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福島 誉史  Fukushima Takafumi

研究者番号 10374969
その他のID
  • ORCIDhttps://orcid.org/0000-0003-2303-8178
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 東北大学, 医工学研究科, 教授
2025年度: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授
2025年度: 東北大学, 工学研究科, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2025年度: 東北大学, 医工学研究科, 教授
2016年度 – 2024年度: 東北大学, 工学研究科, 准教授
2015年度: 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
2010年度 – 2014年度: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 准教授
2007年度 – 2009年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教
2006年度: 東北大学, 大学院工学研究科, 助手
2005年度 – 2006年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
中区分21:電気電子工学およびその関連分野 / 電子・電気材料工学 / 電子デバイス・電子機器 / 複合材料・表界面工学
研究代表者以外
電子デバイス・電子機器 / 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / 中区分90:人間医工学およびその関連分野 / 中区分21:電気電子工学およびその関連分野 / 医用システム / 理工系
キーワード
研究代表者
TSV / FHE / チップレット / フレキシブルデバイス / 3D-IC / 自己組織化 / 三次元実装 / 常温接合 / FOWLP / マイクロLEDディスプレイ … もっと見る / マイクロLED / ブロック高分子 / 誘導自己組織化 / 三次元集積回路 / システムオンチップ / 熱硬化性樹脂 / マイクロ・ナノ加工 / フレキシブル / 蓄電池 / エネルギー / トレンチキャパシタ / 高分子誘電体 / DC-DCコンバータ / 絶縁破壊電圧 / ロールトゥーロール / エネルギー貯蔵 / フレキシブル集積 / 垂直配線 / システムインテグレーション / 実装工学 / フレキシブルインターコネクト / 半導体実装工学 / Cuピラー / アセンブリ / マストランスファー / 半導体パッケージング工学 / 表面張力 / 貫通配線 / 微小コンポーネント / 自己組織化実装 / ナノアセンブリ / ウェアラブルディスプレイ / 成型加工 / 半導体パッケージング / ディスプレイ / めっき / Micro-LED / ヘルスケアデバイス / フレキシブルエレクトロニクス / ヘテロインテグレーション / ナノ配線 / 染色 / ナノワイヤ / 超微細配線 / DSA / 三次元集積 / フレキシブルコイル / 高分子材料 / 応力 / マイクロXRD / PDMS / ウエハレベルパッケージ / 応力エンジニアリング / 応力解析 / 埋め込みデバイス / 無線給電 / 人工網膜 / 材料力学 / 応力制御 / 半導体パッケージ / システム集積 / チップ内蔵 / 微細配線 / 生体適合性 / ウエハレベルパッケージング / ハイドロゲル / デバイス設計・製造プロセス / 電子・電気材料 / 高密度実装 / 三次元配線 / 複合材料 / 3D LSI / ボトムアップ / 金属ナノ粒子 / 極微細配線 / ナノコンポジット / 狭ピッチ電極接合 / 三次元積層型集積回路 / ナノ相分離 / CVD / SiO2 / 気相堆積ポリイミド / 接合界面 / 接着 / TSV / ポリイミド / 気相堆積重合 / 接合 / パッケージ / 耐熱性高分子 / セルフアセンブリ / 応用 / パッケージのシステム化 / インターコネクト / 微細接続 / 流体 / マイクロ・ナノデバイス / インターコネクト・パッケージのシステム化・応用 / アンダーフィル / 耐熱性樹脂 / システムインパッケージ / 半導体微細加工技術 / ナノフィラー … もっと見る
研究代表者以外
三次元集積回路 / 人工網膜 / 医用システム / 生体医工学 / 人工視覚 / 生体適合性 / 不揮発性メモリ / 半導体物性 / 半導体超微細化 / チップレット / トンネル効果 / メモリ / 半導体 / 半導体メモリ / ニューラルネットワーク / SNN / STDP / トンネルFET / スパイキングニューラルネットワーク / 透明電極 / FOWLP / 人間医工学 / High Speed Data Transfer / Parallel Processing System / Optical Wave Guide / Optical Interconnection / Wafer Bonding / Three-Dimensional Integration / Multiport Shared Memory / Three-Dimensionally Stacked Processor / ウェーハ張り合わせ / 高速データ転送 / 並列処理システム / 光導波路 / 光インターコネクション / ウェーハ貼り合わせ / 三次元積層化技術 / マルチポート共有メモリ / 三次元積層型プロセッサ / 高次視覚処理 / 3次元集積回路 / 半導体神経工学 / 視覚情報処理 / 複合ウェハ / ヘテロCMOSトランジスタ / セルフアセンブリー張り合わせる / 複合Siウェハ / セルフアセンブリー張り合わせ / ヘテロCMOSトランジスタ / 複合Siウェハ / Charge Injection Capacity / Cyclic Voltammetry / EEP / 埋め込み術式 / ラプラシアンフィルタ / 低消費電力 / 医用マイクロ・ナノシステム / 光電子集積システム・オン・チップ / シリコン貫通配線 / スーパーチップ / 光電子集積化 / 三次元集積化 / セルフアセンブリー / グラフォアセンブリー / 雷子デバイス / 超薄膜 / デバイス設計 / 電子デバイス / 不挿発性メモリ / High-K絶縁膜 / ナノ材料 / 電子デバイス・集積回路 / 量子ドット 隠す
  • 研究課題

    (25件)
  • 研究成果

    (576件)
  • 共同研究者

    (22人)
  •  トンネルFET構造による3D-NANDフラッシュメモリの超多値化

    • 研究代表者
      木野 久志
    • 研究期間 (年度)
      2024 – 2026
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      九州大学
  •  人と同じ広視野・高機能視覚を有する三次元積層チップレット型完全埋植人工網膜の開発

    • 研究代表者
      田中 徹
    • 研究期間 (年度)
      2024 – 2026
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分21:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  フレキシブルデバイスの新展開:先端半導体実装工学が拓くエネルギー貯蔵ロールの創製研究代表者

    • 研究代表者
      福島 誉史
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2027
    • 研究種目
      国際共同研究加速基金(海外連携研究)
    • 審査区分
      中区分21:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  ホリスティック実装工学の開拓:微小コンポーネントのアセンブリとワイヤレットの提案研究代表者

    • 研究代表者
      福島 誉史
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      挑戦的研究(開拓)
    • 審査区分
      中区分21:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  人と同じ視野角と情報処理機能を有する極低侵襲ピクセル分散型完全埋植人工網膜の開発

    • 研究代表者
      田中 徹
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2023
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分90:人間医工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  ダイレット集積インモールドエレクトロニクスの基盤創成と浅皮下情報可視化シート開発研究代表者

    • 研究代表者
      福島 誉史
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分21:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  染色で誘導自己組織化ナノ配線を創る研究代表者

    • 研究代表者
      福島 誉史
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2021
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分21:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  不揮発性トンネルFETメモリによる超低消費電力ニューラルネットワークチップの開発

    • 研究代表者
      木野 久志
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2022
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      東北大学
  •  マルチスケール応力エンジニアリングが拓く高集積フレキシブルエレクトロニクス研究代表者

    • 研究代表者
      福島 誉史
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2023
    • 研究種目
      国際共同研究加速基金(国際共同研究強化(B))
    • 審査区分
      中区分21:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  高集積ハイドロゲル創製への挑戦研究代表者

    • 研究代表者
      福島 誉史
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2019
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分21:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  広視野の視覚を再建する眼球内完全埋植・低侵襲フレキシブル人工網膜の開発

    • 研究代表者
      田中 徹
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2020
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分90:人間医工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  次世代積層LSIを志向した誘導自己組織化配線の形成とメカニズム解析研究代表者

    • 研究代表者
      福島 誉史
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  ガラス/高分子界面のデンドリティックアンカー効果発現機構の解明研究代表者

    • 研究代表者
      福島 誉史
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2016
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      複合材料・表界面工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  人の視覚と同じ高次情報処理を実現する眼球内完全埋め込み型人工網膜システムの開発

    • 研究代表者
      田中 徹
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      医用システム
    • 研究機関
      東北大学
  •  原子層堆積重合による縮合系耐熱高分子の積層膜形成と応用研究代表者

    • 研究代表者
      福島 誉史
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2014
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  高次視覚情報処理機能を有する完全埋込型低電力三次元積層人工網膜システムの研究

    • 研究代表者
      田中 徹
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2014
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  複合Siウェハを用いた高性能・低電力ヘテロCMOSトランジスタの開発

    • 研究代表者
      李 康旭
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  眼球内埋め込み用低電力三次元積層型人工網膜システムの研究

    • 研究代表者
      田中 徹
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  リコンフィギャラブル接合を基盤とした三次元集積化研究研究代表者

    • 研究代表者
      福島 誉史
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2012
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  グラフォアセンブリーによる三次元積層型光電子集積システム・オン・チップ

    • 研究代表者
      小柳 光正
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  トンネル注入制御Geナノデバイスを用いた超高周波キャリア伝導機構の解明

    • 研究代表者
      田中 徹
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2008
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  自己組織化による異種デバイス混載積層型チップの創製研究代表者

    • 研究代表者
      福島 誉史
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2009
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  金属ナノドット不揮発性メモリのナノインテグレーション

    • 研究代表者
      田中 徹
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2009
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      東北大学
  •  ナノフィラーを含む熱硬化性樹脂の分子設計と次世代集積回路への応用研究代表者

    • 研究代表者
      福島 誉史
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  三次元積層型プロセッサチップを用いた超高性能並列処理システム

    • 研究代表者
      小柳 光正
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2007
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学

すべて 2024 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] 次世代ウェアラブルデバイスに向けたフレキシブル・伸縮性エレクトロニクス技術とセンサ開発 執筆担当部分: 第2章 フレキシブル・伸縮性センサ・デバイス・システムの開発動向, 第9節 高集積フレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクス(FHE)技術2024

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 総ページ数
      19
    • 出版者
      Science & Technology
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [図書] 3次元積層型集積回路に向けた自己組織化チップ実装技術2010

    • 著者名/発表者名
      福島誉史、李康旭、田中徹、小柳光正
    • 出版者
      電子材料
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [図書] M&E2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 総ページ数
      3
    • 出版者
      工業調査会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [図書] MEMS/NEMS工学大全(執筆担当部分:第8節 "高密度三次元実装技術")2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 出版者
      テクノシステム(初版発行)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [図書] MEMS/NEMS工学大会(第8節 p.455-p.463)2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 総ページ数
      9
    • 出版者
      テクノシステム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [図書] M&E(自己組織化によるウェハレベル三次元集積化技術, 36(1))2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] * Bendability Enhancement of 3D Interconnections with Out-of-plane Corrugation for Flexible Hybrid Electronics2024

    • 著者名/発表者名
      Chang Liu, Tadaaki Hoshi, Jiayi Shen, Atsushi Shinoda, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Takafumi Fukushima
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 63

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [雑誌論文] 3D-IC/TSV の最新動向と自己組織化による三次元実装/ヘテロ集積2023

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 雑誌名

      化学工学(ISSN: 0375-9253)

      巻: 87 ページ: 33-36

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [雑誌論文] 三次元積層半導体(3D-IC)の現況と今後の展開について2023

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 雑誌名

      マテリアルステージ

      巻: 23 ページ: 37-43

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [雑誌論文] 3D-IC/TSV の最新動向と自己組織化による三次元実装/ヘテロ集積2023

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 雑誌名

      化学工学

      巻: 87 ページ: 33-36

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [雑誌論文] Advanced Packaging Methods Used for Energy Storage from Intermittent Renewable Source2023

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Tianyu Xiang, Harshit Ranjan, Niharika Tripathi, Chang Liu, Guangqi Ouyang, Randall Irwin, and Subramanian S. Iyer
    • 雑誌名

      Proceedings of the 71st Electronic Components and Technology Conference (ECTC 2023)

      巻: none ページ: 444-449

    • DOI

      10.1109/ectc51909.2023.00080

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23KK0071
  • [雑誌論文] 3D-IC/TSV の最新動向と自己組織化による三次元実装/ヘテロ集積2023

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 雑誌名

      化学工学

      巻: 87 ページ: 33-36

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [雑誌論文] 三次元積層半導体(3D-IC)の現況と今後の展開について2023

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 雑誌名

      マテリアルステージ

      巻: 23 ページ: 37-43

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [雑誌論文] 常温Cu接合によるマイクロLEDアレイ積層型3D-ICの開発2023

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 雑誌名

      オプトロニクス

      巻: 42 ページ: 112-116

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [雑誌論文] Enhancement of carrier mobility in metal-oxide semiconductor field-effect transistors using negative thermal expansion gate electrodes2022

    • 著者名/発表者名
      Kino Hisashi、Fukushima Takafumi、Tanaka Tetsu
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 15 号: 11 ページ: 111004-111004

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ac9d24

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02193
  • [雑誌論文] 先端半導体パッケージングの研究開発動向2022

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 雑誌名

      機能材料

      巻: 3 ページ: 1-9

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [雑誌論文] Electrochemical characterization of ZnO-based transparent materials as recording electrodes for neural probes in optogenetics2022

    • 著者名/発表者名
      Miwa Yuki、Kino Hisashi、Fukushima Takafumi、Tanaka Tetsu
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      巻: 40 号: 5 ページ: 052202-052202

    • DOI

      10.1116/6.0001836

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02193
  • [雑誌論文] Laue microdiffraction evaluation of bending stress in Au wiring formed on chip-embedded flexible hybrid electronics2021

    • 著者名/発表者名
      M. Mariappan, Y. Susumago, K. Sumitani, Y. Imai, S. Kimura, T. Fukushima
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60 号: SB ページ: SBBC02-SBBC02

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abdb81

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [雑誌論文] High-thermal-stability resistor formed from manganese nitride compound that exhibits the saturation state of the mean free path2021

    • 著者名/発表者名
      Kino Hisashi、Fukushima Takafumi、Tanaka Tetsu
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 14 号: 9 ページ: 091003-091003

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ac18b0

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02193
  • [雑誌論文] Significant Die-Shift Reduction and μLED Integration Based on Die-First Fan-Out Wafer-Level Packaging for Flexible Hybrid Electronics2020

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima , Yuki Susumago, Zhengyang Qian, Chidai Shima, Bang Du, Noriyuki Takahashi, Shuta Nagata, Tomo Odashima, Hisashi Kino, and Tetsu Tanaka,
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS, PACKAGING AND MANUFACTURING TECHNOLOGY

      巻: 10 号: 8 ページ: 1419-1422

    • DOI

      10.1109/tcpmt.2020.3009640

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101, KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [雑誌論文] A new DSA technological dawn2020

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 雑誌名

      Impact

      巻: February 号: SG ページ: 1-3

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab75b8

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [雑誌論文] 129.RDL-First FOWLP技術を利用したハイドロゲルフレキシブル基板上への配線形成2020

    • 著者名/発表者名
      髙橋 則之, 煤孫 祐樹, 木野 久志, 田中 徹 福島 誉史
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌 C

      巻: J103-C ページ: 183-185

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18841
  • [雑誌論文] Multichip thinning technology with temporary bonding for multichip-to-wafer 3D integration2019

    • 著者名/発表者名
      Sungho Lee, Rui Liang, Yuki Miwa, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima and Tetsu Tanaka
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: SB ページ: SBBA04-SBBA04

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab4f3c

    • NAID

      210000157397

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [雑誌論文] High-Thermoresistant Temporary Bonding Technology for Multichip-to-Wafer 3-D Integration With Via-Last TSVs2019

    • 著者名/発表者名
      Hideto Hashiguchi , Takafumi Fukushima , Mariappan Murugesan, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS, PACKAGING AND MANUFACTURING TECHNOLOGY

      巻: 9 号: 1 ページ: 181-188

    • DOI

      10.1109/tcpmt.2018.2871764

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [雑誌論文] Development of Eccentric Spin Coating of Polymer Liner for Low-Temperature TSV Technology With Ultra-Fine Diameter2019

    • 著者名/発表者名
      Miao Xiong, Zhiming Chen, Yingtao Ding , Hisashi Kino , Takafumi Fukushima , and Tetsu Tanaka
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS DEVICE LETTERS

      巻: 40 号: 1 ページ: 95-98

    • DOI

      10.1109/led.2018.2884452

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [雑誌論文] Investigation of TSV Liner Interface with Multiwell Structured TSV to Suppress Noise Propagation in Mixed-Signal 3D-IC2019

    • 著者名/発表者名
      Hisashi Kino, Takafumi Fukushima and Tetsu Tanaka
    • 雑誌名

      IEEE Journal of the Electron Devices Society

      巻: 7 ページ: 1225-1231

    • DOI

      10.1109/jeds.2019.2936180

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [雑誌論文] Study of Al-doped ZnO Transparent Stimulus Electrodefor Fully Implantable Retinal Prosthesis with Three-dimensionally Stacked Retinal Prosthesis Chip2018

    • 著者名/発表者名
      Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, and Tetsu Tanaka
    • 雑誌名

      Sensors and Materials

      巻: 30 ページ: 225-234

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [雑誌論文] マルチウェル構造TSVを用いたTSV側壁界面評価方法の開発2018

    • 著者名/発表者名
      菅原 陽平, 木野 久志, 福島 誉史, 田中 徹
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌 C

      巻: J101-C ページ: 58-65

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [雑誌論文] 半導体ウエハへの三次元配線加工:TSVと狭ピッチ電極を中心に2017

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 雑誌名

      表面技術

      巻: 67(8) ページ: 410-420

    • NAID

      130005875872

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14139
  • [雑誌論文] 半導体ウエハへの三次元配線加工:TSVと狭ピッチ電極を中心に2017

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 雑誌名

      表面技術

      巻: 67(8) ページ: 410-420

    • NAID

      130005875872

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04323
  • [雑誌論文] Self-Assembly and Electrostatic Carrier Technology for Via-Last TSV Formation Using Transfer Stacking-Based Chip-to-Wafer 3-D Integration2017

    • 著者名/発表者名
      Hideto Hashiguchi , Takafumi Fukushima , Hiroyuki Hashimoto, Ji-Cheol Bea, Mariappan Murugesan, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES

      巻: 64 号: 12 ページ: 5065-5072

    • DOI

      10.1109/ted.2017.2767598

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812, KAKENHI-PROJECT-15H02246
  • [雑誌論文] 半導体ウエハへの三次元配線加工:TSVと狭ピッチ電極を中心に2016

    • 著者名/発表者名
      福島誉史、李康旭、田中徹、小柳光正
    • 雑誌名

      表面技術

      巻: 67 ページ: 414-420

    • NAID

      130005875872

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [雑誌論文] Self-Assembly Based Multichip-to-Wafer Bonding Technologies for 3D/Hetero Integration2016

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, K.W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 75 号: 9 ページ: 285-290

    • DOI

      10.1149/07509.0285ecst

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812, KAKENHI-PROJECT-15H02246
  • [雑誌論文] 三次元集積用テンポラリー接着剤の特性とウエハエッジの影響2016

    • 著者名/発表者名
      福島誉史、マリアッパン ムルゲサン、裵志哲、李相勲、李康旭、 田中徹、小柳光正
    • 雑誌名

      電子情報通信学会誌C

      巻: J99-C ページ: 493-500

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [雑誌論文] Evaluation of In-plane Local Bending Stress Distribution with DRAM Cell Array for Highly Reliable 3D IC2016

    • 著者名/発表者名
      Seiya Tanikawa, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Mitsumasa Koyanagi, Tetsu Tanaka
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 4S ページ: 04EC07-04EC07

    • DOI

      10.7567/jjap.55.04ec07

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [雑誌論文] Effect of local stress induced by thermal expansion of underfill in three-dimensional stacked IC2016

    • 著者名/発表者名
      Hisashi Kino, Hideto hashiguchi, Seiya Tanikawa, Youhei Sugawara, Shunsuke Ikegaya, Takafumi Fukushima, Mitsumasa Koyanagi, Tetsu Tanaka
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 4S ページ: 04EC03-04EC03

    • DOI

      10.7567/jjap.55.04ec03

    • NAID

      210000146283

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [雑誌論文] Oxide-Oxide Thermocompression Direct Bonding Technologies with Capillary Self-Assembly for Multichip-to-Wafer Heterogeneous 3D System Integration2016

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Hideto Hashiguchi, Hiroshi Yonekura, Hisashi Kino, Mariappan Murugesan, Ji-Chel Bea, Kang-Wook Lee , Tetsu Tanaka and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Micromachines

      巻: 7 号: 10 ページ: 184-184

    • DOI

      10.3390/mi7100184

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812, KAKENHI-PROJECT-15H02246, KAKENHI-PROJECT-15K14139
  • [雑誌論文] Impact of Chip-Edge Structures on Alignment Accuracies of Self-Assembled Dies for Microelectronic System Integration2015

    • 著者名/発表者名
      Yuka Ito, Takafumi Fukushima, Hisashi Kino, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Journal of Microelectromechanical Systems

      巻: 25 号: 1 ページ: 91-100

    • DOI

      10.1109/jmems.2015.2480787

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812, KAKENHI-PROJECT-15H02246
  • [雑誌論文] Novel Hybrid Bonding Technology Using Ultra-High Density Cu Nano-Pillar for Exascale 2.5D/3D Integration2015

    • 著者名/発表者名
      Kangwook Lee, Jichel Bea, Takafumi Fukushima, Suresh Ramalingam, Xin Wu, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE Electron Device Letters

      巻: 37 号: 1 ページ: 81-83

    • DOI

      10.1109/led.2015.2502584

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812, KAKENHI-PROJECT-15H02246
  • [雑誌論文] Applications of three-dimensional LSI2015

