竹内光明 TAKEUCHI Mitsuaki

研究者番号	10552656
その他のID
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2016年度 – 2017年度: 京都大学, 工学研究科, 助教 2012年度 – 2015年度: 京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 2014年度: 京都大学, 大学院工学研究科, 助教 2012年度: 京都大学, 大学院・工学研究科, 助教 2010年度 – 2012年度: 京都大学, 工学研究科, 助教
審査区分/研究分野	研究代表者電子デバイス・電子機器研究代表者以外電子デバイス・電子機器 / 応用物性・結晶工学
キーワード	研究代表者イオンビーム / イオン源 / イオン液体 / イオン注入 / 微細プロセス技術研究代表者以外イオンビーム / クラスター / プロセッシング / 薄膜 / 表面加工 … もっと見る / ビーム応用 / アルコール / 遷移金属 / スパッタリング / マグネトロン / スピントロニクス / 表面反応 / サイズ分離 / ハイドレート / 二酸化炭素 / メタン / 構造解析 / サイズ分析 / クラスターサイズ / 水和クラスター / 水クラスター / 半導体加工 / 照射損傷 / エタノール / 酸化膜形成 / 半導体基板加工 / アセトン / シリコン / 液体クラスター / 微細プロセス技術隠す

液体クラスターイオンビームを用いたスピントロニクス材料の表面改質・加工
- 研究代表者
  
  龍頭啓充
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2017
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  京都大学
水和クラスターのサイズ分離・構造解析と固体表面との相互作用の研究
- 研究代表者
  
  高岡義寛
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  応用物性・結晶工学
- 研究機関
  京都大学
液体クラスターイオンビームによる半導体加工法実用化のためのビーム強度増強
- 研究代表者
  
  龍頭啓充
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  京都大学
有機液体を用いた多原子分子イオン源の開発と極浅イオン注入への応用研究代表者
- 研究代表者
  
  竹内光明
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  京都大学

すべて 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 その他

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Characterization by transmission electron microscopy and small-angle X-ray scattering of Au clusters formed in ionic liquids2016
- 著者名/発表者名
  G. H. Takaoka, Y. Matsumoto, M. Takeuchi, H. Ryuto
- 雑誌名
  
  Surface and interface analysis
  
  巻: 48 号: 11 ページ: 1148-1152
- DOI
  10.1002/sia.6132
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[雑誌論文] Spectroscopic evidences of high temperatures and pressures during the cluster ion beam interaction with solid surfaces2016
- 著者名/発表者名
  F. Musumeci, H. Ryuto, A. Sakata, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
- 雑誌名
  
  Journal of Luminescence
  
  巻: 172 ページ: 224-230
- DOI
  10.1016/j.jlumin.2015.12.018
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[雑誌論文] Crystal Structure and Accelerated Ion-Irradiation Effect of Water Clusters2016
- 著者名/発表者名
  G. H. Takaoka,H. Ryuto, M. Takeuchi, F. Musumeci
- 雑誌名
  
  e-Journal of Surface Science and Nanotechnology
  
  巻: 14 ページ: 144-149
- NAID
  130005151356
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[雑誌論文] Sputtering of silicon and glass substrates with polyatomic molecular ion beams generated from ionic liquids2016
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, Y. Hoshide, H. Ryuto, G. H. Takaoka
- 雑誌名
  
  J. Vac. Sci. Technol. A
  
  巻: 34 号: 2
- DOI
  10.1116/1.4942996
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[雑誌論文] Growth behavior of gold nanoparticles synthesized in unsaturated fatty acids by vacuum evaporation methods2016
- 著者名/発表者名
  A. Fujita, Y. Matsumoto, M. Takeuchi, H. Ryuto, G. H. Takaoka
- 雑誌名
  
  Physical Chemistry Chemical Physics
  
  巻: 18 号: 7 ページ: 5464-5470
- DOI
  10.1039/c5cp07323e
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[雑誌論文] Ion-Beam Deposition/Etching Using EMIM-N(CN)<sub>2</sub> Ionic Liquid Ion Source2015
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, Y. Hoshide, T. Hamaguchi, H. Ryuto, G. H. Takaoka
- 雑誌名
  
