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柳谷 隆彦  TAKAHIKO Yanagitani

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 10450652
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 早稲田大学, 理工学術院, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2025年度: 早稲田大学, 理工学術院, 教授
2021年度 – 2023年度: 早稲田大学, 理工学術院, 教授
2015年度 – 2021年度: 早稲田大学, 理工学術院, 准教授
2014年度: 早稲田大学先進理工学部, 電気・情報生命工学科, 准教授
2012年度 – 2014年度: 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教
2010年度: 名古屋工業大学, 大学院・工学研究科, 助教
2009年度 – 2010年度: 名古屋工業大学, 工学研究科, 助教
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / 電子デバイス・電子機器 / 中区分21:電気電子工学およびその関連分野 / 中区分30:応用物理工学およびその関連分野 / 機械材料・材料力学 / 応用物理学一般
研究代表者以外
計測工学 / 応用物理学一般
キーワード
研究代表者
圧電薄膜 / 圧電デバイス / 圧電薄膜センサ / BAWフィルタ / 抗原抗体反応 / ScAlN / エピタキシャル成長 / 音響ブラッグ反射器 / 圧電薄膜共振子 / SMR … もっと見る / 分極反転構造 / 横波デバイス / 圧電薄膜共振子センサ / たんぱく質センサ / すべりモード / 横波トランスデューサ / 複素反射率測定 / AlN / FBAR / 圧電薄膜デバイス / 液体中センサ / 液中センサ / 横波共振子 / センサ / 高周波超音波プローブ / 極性反転構造 / 超音波プローブ / イオンビーム支援成膜 / 配向制御 / 圧電性評価 / 横波応用センサ / 窒化アルミニウム薄膜 / 巨大横波圧電性 / 高感度MEMS / 横波圧電薄膜 / 横波励振 / 面内配向膜 / ZnO薄膜 / 液体センサ / 弾性表面波 / スパッタリング … もっと見る
研究代表者以外
圧電 / AlN圧電薄膜 / 分極反転層 / 層厚測定 / 極性反転圧電薄膜 / 極性反転構造 / 走査型非線形誘電率顕微法 / 圧電薄膜 / 分極反転 / 音速 / 非接触 / 半導体 / 光散乱 / 計測システム / FDTD / トランスデューサ / 骨 / 皮質骨 / 超音波 隠す
  • 研究課題

    (11件)
  • 研究成果

    (872件)
  • 共同研究者

    (10人)
  •  高次モードScAlNエピブラッグ反射器を用いたマイクロセンサ研究代表者

    • 研究代表者
      柳谷 隆彦
    • 研究期間 (年度)
      2025 – 2029
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  分極反転圧電薄膜を用いた基地局向けの耐電力小型音響共振子フィルタの実現研究代表者

    • 研究代表者
      柳谷 隆彦
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2023
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分21:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測研究代表者

    • 研究代表者
      柳谷 隆彦
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  高速負イオン発生抑制成膜による安価なCeを用いたAlN薄膜の圧電性増幅研究代表者

    • 研究代表者
      柳谷 隆彦
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2020
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分30:応用物理工学およびその関連分野
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測研究代表者

    • 研究代表者
      柳谷 隆彦
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  走査型非線形誘電率顕微法による極性反転圧電薄膜の層状構造測定法の研究

    • 研究代表者
      小田川 裕之
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      熊本高等専門学校
  •  極性反転多層構造の巨大圧電性薄膜を用いたGHz帯高分解能超音波プローブの実現研究代表者

    • 研究代表者
      柳谷 隆彦
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2016
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  超音波照射により生じる骨中の圧電現象の計測と評価

    • 研究代表者
      松川 真美
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2014
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      同志社大学
  •  光散乱法を用いた非接触圧電特性評価システムの開発

    • 研究代表者
      松川 真美
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      同志社大学
  •  高感度センサMEMSを目指した巨大横波圧電薄膜の開発研究代表者

    • 研究代表者
      柳谷 隆彦
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2014
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      機械材料・材料力学
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  •  圧電薄膜を用いた表面波型液体計測センサの開発研究代表者

    • 研究代表者
      柳谷 隆彦
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2010
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      名古屋工業大学

すべて 2024 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 産業財産権

  • [雑誌論文] Epitaxial ZnO piezoelectric layer on SiO2/Mo solidly mounted resonator fabricated using epitaxial Au sacrificial layer2024

    • 著者名/発表者名
      S. Tokai,T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 17 号: 2 ページ: 25501-25501

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ad2222

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] Full-epitaxial ScAlN and MgZnO solidly mounted resonators based on epitaxial acoustic Bragg reflector2024

    • 著者名/発表者名
      S. Tokai,T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.

      巻: 124, 号: 8 ページ: 82901-82901

    • DOI

      10.1063/5.0196492

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] Enhanced electromechanical coupling from cation local structures in (Mg,Zn)O2024

    • 著者名/発表者名
      J. Jia,D. Kishi,N. Bai,T. Okajima,F. Lesari,T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Phys. Rev. B

      巻: 109 号: 13 ページ: 134101-134101

    • DOI

      10.1103/physrevb.109.134101

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] Simple microfabrication process for quartz crystal using HF gas and catalytic materials2023

    • 著者名/発表者名
      Ko-Hei Sano,Yoshitaka Ono,Yutaka Imamura,Yasuo Hayashi,Takahiko Yanagitani]
    • 雑誌名

      Proc 2023 IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-1

    • DOI

      10.1109/ius51837.2023.10308115

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] GHz fingerprint acoustic imaging by mechanically scanning a soft conductive probe on epitaxial PbTiO3 films2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Koike,Y. Sato,T. Yanagitani
    • 雑誌名

      IEEE Sens. Lett

      巻: 7 号: 10 ページ: 2504004-2504004

    • DOI

      10.1109/lsens.2023.3308517

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] Bragg reflector type shear mode BAW transformer based on c-axis zig-zag ScAlN multilayer for rectifying antenna2023

    • 著者名/発表者名
      K. Shiraiwa,T. Yanagitani
    • 雑誌名

      IEEE Sens. Lett.

      巻: 7 号: 11 ページ: 2504404-2504404

    • DOI

      10.1109/lsens.2023.3316883

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] Improvement of Shear-Mode Electromechanical Coupling of c-Axis Parallel Oriented ZnO Film by Limiting Particle Irradiation Direction During RF Magnetron Sputtering2023

    • 著者名/発表者名
      Naoki Tomiyama,Taiki Sato,Shinji Takayanagi,Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. 2023 IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-1

    • DOI

      10.1109/ius51837.2023.10307602

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] Enhanced Electromechanical Coupling in Yb-Substituted III?V Nitride Alloys2022

    • 著者名/発表者名
      Jia Junjun、Iwata Naoya、Suzuki Masashi、Yanagitani Takahiko
    • 雑誌名

      ACS Applied Electronic Materials

      巻: 4 号: 7 ページ: 3448-3456

    • DOI

      10.1021/acsaelm.2c00371

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734, KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [雑誌論文] c軸ジグザク分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ2022

    • 著者名/発表者名
      泉航太、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 121, no. 348, US2021-59, ページ: 5-10

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] Giga-hertz ultrasonic reflectometry for fingerprint imaging using epitaxial PbTiO3 transducers2022

    • 著者名/発表者名
      K. Nakamura, Y. Koike, Y. Sato, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.,

      巻: vol.121, no. 17 号: 17 ページ: 172903-172903

    • DOI

      10.1063/5.0106931

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734, KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [雑誌論文] Oblique incidence ultrasonic reflectometry device based on c-axis tilted ScAlN films for evaluating viscoelastic properties of liquids above 100 MHz2022

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.,

      巻: vol.121, no. 15 号: 15 ページ: 152901-152901

    • DOI

      10.1063/5.0112070

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734, KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [雑誌論文] A method for extracting sole mechanical properties of Bragg reflector by GHz ultrasonic pulse-echo technique2022

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani, N. Ishii, K. Kondo, M. Suzuki
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.,

      巻: vol.121, no. 18 号: 18 ページ: 182901-182901

    • DOI

      10.1063/5.0109429

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734, KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [雑誌論文] Polarization control of ScAlN, ZnO, and PbTiO3 piezoelectric films: Application to polarization inverted multilayer BAW and SAW devices2021

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani and S. Takayanagi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: vol. 60 号: SD ページ: SD0803-SD0803

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abfd95

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] Comparison of the kt2 Extraction Methods of Piezoelectric Films in Film/Substrate Structure and SelfStanding Film Structure2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, K. Kondo, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: - ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ius52206.2021.9593646

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] GHz BAW Piezoelectric Transformers for Passive Voltage Amplification Using the Epitaxial ZnO Thin Films2021

    • 著者名/発表者名
      H. Kishi, S. Kobayashi, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: - ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ius52206.2021.9593412

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] 超音波映像装置用の耐電力性プローブ向けの新しいエピタキシャル圧電薄膜材料2021

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 雑誌名

      非破壊検査

      巻: vol. 70 no. 9

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] Detection of Protein Binding by Shear Mode Ultrasonic Reflection Coefficients Using c-Axis Tilted ScAlN Film Above 100MHz2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Miho, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: - ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ius52206.2021.9593876

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] c-Axis-Tilted ScAlN Film on Silicon Substrate for Surface Acoustic Wave Device2021

    • 著者名/発表者名
      T. Tominaga, S. Takayanagi, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: - ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ius52206.2021.9593770

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] Theoretical and experimental study of shear mode bulk acoustic wave transformer based on c-axis zigzag ScAlN multilayer for rectenna application2021

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.

      巻: vol. 118 号: 14 ページ: 142903-142903

    • DOI

      10.1063/5.0041623

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] Negative-ion bombardment increases during low-pressure sputtering deposition and their effects on the crystallinities and piezoelectric properties of scandium aluminum nitride films2021

    • 著者名/発表者名
      T. Tominaga, S. Takayanagi and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: vol. 55 号: 10 ページ: 105306-105306

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ac3d5c

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] ScAlNとPbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた高効率超音波トランスデューサの現状2021

    • 著者名/発表者名
      岩田直也、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      超音波テクノ(日本工業出版)

      巻: vol. 33 ページ: 90-94

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] A Method for Evaluating Acoustic Bragg Reflector by Ultrasonic Microscope2021

    • 著者名/発表者名
      N. Ishii, K. Kondo, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: - ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ius52206.2021.9593536

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] Ion-beam-induced in-plane a-axis oriented (0001) AlN and ScAlN thin film BAW resonators2021

    • 著者名/発表者名
      C. Masamune, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: vol. 11 no.12 号: 12 ページ: 125215-125215

    • DOI

      10.1063/5.0002307

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] PbTiO3エピ圧電薄膜を用いた基板裏面におけるGHz超音波の指紋イメージング2021

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕友、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 121, no. 272, US2021-42

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] Experimental and Theoretical Investigation of kt2 and Velocity in YbGaN Films by DFT2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Koike, J. Jia, M. Suzuki, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: - ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/ius52206.2021.9593474

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] スパッタ法により作製した0.3mmの10MHz帯ScAlN薄板トランスデューサ2021

    • 著者名/発表者名
      岩田直也、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 121, no. 272, US2021-432 ページ: 19-24

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [雑誌論文] レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス2020

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 120, no. 174 ページ: 45-50

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [雑誌論文] AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較2020

    • 著者名/発表者名
      五月女巧、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 120, no. 222 ページ: 34-39

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [雑誌論文] Experimental and Theoretical Investigation of kt? and Mechanical Quality Factor (Qm) in YbAlN Films Asing DFT2020

    • 著者名/発表者名
      Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Junjun Jia, Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-2

    • DOI

      10.1109/ius46767.2020.9251775

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] c-Axis Oriented ScAlN/ SiO2 Multilayer BAW Transformer for Rectifying Antenna Applications2020

    • 著者名/発表者名
      Kota Izumi, Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ius46767.2020.9251603

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響2020

    • 著者名/発表者名
      木原流唯、高柳真司、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 120, no. 174 ページ: 51-56

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [雑誌論文] AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較2020

    • 著者名/発表者名
      五月女巧、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 120, no. 222 ページ: 34-39

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] Self-Standing FBAR Transformer Based on Shear Mode Zig-Zag ScAlN Multilayer for Rectenna Application2020

    • 著者名/発表者名
      Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ius46767.2020.9251481

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] GHz BAW Piezoelectric Transformers with High Voltage Gain Using the Combination of High and Low Dielectric Constant Thin Films2020

    • 著者名/発表者名
      Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ius46767.2020.9251634

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響2020

    • 著者名/発表者名
      冨永卓海、髙柳真司、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 120, no. 222 ページ: 1-6

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] Enhancement of GHz Electromechanical Coupling Coefficient kt? of MgZnO and CaZnO Thin Film BAW Resonators2020

    • 著者名/発表者名
      Kota Izumi, Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/ius46767.2020.9251624

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] Extracting Mechanical Q Factor of the Pure AlN, ZnO, and ScAlN Film Without Etching Substrate2020

    • 著者名/発表者名
      Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-2

    • DOI

      10.1109/ius46767.2020.9251667

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] Extraction of kt? of Piezoelectric Film/Substrate Structure by Conversion Loss Derived by Electromagnetic Signal Including No Acoustic Losses2020

    • 著者名/発表者名
      Ryota Tatsumi, Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/ius46767.2020.9251575

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] Zig-Zag ScAlN Multilayer SMR for High Power BAW Filter Application Such as RF Base Station2020

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/ius46767.2020.9251656

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響2020

    • 著者名/発表者名
      木原流唯、高柳真司、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 120, no. 174 ページ: 51-56

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] Measurement of Antiresonant Frequency During DC Bias Voltage Application for Analysis of Second Harmonic Response of ScAlN on SMR2020

    • 著者名/発表者名
      Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ius46767.2020.9251804

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス2020

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 120, no. 174 ページ: 45-50

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] ScAlN Nano-Rods Structure Thin Film Grown by a Self-Shadowing Oblique Sputtering for High Electromechanical Coupling Transducer Applications2020

    • 著者名/発表者名
      Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ius46767.2020.9251311

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] 基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較2020

    • 著者名/発表者名
      龍見亮汰、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 120, no. 174 ページ: 57-60

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] Accurate Extraction of kt2 of Piezoelectric Film/Substrate Structure by Conversion Loss Method Subtracting Experimental Acoustic Losses in the Substrate2020

    • 著者名/発表者名
      Ryota Tatsumi, Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/ius46767.2020.9251360

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] 基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較2020

    • 著者名/発表者名
      龍見亮汰、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 120, no. 174 ページ: 57-60

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [雑誌論文] Giga-Hertz Piezoelectric Epitaxial PZT/La-SrTiO3 Transducer for the Application of Fingerprint Imaging2020

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-3

    • DOI

      10.1109/ius46767.2020.9251666

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響2020

    • 著者名/発表者名
      冨永卓海、髙柳真司、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 120, no. 222 ページ: 1-6

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [雑誌論文] Deterioration in the Piezoelectric Property of ScAlN Thin Films by Negative Ion Bombardment Increased in Low-Pressure Sputtering Deposition2020

    • 著者名/発表者名
      Takumi Tominaga, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ius46767.2020.9251438

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価2019

    • 著者名/発表者名
      天野凌輔,山川愉生,柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 119 ページ: 19-23

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] Ion beam induced A-Axis in-plane oriented C-Axis oriented AlN thin film growth for high-Q BAW resonator application2019

    • 著者名/発表者名
      C. Masamune and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1127-1128

    • DOI

      10.1109/ultsym.2019.8926047

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037, KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] A method to estimate Kt2 of piezoelectric films from the change of lattice strain by XRD without removing substrate2019

    • 著者名/発表者名
      T. Soutome and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 301-304

    • DOI

      10.1109/ultsym.2019.8925766

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037, KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] ScAlN圧電薄膜の高品質化に向けたScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンの抑制~電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較~2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 雑誌名

      真空ジャーナル

      巻: 2019年9月号 ページ: 11-15

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性2019

    • 著者名/発表者名
      宮田昌哉,高柳真司,松川真美,柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 119 ページ: 33-37

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] A method for extracting mechanical Q factor of the piezoelectric film without etching substrate2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 229-300

    • DOI

      10.1109/ultsym.2019.8926088

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037, KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価2019

    • 著者名/発表者名
      天野凌輔,山川愉生,柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 119 ページ: 19-23

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [雑誌論文] Shear mode polarity inverted ScAlN multilayer for application to BAW transformer in rectifying antenna2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1118-1119

    • DOI

      10.1109/ultsym.2019.8925674

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037, KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] Improvement of C-Axis parallel orientation of ZnO film on silica glass pipes with various diameters for SH-SAW pipe sensor2019

    • 著者名/発表者名
      T. Wakabayashi, S. Takayanagi, Y. Takamura, M. Matsukawa, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 671-674

    • DOI

      10.1109/ultsym.2019.8925796

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037, KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-18K13766, KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] ScAlN圧電薄膜の高品質化に向けたScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンの抑制~電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較~2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 雑誌名

      真空ジャーナル

      巻: 2019年9月号 ページ: 11-15

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on PZT/PTO epitaxial films using difference in coercive field2019

    • 著者名/発表者名
      T. Shimidzu, T. Mori, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.,

      巻: vol. 114 号: 21 ページ: 212902-212902

    • DOI

      10.1063/1.5089554

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037, KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] ScAlN圧電薄膜の高品質化に向けたScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンの抑制~電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較~2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 雑誌名

      真空ジャーナル

      巻: 2019年9月号 ページ: 11-15

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [雑誌論文] Effect of negative ions generation from sputtering target on crystalline orientation and Kt2 of ScAlN thin films2019

    • 著者名/発表者名
      R. Kihara and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1120-1123

    • DOI

      10.1109/ultsym.2019.8925983

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037, KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性2019

    • 著者名/発表者名
      宮田昌哉,高柳真司,松川真美,柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 119 ページ: 33-37

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [雑誌論文] ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性2019

    • 著者名/発表者名
      宮田昌哉,高柳真司,松川真美,柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 119 ページ: 33-37

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価2019

    • 著者名/発表者名
      天野凌輔,山川愉生,柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 119 ページ: 19-23

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on electric-field-induced piezoelectric PMN-PT/PZT epitaxial film stacks2019

    • 著者名/発表者名
      T. Shimidzu and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: vol. 126 号: 11 ページ: 114104-114104

    • DOI

      10.1063/1.5092753

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037, KAKENHI-PROJECT-19H02202, KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] “Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent phonons induced by ScAlN piezoelectric thin-film transducer,”2018

    • 著者名/発表者名
      M. Kawabe, S. Takayanagi, H, Ichihashi, M. Suzuki, T. Yanagitani and M. Matsukawa
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Ultrason.,Ferroelectr.,Freq.Contr.

      巻: 65 号: 10 ページ: 1882-1887

    • DOI

      10.1109/tuffc.2018.2854710

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] “ScAlN thick film ultrasonic transducer in 40 MHz ?80 MHz,”2018

    • 著者名/発表者名
      K-H. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Ultrason.,Ferroelectr.,Freq.Contr.

      巻: 65 号: 11 ページ: 2097-2102

    • DOI

      10.1109/tuffc.2018.2865791

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [雑誌論文] Effects of negative oxygen ions generated during Sc ingot sputtering on electromechanical coupling of ScAlN film2017

    • 著者名/発表者名
      Sliinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp

      巻: 1 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ultsym.2017.8092666

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] High electromechanical coefficient kt 2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz2017

    • 著者名/発表者名
      K-h. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani,
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp

      巻: 1 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ultsym.2017.8092005

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] Al極性ScAlNとO極性ZnO薄膜を用いた多層構造の高効率超音波トランスデューサ2017

    • 著者名/発表者名
      森 剛志、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      超音波テクノ(日本工業出版) ,,

      巻: vol. 29 ページ: 84-87

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [雑誌論文] Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices,2017

    • 著者名/発表者名
      S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani,
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp

      巻: 1 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ultsym.2017.8092072

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] Thick ScAlN film for high efficient ultrasonic transducer in low frequency of 81 MHz2017

    • 著者名/発表者名
      Ko-Hei Sano; Rei Karasawa; Takahiko Yanagitani
    • 雑誌名

      2017 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS)

      巻: 1 ページ: 862-865

    • DOI

      10.1109/transducers.2017.7994185

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] Al極性ScAlNとO極性ZnO薄膜を用いた多層構造の高効率超音波トランスデューサ2017

    • 著者名/発表者名
      森 剛志、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      超音波テクノ(日本工業出版)

      巻: vol. 29 ページ: 84-87

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] コヒーレントフォノン励起を用いたBrillouin散乱法による縦波・横波音速測定の高速化2017

    • 著者名/発表者名
      川部昌彦、柳谷隆彦、柴垣慶明、高柳真司、鈴木雅視、松川真美
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: 117 ページ: 71-74

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] Quantitative thickness measurement of polarity-inverted piezoelectric thin-film layer by scanning nonlinear dielectric microscopy2017

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Odagawa, Koshiro Terada, Yohei Tanaka, Hiroaki Nishikawa, Takahiko Yanagitani and Yasuo Cho
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 10S ページ: 10PF18-10PF18

    • DOI

      10.7567/jjap.56.10pf18

    • NAID

      210000148395

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04725, KAKENHI-PROJECT-16H06360
  • [雑誌論文] Effect of anisotropy on stress-induced electrical potentials in bovine bone using ultrasound irradiation2017

    • 著者名/発表者名
      S. Matsukawa, T. Makino, S. Mori, D. Koyama, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, and M. Matsukawa,
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.