    • 著者名/発表者名
      Mitsumasa Koyanagi, Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, and Tetsu Tanaka
    • 雑誌名

      MRS BULLETIN

      巻: 40 号: 3 ページ: 242-247

    • DOI

      10.1557/mrs.2015.33

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [雑誌論文] Highly Dependable 3-D Stacked Multicore Processor System Module Fabricated Using Reconfigured Multichip-on-Wafer 3-D Integration Technology2014

    • 著者名/発表者名
      K.-W. Lee, H. Hashimoto, M. Onishi, Y. Sato, C. Nagai, M. Murugesan, J.-C. Bea, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) Technical Digest

      巻: - ページ: 669-672

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [雑誌論文] Reconfigured-Wafer-to-Wafer 3D Integration Using Parallel Self-Assembly of Chips With Cu-SnAg Microbumps and a Nonconductive Film2014

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Ji Cheol Bea, Hisashi Kino, Chisato Nagai, Mariappan Murugesan, Hideto Hashiguchi, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES

      巻: Vol.61, No.2 号: 2 ページ: 533-539

    • DOI

      10.1109/ted.2013.2294831

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009, KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [雑誌論文] Deteriorated Device Characteristics in 3D-LSI Caused by Distorted Silicon Lattice2014

    • 著者名/発表者名
      Mariappan Murugesan,Yasuhiko Imai,Shigeru Kimura, Takafumi Fukushima, Ji Cheol Bea,Hisashi Kino, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES

      巻: 61 号: 2 ページ: 540-546

    • DOI

      10.1109/ted.2013.2295463

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060, KAKENHI-PROJECT-25820133
  • [雑誌論文] Highly Beneficial Organic Liner with Extremely Low Thermal Stress for Fine Cu-TSV in 3D-Integration2014

    • 著者名/発表者名
      M. Murugesan , T. Fukushima, J.C. Bea, Y. Sato, H. Hashimoto, K.W. Lee , and M. Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) Technical Digest

      巻: 61 ページ: 374-377

    • DOI

      10.1109/iedm.2014.7047054

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630118
  • [雑誌論文] Analysis of Local Bending Stress Effect on CMOS Performance Fabricated in Thinned Si Chip for Chip-to-Wafer 3D Integration2013

    • 著者名/発表者名
      Hisashi Kino, Ji Cheol Bea, Mariappan Murugesan, Kang, Wook Lee,Takafumi Fukushima, Mitsumasa Koyanagi, Tetsu Tanaka
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [雑誌論文] Flux-Assisted Self-Assembly with Microbump Bonding for 3D Heterogeneous Integration2013

    • 著者名/発表者名
      Yuka Ito, Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Koji Choki, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Proc. of IEEE 63rd ECTC

      巻: 63 ページ: 891-896

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Reductant-Assisted Self-Assembly with Cu/Sn Microbump for Three-Dimensional Heterogeneous Integration2013

    • 著者名/発表者名
      Yuka Ito, Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Koji Choki, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics (JJAP)

      巻: 52 号: 4S ページ: 04CB09-04CB09

    • DOI

      10.7567/jjap.52.04cb09

    • NAID

      210000141985

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009, KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [雑誌論文] Die-Level 3-D Integration Technology for Rapid Prototyping of High -Performance Multifunctionality Hetero-Integrated Systems2013

    • 著者名/発表者名
      Kang-Wook Lee, Yuki Ohara, Kouji Kiyoyama, Ji-Cheol Bea, Mariappan Murugesan,Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES

      巻: VOL.60, NO.11 号: 11 ページ: 3842-3848

    • DOI

      10.1109/ted.2013.2280273

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009, KAKENHI-PROJECT-23360146, KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [雑誌論文] Through-Silicon Photonic Via and Unidirectional- Coupler for High-Speed Data Transmission in Optoelectronic Three- Dimensional LSI2012

    • 著者名/発表者名
      Akihiro Noriki, Kangwook Lee, Jicheol Bea, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE ELECTRON DEVICES LETTERS

      巻: Vol.33 号: 2 ページ: 221-223

    • DOI

      10.1109/led.2011.2174608

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009, KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [雑誌論文] New Chip -to-Wafer 3D Integration Technology Using Hybrid Self-Assembly and Electrostatic Temporary Bonding2012

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, H. Hashiguchi, J. Bea, Y. Ohara, M. Murugesan, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M.Koyanagi
    • 雑誌名

      2012 IEEE International Electron Devices Meeting Technical Digest (IEDM)

      巻: - ページ: 789-792

    • DOI

      10.1109/iedm.2012.6479157

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Minimizing the Local Deformation Induced around Cu-TSVs and CuSn/InAu-Microbumps in High-Density 3D-LSIs2012

    • 著者名/発表者名
      M. Murugesan, H. Kobayashi, H. Shimamoto, F. Yamada, T. Fukushima, J.C. Bea, K.W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 雑誌名

      2012 IEEE International Electron Devices Meeting Technical Digest (IEDM)

      巻: - ページ: 657-660

    • DOI

      10.1109/iedm.2012.6479124

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Multichip-to-Wafer Three-Dimensional Integration Technology Using Chip Self-Assembly With Excimer Lamp Irradiation2012

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Eiji Iwata, Yuki Ohara, Mariappan Murugesan, Jichoel Bea, Kangwook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES

      巻: VOL.59(11) 号: 11 ページ: 2956-2963

    • DOI

      10.1109/ted.2012.2212709

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009, KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [雑誌論文] High-step-coverage Cu-lateral interconnections over 100 μm thick chips on a polymer substrate-an alternative method to wire bonding2012

    • 著者名/発表者名
      M Murugesan, T Fukushima, K Kiyoyama, J C Bea, T Tanaka and M Koyanagi
    • 雑誌名

      JOURNAL of Micromechanics and Microengineering

      巻: Vol.22(8) 号: 8 ページ: 085033-085033

    • DOI

      10.1088/0960-1317/22/8/085033

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Low-Resistance Cu-Sn Electroplated Evaporated Microbumps for 3D Chip Stacking2012

    • 著者名/発表者名
      M. MURUGESAN, Y. OHARA, T. FUKUSHIMA, T. TANAKA, and M. KOYANAGI
    • 雑誌名

      Journal of ELECTRONIC MATERIALS

      巻: Vol.41(4) 号: 4 ページ: 720-729

    • DOI

      10.1007/s11664-012-1949-1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009, KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [雑誌論文] Non-Conductive Film and Compression Molding Technology for Self-Assembly-Based 3D Integration2012

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, Y. Ohara, J. Bea, M. Murugesan, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Proc. of IEEE 62nd Electronic Components and Technology Conference

      巻: - ページ: 393-398

    • DOI

      10.1109/ectc.2012.6248860

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Three-Dimensional Hybrid Integration Technology of CMOS, MEMS, and Photonics Circuits for Optoelectronic Heterogeneous Integrated Systems2011

    • 著者名/発表者名
      Kang-Wook Lee, Akihiro Noriki, Kouji Kiyoyama, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES

      巻: 58 号: 3 ページ: 748-757

    • DOI

      10.1109/ted.2010.2099870

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] 三次元チップ積層のための電解めっきと蒸着法を用いた高密度Cu/Snマイクロバンプ形成技術2011

    • 著者名/発表者名
      大原悠希, 乗木暁博, 李康旭, 福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌C(電子デバイスの高速・高密度実装とインテグレーション技術論文特集)

      巻: Vol.J94-C ページ: 394-401

    • NAID

      110008761542

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [雑誌論文] Multichip Self-Assembly Technology for Advanced Die-to-Wafer 3-D Integration to Precisely Align Known Good Dies in Batch Processing2011

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Eiji Iwata, Yuki Ohara, Mariappan Murugesan, Jichoel Bea, Kangwook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS, PACKAGING AND MANUFACTURING TECHNOLOGY

      巻: VOL.1 号: 12 ページ: 1873-1884

    • DOI

      10.1109/tcpmt.2011.2160266

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009, KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [雑誌論文] Multichip Self-Assembly Technology for Advanced Die-to-Wafer 3-D Integration to Precisely Align Known Good Dies in Batch Processing2011

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Eiji Iwata, Yuki Ohara, Mariappan Murugesan, Jichoel Bea, Kangwook Lee, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS, PAC KAGING AND MANUFACTURING TECHNOLOGY

      巻: 1 ページ: 1873-1884

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [雑誌論文] MultichipSelf-Assembly Technology for AdvancedDie-to-Wafer 3-D Integration toPrecisely Align Known Good Dies in Batch Processing2011

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Eiji Iwata, YukiOhara, Mariappan Murugesan, JichoelBea, Kangwook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS, PACKAGING AND MANUFACTURING TECHNOLOGY

      巻: Vol. 1 ページ: 1873-188

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [雑誌論文] Self-Assembly of Chip-Size Components with Cavity Structures: High-Precision Alignment and Direct Bonding without Thermal Compression for Hetero Integration2011

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Takayuki Konno, Eiji Iwata, Risato Kobayashi, Toshiya Kojima, Mariappan Murugesan, Ji-ChelBea, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Micromachins

      巻: vol.2 ページ: 49-68

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [雑誌論文] Three-Dimensional Hybrid Integration Technology of CMOS, MEMS, and Photonics Circuits for Optoelectronic Heterogeneous Integrated Systems2011

    • 著者名/発表者名
      Kang-Wook Lee, Akihiro Noriki, Kouji Kiyoyama, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES

      巻: Vol.58 ページ: 748-757

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Self-Assembly of Chip-Size Components with Cavity Structures : High-Precision Alignment and Direct Bonding without Thermal Compression for Hetero Integration2011

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Takayuki Konno, Eiji Iwata, Risato Kobayashi, Toshiya Kojima, Mariappan Murugesan, Ji-Chel Bea, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Micromachins

      巻: vol.2 号: 1 ページ: 49-68

    • DOI

      10.3390/mi2010049

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [雑誌論文] シリコンバンプ上に積層した薄化チップの曲げ応力とデバイス特性評価2011

    • 著者名/発表者名
      木野久志, マリアッパン ムルゲサン, 小島俊哉, 福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌C(電子デバイスの高速・高密度実装とインテグレーション技術論文特集)

      巻: Vol.J94-C ページ: 411-418

    • NAID

      110008761544

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [雑誌論文] Evaluation of Cu Diffusion from Cu Through-Silicon Via (TSV) in 3-D LSI by Transient Capacitance Measurement2011

    • 著者名/発表者名
      J-C.Bea, K.W.Lee, T.Fukushima, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE Electron Device Letters

      巻: Volume 32 号: 7 ページ: 940-942

    • DOI

      10.1109/led.2011.2141109

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [雑誌論文] Self-Assembly of Chip-Size Components with Cavity Structures : High-Precision Alignment and Direct Bonding without Thermal Compression for Hetero Integration2011

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Takayuki Konno, Eiji Iwata, Risato Kobayashi, Toshiya Kojima, Mariappan Murugesan, Ji-Chel Bea, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Micromachins

      巻: 2 ページ: 49-68

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [雑誌論文] 三次元集積化技術とヘテロインテグレーション2011

    • 著者名/発表者名
      小柳光正, 福島誉史, 李康旭, 田中徹
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌C(電子デバイスの高速・高密度実装とインテグレーション技術論文特集)

      巻: Vol.J94-C(招待論文) ページ: 355-364

    • NAID

      110008761537

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] 三次元積層型集積回路のための自己組織化チップ位置合わせ技術2010

    • 著者名/発表者名
      岩田永司、福島誉史、大原悠希、李康旭、田中徹、小柳光正
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌C

      巻: Vol.J93-C ページ: 493-502

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Surface-tension-driven chip self-assembly with load-free hydrogen fluoride-assisted direct bonding at room temperature for three-dimensional integratedcircuits2010

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, E. Iwata, T. Konno, J.-C.Bea, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 雑誌名

      APL

      巻: vol.96 ページ: 154105-154105

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [雑誌論文] MOSFET Nonvolatile Memory with High-Density Cobalt Nanodots Floating Gate and HfO2 High-k Blocking Dielectric2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Pei, C. Yin, T. Kojima, J. Bea, H. Kino, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Nanotechnology (in press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] Surface-tension-driven chip self-assembly with load-free hydrogen fluoride-assisted direct bonding at room temperature for three-dimensional integrated circuits2010

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushima, E.Iwata, T.Konno, J.-C.Bea, K.-W.Lee, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 96

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [雑誌論文] 3次元積層型集積回路に向けた自己組織化チップ実装技術2010

    • 著者名/発表者名
      福島誉史、李康旭、田中徹、小柳光正
    • 雑誌名

      電子材料

      巻: 49 ページ: 17-24

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [雑誌論文] 3D Hybrid Integration Technology for Opto-Electronic Hetero-Integrated Systems2010

    • 著者名/発表者名
      Kangwook Lee, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsuma Koyanagi
    • 雑誌名

      ECS (Electrochemical Society) Transactions

      巻: Vol.33 ページ: 71-90

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Effects of Postdeposition Annealing on Cobalt Nanodots Embedded in Silica for Nonvolatile Memory Application2010

    • 著者名/発表者名
      Yanli Pei, Toshiya Kojima, Tatsuro Hiraki, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics (未定, 印刷中)

    • NAID

      40017176042

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] Surface-tensiondriven chip self-assembly with load-free hydrogen fluoride-assisted direct bonding at room temperature for three-dimensional integrated circuits2010

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, E. Iwata, T. Konno, J.-C. Bea, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: VOL.96 号: 15

    • DOI

      10.1063/1.3328098

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Surface tension-driven chip self-assembly with load-free hydrogen fluoride-assisted direct bonding at room temperature for three-dimensional integrated circuits2010

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, E. Iwata, T. Konno, K. -W. Lee, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters Vol.96

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] A Cavity Chip Interconnection Technology for Thick MEMS Chip Integration in MEMS-LSI Multichip Module2010

    • 著者名/発表者名
      Kang-Wook Lee, Soichiro Kanno, Kouji Kiyoyama, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS

      巻: Vol.19 ページ: 1284-1291

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] 極限集積化を目指すスーパーチップ2010

    • 著者名/発表者名
      小柳光正、福島誉史、李康旭、田中徹
    • 雑誌名

      電子情報通信学会誌

      巻: Vol.93(招待論文) ページ: 918-922

    • NAID

      110007880868

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Investigation of Effects of Post-Deposition Annealing on Cobalt Nanodots Embedded in Silica for Nonvolatile Memory Application2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Pei, T. Kojima, T. Hiraki, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics (in print)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] Surface-tension-driven chip self-assembly with load-free hydrogen fluoride-assisted direct bonding at room temperature for three-dimensional integrated circuits2010

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushima, E.Iwata, T.Konno, J.-C.Bea, K.-W.Lee, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: Vol.96

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] 三次元積層型集積回路のための自己組織化チップ位置合わせ技術2010

    • 著者名/発表者名
      岩田永司、福島誉史、大原悠希、李康旭、田中徹、小柳光正
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌C

      巻: J93-C ページ: 493-502

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [雑誌論文] Self-Assembly of Chip-Size Components with Cavity Structures : High-Precision Alignment and Direct Bonding without Thermal Compression for Hetero Integration2010

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Takayuki Konno, Eiji Iwata, Risato Kobayashi, Toshiya Kojima, Mariappan Murugesan, Ji-Chel Bea, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Micromachines

      巻: Vol.2 ページ: 49-68

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] 三次元積層型集積回路のための自己組織化チップ位置合わ せ技術2010

    • 著者名/発表者名
      岩田永司, 福島誉史 , 大原悠希, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 雑誌名

      電子情報通信学会 和文誌C

      巻: J93-C ページ: 493-502

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [雑誌論文] 3次元積層型集積回路に向けた自己組織化チップ実装技術2010

    • 著者名/発表者名
      福島誉史、李康旭、田中徹、小柳光正
    • 雑誌名

      電子材料

      巻: Vol.49 ページ: 17-24

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Surface tension-driven chip self-assembly with load-free hydrogen fluoride-assisted direct bonding at room temperature for three-dimensional integrated circuits2010

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushima, E.Iwata, T.Konno, K.-W.Lee, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 96(accepted)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] Cu Filling Characteristics in Through-Si Via Holes by Electroless Plating with Addition of Inhibitors2009

    • 著者名/発表者名
      F.Inoue, M.Koyanagi, T.Fukushima, K.Yamamoto, S.Tanaka, Z.wang, S.Shingubara
    • 雑誌名

      ECS Transactions 16

      ページ: 27-32

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] Formation of high density tungsten nanodots embedded in silicon nitride for nonvolatile memory application2009

    • 著者名/発表者名
      Yanli Pei, Chengkuan Yin, Masahiko Nishijima, Toshiya Kojima, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 94

      ページ: 63108-63108

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] Memory Characteristics of Metal-Oxide-Semiconductor Capacitor with High Density Cobalt Nanodots Floating Gate and HfO2 Blocking Dielectric2009

    • 著者名/発表者名
      Yanli Pei, Chengkuan Yin, Toshiya Kojima, Masahiko Nishijima, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 95

      ページ: 33118-33118

    • NAID

      120003728303

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] Electrical Characterization of MOS Memory Devices with Self-Assembled Tungsten Nano-Dots Dispersed in Silicon Nitride2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Pei, C. Yin, M. Nishijima, T. Kojima, H. Nohira, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      ECS Trans. 18

      ページ: 33-37

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] Three-Dimensional Integration Technology Based on Reconfigured Wafer-to-Wafer and Multichip-to-Wafer Stacking Using Self-Assembly Method2009

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Eiji Iwata, Yuki Ohara, Akihiro Noriki, Kiyoshi Inamura, Kang-Wook Lee, Jicheol Bea, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE IEDM Technical Digest

      ページ: 349-352

    • NAID

      110008001112

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] Characteristics of copper spiral inductors utilizing FePtnano-dots film2009

    • 著者名/発表者名
      W. -C. Jeong, K. Kiyoyama, K. -W. Lee, A. Noriki, M. Murugesan, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.48,No.4

    • NAID

      210000066668

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] 三次元積層型チップのためのSi貫通ビア(TSV)形成技術2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 雑誌名

      エレクトロニクス実装学会誌 12

      ページ: 104-109

    • NAID

      110007122665

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] High-Density Through Silicon Vias for 3-D LSIs2009

    • 著者名/発表者名
      Mitsumasa Koyanagi, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 雑誌名

      Proceedings of the IEEE Vol.97

      ページ: 49-59

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] Optical Interposer Technology using Buried Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser Chip and Tapered Through-Silicon Via for High-Speed Chip-to-Chip Optical Interconnection2009

    • 著者名/発表者名
      Akihiro Noriki, Makoto Fujiwara, Kang-Wook Lee, Woo-Cheol Jeong, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.48

    • NAID

      210000066624

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] Optical Interposer Technology using Buried Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser Chip and Tapered Through-Silicon Via for High-Speed Chip-to-Chip Optical Interconnection2009

    • 著者名/発表者名
      Akihiro Noriki, Makoto Fujiwara, Kang-Wook Lee, Woo-Cheol Jeong, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 48

    • NAID

      210000066624

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] 三次元積層型チップのためのSi貫通ビア(Tsv)形成技術2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 雑誌名

      エレクトロニクス実装学会誌 12

      ページ: 105-109

    • NAID

      110007122665

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] 三次元積層型チップのためのSi貫通ビア(TSV)形成技術2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 雑誌名

      エレクトロニクス実装学会誌 Vol.12

      ページ: 105-109

    • NAID

      110007122665

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] Cu Filling Characteristics in Through-Si Via Holes by Electroless Plating with Addition of Inhibitors2009

    • 著者名/発表者名
      F. Inoue, M. Koyanagi, T. Fukushima, K. Yamamoto, S. Tanaka, Z. wang, S. Shingubara
    • 雑誌名

      ECS Transactions Vol.16

      ページ: 27-32

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] Characteristics of copper spiral inductors utilizing FePtnano-dots film2009

    • 著者名/発表者名
      W.-C.Jeong, K.Kiyoyama, K.-W.Lee, A.Noriki, M.Murugesan, T.Fukushima, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 48

    • NAID

      210000066668

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] Optical Interposer Technology Using Buried Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser Chip and Tapered Through-Silicon Via for High-Speed Chip-to-Chip Optical Interconnection2009

    • 著者名/発表者名
      Akihiro Noriki, Makoto Fujiwara, Kang-Wook Lee, Woo-Cheol Jeong, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 48

    • NAID

      210000066624

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Characteristicsof copper spiral inductors utilizing FePtnano-dots film2009

    • 著者名/発表者名
      W.-C. Jeong, K. Kiyoyama, K.-W. Lee, A. Noriki, M. Murugesan, T. Fukushima, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics C157-1C157-4

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360153
  • [雑誌論文] Formation of high density tungsten nanodots embedded in silicon nitride for nonvolatile memory application2009

    • 著者名/発表者名
      Yanli Pei, Chengkuan Yin, Masahiko Nishijima, Toshiya Kojima, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 94

      ページ: 63108-63108

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] Fundamental Study of Complementary Metal Oxide Semiconductor Image Sensor for Three-Dimensional Image Processing System2009

    • 著者名/発表者名
      Kenji Makita, Kouji Kiyoyama, Takeaki Sugimura, Kang Wook Lee, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 48

    • NAID

      210000066588

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] MOSFET Nonvolatile Memory with High Density Tungsten Nanodots Floating Gate Formed by Self-Assembled Nanodot Deposition2009