  Transactions of the Materials Research Society of Japan
  
  巻: 40 号: 2 ページ: 87-90
- DOI
  10.14723/tmrsj.40.87
- NAID
  130005089519
- ISSN
  1382-3469, 2188-1650
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[雑誌論文] Irradiation Effect of Gas-Hydrate Cluster Ions on Solid Surfaces2014
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, H. Ryuto, M. Takeuchi
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods
  
  巻: B326 ページ: 190-194
- DOI
  10.1016/j.nimb.2013.09.038
- NAID
  120005435065
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Interactions of Fragment Ions of Tetradecane with Solid Surfaces2014
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, M. Takeuchi, H. Ryuto et al.
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods
  
  巻: B341 ページ: 48-52
- DOI
  10.1016/j.nimb.2014.06.029
- NAID
  120005525678
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Interaction between Water Cluster Ions and Mica Surface2014
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, M. Takeuchi, G.H. Takaoka et al.
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology A
  
  巻: 32 号: 2
- DOI
  10.1116/1.4849323
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Mesenchymal Stem Cell Adhesion on Metal and Polymeric Surfaces Modified by Oxygen Cluster Ion Irradiation2014
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, M. Takeuchi, H. Ryuto et al.
- 雑誌名
  
  Transactions of the Materials Research Society of Japan
  
  巻: 39 ページ: 459-463
- NAID
  130005004381
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Low Fragment Polyatomic Molecular Ion Source by Using Permanent Magnets2014
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, H. Ryuto, G.H. Takaoka et al.
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 85 号: 2
- DOI
  10.1063/1.4826328
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Surface Modification Using Ionic Liquid Ion Beams2014
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, M. Takeuchi, H. Ryuto et al.
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods
  
  巻: B341 ページ: 32-36
- DOI
  10.1016/j.nimb.2014.06.030
- NAID
  120005525679
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Characteristics of Acetone Cluster Ion Beam for Surface Processing and Modification2014
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, M. Takeuchi, G.H. Takaoka et al.
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 85 号: 2
- DOI
  10.1063/1.4824754
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Equipment to Detect Luminuscence Induced by Cluster Ion Collision2014
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, M. Takeuchi, G.H. Takaoka et al.
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 85 号: 2
- DOI
  10.1063/1.4825388
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Irradiation of Ionic Liquid Ion Beams on Silicon and Glass Substrates2013
- 著者名/発表者名
  Mitsuaki Takeuchi (代表者), Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
  
  巻: in press
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] Development of Ionic Liquid Ion Source with Porous Emitter for Surface Modification2013
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, H. Ryuto, G.H. Takaoka et al.
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
  
  巻: 315 ページ: 345-349
- DOI
  10.1016/j.nimb.2013.05.065
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Deposition of Ionic Liquid Ion Beams on Solid Substrates2013
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, H. Ryuto, G.H. Takaoka et al.
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
  
  巻: 315 ページ: 234-239
- DOI
  10.1016/j.nimb.2013.04.074
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Irradiation effects of ethanol cluster ion beam on mica surface2013
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, Y. Ohmura, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
- 雑誌名
  
  Trans. MRS-J
  
  巻: 38 ページ: 93-96
- NAID
  130005004202
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[雑誌論文] Development of high-current ionic liquid ion source toward surface modification2013
- 著者名/発表者名
  Mitsuaki Takeuchi, Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto and Gikan H Takaoka
- 雑誌名
  
  MRS Online Proceedings Library
  
  巻: 1575
- DOI
  10.1557/opl.2013.583
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] Development of High-current Ionic Liquid Ion Source toward Surface Modification2013
- 著者名/発表者名
  Mitsuaki Takeuchi (代表者), Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
- 雑誌名
  
  MRS Online Proceedings Library
  
  巻: in press
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] Acetone Cluster Ion Beam Irradiation on Solid Surfaces2013
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, M. Takeuchi, G.H. Takaoka et al.
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
  
  巻: 315 ページ: 231-233
- DOI
  10.1016/j.nimb.2013.04.027
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Surface Reaction between Water Cluster Ion and Silicon Substrate2013
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, M. Takeuchi, G.H. Takaoka et al.
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
  