      巻: 110 号: 14 ページ: 143701-143701

    • DOI

      10.1063/1.4979599

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356, KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [雑誌論文] ScAlN薄膜/低TCF基板構造のすべりモード共振子を用いたMHz帯-GHz帯同時粘性評価2017

    • 著者名/発表者名
      山川愉生、佐野耕平、唐澤嶺、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: 117 ページ: 61-66

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] C-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna2017

    • 著者名/発表者名
      R. Karasawa, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp

      巻: 1 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ultsym.2017.8091618

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] “A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using caxis tilted ScAlN thin film on temperature Stable AT-cut quartz thick plate2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamakawa, K-h. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani,
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp

      巻: 1 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ultsym.2017.8092520

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] Broadband frequency viscositymeasurement using low TCF shear mode resonators consisting of C-axis tilted scaln thin film on thick at-cut quartz plate2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamakawa; K. Sano; R. Karasawa; T. Yanagitani
    • 雑誌名

      2017 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS)

      巻: 1 ページ: 2135-2138

    • DOI

      10.1109/transducers.2017.7994497

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] Evaluation of the acoustoelectric effect in the thickness direction of c-plane ZnO single crystals by Brillouin scattering2017

    • 著者名/発表者名
      S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H.Ichihashi, Y. Shibagaki, H. Hayashi, and M. Matsukawa,
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys

      巻: 121 号: 23 ページ: 235102-235102

    • DOI

      10.1063/1.4985699

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] The frequency wwitchable multi-layered BST/BaTiO3 epitaxial film resonator,2017

    • 著者名/発表者名
      T. Shimidzu, T. Yanagitani, K. Wasa
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp

      巻: 1 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ultsym.2017.8091518

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] 電気機械結合係数kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80MHzトランスデューサ2017

    • 著者名/発表者名
      佐野耕平、唐澤嶺、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: 117 ページ: 59-63

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランスデューサ2016

    • 著者名/発表者名
      森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: 116 ページ: 1-6

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [雑誌論文] Effects of energetic negative ions generated from sputtering targets on ScAlN film growth2016

    • 著者名/発表者名
      S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ultsym.2016.7728836

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356, KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [雑誌論文] ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランデューサ2016

    • 著者名/発表者名
      森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 116 ページ: 1-6

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] GHz帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ2016

    • 著者名/発表者名
      森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: 116 ページ: 7-12

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [雑誌論文] Hz帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ2016

    • 著者名/発表者名
      森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 116 ページ: 7-12

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [雑誌論文] Method for measuring polarity-inverted layered structure in dielectric thin films using scanning nonlinear dielectric microscopy2016

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Odagawa, Koshiro Terada, Hiroaki Nishikawa, Takahiko Yanagitani, Yasuo Cho
    • 雑誌名

      Ferroelectrics

      巻: 498(1) 号: 1 ページ: 47-51

    • DOI

      10.1080/00150193.2016.1169493

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04725, KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [雑誌論文] Hz帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ2016

    • 著者名/発表者名
      森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol.116 ページ: 7-12

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] Acoustic wave velocities and refractive indices in an m-plane GaN single crystal plate and c-axis oriented ScAlN films measured by Brillouin scattering techniques2016

    • 著者名/発表者名
      H. Ichihashi T. Yanagitani, M. Suzuki, S. Takayanagi, M. Kawabe, S. Tomita and M. Matsukawa
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr

      巻: 63 号: 5 ページ: 717-725

    • DOI

      10.1109/tuffc.2016.2544864

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974, KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランデューサ2016

    • 著者名/発表者名
      森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: vol. 116 ページ: 1-6

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [雑誌論文] Rapid and simultaneous measurement of longitudinal and shear wave velocities by Brillouin scattering from artificially induced phonons2016

    • 著者名/発表者名
      M. Kawabe, Y. Shibagaki, M. Matsukawa, T. Yanagitani M. Suzuki, S .Takayanagi
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/ultsym.2016.7728801

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356, KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [雑誌論文] Method for measuring polarity-inverted layered structure in dielectric thin films using scanning nonlinear dielectric microscopy2016

    • 著者名/発表者名
      H. Odagawa, K. Terada, H. Nishikawa, T. Yanagitani, Y. Cho
    • 雑誌名

      Ferroelectrics

      巻: vol. 498 ページ: 47-51

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [雑誌論文] 非破壊検査用の高分解能超音波プローブ2015

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦、鈴木雅視、高柳 真司
    • 雑誌名

      日本音響学会誌

      巻: 71 ページ: 230-238

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [雑誌論文] Effects of microstructure and water on the electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation2015

    • 著者名/発表者名
      Hiroko Tsuneda, Sayaka Matsukawa, Shinji Takayanagi, Katsunori Mizuno, Takahiko Yanagigatani, Mami Matsukawa
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 106 号: 7 ページ: 0737041-4

    • DOI

      10.1063/1.4909546

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360161, KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] 走査型非線形誘電率顕微法による極性反転層状構造圧電膜の層厚の定量測定2015

    • 著者名/発表者名
      寺田浩士朗、西川宏明、田中陽平、小田川裕之、柳谷隆彦、長康雄
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告

      巻: 115 ページ: 23-26

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [雑誌論文] High-Tc/high-coupling relaxed PZT-based single crystal thin films2015

    • 著者名/発表者名
      K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani and T. Yamamoto
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 117 号: 12 ページ: 124106-124106

    • DOI

      10.1063/1.4915947

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] 走査型非線形誘電率顕微法に・E謔驪ノ性反転層状構造圧電薄膜の層厚の定量測定2015

    • 著者名/発表者名
      寺田浩士朗, 西川宏明, 田中陽平, 小田川裕之, 柳谷隆彦, 長康雄
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術報告

      巻: US2015-62 ページ: 23-26

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04725
  • [雑誌論文] Gigahertz acoustic wave velocity measurement in GaN single crystals considerinf acoust-electric effect2014

    • 著者名/発表者名
      H.Ichihashi, T.Yanagitani, S.Takayanagi, M.Kawabe, M.Matsukawa
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr.

      巻: 61

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656259
  • [雑誌論文] Gigahertz acoustic wave velocities measurement in GaN single crystals considering acousto-electric effect2014

    • 著者名/発表者名
      H. Ichihashi, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Kawabe and M. Matsukawa
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr.,

      巻: in press

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] Electromechanical coupling and gigahertz elastic properties of ScAlN films near phase boundary2014

    • 著者名/発表者名
      Takahiko Yanagitani and Masashi Suzuki
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 105 号: 12 ページ: 122907-122907

    • DOI

      10.1063/1.4896262

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-13J05891, KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] Polarity-inverted ScAlN film growth by ion beam irradiation and application to overtone acoustic wave (000-1)/(0001) film resonators2014

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki, T. Yanagitani, and H. Odagawa
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett

      巻: 104

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] Gigahertz acoustic wave velocity measurement in GaN single crystals considering acousto-electric effect2014

    • 著者名/発表者名
      H Ichihashi, T Yanagitani, S Takayanagi, M Kawabe, M Matsukawa
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.

      巻: 61 号: 8 ページ: 1307-1307

    • DOI

      10.1109/tuffc.2014.3037

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] Polarity-inverted ScAlN film growth by ion beam irradiation and application to overtone acoustic wave (000-1)/(0001) film resonators2014

    • 著者名/発表者名
      Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani, and Hiroyuki Odagawa
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 104 号: 17 ページ: 172905-172905

    • DOI

      10.1063/1.4874840

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-13J05891, KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] Enhanced piezoelectricity in YbGaN films near phase boundary2014

    • 著者名/発表者名
      Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 104 号: 8 ページ: 8291-8291

    • DOI

      10.1063/1.4866969

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-13J05891, KAKENHI-PROJECT-24656259, KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] Influence of the circumferential wave on the fast and slow wave propagation in small distal radius bone2014

    • 著者名/発表者名
      Isao Mano, kaoru Horii, Fuminori Fujita, Yoshiki Nagatani, Mami Matsukawa, Takahiko Otani
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 号: 7S ページ: 07KF07-07KF07

    • DOI

      10.7567/jjap.53.07kf07

    • NAID

      210000144258

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360161, KAKENHI-PROJECT-25871038
  • [雑誌論文] High-performance Brillouin spectroscopy of phonons induced by a piezoelectric thin film with a coaxial microwave resonator2013

    • 著者名/発表者名
      H.Sano, T.Yanagitani, S.Takayanagi, T.Sugimoto, M.Matsukawa
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectronics, Frequency control

      巻: 60

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656259
  • [雑誌論文] High-performance brillouin spectroscopy of phonons induced by a piezoel ectric thin film with a coaxial microwave resonator2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Sano, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Takeshi Sugimoto, Mami Matsukawa
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequencv Control

      巻: 60 号: 5 ページ: 873-876

    • DOI

      10.1109/tuffc.2013.2643

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-12J05255, KAKENHI-PROJECT-24656259, KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] Electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation in the megahertz range2013

    • 著者名/発表者名
      M. Okino, S. Coutelou, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: Vol. 103 号: 10 ページ: 103701-103701

    • DOI

      10.1063/1.4819853

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360161, KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] A method for predicting thickness of the unoriented layer in ZnO film using piezoelectricity distribution in depth direction2013

    • 著者名/発表者名
      Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
    • 雑誌名

      Journal of Physics D : Applied Physics

      巻: 46 号: 31 ページ: 315305-315305

    • DOI

      10.1088/0022-3727/46/31/315305

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-12J05255, KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] Effect of metal mode and oxide mode on unusual c-axis parallel oriented ZnO film growth on Al/glass substrate in a reactive magnetron sputtering of Zn target2013

    • 著者名/発表者名
      Shinii Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 363 ページ: 22-24

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2012.09.016

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-12J05255, KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] Significant shear mode softening in a c-axis tilt nanostructured hexagonal thin fil m induced by a self-shadowing effect2013

    • 著者名/発表者名
      Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki
    • 雑誌名

      Scripta Materialia

      巻: 69(10) 号: 10 ページ: 724-727

    • DOI

      10.1016/j.scriptamat.2013.08.011

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-13J05891, KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] Unusual growth of polycrystalline oxide film induced by negative ion bombardment in the capacitively coupled plasma deposition2012

    • 著者名/発表者名
      Shinii Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 101 号: 23 ページ: 232902-232902

    • DOI

      10.1063/1.4769224

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-12J05255, KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons2012

    • 著者名/発表者名
      T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
    • 雑誌名

      Abstract reviewed, Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 2187-2190

    • DOI

      10.1109/ultsym.2012.0546

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656259, KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] Wideband multimode transducer consisting of c-axis tilted ZnO/c-axis normal ZnO multilayer2012

    • 著者名/発表者名
      Shinii Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 号: 7S ページ: 07GC08-07GC08

    • DOI

      10.1143/jjap.51.07gc08

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-12J05255, KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] Polarization inverted (0001) / (000-1) ScAlN film resonators operating in second overtone mode2012

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki, T. Yanagitani, H. Odagawa
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      巻: 1 ページ: 1230-1233

    • DOI

      10.1109/ultsym.2012.0482

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [雑誌論文] c-axis zig-zag ZnO film ultrasonic transducers for designing longitudinal and shear wave resonant frequencies and modes2011

    • 著者名/発表者名
      T.Yanagitani, N Morisato, S.Takayanagi, M.Matsukawa, Y.Watanabe
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr.

      巻: 58(印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] Texture modification of wurtzite piezoelectric films by ion beam irradiation2011

    • 著者名/発表者名
      T.Yanagitani, M.Kiuchi
    • 雑誌名

      Surf.Coat.Technol.

      巻: (印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] Observation of induced longitudinal and shear acoustic phonons by Brillouin scattering2011

    • 著者名/発表者名
      T.Yoshida, T.Yanagitani, M.Matsukawa
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. vol.58. no.6,in press

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] Texture modification of wurtzite piezoelectric films by ion beam irradiation2011

    • 著者名/発表者名
      T.Yanagitani, M.Kiuchi
    • 雑誌名

      Surf.Coat.Technol. in press

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] 超高周波、高Q値、高圧電性、高キュリー温度の両立に向けて2011

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 雑誌名

      超音波テクノ(解説記事)

      巻: 23 ページ: 40-44

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] A method for measuring in-plane unidirectional electrical properties in a wide band-gapsemiconductor using a Brillouin scattering method2010

    • 著者名/発表者名
      T.Yanagitani, H.Sano, M.Matsukawa
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys.

      巻: 108

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] Large-area growth of in-plane oriented (11-20) ZnO films by linear cathode magnetron sputtering2010

    • 著者名/発表者名
      T.Kawamoto, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe, Y.Mori, S.Sasaki, M.Oba
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] A method for measuring in-plane unidirectional electrical properties in a wide band-gap semiconductor using a Brillouin scattering method2010

    • 著者名/発表者名
      T.Yanagitani, H.Sano, M.Matsukawa
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys. vol.108

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] (11-20)配向AlN薄膜を用いた純横波モード共振子2010

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦, 木内正人, 松川真美
    • 雑誌名

      超音波テクノ 22

      ページ: 46-49

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] Large-area growth of in-plane oriented (11-20) ZnO films by linear cathode magnetron sputtering2010

    • 著者名/発表者名
      T.Kawamoto, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe, Y.Mori, S.Sasaki, M.Oba
    • 雑誌名

      Jpn, J.Appl.Phys (未定)(印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] Anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite orientation in bovine cortical bone2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Yaoi, K Yamamoto, Y.Yamato, T.Yanagitani, M.Matsukawa, K.Yamazaki, A.Nagano
    • 雑誌名

      Jpn, J.Appl.Phys 48

    • NAID

      210000067157

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films2009

    • 著者名/発表者名
      N.Morisato, S.Takayanagi, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe
    • 雑誌名

      Proc.IEEE Ultrason.Symp.2009 1

      ページ: 2162-2165

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] Distribution of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite crystallite orientation in bovine cortical bone2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Yaoi, K.Yamamoto, Y.Yamato, T.Yanagitani, M.Matsukawa, K.Yamazaki, A.Nagano
    • 雑誌名

      Acoust.Sci.& Tech. vol.30, no.4

      ページ: 306-309

    • NAID

      10025992837

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価に関する検討2009

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美
    • 雑誌名

      超音波テクノ 21

      ページ: 35-38

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method2009

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani, H.Sano, M.Matsukawa
    • 雑誌名

      Proc.IEEE Ultrason.Symp.2009 1

      ページ: 1074-1077

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] Anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite orientation in bovine cortical bone2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Yaoi, K.Yamamoto, T.Nakatsuji, T.Yanagitani, M.Matsukawa, K.Yamazaki, A.Nagano
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. vol.48

    • NAID

      210000067157

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] c-axis zig-zag ZnO film ultrasonic transducers for designing longitudinal and shear wave resonant frequencies and modes

    • 著者名/発表者名
      T.Yanagitani, N.Morisato, S.Takayanagi, M.Matsukawa, Y.Watanabe
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. vol.58. no.5

      ページ: 1062-1068

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [雑誌論文] Gigahertz acoustic wave velocities measurement in GaN single crystals considering acousto-electric effect

    • 著者名/発表者名
      H. Ichihashi T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Kawabe and M. Matsukawa
    • 雑誌名

      Reviewed, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.

      巻: (accepted)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656259
  • [雑誌論文] Observation of induced longitudinal and shear acoustic phonons by Brillouin scattering

    • 著者名/発表者名
      T.Yoshida, T.Yanagitani, M.Matsukawa
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr.

      巻: (Accepted)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [産業財産権] 薄膜の配向制御方法及び薄膜製造方法2012

    • 発明者名
      藤澤隆志、川本貴之,森嘉一,渡辺好章,柳谷隆彦
    • 権利者名
      藤澤隆志、川本貴之,森嘉一,渡辺好章,柳谷隆彦
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2012-06-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [産業財産権] 薄膜製造方法飲び装2010

    • 発明者名
      柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美, 渡辺好章
    • 権利者名
      名古屋工業大学、同志社大学
    • 出願年月日
      2010-01-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [産業財産権] ウルツ鉱圧電体薄膜、該薄膜の製造方法及び製造装置、並びに薄膜共振子2010

    • 発明者名
      柳谷隆彦、鈴木雅視、渡辺好章
    • 権利者名
      名古屋工業大学、同志社大学
    • 出願年月日
      2010-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [産業財産権] 薄膜製造方法及び装置2010

    • 発明者名
      柳谷隆彦、高柳真司、松川真美、渡辺好章
    • 権利者名
      名古屋工業大学、同志社大学
    • 産業財産権番号
      2009-019956
    • 出願年月日
      2010-01-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [産業財産権] ウルツ鉱圧電体薄膜、該薄膜の製造方法及び製造装置、並びに薄膜共振子2010

    • 発明者名
      柳谷隆彦、鈴木雅視、渡辺好章
    • 権利者名
      名古屋工業大学、同志社大学
    • 産業財産権番号
      2010-270539
    • 出願年月日
      2010-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] エピタキシャルYSZ薄膜およびYHfO2薄膜の誘起圧電性2024

    • 著者名/発表者名
      勝又 彩馨, 島野 耀康, 柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] パルスエコー法による減衰定数測定を用いたScAlN薄膜のQ値評価2024

    • 著者名/発表者名
      島野 耀康, 柳谷 隆彦
    • 学会等名
      圧電・材料デバイスシンポジウム2024
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 純 AlN 薄膜 SMR の kt2ヒステリシス特性2024

    • 著者名/発表者名
      花井 彩香, 柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 電極抵抗低減に向けて上下電極に金属音響ブラッグ反射器を採用したSMR2024

    • 著者名/発表者名
      富岡 美咲, 渡海 智, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電・材料デバイスシンポジウム2024
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピタキシャル PbTiO3薄膜を用いた ブラッグ反射器型共振子の分極反転特性2024

    • 著者名/発表者名
      下山 航, 島野 耀康, 國信 聡太, 柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 分極反転もしくは中間電極を用いたScAlN多層薄膜SMRによる二重モード型BAWフィルタ(DMB)2024

    • 著者名/発表者名
      松村 桃佳, 柴田 真之, 柳谷 隆彦
    • 学会等名
      圧電・材料デバイスシンポジウム2024
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピタキシャルPbTiO3薄膜を用いたブラッグ反射器型共振子2024

    • 著者名/発表者名
      下山 航, 島野 耀康, 國信 聡太, 柳谷 隆彦
    • 学会等名
      圧電・材料デバイスシンポジウム2024
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c 軸傾斜 ScAlN 薄膜を用いた送受波型ジャイロセンサの作製2024

    • 著者名/発表者名
      小池由奈, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 純AlN薄膜共振子の強誘電性とヒステリシス特性2024

    • 著者名/発表者名
      花井 彩香, 柳谷 隆彦
    • 学会等名
      圧電・材料デバイスシンポジウム2024
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 周期的傾斜分極反転構造とベタ電極からなるSAWデバイス2024

    • 著者名/発表者名
      松村 理司, 島野 耀康, 大野 直輝, 柳谷 隆彦,長康雄
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 周期的傾斜分極反転構造を用いたベタ電極によるSAWの励振2024

    • 著者名/発表者名
      松村 理司, 島野 耀康, 大野 直輝, 柳谷 隆彦,長康雄
    • 学会等名
      圧電・材料デバイスシンポジウム2024
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] AOGsレスSc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソード平行平板スパッタリング2024

    • 著者名/発表者名
      浴田 航平, 石井 直輝, 島野 耀康, 柳谷 隆彦
    • 学会等名
      圧電・材料デバイスシンポジウム2024
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピタキシャルYSZ薄膜およびYHfO2薄膜の電界誘起圧電性2024

    • 著者名/発表者名
      勝又 彩馨, 島野 耀康, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電・材料デバイスシンポジウム2024
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] PbTiO3エピタキシャル自立薄膜共振子の電気機械結合係数ヒステリシスカーブ2023

    • 著者名/発表者名
      國信聡太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 高電力性向上を目的とした高次モード分極反転ScAlN薄膜SMR2023

    • 著者名/発表者名
      柴田真之, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子2023

    • 著者名/発表者名
      小林栞, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会応用音響研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Acoustic separation of piezoelectric layer and substrate using 30-layer c-axis zigzag ScAlN polarization inversion resonator2023

    • 著者名/発表者名
      S. Tokai and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 15th PACIFIC RIM conference of ceramic societies(PACRIM15)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] オフ角基板を用いたc軸傾斜エピPbTiO 3 薄膜の擬似横波励振特性2023

    • 著者名/発表者名
      國信聡太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 基板付き圧電薄膜の様々な kt2評価法における電極面積依存性2023

    • 著者名/発表者名
      関崚, 清水祐樹, 近藤圭太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 圧電層と基板の音響分離を目指した30層分極反転HBAR2023

    • 著者名/発表者名
      白岩和剛, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピ音響ブラッグ反射器およびエピScAlN, MgZnO圧電薄膜から成るSMR2023