    • 著者名/発表者名
      Y Pei, C Yin, J C Bea, H Kino, T Fukushima, T Tanaka, M Koyanagi
    • 雑誌名

      Semiconductor Science and Technology 24

      ページ: 45022-45022

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] Memory Characteristics of Metal-Oxide-Semiconductor Capacitor with High Density Cobalt Nanodots Floating Gate and HfO2 Blocking Dielectric2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Pei, C. Yin, T. Kojima, M. Nishijima, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letter 95

      ページ: 33118-33118

    • NAID

      120003728303

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] Optical Interposer Technology Using Buried Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser Chip and Tapered Through-Silicon Via for High-Speed Chip-to-Chip Optical Interconnection2009

    • 著者名/発表者名
      Akihiro Noriki, Makoto Fujiwara, Kang-Wook Lee, Woo-Cheol Jeong, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: VOL.48 号: 4S ページ: 04C113-04C113

    • DOI

      10.1143/jjap.48.04c113

    • NAID

      210000066624

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Formation of high density tungsten nanodots embedded in silicon nitride for nonvolatile memory application2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Pei, C. Yin, M. Nishijima, T. Kojima, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letter 94

      ページ: 63108-63108

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] High-Density Through Silicon Vias for 3-D LSIs2009

    • 著者名/発表者名
      MITSUMASA KOYANAGI, TAKAFUMI FUKUSHIMA, TETSU TANAKA
    • 雑誌名

      Proceedings of THE IEEE 97

      ページ: 49-59

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [雑誌論文] Memory characteristics of self-assembled tungsten nanodots dispersed in silicon nitride2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Pei, M. Nishijima, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letter 93

      ページ: 113115-113117

    • NAID

      120002338347

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] Low-Loss Optical Interposer with Recessed Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser Diode and Photodiode Chips into Si Substrate2008

    • 著者名/発表者名
      Makoto Fujiwara, Shinsuke Terada, Yoji Shirato, Hiroshi Owari, Kei Watanabe, Mutsuhiro Matsuyama, Keizo Takahama, Tetsuya. Mori, Kenji Miyao, Koji Choki, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.47

      ページ: 2936-2940

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] Investigation of the effect of in situ annealing of FePt nanodots under high vacuum on the chemical states of Fe and Pt by x-ray photoelectron spectroscopy2008

    • 著者名/発表者名
      M. Murugesan, J.C. Bea, C. -K. Yin, H. Nohira, E. Ikenaga, T. Hattori, M. Nishijima, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Miyao, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 104

      ページ: 74316-74316

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] "Electrical Characterization of Metal-Oxide-Semiconductor Memory Devices with High-Density Self-Assembled Tungsten Nanodots2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Pei, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 47

      ページ: 2680-2683

    • NAID

      210000064565

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] Memory characteristics of self-assembled tungsten nanodots dispersed in silicon nitride2008

    • 著者名/発表者名
      Yanli Pei, Masahiko Nishijima, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 93

      ページ: 113115-113117

    • NAID

      120002338347

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] New Heterogeneous Multi-Chip Module Integration Technology Using Self-Assembly Method2008

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, T. Konno, K. Kiyoyama, M. Murugesan, K. Sato, W. -C. Jeong, Y. Ohara, Noriki, S. Kanno, Y. Kaiho, H. Kino, K. Makita, R. Kobayashi, C. -K. Yin, K. Inamura, K. -W. Lee, J. -C. Bea, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      International Electron Devices Meeting (IEDM) Technical Digest

      ページ: 499-502

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] 自己組織化ウェーハ張り合わせによる三次元集積化技術2008

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 雑誌名

      応用物理学会分科会 シリコンテクノロジー「多層配線」特集号 No.99

      ページ: 34-37

    • NAID

      110006935847

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] New Heterogeneous Multi-Chip Module Integration Technology Using SelfAssembly Method2008

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 雑誌名

      International Electron Devices Meeting(IEDM) Technical Digest

      ページ: 499-502

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] Investigation of the effect of in situ annealing of FePt nanodots under high vacuum on the chemical states of Fe and Pt by x-ray photoelectron spectroscopy2008

    • 著者名/発表者名
      M. Murugesan, J.C. Bea, C.-K. Yin, H. Nohira, E. Ikenaga, T. Hattori, M. Nishijima, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Miyao, and M. Koyanagi
    • 雑誌名

      JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 104

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360153
  • [雑誌論文] 自己組織化ウェーハ張り合わせによる三次元集積化技術2008

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 雑誌名

      応用物理学会分科会シリコンテクノロジー「多層配線」特集号 No.99

      ページ: 34-37

    • NAID

      110006935847

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] Electrical Characterization of Metal-Oxide-Semiconductor Memory Devices with High-Density Self-Assembled Tungsten Nanodots2008

    • 著者名/発表者名
      Yanli Pei, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 47

      ページ: 2680-2683

    • NAID

      210000064565

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] Tungsten Through-Silicon Via Technology for Three-Dimensional LSIs2008

    • 著者名/発表者名
      H. Kikuchi, Y. Yamada, A.M. Ali, J. Liang, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.47

      ページ: 2801-2806

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Based on Reconfigured Wafer-on-Wafer Bonding Technique2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 雑誌名

      IEEE International Electron Devices Meeting

      ページ: 985-988

    • NAID

      120002070107

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Based on Reconfigured Wafer-on-Wafer Bonding Technique2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Hirokazu Kikuchi, Yusuke Yamada, Takayuki Konno, Jun Liang, Keiichi Sasaki, Kiyoshi Inamura, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      International Electron Devices Meeting (IEDM) Technical Digest

      ページ: 985-988

    • NAID

      120002070107

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Based on Reconfigured Wafer-on-Wafer Bonding Technique2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 雑誌名

      International Electron Devices Meeting (IEDM) Technical Digest

      ページ: 985-988

    • NAID

      120002070107

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [雑誌論文] New Magnetic Nanodot Memory with FePt Nanodots2007

    • 著者名/発表者名
      C. Yin, M. Murugesan, J. Bea, M. Oogane, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Miyao, S. Samukawa, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 46

      ページ: 2167-2171

    • NAID

      10022547399

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Based on Reconfigured Wafer-on-Wafer Bonding Technique2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi, Fukushima
    • 雑誌名

      IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) Tech. Dig.

      ページ: 985-988

    • NAID

      120002070107

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [雑誌論文] Effect of Ion Implantation Damage on Elevated Source/Drain Formation for Ultrathin Body Silicon on Insulator Metal Oxide Semiconductor Field-Effect Transistor2006

    • 著者名/発表者名
      K. Oh, T. Sakaguchi, T. Fukushima, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.45

      ページ: 2965-2969

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Using Chip-to-Wafer Bonding to Achieve Ultimate Super-Chip Integration2006

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics (JJAP) 45(4B)

      ページ: 3030-3035

    • NAID

      10022540983

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760245
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Using Chip-to-Wafer Bonding to Achieve Ultimate Super-Chip Integration2006

    • 著者名/発表者名
      Takafumi FUKUSHIMA
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol. 45, No. 4B

      ページ: 3030-3035

    • NAID

      10022540983

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [雑誌論文] Analysis of GOI-MOSFET with High-k Gate Dielectric and Metal Gate Fabricated by Ge Condensation Technique2006

    • 著者名/発表者名
      M. Park, J. Bea, T. Fukushima, M. Koyanagi
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis 38,12-13

      ページ: 1720-1724

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Using Chip-to-Wafer Bonding to Achieve Ultimate Super-Chip Integration2006

    • 著者名/発表者名
      Takafumi FUKUSHIMA
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.45,No.4B

      ページ: 3032-3035

    • NAID

      10022540983

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Using Chip-to-Wafer Bonding to Achieve Ultimate Super-Chip Integration2006

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Yusuke Yamada, Hirokazu Kikuchi, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Japan Journal of Applied Physics (JJAP) 45(4B)(In press)

    • NAID

      10022540983

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760245
  • [雑誌論文] Ultimate Super-Chip Integration Based on Chip-to-Wafer Three-Dimensional Integration Technology2006

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 雑誌名

      Manuscript of International Conference on Electronics Packaging (ICEP)

      ページ: 220-224

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760245
  • [雑誌論文] Nickel Germanide Formation on Condensed Ge Layer for Ge-on-Insulator Device Application2006

    • 著者名/発表者名
      H. Choi, M. Park, T. Fukushima, M. Koyanagki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45

      ページ: 2984-2986

    • NAID

      10022542578

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Using Chip-to-Wafer Bonding to Achieve Ultimate Super-Chip Integration2006

    • 著者名/発表者名
      Takafumi FUKUSHIMA
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol. 45

      ページ: 3030-3035

    • NAID

      10022540983

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Using Self-Assembly Technique2005

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 雑誌名

      IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) Tech. Dig.

      ページ: 359-362

    • NAID

      120002070106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Using Self-Assembly Technique2005

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushima, Y.Yamada, H.Kikuchi, M.Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) Technical Digest

      ページ: 359-362

    • NAID

      120002070106

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Using Chip-to-Wafer Bonding to Achieve Ultimate Super Chip Integration2005

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Yusuke Yamada, Hirokazu Kikuchi, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of SSDM International Conf.on Solid State Devices and Materials

      ページ: 64-65

    • NAID

      10022540983

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760245
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Using Self-Assembly Technique2005

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 雑誌名

      IEEE International Electron Device Meeting (IEDM) Tech. Dig.

      ページ: 359-362

    • NAID

      120002070106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Using Chip-to-Wafer Bonding to Achieve Ultimate Super Chip Integration2005

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Yusuke Yamada, Mitsumasa Koyanagi, et al.
    • 雑誌名

      The 2005 International Conference on Solid State Devices and Materials

      ページ: 64-65

    • NAID

      10022540983

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [雑誌論文] New Three-Dimensional Integration Technology Using Self-Assembly Technique2005

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Yusuke Yamada, Hirokazu Kikuchi, Mitsumasa Koyanagi
    • 雑誌名

      IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) Technical Digest

      ページ: 359-362

    • NAID

      120002070106

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17760245
  • [産業財産権] 東北大学, 半導体装置の製造方法、半導体装置を備えた装置の製造方法、半導体装置、半導体装置を備えた装置2020

    • 発明者名
      福島誉史, 田中徹, 木野久志, 煤孫祐樹
    • 権利者名
      福島誉史, 田中徹, 木野久志, 煤孫祐樹
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2020
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [産業財産権] 半導体装置およびその製造方法2014

    • 発明者名
      小柳光正、福島誉史、李康旭、田中徹
    • 権利者名
      小柳光正、福島誉史、李康旭、田中徹
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2014-098449
    • 出願年月日
      2014-05-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630118
  • [産業財産権] 半導体装置2014

    • 発明者名
      鈴木拓、北村康宏、浅見一志、小柳光正、福島誉史、李康旭
    • 権利者名
      東北大学、(株)デンソー
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2014-053473
    • 出願年月日
      2014-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [産業財産権] 半導体装置2014

    • 発明者名
      鈴木 拓、北村 康宏、浅見 一志、小柳 光正、福島 誉史、李 康旭
    • 権利者名
      東北大学、㈱ デンソー
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2014-053473
    • 出願年月日
      2014-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [産業財産権] チップ支持基板、チップ支持方法、三次元集積回路、アセンブリ装置及び三次元集積回路の製造方法2013

    • 発明者名
      小柳光正、福島誉史、田中徹
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2013-09-13
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [産業財産権] チップ支持基板、チップ支持方法、三次元集積回路、アセンブリ装置及び三次元集積回路の製造方法2013

    • 発明者名
      小柳 光正、福島 誉史、田中 徹
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2013-09-13
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [産業財産権] 素子の実装方法および光モジュール2012

    • 発明者名
      小柳光正、田中徹、福島誉史、伊藤有香
    • 権利者名
      国立大学法人東北大学、住友ベークライト株式会社
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2012-202275
    • 出願年月日
      2012-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [産業財産権] チップ支持基板、それを用いた三次元集積回路及びそれらの製造方法並びにアセンブリ装置2012

    • 発明者名
      小柳光正、福島誉史、田中徹
    • 権利者名
      国立大学法人東北大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2012-209003
    • 出願年月日
      2012-09-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [産業財産権] 自己組織化機能を用いた三次元集積回路の製造方法及び製造装置2009

    • 発明者名
      小柳光正, 福島誉史, 杉山雅彦
    • 権利者名
      東北大学, 東京エレクトロン
    • 産業財産権番号
      2009-095241
    • 出願年月日
      2009-04-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [産業財産権] 一括保持トレイ及び三次元集積回路製造装2009

    • 発明者名
      小柳光正、福島誉史、杉山雅彦
    • 権利者名
      東京エレクトロン株式会社
    • 産業財産権番号
      2009-095241
    • 出願年月日
      2009-04-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [産業財産権] 自己組織化機能を用いた三次元集積回路の製造方法2009

    • 発明者名
      小柳光正, 福島誉史, 杉山雅彦
    • 権利者名
      東北大学, 東京エレクトロン
    • 産業財産権番号
      2009-070769
    • 出願年月日
      2009-03-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 先端3D実装の現状・新展開とTohoku CHIPSの紹介2024

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      一般社団法人 日本実装技術振興協会主催 第225回WEB定例講演会 (プログラムテーマ『未来の産業を担う三次元積層半導体(3D-IC)』
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [学会発表] 3Dパッケージング・チップレット集積化技術の最新動向2024

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      特定非営利活動法人サーキットネットワーク(通称:C-NET)主催 第24回定期講演会(講演会テーマ:電子立国ニッポンの復活に向けて(PartⅣ)~救世主となる半導体の動向~)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [学会発表] チップレット集積から見た材料への要求2024

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会 材料環境技術委員会主催 公開研究会「世界をリードする3Dパッケージの材料技術」
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] チップレット/ヘテロ集積を中心とする先端半導体パッケージング技術の動向2024

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      公益社団法人化学工学会エレクトロニクス部会主催研究会「情報爆発と省エネの両立に向けた半導体デバイス・プロセスの新潮流」
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] Feasibility Study of Self-Assembly Technology for DRAM Chip Stacking Using Hybrid Bonding (ハイブリッド接合を用いたDRAMチップ積層のための自己組織化実装技術の基礎検討)” 第38回エレクトロニクス実装学会講演大会, pp.201-202, 2024年3月,2024

    • 著者名/発表者名
      Du Zehua, Hiroshi Kikuchi, Hayato Hishinuma, Tetsu Tanaka, Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      第38回エレクトロニクス実装学会講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [学会発表] 3Dパッケージング・チップレット集積化技術の最新動向2024

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      特定非営利活動法人サーキットネットワーク(通称:C-NET)主催 第24回定期講演会(講演会テーマ:電子立国ニッポンの復活に向けて(PartⅣ)~救世主となる半導体の動向~)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] * 3D Interconnect Technology with Serpentine and Trapezoidal Corrugation Using a Flexible Photosensitive Dielectric to Strengthen the Bendability of FHE2024

    • 著者名/発表者名
      C. Liu, J. Shen, A. Shinoda, H. Zhang, T. Tanaka, and T. Fukushima
    • 学会等名
      Proceedings of the 73rd Electronic Components and Technology Conference (ECTC 2024)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] 高い画像認識性能を有する三次元積層人工網膜チップの作製2024

    • 著者名/発表者名
      篠田敦志, 劉暢, 冨永晃洋, 田中徹, 福島誉史
    • 学会等名
      第38回エレクトロニクス実装学会講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [学会発表] 先端3D実装の現状・新展開とTohoku CHIPSの紹介2024

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      一般社団法人 日本実装技術振興協会主催 第225回WEB定例講演会 (プログラムテーマ『未来の産業を担う三次元積層半導体(3D-IC)』
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] チップレット集積から見た材料への要求2024

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会 材料環境技術委員会主催 公開研究会「世界をリードする3Dパッケージの材料技術」
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [学会発表] Assembly-based Through-X Via (TXV) Integration Technology by Advanced Fan-Out Wafer-Level Packaging2023

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Shinoda, Yuki Susumago, Chang Liu, Jiayi Shen, Tadaaki Hoshi, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      The 71st Electronic Components and Technology Conference (ECTC 2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [学会発表] Smart Skin Display の要素技術研究III: 銅ピラーのアセンブリによるTXV 形成とフレキシブル配線の細線化2023

    • 著者名/発表者名
      篠田 敦志, 煤孫 祐樹, 劉 暢, 星 匡朗, 申 家屹,木野 久志, 田中 徹, 福島 誉史
    • 学会等名
      2023年第70回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 (2023 上智大学 四谷キャンパス+オンライン)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [学会発表] Flexible FOWLP-based 3D Heterogeneous Integration for Biomedical/Healthcare FHE Application2023

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Materials Research Society-Taiwan International Conference (2023 MRSTIC)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [学会発表] 銅ピラーのアセンブリを用いたFOWLPによるTXV形成と曲げ特性の強化2023

    • 著者名/発表者名
      篠田 敦志, 冨永 晃洋, 木野 久志, 田中 徹, 福島 誉史
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [学会発表] Technology Trends in Advanced Semiconductor Packaging and 3D-IC / Chiplet2023

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      15th International Electronic Cooling Technology Workshop
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [学会発表] * High-Bendable 3D Corrugated Interconnections for Chiplet-Embedded Flexible Hybrid Electronics Using Wafer-Level Packaging2023

    • 著者名/発表者名
      Chang Liu, Tadaaki Hoshi, Jiayi Shen, Atsushi Shinoda, Zehua Du, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2022 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] 短TATを実現する3D-ICのラピッドプロトタイピングと最新技術2023

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      くまもと3D連携コンソーシアム 第2回オープンセミナー
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [学会発表] チップレット/ヘテロ集積を中心とする先端半導体パッケージング技術の動向2023

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      公益社団法人化学工学会エレクトロニクス部会主催研究会「情報爆発と省エネの両立に向けた半導体デバイス・プロセスの新潮流」
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [学会発表] Negative-Thermal-Expansion Gate Electrode to Introduce Tensile Strain into the Channel of MOSFETs for Mobility Enhancement2023

    • 著者名/発表者名
      Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2023 7th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference (EDTM)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02193
  • [学会発表] 短TATを実現する3D-ICのラピッドプロトタイピングと最新技術2023

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      くまもと3D連携コンソーシアム 第2回オープンセミナー
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] Flexible FOWLP-based 3D Heterogeneous Integration for Biomedical/Healthcare FHE Application2023

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Materials Research Society-Taiwan International Conference (2023 MRSTIC)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] Technology Trends in Advanced Semiconductor Packaging and 3D-IC / Chiplet2023

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      15th International Electronic Cooling Technology Worksho
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] 東北大発 三次元集積・三次元実装の最新技術動向と中工程の重要性2023

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      半導体セミナー(みやぎ高度電子機械産業振興協議会とエレクトロニクス実装学会が共催
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [学会発表] FOWLP-based Flexible Hybrid Electronics II: Heterogeneous Integration Technology of Micro-LEDs on 3D-IC for Smart Skin Display2023

    • 著者名/発表者名
      Jiayi Shen, Chang Liu, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      IEEE Components, Packaging and Manufacturing Technology (CPMT) Symposium Japan (ICSJ)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] Impact of Super-long-throw PVD on TSV Metallization and Die-to-Wafer 3D Integration Based on Via-last2023

    • 著者名/発表者名
      J. Shen, C. Liu, T. Hoshi, A. Shinoda, H. Kino, T. Tetsu, M. Murugesan, M. Koyanagi, and T. Fukushima
    • 学会等名
      IEEE 3D System Integration Conference (3DIC 2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] A 3D Super Chip Concept to Build a New Era of Chiplets and Heterogeneous Integration2023

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      2023 International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2023)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] Flexible FOWLP-based 3D Heterogeneous Integration for Biomedical/Healthcare FHE Application2023

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Materials Research Society-Taiwan International Conference (2023 MRSTIC)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] ハイドロゲルFHEデバイスのためのRDL-first Multichip-to-Wafer集積技術2023

    • 著者名/発表者名
      星 匡朗, 西口 大智, 木野 久志, 田中 徹, 福島 誉史
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] High-Bendable 3D Corrugated Interconnections for Chiplet-Embedded Flexible Hybrid Electronics (FHE) Using Wafer-Level Packaging2023

    • 著者名/発表者名
      Chang Liu, Tadaaki Hoshi, Jiayi Shen, Atsushi Shinoda, Zehua Du, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Tak Fukushima
    • 学会等名
      The 4th UCLA CHIPS Workshop (CHIPS: Center for Heterogeneous Integration and Performance Scaling
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] 東北大発 三次元集積・三次元実装の最新技術動向と中工程の重要性2023

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      半導体セミナー(みやぎ高度電子機械産業振興協議会とエレクトロニクス実装学会が共催)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] Advanced Packaging Methods Used for Energy Storage from Intermittent Renewable Sources2023

    • 著者名/発表者名
      Tak Fukushima*, Niharika Tripathi, Harshit Ranjan, Tianyu Xiang, Chang Liu, Guangqi Ouyang, Randall Irwin, and Subramanian S. Iyer
    • 学会等名
      The 4th UCLA CHIPS Workshop (CHIPS: Center for Heterogeneous Integration and Performance Scaling
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23KK0071
  • [学会発表] A 3D Super Chip Concept to Build a New Era of Chiplets and Heterogeneous Integration2023

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      2023 International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2023)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18291
  • [学会発表] A Finite Element Study of Stretchable Corrugated Interconnections on Chiplet-Embedded Flexible Hybrid Electronics2022

