ＦａｅｎｏｖＡｎａｔｏｌｙ Faenov Anatoly

… 別表記

ファエノフアナトリー FAENOV Anatoly

ファエノフアナトーヤファエノフアナトーヤ

研究者番号	10469794
所属 (現在)	2025年度: 大阪大学, 先導的学際研究機構, 特任教授(常勤)
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2010年度 – 2011年度: 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, リサーチフェロー 2009年度: 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, リサーチフェロー
審査区分/研究分野	研究代表者以外材料加工・処理
キーワード	研究代表者以外 EUVレーザー / 材料加工、処理 / 高性能レーザー / 量子ビーム / 材料加工・処理

EUVレーザーによるアブレーション基礎課程の解明とマスクフリー微細加工への展開
- 研究代表者
  
  河内哲哉
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2011
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  独立行政法人日本原子力研究開発機構

すべて 2012 2011 2010 2009

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Surface modifications of metals induced by soft x-ray laser pulse irradiations2012
- 著者名/発表者名
  M. Ishino, A. Faenov, M. Tanaka, N. Hasegawa, M. Nishikino, S. Tamaotsu, T. Pikuz, T. Ohba, T. Kaihori and T. Kawachi
- 雑誌名
  
  J. Micro/Nanoeng
  
  巻: 7 号: 2 ページ: 147-151
- DOI
  10.2961/jlmn.2012.02.0004
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Source development and novel applications of laser-driven plasma x-ray lasers in JAEA2011
- 著者名/発表者名
  T.Kawachi, M.Kishimoto, M.Kado, Y.Ochi, N.Hasegawa, M.Tanaka, M.Nishikino, M.Ishino, T.Imazono, T.Ohba, T.Kaihori, M.Koike, K.Namikawa, T.Suemoto, K.Terakawa, T.Tomita, N.Sarukura, H.Nishimura, A.Faenov, S.Bulanov, A.Y.Faenov, T.Pikuz, H.Daido
- 雑誌名
  
  X-ray lasers (Springer proceedings in physics)
  
  巻: 136 ページ: 12-19
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Two-temperature warm dense matter produced by ultrashort extreme vacuum ultraviolet free electron laser (EUV-FEL) pulse2011
- 著者名/発表者名
  N.Inogamov, A.Faenov, V.Zhakhovsky, T.Pikuz, I.Skobelev, Yu.Petrov, V.Khokhlov, V.Shepelev, S.Anismov, V.Fortov, Y.Fukuda, M.Kando, T.Kawachi, M.Nagasono, H.Ohashi, M.Yabashi, K.Tono, Y.Senba, T.Togashi, T.Ishikawa
- 雑誌名
  
  Contrib.Plasma Phys.
  
  巻: 51 ページ: 419-426
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Interaction of short laser pulses in wavelength range from infared to x-ray with metals, semiconductors and dielectrics2011
- 著者名/発表者名
  N. Inogamov, A. Faenov, V. Khokholov, V. Zhakhovskii, Y. Petrov, I. Skobelev, K. Nishihara, Y. Kato, M. Tanaka, T. Pikuz, M. Kishimoto, M. Ishino, M. Nishikino, Y. Fukuda, S. Bulanov, T. Kawachi, S. Anisimov and V. Fortov
- 雑誌名
  
  Contr. plasma phys
  
  巻: 51 号: 4 ページ: 361-366
- DOI
  10.1002/ctpp.201010103
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Spallative Ablation of Metals and Dielectrics2011
- 著者名/発表者名
  N.Inogamov, A.Faenov, V.Khokholov, V.Zhakhovskii, Y.Petrov, I.Skobelev, K.Nishihara, Y.Kato, M.Tanaka, T.Pikuz, M.Kishimoto, M.Ishino, M.Nishikino, Y.Fukuda, S.Bulanov, T.Kawachi, S.Anisimov, V.Fortov
- 雑誌名
  