    • 著者名/発表者名
      渡海智, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 高い横波電気機械結合係数を持つc軸傾斜PbTiO3薄膜/オフ角La-SrTiO3基板共振子2023

    • 著者名/発表者名
      國信聡太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第44回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウムUSE2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 数百MHz帯超音波を用いた複素反射率測定による生体物質の相互作用の検出2023

    • 著者名/発表者名
      茂木彩音, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜を用いたBAW共振子の特性2023

    • 著者名/発表者名
      馮子泰, 李嵩, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 圧電層と基板の音響分離を目指した 30 層分極反転共振子案2023

    • 著者名/発表者名
      白岩和剛, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 基板除去前後におけるPbTiO3エピタキシャル薄膜共振子のkt2ヒステリシスカーブ2023

    • 著者名/発表者名
      國信聡太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第11回弾性波素子技術コンソーシアム研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Characteristics of piezoelectric LiNbO3 epitaxial thin films grown on off-angle Al2O3 substrate2023

    • 著者名/発表者名
      F. Zitai and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 15th PACIFIC RIM conference of ceramic societies(PACRIM15)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 基板付き薄膜共振子における共振反共振法用いた電極を含む電気機械結合係数keff2の直接評価2023

    • 著者名/発表者名
      島野耀康, 矢田部浩平, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 積層電極によるScAlN多層薄膜SMRを用いた二重モードBAWフィルタ(DMB)2023

    • 著者名/発表者名
      柴田真之, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] High quasi-shear mode electromechanical coupling of c-axis tilted PbTiO3 epitaxial thin film grown on off-angle SrTiO3 single crystal substrate2023

    • 著者名/発表者名
      S. Kuninobu and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE Ultrasonic Symposium 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 基地局向けRFフィルタを目指した多層圧電薄膜共振子2023

    • 著者名/発表者名
      白岩和剛, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      革新的無線通信技術に関する横断型研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] kt2 Hysteresis curves of PbTiO3 epitaxial film resonators before and after removing substrate2023

    • 著者名/発表者名
      S. Kuninobu and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 15th PACIFIC RIM conference of ceramic societies(PACRIM15)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] RFフィルタ向け窒化物多層圧電薄膜のハイパワー特性2023

    • 著者名/発表者名
      柴田真之, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      革新的無線通信技術に関する横断型研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] GHz 帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の横波機械的通過損失の測定2023

    • 著者名/発表者名
      鈴木基嗣, 石井直輝, 近藤圭太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Li0.65Nb0.3Ta0.05O3 スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性2023

    • 著者名/発表者名
      中村華英, 工藤慎也, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] オフ角サファイア基板を用いた ScAlN および MgZnO 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長と横波圧電特性2023

    • 著者名/発表者名
      岸大貴, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピタキシャル金属薄膜から成る音響ブラッグ反射器を用いたフルエピタキシャル SMR の作製2023

    • 著者名/発表者名
      渡海智, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] エピScAlN, MgZnO圧電薄膜/エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR2023

    • 著者名/発表者名
      渡海智, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第11回弾性波素子技術コンソーシアム研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 基板付き圧電薄膜構造の kt2評価における電極面積依存性の実験データとFEM解析データの比較2023

    • 著者名/発表者名
      関崚, 清水祐樹, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] GHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の横波特性の抽出2023

    • 著者名/発表者名
      鈴木基嗣, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第11回弾性波素子技術コンソーシアム研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング2023

    • 著者名/発表者名
      石井直輝, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 強誘電性ScAlN薄膜SMRのkt2ヒステリシス特性2023

    • 著者名/発表者名
      松村理司, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第52回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピ金属薄膜から成る音響ブラッグ反射器上にエピ圧電薄膜を持つSMR2023

    • 著者名/発表者名
      渡海智, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第52回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス2023

    • 著者名/発表者名
      白岩和剛, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会応用音響研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] (10-12)LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯擬似横波励振特性2023

    • 著者名/発表者名
      内田拓希, 工藤慎也, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子2023

    • 著者名/発表者名
      小林栞, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c軸ジグザグ分極反転ScAlN薄膜を用いたトランスバーサル型BAWフィルタ2023

    • 著者名/発表者名
      柴田真之, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第44回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウムUSE2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] オフ角 La-SrTiO3 基板を用いた c 軸傾斜エピ PbTiO3 薄膜の高い横波圧電性2023

    • 著者名/発表者名
      國信聡太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 圧電層と基板の音響分離を目指した30層c軸ジグザグScAlN分極反転共振子2023

    • 著者名/発表者名
      白岩和剛, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第11回弾性波素子技術コンソーシアム研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Characteristics of acoustic resonators using YbAlN and YbGaN epitaxial piezoelectric thin films2023

    • 著者名/発表者名
      F. Zitai and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 15th PACIFIC RIM conference of ceramic societies(PACRIM15)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 厚さ0.1 mmのc軸傾斜ScAlN 厚膜の擬似横波励振特性2023

    • 著者名/発表者名
      國信聡太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第52回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Polarization-inverted c-axis zigzag ScAlN multilayers for transversal type BAW filter2023

    • 著者名/発表者名
      S. Shibata and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 15th PACIFIC RIM conference of ceramic societies(PACRIM15)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 基板付き薄膜共振子において通常の共振反共振法を用いる新しい kt2 評価法の提案2023

    • 著者名/発表者名
      島野耀康, 矢田部浩平, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] オフ角 Al2O3 基板を用いた LiNbO3 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長2023

    • 著者名/発表者名
      工藤慎也, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c-axis tilted LiNbO3 epitaxial thin film grown on off-angle Al2O3 single crystal substrate2023

    • 著者名/発表者名
      H. Uchida and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE Ultrasonic Symposium 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 基板付き圧電薄膜構造の kt2評価における電極面積依存性の実験データとFEM解析データの比較2023

    • 著者名/発表者名
      関崚, 清水祐樹, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] PbTiO3エピタキシャル自立薄膜共振子の電気機械結合係数ヒステリシスカーブ2023

    • 著者名/発表者名
      國信聡太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会応用音響研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] オフ角基板を用いたc軸傾斜エピPbTiO 3 薄膜の擬似横波励振特性2023

    • 著者名/発表者名
      國信聡太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Investigation of the origins of electrode area dependence in kt2 evaluation using FEM analysis in comparison with experimental data2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimano and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE Ultrasonic Symposium 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Full epitaxial ZnO, MgZnO and ScAlN piezoelectric thin film BAW resonators based on epitaxial acoustic Bragg refractor2023

    • 著者名/発表者名
      S. Tokai and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 15th PACIFIC RIM conference of ceramic societies(PACRIM15)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c軸傾斜エピPbTiO3薄膜の高い擬似すべりモード電気機械結合係数2023

    • 著者名/発表者名
      國信聡太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 30 層分極反転共振子による圧電層と基板の音響分離2023

    • 著者名/発表者名
      白岩和剛, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜を用いたBAW共振子の特性2023

    • 著者名/発表者名
      馮子泰, 李嵩, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] エピ犠牲層エッチングを用いたエピ圧電層/音響ブラッグ反射器構造の作製2023

    • 著者名/発表者名
      渡海智, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会応用音響研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピ圧電薄膜/エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR2023

    • 著者名/発表者名
      渡海智, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Quasi-shear mode excitation of c-axis tilted ScAlN and MgZnO epitaxial thin films on off-angle sapphire single crystal substrates2023

    • 著者名/発表者名
      S. Kuninobu and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE Ultrasonic Symposium 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 積層電極によるScAlN多層薄膜SMRを用いた二重モードBAWフィルタ(DMB)2023

    • 著者名/発表者名
      柴田真之, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会応用音響研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c軸傾斜エピPbTiO3薄膜の高い擬似すべりモード電気機械結合係数2023

    • 著者名/発表者名
      國信聡太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Shear mode electromechanical coupling coefficient of c-axis tilted PbTiO3 epitaxial thin film/off-angle La-SrTiO3 substrate2023

    • 著者名/発表者名
      S. Kuninobu and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 15th PACIFIC RIM conference of ceramic societies(PACRIM15)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Full-epitaxial ScAlN, ZnO and MgZnO SMR based on epitaxial metal acoustic Bragg reflector2023

    • 著者名/発表者名
      S. Tokai and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE Ultrasonic Symposium 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピ音響ブラッグ反射器およびエピScAlN, MgZnO圧電薄膜から成るSMR2023

    • 著者名/発表者名
      渡海智, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 圧電層と基板の音響分離を目指した 30 層分極反転共振子案2023

    • 著者名/発表者名
      白岩和剛, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 基板付き圧電薄膜の様々な kt2評価法における電極面積依存性2023

    • 著者名/発表者名
      関崚, 清水祐樹, 近藤圭太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピタキシャル金属薄膜から成る音響ブラッグ反射器を用いたフルエピタキシャル SMR の作製2023

    • 著者名/発表者名
      渡海智, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] オフ角サファイア単結晶基板上 c 軸傾斜MgZnO, ScAlN,エピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性2023

    • 著者名/発表者名
      小林栞, 岸大貴, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング2023

    • 著者名/発表者名
      石井直輝, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会応用音響研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 30 層分極反転共振子による圧電層と基板の音響分離2023

    • 著者名/発表者名
      白岩和剛, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] BAWフィルタ応用を目指した強誘電性酸化物圧電薄膜の開発2023

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Li0.65Nb0.3Ta0.05O3 スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性2023

    • 著者名/発表者名
      中村華英, 工藤慎也, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 基板付き薄膜共振子における共振反共振法用いた電極を含む電気機械結合係数keff2の直接評価2023

    • 著者名/発表者名
      島野耀康, 矢田部浩平, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 30-layer polarization inversion resonator for acoustic separation of the piezoelectric layer and the substrate2023

    • 著者名/発表者名
      S. Tokai and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE Ultrasonic Symposium 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 多重エコー集約による基板付き圧電薄膜の電気機械結合係数keff2の新規評価法2023

    • 著者名/発表者名
      島野耀康, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      日本音響学会第150回(2023年秋季)研究発表会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス2023

    • 著者名/発表者名
      白岩和剛, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Hysteresis curves of ferroelectric ScAlN films for fabricating periodically polarization inverted structure2023

    • 著者名/発表者名
      S. Matsumura and T.Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE Ultrasonic Symposium 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 圧電層と基板の音響分離を目指した30層分極反転HBAR2023

    • 著者名/発表者名
      白岩和剛, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] New method for extracting keff2 from HBAR by producing pseudo FBAR characteristics without substrate removal2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimano and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE Ultrasonic Symposium 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピ音響ブラッグ反射器上に成長させたエピScAlN, MgZnO圧電薄膜SMR2023

    • 著者名/発表者名
      渡海智, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第44回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウムUSE2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] オフ角 Al2O3 基板を用いた LiNbO3 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長2023

    • 著者名/発表者名
      工藤慎也, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 数百MHz帯超音波を用いた複素反射率測定による生体物質の相互作用の検出2023

    • 著者名/発表者名
      茂木彩音, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会応用音響研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 基板付き薄膜共振子において通常の共振反共振法を用いる新しい kt2 評価法の提案2023

    • 著者名/発表者名
      島野耀康, 矢田部浩平, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] RF power durability of polarization-inverted c-axis zigzag ScAlN piezoelectric multilayers2023

    • 著者名/発表者名
      S. Shibata and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 15th PACIFIC RIM conference of ceramic societies(PACRIM15)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] オフ角サファイア基板を用いた ScAlN および MgZnO 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長と横波圧電特性2023

    • 著者名/発表者名
      岸大貴, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] オフ角サファイア単結晶基板上 c 軸傾斜MgZnO, ScAlN,エピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性2023

    • 著者名/発表者名
      小林栞, 岸大貴, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 高電力性向上を目的とした高次モード分極反転ScAlN薄膜SMR2023

    • 著者名/発表者名
      柴田真之, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 横波型RFフィルタを目指したPbTiO3圧電薄膜2023

    • 著者名/発表者名
      國信聡太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      革新的無線通信技術に関する横断型研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] オフ角 La-SrTiO3 基板を用いた c 軸傾斜エピ PbTiO3 薄膜の高い横波圧電性2023

    • 著者名/発表者名
      國信聡太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] RFフィルタ向けエピタキシャル圧電薄膜多層構造2023

    • 著者名/発表者名
      渡海智, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      革新的無線通信技術に関する横断型研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] GHz 帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の横波機械的通過損失の測定2023

    • 著者名/発表者名
      鈴木基嗣, 石井直輝, 近藤圭太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピ犠牲層エッチングを用いたエピ圧電層/音響ブラッグ反射器構造の作製2023

    • 著者名/発表者名
      渡海智, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピ圧電薄膜/エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR2023

    • 著者名/発表者名
      渡海智, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] (10-12)LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯擬似横波励振特性2023

    • 著者名/発表者名
      内田拓希, 工藤慎也, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] GHz frequency switchable BAW filter applications of ferroelectric ScAlN and MgZnO thin films2022

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani
    • 学会等名
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 超音波顕微鏡による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定2022

    • 著者名/発表者名
      鈴木基嗣、石井直輝、近藤圭太、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Improvement of electromechanical coupling coefficient of piezoelectric LiNbO3 by doping praseodymium2022

    • 著者名/発表者名
      K. Nakamura and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Mechanical Q factor extraction of sputter-grown Pb(ZrxTi1-x)O3 epitaxial thin films without removing substrate2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Experimental and theoretical investigation of enhanced electromechanical properties in YbAlN and YbGaN films2022

    • 著者名/発表者名
      S. Li and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性2022

    • 著者名/発表者名
      李嵩, 賈軍軍, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Sputter epitaxial (101??2) LiNbO3 film / (112??0) AZO / (101??2) Al2O3 shear mode thin film resonators2022

    • 著者名/発表者名
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] IBAD c-axis parallel ZnO piezoelectric film stack?for gyroscope applications2022

    • 著者名/発表者名
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c軸10°傾斜配向ZnOエピタキシャル薄膜における擬似横波励振特性2022

    • 著者名/発表者名
      岸大貴, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      日本音響学会第148回
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] GHz frequency switchable BAW filter applications of ferroelectric ScAlN and MgZnO thin films2022

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani
    • 学会等名
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 基板付きの圧電薄膜と自立構造の圧電薄膜に対する 各種 kt2値評価法の比較2022

    • 著者名/発表者名
      関崚, 清水祐樹, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] c軸ジグザク分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ2022

    • 著者名/発表者名
      泉航太、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] piezoelectric gyroscope with tilted c-axis ScAlN thin-films2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Koike and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Quasi-shear mode excitation of c-axis tilted MgZnO epitaxial thin film2022

    • 著者名/発表者名
      H. Kishi and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Experimental and theoretical investigation of enhanced electromechanical properties in YbAlN and YbGaN films2022

    • 著者名/発表者名
      S. Li and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性2022

    • 著者名/発表者名
      李嵩, 賈軍軍, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] c軸10°傾斜配向ZnOエピタキシャル薄膜の成長と擬似横波励振特性2022

    • 著者名/発表者名
      岸大貴, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] GHz electromechanical coupling hysteresis curves for ferroelectric ScAlN and epitaxial MgZnO films2022

    • 著者名/発表者名
      N. Ishi and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 基板付き薄膜構造からの圧電薄膜のQ値抽出における横方向伝搬の影響2022

    • 著者名/発表者名
      清水祐樹, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 基板付き圧電薄膜の kt2評価における電極面積の影響2022

    • 著者名/発表者名
      関崚, 清水祐樹, 近藤圭太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] SMR-type piezoelectric transformer based on c-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer2022

    • 著者名/発表者名
      K. Shiraiwa and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] c軸傾斜反転ScAlN薄膜を用いたブラッグ反射器型圧電トランス2022

    • 著者名/発表者名
      白岩和剛、佐藤裕友、関崚、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] kt2 hysteresis curves of PbTiO3 epitaxial film resonators before and after removing substrate2022

    • 著者名/発表者名
      S. Kuninobu and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 外部電場により分極反転処理した強誘電性 ScAlN 薄膜共振子2022

    • 著者名/発表者名
      石井直輝、岩田直也、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Extracting Q factor of the piezoelectric thin films from film/high-Q substrate HBAR structure2022

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 20%を超える高いkt2値のc軸配向Sc0.4Al0.6N薄膜および高いk´352値のc軸傾斜配向Sc0.4Al0.6N薄膜2022

    • 著者名/発表者名
      内田拓希, 清水 祐樹, 鈴木 雅視, 高柳 真司, 柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Quasi-shear mode electromechanical coupling coefficient of c-axis tilted MgZnO thin films2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimano and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] スパッタによる透明 ScAlN 薄板の成長と10 MHz帯トランスデューサへの応用2022

    • 著者名/発表者名
      岩田直也、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Thickness shear mode BAW resonator based on epitaxial (10-12) LiNbO3 (11-20) AZO/(10-12) Al2O32022

    • 著者名/発表者名
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Mechanical Q factor dependence on Zr/Ti ratio of sputter-grown PZT epitaxial thin films2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Epitaxial PbTiO3 ultrasonic transducer for higher resolution of fingerprint imaging using GHz reflectometry of back side of substrate2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Koike and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 耐電力性向上に向けた高次モード分極反転ScAlN薄膜の作製およびサブ W 耐電力性の評価2022

    • 著者名/発表者名
      柴田真之、佐藤裕友、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Sputter epitaxial (101??2) LiNbO3 film / (112??0) AZO / (101??2) Al2O3 shear mode thin film resonators2022

    • 著者名/発表者名
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 分極反転 ScAlN 薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ2022

    • 著者名/発表者名
      泉航太、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Polarization inverted 2 layer ScAlN thin film resonator fabricated by applying external electric field2022

    • 著者名/発表者名
      N. Ishi and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出2022

    • 著者名/発表者名
      清水祐樹, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Fingerprint imaging using GHz PbTiO3 epitaxial thin film ultrasonic transducer2022

    • 著者名/発表者名
      K. Nakamura and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Thickness shear mode epitaxial (10?("1" ) "2") LiNbO3 (11?("2" )0) AZO/(10?("1" ) "2") Al2O3 BAW resonator2022

    • 著者名/発表者名
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IC-MAM 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 音響ブラッグ反射器上へのエピ圧電層の形成2022

    • 著者名/発表者名
      渡海智、浴田航平、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] A method for evaluating sole mechanical properties of acoustic Bragg reflector by pulse echo technique in the GHz range2022

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Mechanical Q factor dependence on Zr/Ti ratio of sputter-grown PZT epitaxial thin films2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Grow of O-polar and Zn polar ferroelectric MgZnO thin films controlled by sputtering geometry2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimano and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 20%を超える高いkt2値のc軸配向Sc0.4Al0.6N薄膜および高いk´352値のc軸傾斜配向Sc0.4Al0.6N薄膜2022

    • 著者名/発表者名
      内田拓希, 清水 祐樹, 鈴木 雅視, 高柳 真司, 柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Extracting Q factor of the piezoelectric thin films from film/high-Q substrate HBAR structure2022

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 基板付きの圧電薄膜と自立構造の圧電薄膜に対する 各種 kt2値評価法の比較2022

    • 著者名/発表者名
      関崚, 清水祐樹, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定2022

    • 著者名/発表者名
      近藤圭太, 石井直輝, 鈴木基嗣, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] (10-12)LiNbO3エピタキシャル薄膜/(10-12)Al2O3基板のGHz帯向け擬似横波励振特性2022

    • 著者名/発表者名
      工藤慎也, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      日本音響学会第148回
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 基板付き圧電薄膜の kt2評価における電極面積の影響2022

    • 著者名/発表者名
      関崚, 清水祐樹, 近藤圭太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 高 Q 基板を用いた基板付き薄膜共振子からの圧電薄膜層のQ 値抽出2022

    • 著者名/発表者名
      清水祐樹、小林栞、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] (100)AgNbO3エピタキシャル薄膜/(100)STO基板のGHz帯超音波励振特性2022

    • 著者名/発表者名
      浴田航平, 大森拳, 工藤慎也, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c軸傾斜配向MgZnO薄膜の作製2022

    • 著者名/発表者名
      岸大貴、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Fingerprint imaging in GHz using PbTiO3 epitaxial piezoelectric thin films2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Koike and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IC-MAM 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Thickness shear mode epitaxial (10?("1" ) "2") LiNbO3 (11?("2" )0) AZO/(10?("1" ) "2") Al2O3 BAW resonator2022

    • 著者名/発表者名
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IC-MAM 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性2022

    • 著者名/発表者名
      工藤慎也, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Fabrication of epitaxial piezoelectric layer on acoustic Bragg reflector using epitaxial sacrificial layer2022

    • 著者名/発表者名
      S. Tokai and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 厚みすべりモード c 軸ジグザグ ScAlN 積層を用いたブラッグ反射器型圧電トランス2022

    • 著者名/発表者名
      白岩和剛、佐藤裕友、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] PZTエピタキシャル薄膜のZr/Ti比における機械的品質Qmの依存性2022

    • 著者名/発表者名
      國信聡太, 清水祐樹, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] III-V族窒化物圧電薄膜へのYb添加効果2022

    • 著者名/発表者名
      賈軍軍、岩田直也、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] ウルツ鉱型強誘電体薄膜におけるGHz帯kt2-Eヒステリシス特性2022