    • 著者名/発表者名
      Chang Liu, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Flex2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] 先端半導体パッケージング技術で創るインモールド・フレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクス(iFHE)2022

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会(JIEP)  電子部品・実装技術委員会 プリンタブルデバイス研究会主催
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] In-mold Flexible Hybrid Electronics (iFHE) Based on Holistic System Integration with FOWLP, 3D-IC/TSV, and Chiplets2022

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      The 20th International Symposium on the Physics of Semiconductors and Applications (ISPSA 2022), Session 8. Industrial semiconductor applications (ISA),
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] 埋込型医療機器向け無線給電の設計2022

    • 著者名/発表者名
      清山 浩司, 福島 誉史, 木野 久志, 田中 徹
    • 学会等名
      2022年度 電子情報通信学会総合大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] Simulation and Experimental Study of Stretchable 3D Corrugated Interconnections for Chiplet- Embedded Flexible Hybrid Electronics Using Wafer-Level Packaging2022

    • 著者名/発表者名
      Tadaaki Hoshi, Yuki Susumago, Liu Chang, Atsushi Shinoda, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2022 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] Failure Analyses and Yield Enhancement of Electroplated Cu Direct Bonding for Heterogeneous 3D and Micro-LED Integration2022

    • 著者名/発表者名
      Yuki Susumago, Tadaaki Hoshi, Chang Liu, Atsushi Shinoda, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2022 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] 三次元実装/TSV を基盤とした ヘテロインテグレーション技術の研究開発動向2022

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      2022年度 電子情報通信学会総合大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] A Finite Element Study of Stretchable Corrugated Interconnections on Chiplet-Embedded Flexible Hybrid Electronics2022

    • 著者名/発表者名
      Chang Liu, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Flex2022 (2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] Room-Temperature Cu Direct Bonding Technology Enabling 3D Integration with Micro-LEDs2022

    • 著者名/発表者名
      Yuki Susumago, Shunsuke Arayama, Tadaaki Hoshi, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Proceedings of the 71st Electronic Components and Technology Conference (ECTC 2024)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] Fabrication and Characterization of Through-X Via (TXV) for Smart Skin Display2022

    • 著者名/発表者名
      Chang Liu, Tadaaki Hoshi, Jiayi Shen, Atsushi Shinoda, Zehua Du, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Tak Fukushima
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2022 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] Simulation and Experimental Study of Stretchable 3D Corrugated Interconnections for Chiplet- Embedded Flexible Hybrid Electronics Using Wafer-Level Packaging2022

    • 著者名/発表者名
      Liu Chang, Yuki Susumago, Tadaaki Hoshi, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      2022 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM), 715-716(2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] 新たな実装技術で創るフレキシブルデバイス「インモールド・フレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクス(iFHE)」2022

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      一般社団法人日本電子回路工業会(JPCA)主催「電子機器トータルソリューション展2022 (旧JPCA Show 2022)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] Developing a Low-Temperature Flip-Chip Bonding Technology with In/Au Microbumps to Suppress the Thermal Load on Spintronics Devices2022

    • 著者名/発表者名
      Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2022 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02193
  • [学会発表] Die-first and RDL-first FOWLP Processing for Flexible Hybrid Electronics2021

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Yuki Susumago, Noriyuki Takahashi, Hisashi Kino, and Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      IMAPS (International Microelectronics Assembly and Packaging Society) 17th International Conference on Device Packaging, 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] Wafer-Level Flexible 3D Corrugated Interconnect Formation for Scalable In-Mold Electronics with Embedded Chiplets2021

    • 著者名/発表者名
      Tomo Odashima, Yuki Susumago, Shuta Nagata, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and T. Fukushima
    • 学会等名
      Proceedings of the 71st Electronic Components and Technology Conference (ECTC 2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] 3-Color Micro-LED Integration for Flexible Display Based on Die-First Fan-Out Wafer-Level Packaging Technology2021

    • 著者名/発表者名
      Zhe Wang, Ikumi Ozawa, Yuki Susumago, Tomo Odashima, Noriyuki Takahashi, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Flexible In-Mold Electronics: Advanced FHE Technologies and Applications2021

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      2021FLEX
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] In-Mold Flexible Hybrid Electronics (FHE) Based on Advanced Wafer-Level Packaging with Chiplets2021

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      The 34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] 東北大発3D-IC 試作製造拠点GINTI の取り組みと多様化する先端半導体パッケージングの動向2021

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      日本実装技術振興協会主催 第213 回定例講演会『先端半導体後工程(More than Moore)技術』
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K20992
  • [学会発表] Wafer-Level 3D Wrinkling Interconnect Formation for Scalable Flexible In-Mold Electronics2021

    • 著者名/発表者名
      Shuta Nagata and Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Flex2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] ホリスティック・システム・インテグレーションに向けた三次元実装の技術動向と課題2021

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会(JIEP) 先端ファブリケーション研究会主催 第8回公開研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] Chiplet-Based Advanced Packaging Technology from 3D/TSV to FOWLP/FHE2021

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      The 2021 Symposia on VLSI Technology and Circuits, Technology / Circuits Joint Focus Session
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] 3-Color Micro-LED Integration for Flexible Display Based on Die-First Fan-Out Wafer-Level Packaging Technology2021

    • 著者名/発表者名
      Zhe Wang, Yuki Susumago, Tomo Odashima, Noriyuki Takahashi, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演予稿集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] Hydrogel-Based FHE Patch Using RDL-first FOWLP for UV Sterilization2021

    • 著者名/発表者名
      Noriyuki Takahashi and Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Flex2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] スマートスキンディスプレイの提案とマイクロLEDの常温Cu直接接合技術2021

    • 著者名/発表者名
      煤孫 祐樹, 王 喆, 小田島 輩, 荒山 俊亮, 星 匡朗, 木野 久志, 田中 徹, 福島 誉史
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] UV-LED内蔵ハイドロゲルフレキシブル基板を用いた殺菌絆創膏の作製と評価2021

    • 著者名/発表者名
      高橋 則之, 煤孫 祐樹, 王 喆, 小田島 輩, 木野 久志, 田中 徹, 福島 誉史
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演予稿集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] 半導体事業を牽引する3D実装の技術動向とホリスティック実装工学の歩み2021

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      よこはま高度実装技術コンソーシアム(YJC)主催 第52回YJC実装技術セミナー
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K20992
  • [学会発表] インモールド・フレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクス(FHE)と医療応用2021

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      NEDIA 第8回 電子デバイスフォーラム京都(2021)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] 3D-IC/TSVの最新動向と自己組織化による三次元実装/ヘテロ集積2021

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      化学工学会エレクトロニクス部会 先端技術シンポジウム: 次世代半導体の展望 ~原理と製造技術~
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K20992
  • [学会発表] Heterogeneous, 3D, & Flexible System Integration Technology Based on Chiplet-on-Wafer Assembly2021

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      電子実装工学研究所(IMSI)接合界面創成技術研究会(LTB-3D 研究会 旧学振191研究会)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] Chiplet-Based Advanced Packaging Technology from 3D/TSV to FOWLP/FHE2021

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      IEEE Solid-State Circuits Society (SSCS) Kansai Chapter 主催「2021 Symposia on VLSI Technology 国内報告会」
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] チップレットを基盤とした三次元集積の技術動向とフレキシブルデバイスの高集積化2021

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      システムデバイスロードマップ委員会(SDRJ)主催 2021年度第4回Beyond CMOS & More Than Moore合同委員会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] FOWLP-Based Flexible Hybrid Electronics with 3D-IC Chiplets for Smart Skin Display2021

    • 著者名/発表者名
      Yuki Susumago, Tomo Odashima, Masatsugu Ichikawa, Hiroki Hanaoka, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Proceedings of the 71st Electronic Components and Technology Conference (ECTC 2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] iFHE: In-Mold Flexible Hybrid Electronics Using Fan-Out Wafer-Level Packaging with Chiplets2021

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      2021 Materials Research Society Taiwan International Conference (MRSTIC2021)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04545
  • [学会発表] チップレット内蔵インモールドエレクトロニクス用フレキシブル基板の細線化2021

    • 著者名/発表者名
      小田島 輩, 煤孫 祐樹, 王 喆, 木野 久志, 田中 徹, 福島 誉史
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] RDL-first Flexible FOWLP Technology with Dielets Embedded in Hydrogel2020

    • 著者名/発表者名
      N. Takahashi, Y. Susumago, S. Lee, H. Kino, T. Tanaka, and T. Fukushima
    • 学会等名
      Proceedings of the 69th Electronic Components and Technology Conference (ECTC 2020)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18841
  • [学会発表] Evaluation of bending stress in Au-wiring formed over FHE by micro-XRD2020

    • 著者名/発表者名
      M. Murugesan, Y. Susumago, T. Odashima, H. Kino, T. Tanaka, K. Sumitani, Y. Imai, S. Kimura, and T. Fukushima
    • 学会等名
      The 2020 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] Die-Level Cu-CMP Technology in Via-Last TSV Process for Multichip-to-Wafer 3D integration2020

    • 著者名/発表者名
      Shuai Liu, Kousei Kumahara, Yuki Miwa , Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2020 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Multilithic 3D and Heterogeneous Integration Using Capillary Self-Assembly2020

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      4th IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] RDL-first Flexible FOWLP Technology with Dielets Embedded in Hydrogel2020

    • 著者名/発表者名
      N. Takahashi, Y. Susumago, S. Lee, H. Kino, T. Tanaka, and T. Fukushima,
    • 学会等名
      The 69th Electronic Components and Technology Conference (ECTC 2020)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] RDL-first Flexible FOWLP Technology with Dielets Embedded in Hydrogel2020

    • 著者名/発表者名
      Noriyuki Takahashi, Yuki Susumago, Sungho Lee, Yuki Miwa, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, Takafumi Fukishima
    • 学会等名
      2020 IEEE 70th Electronic Components and Technology Conference Virtual Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Micro-LED and PPG Sensor Integration Using Flexible Fan-Out Wafer-Level Packaging for Trans-Nail Pulse-Wave/SpO2 Monitoring2020

    • 著者名/発表者名
      Tomo Odashima, Yuki Susumago, Qian Zhengyang, Noriyuki Takahashi, Shuta Nagata, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, and Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      The 2020 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] Evaluation of the Dopant Effects of ZnO-based Transparent Electrode on Electrochemical Characteristics for Biomedical Applications with Optical Devices2020

    • 著者名/発表者名
      Yuki Miwa, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2020 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] 先端ウエハレベルパッケージング技術による新構造FHEの開発2020

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      コンバーティングテクノロジー総合展2020」新機能性材料展 / JFlex / 3次元表面加飾技術展 セミナー
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] Low-temperature multichip-to-wafer 3D integration based on via-last TSV with OER-TEOS-CVD and microbump bonding without solder extrusion2020

    • 著者名/発表者名
      Kousei Kumahara, Rui Liang, Sungho Lee, Yuki Miwa, Mariappan Murugesan, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2020 IEEE 70th Electronic Components and Technology Conference Virtual Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] インモールドエレクトロニクス用フレキシブル三次元波状配線の作製2020

    • 著者名/発表者名
      永田柊太, 木野久志, 田中徹, 福島誉史
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] 7-μm-thick NCF technology with low-height solder microbump bonding for 3D integration2020

    • 著者名/発表者名
      Yuki Miwa, Kousei Kumahara, Sungho Lee, Rui Liang, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2020 IEEE 70th Electronic Components and Technology Conference Virtual Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Directed Self-Assembly Technology with Block Co-polymer/Metal Nanocomposites for Ultrafine-Feature Metallization2020

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      2020 MRS (Material Research Society) Virtual Spring/Fall Meeting & Exhibit, Symposium CT07
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K20992
  • [学会発表] Mechanical and Electrical Characterization of FOWLP-Based Flexible Hybrid Electronics (FHE) for Biomedical Sensor Application2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Susumago, Qian Zhengyang, Achille Jacquemond, Noriyuki Takahashi, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      The 2019 IEEE 69th Electronic Components and Technology Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Development of 3D-IC Embedded Flexible Hybrid System2019

    • 著者名/発表者名
      S. Lee, Y. Susumago, Z. Qian, N. Takahashi, H. Kino, T. Tanaka, and T. Fukushima
    • 学会等名
      2019 International 3D Systems Integration Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] 誘導自己組織化による極微細三次元配線形成技術2019

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      応用物理学会・シリコンテクノロジー分科会多層配線委員会および電子情報通信学会・シリコン材料・デバイス研究会(SDM) 「配線・実装技術と関連材料技術」研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04323
  • [学会発表] Study of Transparent Electrodes for 3D-Stacked Retinal Prosthesis2019

    • 著者名/発表者名
      Michael Proffitt, Tetsu Tanaka, Takafumi Fukushima, Hisashi Kino, Hiroshi Tomita
    • 学会等名
      2019 MRS Spring Meeting
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] 多段階励起による発光現象を用いた光遺伝学用神経プローブの作製2019

    • 著者名/発表者名
      浦山 翔太、島 智大、張 博文、木野 久志、福島 誉史、田中 徹
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Hydrogel-based Flexible Hybrid Electronics Technology for Biomedical Application2019

    • 著者名/発表者名
      N. Takahashi, Y. Susumago, H. Kino, T. Tanaka, and T. Fukushima
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2019 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18841
  • [学会発表] FOWLP-based Flexible Hybrid Sensor Systems with Dieletsand 3D-IC2019

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      The 18th International Symposium on Microelectronics and Packaging and 21st International Conference on Electronic Materials and Packaging (ISMP-EMAP 2019)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19KK0101
  • [学会発表] RDL-first FOWLPによるハイドロゲル用いたFHEのためのチップ内蔵技術2019

    • 著者名/発表者名
      高橋 則之、煤孫 祐樹、木野 久志、田中 徹、福島 誉史
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18841
  • [学会発表] New Flexible Hybrid Electronics Technologies for Biomedical Application2019

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      EMN Meeting on Flexible Electronics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18841
  • [学会発表] Technology Platform Development of Multichip-to-Wafer 3D Integration (2)- SiO2 Liner Technology for Low Temperature TSV Process -2019

    • 著者名/発表者名
      Rui Liang, Sungho Lee, Yuki Miwa, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Mechanical Characterization of FOWLPBased Flexible Hybrid Electronics (FHE) for Biomedical Sensor Application2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Susumago, Achille Jacquemond, N. Takahashi, H. Kino, T. Tanaka, T. Fukushima
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging (ICEP)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18841
  • [学会発表] マイクロLED埋め込み型フレキシブルオプト神経プローブの開発2019

    • 著者名/発表者名
      島 智大, 煤孫 裕樹, 張 博文, 浦山 翔太, 木野 久志, 福島 誉史, 田中 徹
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] チップ内蔵フレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクスの電気特性評価2019

    • 著者名/発表者名
      煤孫 祐樹, Qian Zhengyang, 髙橋 則之, 木野 久志, 田中 徹, 福島 誉史
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18841
  • [学会発表] Multichip-to-Wafer三次元集積化基盤技術の開発 (1)-テンポラリ接着剤を用いた一括チップ薄化技術-2019

    • 著者名/発表者名
      李 晟豪、梁 ザイ、三輪 侑紀、木野 久志、福島 誉史、田中 徹
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] New Flexible Hybrid Electronics (FHE) Using Advanced Wafer-Level Packaging Technology2019

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      International Congress on Advanced Materials Sciences and Engineering 2019 (AMSE-2019)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18841
  • [学会発表] Annealing Effect on Room-Temperature-Deposited SiO2 Liner for Multichip-to-Wafer 3D Integration Process2019

    • 著者名/発表者名
      Rui Liang, Sungho Lee, Yuki Miwa, Kousei Kumahara, Hisashi Kino,Takafumi Fukushima, and Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Noise Propagation through TSV in Mixed-Signal 3D-IC and Investigation of Liner Interface with Multi-Well Structured TSV2019

    • 著者名/発表者名
      Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      The 3rd Electron Devices Technology and Manufacturing (EDTM) Conference 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] RDL-first FOWLPによるハイドロゲル用いたFHEのためのチップ内蔵技術2019

    • 著者名/発表者名
      髙橋則之, 煤孫祐樹, 木野久志, 田中徹, 福島誉史
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Mechanical and Electrical Characterization of FOWLP-Based Flexible Hybrid Electronics (FHE) for Biomedical Sensor Application2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Susumago, Achille Jacquemond, N. Takahashi, H. Kino, T. Tanaka, T. Fukushima
    • 学会等名
      IEEE Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18841
  • [学会発表] Room Temperature SiO2 Liner Technology for Multichip-to-Wafer 3D Integration with Via-last TSV2019

    • 著者名/発表者名
      Rui Liang, Sungho Lee, Yuki Miwa, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, and Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Characterization of Low-Height Solder Microbump Bonding for Fine-Pitch Inter-Chip Connection in 3DICs2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Miwa, Sungho Lee, Rui Liang, Kousei Kumahara, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2019 International 3D Systems Integration Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] ハイドロゲルを用いたフレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクス作製2019

    • 著者名/発表者名
      髙橋則之, 煤孫祐樹, 木野久志, 田中徹, 福島誉史
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18841
  • [学会発表] Mechanical Characterization of FOWLP Based Flexible Hybrid Electronics (FHE) for Biomedical Sensor Application2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Susumago, Achille Jacquemond, Noriyuki Takahashi, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      2019 International Conference on Electronics Packaging ICEP 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Multichip-to-Wafer三次元集積に向けたマイクロバンプ接合技術2019

    • 著者名/発表者名
      熊原 宏征、三輪 侑紀、李 晟豪、梁 ザイ、木野 久志、福島 誉史、田中 徹
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] ハイドロゲルを用いたフレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクス作製2019

    • 著者名/発表者名
      高橋 則之、煤孫 祐樹、木野 久志、田中 徹、福島 誉史
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18841
  • [学会発表] 高密度電極接続を用いた三次元集積のための低背マイクロバンプ接合評価2019

    • 著者名/発表者名
      三輪 侑紀, 李 晟豪, 梁 ザイ, 熊原 宏征, 木野 久志, 福島 誉史, 田中 徹
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Investigation of the Underfill with Negative-Thermal- Expansion Material to Suppress Mechanical Stress in 3D Integration System2019

    • 著者名/発表者名
      Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2019 International 3D Systems Integration Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Impacts of Deposition Temperature and Annealing Condition on Ozone-Ethylene Radical Generation-TEOS-CVD SiO2 for Low-Temperature TSV Liner Formation2019

    • 著者名/発表者名
      Rui Liang, Sungho Lee, Yuki Miwa, Kousei Kumahara,Murugesan Mariappan, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima and Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2019 International 3D Systems Integration Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Multichip-to-Wafer 三次元集積化基盤技術の開発 (3) ―異種機能集積化に向けたマイクロバンプ接合技術―2019

    • 著者名/発表者名
      三輪 侑紀, 李 晟豪, 梁 ザイ, 木野 久志, 福島 誉史, 田中 徹
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] Multichip thinning technology with temporary bonding for multichip-to-wafer 3D integration2019

    • 著者名/発表者名
      Sungho Lee, Rui Liang, Yuki Miwa, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima and Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] スピン塗布型BCBライナー絶縁膜を用いたTSV形成技術2018

    • 著者名/発表者名
      李 晟豪, 菅原 陽平, 伊藤 誠人, 木野 久志, 福島 誉史, 田中 徹
    • 学会等名
      第32回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] 三次元実装とフレキシブルハイブリッドエレクトロニクスに(FHE)向けた取り組み2018

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      第155回有機エレクトロニクス研究センター講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04323
  • [学会発表] テンポラリー接合を用いたマルチリシック集積化技術2018

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      日本学術振興会産学協力研究委員会接合界面創成技術 第191委員会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04323
  • [学会発表] 三次元実装とフレキシブルハイブリッドエレクトロニクスに(FHE)向けた取り組み2018

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      第155回有機エレクトロニクス研究センター講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18841
  • [学会発表] 3D Interconnection by Directed Self-Assembly (DSA) with Metal/Block-Copolymer Nanocomposites2018

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Kick-off Symposium for World Leading Research Centers - Materials Science and Spintronics -
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04323
  • [学会発表] 日本学術振興会産学協力研究委員会 情報科学用有機材料 学振142委員会2018

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      先端三次元積層LSIから高集積FHEへの展開
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04323
  • [学会発表] Capillary Self-Assembly Based Multichip-to-Wafer System Integration Technologies2018

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      International Conference on Manipulation, Automation and Robotics at Small Scales
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] 高集積フレキシブルデバイスシステム作製のための応力緩衝層の評価2018

    • 著者名/発表者名
      煤孫 祐樹, Achille Jacqumond, 高橋 則之, 木野 久志, 田中 徹, 福島 誉史
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18841
  • [学会発表] Charge-Trap-Free Polymer-Liner Through-Silicon Vias for Reliability Improvement of 3D ICs2018

    • 著者名/発表者名
      H. Kino, S. Lee, Y. Sugawara, T. Fukushima, T. Tanaka
    • 学会等名
      21st IEEE International Interconnect Technology Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] TSV Liner Dielectric Technology with Spin-on Low-k Polymer2018

    • 著者名/発表者名
      S. Lee, Y. Sugawara, M. Ito, H. Kino, T. Fukushima, T. Tanaka
    • 学会等名
      2018 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] 先端三次元積層LSIから高集積FHEへの展開2018