  巻: 315 ページ: 227-230
- DOI
  10.1016/j.nimb.2013.05.083
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Irradiation effects of water cluster ion beam on PMMA surface2013
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, G. Ichihashi, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
- 雑誌名
  
  Vacuum
  
  巻: 87 ページ: 119-122
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[雑誌論文] Irradiation of Ionic Liquid Ion Beams on Silicon and Glass Substrates2013
- 著者名/発表者名
  Mitsuaki Takeuchi, Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
- 雑誌名
  
  Nucl. Instrum. Meth. Phys. B
  
  巻: (in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] Development of Ionic Liquid Ion Source with Porous Emitter for Surface Modification2013
- 著者名/発表者名
  Mitsuaki Takeuchi, Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
- 雑誌名
  
  Nucl. Instrum. Meth. Phys. B
  
  巻: (in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] Surface processing using water cluster ion beams2013
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, H. Ryuto, M. Takeuchi, et al.
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
  
  巻: 307 ページ: 33-36
- DOI
  10.1016/j.nimb.2012.11.070
- NAID
  120005343925
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Irradiation effects of water cluster ion beam on PMMA surface2013
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, M. Takeuchi, G.H. Takaok,, et al.
- 雑誌名
  
  Vacuum
  
  巻: 87 ページ: 119-122
- DOI
  10.1016/j.vacuum.2012.02.051
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Production and irradiation of ionic liquid cluster ions2013
- 著者名/発表者名
  Gikan H Takaoka, Mitsuaki Takeuchi,Hiromichi Ryuto
- 雑誌名
  
  Nucl. Instrum. Meth. Phys. B
  
  巻: (in press) ページ: 257-259
- DOI
  10.1016/j.nimb.2012.11.072
- NAID
  120005343926
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252, KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] Surface irradiation and materials processing using polyatomic cluster ion beams2012
- 著者名/発表者名
  G. H. Takaoka, H. Ryuto, M. Takeuchi
- 雑誌名
  
  J. Mater. Res
  
  巻: 27 ページ: 806-821
- NAID
  120003988356
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[雑誌論文] イオン液体BMIM-PF6イオンビーム照射によるガラス基板の表面改質2012
- 著者名/発表者名
  竹内光明, 濱口拓也, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 雑誌名
  
  信学技報
  
  巻: vol.112,no.337 ページ: 25-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] Surface irradiation and materials processing using polyatomic cluster ion beams2012
- 著者名/発表者名
  G.H.Takaoka
- 雑誌名
  
  J.Mater.Res.
  
  巻: 27 号: 5 ページ: 806-821
- DOI
  10.1557/jmr.2011.426
- NAID
  120003988356
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329, KAKENHI-PROJECT-22760252, KAKENHI-PROJECT-24360010
[雑誌論文] APPLICATION OF LIQUID CLUSTER ION BEAMS IN SURFACE PROCESSING2011
- 著者名/発表者名
  H.Ryuto, M.Takeuchi, G.Takaoka
- 雑誌名
  
  Proceedings of IPAC'10
  
  ページ: 133-135
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] Fabrication of Impregnated-Electrode-Type Polyatomic Ion Source with Ionic Liquid2011
- 著者名/発表者名
  M.Takeuchi, H.Ryuto, G.H.Takaoka
- 雑誌名
  
  AIP Conf.Proc
  
  巻: 1,321 ページ: 456-459
- DOI
  10.1063/1.3548449
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] Surface Processing and Modification of Polymers by Water Cluster Ion Beam2011
- 著者名/発表者名
  H.Ryuto, M.Takeuchi, G.Ichihashi, P.Sommani, G.H.Takaoka
- 雑誌名
  
  AIP Conf.Proc
  
  巻: 1,321 ページ: 310-313
- DOI
  10.1063/1.3548389
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] Suppression of divergence of low energy ion beams by space charge neutralization with low energy electrons emitted from field emitter2011
- 著者名/発表者名
  J.Ishikawa, Y.Gotoh, M.Takeuchi
- 雑誌名
  