    • 著者名/発表者名
      石井直輝, 小林栞, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] piezoelectric gyroscope with tilted c-axis ScAlN thin-films2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Koike and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] (0001)YbAlN/(0001)Ti/(0001)Al2 O3 エピタキシャル薄膜共振子2022

    • 著者名/発表者名
      李嵩、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] PbTiO3 薄膜共振子の基板除去前後における kt2 ヒステリシスカーブの比較2022

    • 著者名/発表者名
      國信聡太、岩田直也、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Extraction of mechanical reflectance of acoustic Bragg reflector by GHz pulse echo technique2022

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Grow of O-polar and Zn polar ferroelectric MgZnO thin films controlled by sputtering geometry2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimano and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Fabrication of high kt2 and k’352 Sc0.4Al0.6N thin films by RF magnetron sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] c軸20°傾斜配向MgZnOエピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性2022

    • 著者名/発表者名
      岸大貴, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c軸10°傾斜配向ZnOエピタキシャル薄膜の成長と擬似横波励振特性2022

    • 著者名/発表者名
      岸大貴, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Epitaxial PbTiO3 ultrasonic transducer for higher resolution of fingerprint imaging using GHz reflectometry of back side of substrate2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Koike and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 基板付き薄膜構造からの圧電薄膜のQ値抽出における横方向伝搬の影響2022

    • 著者名/発表者名
      清水祐樹, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] PbTiO3 アレイトランスデューサの基板裏面での反射率測定によるGHz帯超音波イメージング2022

    • 著者名/発表者名
      小池由奈、佐藤裕友、松村理司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] (10-12)LiNbO3エピタキシャル薄膜/(10-12)Al2O3基板のGHz帯向け擬似横波励振特性2022

    • 著者名/発表者名
      工藤慎也, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      日本音響学会第148回
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] A method to evaluate the mechanical transmission loss of the sole Bragg reflector by using GHz pulse echo technique2022

    • 著者名/発表者名
      N. ishi and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IC-MAM 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Quasi-shear mode electromechanical coupling coefficient of c-axis tilted MgZnO thin films2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimano and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Fabrication of epitaxial piezoelectric layer on acoustic Bragg reflector using epitaxial sacrificial layer2022

    • 著者名/発表者名
      S. Tokai and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Polarization inverted 2 layer ScAlN thin film resonator fabricated by applying external electric field2022

    • 著者名/発表者名
      N. Ishi and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Improvement of electromechanical coupling coefficient of piezoelectric LiNbO3 by doping praseodymium2022

    • 著者名/発表者名
      K. Nakamura and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 分極反転多層デバイスに向けた極性制御MgZnO圧電薄膜の作製2022

    • 著者名/発表者名
      島野耀康, 高柳真司, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] kt2 hysteresis curves of PbTiO3 epitaxial film resonators before and after removing substrate2022

    • 著者名/発表者名
      S. Kuninobu and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 外部電場によるScAlN薄膜の分極反転と圧電特性2022

    • 著者名/発表者名
      石井直輝、岩田直也、島野耀康、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定2022

    • 著者名/発表者名
      近藤圭太, 石井直輝, 鈴木基嗣, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c軸ジグザグ分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ2022

    • 著者名/発表者名
      柴田真之、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Thickness shear mode BAW resonator based on epitaxial (10-12) LiNbO3 (11-20) AZO/(10-12) Al2O32022

    • 著者名/発表者名
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] LiNbO3 エピタキシャル薄膜の共振特性2022

    • 著者名/発表者名
      工藤慎也、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた複素反射法による生体物質の相互作用の検出2022

    • 著者名/発表者名
      茂木彩音、中村華英、山下美穂、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Mechanical Q factor extraction of sputter-grown Pb(ZrxTi1-x)O3 epitaxial thin films without removing substrate2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] スパッタ法による透明 ScAlN 薄板の成長2022

    • 著者名/発表者名
      李嵩、岩田直也、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] A method for evaluating sole mechanical properties of acoustic Bragg reflector by pulse echo technique in the GHz range2022

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Extraction of mechanical reflectance of acoustic Bragg reflector by GHz pulse echo technique2022

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c軸10°傾斜配向ZnOエピタキシャル薄膜における擬似横波励振特性2022

    • 著者名/発表者名
      岸大貴, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      日本音響学会第148回
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 耐電力性向上を目的とした分極反転ScAlN薄膜ブラッグ反射共振子2022

    • 著者名/発表者名
      柴田真之, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Quasi-shear mode excitation of c-axis tilted MgZnO epitaxial thin film2022

    • 著者名/発表者名
      H. Kishi and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Epitaxial piezoelectric layer SMR fabricated using epitaxial sacrificial layer process2022

    • 著者名/発表者名
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IC-MAM 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c軸傾斜MgZnO薄膜における擬似横波励振特性2022

    • 著者名/発表者名
      島野耀康, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      日本音響学会第148回
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] PZTエピタキシャル薄膜のZr/Ti比における機械的品質Qmの依存性2022

    • 著者名/発表者名
      國信聡太, 清水祐樹, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Epitaxial piezoelectric layer SMR fabricated using epitaxial sacrificial layer process2022

    • 著者名/発表者名
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IC-MAM 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 耐電力性向上を目的とした分極反転ScAlN薄膜ブラッグ反射共振子2022

    • 著者名/発表者名
      柴田真之, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c軸ジグザグ配向ScAlN薄膜/Si基板構造におけるSAW伝搬特性2022

    • 著者名/発表者名
      冨永 卓海、高柳 真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] GHz electromechanical coupling hysteresis curves for ferroelectric ScAlN and epitaxial MgZnO films2022

    • 著者名/発表者名
      N. Ishi and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] c軸20°傾斜配向MgZnOエピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性2022

    • 著者名/発表者名
      岸大貴, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] GHz帯パルスエコー法による音響多層膜単体の機械特性評価2022

    • 著者名/発表者名
      鈴木基嗣, 石井直輝, 近藤圭太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] GHz 帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層単体の機械的通過特性の評価2022

    • 著者名/発表者名
      近藤圭太、石井直輝、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] PbTiO3 エピ薄膜の基板裏面反射率測定を用いたGHz帯音響イメージングの高分解能化2022

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕友、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 分極反転多層デバイスに向けた極性制御MgZnO圧電薄膜の作製2022

    • 著者名/発表者名
      島野耀康, 高柳真司, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] GHz帯パルスエコー法による音響多層膜単体の機械特性評価2022

    • 著者名/発表者名
      鈴木基嗣, 石井直輝, 近藤圭太, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] (100)AgNbO3エピタキシャル薄膜/(100)STO基板のGHz帯超音波励振特性2022

    • 著者名/発表者名
      浴田航平, 大森拳, 工藤慎也, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] IBAD c-axis parallel ZnO piezoelectric film stack?for gyroscope applications2022

    • 著者名/発表者名
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] ウルツ鉱型強誘電体薄膜におけるGHz帯kt2-Eヒステリシス特性2022

    • 著者名/発表者名
      石井直輝, 小林栞, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出2022

    • 著者名/発表者名
      清水祐樹, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] c軸傾斜MgZnO薄膜における擬似横波励振特性2022

    • 著者名/発表者名
      島野耀康, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      日本音響学会第148回
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性2022

    • 著者名/発表者名
      工藤慎也, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Fingerprint imaging using GHz PbTiO3 epitaxial thin film ultrasonic transducer2022

    • 著者名/発表者名
      K. Nakamura and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] エピ犠牲層を用いた音響ブラッグ反射器上へのエピ圧電層の形成2022

    • 著者名/発表者名
      渡海智、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Fabrication of high kt2 and k’352 Sc0.4Al0.6N thin films by RF magnetron sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] A method to evaluate the mechanical transmission loss of the sole Bragg reflector by using GHz pulse echo technique2022

    • 著者名/発表者名
      N. ishi and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IC-MAM 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Fingerprint imaging in GHz using PbTiO3 epitaxial piezoelectric thin films2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Koike and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IC-MAM 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 高Q基板を用いた圧電薄膜/基板構造からの圧電薄膜層のQ値抽出2022

    • 著者名/発表者名
      小林栞、清水祐樹、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] SMR-type piezoelectric transformer based on c-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer2022

    • 著者名/発表者名
      K. Shiraiwa and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE IUS 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] SAW デバイスへの応用に向けて Si 基板上に成長させた c 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜2021

    • 著者名/発表者名
      冨永 卓海 、高柳 真司 、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      The 42th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2021)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] PbTiO3エピタキシャル薄膜の基板裏面における反射率測定を用いたGHz帯指紋イメージング2021

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕友、石井 直輝、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] イオン照射を用いたScAlN薄膜の極性制御2021

    • 著者名/発表者名
      工藤 慎也、天野 凌輔、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Effect of Lateral Propagation on Extraction of Mechanical Q Factor of the Piezoelectric Films Without Removing Substrate2021

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Precise Extraction of kt? for Piezoelectric Film/Substrate Structure by Unembedding Parasitic Inductance2021

    • 著者名/発表者名
      Keita Kondo, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 自立構造 PbTiO3薄膜共振子における kt2ヒステリシスカーブの測定2021

    • 著者名/発表者名
      國信 聡太、岩田 直也、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第50回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Measurement of GHz kt2 hysteresis curve in piezoelectric film/substrate structure without removing substrate2021

    • 著者名/発表者名
      Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      8th PiezoMEMS Workshop
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] ブラッグ反射器を用いた厚みすべりモード c 軸ジグザグ ScAlN 積層型圧電トランス2021

    • 著者名/発表者名
      白岩 和剛、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第50回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] MgおよびCaドーピングによるZnO薄膜のUHF帯電気機械結合係数kt2の向上2021

    • 著者名/発表者名
      泉航太、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] GHz 帯 PbTiO3 エピ薄膜を用いた基板裏面での反射率測定によるイメージング2021

    • 著者名/発表者名
      佐藤 裕友、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      The 42th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2021)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] A Method for Evaluating Acoustic Bragg Reflector by Ultrasonic Microscope2021

    • 著者名/発表者名
      Ishii Naoki, Keita Kondo, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] スパッタ法により作製した0.3mmの10MHz帯ScAlN薄板トランスデューサ2021

    • 著者名/発表者名
      岩田直也、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Effect of Epitaxial Stress in PbTiO3 Epitaxial Film Resonators on kt? Hysteresis Curve2021

    • 著者名/発表者名
      Sota Kuninobu, Naoya Iwata, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] PbTiO3エピタキシャル薄膜の基板裏面における反射率測定を用いたGHz帯指紋イメージング2021

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕友、石井 直輝、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 5GHz 帯に向けた自立構造 ScAlN エピタキシャル薄膜共振子2021

    • 著者名/発表者名
      関 崚、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第50回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 窒化物強誘電体薄膜の BAW フィルタ応用とウエハ付きの圧電薄膜の kt2 および音速評価法2021

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      第38回強誘電体会議
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] ジグザク配向 ScAlN 薄膜/Si 基板構造におけるレイリー波の伝搬特性解析2021

    • 著者名/発表者名
      冨永卓海 、高柳真司 、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第50回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] PbTiO3エピ圧電薄膜を用いた基板裏面におけるGHz超音波の指紋イメージング2021

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕友、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] c-Axis-Tilted ScAlN Film on Silicon Substrate for Surface Acoustic Wave Device2021

    • 著者名/発表者名
      Takumi Tominaga, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピタキシャルPbTiO3 自立薄膜共振子のGHz 帯圧電特性2021

    • 著者名/発表者名
      渡海智、國信 総太、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] c軸傾斜配向ScAlN薄膜の横波反射率測定による液体の粘性評価2021

    • 著者名/発表者名
      山下美穂、木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] イオン照射を用いたScAlN薄膜の極性制御2021

    • 著者名/発表者名
      工藤 慎也、天野 凌輔、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 誘電率の異なる材料を組み合わせた圧電薄膜トランスの作製2021

    • 著者名/発表者名
      岸大貴、木下紗里那、泉航太、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Electromechanical coupling hysteresis curve of piezoelectric film/substrate structure in the GHz range2021

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2021
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] Experimental and Theoretical Investigation of kt? and Velocity in YbGaN Films by DFT2021

    • 著者名/発表者名
      Yuna Koike, Junjun Jia, Suzuki Masashi, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 0.1 mm Thick ScAlN Film: Application to MHz Transducer and Precise Lattice Constant Measurement2021

    • 著者名/発表者名
      Ningrui Bai, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 誘電率の異なる材料を組み合わせた圧電薄膜トランスの作製2021

    • 著者名/発表者名
      岸大貴、木下紗里那、泉航太、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Detection of Protein Binding by Shear Mode Ultrasonic Reflection Coefficients Using c-Axis Tilted ScAlN Film Above 100MHz2021

    • 著者名/発表者名
      Yamashita Miho, Yanagitani Takahiko
    • 学会等名
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 基板付き圧電薄膜構造におけるkt2評価法に寄生インダクタンスが与える影響2021

    • 著者名/発表者名
      山中 恵理、近藤 圭太、龍見 亮汰、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 基板付き圧電薄膜構造におけるkt2評価法に寄生インダクタンスが与える影響2021

    • 著者名/発表者名
      山中 恵理、近藤 圭太、龍見 亮汰、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] c軸傾斜配向ScAlN薄膜の横波反射率測定による液体の粘性評価2021

    • 著者名/発表者名
      山下美穂、木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Comparison of the kt? Extraction Methods of Piezoelectric Films in Film/Substrate Structure and SelfStanding Film Structure2021

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Keita Kondo, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] MgおよびCaドーピングによるZnO薄膜のUHF帯電気機械結合係数kt2の向上2021

    • 著者名/発表者名
      泉航太、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Thick Epitaxial ScAlN Film/ (111) Pt/ (0001) Sapphire Ultrasonic Transducer in the 30 MHz2021

    • 著者名/発表者名
      Naoya Iwata, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] エピタキシャルPbTiO3 自立薄膜共振子のGHz 帯圧電特性2021

    • 著者名/発表者名
      渡海智、國信 総太、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Epitaxial PbTiO3 Ultrasonic Transducer for Fingerprint Imaging in the Giga-Hertz Range Using the Reflectometry of Back Side of Substrate2021

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] GHz BAW Piezoelectric Transformers for Passive Voltage Amplification Using the Epitaxial ZnO Thin Films2021

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Kishi, Shiori Kobayashi, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18734
  • [学会発表] 基板付き圧電薄膜構造における変換損失kt2評価法に寄生インダクタンスが与える影響2020

    • 著者名/発表者名
      近藤圭太、龍見亮汰、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] GHz BAW Piezoelectric Transformers with High Voltage Gain Using the Combination of High and Low Dielectric Constant Thin Films2020

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] AlNとScAlN薄膜共振子の非線形性に起因する周波数シフトとDCバイアス時の格子ひずみの比較2020

    • 著者名/発表者名
      五月女巧、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Enhancement of GHz Electromechanical Coupling Coefficient kt? of MgZnO and CaZnO Thin Film BAW Resonators2020

    • 著者名/発表者名
      K. Izumi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 基板へのイオン照射を抑制したスパッタ法によるZnO 薄膜形成と結晶性および圧電性への影響2020

    • 著者名/発表者名
      富永浩平、高柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 厚膜成長と粉体化により応力を緩和したScAlNにおける結晶構造のSc濃度依存性2020

    • 著者名/発表者名
      白寧蕊、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] c-Axis Oriented ScAlN/ SiO2 Multilayer BAW Transformer for Rectifying Antenna Applications2020

    • 著者名/発表者名
      K. Izumi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] ScAlN, ZnO, and PbTiO3 polarization inverted thin multilayers for BAW and SAW applications2020

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] GHz帯PbTiO3エピ薄膜の基板裏面における反射率差を用いた指紋イメージング2020

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕友、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Zig-Zag ScAlN Multilayer SMR for High Power BAW Filter Application Such as RF Base Station2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Sato, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] GHz BAW Piezoelectric Transformers with High Voltage Gain Using the Combination of High and Low Dielectric Constant Thin Films2020

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Deterioration in the Piezoelectric Property of ScAlN Thin Films by Negative Ion Bombardment Increased in Low-Pressure Sputtering Deposition2020

    • 著者名/発表者名
      T. Tominaga, S. Takayanagi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] イオンビームにより面内a軸方向を揃えたc軸配向AlN薄膜の成長2020

    • 著者名/発表者名
      正宗千明、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] ScAlN, ZnO, and PbTiO3 polarization inverted thin multilayers for BAW and SAW applications2020

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響2020

    • 著者名/発表者名
      冨永卓海、髙柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] GHz帯PbTiO3エピ薄膜の基板裏面における反射率差を用いた指紋イメージング2020

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕友、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] PZT系エピタキシャル薄膜共振子の600 ?C以上の高温域における圧電特性2020

    • 著者名/発表者名
      松田友佳、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] スパッタ法によるPZT系膜を用いた高効率超音波トランスデューサ2020

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕友、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第37回強誘電体応用会議
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] イオンビームにより面内a軸方向を揃えたc軸配向AlN薄膜の成長2020

    • 著者名/発表者名
      正宗千明、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] ZnO薄膜のMgおよびCaドーピングによるUHF帯電気機械結合係数kt2の向上2020

    • 著者名/発表者名
      泉航太、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第49回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] スパッタ法によるPZT系膜を用いた高効率超音波トランスデューサ2020

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕友、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第37回強誘電体応用会議
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 基板付き薄膜共振子の電磁結合信号もしくは音響信号を用いた変換損 kt2評価法の比較2020

    • 著者名/発表者名
      龍見亮汰、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] GHz帯PZT系エピ薄膜トランスデューサを用いた指紋イメージング2020

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕友、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第49回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] c-Axis Oriented ScAlN/ SiO2 Multilayer BAW Transformer for Rectifying Antenna Applications2020

    • 著者名/発表者名
      K. Izumi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] c 軸配向 ZnO 薄膜を用いた極性反転共振子の圧電トランス応用2020

    • 著者名/発表者名
      間島毅、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子に向けたSMR型傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス2020

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 窒化物強誘電体圧電薄膜材料の5G向けBAWフィルタ応用2020

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      第37回強誘電体応用会議
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Experimental and Theoretical Investigation of kt? and Mechanical Quality Factor (Qm) in YbAlN Films Asing DFT2020

    • 著者名/発表者名
      N. Iwata, S. Kinoshita, J. Jia, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] ScAlN Nano-Rods Structure Thin Film Grown by a Self-Shadowing Oblique Sputtering for High Electromechanical Coupling Transducer Applications2020

    • 著者名/発表者名
      T. Soutome, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 基板へのイオン照射を抑制したスパッタ法によるZnO 薄膜形成と結晶性および圧電性への影響2020

    • 著者名/発表者名
      富永浩平、高柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] PZT系エピタキシャル薄膜共振子の600 ?C以上の高温域における圧電特性2020

    • 著者名/発表者名
      松田友佳、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 負イオン発生抑制を目指したSc粒埋め込みAl金属ターゲットによる高配向ScAlN薄膜の成長と評価2020

    • 著者名/発表者名
      岩田直也、木原流唯、高柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第37回強誘電体応用会議
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Giga-Hertz Piezoelectric Epitaxial PZT/La-SrTiO3 Transducer for the Application of Fingerprint Imaging2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Sato, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 基板付き圧電薄膜構造における変換損失kt2評価法に寄生インダクタンスが与える影響2020

    • 著者名/発表者名
      近藤圭太、龍見亮汰、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Effect of Negative-Ion-Bombardment Suppression by Applying Voltage to Grids Set Between Substrate and Sputtering Target During Sputtering Deposition on Crystalline Orientation of ZnO Film2020

    • 著者名/発表者名
      K. Tominaga, S. Takayanagi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] ウェハー状態の圧電薄膜共振子の基板内音響損失を除いた変換損 kt2 導出法2020

    • 著者名/発表者名
      龍見亮汰、柳谷隆彦
    • 学会等名
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Zig-Zag ScAlN Multilayer SMR for High Power BAW Filter Application Such as RF Base Station2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Sato, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Multilayer Piezoelectric ScAlN Film Transducers for Ultrasonic Microscopy in the VHF Range2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Korai, M. Suzuki, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響2020

    • 著者名/発表者名
      冨永卓海、髙柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子に向けたSMR型傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス2020

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Improvement of Crystallization and Shear-Mode Electromechanical Coupling of c-Axis-ParallelOriented ZnO Film by Annealing Treatment2020

    • 著者名/発表者名
      S. Takayanagi, K. Kimoto, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 圧電トランス応用に向けたc軸配向極性反転ZnO薄膜共振子の作製2020

    • 著者名/発表者名
      間島毅、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Effect of Negative-Ion-Bombardment Suppression by Applying Voltage to Grids Set Between Substrate and Sputtering Target During Sputtering Deposition on Crystalline Orientation of ZnO Film2020

    • 著者名/発表者名
      K. Tominaga, S. Takayanagi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] E-3 円管構造 SH-SAW センサに向けた c 軸平行配向 ZnO 薄膜の石英ガラス管への成膜2020

    • 著者名/発表者名
      若林拓也、高柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 自立薄膜共振子の作製を目指したPbTiO3エピタキシャル薄膜のMgO下地エッチング2020

