi, Toshihide Ide, Mitsuaki Shimizu, Hiroki Kuroiwa, Takuya Hoshii, Kuniyuki Kakushima, Hitoshi Wakabayashi, Hiroshi Iwai, and Kazuo Tsutsui
    • 学会等名
      Int. Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03972
  • [学会発表] 立体チャネルトランジスタ応用に向けた選択成長GaNの形状制御2017

    • 著者名/発表者名
      黒岩 宏紀、濱田 拓也、高橋 言緒、井出 利英、清水 三聡、星井 拓也、角嶋 邦之、若林 整、岩井 洋、筒井 一生
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03972
  • [学会発表] 立体チャネルトランジスタ応用に向けたGaN選択成長の検討2016

    • 著者名/発表者名
      黒岩 宏紀、武井 優典、高橋 言緒、井手 利英、清水 三聡、筒井 一生、角嶋 邦之、若林 整、岩井 洋
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03972
  • 1.  筒井 一生 (60188589)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 13件
  • 2.  星井 拓也 (20611049)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 12件
  • 3.  角嶋 邦之 (50401568)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 13件
  • 4.  王 学論 (80356609)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  小倉 睦郎 (90356717)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  中島 昭 (60450657)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  山田 永 (60644432)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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