  Contribution of plasma physics
  
  巻: 51 ページ: 361-366
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Nanoscale surface modifications and formation of conical structures at aluminum surface induced by single shot exposure of soft x-ray laser pulse2011
- 著者名/発表者名
  M. Ishino, A. Faenov, M. Tanaka, N. Hasegawa, M. Nishikino, S. Tamotsu, T. A. Pikuz, N. A. Inogamov, V. V. Zhakhovsky, I. Yu. Skobelev, V. E. Fortov, V. A. Khohlov, V. V. Shepelev, T. Ohba, T. Kaihori, Y. Ochi, T. Imazono, T. Kawachi
- 雑誌名
  
  J. Appl. Phys
  
  巻: 109 号: 1 ページ: 13504-13509
- DOI
  10.1063/1.3525980
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Laser ablation of gold : Experimental and atomic simulation2011
- 著者名/発表者名
  S. V. Starikov, V. Stegaliv, G. Norman, V. Fortov, M. Ishino, M. Tanaka, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, T. Kaihori, Y. Ochi, T. Imazono, T. Kawachi, S. Tamotsu, T. Pikuz, I. Skobelev and A. Faenov
- 雑誌名
  
  JETP let.
  
  巻: 93 号: 11 ページ: 642-647
- DOI
  10.1134/s0021364011110129
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Ablation of insulators under the action of short pulses of x-ray plasma lasers and free-electron lasers2011
- 著者名/発表者名
  N. Inogamov, S. Anisimov, V. Khokhlov, A. Faenov, T. Pikuz, V. Fortov, Yu. Skobelev, Y. Kato, V. Shepelev, Y. Fukuda, M. Tanaka, M. Ishino, M. Kando, T. Kawachi, M. Kishimoto, M. Nagasono, M. Yabashi, T. Ishikawa, N. Ohashi, K. Tano, T. Togashi, Y. Senba
- 雑誌名
  
  J. Opt. Tech
  
  巻: 78 号: 8 ページ: 473-480
- DOI
  10.1364/jot.78.000473
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Metrology of Wide Field of View Nano-Thickness Foils' Homogeneity by Conventional and Phase Contrast Soft X-ray Imaging2010
- 著者名/発表者名
  A.Faenov, T.Pikuz, Y.Fukuda, M.kando, H.Kotaki, T.Homma, K.Kawase, I Skobelev, S.Gasilov, T.Kawachi, H.Daido, T.Tajima, Y.Kato, S.Bulanov
- 雑誌名
  
  Japanese J.Applied Physics
  
  巻: 49
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Source development and novel applications of laser-driven plasma x-ray lasers in JAEA2010
- 著者名/発表者名
  T. Kawachi, M. Kishimoto, M. Kado, Y. Ochi, N. Hasegawa, M. Tanaka, M. Nishikino, M. Ishino, T. Imazono, T. Ohba, T. Kaihori, M. Koike, K. Namikawa, T. Suemoto, K. Terakawa, T. Tomita, H. Nishimura, A. Faenov, and S. Bulanov
- 雑誌名
  
  X-ray lasers
  
  巻: 136 ページ: 12-19
- URL
  http://www.springer.com/physics/atomic,+molecular,+optical+%26+plasma+physics/book/978-94-007-1185-3
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Spallative ablation of dielectrics by X-ray laser2010
- 著者名/発表者名
  N.A.Inogamov, V.V.Zhakhovsky, A.Y.Faenov, V.A.Khokhlov, V.V.Shepelev, I.Y.Skobelev, Y.Kato, M.Tanaka, T.A.Pikuz, M.Kishimoto, M.Ishino, M.Nishikino, Y.Fukuda, S.V.Bulanov, T.Kawachi, Y.V.Petrov, S.I.Anisimov, V.E.Fortov
- 雑誌名
  