    • 著者名/発表者名
      國信聡太、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] レクテナ用の昇圧回路応用を目指した積層型圧電トランスのモデル化と試作2020

    • 著者名/発表者名
      平澤直人、木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] ScAlN Nano-Rods Structure Thin Film Grown by a Self-Shadowing Oblique Sputtering for High Electromechanical Coupling Transducer Applications2020

    • 著者名/発表者名
      T. Soutome, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射と ScAlN 薄膜の結晶性および圧電性の劣化2020

    • 著者名/発表者名
      冨永卓海、高柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 傾斜反転ScAlN圧電薄膜を用いた積層型トランス2020

    • 著者名/発表者名
      泉航太、木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第37回強誘電体応用会議
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Extracting Mechanical Q Factor of the Pure AlN, ZnO, and ScAlN Film Without Etching Substrate2020

    • 著者名/発表者名
      N. Iwata, S. Kinoshita, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較2020

    • 著者名/発表者名
      五月女巧、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 基板付き薄膜共振子の電磁結合信号もしくは音響信号を用いた変換損 kt2評価法の比較2020

    • 著者名/発表者名
      龍見亮汰、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] イオンビームにより面内a軸方向を揃えたc軸配向AlN薄膜の成長2020

    • 著者名/発表者名
      正宗千明、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Measurement of Time Response of Electrical Properties in Thickness Shear Mode Resonator with Liquid Loadings2020

    • 著者名/発表者名
      M. Watabe, S. Takayanagi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] c 軸配向 ZnO 薄膜を用いた極性反転共振子の圧電トランス応用2020

    • 著者名/発表者名
      間島毅、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 圧電トランス応用に向けたc軸配向極性反転ZnO薄膜共振子の作製2020

    • 著者名/発表者名
      間島毅、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Measurement of Antiresonant Frequency During DC Bias Voltage Application for Analysis of Second Harmonic Response of ScAlN on SMR2020

    • 著者名/発表者名
      T. Soutome, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子に向けたScAlN/SiO2積層型圧電薄膜トランス2020

    • 著者名/発表者名
      岸大貴、泉航太、木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第49回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] スパッタ成膜中に基板へ照射されるイオンの抑制をした ZnO 薄膜の形成と圧電性への影響2020

    • 著者名/発表者名
      富永浩平、髙柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 円管構造 SH-SAW センサに向けた c 軸平行配向 ZnO 薄膜の石英ガラス管回転成膜2020

    • 著者名/発表者名
      若林拓也、髙柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 圧電トランス応用に向けたc軸配向極性反転ZnO薄膜共振子の作製2020

    • 著者名/発表者名
      間島毅、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Accurate Extraction of kt? of Piezoelectric Film/Substrate Structure by Conversion Loss Method Subtracting Experimental Acoustic Losses in the Substrate2020

    • 著者名/発表者名
      R. Tatsumi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射と ScAlN 薄膜の結晶性および圧電性の劣化2020

    • 著者名/発表者名
      冨永卓海、高柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 窒化物強誘電体圧電薄膜材料の5G向けBAWフィルタ応用2020

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      第37回強誘電体応用会議
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] PZT系エピタキシャル薄膜共振子の600 ?C以上の高温域における圧電特性2020

    • 著者名/発表者名
      松田友佳、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響2020

    • 著者名/発表者名
      木原流唯、高柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Enhancement of GHz Electromechanical Coupling Coefficient kt? of MgZnO and CaZnO Thin Film BAW Resonators2020

    • 著者名/発表者名
      K. Izumi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Extracting Mechanical Q Factor of the Pure AlN, ZnO, and ScAlN Film Without Etching Substrate2020

    • 著者名/発表者名
      N. Iwata, S. Kinoshita, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Measurement of Time Response of Electrical Properties in Thickness Shear Mode Resonator with Liquid Loadings2020

    • 著者名/発表者名
      M. Watabe, S. Takayanagi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] GHz帯PZT系エピ薄膜トランスデューサを用いた指紋イメージング2020

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕友、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第49回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較2020

    • 著者名/発表者名
      龍見亮汰、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Giga-Hertz Piezoelectric Epitaxial PZT/La-SrTiO3 Transducer for the Application of Fingerprint Imaging2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Sato, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Experimental and Theoretical Investigation of kt? and Mechanical Quality Factor (Qm) in YbAlN Films Asing DFT2020

    • 著者名/発表者名
      N. Iwata, S. Kinoshita, J. Jia, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] レクテナ用の昇圧回路応用を目指した積層型圧電トランスのモデル化と試作2020

    • 著者名/発表者名
      平澤直人、木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] c 軸配向 ZnO 薄膜を用いた極性反転共振子の圧電トランス応用2020

    • 著者名/発表者名
      間島毅、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Self-Standing FBAR Transformer Based on Shear Mode Zig-Zag ScAlN Multilayer for Rectenna Application2020

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] レクテナ用の昇圧回路応用を目指した積層型圧電トランスのモデル化と試作2020

    • 著者名/発表者名
      平澤直人、木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] PZT, ScAlN, MgZnOにおける圧電薄膜/基板構造からのGHz帯電気機械結合係数kt2の抽出A method for extracting kt2 of PZT, ScAlN, and MgZnO from piezoelectric film/substrate structure without removing substrate2020

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      日本MRS学会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] ZnO薄膜のMgおよびCaドーピングによるUHF帯電気機械結合係数kt2の向上2020

    • 著者名/発表者名
      泉航太、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第49回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 自立薄膜共振子の作製を目指したPbTiO3エピタキシャル薄膜のMgO下地エッチング2020

    • 著者名/発表者名
      國信聡太、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] AlNとScAlN薄膜共振子の非線形性に起因する周波数シフトとDCバイアス時の格子ひずみの比較2020

    • 著者名/発表者名
      五月女巧、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子に向けたScAlN/SiO2積層型圧電薄膜トランス2020

    • 著者名/発表者名
      岸大貴、泉航太、木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第49回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Accurate Extraction of kt? of Piezoelectric Film/Substrate Structure by Conversion Loss Method Subtracting Experimental Acoustic Losses in the Substrate2020

    • 著者名/発表者名
      R. Tatsumi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Measurement of Antiresonant Frequency During DC Bias Voltage Application for Analysis of Second Harmonic Response of ScAlN on SMR2020

    • 著者名/発表者名
      T. Soutome, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 傾斜反転ScAlN圧電薄膜を用いた積層型トランス2020

    • 著者名/発表者名
      泉航太、木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第37回強誘電体応用会議
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Extraction of kt? of Piezoelectric Film/Substrate Structure by Conversion Loss Derived by Electromagnetic Signal Including No Acoustic Losses2020

    • 著者名/発表者名
      R. Tatsumi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス2020

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 基板付き薄膜共振子の電磁結合信号もしくは音響信号を用いた変換損 kt2評価法の比較2020

    • 著者名/発表者名
      龍見亮汰、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] スパッタ成膜中に基板へ照射されるイオンの抑制をした ZnO 薄膜の形成と圧電性への影響2020

    • 著者名/発表者名
      富永浩平、髙柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響2020

    • 著者名/発表者名
      木原流唯、高柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] ウェハー状態の圧電薄膜共振子の基板内音響損失を除いた変換損 kt2 導出法2020

    • 著者名/発表者名
      龍見亮汰、柳谷隆彦
    • 学会等名
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Improvement of Crystallization and Shear-Mode Electromechanical Coupling of c-Axis-ParallelOriented ZnO Film by Annealing Treatment2020

    • 著者名/発表者名
      S. Takayanagi, K. Kimoto, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 基板付きAlN、ScAlN、ZnO薄膜共振子の機械的Qm値の抽出2020

    • 著者名/発表者名
      清水祐樹、木下紗里那、岩田直也、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] PZT, ScAlN, MgZnOにおける圧電薄膜/基板構造からのGHz帯電気機械結合係数kt2の抽出A method for extracting kt2 of PZT, ScAlN, and MgZnO from piezoelectric film/substrate structure without removing substrate2020

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      日本MRS学会招待講演
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス2020

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Multilayer Piezoelectric ScAlN Film Transducers for Ultrasonic Microscopy in the VHF Range2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Korai, M. Suzuki, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 厚膜成長と粉体化により応力を緩和したScAlNにおける結晶構造のSc濃度依存性2020

    • 著者名/発表者名
      白寧蕊、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子に向けたSMR型傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス2020

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Extraction of kt? of Piezoelectric Film/Substrate Structure by Conversion Loss Derived by Electromagnetic Signal Including No Acoustic Losses2020

    • 著者名/発表者名
      R. Tatsumi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 低圧スパッタ成膜において増大する負イオン照射が ScAlN 薄膜の圧電性に及ぼす影響2020

    • 著者名/発表者名
      冨永卓海、髙柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較2020

    • 著者名/発表者名
      五月女巧、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 低圧スパッタ成膜において増大する負イオン照射が ScAlN 薄膜の圧電性に及ぼす影響2020

    • 著者名/発表者名
      冨永卓海、髙柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Deterioration in the Piezoelectric Property of ScAlN Thin Films by Negative Ion Bombardment Increased in Low-Pressure Sputtering Deposition2020

    • 著者名/発表者名
      T. Tominaga, S. Takayanagi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] E-3 円管構造 SH-SAW センサに向けた c 軸平行配向 ZnO 薄膜の石英ガラス管への成膜2020

    • 著者名/発表者名
      若林拓也、高柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 円管構造 SH-SAW センサに向けた c 軸平行配向 ZnO 薄膜の石英ガラス管回転成膜2020

    • 著者名/発表者名
      若林拓也、髙柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 基板付きAlN、ScAlN、ZnO薄膜共振子の機械的Qm値の抽出2020

    • 著者名/発表者名
      清水祐樹、木下紗里那、岩田直也、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Self-Standing FBAR Transformer Based on Shear Mode Zig-Zag ScAlN Multilayer for Rectenna Application2020

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2020 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 負イオン発生抑制を目指したSc粒埋め込みAl金属ターゲットによる高配向ScAlN薄膜の成長と評価2020

    • 著者名/発表者名
      岩田直也、木原流唯、高柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第37回強誘電体応用会議
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較2020

    • 著者名/発表者名
      龍見亮汰、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜HBAR型トランス2019

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] ScAlN Polarization Inverted Resonators and Enhancement of Kt2 in New YbAlN Materials for BAW Devices2019

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] スパッタ法によるScAlN厚膜を用いたVHF帯高効率超音波トランスデューサ2019

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕友、柳谷隆彦
    • 学会等名
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] ScAlN Free?standing 0.1 mm Piezoelectric Plates in the 30?50 MHz Resonance Frequency2019

    • 著者名/発表者名
      C. Masamune, R. Karasawa and T. Yanagitani
    • 学会等名
      ICoSEM2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] A Method for Extracting Mechanical Q Factor of the Piezoelectric Film without Etching Substrate2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 巨大圧電性ScAlN厚膜の成長および粉体化による結晶構造解析2019

    • 著者名/発表者名
      白寧蕊、柳谷隆彦
    • 学会等名
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Giant piezoelectricity and temperature characteristics of free-standing sputter-epitaxial PbTiO3 plates2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Mazda and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] CVDグラフェン上のRFスパッタc軸配向ScAlN薄膜の圧電特性2019

    • 著者名/発表者名
      天野凌輔、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] グラフェン上巨大圧電性ScAlN薄膜の弾性波デバイス応用2019

    • 著者名/発表者名
      天野凌輔、柳谷隆彦
    • 学会等名
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Shear Mode Polarity Inverted ScAlN Multilayer for Application to BAW Transformer in Rectifying Antenna2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の共振特性と温度特性2019

    • 著者名/発表者名
      松田友佳、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] CVDグラフェン上のRFスパッタc軸配向ScAlN薄膜の圧電特性2019

    • 著者名/発表者名
      天野凌輔、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Sc 粒埋め込みスパッタターゲットによる成膜中負イオン照射抑制と ScAlN 薄膜結晶性向上2019

    • 著者名/発表者名
      白 寧蕊、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第48回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] イオンビーム成膜を用いた結晶配向制御と極性反転デバイス応用2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      弾性波素子技術第150委員会第156回委員会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子を目指したジグザグ配向ScAlN圧電薄膜トランス2019

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] BAW type transformer with ScAlN multilayer for rectifying antenna2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] YbAlN圧電薄膜のUHF帯における電気機械結合係数kt2の増幅2019

    • 著者名/発表者名
      木原流唯、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜HBAR型トランス2019

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 5Gのスマートフォン向けフィルタ(BAW filter)の薄膜材料2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子を目指したジグザグ配向ScAlN圧電薄膜トランス2019

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Ion Beam Induced A-Axis In-Plane Oriented C-Axis Oriented AlN Thin Film Growth for High-Q BAW Resonator Application2019

    • 著者名/発表者名
      C. Masamune and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 基板付き薄膜構造を用いた圧電薄膜の機械的品質Qm値の推定法2019

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Estimation of the mechanical Q factor of the piezoelectric film without removing substrate2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Ion Beam Induced A-Axis In-Plane Oriented C-Axis Oriented AlN Thin Film Growth for High-Q BAW Resonator Application2019

    • 著者名/発表者名
      C. Masamune and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Enhancement of Electromechanical Coupling kt2 in Rare Earth Doped AlN Films for Bulk Acoustic Wave Filter Applications2019

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani
    • 学会等名
      ICoSEM2019
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] ScAlN Polarization Inverted Resonators and Enhancement of Kt2 in New YbAlN Materials for BAW Devices2019

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Effect of Negative Ions Generation from Sputtering Target on Crystalline Orientation and Kt2 of ScAlN Thin Films2019

    • 著者名/発表者名
      R. Kihara and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] YbAlN圧電薄膜のUHF帯における電気機械結合係数kt2の増幅2019

    • 著者名/発表者名
      木原流唯、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Enhancement of Electromechanical Coupling kt2 in Rare Earth Doped AlN Films for Bulk Acoustic Wave Filter Applications2019

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani
    • 学会等名
      ICoSEM2019
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Measurement of lattice strain change in ScAlN piezoelectric films by XRD for kt 2 estimation without removing substrate2019

    • 著者名/発表者名
      T. Sotome and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] レクテナ昇圧回路への応用を目指したc軸ジグザグ傾斜ScAlN圧電薄膜トランス2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      弾性波素子技術第150委員会第158回委員会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Measurement of lattice strain change in ScAlN piezoelectric films by XRD for kt 2 estimation without removing substrate2019

    • 著者名/発表者名
      T. Sotome and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 基板付き薄膜構造を用いた圧電薄膜の機械的品質Qm値の推定法2019

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] ウエハ付き状態の圧電薄膜のBAWフィルタ向け評価法およびScAlN薄膜成長のノウハウ2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電MEMS研究会第20回研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Measurement of lattice strain change in ScAlN piezoelectric films by XRD for kt 2 estimation without removing substrate2019

    • 著者名/発表者名
      T. Sotome and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] イオンビームアシストスパッタ法による a軸方向が揃った c 軸配向 AlN 薄膜の成長2019

    • 著者名/発表者名
      正宗千明、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第48回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の共振特性と温度特性2019

    • 著者名/発表者名
      松田友佳、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 基板付き薄膜構造を用いた圧電薄膜の機械的品質Qm値の推定法2019

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] ScAlN thin film stack for BAW transformer in rectifying antenna2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Polarization inverted ScAlN films and new high kt2 YbAlN films for BAW device applications2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Mazda and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 巨大圧電性ScAlN厚膜の成長および粉体化による結晶構造解析2019

    • 著者名/発表者名
      白寧蕊、柳谷隆彦
    • 学会等名
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 5Gのスマートフォン向けフィルタ(BAW filter)の薄膜材料2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] ウエハ付き状態の圧電薄膜のBAWフィルタ向け評価法およびScAlN薄膜成長のノウハウ2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電MEMS研究会第20回研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] ウエハ付き状態の圧電薄膜のBAWフィルタ向け評価法およびScAlN薄膜成長のノウハウ2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電MEMS研究会第20回研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 5Gのスマートフォン向けフィルタ(BAW filter)の薄膜材料2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] イオンビームアシストスパッタ法による a 軸方向の揃った c 軸配向 ScAlN 薄膜の成長2019

    • 著者名/発表者名
      正宗千明、柳谷隆彦
    • 学会等名
      The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Sc 粒埋め込みスパッタターゲットによる成膜中負イオン照射抑制と ScAlN 薄膜結晶性向上2019

    • 著者名/発表者名
      白 寧蕊、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第48回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価2019

    • 著者名/発表者名
      天野凌輔、山川愉生、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 微弱電波による環境発電用の新しい昇圧素子2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      JST 新技術説明会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] イオンビーム成膜を用いた結晶配向制御と極性反転デバイス応用2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      弾性波素子技術第150委員会第156回委員会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] PZT Family Epitaxial Thick Film for Ultrasonic Transducer at Frequencies Below 100MHz2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Mazda and T. Yanagitani
    • 学会等名
      ICoSEM2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] c軸配向ZnO薄膜成長におけるZn面またはO面極性制御および分極反転多層圧電デバイスへの応用2019

    • 著者名/発表者名
      間島毅、柳谷隆彦
    • 学会等名
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Improvement of crystalline orientation and kt2 of ScAlN thin films by suppression of negative ions generation from sputtering target2019

    • 著者名/発表者名
      R. Kihara, S. Takayanagi and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] YbAlN圧電薄膜のUHF帯における電気機械結合係数kt2の増幅2019

    • 著者名/発表者名
      木原流唯、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の高い電気機械結合係数と温度特性2019

    • 著者名/発表者名
      松田友佳、柳谷隆彦
    • 学会等名
      The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] イオンビームアシストスパッタ法による a軸方向が揃った c 軸配向 AlN 薄膜の成長2019

    • 著者名/発表者名
      正宗千明、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第48回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価2019

    • 著者名/発表者名
      天野凌輔、山川愉生、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN圧電薄膜トランス2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      同志社大学 超音波応用科学研究センター7月例会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Sc 粒埋め込みスパッタターゲットによる成膜中負イオン照射抑制と ScAlN 薄膜結晶性向上2019

    • 著者名/発表者名
      白 寧蕊、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第48回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Giant piezoelectricity and temperature characteristics of free-standing sputter-epitaxial PbTiO3 plates2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Mazda and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Effect of Negative Ions Generation from Sputtering Target on Crystalline Orientation and Kt2 of ScAlN Thin Films2019

    • 著者名/発表者名
      R. Kihara and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Estimation of the mechanical Q factor of the piezoelectric film without removing substrate2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Shear Mode Polarity Inverted ScAlN Multilayer for Application to BAW Transformer in Rectifying Antenna2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] BAW type transformer with ScAlN multilayer for rectifying antenna2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の高い電気機械結合係数と温度特性2019

    • 著者名/発表者名
      松田友佳、柳谷隆彦
    • 学会等名
      The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 超高周波帯超音波映像装置用プローブの新しい分極反転圧電薄膜材料2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波計測に関する萌芽技術研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] グラフェン上巨大圧電性ScAlN薄膜の弾性波デバイス応用2019

    • 著者名/発表者名
      天野凌輔、柳谷隆彦
    • 学会等名
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] A Method to Estimate Kt2 of Piezoelectric Films from the Change of Lattice Strain by XRD without Removing Substrate2019

    • 著者名/発表者名
      T. Soutome and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] グラフェン上巨大圧電性ScAlN薄膜の弾性波デバイス応用2019

    • 著者名/発表者名
      天野凌輔、柳谷隆彦
    • 学会等名
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] イオンビームアシストスパッタ法による a 軸方向の揃った c 軸配向 ScAlN 薄膜の成長2019

    • 著者名/発表者名
      正宗千明、柳谷隆彦
    • 学会等名
      The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の共振特性と温度特性2019

    • 著者名/発表者名
      松田友佳、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第48回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Improvement of crystalline orientation and kt2 of ScAlN thin films by suppression of negative ions generation from sputtering target2019

    • 著者名/発表者名
      R. Kihara, S. Takayanagi and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] A Method to Estimate Kt2 of Piezoelectric Films from the Change of Lattice Strain by XRD without Removing Substrate2019

    • 著者名/発表者名
      T. Soutome and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN圧電薄膜トランス2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      同志社大学 超音波応用科学研究センター7月例会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] PZT Family Epitaxial Thick Film for Ultrasonic Transducer at Frequencies Below 100MHz2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Mazda and T. Yanagitani
    • 学会等名
      ICoSEM2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] イオンビーム成膜を用いた結晶配向制御と極性反転デバイス応用2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      弾性波素子技術第150委員会第156回委員会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 超高周波帯超音波映像装置用プローブの新しい分極反転圧電薄膜材料2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波計測に関する萌芽技術研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] PZT Family Epitaxial Thick Film for Ultrasonic Transducer at Frequencies Below 100MHz2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Mazda and T. Yanagitani
    • 学会等名
      ICoSEM2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] c軸配向ZnO薄膜成長におけるZn面またはO面極性制御および分極反転多層圧電デバイスへの応用2019

    • 著者名/発表者名
      間島毅、柳谷隆彦
    • 学会等名
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] A Method for Extracting Mechanical Q Factor of the Piezoelectric Film without Etching Substrate2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の共振特性と温度特性2019

