ゴサルベスミゲル GOSALVEZ Miguel

… 別表記

GOSALVEZ Miguel A. ゴサルベスミゲル A

研究者番号	10377814
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2009年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, COE研究員
審査区分/研究分野	研究代表者以外マイクロ・ナノデバイス
キーワード	研究代表者以外 FTIR / 固液界面 / 界面活性剤 / 不純物イオン / 異方性エッチング / 結晶 / シリコン

シリコンの結晶異方性エッチングモデルと溶液組成イオン効果の研究
- 研究代表者
  
  佐藤一雄
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2009
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  マイクロ・ナノデバイス
- 研究機関
  名古屋大学

すべて 2010 2009 2008 2007

すべて雑誌論文学会発表図書

[図書] Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies2010
- 著者名/発表者名
  M. A. Gosalvez(分担執筆)
- 出版者
  Elsevier
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Octree-Search Kinetic Monte Carlo2010
- 著者名/発表者名
  M.A. Gosalvez, Y. Xing, K. Sato, R.M. Nieminen
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A (Physical in press, accepted Feb.)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Orientation-dependent surface morphology of crystalline silicon during anisotropic etching using a continuous cellular automaton2010
- 著者名/発表者名
  Y. Xing, M.A. Gosalvez, K. Sato, H. Yi
- 雑誌名
  
  J. Micromechanics and Microengineering 20
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Atomistic mechanism for the macroscopic effects induced by small additions of surfactants to alkaline etching solutions2010
- 著者名/発表者名
  M.A.Gosalvez, Prem.Pal, B.Tang, K.Sato
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A, Physical 157
  
  ページ: 91-95
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Orientation-dependent surface morphology of crystalline silicon during anisotropic etching using a continuous cellular automaton2010
- 著者名/発表者名
  Y.Xing, M.A.Gosalvez, K.Sato, H.Yi
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering 20
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Octree-Search Kinetic Monte Carlo2010
- 著者名/発表者名
  M.A.Gosalvez, Y.Xing, K.Sato, R.M.Nieminen
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A, Physical, accepted Feb. '10 (in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Silicon micromachining based on surfactant-added tetramethyl ammonium hydroxide : Etching mechanism and advanced application2010
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, M.A.Gosalvez, K.Sato
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics, accepted Feb. '10 (in press)
- NAID
  40017116129
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Silicon micromachining based on surfactant-added tetramethyl ammonium hydroxide: Etching mechanism and advanced application2010
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, M.A. Gosalvez, K. Sato
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics (in press, accepted Feb.)
- NAID
  40017116129
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文]2010
- 著者名/発表者名
  M.A.Gosalvez(分担執筆)
- 雑誌名
  
  Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies(Elsevier)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Atomistic mechanism for the macroscopic effects induced by small additions of surfactants to alkaline etching solutions2010
- 著者名/発表者名
  M.A. Gosalvez, Prem. Pal, B. Tang, K. Sato
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A, Physical 157
  
  ページ: 91-95
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Ellipsometry study of the adsorbed surfactant thickness on Si{110} and Si{100} and the effect of pre-adsorbed surfactant layer on etching characteristics in TMAH2009
- 著者名/発表者名
  B. Tang, Prem Pal, M.A. Gosalvez, M. Shikida, K. Sato, et. al.
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A 156-2(Physical)
  
  ページ: 334-341
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Study of corner compensating structures and fabrication of various shapes of MEMS structures in pure and surfactant added TMAH2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato, M.Shikida, M.A.Gosalvez
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A, Physical 154-2
  
  ページ: 192-203
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Ellipsometry study of the adsorbed surfactant thickness on Si{110} and Si{100} and the effect of pre-adsorbed surfactant layer on etching characteristics in TMAH2009
- 著者名/発表者名
  B.Tang, Prem Pal, M.A.Gosalvez, M.Shikida, K.Sato, et al.
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A, Physical 156-2
  
  ページ: 334-341
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Surfactant adsorption on single crystal silicon surfaces in TMAH solution : Orientation-dependent adsorption detected by in-situ infra-red spectroscopy2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato, M.A. Gosalvez, Y. Kimura, K.Ishibashi, et al.
- 雑誌名
  