  AIP Conf.Proc
  
  巻: 1,321 ページ: 496-500
- DOI
  10.1063/1.3548461
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] Micro-pattering of Si (100) surfaces by ethanol cluster ion beans2011
- 著者名/発表者名
  G.H.Takaoka
- 雑誌名
  
  Surface & Coatings Technology
  
  巻: 206 号: 5 ページ: 869-873
- DOI
  10.1016/j.surfcoat.2011.04.051
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329, KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] Chemical erosion and sputtering of solid surfaces with liquid cluster ions2011
- 著者名/発表者名
  G.H.Takaoka
- 雑誌名
  
  Surface & Coatings Technology
  
  巻: 206 号: 5 ページ: 845-848
- DOI
  10.1016/j.surfcoat.2011.03.108
- NAID
  120003573884
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329, KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] 多原子分子イオンビームによるシリコン表面照射効果2010
- 著者名/発表者名
  竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 雑誌名
  
  信学技報
  
  巻: 110 ページ: 69-72
- NAID
  110008676031
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] Sources of polyatomic ions of organic liquids2010
- 著者名/発表者名
  G.H.Takaoka, M.Takeuchi, H.Ryuto
- 雑誌名
  
  The Review of scientific instruments
  
  巻: 81
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] Carbon implantation by polyatomic ion source of organic liquids2010
- 著者名/発表者名
  M.Takeuchi
- 雑誌名
  
  Proceedings of IPAC'10
  
  ページ: 136-138
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[雑誌論文] Fabrication of impregnated-electrode-type polyatomic ion source with ion is liquid2010
- 著者名/発表者名
  M.Takeuchi
- 雑誌名
  
  AIP CP1321, Ion Implantation Technology 2010
  
  ページ: 456-459
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[雑誌論文] Metal-free and gasless space charge compensation of low energy ion beam by using surface-carbonized silicon field emitter array2010
- 著者名/発表者名
  M.Takeuchi, Y.Gotoh, H.Tsuji, J.Ishikawa, S.Sakai
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science & Technology B
  
  巻: 28
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] Characteristics of liquid cluster ion beam for surface treatment2010
- 著者名/発表者名
  H.Ryuto, R.Ozaki, Y.Kubo, M.Takeuchi, G.H.Takaoka
- 雑誌名
  
  The Review of scientific instruments
  
  巻: 81
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[雑誌論文] 多原子分子イオンビームによるシリコン表面照射効果2010
- 著者名/発表者名
  竹内光明
- 雑誌名
  