    • 著者名/発表者名
      松田友佳、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 巨大圧電性ScAlN厚膜の成長および粉体化による結晶構造解析2019

    • 著者名/発表者名
      白寧蕊、柳谷隆彦
    • 学会等名
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子を目指したジグザグ配向ScAlN圧電薄膜トランス2019

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Polarization inverted ScAlN films and new high kt2 YbAlN films for BAW device applications2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Mazda and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN圧電薄膜トランス2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      同志社大学 超音波応用科学研究センター7月例会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Polarization inverted ScAlN films and new high kt2 YbAlN films for BAW device applications2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Mazda and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] 自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の共振特性と温度特性2019

    • 著者名/発表者名
      松田友佳、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第48回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] c軸配向ZnO薄膜成長におけるZn面またはO面極性制御および分極反転多層圧電デバイスへの応用2019

    • 著者名/発表者名
      間島毅、柳谷隆彦
    • 学会等名
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] レクテナ昇圧回路への応用を目指したc軸ジグザグ傾斜ScAlN圧電薄膜トランス2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      弾性波素子技術第150委員会第158回委員会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] Improvement of crystalline orientation and kt2 of ScAlN thin films by suppression of negative ions generation from sputtering target2019

    • 著者名/発表者名
      R. Kihara, S. Takayanagi and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] スパッタ法によるScAlN厚膜を用いたVHF帯高効率超音波トランスデューサ2019

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕友、柳谷隆彦
    • 学会等名
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] CVDグラフェン上のRFスパッタc軸配向ScAlN薄膜の圧電特性2019

    • 著者名/発表者名
      天野凌輔、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Estimation of the mechanical Q factor of the piezoelectric film without removing substrate2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] ScAlN Polarization Inverted Resonators and Enhancement of Kt2 in New YbAlN Materials for BAW Devices2019

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜HBAR型トランス2019

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] A Method to Estimate Kt2 of Piezoelectric Films from the Change of Lattice Strain by XRD without Removing Substrate2019

    • 著者名/発表者名
      T. Soutome and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] ScAlN Free?standing 0.1 mm Piezoelectric Plates in the 30?50 MHz Resonance Frequency2019

    • 著者名/発表者名
      C. Masamune, R. Karasawa and T. Yanagitani
    • 学会等名
      ICoSEM2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] ScAlN thin film stack for BAW transformer in rectifying antenna2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] A Method for Extracting Mechanical Q Factor of the Piezoelectric Film without Etching Substrate2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] ScAlN Free?standing 0.1 mm Piezoelectric Plates in the 30?50 MHz Resonance Frequency2019

    • 著者名/発表者名
      C. Masamune, R. Karasawa and T. Yanagitani
    • 学会等名
      ICoSEM2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] レクテナ昇圧回路への応用を目指したc軸ジグザグ傾斜ScAlN圧電薄膜トランス2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      弾性波素子技術第150委員会第158回委員会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] スパッタ法によるScAlN厚膜を用いたVHF帯高効率超音波トランスデューサ2019

    • 著者名/発表者名
      佐藤裕友、柳谷隆彦
    • 学会等名
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Ion Beam Induced A-Axis In-Plane Oriented C-Axis Oriented AlN Thin Film Growth for High-Q BAW Resonator Application2019

    • 著者名/発表者名
      C. Masamune and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] BAW type transformer with ScAlN multilayer for rectifying antenna2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Giant piezoelectricity and temperature characteristics of free-standing sputter-epitaxial PbTiO3 plates2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Mazda and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 超高周波帯超音波映像装置用プローブの新しい分極反転圧電薄膜材料2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      超音波計測に関する萌芽技術研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 微弱電波による環境発電用の新しい昇圧素子2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      JST 新技術説明会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Effect of Negative Ions Generation from Sputtering Target on Crystalline Orientation and Kt2 of ScAlN Thin Films2019

    • 著者名/発表者名
      R. Kihara and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] イオンビームアシストスパッタ法による a 軸方向の揃った c 軸配向 ScAlN 薄膜の成長2019

    • 著者名/発表者名
      正宗千明、柳谷隆彦
    • 学会等名
      The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 微弱電波による環境発電用の新しい昇圧素子2019

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      JST 新技術説明会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Shear Mode Polarity Inverted ScAlN Multilayer for Application to BAW Transformer in Rectifying Antenna2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の高い電気機械結合係数と温度特性2019

    • 著者名/発表者名
      松田友佳、柳谷隆彦
    • 学会等名
      The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価2019

    • 著者名/発表者名
      天野凌輔、山川愉生、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の共振特性と温度特性2019

    • 著者名/発表者名
      松田友佳、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第48回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] イオンビームアシストスパッタ法による a軸方向が揃った c 軸配向 AlN 薄膜の成長2019

    • 著者名/発表者名
      正宗千明、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第48回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] ScAlN thin film stack for BAW transformer in rectifying antenna2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • 学会等名
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Enhancement of Electromechanical Coupling kt2 in Rare Earth Doped AlN Films for Bulk Acoustic Wave Filter Applications2019

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani
    • 学会等名
      ICoSEM2019
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02202
  • [学会発表] “Frequency switchable polarity inverted resonators based on cubic PMN-PT/tetragonal PZT epitaxial stack,”2018

    • 著者名/発表者名
      T. Shimidzu and T. Yanagitani
    • 学会等名
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 最近のBAWデバイス(FBAR)の薄膜材料と評価手法2018

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      第65回応用物理学会学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「c 軸傾斜配向厚みすべりモード ScAlN 薄膜共振子を用いた生体高分子反応の検出」2018

    • 著者名/発表者名
      矢崎花、唐澤嶺、吉田憲司、高柳真司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第47回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “c-axis tilted ScAlN film shear mode resonators for biosensing,”2018

    • 著者名/発表者名
      H. Yazaki, T. Sotome, S. Takayanagi, K. Yoshida and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「PZT エピ厚膜および ScAlN 厚膜を用いた 30-90 MHz 帯トランスデューサ」2018

    • 著者名/発表者名
      正宗千明、松田友佳、唐澤嶺、清水貴博、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第47回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “ScAlN free-standing 0.1mm plates with 30-50 MHz resonance frequency,”2018

    • 著者名/発表者名
      C. Masamune, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 最新のBAW デバイス材料の研究と応用2018

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      マイクロナノ先端技術交流会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “PZT epitaxial thick film for ultrasonic transducer at frequencies below 100MHz,”2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Mazuda, T. Shimidzu, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “High efficiency ultrasonic transducer using polarity inverted ZnO thin film,”2018

    • 著者名/発表者名
      T. Majima, T. Shimidzu, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「分極反転PZT/PTOエピ膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子」2018

    • 著者名/発表者名
      清水貴博、森剛志、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “Polarity inverted ScAlN multilayer for application to transformer in rectifying antenna,”2018

    • 著者名/発表者名
      R. Karasawa and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「基本モード/3 次モード間共振周波数比を用いた基板付き薄膜構造における圧電薄膜の kt抽出法と従来 法との比較」2018

    • 著者名/発表者名
      戸塚誠、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第47回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 溶融及び焼結 ScAl 合金ターゲットからの負イオン照射が ScAlN 薄膜成長へ及ぼす影響2018

    • 著者名/発表者名
      遠藤 結佳、唐澤 嶺、高柳 真司、今川 誠、森坂 啓介、鈴木 雄、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] New BAW filter materials for 5G smart phone2018

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani
    • 学会等名
      LG化学 Tech Scouting Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “Thick PZT epitaxial film growth for ultrasonic transducer application below 100 MHz" 12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics,”2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Mazda and T. Yanagitani
    • 学会等名
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “Temperature characteristics of ScAlN/SiO2 BAW resonators,”2018

    • 著者名/発表者名
      H.Igeta, M. Totsuka, M. Suzuki, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた擬似すべりモード基板付き共振子による液体試料のMHz帯-GHz帯にわたる粘性評価2018

    • 著者名/発表者名
      山川 愉生, 柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第65回応用物理学会 春季学術講演会(日本、東京)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 「圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電」2018

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      第4回分科会ワークショップ「革新的エナジー・ハーベスティングに向けた材料・デバイス技術」
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “A method for extracting GHz electromechanical coupling coefficient from piezoelectric film/substrate structure without removing substrate,”2018

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani
    • 学会等名
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 ~ 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 ~」2018

    • 著者名/発表者名
      唐澤嶺、高柳真司、遠藤結佳、今川 誠、森坂啓介、鈴木 雄、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子」2018

    • 著者名/発表者名
      唐澤嶺、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] c 軸傾斜配向すべりモード ScAlN 薄膜共振子を用いた生体反応検出2018

    • 著者名/発表者名
      矢崎 花、五月女 巧、唐澤 嶺、高柳 真司、吉田 憲司、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出」2018

    • 著者名/発表者名
      矢崎花、五月女巧、唐澤 嶺、高柳真司、吉田憲司、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「Electromechanical coupling hysteresis curves of PZT epitaxial ferroelectric films determined by gigahertz ultrasonic method」2018

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani, T. Mori, K. Wasa
    • 学会等名
      12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] c 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜 / 音響多層膜構造の共振子を用いた 400MHz 付近における液体粘性評価2018

    • 著者名/発表者名
      山川 愉生、五月女 巧、唐澤 嶺、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “The influence of negative ions generation on the arc-melted and hot press sintered ScAlN alloy targets to the crystalline orientation and kt2 of the ScAlN films,”2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M.Imakawa, K. Morisaka, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 基板付き薄膜構造における高次モード間共振周波数比を用いた圧電薄膜の kt 2 評価法2018

    • 著者名/発表者名
      戸塚 誠、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “Polarity inverted high efficiency ultrasonic transducer with (0001)ZnO/(000-1)ZnO/SiO2 glass buffer rod,”2018

    • 著者名/発表者名
      T. Majima, T. Shimidzu, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「溶融および焼結 ScAl 合金スパッタターゲットから発生する負イオンが ScAlN 薄膜の成長に及ぼす影響」2018

    • 著者名/発表者名
      唐澤嶺、遠藤結佳、高柳真司、今川誠、森坂啓介、鈴木雄、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第47回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 大きな圧電性を持つ ScAlN 自立薄板を用いた 30?40 MHz 帯振動子2018

    • 著者名/発表者名
      正宗 千明、唐澤 嶺、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「ScAlN, ZnOおよびPZT系薄膜の極性制御と分極反転デバイスへの応用」2018

    • 著者名/発表者名
      清水貴博、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価」2018

    • 著者名/発表者名
      山川愉生、五月女巧、唐澤嶺、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「FBARフィルタ用の圧電薄膜材料の進展とウエハの評価手法」2018

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      第168回電子セラミック・プロセス研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 分極反転電圧薄膜の成長と応用~レクテナ昇回路へ検討~2018

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      第46回EMシンポジウム
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「ウエハ付きAs-grown圧電薄膜のRFフィルタ向け特性評価法およびScAlN薄膜の成長ノウハウ」2018

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      アルバックシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 大きな電気機械結合係数 (kt 2 =22%) を持つ ScAlN 薄膜2018

    • 著者名/発表者名
      白 寧蕊、正宗 千明、唐澤 嶺、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “A new method for extracting Qfactor of the piezoelectric film without removing substrate,”2018

    • 著者名/発表者名
      S. Kinoshita, M. Totsuka, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「最新の窒化物BAWフィルタの動向と酸化物圧電薄膜の位置づけ」2018

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「抗電界差により周波数スイッチナブルとなるPZT/PbTiO3分極反転エピタキシャル薄膜音響共振子」2018

    • 著者名/発表者名
      清水貴博、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 分極反転圧電薄膜材料の進展と超音波デバイス応用2018

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      日本音響学会研究発表会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 周波数スイッチナブルフィルタを目指した分極反転 PZT/PbTiO3エピタキシャル薄膜共振子2018

    • 著者名/発表者名
      清水 貴博、森 剛志、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「(0001)ScAlN/(000-1)ZnO 極性反転構造を用いた 2 次モードトランスデューサの水中放射特性」2018

    • 著者名/発表者名
      間島毅、清水貴博、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第47回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた複素反射率測定による液体試料のUHF帯粘弾性評価2018

    • 著者名/発表者名
      山川 愉生, 柳谷 隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2018(日本、宮城)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] “Evaluation of viscoelactic properties of liquids based on the oblique incidence technology using shear horizontal waves at frequencies above 100 megahertz from c-axis tilted ScAlN thin films,”2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamakawa and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「Pb(Zrx,Ti1-x)O3スパッタエピ膜における MPB 特性発現の検証」2018

    • 著者名/発表者名
      野田隆太、清水貴博、和佐清孝、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第47回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “Thick PZT epitaxial film and ScAlN film for ultrasonic transducer below 100 MHz,”2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Mazda, C. Masamune, R. Karasawa, T. Shimidzu, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電2018

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      第4回分科会ワークショップ
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた横波超音波の斜入射による液体試料のVHF帯粘弾性評価2018

    • 著者名/発表者名
      山川 愉生, 柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第65回応用物理学会 春季学術講演会(日本、東京)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] “Comparison of kt2 extraction method from film/substrate structure by using the ratio of resonant frequencies with conventional methods,”2018

    • 著者名/発表者名
      M. Totsuka and T. Yanagitani
    • 学会等名
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子」2018

    • 著者名/発表者名
      清水貴博、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “Extraction of electromechanical coupling coefficient of film / substrate structure by using the ration of a third mode resonant frequency to a fundamental mode resonant frequency,”2018

    • 著者名/発表者名
      M. Totsuka and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] PZT エピタキシャル厚膜を用いた 80 MHz 帯の超音波トランスデューサ2018

    • 著者名/発表者名
      松田 友佳、清水 貴博、柳谷 隆彦
    • 学会等名
      第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “DC-induced piezoelectric cubic PMN-PT/piezoelectric tetragonal PZT epitaxial stack polarity inverted resonators for frequency switchable filters,”2018

    • 著者名/発表者名
      T. Shimidzu and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「基板付き圧電薄膜の機械的品質係数 Q 値評価の検討」2018

    • 著者名/発表者名
      木下紗里那、戸塚誠、唐澤嶺、柳谷隆彦
    • 学会等名
      第47回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] 「基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 ~ 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 ~」2018

    • 著者名/発表者名
      戸塚誠、柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] “Investigation of MPB in Pb(Zrx,Ti1-x)O3 epitaxial films by RF magnetron sputtering growth,”2018

    • 著者名/発表者名
      R. Noda and T. Yanagitani
    • 学会等名
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K19037
  • [学会発表] Polarity inverted PZT/PbTiO3 ferroelectric epitaxial film for frequency switchable resonator filters"2017

    • 著者名/発表者名
      T. Shimizu; T.Mori, M. Suzuki; T. Yanagitani, and K. Wasa
    • 学会等名
      12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Broadband frequency viscosity measurement using low TCF shear mode resonators consisting of c-axis tilted ScAlN thin film on thick AT-Cut quartz plate2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamakawa, K. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'17)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 抗電界差による基本モード/高次モード周波数切替可能なPZT/PTエピ膜分極反転共振子2017

    • 著者名/発表者名
      清水貴博、森剛志、柳谷隆彦、和佐清孝
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    • 発表場所
      東北大学カタールサイエンスキャンパスホール
    • 年月日
      2017-02-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Thick ScAlN film for high efficient ultrasonic transducer in low frequency of 81 MHz2017

    • 著者名/発表者名
      K.-H. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'17)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Electromechanical coupling hysteresis curves of PZT epitaxial ferroelectric films determined by gigahertz ultrasonic method2017

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani, T. Mori, K. Wasa
    • 学会等名
      12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using caxis tilted ScAlN thin film on temperature stable AT-cut quartz thick plate,2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamakawa, K-h. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2017 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Liquid gigahertz viscosity sensors using shear mode c-axis tilted ScAlN piezoelectric thin films2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamakawa, R. Karasawa; T. Mori; K. Sano; M. Suzuki and T. Yanagitani
    • 学会等名
      12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 最近のBAWデバイス(FBAR)の薄膜材料と評価手法2017

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      第65回応用物理学会学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 単結晶PZT/PTエピタキシャル薄膜を用いた周波数切り替え可能な共振子2017

    • 著者名/発表者名
      森剛志、高柳真司、清水貴博、柳谷隆彦
    • 学会等名
      2017年電子情報通信学会総合大会
    • 発表場所
      名城大学 天白キャンパス
    • 年月日
      2017-03-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] “Effects of highly energetic negative ions generated from Sc grains during sputtering deposition on electromechanical properties of ScAlN film”2017

    • 著者名/発表者名
      S. Takayanagi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 分極反転圧電薄膜材料の進展と超音波デバイス応用2017

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦、唐澤嶺
    • 学会等名
      2017年秋季日本音響学会研究発表会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] C-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna,2017

    • 著者名/発表者名
      R. Karasawa, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2017 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] c軸傾斜配向ScAlN膜/ATカット水晶基板構造の低TCF横波共振子を用いた 広帯域周波数粘度 測定2017

    • 著者名/発表者名
      山川愉生、佐野耕平、唐澤嶺、森剛志、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    • 発表場所
      東北大学カタールサイエンスキャンパスホール
    • 年月日
      2017-02-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] DC field-induced piezoelectricity of cubic perovskite 0.95Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.05PbTiO3 epitaxial film for RF switchable resonator,2017

    • 著者名/発表者名
      T.Shimidzu, K.Wasa, and T. Yanagitani,
    • 学会等名
      IUMRS-ICA2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] “Induced electrical potentials in cortical bone under shear ultrasound exposure2017

    • 著者名/発表者名
      T. Makino, K. Takano , S. Nakanishi , D. Koyama, S. Takayanagi , T. Yanagitani , M. Matsukawa
    • 学会等名
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] c軸傾斜配向ScAlN膜/ブラック反射層構造のGHz帯厚みすべりモード共振子を用いた液体粘性評価2017

    • 著者名/発表者名
      唐澤嶺、山川愉生、森剛志、矢﨑花、佐野耕平、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    • 発表場所
      東北大学カタールサイエンスキャンパスホール
    • 年月日
      2017-02-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Quantitative thickness measurement in polarity-inverted piezoelectric layered thin film using scanning nonlinear dielectric microscopy2017

    • 著者名/発表者名
      H. Odagawa, K. Terada, H. Nishikawa, Y. Tanaka, T. Yanagitani and Y. Cho
    • 学会等名
      2017 Joint IEEE ISAF - IWATMD - PFM (26th International Symposium on Applications of Ferroelectrics (ISAF))
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04725
  • [学会発表] c-Axis tilted ScAlN film on sapphire substrate for SAW devices with high electromechanical coupling2017

    • 著者名/発表者名
      S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ZnO膜の 圧電不活性層低減に関する検討2017

    • 著者名/発表者名
      盛一馬、高柳真司、松川真美、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    • 発表場所
      東北大学カタールサイエンスキャンパスホール
    • 年月日
      2017-02-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] High efficiency ScAlN thick film hydrophone operating in the ranges of 40-80 MHz2017

    • 著者名/発表者名
      K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 高電気機械結合係数を持つ80MHz 帯 ScAlN 厚膜のハイドロフォン応用への検討2017

    • 著者名/発表者名
      佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第46回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] The frequency wwitchable multi-layered BST/BaTiO3 epitaxial film resonator,2017

    • 著者名/発表者名
      T. Shimidzu, T. Yanagitani, K. Wasa
    • 学会等名
      2017 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 分極反転圧電薄膜の成長と応用~レクテナ昇回路へ検討~2017

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦、唐澤嶺
    • 学会等名
      第46回EMシンポジウム
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Polarity inverted ScAlN films for application to transformer in rectenna2017

    • 著者名/発表者名
      R. Karasawa, T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] c軸傾斜配向ScAlN膜/ATカット水晶基板構造の低TCF横波共振子を用いた 広帯域周波数粘度測定2017

    • 著者名/発表者名
      山川愉生、佐野耕平、唐澤嶺、森剛志、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    • 発表場所
      東北大学カタールサイエンスキャンパスホール
    • 年月日
      2017-02-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] 最新のBAW デバイス材料の研究と応用2017

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      マイクロナノ先端技術交流会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 抗電界差による基本モード/高次モード周波数切替可能なPZT/PTエピ膜分極反転共振子2017

    • 著者名/発表者名
      清水貴博、森剛志、柳谷隆彦、和佐清孝
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    • 発表場所
      東北大学カタールサイエンスキャンパスホール
    • 年月日
      2017-02-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Simple and rapid measurement of hypersonic wave velocity by Brillouin scattering method2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Shibagaki, M. Kawabe, S. Takayanagi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] PMN paraelectric phase epitaxial film for DC field-induced frequency switchable filter2017

    • 著者名/発表者名
      T. Shimidzu, K. Wasa , T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] High electromechanical coupling thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic generation in low frequency of 80MHz2017

    • 著者名/発表者名
      K. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 電気機械結合係数 kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80 MHzトランスデューサ2017

    • 著者名/発表者名
      佐野耕平、唐澤嶺、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    • 発表場所
      東北大学カタールサイエンスキャンパスホール
    • 年月日
      2017-02-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Effects of negative oxygen ions generated during Sc ingot sputtering on electromechanical coupling of ScAlN film2017