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      日本学術振興会産学協力研究委員会 情報科学用有機材料 学振142委員会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18841
  • [学会発表] TSV Liner Dielectric Technology with Spin-on Low-k Polymer2018

    • 著者名/発表者名
      S. Lee, Y. Sugawara, M. Ito, H. Kino, T. Fukushima, T. Tanaka
    • 学会等名
      2018 Japan-Taiwan Workshop on Electronic Interconnection Ⅱ
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H04159
  • [学会発表] 人工知能チップの開発に向けた自己組織化ヘテロ集積技術2018

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      東北大学NICHe戦略セミナーシリーズ(第3回)『考える』イメージ・センサーの将来
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04323
  • [学会発表] DRAMセルアレイを用いた3D-IC内部Cu汚染の高精度評価2018

    • 著者名/発表者名
      谷川 星野, 福島 誉史, 木野 久志, 田中 徹
    • 学会等名
      第32回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] 自己組織化TSV/3次元実装と高集積フレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクス(FHE)技術2018

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      189回定例会 日本実装技術振興協会 高密度実装技術部会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04323
  • [学会発表] Ultrawide range square wave impedance analysis circuit with ultra-slow Ring-Oscillator using gate-induced drain-leakage current2017

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Takezawa, Koji Kiyoyama, Kenji Shimokawa, Zhengyang Qian, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, and Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      The 13th IEEE Biomedical Circuit and Systems Conference 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Temporary Bonding and De-bonding for Multichip-to-Wafer 3D Integration Process Using Spin-on Glass and Hydrogenated Amorphous Si2017

    • 著者名/発表者名
      M. Murugesan, T. Fukushima and M. Koyanagi
    • 学会等名
      2017 IEEE 67th Electronic Components and Technology Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] 3D-IC Technology and Its Application to Fully Implantable Retinal Prosthesis2017

    • 著者名/発表者名
      Tetsu Tanaka, Takafumi Fukushima, Hisashi Kino
    • 学会等名
      14th International Conference on Flow Dynamics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Minimized Hysteresis and Low Parasitic Capacitance TSV with PBO (Polybenzoxazole) Liner to Achieve Ultra-High-Speed Data Transmission2017

    • 著者名/発表者名
      Hisashi Kino, Masataka Tashiro, Yohei Sugawara, Seiya Tanikawa, Takafumi Fukushima, and Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Remarkable Suppression of Local Stress in 3D IC by Manganese Nitride-Based Filler with Large Negative CTE2017

    • 著者名/発表者名
      Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2017 IEEE 67th Electronic Components and Technology Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Characterization of Cu-TSVs Fabricated by a New All-Wet Process2017

    • 著者名/発表者名
      Miao Xiong,Yangyang Yan, Yingtao Ding,Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2017 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] 矩形波インピーダンス計測のためのGIDL電流を用いた低周波リングオシレータの設計と評価2017

    • 著者名/発表者名
      竹澤 好樹, 下川 賢士, 銭正よう, 福島 奨, 木野 久志, 福島 誉史, 清山 浩司, 田中 徹
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Experimental Evaluation of Stimulus Current Generator with Laplacian Edge-enhancement for 3-D Stacked Retinal Prosthesis Chip2017

    • 著者名/発表者名
      Kenji Shimokawa, Zhengyang Qian, Yoshiki Takezawa, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Koji Kiyoyama, and Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      The 13th IEEE Biomedical Circuit and Systems Conference 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Wide-range bioelectrical impedance analysis circuit with GIDL-controlled ultrasmall current and ultralow frequency square wave generator2017

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Takezawa, Kenji Shimokawa, Zhengyang Qian, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Koji Kiyoyama, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2017 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Directed Self-Assembly Patterning for 3D LSI2017

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushimaand M. Koyanagi
    • 学会等名
      INC 2017 Workshop
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] 三次元積層人工網膜チップのためのラプラシアンエッジ強調機能を有する刺激電流生成回路の評価2017

    • 著者名/発表者名
      下川 賢士, 銭 正よう, 竹澤 好樹, 木野 久志, 福島 誉史, 清山 浩司, 田中 徹
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] 3D integration and TSV2016

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      UCLA visiting seminor
    • 発表場所
      ロサンゼルス(米国)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04323
  • [学会発表] Novel W2W/C2W Hybrid Bonding Technology with High Stacking Yield Using Ultra-Fine, Ultra-High Density Cu Nano-Pillar (CNP) for Exascale 2.5D/3D Integration2016

    • 著者名/発表者名
      Kangwook Lee, Chisato Nagai, Jichel Bea, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi, Suresh Ramalingam and Xin Wu
    • 学会等名
      The 66th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      The Cosmopolitan of Las Vegas, Las Vegas, USA
    • 年月日
      2016-05-31
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] DRAMリテンション測定を用いた3DIC局所曲げ応力の影響評価2016

    • 著者名/発表者名
      谷川 星野, 木野久志, 福島 誉史, 田中 徹
    • 学会等名
      2016年第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Self-Assembly Based Multichip-to-Wafer Bonding Technologies for 3D/Hetero Integration2016

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      The Electrochemical Society
    • 発表場所
      ホノルル(米国)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04323
  • [学会発表] Influence of Cu-TSVs, CuSn-and PI- Microbumps on Vertically Stacked 20 Micron-Thick DRAM Chips2016

    • 著者名/発表者名
      Murugesan Mariappan, JiChel Bea, Hiroyuki Hashmoto, KangWook Lee, Mitsumasa Koyanagi, Takafumi Fukushima, Seiya Tanikawa, and Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      The 66th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      The Cosmopolitan of Las Vegas, Las Vegas, USA
    • 年月日
      2016-05-31
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] マルチウェル構造TSVを用いたTSV側壁Si-SiO2界面準位の評価2016

    • 著者名/発表者名
      菅原陽平、木野久志、福島誉史、李康旭、小柳光正、田中徹
    • 学会等名
      2016年第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ、新潟県、新潟市
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Evaluation of Depth-dependent TSV-liner Interface States Using Multi-well Structure TSV and Charge Pumping Technique2016

    • 著者名/発表者名
      Yohei Sugawara, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Mitsumasa Koyanagi, and Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2016 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2016-09-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] 網膜下刺激人工網膜におけるAZO透明刺激電極の基礎評価2016

    • 著者名/発表者名
      下川賢士、後藤大輝、木野久志、福島誉史、田中徹
    • 学会等名
      2016年第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ、新潟県、新潟市
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Self-Assembly Based Multichip-to-Wafer Bonding Technologies for 3D/Hetero Integration2016

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      The Electrochemical Society
    • 発表場所
      ホノルル(米国)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14139
  • [学会発表] Transfer and Non-Transfer 3D Stacking Technologies Based on Chip-to-Wafer Self-Assembly and Direct Bonding2016

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Hideto Hashiguchi, Murugesan Mariappan, Jicheol Bea, Hiroyuki Hashimoto, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, Kangwook Lee, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      The 66th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      The Cosmopolitan of Las Vegas, Las Vegas, USA
    • 年月日
      2016-05-31
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Transfer and Non-Transfer 3D Stacking Technologies Based on Multichip-to-Wafer Self-Assembly and Direct Bonding2016

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Hideto Hashiguchi, Murugesan Mariappan, Jicheol Bea, Hiroyuki Hashimoto, Hisashi Kino,
    • 学会等名
      ECTC: IEEE Electronic Components and Technology Conference
    • 発表場所
      USA(Las Vegas)
    • 年月日
      2016-06-01
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14139
  • [学会発表] Impact of local stress in 3D stacking process on memory retention characteristics in thinned DRAM chip2016

    • 著者名/発表者名
      Seiya Tanikawa, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Mitsumasa Koyanagi, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2016 IEEE International Reliability Physics Symposium(IRPS 2016)
    • 発表場所
      Pasadena Convention Center, Pasadena, USA
    • 年月日
      2016-04-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] 3D IC用ビアラスト/バックサイドビアプロセスにおける高アスペクト比ビア形成がトランジスタに与える影響評価2015

    • 著者名/発表者名
      菅原 陽平, 木野 久志, 福島 誉史, 李康旭, 小柳光正, 田中 徹
    • 学会等名
      2015年第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場、愛知県、名古屋市
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Consideration of Microbump Layout for Reduction of Local Bending Stress Due to CTE Mismatch in 3D IC2015

    • 著者名/発表者名
      Hisashi Kino, Hideto hashiguchi, Seiya Tanikawa, Youhei Sugawara, Shunsuke Ikegaya, Takafumi Fukushima, Mitsumasa Koyanagi, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      IEEE 2015 International 3D Systems Integration Conference (3DIC)
    • 発表場所
      Sendai International Center, Sendai, Japan
    • 年月日
      2015-08-31
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] 高分子材料を用いた三次元集積技術2015

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      第41回YJC実装技術セミナー
    • 発表場所
      神奈川県 横浜市 横浜国立大学
    • 年月日
      2015-06-11
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14139
  • [学会発表] 気相堆積重合によるポリイミド薄膜の形成とシリコン貫通配線への応用2015

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, マリアッパン ムルゲサン, 裵志哲, 李康旭, 小柳光正
    • 学会等名
      第64回高分子討論会
    • 発表場所
      宮城県 仙台市 東北大学 川内キャンパス
    • 年月日
      2015-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14139
  • [学会発表] Transfer and Non-transfer Stacking Technologies Based on Chip-to-wafer Self-assembly for High-throughput and High-precision Alignment and Microbump Bonding2015

    • 著者名/発表者名
      Takafumi FUKUSHIMA, Taku SUZUKI, Hideto HASHIGUCHI, Chisato NAGAI, Jichoel BEA, Hiroyuki HASHIMOTO, Mariappan MURUGESAN, Kang-Wook LEE, Tetsu TANAKA, Kazushi ASAMI, Yasuhiro KITAMURA, and Mitsumasa KOYANAGI
    • 学会等名
      IEEE 2015 International 3D Systems Integration Conference (3DIC)
    • 発表場所
      Sendai International Center, Sendai, Japan
    • 年月日
      2015-08-31
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Mitigating Thermo Mechanical Stress in High-density 3D-LSI Through Dielectric Liners in Cu-Through Silicon Via micro-RS and micro-XRD Study2015

    • 著者名/発表者名
      M. Murugesan, J.C. Bea, H. Hashimoto, K.W. Lee, and M. Koyanagi, T. Fukushima, and T. Tanaka
    • 学会等名
      IEEE 2015 International 3D Systems Integration Conference (3DIC)
    • 発表場所
      Sendai International Center, Sendai, Japan
    • 年月日
      2015-08-31
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Evaluation of 2-D Local Stress Distribution in Stacked IC Chip Using Stress-induced Retention Time Modulation od DRAM Cell Array2015

    • 著者名/発表者名
      Seiya Tanikawa, Hideto Hashiguchi, Yohei Sugawara, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Mitsumasa Koyanagi, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2015 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan
    • 年月日
      2015-09-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Novel Local Stress Evaluation Method in 3D IC Using DRAM Cell Array with Planar MOS Capacitors2015

    • 著者名/発表者名
      Seiya Tanikawa, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Mitsumasa Koyanagi, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      IEEE 2015 International 3D Systems Integration Conference (3DIC)
    • 発表場所
      Sendai International Center, Sendai, Japan
    • 年月日
      2015-08-31
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] 回路動作の発熱によって三次元集積回路内に生成される局所応力の影響に関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      木野 久志, 橋口 日出登, 谷川 星野, 菅原 陽平, 池ヶ谷 俊介, 福島 誉史, 小柳 光正, 田中 徹
    • 学会等名
      第25回マイクロエレクトロニクスシンポジウム MES2015
    • 発表場所
      大阪大学吹田キャンパス、大阪府、吹田市
    • 年月日
      2015-09-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] DRAMセルアレイの電荷保持特性を用いた3DICにおける局所曲げ応力の影響評価2015

    • 著者名/発表者名
      谷川 星野、木野 久志、福島 誉史、小柳 光正、田中 徹
    • 学会等名
      2015年第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場、愛知県、名古屋市
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Reconfigured Multichip-on-wafer (mCoW) Cu/oxide Hybrid Bonding Technology for Ultra-high Density 3D Integration Using Recessed Oxide, Thin Glue Adhesive, and Thin Metal Capping Layers2015

    • 著者名/発表者名
      Kangwook Lee, Chisato Nagai, Ai Nakamura, H. Aizawa, H. Hashiguchi, Jicheol Bea, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE 2015 International 3D Systems Integration Conference (3DIC)
    • 発表場所
      Sendai International Center, Sendai, Japan
    • 年月日
      2015-08-31
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Plasma Assisted Multichip-to-Wafer Direct Bonding Technology for Self-Assembly Based 3D Integration2015

    • 著者名/発表者名
      H. Hashiguchi, H. Yonekura, T. Fukushima, M. Murugesan, H. Kino, K.-W. Lee, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      2015 IEEE 65th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      Sheraton San Diego Hotel & Marina, San Diego, USA
    • 年月日
      2015-05-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Local Stress Effect due to Operation-Heating-Induced Adhesive Expansion on Transistor Performances in 3D IC2015

    • 著者名/発表者名
      Hisashi Kino, Hideto hashiguchi, Seiya Tanikawa, Youhei Sugawara, Shunsuke Ikegaya, Takafumi Fukushima, Mitsumasa Koyanagi, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2015 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan
    • 年月日
      2015-09-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] シリコン貫通配線( TSV )と三次元集積化技術の研究開発動向2015

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史, 李 康旭, 田中 徹, 小柳 光正
    • 学会等名
      第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      朱鷺メッセ 新潟コンベンションセンター、新潟県、新潟市
    • 年月日
      2015-10-28
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Impact of Deep-Via Plasma Etching Process on Transistor Performance in 3D-IC with Via-Last Backside TSV2015

    • 著者名/発表者名
      Yohei Sugawara, Hideto Hashiguchi, Seiya Tanikawa, Hisashi Kino, Kang-Wook Lee, Takafumi Fukushima, Mitsumasa Koyanagi, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2015 IEEE 65th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      Sheraton San Diego Hotel & Marina, San Diego, USA
    • 年月日
      2015-05-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Electroless Nickel Barrier/Seed Layer Deposition on Dielectric Liners for Advanced Cu-TSV Applications2015

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Kazuko Taniguchi, Shigeru Watariguchi, Mariappan Murugesan, Chisato Nagai, Ai Nakamura, Hiroyuki Hashimoto, Ji-Chel Bea, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi, and Kang-Wook Lee
    • 学会等名
      2015 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan
    • 年月日
      2015-09-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] Development of Highly-Reliable Microbump Bonding Technology Using Self-Assembly of NCF-Covered KGDs and Multi-Layer 3D Stacking Challenges2015

    • 著者名/発表者名
      Yuka Ito, Mariappan Murugesan, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Koji Choki, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2015 IEEE 65th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      Sheraton San Diego Hotel & Marina, San Diego, USA
    • 年月日
      2015-05-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H01812
  • [学会発表] 気相堆積重合ポリイミドを用いたTSVライナー形成2014

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      シリコンテクノロジー分科会
    • 発表場所
      東京
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630118
  • [学会発表] 三次元集積化におけるTSV作製プロセスがトランジスタ特性に及ぼす影響評価2014

    • 著者名/発表者名
      菅原陽平, 谷川星野, 橋口日出登, 木野久志, 福島誉史, 李康旭, 小柳光正, 田中徹
    • 学会等名
      平成26年電気学会全国大会
    • 発表場所
      愛媛大学(松山)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] Development of Via-Last 3D Integration Technologies Using a New Temporary Adhesive System2013

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, J. Bea, M. Murugesan, K.-W. Lee, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference 2013
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] 三次元LSI とヘテロインテグレーション2013

    • 著者名/発表者名
      李康旭, 福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      第77回半導体集積回路シンポジウム
    • 発表場所
      東京工業大学, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] 室温硬化型樹脂による3DIC内の機械応力低減に関する検討2013

    • 著者名/発表者名
      木野 久志, 福島 誉史, 小柳 光正, 田中 徹
    • 学会等名
      2013秋季第74 回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京田辺)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] Chip-to-Wafer 3D Stacking Using Self-Assembly and Electrostatic Temporary Bonding/Debonding2013

    • 著者名/発表者名
      H. Hashiguchi, T. Fukushima, J. Bea, H. Kino, K.-W. Lee, T.Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging 2013 (ICEP2013)
    • 発表場所
      Osaka International Convention Center(大阪)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] Flux-Assisted Self-Assembly with Microbump Bonding for 3D Heterogeneous Integration2013

    • 著者名/発表者名
      Yuka Ito, Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Koji Choki, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      63rd Electronic Components and Technology Conference 2013
    • 発表場所
      Las Vegas, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] 三次元LSIとヘテロインテグレーション2013

    • 著者名/発表者名
      李康旭、福島誉史、田中徹、小柳光正
    • 学会等名
      第77回半導体集積回路シンポジウム
    • 発表場所
      東京
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] Revisiting the Silicon-Lattice in the High-Density 3D-LSIs in the Perspective of Device Reliability2013

    • 著者名/発表者名
      85. M. Murugesan, T. Fukushima, J.C. Bea, K.W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) Technical Digest
    • 発表場所
      米国、Washington DC
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630118
  • [学会発表] Low-Temperature and High-Step-Coverage Polyimide TSV Liner Formation by Vapor Deposition Polymerization2013

    • 著者名/発表者名
      165. T. Fukushima, M. Murugesan, J. Bea, K.W. Lee, M. Koyanagi
    • 学会等名
      Extended Abstract of International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 発表場所
      福岡
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630118
  • [学会発表] A Block-Parallel ADC with Digital Noise Cancelling for 3-D Stacked CMOS Image Sensor2013

    • 著者名/発表者名
      K.Kiyoyama, Y.Sato, H.Hashimoto, K-W Lee, T.Fukushima, T.Tanaka, and M.Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference 2013
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] 3D Integration Based on Self-Assembly with Electrostatic Temporary Multichip Bonding2013

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, K-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE Electrical Components Technology Conference (ECTC)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] Local Bending Stress Reduction with Room-Temperature Curing Adhesive for Decrease in Keep-out-Zone (KOZ) of 3D IC2013

    • 著者名/発表者名
      H. Kino, T. Fukushima, K. -W. Lee, M. Koyanagi, T. Tanaka
    • 学会等名
      2013 International Conference on Solid State Materials and Devices(SSDM2013)
    • 発表場所
      Hilton Fukuoka Sea Hawk(福岡)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] 機能性液体を用いた自己組織化チップ実装技術2013

    • 著者名/発表者名
      伊藤有香,福島誉史,李康旭,長木浩司,田中徹,小柳光正
    • 学会等名
      第27回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2013-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Development of 3D Integration Technologies and Recent Challenges2012

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      ADMETA Plus 2012 Advanced MetallizationConference 2012
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-10-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Fabrication Tolerance Evaluation of High Efficient Unidirectional Optical Coupler for Though Silicon Photonic Via in Optoelectronic 3D-LSI2012

    • 著者名/発表者名
      A. Noriki, K. W. Lee, J. Bea, T. Fukushima, T. Tanaka and M. Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference (3DIC) 2011
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2012-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Optoelectronic Heterogeneous Integration Technology, Using Reductant-Assisited Self-Assembly with Cu/Sn Microbump2012

    • 著者名/発表者名
      Yuka Ito, Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Koji Choki, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2012 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012)
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2012-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] Optoelectronic Heterogeneous Integration Technology, Using Reductant-Assisited Self-Assemblywith Cu/Sn Microbump2012

    • 著者名/発表者名
      Yuka Ito, Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Koji Choki, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2012International Conference on Solid StateDevices and Materials (SSDM 2012)
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2012-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Development of 3D Integration Technologies and Recent Challenges2012

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima
    • 学会等名
      ADMETA Plus 2012 Advanced Metallization Conference 2012
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] Wafer-Level 3D Integration Technology Using Self-Assembly2012

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      MSPNEX (International Micro System Packaging Forum)2012
    • 発表場所
      韓国
    • 年月日
      2012-04-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] High Density Cu-TSVs and Reliability Issues2012

    • 著者名/発表者名
      M.Murugesan, H.Kobayashi, T.Fukushima, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference (3DIC) 2011
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2012-02-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] 先端三次元積層型 LSI の技 術動向と展望2012

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      SEMI Forum Japan 2012
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2012-06-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] 3D Integration Technologies Based on Surface-Tension Driven Multi-Chip Self-Assembly Techniques2012

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, K-W. Lee, J-C. Bea, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      the Electro Chemical Society (ESC) Meeting
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] Fabrication Tolerance Evaluation of High Efficient Unidirectional Optical Coupler for Though Silicon Photonic Via in Optoelectronic 3D-LSI2012

    • 著者名/発表者名
      A.Noriki, K.W.Lee, J.Bea, T.Fukushima, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference (3DIC) 2011
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2012-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Chip-to-Wafer 3D Integration Technology Using Hybrid Self-Assembly and Electrostatic Temporary Bonding2012

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, H. Hashiguchi, J. Bea, Y. Ohara, M. Murugesan, K-W. Lee, T. Tanaka and M. Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) 2012
    • 発表場所
      San Francisco (UAS)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] Fabrication Tolerance Evaluation of High Efficient Unidirectional Optical Coupler for Though Silicon Photonic Via in Optoelectronic 3D-LSI2012

    • 著者名/発表者名
      Akihiro Noriki, Kang-Wook Lee, Jicheol Bea, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2012-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] High-Bandwidth Data Transmission of New Transceiver Module Through Optical Interconnection2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Ito, S.Terada, S.Arai, K.Choki, T.Fukushima, M.Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference (3DIC)
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2012-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 3D Integration Technologies Based on Surface-Tension Driven Multi-Chip Self-Assembly Techniques2012