  Journal of Microelectromechanical Systems 18-6
  
  ページ: 1345-1356
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Study of corner compensating structures and fabrication of various shapes of MEMS structures in pure and surfactant added TMAH2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M. Shikida, M.A. Gosalvez
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A 154-2(Physical)
  
  ページ: 192-203
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Orientation and concentration dependent surfactant adsorption on silicon in aqueous alkaline solutions: Explaining the changes in the etch rate, roughness and undercutting for MEMS applications2009
- 著者名/発表者名
  M.A. Gosalvez, B. Tang, Prem Pal, K. Sato, Y. Kimura, K. Ishibashi
- 雑誌名
  
  J. Micromechanics and Microengineering 40896
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Nieminen, Discrete and continuous cellular automata for the simulation of propagating surfaces2009
- 著者名/発表者名
  M.A. Gosalvez, Y. Xing, K. Sato, R.M. Nieminen
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A 155(Physical)
  
  ページ: 98-112
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Discrete and continuous cellular automata for the simulation of propagating surfaces2009
- 著者名/発表者名
  M.A.Gosalvez, Y.Xing, K.Sato, R.M.Nieminen
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A, Physical 155
  
  ページ: 98-112
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Orientation and concentration dependent surfactant adsorption on silicon in aqueous alkaline solutions : Explaining the changes in the etch rate, roughness and undercutting for MEMS applications2009
- 著者名/発表者名
  M.A.Gosalvez, B.Tang, Prem Pal, K.Sato, Y.Kimura, K.Ishibashi
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering 19-12
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Surfactant adsorption on single crystal silicon surfaces in TMAH solution: Orientation-dependent adsorption detected by in-situ infra-red spectroscopy2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, Y. Kimura, K. Ishibashi, et al.
- 雑誌名
  
  J. Microelectromechanical Systems 40712
  
  ページ: 1345-1356
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Effect of Cu impurities on wet etching of Si (110): formation of trapezoidal hillocks2008
- 著者名/発表者名
  T. Hynninen, M.A. Gosalvez, A.S. Foster, H. Tanaka, K. Sato
- 雑誌名
  
  New Journal of Physics 10
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Analytical solution of the Continuous Cellular Automaton for anisotropic etching2008
- 著者名/発表者名
  M.A. Gosalvez, Y, Xing, K. Sato
- 雑誌名
  
  J. Microelectromechanical Systems 40591
  
  ページ: 410-431
- NAID
  120001101515
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Analytical solution of the Continuous Cellular Automaton for anisotropic etching2008
- 著者名/発表者名
  M. A. Gosalvez, Y, Xing, and K. Sato
- 雑誌名
  
  Journal of Microelectromechanical Systems (印刷中)
- NAID
  120001101515
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Adsorption of metal impurities on H-terminated Si surfaces and their influence on the wet chemical etching of Si2008
- 著者名/発表者名
  T.Hynninen, A.S.Foster, M.A.Gosalvez, K.Sato, et al.
- 雑誌名
  
  Journal of Physics : Condensed Matter 20
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Atomistic methods for the simulation of evolving surface2008
- 著者名/発表者名
  M.A. Gosalvez, Y. Xing, K. Sato, R.M. Nieminen
- 雑誌名
  
  J. Micromechanics and Microengineering 40681
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Atomistic methods for the simulation of evolving surface2008
- 著者名/発表者名
  M.A.Gosalvez, Y.Xing, K.Sato, R.M.Nieminen
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering 18-5
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Adsorption of metal impurities on H-terminated Si surfaces and their influence on the wet chemical etching of Si2008
- 著者名/発表者名
  Hynninen, A.S. Foster, M.A. Gosalvez, K. Sato, et. al.
- 雑誌名
  
  J. Physics: Condensed Matter 20
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Effect of Cu impurities on wet etching of Si(110):formation of trapezoidal hillocks2008
- 著者名/発表者名
  T. Hynninen, M. A. Gosalvez, A. S. Foster, H. Tanaka, and K. Sato
- 雑誌名
  
  New Journal of Physics vol.10電子ジャーナル#13033
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Step flow-based cellular automaton for the simulation of anisotropic etching of complex MEMS structures2007
- 著者名/発表者名
  Y. Xing, M.A. Gosalvez, K. Sato
- 雑誌名
  