    • 著者名/発表者名
      S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2017 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Simultaneous viscosity evaluation in the MHz to GHz range with low TCF resonators consisting of shear mode piezoelectric thin films on AT-cut quartz crystal”2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamakawa, R. Karasawa, T. Shimidzu ,T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] c 軸傾斜配向 ScAlN/AT カット水晶基板構造の低 TCF 横波 HBAR を用いた MHz 帯-GHz 帯粘性評価2017

    • 著者名/発表者名
      山川愉生, 佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第46回EMシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices,”2017

    • 著者名/発表者名
      S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani,
    • 学会等名
      2017 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] c軸傾斜配向ScAlN膜/ブラック反射層構造のGHz帯厚みすべりモード共振子を用いた液体粘 性評価2017

    • 著者名/発表者名
      唐澤嶺、山川愉生、森剛志、矢﨑花、佐野耕平、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    • 発表場所
      東北大学カタールサイエンスキャンパスホール
    • 年月日
      2017-02-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Film Growth of C-Axis parallel oriented ZnO on entire surface of silica glass pipe for SH-SAW pipe sensor2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Takamura, S. Takayanagi, M. Matsukawa, Chizu Ishida, and T. Yanagitani,
    • 学会等名
      2017 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 電気機械結合係数 kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80 MHzトランスデューサ2017

    • 著者名/発表者名
      佐野耕平、唐澤嶺、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    • 発表場所
      東北大学カタールサイエンスキャンパスホール
    • 年月日
      2017-02-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] ウルツ鉱型圧電薄膜による横波を用いたMHz-GHz帯における液体の粘性評価2017

    • 著者名/発表者名
      山川愉生, 清水貴博, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      日本音響学会2017秋季研究発表会 (日本, 愛媛)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Film growth of c-axis parallel oriented ZnO films by RF magnetron sputtering for improvement of electromechanical properties2017

    • 著者名/発表者名
      K. Mori, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
    • 学会等名
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Frequency switchable multi-layered paraelectric-BST/ferroelectric-BaTiO3 stack epitaxial film resonator2017

    • 著者名/発表者名
      R.Noda, T.Shimidzu, K.Wasa, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      IUMRS-ICA2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] High electromechanical coefficient kt 2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz,2017

    • 著者名/発表者名
      K-h. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    • 学会等名
      2017 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ZnO膜の 圧電不活性層低減に関す る検討2017

    • 著者名/発表者名
      盛一馬、高柳真司、松川真美、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    • 発表場所
      東北大学カタールサイエンスキャンパスホール
    • 年月日
      2017-02-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 単結晶PZT/PTエピタキシャル薄膜を用いた周波数切り替え可能な共振子2017

    • 著者名/発表者名
      森剛志、高柳真司。清水貴博、柳谷隆彦
    • 学会等名
      2017年電子情報通信学会総合大会
    • 発表場所
      名城大学 天白キャンパス
    • 年月日
      2017-03-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Electromechanical coupling hysteresis curves of Pb(Zr,Ti)O3 epitaxial films determined by GHz ultrasonic method using film/substrate structure2016

    • 著者名/発表者名
      Takahiko Yanagitani and Masashi Suzuki
    • 学会等名
      13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices 2016
    • 発表場所
      Seogwipo KAL Hotel, Jeju, Korea
    • 年月日
      2016-08-21
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Electromechanicalcoupling hysteresis curvesof Pb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>and PbTiO<sub>3</sub>epitaxial films determinedby ultrasonic measurementusing film/substratestructure2016

    • 著者名/発表者名
      T. Mori, M. Suzuki, S. Takayanagi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW in c-axis-parallel-oriented ScAlN film/high-velocitysubstrate structures2016

    • 著者名/発表者名
      S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] c-axis tilted ScAlN shear wave acoustic Bragg reflect resonator for gigahertz viscosity measurement2016

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Mori, Yui Yamakawa, Rei Karasawa, Ko-hei Sano,Takahiko Yanagitani, Shinji Takanayanagi
    • 学会等名
      5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
    • 発表場所
      Hilton Hawaiian Village
    • 年月日
      2016-11-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] High electromechanical coupling of sezawa mode SAW using a polarization-inverted ScAlN film/highvelocity substrate structure2016

    • 著者名/発表者名
      Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • 発表場所
      釜慶大学
    • 年月日
      2016-11-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Quantitative Thickness Measurement in Layered Polarity-Inverted Piezoelectric Thin Films Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy2016

    • 著者名/発表者名
      Koshiro Terada, Hiroaki Nishikawa, Yohei Tanaka1, Hiroyuki Odagawa1, Takahiko Yanagitani, and Yasuo Cho
    • 学会等名
      The 3rd International Conference of Global Network for Innovative Technology
    • 発表場所
      Penang, Malaysia
    • 年月日
      2016-01-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04725
  • [学会発表] Rapid and simultaneousmeasurement of longitudinaland shear wave velocitiesby Brillouin scattering fromartificially induced phonons2016

    • 著者名/発表者名
      M. Kawabe, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Shibagaki, M. Suzuki, M. Matsukawa
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] High electromechanical coupling of sezawa mode SAW using a polarization-inverted ScAlN film/highvelocity substrate structure2016

    • 著者名/発表者名
      Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • 発表場所
      釜慶大学
    • 年月日
      2016-11-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Electromechanicalcoupling hysteresis curvesof Pb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>and PbTiO<sub>3</sub>epitaxial films determinedby ultrasonic measurementusing film/substratestructure2016

    • 著者名/発表者名
      T. Mori, M. Suzuki, S. Takayanagi, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] 超音波顕微鏡プローブ用の新しい圧電薄膜材料2016

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      第8回バイオ超音波顕微鏡研究会
    • 発表場所
      東北大学東京分室
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] 励起フォノンを用いたBrillouin散乱測定の高速化に関する検討2016

    • 著者名/発表者名
      柴垣慶明, 川部昌彦, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 松川真美
    • 学会等名
      第58回光波センシング技術研究会
    • 発表場所
      東京理科大学 神楽坂校舎 森戸記念館
    • 年月日
      2016-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Brillouin scatteringstudy on piezoelectricstiffening effect in thethickness direction ofc-plane ZnO single crystal2016

    • 著者名/発表者名
      S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H. Ichihashi, M. Matsukawa
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] The frequencyswitchable resonatorconsisting of polarityinverted Pb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>/PbTiO<sub>3</sub>epitaxial multilayer2016

    • 著者名/発表者名
      T. Mori, M. Suzuki,T. Yanagitani
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Piezoelectric stiffening in the thickness direction of c-plane ZnO single crystal measured by Brillouin2016

    • 著者名/発表者名
      Shota Tomita, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
    • 学会等名
      The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • 発表場所
      釜慶大学
    • 年月日
      2016-11-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Improvement ofelectromechanical propertiesin c-axis parallel orientedZnO film by RF magnetronsputtering with negative ionbombardment2016

    • 著者名/発表者名
      K. Mori, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Evaluation of piezoelectricity in bone by ultrasound irradiation2016

    • 著者名/発表者名
      Sayaka Matsukawa1, Shunki Mori, Daisuke Koyama, Shinji Takayanagi, Katsunori Mizuno Takahiko Yanagitani, Mami Matsukaw
    • 学会等名
      The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • 発表場所
      釜慶大学
    • 年月日
      2016-11-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Evaluation of viscousliquid using resonance andanti-resonance of thicknessshearmode resonatorconsisting of c-axis paralleloriented ZnO film2016

    • 著者名/発表者名
      R. Iwanaga, S. Takayanagi, Y. Watanabe, M. Matsukawa, T. Tsuchiya, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Quantitative thickness measurement in polarityinverted piezoelectric layered thin film using scanning nonlinear dielectric microscopy2016

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Odagawa, Koshiro Terada, Hiroaki Nishikawa, Yohei Tanaka, Takahiko Yanagitani and Yasuo Cho
    • 学会等名
      2016 Joint IEEE International Symposium on the Applications of Ferroelectrics, European Conference on Applications of Polar Dielectrics & Workshop on Piezoresponse Force Microscopy (ISAF/ECAPD/PFM)
    • 発表場所
      Darmstadt, Germany
    • 年月日
      2016-08-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04725
  • [学会発表] ScAlN薄膜トランスデューサを用いた縦波・横波のブリュアン散乱光の同時増幅2016

    • 著者名/発表者名
      柴垣慶明,川部昌彦,柳谷隆彦,高柳真司,鈴木雅視,松川真美
    • 学会等名
      日本音響学会2016年秋季研究発表会
    • 発表場所
      富山大学五福キャンパス
    • 年月日
      2016-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Polarity inverted Pb(Zr,Ti)O3/PbTiO3 epitaxial multilayer frequency switchable resonator in the GHz range2016

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, and Kiyotaka Wasa
    • 学会等名
      13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices 2016
    • 発表場所
      Seogwipo KAL Hotel, Jeju, Korea
    • 年月日
      2016-08-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Anisotropic behavior ofinduced electric potentialsin bone by ultrasoundirradiation2016

    • 著者名/発表者名
      S. Matsukawa, S. Mori, Isao Mano, T. Yanagitani, K. Mizuno, S.Takayanagi, M. Matsukawa
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Anisotropic behavior ofinduced electric potentialsin bone by ultrasoundirradiation2016

    • 著者名/発表者名
      S. Matsukawa, S. Mori, Isao Mano, T. Yanagitani, K. Mizuno, S.Takayanagi, M. Matsukawa
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] 極性反転構造のZnO及びScAlN圧電薄膜の形成と弾性波デバイス応用2016

    • 著者名/発表者名
      森剛志、鈴木雅視, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      (講演奨励賞受賞記念講演)第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東工大大岡山キャンパス
    • 年月日
      2016-03-19
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] 超音波顕微鏡プローブ用の新しい圧電薄膜材料2016

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦
    • 学会等名
      第8回バイオ超音波顕微鏡研究会
    • 発表場所
      東北大学東京分室
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] 励起フォノンを用いたBrillouin散乱測定の高速化に関する検討2016

    • 著者名/発表者名
      柴垣慶明, 川部昌彦, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 松川真美
    • 学会等名
      第58回光波センシング技術研究会
    • 発表場所
      東京理科大学 神楽坂校舎 森戸記念館
    • 年月日
      2016-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Temperature stable liquid gigahertz viscosity sensors by combining shear mode piezoelectric ScAlN thin film and AT-cut quartz crystal plate2016

    • 著者名/発表者名
      Ko-hei Sano, Takeshi Mori, Rei Karasawa, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
    • 発表場所
      Hilton Hawaiian Village
    • 年月日
      2016-11-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Piezoelectric stiffening in the thickness direction of c-plane ZnO single crystal measured by Brillouin2016

    • 著者名/発表者名
      Shota Tomita, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
    • 学会等名
      The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • 発表場所
      釜慶大学
    • 年月日
      2016-11-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Temperature stable liquid gigahertz viscosity sensors by combining shear mode piezoelectric ScAlN thin film and AT-cut quartz crystal plate2016

    • 著者名/発表者名
      Ko-hei Sano, Takeshi Mori, Rei Karasawa, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
    • 発表場所
      Hilton Hawaiian Village
    • 年月日
      2016-11-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Electromechanical coupling hysteresis curves of Pb(Zr,Ti)O3 epitaxial films determined by GHz ultrasonic method using film/substrate structure2016

    • 著者名/発表者名
      Takahiko Yanagitani and Masashi Suzuki,
    • 学会等名
      13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices 2016
    • 発表場所
      Seogwipo KAL Hotel, Jeju, Korea
    • 年月日
      2016-08-21
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Improvement ofelectromechanical propertiesin c-axis parallel orientedZnO film by RF magnetronsputtering with negative ionbombardment2016

    • 著者名/発表者名
      K. Mori, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Polarity inverted Pb(Zr,Ti)O3/PbTiO3 epitaxial multilayer frequency switchable resonator in the GHz range2016

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, and Kiyotaka Wasa
    • 学会等名
      13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices 2016
    • 発表場所
      Seogwipo KAL Hotel, Jeju, Korea
    • 年月日
      2016-08-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] ScAlN薄膜トランスデューサを用いた縦波・横波のブリュアン散乱光の同時増幅2016

    • 著者名/発表者名
      柴垣慶明,川部昌彦,柳谷隆彦,高柳真司,鈴木雅視,松川真美
    • 学会等名
      日本音響学会2016年秋季研究発表会
    • 発表場所
      富山大学五福キャンパス
    • 年月日
      2016-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Evaluation of viscousliquid using resonance andanti-resonance of thicknessshearmode resonatorconsisting of c-axis paralleloriented ZnO film2016

    • 著者名/発表者名
      R. Iwanaga, S. Takayanagi, Y. Watanabe, M. Matsukawa, T. Tsuchiya, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] The frequencyswitchable resonatorconsisting of polarityinverted Pb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>/PbTiO<sub>3</sub>epitaxial multilayer2016

    • 著者名/発表者名
      T. Mori, M. Suzuki,T. Yanagitani
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Evaluation of piezoelectricity in bone by ultrasound irradiation2016

    • 著者名/発表者名
      Sayaka Matsukawa1, Shunki Mori, Daisuke Koyama, Shinji Takayanagi, Katsunori Mizuno Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
    • 学会等名
      The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • 発表場所
      釜慶大学
    • 年月日
      2016-11-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Rapid and simultaneousmeasurement of longitudinaland shear wave velocitiesby Brillouin scattering fromartificially induced phonons2016

    • 著者名/発表者名
      M. Kawabe, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Shibagaki, M. Suzuki, M. Matsukawa
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] Brillouin scatteringstudy on piezoelectricstiffening effect in thethickness direction ofc-plane ZnO single crystal2016

    • 著者名/発表者名
      S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H. Ichihashi, M. Matsukawa
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] c-axis tilted ScAlN shear wave acoustic Bragg reflect resonator for gigahertz viscosity measurement2016

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Mori, Yui Yamakawa, Rei Karasawa, Ko-hei Sano,Takahiko Yanagitani, Shinji Takanayanagi
    • 学会等名
      5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
    • 発表場所
      Hilton Hawaiian Village
    • 年月日
      2016-11-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04356
  • [学会発表] High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW in c-axis-parallel-oriented ScAlN film/high-velocitysubstrate structures2016

    • 著者名/発表者名
      S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
    • 学会等名
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    • 発表場所
      VINCI convention center, Tours
    • 年月日
      2016-09-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] c-axis parallel polarity inverted multilayer ZnO film resonators fabricated by grazing ion beam assisted RF magnetron sputtering2015

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki
    • 学会等名
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      台湾
    • 年月日
      2015-10-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Polarization Control of ScAlN and ZnO films: Application to polarization Inverted Multilayer2015

    • 著者名/発表者名
      Takahiko Yanagitani and Masashi Suzuki,
    • 学会等名
      2015 International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems
    • 発表場所
      千葉大学けやきホール
    • 年月日
      2015-11-24
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Method for Measuring Polarity-Inverted Layered Structure in Dielectric Thin Films Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscocpy2015

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Odagawa, Koshiro Terada, Hiroaki Nishikawa, TakahikoYanagitani abd Yasuo Cho
    • 学会等名
      13th European Meeting on Ferroelectricity (EMF2015)
    • 発表場所
      Porto, Portugal
    • 年月日
      2015-06-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04725
  • [学会発表] High order mode polarity inverted Al-polar (0001) ScAlN/O-polar (000-1) ZnO film resonator2015

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki,
    • 学会等名
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      台湾
    • 年月日
      2015-10-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Measurement of acoustic wave velocity and refractive index in thickness direction of c-axis oriented ScAlN films by Brillouin scattering2015

    • 著者名/発表者名
      Shota Tomita, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
    • 学会等名
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      台湾
    • 年月日
      2015-10-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] 走査型非線形誘電率顕微法による層状極性反転圧電膜の層厚の定量測定2015

    • 著者名/発表者名
      寺田浩士朗, 西川宏明, 田中陽平, 小田川裕之, 柳谷隆彦, 長康雄
    • 学会等名
      超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム(USE2015)
    • 発表場所
      つくば
    • 年月日
      2015-11-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K04725
  • [学会発表] Elastic constant cij E tensors of (0001) ScxAl1-xN films (x=0-0.63)2015

    • 著者名/発表者名
      Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Masashi Suzuki, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
    • 学会等名
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      台湾
    • 年月日
      2015-10-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Quasi-shear mode electromechanical coupling k'15 and shear wave velocity in c-axis tilted ScxAl1-xN films2015

    • 著者名/発表者名
      Masashi Suzuki, and Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      台湾
    • 年月日
      2015-10-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film2015

    • 著者名/発表者名
      Masahiko Kawabe, Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Masashi Suzuki
    • 学会等名
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      台湾
    • 年月日
      2015-10-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] ScAlN thin film transducers for ultrasonic microscopy in the VHF range2015

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Korai, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
    • 学会等名
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      台湾
    • 年月日
      2015-10-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] High Performance Piezoelectric Thin Films Beyond PZT2015

    • 著者名/発表者名
      K.Wasa, H.Hanzawa, S.Yoshida, T.Yanagitani, and S.Tanaka
    • 学会等名
      2015 International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems
    • 発表場所
      千葉大学けやきホール
    • 年月日
      2015-11-24
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering2015

    • 著者名/発表者名
      Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
    • 学会等名
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      台湾
    • 年月日
      2015-10-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13974
  • [学会発表] c軸傾斜ScAlN薄膜の擬似すべりモード電気機械結合係数2014

    • 著者名/発表者名
      鈴木雅視,片田克吉,柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    • 発表場所
      東北大学青葉記念館
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] 超音波により励起される骨中電位の極性について2014

    • 著者名/発表者名
      常田裕子, 松川沙弥果, 眞野功, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2014-09-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360161
  • [学会発表] PZT系エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子2014

    • 著者名/発表者名
      片田克吉,柳谷隆彦,鈴木雅視,和佐清孝
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    • 発表場所
      東北大学青葉記念館
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Bi(Me)O3-PbTiO3 高キュリー温度セラミックスの単結晶薄膜化2014

    • 著者名/発表者名
      和佐清孝,松嶋朝明,足立秀明,松永利之,柳谷隆彦,山本孝
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    • 発表場所
      東北大学青葉記念館
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] エピタキシャルPZT系厚膜の高温550℃における高い電気機械結合係数2014

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦,片田克吉,鈴木雅視,和佐清孝
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    • 発表場所
      東北大学青葉記念館
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] 音響電気効果を考慮したGaN単結晶のGHz域音速の温度・周波数分散測定2014

    • 著者名/発表者名
      市橋隼人,柳谷隆彦,高柳真司,松川真美
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656259
  • [学会発表] イオンビーム照射成膜によるc軸垂直配向希土類GaN 薄膜の形成2014

    • 著者名/発表者名
      鈴木雅視,柳谷隆彦
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 年月日
      2014-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656259
  • [学会発表] イオンビーム照射成膜によるc軸垂直配向希土類GaN薄膜の形成2014

    • 著者名/発表者名
      鈴木雅視,柳谷隆彦
    • 学会等名
      第61回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] 音響電気効果を考慮したGaN単結晶のGHz域音速の温度・周波数分散測定2014

    • 著者名/発表者名
      市橋隼人, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
    • 発表場所
      東北大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656259
  • [学会発表] PZT-based high coupling with low permittivity thin films2013

    • 著者名/発表者名
      K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto, S. Trolier-McKinstry
    • 学会等名
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM
    • 発表場所
      プラハ国際会議場
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] 平行配向ZnO圧電薄膜を用いた液中横波励振デバイス2013

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章
    • 学会等名
      マイクロEMデバイス・システムとICの融合化技術調査専門委員会
    • 発表場所
      沼津高専
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] MHz域の超音波照射による骨の誘発電位2013

    • 著者名/発表者名
      常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
    • 学会等名
      第33回日本骨形態計測学会
    • 発表場所
      アクトシティ浜松コングレスセンター
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360161
  • [学会発表] Detection of antigen-antibody reaction by thickness-shear mode resonators consisting of caxis parallel oriented ZnO films2013

    • 著者名/発表者名
      K. Yoshida, T. Yanagitani, T. Kawamoto, S. Sasaki, M. Oba, Y. Kato, S. Takayanagi, Y. Watanabe
    • 学会等名
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM
    • 発表場所
      プラハ国際会議場
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Enhancement of electromechanical coupling kt in rare earth doped c-axis oriented GaN films2013

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki, T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM
    • 発表場所
      プラハ国際会議場
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Multiple roundtrip SH-SAW liquid sensor using c-axis parallel oriented ZnO _lms on silica glass pipe2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Kato, T. Yanagitani, K. Imamura, S. Takayanagi, M. Matsukawa
    • 学会等名
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM
    • 発表場所
      プラハ国際会議場
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Electrical potentials in wet induced by ultrasound irradiatio2013

    • 著者名/発表者名
      H. Tsuneda, M. Okino, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
    • 学会等名
      European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone 2013
    • 発表場所
      University of Granada
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360161
  • [学会発表] 「c軸傾斜配向ZnOまたはScAlN膜のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数」2013

    • 著者名/発表者名
      加藤善也,柳谷隆彦,高柳真司,今村功佑,松川真美
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2013
    • 発表場所
      東北大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] 講演奨励賞受賞記念講演 イオンビーム照射成膜によるAlN薄膜の極性・配向制御および極性反転多層構造の形成2013