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, K-W. Lee, J-C Bea, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      222nd ECS Meeting: PRiME (Pacific Rim Meeting) 2012
    • 発表場所
      Hawaii (USA)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] W/Cu TSVs for 3D-LSI with Minimum Thermo-Mechanical Stress2012

    • 著者名/発表者名
      M.Murugesan, H.Hashiguchi, H.Kobayashi, T.Fukushima, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference (3DIC) 2011
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2012-02-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] Optoelectronic Heterogeneous Integration Technology, Using Reductant-Assisited Self-Assembly with Cu/Sn Microbump2012

    • 著者名/発表者名
      Yuka Ito, Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Koji Choki, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2012 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012)
    • 発表場所
      京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Self-Assembly-Based 3D Integration Technologies2012

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, J. Bea, M. Murugesan, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      2012 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-05-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] Self-Assembly-Based 3D Integration Technologies2012

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, J. Bea, M. Murugesan, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      2012 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Temporary Bonding Strength Control for Self-Assembly-Based 3D Integration2012

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Yuki Ohara, Jicheol Bea, Mariappan Murugesan, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference (3DIC) 2011
    • 発表場所
      千里ライフサイエンスセンター(大阪)
    • 年月日
      2012-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Temporary Bonding Strength Control for Self-Assembly-Based 3D Integration2012

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Yuki Ohara, Jicheol Bea, Mariappan Murugesan, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference (3DIC) 2011
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2012-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] Temporary Bonding Strength Control for Self-Assembly-Based 3D Integration2012

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Yuki Ohara, Jicheol Bea, Mariappan Murugesan, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference (3DIC) 2011
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2012-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] Wafer-Level 3D Integration TechnologyUsing Self-Assembly2012

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      MSPNEX (International Micro System Packaging Forum)2012
    • 発表場所
      韓国
    • 年月日
      2012-04-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Self-Assembly-Based 3D IntegrationTechnologies2012

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, J. Bea, M. Murugesan, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      2012 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-05-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Chip-to-Wafer 3D Integration Technology Using Hybrid Self-Assembly and Electrostatic Temporary Bonding2012

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, H. Hashiguchi, J. Bea, Y. Ohara, M. Murugesan, K-W. Lee, T. Tanaka and M. Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] Temporary Bonding Strength Control forSelf-Assembly-Based 3D Integration2012

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Yuki Ohara, Jicheol Bea, Mariappan Murugesan, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference (3DIC) 2011
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2012-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Development of 3D Integration Technologies and Recent Challenges2012

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      ADMETA Plus 2012 Advanced Metallization Conference 2012
    • 発表場所
      東京
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] 先端三次元積層型LSIの技術動向と展望2012

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      SEMI Forum Japan 2012
    • 発表場所
      大阪
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] 先端三次元積層型LSIの技術動向と展望2012

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      TSV/3次元積層化技術セミナー
    • 発表場所
      大阪
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] Novel Detachable Bonding Process with Wettability Control of Bonding Surface for Versatile Chip-Level 3D Integration2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohara, K.-W.Lee, T.Fukushima, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference (3DIC) 2011
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2012-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] Development of 3D Integration Technologies and Recent Challenges2012

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      ADMETA Plus 2012 Advanced Metallization Conference 2012
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-10-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] Wafer-Level 3D Integration Technology Using Self-Assembly2012

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      MSPNEX (International Micro System Packaging Forum)2012
    • 発表場所
      韓国ソウル
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] A Very Low Area ADC for 3-D Stacked CMOS Image Processing System2012

    • 著者名/発表者名
      K.Kiyoyama, K.W.Lee, T.Fukushima, H.Naganuma, H.Kobayashi, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference (3DIC) 2011
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2012-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] 狭ピッチ金属マイクロバンプを有するチップの自己組織化実装技術2011

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 岩田永司, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      第25回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      横浜国立大学
    • 年月日
      2011-03-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Self-Assembly Technologies with High-Precision Chip Alignment and Fine-Pitch Microbump Bonding for Advanced Die-to-Wafer 3D Integration2011

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushima, Y.Ohara, M.Murugesan, J.-C.Bea, K.-W.Lee, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      第61回Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      Walt Disney World Swan and Dolphin Resort, Florida, USA
    • 年月日
      2011-06-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Development of 5 μm Diameter Backside Cu TSV Technology for 3D LSI2011

    • 著者名/発表者名
      Yuki Ohara, Yoshitomo Watanabe, Kangwook Lee, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging 2011 (ICEP2011)
    • 発表場所
      Nara, Japan
    • 年月日
      2011-04-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] シリコン貫通光配線を用いた三次元光電子集積化技術2011

    • 著者名/発表者名
      乗木暁博, 李康旭, 裴志哲, 福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      J PCA Show 2011/ラージエレクトロニクスショー2011/2011マイクロエレクトロニクスショー/JISSO PROTEC2011
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2011-06-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] More-than-Moore技術と3次元集積化2011

    • 著者名/発表者名
      小柳光正, 田中徹, 福島誉史, 李康旭
    • 学会等名
      電子通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会
    • 発表場所
      札幌(特別講演)
    • 年月日
      2011-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 3D LSI Technology and Reliability Issues2011

    • 著者名/発表者名
      T.Tanaka, J.Bea, M.Murugesan, K.Lee, T.Fukushima, M.Koyanagi
    • 学会等名
      2011 Symposium on VLSI Technology
    • 発表場所
      Kyoto, Japan(招待)
    • 年月日
      2011-06-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] Thinning Process Induced Surface Defects in Ultra-Thin Si Wafer2011

    • 著者名/発表者名
      M.Murugesan, H.Nohira, C.Miyazaki, H.Shimamoto, H.Kobayashi, T.Fukushima, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      2011 International Conference on Solid state Devices and Materials (SSDM2011)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2011-09-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] 3D and Hetero Integration Based on Chip-to-Wafer Bonding Using Self-Assembly Technologies2011

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      Workshop ICRA (IEEE Int. Conf. on Robotics and Automation)
    • 発表場所
      中国
    • 年月日
      2011-05-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] 3D and Hetero Integration Based on Chip-to-Wafer Bonding Using Self-Assembly Technologies2011

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushima, K.-W.Lee, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      Workshop ICRA (IEEE Int.Conf.on Robotics and Automation)
    • 発表場所
      Shanghai (China)(招待講演)
    • 年月日
      2011-05-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Performance of Low-Loss and Low-Cost Optoelectronic Module with Polynorbornene Waveguide for 10-Gbps Data Transmission2011

    • 著者名/発表者名
      Yuka Ito, Shinsuke Terada, Shinya Arai, Makoto Fujiwara, Tetsuya Mori, Koji Choki, Takafumi Fukushima, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Nagoya
    • 年月日
      2011-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 3D Chip Stacking Technologies and Hetero System Integration2011

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      SEMIテクノロジーシンポジウム(STS)2011
    • 発表場所
      幕張メッセ(招待講演)
    • 年月日
      2011-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Development of Pillar-Shaped Stimulus Electrode Array for High Efficient Stimulation of Fully Implantable Retinal Prosthesis2011

    • 著者名/発表者名
      Yoshitomo Watanabe, Chikashi Kigure, Kangwook Lee, Takafumi Fukushima, Mitsumasa Koyanagi, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2011)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2011-09-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] Self-Assembly Technologies with High-Precision Chip Alignment and Fine-Pitch Microbump Bonding for Advanced Die-to-Wafer 3D Integration2011

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushima, Y.Ohara, M.Murugesan, J.-C.Bea, K.-W.Lee, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      Florida (USA)
    • 年月日
      2011-06-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Development of Wafer-Level 3D System Integration Technologies2011

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies-International Conference in Asia (IUMRS-ICA)
    • 発表場所
      台湾
    • 年月日
      2011-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] Development of Wafer-Level 3D System Integration Technologies2011

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      The International Union of Materials Research Societies-International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 12^<th> International Conference in Asia
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 3D Chip Stacking Technologies and Hetero System Integration2011

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      SEMIテクノロジーシンポジウム(STS)2011
    • 発表場所
      幕張メッセ(千葉)(招待講演)
    • 年月日
      2011-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] 狭ピッチ金属マイクロバンプを有するチップの自己組織化実装技術2011

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 岩田永司, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      第25回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2011-03-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] 三次元集積のための高精度チップ位置合わせと常温直接接合技術2011

    • 著者名/発表者名
      岩田永司, 福島誉史, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2011-03-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 狭ピッチ金属マイクロバンプを有するチップの自己組織化実装技術2011

    • 著者名/発表者名
      福島誉史,岩田永司,李康旭,田中徹,小柳光正
    • 学会等名
      第25回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2011-03-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Development of Wafer-Level 3D System Integration Technologies2011

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushima, K.-W.Lee, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies-International Conference in Asia (IUMRS-ICA)
    • 発表場所
      Taipei (Taiwan)(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] 高集積微細デバイスにおける今後の信号伝達/配線技術:シリコン貫通光インターコネクション(TSPV)を用いた光電子三次元2011

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 乗木暁博, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2011-03-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Impacts of Microbump-Induced Local Bending Stress in 3D-LSI2011

    • 著者名/発表者名
      H.Kino, M.Murugesan, K.-W.Lee, J.-C.Bea, C.Miyazaki, H.Kobayashi, H.Shimamoto, T.Fukushima, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2011)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2011-09-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] High Efficient Unidirectional Optical Coupler for Through Silicon Photonic Via in Optoelectronic 3D-LSI2011

    • 著者名/発表者名
      Akihiro Noriki, Kang-Wook Lee, Jicheol Bea, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Nagoya
    • 年月日
      2011-09-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 光電子集積三次元LSIに用いるシリコン貫通光配線のFDTD解析2011

    • 著者名/発表者名
      乗木暁博, 李康旭, Jichoel Bea, 福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2011-09-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 光・電気刺激に対する網膜応答記録用フレキシブルケーブル電極の作製2011

    • 著者名/発表者名
      木暮爾, 渡辺慶朋, 笹木悠一郎, 李康旭, 福島誉史, 小柳光正, 田中徹
    • 学会等名
      2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学,山形
    • 年月日
      2011-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] Development of Wafer-Level3D System Integration Technologies2011

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, K.-W. Lee, T. Tanaka, andM. Koyanagi
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies-International Conference in Asia (IUMRS-ICA)
    • 発表場所
      台湾
    • 年月日
      2011-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Evaluation of Thermo-Mechanical Stress Induced by W-TSVs in 3D-LSI with W/Cu Hybrid TSVs2011

    • 著者名/発表者名
      H.Hashiguchi, M.Murugesan, J.C.Bea, K.W.Lee, T.Fukushima, H.Kobayashi, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2011)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2011-09-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] 3D Chip Stacking Technologies and Hetero System Integration2011

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      SEMI テクノロジーシンポジ ウム(STS)2011
    • 発表場所
      千葉
    • 年月日
      2011-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] 電極間クロストークを抑制した人工網膜用ピラー型刺激電極アレイの開発2011

    • 著者名/発表者名
      渡辺慶朋, 木暮爾, 李康旭, 福島誉史, 小柳光正, 田中徹
    • 学会等名
      2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学,山形
    • 年月日
      2011-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] High Density 3D LSI Technology using W/Cu Hybrid TSVs2011

    • 著者名/発表者名
      M.Murugesan, H.Kino, A.Hashiguchi, C.Miyazaki, H.Shimamoto, H.Kobayashi, T.Fukushima, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM2011)
    • 発表場所
      WashingtonD.C, USA
    • 年月日
      2011-12-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] More-than-Moore技術と3次元集積化2011

    • 著者名/発表者名
      小柳光正, 田中徹, 福島誉史, 李康旭
    • 学会等名
      センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
    • 発表場所
      東京(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 三次元積層時の局所応力がMOSFETの特性に与える影響2011

    • 著者名/発表者名
      木野久志, Murugesan Mariappan, Jichel Bea, 李康旭, 福島誉史, 小柳光正, 田中徹
    • 学会等名
      2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学,山形
    • 年月日
      2011-09-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] 3D and Hetero Integration Based on Chip-to-Wafer Bonding Using Self-Assembly Technologies2011

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Kangwook Lee, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      Workshop ICRA (IEEE Int.Conf.on Robotics and Automation) 2011 MEMS assembly and packaging : trends and challenges for robotics in the microscale
    • 発表場所
      Shanghai, China(招待講演)
    • 年月日
      2011-05-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Self-Assembly Technologies with High-Precision Chip Alignment and Fine-Pitch Microbump Bonding for Advanced Die-to-Wafer 3D Integration2011

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, Y. Ohara, M. Murugesan, J.-C. Bea, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      Electronic Components and Technology Conference(ECTC)
    • 発表場所
      USA
    • 年月日
      2011-06-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Development of Wafer-Level 3D System Integration Technologies2011

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushima, K.-W.Lee, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies-International Conference in Asia (IUMRS-ICA)
    • 発表場所
      Taipei (Taiwan)
    • 年月日
      2011-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23360146
  • [学会発表] 三次元集積のための高精度チップ位置合わせと常温直接接合技術2011

    • 著者名/発表者名
      岩田永司,福島誉史,李康旭,田中徹,小柳光正
    • 学会等名
      2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2011-03-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] セルフアセンブリを基盤としたウェーハレベル三次元集積化技術2010

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会/電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会(SDM)第118回研究集会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2010-01-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 機能性高分子を用いた次世代集積回路の作製技術と人工網膜への応用2010

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      第55回高分子夏季大学
    • 発表場所
      秋保温泉岩沼屋(仙台)
    • 年月日
      2010-07-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246045
  • [学会発表] バッチ式Die-to-Wafer三次元集積化技術2010

    • 著者名/発表者名
      福島誉史、李康旭、小柳光正
    • 学会等名
      関西ワークショップ2010
    • 発表場所
      京都(招待講演)
    • 年月日
      2010-07-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 3D Hybrid Integration Technology for Opto-Electronic Hetero-Integrated Systems2010

    • 著者名/発表者名
      K.Lee, T.Fukushima, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      218th Electrochemical Society (ECS) Meeting
    • 発表場所
      Las Vegas, USA(招待講演)
    • 年月日
      2010-10-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 3D積層技術2010

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      IEEE Electron Devices Society(EDS)Japan Chapter 総会・2009 International Electron Devices Meeting(IEDM)報告会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2010-01-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Self-Assembly with Metal Microbump-to-Microbump Bonding for Advanced Chip-to-Wafer 3D Integration2010

    • 著者名/発表者名
      Eiji Iwata, Yuki Ohara, Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Mitsumasa Koyanagi, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      Intern.Conf.on Solid State Device and Materials
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2010-09-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] A study of Charge Retention Characteristics of Metal Nanodots Memory2010

    • 著者名/発表者名
      開達郎, 裴艶麗, 小島俊哉, 〓志哲, 木野久志, 福島誉史, 小柳光正, 田中徹
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会2010年春季
    • 発表場所
      神奈川県平塚市東海大学
    • 年月日
      2010-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Formation of Cobalt Nanodots Embedded in Silicon Oxide for Nonvolatile Memory Application2010

    • 著者名/発表者名
      Yanli Pei, Tatsuro Hiraki, Toshiya Kojima, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      China Semiconductor Technology International Conference 2010 (CSTIC2010)
    • 発表場所
      Shanghai, China.
    • 年月日
      2010-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Through Silicon Photonic Via (TSPV) with Si Core for Low Loss and High-Speed Data Transmission in Opto-Electronic 3-D LSI2010

    • 著者名/発表者名
      A. Noriki, K.-W. Lee, J. Bea, T. Fukushima, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference 2010(3DIC)
    • 発表場所
      ドイツ, ミュンヘン
    • 年月日
      2010-11-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Self-Assembly Technology for ReconfiguredWafer-to-Wafer 3D Integration2010

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, E. Iwata, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      60th Electronic Components and TechnologyConference (ECTC)
    • 発表場所
      USA
    • 年月日
      2010-06-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] A study of Charge Retention Characteristics of Metal Nanodots Memory2010

    • 著者名/発表者名
      開達郎, 裴艶麗, 小島俊哉, 〓志哲, 木野久志, 福島誉史, 小柳光正, 田中徹
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会2010年春季
    • 発表場所
      東海大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Evaluation of Alignment Accuracy on Chip-to-Wafer Self-Assembly and Mechanism on the Direct Chip Bonding at Room Temperature2010

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushima, E.Iwata, J.Bea, M.Murugesan, K.-W.Lee, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference 2010 (3DIC)
    • 発表場所
      Munich, Germany
    • 年月日
      2010-11-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 3D-LSI/TSVの技術動向と新領域への展開2010

    • 著者名/発表者名
      田中徹, 福島誉史, 李康旭, 小柳光正
    • 学会等名
      Semi Forum Japan 2010 TSV/3次元実装セミナー
    • 発表場所
      グランキューブ大阪(招待講演)
    • 年月日
      2010-06-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Evaluation of Alignment Accuracy on Chip-to-Wafer Self-Assembly and Mechanism on the Direct Chip Bonding at Room Temperature2010

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, E. Iwata, J. Bea, M. Murugesan, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M.Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International3D System Integration Conference (3DIC)
    • 発表場所
      ドイツ
    • 年月日
      2010-11-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] 機能性高分子を用いた次世代集積回路の作製技術と人工網膜への応用2010

    • 著者名/発表者名
      福島誉史,小柳光正
    • 学会等名
      第55回高分子夏季大学
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2010-07-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Evaluation of Alignment Accuracy on Chip-to-Wafer Self-Assembly and Mechanism on the Direct Chip Bonding at Room Temperature2010

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushima, E.Iwata, J.Bea, M.Murugesan, K.-W.Lee, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference (3DIC)
    • 発表場所
      ドイツ(ミュンヘン)
    • 年月日
      2010-11-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] ファインピッチ金属マイクロバンプを有するチップの自己組織化積層2010

    • 著者名/発表者名
      岩田永司, 福島誉史, 李康旭, 小柳光正, 田中徹
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎)
    • 年月日
      2010-09-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 3D積層技術2010

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      IEEE Electron Devices Society (EDS) Japan Chapter総会・2009 International Electron Devices Meeting (IEDM)報告会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2010-01-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Through Silicon Photonic Via (TSPV) with Si Core for Low Loss and High-Speed Data Transmission in Opto-Electronic 3-D LSI2010

    • 著者名/発表者名
      A.Noriki, K.-W.Lee, J.Bea, T.Fukushima, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference 2010 (3DIC)
    • 発表場所
      Munich, Germany
    • 年月日
      2010-11-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Self-Assembly Technology for Advanced Die-to-Wafer 3D Integration2010

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2nd International IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2010-01-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] セルフアセンブリを基盤としたウェーハレベル三次元集積化技術2010

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会/電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会(SDM) 第118回研究集会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2010-01-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Self-Assembly Technology for Reconfigured Wafer-to-Wafer 3D Integration2010

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushima, E.Iwata, K.-W.Lee, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      60^<th> Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      米国(ラスベガス)
    • 年月日
      2010-06-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] 東北大学における三次元積層技術とヘテロインテグレーション2010

    • 著者名/発表者名
      李康旭,福島誉史,田中徹,小柳光正
    • 学会等名
      JPCA Show 2010アカデミックプラザ
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2010-06-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360136
  • [学会発表] Through Silicon Photonic Via with Si core for Low loss and High Density Vertical Optical Interconnection in 3D-LSI2010

    • 著者名/発表者名
      Akihiro Noriki, Kang-Wook Lee, Jicheol Bea, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      Intern.Conf.on Solid State Device and Materials
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2010-09-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Three-Dimensional Integration Technology Using Through-Si Via Based on Reconfigured Wafer-to-Wafer Bonding2010

    • 著者名/発表者名
      Mitsumasa Koyanagi, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      IEEE Custom Integrated Circuits Conference (CICC)
    • 発表場所
      San Jose, USA(招待講演)
    • 年月日
      2010-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 東北大学における三次元積層技術とヘテロインテグレーション2010

    • 著者名/発表者名
      李康旭、福島誉史、田中徹、小柳光正
    • 学会等名
      JPCA Show 2010 (pp.99-104)
    • 発表場所
      アカデミックプラザ,東京ビッグサイト(招待講演)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Self-Assembly Technology for Reconfigured Wafer-to-Wafer 3D Integration2010

    • 著者名/発表者名
      T.Fukushima, E.Iwata, K.-W.Lee, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      Las Vegas, USA
    • 年月日
      2010-06-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 金属マイクロバンプ接合を介した自己組織化チップ積層2010

    • 著者名/発表者名
      岩田永司, 福島誉史, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      平塚
    • 年月日
      2010-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Formation of Cobalt Nanodots Embedded in Silicon Oxide for Nonvolatile Memory Application2010

    • 著者名/発表者名
      裴艶麗, 開達郎, 小島俊哉, 福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      China Semiconductor Technology International Conference(CSTIC2010)
    • 発表場所
      Shanghai, China
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] 自己組織化によるヘテロインテグレーション技術2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      第12回低温接合による3D集積化研究会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-04-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 自己組織化を用いた高密度実装技術とスーパーチップインテグレーション"2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      10回半導体パッケージング技術展専門技術セミナー
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-01-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Development of a NEW Self-Assembled Die bonder to Three-Dimensionally Stack Known Good Dies in Batch2009