  New Journal of Physics 9
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] First-principles calculations of Cu adsorption on an H-terminated Si surface2007
- 著者名/発表者名
  A.S. Foster, M.A. Gosalvez, T. Hynninen, R.M. Nieminen, K. Sato
- 雑誌名
  
  Physical Review B 27942
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Faster simulations of step bunching during anisotropic etching: formation of zigzag structures on Si (110)2007
- 著者名/発表者名
  M.A. Gosalvez, Y. Xing, T. Hynninen, M. Uwaha, A. Foster, R. Nieminen, K. Sato
- 雑誌名
  
  J. Micromechanics and Microengineering 40650
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Study of rounded concave and sharp edge convex corners undercutting in CMOS compatible anisotropic etchants2007
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M. A. Gosalvez and M. Shikida
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering vol.17
  
  ページ: 2299-2307
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] An atomistic introduction to anisotropic etching2007
- 著者名/発表者名
  M. A. Gosalvez, K. Sato, A. Fostee, et. al.
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering vol.17,no.4
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Step flow-based cellular automaton for the simulation of anisotropic etching of complex MEMS structures2007
- 著者名/発表者名
  Y. Xing, M. A. Gosalvez and K. Sato
- 雑誌名
  
  New Journal of Physics vol.9電子ジャーナル#436
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] First-principles calculations of Cu adsorption on an H-terminated Si surface2007
- 著者名/発表者名
  A. S. Foster, M. A. Gosalvez, T. Hynninen, R. M. Nieminen, and K. Sato
- 雑誌名
  
  Physical Review B vol.76,no.7論文#075315
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Faster simulations of step bunching during anisotropic etching:formation of zigzag structures on Si(110)2007
- 著者名/発表者名
  M. A. Gosalvez, Y. Xing, T. Hynninen, M. Uwaha, A. Foster, R. Nieminen and K. Sato
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering vol.17,no.4
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Study of rounded concave and sharp edge convex corners undercutting in CMOS compatible anisotropic etchants2007
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, M. Shikida
- 雑誌名
  
  J. Micromechanics and Microengineering 40864
  
  ページ: 2299-2307
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] An atomistic introduction to anisotropic etching2007
- 著者名/発表者名
  M.A. Gosalvez, K. Sato, A. Foster, et. al
- 雑誌名
  