  Applied Physics A
  
  巻: 101 ページ: 87-96
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Nanoscale surface modifications and formation of conical structures at aluminum surface induced by single shot exposure of soft x-ray laser pulse2010
- 著者名/発表者名
  M.Ishino, A.Ya.Faenov, M.Tanaka, N.Hasegawa, M.Nishikino, S.Tamotsu, T.A.Pikuz, N.A.Inogamov, V.V.Zhakhovsky, I.Yu.Skobelev, V.E.Fortov, V.A.Khohlov, V.V.Shepelev, T.Ohba, T.Kaihori, Y.Ochi, T.Imazono, T.Kawachi
- 雑誌名
  
  J.Applied Physics
  
  巻: 109 ページ: 13504-13509
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Spallative ablation of dielectrics by X-ray laser2010
- 著者名/発表者名
  N. Inogamov, V. V. Zhakhovsky, A. Y. Faenov, V. A. Khokhlov, I. Y. Skobelev, Y. Kato, M. Tanaka, T. A. Pikuz, M. Ishino, M. Nishikino, Y. Fukuda, S. V. Bulanov, T. Kawachi, Y. V. Petrov, S. I. Anisimov, V. E. Fortov
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. A
  
  巻: 101 ページ: 87-96
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Wide-field-of-view phase contrast imaging of nanostructure with a comparatively large polychromatic soft x-ray plasma source2009
- 著者名/発表者名
  S. Gasilov, A. Faenov, T. Pikuz, Y. Fukuda, M. Kando, T. Kawachi, I. Skobelev, Y. Kato and S. Bulanov
- 雑誌名
  
  Opt. Lett
  
  巻: 34 号: 21 ページ: 3268-3270
- DOI
  10.1364/ol.34.003268
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Low threshold ablation of dielectrics irradiated by pico-second soft x-ray laser pulses2009
- 著者名/発表者名
  A.Faenov, et al.
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters 94
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Source Development and Novel Applications of X-ray Lasers for Probing Materials2009
- 著者名/発表者名
  T. Kawachi, M. Kishimoto, M. Kado, Y. Ochi, N. Hasegawa, M. Tanaka, M. Nishikino, M. Ishino, T. Imazono, T. Ohba, T. Kaihori, M. Koike, K. Namikawa, T. Suemoto, K. Terakawa, T. Tomita, N. Sarukura, H. Nishimura, A. Faenov, S. Bulanov and H. Daido
- 雑誌名
  
  SPIE
  
  巻: 7451 ページ: 745107-745107
- DOI
  10.1117/12.825662
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Low threshold ablation of dielectrics irradiated by pico-second soft x-ray laser pulses2009
- 著者名/発表者名
  A. Y. Faenov, N. Inogamov, V. Zhakhovskii, V. Khokhlov, K. Nishihara, Y. Kato, M. Tanaka, T. Pikuz, M. Nishikino, M. Ishino, T. Nakamura, Y. Fukuda, S. Bulanov and T. Kawachi
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett
  
  巻: 94 号: 23 ページ: 231107-231107
- DOI
  10.1063/1.3152290
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Propagation-based phase contrast enhance-ment of nanostructure images using a debris free femto second laser driven cluster based plasma soft x-ray source and a LiF crystal detector2009
- 著者名/発表者名
  T. Pikuz, A. Faenov, S. Gasilov, I. Skobelev, Y. Fukuda, M. Kando, H. Kotaki, T. Homma, K. Kawase, Y. Hayashi, T. Kawachi, H. Daido, Y. Kato and S. Bulanov
- 雑誌名
  
  Appl. Opt
  
  巻: 48 号: 32 ページ: 6271-6276
- DOI
  10.1364/ao.48.006271
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[雑誌論文] Spallative Ablation of Metals and Dielectrics2009
- 著者名/発表者名
  N. Inogamov, A. Faenov, V. Khokholov, V. Zhakhovskii, Y. Petrov, I. Skobelev, K. Nishihara, Y. Kato, M. Tanaka, T. Pikuz, M. Kishimoto, M. Ishino, M. Nishikino, Y. Fukuda, S. Bulanov, T. Kawachi, S. Anisimov and V. Fortov
- 雑誌名
  