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Eiji Iwata, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference 2009 (3DIC)
    • 発表場所
      サンフランシスコ(USA)
    • 年月日
      2009-09-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] メタルナノドットメモリの電荷保持特性に関する研究2009

    • 著者名/発表者名
      開達郎, 裴艶麗, 小島俊哉, 〓志哲, 木野久志, 福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      第70回応用物理学関係連合講演会2009年秋季
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2009-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] セルフアセンブリー法を用いた新しいヘテロインテグレーション技術2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 第115回研究集会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-08-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] New Magnetic Nano-Dots Nonvolatile Memory with Resonant Magnetic Tunneling Effect2009

    • 著者名/発表者名
      JiChel Bea, M.Murugesan, C.-K.Yin, H.Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      第56回応用物理学会学術講演会 2009年春季
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-04-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Super Chip Integration Technology for ThreeDimensionally Stacked Retinal Prosthesis Chips2009

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Smart System Integration Conference 2009
    • 発表場所
      ブリュッセル(ベルギー)
    • 年月日
      2009-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Cu lateral interconnects formed between 100-um-thick self-assembled chips on flexible substrates2009

    • 著者名/発表者名
      M. Murugesan, J.C. Bea, T. Fukushima, T. Konno, K. Kiyoyama, W.C. Jeong, H. Kino, A. Noriki, K.W. Lee, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      2009 Electronics Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      サンディエゴ(USA)
    • 年月日
      2009-05-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Synthesis and characterization of magnetic nano-dots for on-chip inductors2009

    • 著者名/発表者名
      M. Murugesan, W. -C. Jeong, K. Kiyoyama, K. -W. Lee, J. -C. Bea, C. -K. Yin, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      第56回応用物理学会学術講演会2009年春季
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-04-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] 3D Integration Technology and 3D Integrated Systems(Invited)2009

    • 著者名/発表者名
      小柳光正, 福島誉史, 田中徹
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference(IITC)
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2009-05-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Three-Dimensional Optoelectronic Multichip Module with Optical Interconnection(Invited)2009

    • 著者名/発表者名
      Mitsumasa Koyanagi, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      12th IEEE International Symposium on Microwave and Optical Technology(ISMOT-2009)
    • 発表場所
      Indiaニューデリー
    • 年月日
      2009-12-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Self-Assembled 3D Chip Stacking Technology2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      216th Electrochemical Society(ECS)Meeting
    • 発表場所
      ウィーン(オーストリー)
    • 年月日
      2009-10-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] ThreeDimensional Integration Technology to Achieve Super Chip2009

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      SEMICON Korea
    • 発表場所
      ソウル(韓国)
    • 年月日
      2009-01-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] High-Performance MOSFET Nonvolatile Memory with High-Density Cobalt Nanodots Floating Gate and HfO2 High-k Blocking Dielectric2009

    • 著者名/発表者名
      Yanli Pei, Chengkuan Yin, Toshiya Kojima, Ji-Cheol Bea, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      10th Non-Volatile Memory Technology Symposium (NVMTS 2009)
    • 発表場所
      Portland, OR, USA.
    • 年月日
      2009-10-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Self-Assembled 3D Chip Stacking Technology2009

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      216th Electrochemical Society (ECS) Meeting
    • 発表場所
      ウィーン(オーストリー)
    • 年月日
      2009-10-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Three-Dimensional Integration Technology Based on Reconfigured Wafer-to-Wafer and Multichip-to-Wafer Stacking Using Self-Assembly Method2009

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Eiji Iwata, Yuki Ohara, Akihiro Noriki, Kiyoshi Inamura, Kang-Wook Lee, Jicheol Bea, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      The IEEE International Electron Devices Meeting(IEDM)
    • 発表場所
      Baltimore, USA
    • 年月日
      2009-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] New Magnetic Nano-Dots Nonvolatile Memory with Resonant Magnetic Tunneling Effect2009

    • 著者名/発表者名
      JiChel Bea, M. Murugesan, C. -K. Yin, H. Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      第56回応用物理学会学術講演会2009年春季
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-04-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Super Chip Integration Technology for Three-Dimensionally Stacked Retinal Prosthesis Chips2009

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      Smart System Integration Conference 2009
    • 発表場所
      ブリュッセル(ベルギー)
    • 年月日
      2009-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 3D Integration Technology and 3D Integrated Systems2009

    • 著者名/発表者名
      M. Koyanagi, T. Fukushima, T. Tanaka
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC)
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2009-05-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Electrical Characterization of MOS Memory Devices with Self-assembled Tungsten Nano-dots Dispersed in Silicon Nitride2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Pei, C. Yin, M. Nishijima, T. Kojima, H. Nohira, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      ISTC/CSTIC 2009
    • 発表場所
      Shanghai, China
    • 年月日
      2009-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Three-Dimensional Integration Technology to Achieve Super Chip2009

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      SEMICON Korea
    • 発表場所
      ソウル(韓国)
    • 年月日
      2009-01-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] セルフアセンブリー伝を用いた新しいヘテロインテグレーション技術(VLSI特集)(招待講演)2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      応用物理学会シリコンテクノロジー分科会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-07-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Development of a NEW Self-Assembled Die bonder to Three-Dimensionally Stack Known Good Dies in Batch2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 岩田永司, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference 2009(3DIC)
    • 発表場所
      サンフランシスコ(USA)
    • 年月日
      2009-09-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] A Co-Nanodots Nonvolatile Memory with High-k Blocking Oxide for Implantable Biomedical Devices2009

    • 著者名/発表者名
      C.K. Yin, Y.L. Pei, T. Kojima, T. Fukushima, M. Koyanagi, T. Tanaka
    • 学会等名
      9th International Symposium on Nano-Biomedical Engineering
    • 発表場所
      Sendai, Japan.
    • 年月日
      2009-03-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Development of a New Self-Assembled Die bonder to Three-Dimensionally Stack Known Good Dies in Batch2009

    • 著者名/発表者名
      Tanafumi Fukushima, Eiji Iwata, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      Proc.of IEEE International 3D System Integration Conference(3DIC)
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2009-09-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Synthesis and characterization of magnetic nano-dots for on-chip inductors2009

    • 著者名/発表者名
      M.Murugesan, W.-C.Jeong, K.Kiyoyama, K.-W.Lee, J.-C.Bea, C.-K.Yin, T.Fukushima, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      第56回応用物理学会学術講演会 2009年春季
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-04-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] セルフアセンブリー法を用いた新しいヘテロインテグレーション技術2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第115回研究集会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-08-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Cu lateral interconnects formed between 100-um-thick self-assembled chips on flexible substrates2009

    • 著者名/発表者名
      M.Murugesan, J.C.Bea, T.Fukushima, T.Konno, K.Kiyoyama, W.C.Jeong, H.Kino, A.Noriki, K.W.Lee, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      2009 Electronics Components and Technology Conference(ECTC)
    • 発表場所
      サンディエゴ(USA)
    • 年月日
      2009-05-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Three-Dimensional Integration Technology Based on Reconfigured Wafer-to-Wafer and Multichip-to-Wafer Stacking Using Self-Assembly2009

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Eiji Iwata, Yuki Ohara, Akihiro Noriki, Kiyoshi Inamura, Kang-Wook Lee, Jicheol Bea, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2009 IEEE International Electron Devices Meeting(IEDM)
    • 発表場所
      ボルチモア(USA)
    • 年月日
      2009-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] High-k絶縁膜を有するタングステンナノドットフローティングゲートMOSキャパシタのメモリ特性2009

    • 著者名/発表者名
      裴艶麗, 西嶋雅彦, 福島誉史, 田甲徹, 小柳光正
    • 学会等名
      第69回応用物理学関係連合講演会2008年秋季
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2009-09-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] 3D Heterogeneous Opto-Electronic Integration Technology for System-on-Silicon(SOS)2009

    • 著者名/発表者名
      K-W Lee, A.Noriki, K.Kiyoyama, S.Kanno, R.Kobayashi, W-C Jeong, J-C Bea, T.Fukushima, T.Tanaka, M.Koyanagi
    • 学会等名
      The IEEE International Electron Devices Meeting(IEDM)
    • 発表場所
      Baltimore, USA
    • 年月日
      2009-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Self-Assembled 3D Chip Stacking Technology(Invited)2009

    • 著者名/発表者名
      Kang-Wook Lee, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      216th Electrochemical Society(ECS)Meeting
    • 発表場所
      Vienna, Austria
    • 年月日
      2009-10-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 自己組織化による三次元LSIチップの高精度位置合わせ技術2009

    • 著者名/発表者名
      岩田永司, 福島誉史, 李康旭, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      2009-09-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 自己組織化を用いた高密度実装技術とスーパーチップインテグレーション2009

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      10回半導体パッケージング技術展専門技術セミナー
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-01-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] High-Performance MOSFET Nonvolatile Memory with High-Density Cobalt Nanodots Floating Gate and HfO2 High-k Blocking Dielectric2009

    • 著者名/発表者名
      Yanli Pei, Chengkuan Yin, Toshiya Kojima, Ji-Cheol Bea, Hisashi Kino, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      10^<th> Non-Volatile Memory Technology Symposium(NVMTS 2009)
    • 発表場所
      Portland, OR, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] High-Aspect-Ratio Fine Cu Sidewall Interconnection over Chip Edge with Tapered Polymer for MEMS-LSI Multi-Chip Module2009

    • 著者名/発表者名
      A. Noriki, Y. Kaiho, E. Iwata, Y. Ohara, M. Murugesan, K. -W. Lee, J. -C. Bea, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      2009 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2009-10-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 3D Integration Technology and 3D Integrated Systems2009

    • 著者名/発表者名
      小柳光正, 福島誉史, 田中徹
    • 学会等名
      IEEE International Interconnect Technology Conference(IITC)
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2009-05-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 自己組織化ウェーハ張り合わせによる三次元集積化技術2008

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      応用物理学会シリコンテクノロジー分科会多層配線システム研究委員会(共催:電子情報通信学会、シリコン材料・デバイス研究会(SDM)
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-02-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] New Heterogeneous Multi-Chip Module Integration Technology Using Self-Assembly Method2008

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima
    • 学会等名
      2008 IEEE International Electron Devices Meeting
    • 発表場所
      San Francisco、米国
    • 年月日
      2008-12-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360153
  • [学会発表] Self-Assembly for Heterogeneous Integration with Lateral Interconnections Extending over MEMS and LSI Chips2008

    • 著者名/発表者名
      Takayuki Konno, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2008 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 発表場所
      つくば
    • 年月日
      2008-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] セルフアセンブリーを用いた3次元集積化技術2008

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 小柳光正
    • 学会等名
      九州学術研究都市第8回産学連携フェア
    • 発表場所
      小倉
    • 年月日
      2008-10-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Memory Characterization of MOS Memory Device with High Density Self-Assembled Tungsten Nanodots Floating Gate and HfO2 Blocking Dielectric2008

    • 著者名/発表者名
      Yanli Pei, Masahiko Nishijima, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      The 2008 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan.
    • 年月日
      2008-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] 3D System Integration Technology and 3D Systems2008

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima
    • 学会等名
      Materials for Advanced Metallization Conference 2008 (MAM 2008)
    • 発表場所
      Dresden, Germany
    • 年月日
      2008-03-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] New Heterogeneous Multi-Chip Module Integration Technology Using SelfAssembly Method2008

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      International Electron Devices Meeting (IEDM)
    • 発表場所
      サンフランシスコ(米国)
    • 年月日
      2008-12-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] MEMS-半導体横方向配線技術I:フレキシブル基板へのLSIチップのセルフアセンブリ2008

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 今野隆行, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      船橋
    • 年月日
      2008-03-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 3D System Integration Technology and 3D Systems2008

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      Materials for Advanced Metallization Conference 2008 (MAM 2008)
    • 発表場所
      Dresden(Germany)
    • 年月日
      2008-03-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Multichip SelfAssembly Technique on Flexible Polymeric Substrate2008

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      The 59 th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      フロリダ(米国)
    • 年月日
      2008-05-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] セルフアセンブリーを用いた3次元集積化技術2008

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      九州学術研究都市第8回産学連携フェア
    • 発表場所
      小倉(福岡)
    • 年月日
      2008-10-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] system integration technology and 3D systems2008

    • 著者名/発表者名
      Takafumi, FUKUSHIMA
    • 学会等名
      MAM2008(Materials for Advanced Metallization3D Workshop)
    • 発表場所
      Dresden, Germany
    • 年月日
      2008-03-02
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] シリコン窒化膜中に埋め込んだタングステンナノドットフローティングゲートMOSキャパシタのメモリ特性2008

    • 著者名/発表者名
      裴艶麗, 福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会2008年春季
    • 発表場所
      日本大学
    • 年月日
      2008-03-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Chip Self-Assembly Technique for 3D LSI Fabrication2008

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, T. Konno, S.Y. Ji, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      3D System Integration Technology Conference (3D-SIC) 2008
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-05-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Memory Characterization of MOS Memory Device with High Density Self-Assembled Tungsten Nanodots Floating Gate and HfO2 Blocking Dielectric2008

    • 著者名/発表者名
      Yanli Pei, Masahiko Nishijima, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      The 2008 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba
    • 年月日
      2008-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] New Heterogeneous Multi-Chip Module Integration Technology Using Self-Assembly Method2008

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, T. Konno, K. Kiyoyama, M. Murugesan, K. Sato, W. -C. Jeong, Y. Ohara, Noriki, S. Kanno, Y. Kaiho, H. Kino, K. Makita, R. Kobayashi, C. -K. Yin, K. Inamura, K. -W. Lee, J. -C. Bea, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      International Electron Devices Meeting (IEDM)
    • 発表場所
      サンフランシスコ(米国)
    • 年月日
      2008-12-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 3D system integration technology and 3D systems2008

    • 著者名/発表者名
      Takafumi, FUKUSHIMA
    • 学会等名
      MAM2008 (Materials for Advanced Metallization Workshop)
    • 発表場所
      Dresden, Germany
    • 年月日
      2008-03-02
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] FM/I/Nano-Dot FM構造でのスピン電子の磁気トンネル効果2008

    • 著者名/発表者名
      〓志哲, Murugesan Mariappan, Cheng KuanYin, 福島誉史, 田中徹, 寒川誠二, 河野省三, 佐道泰造, 宮尾正信, 名取研二, 小柳光正
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会2008春季
    • 発表場所
      日本大学
    • 年月日
      2008-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] 自己組織化ウェーハ張り合わせによる三次元集積化技術2008

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      応用物理学会シリコンテクノロジー分科会多層配線システム研究委員会(共催:電子情報通信学会、シリコン材料・デバイス研究会(SDM)
    • 発表場所
      機械振興会館,東京
    • 年月日
      2008-02-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] MEMS-半導体横方向配線技術I:フレキシブル基板へのLSIチップのセルフアセンブリ2008

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学理工学部船橋キャンパス
    • 年月日
      2008-03-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Characterization of Metal Nanodots Nonvolatile Memory2008

    • 著者名/発表者名
      Yanli Pei, Masahiko Nishijima, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      シリコン材料・デバイス研究会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-06-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] A New Nano-System with Three-Dimensional Structure for Real Time Parallel Image Processing2008

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, M. Koyanagi
    • 学会等名
      the 5th International Conference on Mechanical Science based on Nanotechnology
    • 発表場所
      Sendai
    • 年月日
      2008-03-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] ThreeDimensional Integration Technology Based on SelfAssembled Chipto-Wafer Stacking2008

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      2008 Materials Research Society (MRS) Fall Meeting
    • 発表場所
      ボストン(米国)
    • 年月日
      2008-12-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] A New Nano-System with Three-Dimensional Structure for Real Time Parallel Image Processing2008

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima
    • 学会等名
      the 5th International Conference on Mechanical Science based on Nanotechnology
    • 発表場所
      Sendai International Center, Sendai
    • 年月日
      2008-03-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Chip SelfAssembly Technique for 3D LSI Fabrication2008

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      3D System Integration Technology Conference (3D-SIC) 2008
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-05-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Term Retention Characteristics of MOS Memory Devices with Self-Assembled Tungsten Nano-Dot Dispersed in Silicon Nitride2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Pei, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      MRS 2008 Spring Meeting
    • 発表場所
      San Francisco, USA.
    • 年月日
      2008-03-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Multichip Self-Assembly Technique on Flexible Polymeric Substrate2008

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, T. Konno, S.Y. Ji, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      The 59th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      フロリダ(米国)
    • 年月日
      2008-05-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 自己組織化ウエーハ張り合わせによる三次元集積化技術2008

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      応用物理学会シリコンテクノロジー分科会多層配線システム研究委員会(共催:電子情報通信学会、シリコン材料・デバイス研究会)(SDM)
    • 発表場所
      機械振興会館、東京
    • 年月日
      2008-02-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] Tapered Through-Si Via Formation for Optical Interposer with 3D ICs and Buried Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser / Photo Diode Chips2008

    • 著者名/発表者名
      Makoto Fujiwara, Akihiro Noriki, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2008 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 発表場所
      つくば
    • 年月日
      2008-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] New Heterogeneous Multi-Chip Module Integration Technology using Self-Assembly Method2008

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima
    • 学会等名
      2008 IEEE International Electron Devices Meeting
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2008-12-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360153
  • [学会発表] Three-Dimensional Integration Technology Based on Self-Assembled Chip-to-Wafer Stacking2008

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2008 Materials Research Society (MRS) Fall Meeting
    • 発表場所
      ボストン(米国)
    • 年月日
      2008-12-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] キャビティ構造を有するMEMSチップのセルフアセンブリ2008

    • 著者名/発表者名
      今野隆行, 小林吏悟, 福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      春日井
    • 年月日
      2008-09-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Characteristics of Magnetic Film Inductors with FePt Nano-Dots2008

    • 著者名/発表者名
      W. -C. Jeong, K. Kiyoyama, M. Murugesan, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      The 2008 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba
    • 年月日
      2008-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] 三次元LSIを搭載した光インターポーザのためのテーパTSVの形成2008

    • 著者名/発表者名
      乗木暁博, 藤原誠, 福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      春日井
    • 年月日
      2008-09-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 3D system integration technology and 3D systems2008

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference (AMC) 2008
    • 発表場所
      サンディエゴ(米国)
    • 年月日
      2008-09-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Self-Assembly Process for Chip-to-Wafer Three-Dimensional Integration2007

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima
    • 学会等名
      57th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      Reno, Nevada, USA
    • 年月日
      2007-05-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 3D Integration Technology Based on Chip-to-Wafer Bonding with Through-Si Vias(TSV)2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      2nd 3DIntegration by Low-temperature Bonding Technology
    • 発表場所
      Tokyo, Univ. of Tokyo
    • 年月日
      2007-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] Self-Assembly Process for Chip-to-Water Three-Dimensional Integration2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi, Fukushima
    • 学会等名
      Electronic Components and Technooogy Conference (ECTC)
    • 発表場所
      Reno, USA
    • 年月日
      2007-05-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] Chip-to-Wafer Stacking for 3D Integration with TSV2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi, FUKUSHIMA
    • 学会等名
      IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 発表場所
      Tokyo, Univ. of Tokyo
    • 年月日
      2007-11-08
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] Chip-to-Wafer Stacking for 3D Integration with TSV2007

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima
    • 学会等名
      1st International IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 発表場所
      Tokyo Univ. Tokyo
    • 年月日
      2007-11-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 3D Integration Technology Based on Chip-to-Wafer Bonding with Through-Si Vias (TSV)2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi, Fukushima
    • 学会等名
      3D Integration by Low-temperature Bonding Technology
    • 発表場所
      Tokyo, Univ. of Tokyo
    • 年月日
      2007-09-18
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] 3次元実装技術2007

    • 著者名/発表者名
      福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会/材料技術委員会公開研究会「次世代インテリジェント実装材料」
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2007-11-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Thermal Issues of 3D ICs2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi, Fukushima
    • 学会等名
      Workshop on Driving the future of interconnect in 3D: Thermal and Design Issues in 3D ICs
    • 発表場所
      Albany, USA
    • 年月日
      2007-10-11
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] Thermal Issues of 3D ICs2007

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima
    • 学会等名
      Workshop on Driving the future of interconnect in 3D: Thermal and Design Issues in 3D ICs
    • 発表場所
      Albany, New York, USA
    • 年月日
      2007-10-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Chip-to-Wafer Stacking for 3D Integration with TSV2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      1st International IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2007-11-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 3次元実装技術2007

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会/材料技術委員会公開研究会「次世代インテリジェント実装材料」
    • 発表場所
      東京,国立オリンピック記念青少年総合センター
    • 年月日
      2007-11-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Self-Assembly Process for Chip-to-Wafer Three-Dimensional Integration2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      The 57th Electronic Components and Technology Conference(ECTC)
    • 発表場所
      Reno, Nevada, USA
    • 年月日
      2007-05-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] Thermal Issues of 3D ICs2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      Workshop on Driving the future of interconnect in 3D: Thermal and Design Issues in 3D ICs
    • 発表場所
      Albany (USA)
    • 年月日
      2007-10-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 三次元実装技術2007

    • 著者名/発表者名
      福島 誉史
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会/材料技術委員会公開研究会
    • 発表場所
      東京、国立オリンピック記念青少年総合センター
    • 年月日
      2007-11-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] Chip-to-Wafer Stacking for 3D Integration with TSV2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      1st International IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 発表場所
      Tokyo, Univ. of Tokyo
    • 年月日
      2007-11-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] New Three-Dimensional Integration Technology Based on Reconfigured Wafer-on-Wafer Bonding Technique2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      International Electron Devices Meeting (IEDM)
    • 発表場所
      Washington DC, USA
    • 年月日
      2007-12-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Investigation of FePt Nano-Dots Fabricated by Self-Assembled Nano-Dot Deposition Method Using X-ray Photoelectron Spectroscopy2007