  J. Micromechanics and Microengineering 40650
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Advanced MEMS applications using orientation dependent adsorption of surfactant molecules in TMAH solution2010
- 著者名/発表者名
  Pram Pal, K.Sato, M.A.Gosalvez, B.Tang, H.Hida
- 学会等名
  5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT), accepted Feb. '10
- 発表場所
  Perth, Australia
- 年月日
  2010-06-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Advanced MEMS applications using orientation dependent adsorption of surfactant molecules in TMAH solution2010
- 著者名/発表者名
  Pram Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, B. Tang, H. Hida
- 学会等名
  5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT)
- 発表場所
  Perth, Australia(accepted Feb)
- 年月日
  2010-06-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Micro/Nano science uncovering the mysteries of silicon wet etching for the fabrication of MEMS structures(invited)2009
- 著者名/発表者名
  K.Sato, M.Shikida, M.A.Gosalvez, Prem Pal
- 学会等名
  Intl.Conf.on Materials for Advanced Technologies
- 発表場所
  Singapore
- 年月日
  2009-06-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Surfactant in TMAH for new shapes of silicon MEMS components ; its orientation dependent adsorption detected by infrared spectroscopy2009
- 著者名/発表者名
  Prem.Pal, K.Sato, H.Hida, M.A.Gosalvez, Y.Kimura, et al.
- 学会等名
  15th Intl.Conf.on Solid-State Sensors, Actuator and Microsystems(Transducers '09)
- 発表場所
  Denver, USA
- 年月日
  2009-06-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Anisotropic nature of Si surface during wet alkaline etching ; Effects of cations and surfactants2009
- 著者名/発表者名
  K.Sato, M.Shikida, M.A.Gosalvez, Prem Pal, Y.Kimura
- 学会等名
  The 5th International Colloquium, Micro-Tribology
- 発表場所
  Milowka, Poland
- 年月日
  2009-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Adsorbed surfactant thickness on a Si wafer dominating etching properties of TMAH solution2009
- 著者名/発表者名
  B. Tang, M.A. Gosalvez, Prem Pal, S. Itoh, H. Hida, M. Shikida, K. Sato
- 学会等名
  ntl. Symp. on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)
- 発表場所
  名古屋市
- 年月日
  2009-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Continuous Cellular Automaton for the propagation of advancing fronts featuring surface morphologies: Realistic simulation of wet etching for MEMS applications2009
- 著者名/発表者名
  M.A. Gosalvez, Y. Xing, K. Sato
- 学会等名
  Intl. Symp. on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)
- 発表場所
  名古屋市
- 年月日
  2009-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Experimental verification and theoretical explanation of the effect of surfactant addition to TMAH based etchants for advanced applications in MEMS2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato, M.A.Gosalvez, H.Hida, B.Tang, S.Ito, Y.Kimura, K.Ishibashi, M.Niwano
- 学会等名
  第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  東京タワーホール船堀
- 年月日
  2009-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Continuous Cellular Automaton for the propagation of advancing fronts featuring surface morphologies : Realistic simulation of wet etching for MEMS applications2009
- 著者名/発表者名
  M.A.Gosalvez, Y.Xing, K.Sato
- 学会等名
  Intl. Symp. on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2009-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Experimental verification and theoretical explanation of the effect of surfactant addition to TMAH based etchants for advanced applications in MEMS2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, H. Hida, B. Tang, S. Ito, Y. Kimura, K. Ishibashi, M. Niwano
- 学会等名
  第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2009-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Continuous cellular automaton for the simulation of the surface morphology on any silicon orientation Si{HKL} in anisotropic etching2009
- 著者名/発表者名
  Y.Xing, M.A.Gosalvez, K.Sato
- 学会等名
  15th Intl.Conf.on Solid-State Sensors, Actuator and Microsystems(Transducers '09)
- 発表場所
  Denver, USA
- 年月日
  2009-06-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Adsorbed surfactant thickness on a Si wafer dominating etching properties of TMAH solution2009
- 著者名/発表者名
  B.Tang, M.A.Gosalvez, Prem Pal, S.Itoh, H.Hida, M.Shikida, K.Sato
- 学会等名
  Intl. Symp. on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2009-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Micro/Nano science uncovering the mysteries of silicon wet etching for the fabrication of MEMS structures2009
- 著者名/発表者名
  K. Sato, M. Shikida, M.A. Gosalvez, Prem Pal
- 学会等名
  Intl. Conf. on Materials for Advanced Technologies
- 発表場所
  Singapore
- 年月日
  2009-06-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Surfactant in TMAH for new shapes of silicon MEMS components; its orientation dependent adsorption detected by infrared spectroscopy2009
- 著者名/発表者名
  Prem. Pal, K. Sato, H. Hida, M.A. Gosalvez, Y. Kimura, et. al.
- 学会等名
  15th Intl. Conf. on Solid-State Sensors, Actuator and Microsystems
- 発表場所
  Denver, USA(Transducers)
- 年月日
  2009-06-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Anisotropic nature of Si surface during wet alkaline etching; Effects of cations and surfactants2009
- 著者名/発表者名
  K. Sato, M. Shikida, M.A. Gosalvez, Prem Pal, Y. Kimura
- 学会等名
  The 5th International Colloquium, Micro-Tribology
- 発表場所
  Milowka, Poland
- 年月日
  2009-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Continuous cellular automaton for the simulation of the surface morphology on any silicon orientation Si{HKL} in anisotropic etching2009
- 著者名/発表者名
  Y. Xing, M.A. Gosalvez, K. Sato
- 学会等名
  15th Intl. Conf. on Solid-State Sensors, Actuator and Microsystems
- 発表場所
  Denver, USA(Transducers)
- 年月日
  2009-06-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] An improved anisotropic wet etching progress for the fabrication of silicon MEMS structures using a single etching mask2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M. A. Gosalvez and M. Shikida
- 学会等名
  IEEE Intl. Conf. MEMS08, p327-330
- 発表場所
  Tucson, USA
- 年月日
  2008-01-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Octree-search kinetic Monte Carlo algorithm for the simulation of complex 3D MEMS structures2008
- 著者名/発表者名
  Y. Xing, M.A. Gosalvez, K. Sato
- 学会等名
  IEEE Intl. Conf. MEMS08
- 発表場所
  Tucson, USA
- 年月日
  2008-01-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] An improved anisotropic wet etching progress for the fabrication of silicon MEMS structures using a single etching mask2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, M. Shikida
- 学会等名
  IEEE Intl. Conf. MEMS08
- 発表場所
  Tucson, USA
- 年月日
  2008-01-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Gosalvez and M. Shikida, Microstructures with rounded concave and sharp-edged convex corners in a single step wet anisotropic etching2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, M. Shikida
- 学会等名
  SPIE MOEMS-MEMS (Proc. SPIE Vol. 6882)
- 発表場所
  San Jose, USA
- 年月日
  2008-01-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Octree-search kinetic Monte Carlo algorithm for the simulation of complex 3D MEMS structures2008
- 著者名/発表者名
  Y. Xing, M. A. Gosalvez and K. Sato
- 学会等名
  IEEE Intl. Conf. MEMS08, p323-326
- 発表場所
  Tucson, USA
- 年月日
  2008-01-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Microstructures with rounded concave and sharp-edged convex corners in a single step wet anisotropic etching2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M. A. Gosalvez and M. Shikida
- 学会等名
  SPIE MOEMS-MEMS(Proc. SPIE Vol.6882)
- 発表場所
  San Jose, USA
- 年月日
  2008-01-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Novel wet anisotropic etching process for the realization of new shapesof silicon MEMS structures2007
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M. A. Gosalvez and M. Shikida
- 学会等名
  IEEE Intl. Conf. MHS07 & Micro-Nano COE, p499-504
- 発表場所
  Nagoya
- 年月日
  2007-11-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Novel wet anisotropic etching process for the realization of new shapes of silicon MEMS structures2007
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, M. Shikida
- 学会等名
  IEEE Intl. Conf. MHS07 & Micro-Nano COE
- 発表場所
  Nagoya
- 年月日
  2007-11-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026