  Contr. plasma phys
  
  巻: 49 号: 7-8 ページ: 455-466
- DOI
  10.1002/ctpp.200910045
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[学会発表] The near field and far field in situ characterization of soft x-ray laser beam by submicrometer-resolution LiF crystal x-ray detector2012
- 著者名/発表者名
  Faenov, 等
- 学会等名
  The 1st Advanced Lasers and Plasma Sources
- 発表場所
  横浜、日本
- 年月日
  2012-04-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[学会発表] Low threshold ablation of dielectrics irradiated by picoseconds soft x-ray laser pulse. Observation and modeling2010
- 著者名/発表者名
  A.Faenov, et al.
- 学会等名
  The 12^<th> international conference on x-ray lasers
- 発表場所
  韓国、光州市(口頭発表)
- 年月日
  2010-06-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[学会発表] Low threshold ablation of dielectrics irradiated by picoseconds soft x-ray laser pulse. Observation and modeling2010
- 著者名/発表者名
  A. Faenov, et al
- 学会等名
  The 12^<th> international conference on x-ray lasers
- 発表場所
  Gwangju, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[学会発表] Low-threshold ablation of dielectrics irradiated by ultrashort soft x-ray laser pulses, Observation and modeling2010
- 著者名/発表者名
  A.Faenov
- 学会等名
  第16回FELとHigh power radiation研究会
- 発表場所
  播磨(SPring-8)
- 年月日
  2010-03-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364
[学会発表] Low-threshold ablation of dielectrics irradiated by ultrashort soft x-ray laser pulses, Observation and modeling2010
- 著者名/発表者名
  A. Faenov, et al
- 学会等名
  第16回FELとHigh power radiation研究会
- 発表場所
  播磨
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360364

1. 河内哲哉 (40343941)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 18件
2. 石野雅彦 (80360410)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 14件
3. 長谷川登 (50360409)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 7件
4. 越智義浩 (20370372)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
5. 錦野将元 (70370450)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 13件

Ｆａｅｎｏｖ Ａｎａｔｏｌｙ Faenov Anatoly

ファエノフ アナトリー FAENOV Anatoly

ファエノフ アナトーヤ ファエノフ アナトーヤ

研究課題

研究成果

共同研究者

EUVレーザーによるアブレーション基礎課程の解明とマスクフリー微細加工への展開

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Surface modifications of metals induced by soft x-ray laser pulse irradiations2012

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Source development and novel applications of laser-driven plasma x-ray lasers in JAEA2011

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Two-temperature warm dense matter produced by ultrashort extreme vacuum ultraviolet free electron laser (EUV-FEL) pulse2011

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Interaction of short laser pulses in wavelength range from infared to x-ray with metals, semiconductors and dielectrics2011

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Spallative Ablation of Metals and Dielectrics2011

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Nanoscale surface modifications and formation of conical structures at aluminum surface induced by single shot exposure of soft x-ray laser pulse2011

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Laser ablation of gold : Experimental and atomic simulation2011

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Ablation of insulators under the action of short pulses of x-ray plasma lasers and free-electron lasers2011

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Metrology of Wide Field of View Nano-Thickness Foils' Homogeneity by Conventional and Phase Contrast Soft X-ray Imaging2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Source development and novel applications of laser-driven plasma x-ray lasers in JAEA2010

著者名/発表者名

雑誌名

URL

データソース

[雑誌論文] Spallative ablation of dielectrics by X-ray laser2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Nanoscale surface modifications and formation of conical structures at aluminum surface induced by single shot exposure of soft x-ray laser pulse2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Spallative ablation of dielectrics by X-ray laser2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Wide-field-of-view phase contrast imaging of nanostructure with a comparatively large polychromatic soft x-ray plasma source2009

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Low threshold ablation of dielectrics irradiated by pico-second soft x-ray laser pulses2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Source Development and Novel Applications of X-ray Lasers for Probing Materials2009

ＦａｅｎｏｖＡｎａｔｏｌｙ Faenov Anatoly

ファエノフアナトリー FAENOV Anatoly

ファエノフアナトーヤファエノフアナトーヤ