    • 著者名/発表者名
      M. Murugesan, J.C. Bea, C-K. Yin, H. Nohira, E. Ikenaga, T. Hattori, M. Nishijima, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Miyao, M. Koyanagi
    • 学会等名
      The 2007 International Conference on Solid State Device and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2007-09-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Fabrication of Magnetic Tunnel Junction with FePt Nanodots for Magnetic Nanodot Memory2007

    • 著者名/発表者名
      Cheng-Kuan Yin, Mariappan Murugesan, Ji-Chel Bea, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      The 6th International Semiconductor Technology Conference (ISTC 2007) (Invited speech)
    • 発表場所
      Shanghai, China.
    • 年月日
      2007-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Memory Window Enhancement of MOS Memory Devices with High Density Self-Assembled Tungsten Nano-dot2007

    • 著者名/発表者名
      Yanli Pei, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      The 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan.
    • 年月日
      2007-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Characteristics of Metal Gate GOI-MOSFET with High-k Gate Dielectric Fabricated by Ge Condensation Method2007

    • 著者名/発表者名
      Woo-Cheol Jeong, Mungi Park, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      Pusan-Tohoku "21COE" Joint Workshop on Mechanical Science based on Nanotechnology
    • 発表場所
      Pusan, Korea.
    • 年月日
      2007-01-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] 3D Integration Technology Based on Chip-to-Water Bonding with Through-Si Vias (TSV)2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi, Fukushima
    • 学会等名
      3D Integration by Low-temperature Bonding Technology
    • 発表場所
      Tokyo, University of Tokyo
    • 年月日
      2007-09-18
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] Self-Assembly Process for Chip-to-Wafer Three-Dimensional Integration2007

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, Y. Yamada, H. Kikuchi, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      57th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      Reno (USA)
    • 年月日
      2007-05-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] 金属ナノドットフローティングゲートMOSキャパシタのメモリ特性2007

    • 著者名/発表者名
      裴艶麗, 福島誉史, 田中徹, 小柳光正
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会2007秋
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Thermal Issues of 3D ICs2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      Workshop on Driving the future of interconnect in 3D: Thermal and Design Issues in 3D ICs
    • 発表場所
      Albany, New York, USA
    • 年月日
      2007-10-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] Chip-to-Wafer Stacking for 3D Integration with TSV2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi, FUKUSHIMA
    • 学会等名
      IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 発表場所
      Tokyo University of Tokyo
    • 年月日
      2007-11-08
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] Magnetic characteristics of FePt nanodots formed by a self-assembled nanodot deposition method2007

    • 著者名/発表者名
      C.K. Yin, H. Choi, J.C. Bea, M. Murugesan, J.H. Yoo, T. Fukushima, Y. Murakami, T. Tanaka, D. Shindo, M. Miyao, M. Koyanagi
    • 学会等名
      NSTI Nanotech 2007 10th Annual
    • 発表場所
      Santa Clara, USA.
    • 年月日
      2007-03-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Fundamental Microstructure and Magnetic Properties of Self-Assembled FePt Nano-Dot Film Annealed by using Magnetic Field Annealing2007

    • 著者名/発表者名
      J.C. Bea, M. Murugesan, C. -K. Yin, M. Nishijima, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Miyao, M. Koyanagi
    • 学会等名
      The Fifth Nanotechnology Symposium, JAPAN NANO 2007
    • 発表場所
      Tokyo, Japan.
    • 年月日
      2007-02-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Evaluation of FePt nano-dots by X-ray photoelectron spectroscopy2007

    • 著者名/発表者名
      M. Murugesan, J.C. Bea, C. -K. Yin, H. Nohira, E. Ikenaga, T. Hattori, M. Nishijima, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Miyao, M. Koyanagi
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会2007秋
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063002
  • [学会発表] Self-Assembly Process for Chip-to-Wafer Three-Dimensional Integration2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi, Fukushima
    • 学会等名
      Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      Reno, USA
    • 年月日
      2007-05-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] New Three-Dimensional Integration Technology Based on Reconfigured Wafer-on-Wafer Bonding Technique2007

    • 著者名/発表者名
      Takafumi. Fukushima, Hirokazu Kikuchi, Yusuke Yamada, Takayuki Konno, Jun Liang, Keiichi Sasaki, Kiyoshi Inamura, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      International Electron Devices Meeting (IEDM)
    • 発表場所
      Washington DC(USA)
    • 年月日
      2007-12-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19686022
  • [学会発表] Ultimate Super-Chip Integration Based on Chip-to-Wafer Three-Dimensional Integration Technology2006

    • 著者名/発表者名
      Takafumi, Fukushima
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging (ICEP)
    • 発表場所
      Tokyo Shinagawa Prince Hotel
    • 年月日
      2006-04-20
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] Ultimate Super-Chip Integration Based on Chip-to-Wafer Three-Dimensional Integration Technology2006

    • 著者名/発表者名
      Takafumi, Fukushima
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging (ICEP)
    • 発表場所
      Tokyo Sinagawa Prince Hotel
    • 年月日
      2006-04-20
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] New Three-Dimensional Integration Technology Using Chip-to-Wafer Bonding to Achieve Ultimate Super Chip Integration2005

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima,
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Device and Materials <SSDM>
    • 発表場所
      Kobe, International Conference Center
    • 年月日
      2005-09-13
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] New Three-Dimensional Integration Technology Using Chip-to-Wafer Bonding to Achieve Ultimate Super Chip Integration2005

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Device and Materials (SSDM)
    • 発表場所
      Kobe, International Conference Center
    • 年月日
      2005-09-13
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15106006
  • [学会発表] 三次元ヘテロ集積化技術とスーパーチップ

    • 著者名/発表者名
      小柳光正,福島誉史,李康旭,田中徹
    • 学会等名
      スマートプロセス学会電子デバイス実装研究委員会
    • 発表場所
      東京
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 3D Memory Chip Stacking by Multi-Layer Self-Assembly Technology, The IEEE International Conference on 3D System Integration (3D IC)

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, J. Bea, M. Murugesan, H.-Y. Son, M.-S. Suh, K.-Y.Byun, N.-S. Kim, K.-W. Lee, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International Conference on 3D System Integration (3D IC)
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Tiny VCSEL Chip Self-Assembly for Advanced Chip-to-Wafer 3D and Hetero Integration

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Yuka Ito, Mariappan Murugesan, Jicheol Bea, Kangwook Lee, Koji Choki, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2014 IEEE International Conference on 3D System Integration (3DIC)
    • 発表場所
      Kinsale, Cork Ireland
    • 年月日
      2014-12-01 – 2014-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] 光電子集積三次元LSIのための高効率光カップラの検討

    • 著者名/発表者名
      乗木暁博,李康旭,裵 志哲, 福島誉史,田中徹,小柳光正
    • 学会等名
      2012年第73回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学・松山大学(愛媛)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Characterization and Reliability of 3-D LSI and SiP

    • 著者名/発表者名
      K-W Lee, M. Murugesan, J-C Bea, T. Fukushima, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) 2013
    • 発表場所
      Washington D.C., USA
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 3D IC用ビアラスト・バックサイドビアプロセスにおけるプラズマダメージのMOSFET特性への影響評価

    • 著者名/発表者名
      菅原陽平,橋口日出登,谷川星野,木野久志,福島誉史,李康旭,小柳光正,田中徹
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学札幌キャンパス、北海道、札幌市
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] Self-Assembly Study to Precisely Align Dies Having Microbump Covered with Non-Conductive Film for Advanced Chip-to-Wafer 3D Integration

    • 著者名/発表者名
      Yuka Ito, Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Koji Choki, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2013 International Conference on Solid State Materials and Devices(SSDM2013)
    • 発表場所
      Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] New Chip-to-Wafer 3D Integration Technology Using Hybrid Self-Assembly and Electrostatic Temporary Bonding

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, H. Hashiguchi, J. Bea, Y. Ohara, M. Murugesan, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      2012 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM)
    • 発表場所
      San Francisco, CA, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 10μm-Pitch In-Au Microbump Interconnection by Chip Self-Assembly with Excimer Lamp Irradiation for 3D LSI Applications

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Jichoel Bea, Mariappan Murugesan, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2012 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012)
    • 発表場所
      Kyoto International Conference Center(京都)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Replacing the PECVD-SiO2 in the Through-Silicon Via of High-Density 3D LSIs with Highly Scalable Low Cost Organic Liner: Merits and Demerits

    • 著者名/発表者名
      Murugesan Mariappan, Takafumi Fukushima, JiChel Beatrix, Hiroyuki Hashimoto, Yutaka Sato, Kangwook Lee, Tetsu Tanaka and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      the 64th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      Walt Disney World Swan and Dolphin Resort, Lake Buena Vista, Orlando, Florida, USA
    • 年月日
      2014-05-27 – 2014-05-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630118
  • [学会発表] Grapho-Assembly Technology for Sub-Micron Accuracy 3D Chip Stacking with High-Density Through-Si Vias and Metal Microbumps

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Masaki Onishi, Jichoel Bea, Sayuri Hioki, Mariappan Murugesan, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2012 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012)
    • 発表場所
      Kyoto International Conference Center(京都)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 高分子材料を用いた三次元集積技術III:気相堆積ポリイミドTSVライナーの形成と特性評価

    • 著者名/発表者名
      福島誉史,Murugesan Mariappan,裵 志哲,橋本宏之,佐藤 優,李 康旭,小柳光正
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会 第29回春季講演大会
    • 発表場所
      東京大学(東京都文京区本郷7-3-1)
    • 年月日
      2015-03-16 – 2015-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630118
  • [学会発表] 3D Integration and Reliability Challenges

    • 著者名/発表者名
      Mitsumasa Koyanagi, Mariappan Murugesan, Kangwook Lee, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      224th Electrochemical Society (ECS) Meeting
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Highly Thermoresistant Temporary Bonding/Debonding System without Organic Adhesives for 3D Integration

    • 著者名/発表者名
      H. Hashiguchi, T. Fukushima, M. Murugesan, J. -C. Bea, H. Kino, K.-W. Lee, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      2014 4th IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D 2014)
    • 発表場所
      The University of Tokyo, Hongo, Tokyo, Japan
    • 年月日
      2014-07-15 – 2014-07-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] Chip-to-Wafer 3D Stacking Using Self-Assembly and Electrostatic Temporary Bonding/Debonding

    • 著者名/発表者名
      H. Hashiguchi, T. Fukushima, J. Bea, H. Kino, K.-W. Lee, T.Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging 2013 (ICEP2013)
    • 発表場所
      Osaka International Convention Center
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 光電子集積三次元LSIのための高効率光カップラの作製(Fabrication of Unidirectional Optical Coupler for Opto-Electronic 3-D LSI)

    • 著者名/発表者名
      乗木暁博,李康旭,裵 志哲,福島誉史,田中徹,小柳光正
    • 学会等名
      2013年第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Temporary Spin-on Glass Bonding Technologies for Via-Last/Backside-Via 3D Integration Using Multichip Self-Assembly

    • 著者名/発表者名
      H. Hashiguchi, T. Fukushima, A. Noriki, H. Kino, K..-W. Lee, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      2014 IEEE 64th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      Lake Buena Vista, Florida, USA
    • 年月日
      2014-05-27 – 2014-05-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] Investigation of the Plasma Damage by Etching Process for TSV Formation in Via-last Backside-via 3D IC

    • 著者名/発表者名
      Yohei Sugawara, Hideto Hashiguchi, Seiya Tanikawa, Hisashi Kino, Kang-Wook Lee, Takafumi Fukushima, Mitsumasa Koyanagi, and Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2014)
    • 発表場所
      Tsukuba International Congress Center EPOCHAL TSUKUBA, Tsukuba, Ibaraki, Japan
    • 年月日
      2014-09-08 – 2014-09-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] 高分子材料を用いた三次元集積技術II:ビアラストTSV形成のための高耐熱テンポラリー無機接着層

    • 著者名/発表者名
      橋口日出登,福島誉史,裵 志哲,Murugesan Mariappan,李 康旭,田中 徹,小柳光正
    • 学会等名
      第29回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      東京大学本郷キャンパス、東京都
    • 年月日
      2015-03-16 – 2015-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] 自己組織化静電仮接合を用いたC2W三次元集積化技術(Chip-to-Wafer 3D Integration Technology Using Chip Self-Assembly and Electrostatic Temporary Bonding)

    • 著者名/発表者名
      橋口 日出登,福島 誉史,裵 志哲,Mariappan Murugesan,木野 久志,李 康旭,田中 徹,小柳 光正
    • 学会等名
      2013年第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Self-Assembly and Electrostatic (SAE) Carrier Technology for Via-Last Backside-Via Multichip-to-Wafer 3D Integration

    • 著者名/発表者名
      Hideto Hashiguchi, Takafumi Fukushima, Jicheol Bea, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2013 International Conference on Solid State Materials and Devices(SSDM2013)
    • 発表場所
      Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Non-Conductive Film and Compression Molding Technology for Self-Assembly-Based 3D Integration

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, Y. Ohara, J. Bea, M. Murugesan, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE 62nd Electronic Components and Technology Conference
    • 発表場所
      San Diego, CA, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Heterogeneous 3D Integration Technology and New 3D LSIs

    • 著者名/発表者名
      M. Koyanagi, K-W Lee, T. Fukushima and T. Tanaka
    • 学会等名
      IEEE International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology (ICSICT2012)
    • 発表場所
      Xi’an, China
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] C2W三次元集積のための自己組織化静電仮接合の評価

    • 著者名/発表者名
      橋口 日出登, 福島 誉史, 裵 志哲, 木野久志, 李 康旭, 田中 徹, 小柳 光正
    • 学会等名
      2013秋季第74 回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Flux-Assisted Self-Assembly with Microbump Bonding for 3D Heterogeneous Integration

    • 著者名/発表者名
      Yuka Ito, Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Koji Choki, Tetsu Tanaka, Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      The 63rd Eelectronic Components and Technology Conference
    • 発表場所
      Las Vegas, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Wafer-Level 3D Integration Technology Using Self-Assembly

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      MSPNEX (International Micro System Packaging Forum)2012
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Characterization of Vapor Deposited Polyimides and Process Integration with the Polymeric Liner for Via-Last/Backside-Via Cu-TSV Formation

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Murugesan Mariappan, Jichoel Bea, Kang-Wook Lee, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 発表場所
      つくば国際会議場(つくば市竹園2-20-3)
    • 年月日
      2014-09-09 – 2014-09-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630118
  • [学会発表] Electrostatic Temporary Bonding Technology and TSV Formation for Reconfigured Wafer-to-Wafer 3D Integration

    • 著者名/発表者名
      Hideto Hashiguchi, Jichoel Bea, Yuki Ohara, Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2012 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012)
    • 発表場所
      Kyoto International Conference Center(京都)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 先端三次元積層型LSIの技術動向と展望

    • 著者名/発表者名
      福島誉史
    • 学会等名
      SEMI Forum Japan 2012 :TSV/3次元積層化技術セミナー(1)-いよいよ量産へ、ここまで来たTSV技術-
    • 発表場所
      グランキューブ大阪(大阪)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 3D Integration Technologies Based on Surface-Tension Driven Multi-Chip Self-Assembly Techniques

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Fukushima, Kang Wook Lee, Jicheol Bea, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      222nd ECS Meeting: PRiME (Pacific Rim Meeting) 2012
    • 発表場所
      Honolulu, Hawaii, USA
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 3D Integration Technologies Using Self-Assembly and Electrostatic Temporary Multichip Bonding

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, H. Hashiguchi, J. Bea, M. Murugesan, K.-W. Lee, T.Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      The 63rd Eelectronic Components and Technology Conference
    • 発表場所
      Las Vegas, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Effects of Electro-less Ni Layer as Barrier/Seed Layers for High Reliable and Low Cost Cu TSV1

    • 著者名/発表者名
      K.W. Lee, C. Nagai, A. Nakamura, J.C. Bea, M. Murugesan, T. Fukushima, T. Tanaka and M. Koyanagi
    • 学会等名
      2014 IEEE International Conference on 3D System Integration (3DIC)
    • 発表場所
      Kinsale, Cork Ireland
    • 年月日
      2014-12-01 – 2014-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] 3D Hetero-Integration Technology for Innovative Convergence Systems

    • 著者名/発表者名
      K-W. Lee, T. Fukushima, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      Electronics Packaging Symposium
    • 発表場所
      Binghamton, NY, USA
    • 年月日
      2014-10-08 – 2014-10-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] Optoelectronic Heterogeneous Integration Technology, Using Reductant-Assisited Self-Assembly with Cu/Sn Microbump

    • 著者名/発表者名
      Yuka Ito, Takafumi Fukushima, Kang-Wook Lee, Koji Choki, Tetsu Tanaka, and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2012 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012)
    • 発表場所
      Kyoto International Conference Center(京都)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Challenges in 3D Integration

    • 著者名/発表者名
      Mitsumasa Koyanagi, Kang Wook Lee, Takafumi Fukushima, and Tetsu Tanaka
    • 学会等名
      223th Electrochemical Society (ECS) Meeting
    • 発表場所
      Toronto, Canada,
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 三次元LSIとヘテロインテグレーション

    • 著者名/発表者名
      李康旭,福島誉史,田中徹,小柳光正
    • 学会等名
      半導体・集積路技術シンポジウム
    • 発表場所
      東京
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Development of Via-Last 3D Integration Technologies Using a New Temporary Adhesive System

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, J. Bea, M. Murugesan, K.-W. Lee, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      IEEE International Conference on 3D System Integration (3D IC)
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Self-Assembly-Based 3D Integration Technologies

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, J. Bea, M. Murugesan, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      2012 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 発表場所
      東京大学(東京)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] 高分子材料を用いた三次元集積技術I:セルフアセンブリによるNCF被覆ダイ・オン・ウェーハ

    • 著者名/発表者名
      伊藤有香,福島誉史,Murugesan Mariappan,裵 志哲,李 康旭,田中 徹,小柳光正
    • 学会等名
      第29回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      東京大学本郷キャンパス、東京都
    • 年月日
      2015-03-16 – 2015-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] New Temporary Bonding Technology with Spin-on Glass and Hydrogenated Amorphous Si for 3D LSIs

    • 著者名/発表者名
      H. Hashiguchi, T. Fukushima, H. Kino, K.-W. Lee, T. Tanaka, M. Koyanagi
    • 学会等名
      2014 International Conference on Electronics Packaging (ICEP2014)
    • 発表場所
      Toyama International Convention Center, Toyama, Toyama, Japan
    • 年月日
      2014-04-23 – 2014-04-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] Development of 3D Integration Technologies and Recent Challenges

    • 著者名/発表者名
      T. Fukushima, K.-W. Lee, T. Tanaka, and M. Koyanagi
    • 学会等名
      ADMETA Plus 2012 Advanced Metallization Conference 2012: 22nd Asian Session
    • 発表場所
      東京大学(東京)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21226009
  • [学会発表] Minimization of Keep-Out-Zone (KOZ) in 3D IC by Local Bending Stress Suppression with Low Temperature Curing Adhesive

    • 著者名/発表者名
      H.Kino, H.Hashiguchi, Y.Sugawara, S.Tanikawa, T.Fukushima, K-W.Lee, M.Koyanagi, and T.Tanaka
    • 学会等名
      2014 IEEE 64th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      Lake Buena Vista, Florida, USA
    • 年月日
      2014-05-27 – 2014-05-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • [学会発表] Replacing the PECVD-SiO2 in the Through-Silicon Via of High-Density 3D LSIs with Highly Scalable Low Cost Organic Liner: Merits and Demerits

    • 著者名/発表者名
      Murugesan Mariappan, Takafumi Fukushima, JiChel Beatrix, Hiroyuki Hashimoto, Yutaka Sato, Kangwook Lee, Tetsu Tanaka and Mitsumasa Koyanagi
    • 学会等名
      2014 IEEE 64th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
    • 発表場所
      Lake Buena Vista, Florida, USA
    • 年月日
      2014-05-27 – 2014-05-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246060
  • 1.  田中 徹 (40417382)
    共同の研究課題数: 15件
    共同の研究成果数: 333件
  • 2.  清山 浩司 (60412722)
    共同の研究課題数: 10件
    共同の研究成果数: 15件
  • 3.  木野 久志 (10633406)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 97件
  • 4.  小柳 光正 (60205531)
    共同の研究課題数: 8件
    共同の研究成果数: 235件
  • 5.  裵 志哲 (40509874)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 16件
  • 6.  富田 浩史 (40302088)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 1件
  • 7.  ムルゲサン マリアッパン (10509699)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 13件
  • 8.  裴 艶麗 (70451622)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 32件
  • 9.  菅野 江里子 (70375210)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  羽根 一博 (50164893)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  橋本 宏之 (80589432)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  三浦 英生 (90361112)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  李 康旭 (90534503)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 16件
  • 14.  寒川 誠二 (30323108)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  大西 正樹 (20618615)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  MOSSAD Ali Atif (80436097)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  栗野 浩之 (70282093)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  沈 正七 (00333849)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  長井 千里 (70718353)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  大山 俊幸 (30313472)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  梶原 一宏 (10779937)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  宮川 宣明
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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