    • 著者名/発表者名
      鈴木雅視,柳谷隆彦
    • 学会等名
      第74回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Electromechanical coupling kt and GHzl ongitudinal wave velocity in ScAlN _lms near phase boundary2013

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki, T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM
    • 発表場所
      プラハ国際会議場
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Brillouin散乱法を用いたGaN単結晶の音速分散測定2013

    • 著者名/発表者名
      市橋隼人, 柳谷隆彦, 高柳真司, 川部昌彦, 松川真美
    • 学会等名
      第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • 発表場所
      同志社大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656259
  • [学会発表] Shear and longitudinal GHz elastic properties in GaN single crystals determined by Brillouin scattering method2013

    • 著者名/発表者名
      H. Ichihashi, T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
    • 学会等名
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656259
  • [学会発表] 「希土類を添加したAlNおよびGaN薄膜の圧電特性」2013

    • 著者名/発表者名
      伊藤一也,鈴木雅視,柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2013
    • 発表場所
      東北大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Enhancement of electromechanical coupling kt in rare earth doped c-axis oriented GaN films2013

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki, T. Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656259
  • [学会発表] Characterization of GHz electromechanical properties of PZT single crystalline thin films without removing substrate2013

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani, M. Suzuki, K. Wasa T. Yanagitani, M. Suzuki, K. Wasa
    • 学会等名
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM
    • 発表場所
      プラハ国際会議場
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Shear and longitudinal GHz elastic properties in GaN single crystals determined byBrillouin scattering method2013

    • 著者名/発表者名
      H.Ichihashi, T.Sugimoto, T.yanagitani, S.Takayanagi, M.Matsukawa
    • 学会等名
      IEEE Ultrassonic Symposium
    • 発表場所
      プラハ国際会議場
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656259
  • [学会発表] Orientation control of ZnO _lms by highly-energetic positive ion irradiation using RF substrate bias sputtering2013

    • 著者名/発表者名
      S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
    • 学会等名
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM
    • 発表場所
      プラハ国際会議場
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] 「AlN系薄膜におけるイオンビームを用いたc軸平行螺旋構造およびc軸垂直極性反転構造の形成」2013

    • 著者名/発表者名
      鈴木雅視,柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2013
    • 発表場所
      東北大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Sear and longitudinal GHz elestic properties in GaN single crystals determined by Brillouin scattering method2013

    • 著者名/発表者名
      H.Ichihashi, T.Sugimoto, T.Yanagitani, S.Takayanagi, M.Matsukawa
    • 学会等名
      2013 IEEE Joint UFFC, EFTF and PFM symposium
    • 発表場所
      Prague Congress Centre
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656259
  • [学会発表] Polarity control of c-axis oriented ZnO films and application to polarity-inverted to ZnO multilayer resonators2013

    • 著者名/発表者名
      R. Hashimoto, T. Yanagitani, Ryo Ikoma, S. Takayanagi1, M. Suzuki, H. Odagawa, M. Matsukawa
    • 学会等名
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM
    • 発表場所
      プラハ国際会議場
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Brillouin散乱法によるGaN単結晶の音波物性測定2013

    • 著者名/発表者名
      市橋、杉本、柳谷、高柳、松川
    • 学会等名
      2013年第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川理工科大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656259
  • [学会発表] Shear and longitudinal GHz elastic properties in GaN single crystals determined by Brillouin scattering method2013

    • 著者名/発表者名
      H. Ichihashi, T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
    • 学会等名
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM
    • 発表場所
      プラハ国際会議場
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Bone ultrasound transducer in the MHz range2012

    • 著者名/発表者名
      Okino, Mizuno, Takayanagi, Suga, Yanagitani, Matsukawa
    • 学会等名
      2012 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      Dresden Conference Center(Germany)
    • 年月日
      2012-10-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360161
  • [学会発表] “Polarization inverted (0001) / (000-1) ScAlN film resonators operating in second overtone mode,”2012

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki, T. Yanagitani, H. Odagawa,
    • 学会等名
      2012 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 発表場所
      ドレスデン
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] “High electromechanical coupling of PMnN-PZT thin film resonator operating in the GHz range,”2012

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani, M. Suzuki, K. Wasa,
    • 学会等名
      2012 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 発表場所
      ドレスデン
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] “Polarization control of the c-axis oriented ZnO films by ion bombardment during an RF magnetron sputtering,”2012

    • 著者名/発表者名
      R. Ikoma, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Suzuki, H. Odagawa, M. Matsukawa,
    • 学会等名
      2012 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 発表場所
      ドレスデン
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] c 軸垂直極性反転ScAlN 多層膜を用いた高次モード音響共振子2012

    • 著者名/発表者名
      鈴木 雅視,柳谷 隆彦,
    • 学会等名
      日本音響学会2012年秋季研究発表会
    • 発表場所
      東京工科大学八王子キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] “Metal grain ingot sputtering method for ScAlN film fabrication and for searching alternative element of Sc,”2012

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani, M. Suzuki, N. Suganuma,
    • 学会等名
      2012 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 発表場所
      ドレスデン
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] “Micro liquid viscometer by thickness-shear mode resonator with c-axis parallel oriented ZnO film,”2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Kato, T. Yanagitani, M. Matsukawa, M. Sawasaki, T. Kawamoto, Y. Mori, S. Takayanagi, S. Sasaki, M. Oba, Y. Watanabe,
    • 学会等名
      2012 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 発表場所
      ドレスデン
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] イオンビーム照射成膜による(0001)配向ScAlN薄膜の極性制御と極性反転構造の実現」2012

    • 著者名/発表者名
      鈴木雅視,柳谷隆彦,小田川裕之,
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学城北地区
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] MHz域における骨の電気機械変換特性2012

    • 著者名/発表者名
      沖野、水野、柳谷、クテル、松川
    • 学会等名
      第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • 発表場所
      千葉大学
    • 年月日
      2012-11-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360161
  • [学会発表] “Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons,”2012

    • 著者名/発表者名
      T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa,
    • 学会等名
      2012 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 発表場所
      ドレスデン
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] “Fabrication of c-axis parallel oriented AlN and ScAlN films by RF bias sputtering,”2012

    • 著者名/発表者名
      S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa,
    • 学会等名
      2012 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 発表場所
      ドレスデン
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] “Bone ultrasound transducer in the MHz range,”2012

    • 著者名/発表者名
      M. Okino, Katsunori M., S. Takayanagi, D. Suga, T. Yanagitani, M. Matsukawa,
    • 学会等名
      2012 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 発表場所
      ドレスデン
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Fast hypersonic velocity measure- ment by Brillouin scattering from induced phonons2012

    • 著者名/発表者名
      T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
    • 学会等名
      2012 IEEE International Ultrason. Symp.
    • 年月日
      2012-10-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656259
  • [学会発表] c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子2011

    • 著者名/発表者名
      鈴木雅視, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2011
    • 発表場所
      東北大学工学部
    • 年月日
      2011-01-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] 曲面試料上に成膜したZnO薄膜からの励起フォノンによるBrillouin散乱2011

    • 著者名/発表者名
      杉本剛士, 佐野広幸, 中東佑太, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
    • 学会等名
      日本音響学会2011年春季研究発表会
    • 発表場所
      早稲田大学理工学術院
    • 年月日
      2011-03-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] c軸平行配向ZnO膜/非圧電性基板構造におけるSH-SAWの電気機械結合係数およびセンサ応用の検討2011

    • 著者名/発表者名
      中東佑太, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2011
    • 発表場所
      東北大学工学部
    • 年月日
      2011-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] 傾斜配向AlN膜の結晶粒界と横波音響特性2010

    • 著者名/発表者名
      鈴木雅視、柳谷隆彦
    • 学会等名
      日本音響学会2010年春季研究発表会
    • 発表場所
      電気通信大学
    • 年月日
      2010-03-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性2010

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦、秋山守人
    • 学会等名
      日本音響学会2010年秋季研究発表会
    • 発表場所
      関西大学
    • 年月日
      2010-09-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10)textured ZnO films by RF bias sputtering2010

    • 著者名/発表者名
      S.Takayanagi, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe
    • 学会等名
      IEEE Ultrason. Symp.(2010) 4pages
    • 発表場所
      in press
    • 年月日
      2010-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価2010

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦、佐野広幸、松川真美
    • 学会等名
      日本音響学会2010年春季研究発表会
    • 発表場所
      電気通信大学
    • 年月日
      2010-03-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Brillouin散乱法による導電性ZnO単結晶を用いた擬似すべりモード電気機械結合係数kl5'の評価2010

    • 著者名/発表者名
      佐野広幸, 柳谷隆彦, 松川真美
    • 学会等名
      日本音響学会2010年秋季研究発表会
    • 発表場所
      関西大学
    • 年月日
      2010-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性2010

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦、荒川和樹、鈴木雅視、加納一彦、勅使河原明彦、秋山守人
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • 発表場所
      東北大学工学部
    • 年月日
      2010-09-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] 傾斜配向AlN膜の構造が横波音響特性におよぼす影響2010

    • 著者名/発表者名
      鈴木雅視、柳谷隆彦
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2010
    • 発表場所
      仙台市青葉区荒巻字青葉 東北大学工学部青葉記念会館
    • 年月日
      2010-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10) textured ZnO films by RF bias sputtering2010

    • 著者名/発表者名
      S, Takayanagi, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe
    • 学会等名
      2010 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      San Diego, California
    • 年月日
      2010-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Brillouin散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測2010

    • 著者名/発表者名
      佐野広幸, 柳谷隆彦, 高柳真司、松川真美
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • 発表場所
      東北大学工学部
    • 年月日
      2010-09-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] RFバイアススパッタ法による簡便な(11-20)および(10-10)配向ZnO膜の形成2010

    • 著者名/発表者名
      高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章
    • 学会等名
      応用物理学会2010年春季大会
    • 発表場所
      東海大学 湘南キャンパス
    • 年月日
      2010-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering2010

    • 著者名/発表者名
      K.Arakawa, T.Yanagitani, K.Kano, A.Teshigahara, M.Akiyama
    • 学会等名
      2010 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      San Diego, California
    • 年月日
      2010-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] RFバイアススパッタ法による簡便な面内配向ZnO薄膜の形成2010

    • 著者名/発表者名
      高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2010
    • 発表場所
      仙台市青葉区荒巻字青葉 東北大学工学部青葉記念会館
    • 年月日
      2010-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成~バイアス周波数が配向性に及ぼす影響~2010

    • 著者名/発表者名
      高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • 発表場所
      東北大学工学部
    • 年月日
      2010-09-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] ウシ大腿骨皮質骨の3次元音速異方性~ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響~2010

    • 著者名/発表者名
      中辻知宏, 犬童雅規, 小泉喬亮, 松川真美, 山本和史, 山崎薫, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • 発表場所
      関西大学 千里山キャンパス第四学舎(システム理工学部)
    • 年月日
      2010-01-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Effects of HAp alignment and microstructure on the anisotropy of longitudinal wave velocity in bovine cortical bone2010

    • 著者名/発表者名
      K.Yamamoto, T.Nakatsuji, Y.Yamato, T.Yanagitani, K.Yamazaki, M.Matsukawa, Y.Matsuyama
    • 学会等名
      2010 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      San Diego, California
    • 年月日
      2010-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Giant shear mode electromechanical coupling in c-axis tilted ScAlN films2010

    • 著者名/発表者名
      T.Yanagitani, K.Arakawa, M.Suzuki, K.Kano, T.Akihiko, A.Morito
    • 学会等名
      The 31th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • 発表場所
      明治大学
    • 年月日
      2010-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films2010

    • 著者名/発表者名
      M Suzuki, T.Yanagitani
    • 学会等名
      IEEE Ultrason. Symp.(2010) 4pages
    • 発表場所
      in press
    • 年月日
      2010-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films2010

    • 著者名/発表者名
      M Suzuki, T.Yanagitani
    • 学会等名
      2010 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      San Diego, California
    • 年月日
      2010-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] c-axis parallel oriented ZnO film depositions by variable frequency RF bias sputtering2010

    • 著者名/発表者名
      S.Takayanagi, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe
    • 学会等名
      The 31th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • 発表場所
      明治大学
    • 年月日
      2010-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering2010

    • 著者名/発表者名
      K.Arakawa, T.Yanagitani, K.Kano, A.Teshigahara, M.Akiyama
    • 学会等名
      IEEE Ultrason. Symp.(2010) 4pages
    • 発表場所
      in press
    • 年月日
      2010-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Observation of induced phonons by ZnO transducer with coaxial microwave resonator using Brillouin scattering2010

    • 著者名/発表者名
      H.Sano, T Yanagitani, S.Takayanagi, M.Matsukawa, N.Ohtori
    • 学会等名
      The 31th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • 発表場所
      明治大学
    • 年月日
      2010-12-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films2010

    • 著者名/発表者名
      T.Yanagitani, K.Arakawa, M.Suzuki, K.Kano, T.Akihiko, A.Morito
    • 学会等名
      2010 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      San Diego, California
    • 年月日
      2010-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Highest wave velocity direction in the bovine cortical bone : observation of a small tilt relative to the bone axis2010

    • 著者名/発表者名
      T.Nakatsuji, K.Yamamoto, T.Yanagitani, M.Matsukawa, K.Yamazaki
    • 学会等名
      2010 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      San Diego, California
    • 年月日
      2010-10-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] In-plane and out-of-plane orientation control of AlN films by ion beam assisted RF magnetron sputtering2010

    • 著者名/発表者名
      M Suzuki, T.Yanagitani
    • 学会等名
      The 31th Symposium on Ultrasonic Electronics
    • 発表場所
      明治大学
    • 年月日
      2010-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films2010

    • 著者名/発表者名
      T.Yanagitani, K.Arakawa, K.Kano, A.Teshigahara, M.Akiyama
    • 学会等名
      IEEE Ultrason. Symp.(2010) 4pages
    • 発表場所
      in press
    • 年月日
      2010-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] ウシ大腿骨皮質骨中の超音波縦波音速 ~ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響~2009

    • 著者名/発表者名
      中辻知宏, 矢追佑一郎, 松川真美, 山本和史, 山崎薫, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • 発表場所
      千葉大学フロンティアメディカル工学研究開発センターB号棟1階会議室
    • 年月日
      2009-06-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] ヒト及びウシ円環状皮質骨における骨軸方向への超音波伝搬特性2009

    • 著者名/発表者名
      山本和史, 大和雄, 山崎薫, 長野昭, 矢追佑一郎, 中辻智宏, 松川真美, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第29回日本骨形態計測学会
    • 発表場所
      大阪国際会議場
    • 年月日
      2009-05-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Relationships between anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone2009

    • 著者名/発表者名
      K.Yamamoto, T.Nakatsuji, Y.Yaoi, Y.Yamato, T.Yanagitani, M.Matsukawa, K.Yamazaki
    • 学会等名
      3rd European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone
    • 発表場所
      Kazimierz Wielki University in Bydgoszcz, Bydgoszcz, Poland
    • 年月日
      2009-09-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] 直線状エロージョンマグネトロンスパッタを用いた(11-20)配向ZnO圧電膜の結晶性2009

    • 著者名/発表者名
      川本貴之, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 森嘉一, 佐々木昌, 大場正利
    • 学会等名
      第30回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • 発表場所
      同志社大学今出川キャンパス寒梅館
    • 年月日
      2009-11-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films2009

    • 著者名/発表者名
      N.Morisato, S.Takayanagi, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe
    • 学会等名
      IEEE Ultrasonic.Symposium.2009
    • 発表場所
      Ergife Palace Hotel, Roma, Italy
    • 年月日
      2009-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] 高角度傾斜配向AlN膜の作製と圧電特性2009

    • 著者名/発表者名
      鈴木雅視, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第30回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • 発表場所
      同志社大学今出川キャンパス寒梅館
    • 年月日
      2009-11-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] 直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜2009

    • 著者名/発表者名
      川本貴之, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 森嘉一, 佐々木昌, 大場正利
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • 発表場所
      登別グランドホテル 会議室
    • 年月日
      2009-09-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Brillouin散乱法による圧電性ワイドバンドギャップ半導体の面内方向電気特性評価2009

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美
    • 学会等名
      第30回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • 発表場所
      同志社大学今出川キャンパス寒梅館
    • 年月日
      2009-11-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Texture modification of wurtzite piezoelectric films by ion beam irradiation2009

    • 著者名/発表者名
      T.Yanagitani, M.Kiuchi
    • 学会等名
      16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams
    • 発表場所
      Miraikan Hall, The National Museum of Emerging Science and Innovation (Miraikan)
    • 年月日
      2009-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用2009

    • 著者名/発表者名
      守里直希・高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • 発表場所
      登別グランドホテル 会議室
    • 年月日
      2009-09-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用2009

    • 著者名/発表者名
      守里直希, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
    • 学会等名
      第30回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • 発表場所
      同志社大学今出川キャンパス寒梅館
    • 年月日
      2009-11-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向電気特性評価に関する検討2009

    • 著者名/発表者名
      柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美
    • 学会等名
      電子情報通信学会超音波研究会
    • 発表場所
      登別グランドホテル 会議室
    • 年月日
      2009-09-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films2009

    • 著者名/発表者名
      N.Morisato, S.Takayanagi, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe
    • 学会等名
      IEEE Ultrason. Symp. pp.2162-2165 (2009)
    • 年月日
      2009-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method2009

    • 著者名/発表者名
      T.Yanagitani, H.Sano, M.Matsukawa
    • 学会等名
      IEEE Ultrasonic.Symposium.2009
    • 発表場所
      Ergife Palace Hotel, Roma, Italy
    • 年月日
      2009-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method2009

    • 著者名/発表者名
      T.Yanagitani, H.Sano, M.Matsukawa
    • 学会等名
      IEEE Ultrason. Symp. pp.1074-1077 (2009)
    • 年月日
      2009-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] ウシ大腿骨皮質骨の縦波音速異方性とHAp結晶配向2009

    • 著者名/発表者名
      山本和史, 大和雄, 山崎薫, 長野昭, 矢追佑一郎, 中辻智宏, 松川真美, 柳谷隆彦
    • 学会等名
      第24回日本整形外科学会基礎学術集会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2009-11-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21760049
  • [学会発表] RF bias induced polarity inversion of ScAlN film for overtone mode BAW resonator

    • 著者名/発表者名
      M. Suzuki, and T. Yanagitani,
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      シカゴ
    • 年月日
      2014-09-03 – 2014-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Effect of sputtering target temperature on crystalline orientations of ZnO piezoelectric films in RF magnetron sputtering

    • 著者名/発表者名
      C. Takata, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      シカゴ
    • 年月日
      2014-09-03 – 2014-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Polarity of piezoelectric properties in bone induced by ultrasound irradiation

    • 著者名/発表者名
      Hiroko Tsuneda, Isao Mano, Elena Hernanz, Katsunori Mizuno, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
    • 学会等名
      2014 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      Chicago USA
    • 年月日
      2014-09-03 – 2014-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360161
  • [学会発表] Polarity of piezoelectric properties in bone induced by ultrasound irradiation

    • 著者名/発表者名
      H. Tsuneda, I. Mano, E. Hernanz, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      シカゴ
    • 年月日
      2014-09-03 – 2014-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Second overtone mode polarization inverted resonator consisting of (001)/(00-1) PbTiO3 thin film

    • 著者名/発表者名
      T. Yanagitani, K. Katada, M. Suzuki, K. Wasa
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      シカゴ
    • 年月日
      2014-09-03 – 2014-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-Brillouin scattering technique

    • 著者名/発表者名
      H. Ichihashi, T. Yanagitani, S. Takayanagi1, M. Matsukawa
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      シカゴ
    • 年月日
      2014-09-03 – 2014-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Sezawa mode SAW with high electromechanical coupling at the boundary of polarization-inverted (000-1)/(0001) ZnO, AlN and ScAlN films

    • 著者名/発表者名
      S. Takayanagi, T.Yanagitani, M. Matsukawa
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      シカゴ
    • 年月日
      2014-09-03 – 2014-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] Multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure

    • 著者名/発表者名
      S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Kato, M. Matsukawa
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      シカゴ
    • 年月日
      2014-09-03 – 2014-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760075
  • [学会発表] 骨の微細構造が超音波帯域の圧電性に与える影響

    • 著者名/発表者名
      常田裕子, 松川沙弥果, 眞野功, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
    • 学会等名
      第35回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • 発表場所
      明治大学御茶ノ水キャンパス
    • 年月日
      2014-12-03 – 2014-12-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360161
  • [学会発表] 超音波照射による骨中誘発電位の極性について

    • 著者名/発表者名
      常田裕子, 松川沙弥果, 真野功, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 松川真美
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2015
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2015-02-18 – 2015-02-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360161
  • 1.  松川 真美 (60288602)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 23件
  • 2.  長谷 芳樹 (60448769)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 1件
  • 3.  高柳 真司 (00735326)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 46件
  • 4.  吉田 憲司 (10572985)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  細川 篤 (00321456)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  星野 裕信 (70293636)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  小田川 裕之 (00250845)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 8件
  • 8.  長 康夫 (40179966)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  鈴木 雅視 (60763852)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 8件
  • 10.  長 康雄
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 8件

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