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田原 竜夫  Tabaru Tatsuo

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 10357478
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究チーム長
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2024年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究チーム長
審査区分/研究分野
研究代表者以外
小区分14010:プラズマ科学関連
キーワード
研究代表者以外
レーザ光脱離法 / 高周波ハイブリッドプラズマ / 高出力負イオン源 / 新規ホロー磁化放電 / 高密度水素プラズマ / ホロー磁化放電 / ハイブリッドプラズマCVD / 誘導結合型プラズマ / 容量結合型プラズマ / ホロー放電 … もっと見る / 負イオン源 / 電子放出 / ナノウォール / 高周波磁化ホロー放電 / ナノ構造体 / 負イオン 隠す
  • 研究課題

    (1件)
  • 研究成果

    (3件)
  • 共同研究者

    (1人)
  •  高出力負イオン源実現に向けた新規ホロー磁化放電による高密度水素プラズマの生成

    • 研究代表者
      大津 康徳
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分14010:プラズマ科学関連
    • 研究機関
      佐賀大学

すべて 2024 2023

すべて 学会発表

  • [学会発表] Characteristics of RF hybrid-plasma using hydrogen gas2024

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Ohtsu, Tatsuo Tabaru and Julian Schulze
    • 学会等名
      Proc. ISPlasma2024//IC-PLANTS2024/APSPT-13
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] Production of radio-frequency hybrid-discharge plasma using hydrogen gas for thin film preparation2023

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Otsu and Tatsuo Tabaru
    • 学会等名
      Bulletin of the American Physical Society, 76th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • [学会発表] 高周波ハイブリッド放電による高密度水素プラズマ生成2023

    • 著者名/発表者名
      大津康徳、田原竜夫
    • 学会等名
      2022年度第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22467
  • 1.  大津 康徳 (50233169)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 3件

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