1. 佐藤一雄 (30262851)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 60件
2. 式田光宏 (80273291)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 18件
3. プレムパル (20444416)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 30件
4. 木村康男 (40312673)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 10件
5. ヒュンニネンテーム

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 8件
6. フェルランドネストル

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

ゴサルベス ミゲル GOSALVEZ Miguel

GOSALVEZ Miguel A. ゴサルベス ミゲル A

研究課題

研究成果

共同研究者

シリコンの結晶異方性エッチングモデルと溶液組成イオン効果の研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies2010

著者名/発表者名

出版者

データソース

[雑誌論文] Octree-Search Kinetic Monte Carlo2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Orientation-dependent surface morphology of crystalline silicon during anisotropic etching using a continuous cellular automaton2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Atomistic mechanism for the macroscopic effects induced by small additions of surfactants to alkaline etching solutions2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Orientation-dependent surface morphology of crystalline silicon during anisotropic etching using a continuous cellular automaton2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Octree-Search Kinetic Monte Carlo2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Silicon micromachining based on surfactant-added tetramethyl ammonium hydroxide : Etching mechanism and advanced application2010

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Silicon micromachining based on surfactant-added tetramethyl ammonium hydroxide: Etching mechanism and advanced application2010

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文]2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Atomistic mechanism for the macroscopic effects induced by small additions of surfactants to alkaline etching solutions2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Ellipsometry study of the adsorbed surfactant thickness on Si{110} and Si{100} and the effect of pre-adsorbed surfactant layer on etching characteristics in TMAH2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Study of corner compensating structures and fabrication of various shapes of MEMS structures in pure and surfactant added TMAH2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Ellipsometry study of the adsorbed surfactant thickness on Si{110} and Si{100} and the effect of pre-adsorbed surfactant layer on etching characteristics in TMAH2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Surfactant adsorption on single crystal silicon surfaces in TMAH solution : Orientation-dependent adsorption detected by in-situ infra-red spectroscopy2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Study of corner compensating structures and fabrication of various shapes of MEMS structures in pure and surfactant added TMAH2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Orientation and concentration dependent surfactant adsorption on silicon in aqueous alkaline solutions: Explaining the changes in the etch rate, roughness and undercutting for MEMS applications2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Nieminen, Discrete and continuous cellular automata for the simulation of propagating surfaces2009

著者名/発表者名

雑誌名

ゴサルベスミゲル GOSALVEZ Miguel

GOSALVEZ Miguel A. ゴサルベスミゲル A