  信学技報IEICE Technical Report
  
  巻: SDM2010-197 ページ: 69-72
- NAID
  110008676031
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[学会発表] 数十keV電子線照射によるイオン液体中でのCu薄膜の形成2017
- 著者名/発表者名
  東浦佑真、竹内光明、龍頭啓充
- 学会等名
  応用物理学会関西支部平成29年度第2回講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] 液体クラスターイオンビームの遷移金属薄膜への照射効果2017
- 著者名/発表者名
  清水友規、清水大貴、竹内光明、龍頭啓充
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜（神奈川県・横浜市）
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] Sputtering and photon emission of metal surface induced by cluster ion collision2017
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, Y. Shimizu, M. Yamaoka, D. Shimizu, D. Yamamoto, M. Takeuchi, F. Musumeci
- 学会等名
  International Union of Material Research Societies-The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] 遷移金属薄膜に対する液体クラスターイオンビームの照射効果2017
- 著者名/発表者名
  清水大貴、山本大介、竹内光明、龍頭啓充
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] Etching, oxidation, and photon emission induced by cluster ion collision2017
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, M. Takeuchi
- 学会等名
  International Symposium on Photonics and Electronics Science and Engineering 2017
- 発表場所
  京都大学（京都府・京都市）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] 竹炭を用いたイオン液体イオン源の長時間動作特性2017
- 著者名/発表者名
  東浦佑真、西和哉、竹内光明、龍頭啓充
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜（神奈川県・横浜市）
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] CuCl含有イオン液体EMIM -DCAへの電子線照射によるCu薄膜の形成2017
- 著者名/発表者名
  東浦佑真、竹内光明、龍頭啓充
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] クラスターイオンビーム誘起発光を用いた表面分析法の開発2017
- 著者名/発表者名
  山岡昌貴、龍頭啓充、Francesco Musumeci、竹内光明
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜（神奈川県・横浜市）
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] Long-life emitter for ionic liquid ion source using open-pore structure of bamboo chacoal2017
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, Y. Higashiura, K. Nishi, H. Ryuto
- 学会等名
  International Union of Material Research Societies-The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] 液体クラスターイオンビームによる遷移金属薄膜の表面加工2017
- 著者名/発表者名
  清水大貴、山本大介、竹内光明、龍頭啓充
- 学会等名
  応用物理学会関西支部平成29年度第2回講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] 竹炭エミッタを用いたイオン液体イオン源の開発2016
- 著者名/発表者名
  竹内光明、西和哉、龍頭啓充
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟県・新潟市）
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] イオン液体EMIM-DCAイオンビームの表面処理応用に関する検討2016
- 著者名/発表者名
  竹内光明, 星出優輝, 竹内裕人, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] イオン液体EMIM-BF4から生成したBF4イオンによる二次イオン収率評価2016
- 著者名/発表者名
  西和哉、竹内光明、龍頭啓充
- 学会等名
  応用物理学会関西支部平成28年度第1回講演会
- 発表場所
  産業技術総合研究所（大阪府・池田市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] イオン液体EMIM-BF4 イオンビームの固体表面照射効果2016
- 著者名/発表者名
  西和哉, 上田弘貴, 藤井志貴, 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] Sputtering, oxidation, and photon emission induced by liquid cluster ion collision2016
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, M. Takeuchi, F. Musumeci, G. H. Takaoka
- 学会等名
  Ninth International Meeting on Recent Developments in the Study of Radiation Effects in Matter (REM9)
- 発表場所
  京都市国際交流会館（京都府・京都市）
- 年月日
  2016-10-26
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] Setup for measuring cluster ion beam induced luminescence2016
- 著者名/発表者名
  山岡昌貴、松井亮祐、Francesco Musumeci、竹内光明、龍頭啓充
- 学会等名
  第17回「イオンビームによる表面・界面解析」特別研究会
- 発表場所
  京都府立大学（京都府・京都市）
- 年月日
  2016-12-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] イオン液体EMIM-DCAイオンビーム蒸着によるCN膜の形成2016
- 著者名/発表者名
  竹内光明、西和哉、龍頭啓充
- 学会等名
  応用物理学会関西支部平成28年度第1回講演会
- 発表場所
  産業技術総合研究所（大阪府・池田市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] 固体表面へのクラスターイオンビーム照射による発光スペクトル2016
- 著者名/発表者名
  織田啓佑、龍頭啓充、Francesco Musumeci、竹内光明、高岡義寛
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] 固体試料のクラスターイオンビーム誘起発光スペクトル2016
- 著者名/発表者名
  山岡昌貴、織田啓佑、龍頭啓充、Francesco Musumeci、坂田彬、竹内光明、高岡義寛
- 学会等名
  応用物理学会関西支部平成28年度第1回講演会
- 発表場所
  産業技術総合研究所（大阪府・池田市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] Sputtering of silicon and glass substrates with polyatomic molecular ion beams generated from ionic liquids2015
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, Y. Hoshide, H. Ryuto, G. H Takaoka
- 学会等名
  Thirteenth International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, ISSP 2015
- 発表場所
  京都
- 年月日
  2015-07-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] Oxygen cluster ion beam assisted deposition of aluminum oxide film2015
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, T. Yakushiji, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
- 学会等名
  Thirteenth International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, ISSP 2015
- 発表場所
  京都
- 年月日
  2015-07-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] Interaction of polyatomic carbon ions with Si surface2015
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, K. Hayashi, H. Ryuto, G. H Takaoka, T. Nagayama, K. Matsuda
- 学会等名
  Thirteenth International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, ISSP 2015
- 発表場所
  京都
- 年月日
  2015-07-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] イオン液体イオンビームにより形成したC-N薄膜の基板温度依存性2015
- 著者名/発表者名
  星出優輝、竹内光明、龍頭啓充、高岡義寛
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] アルゴンクラスターイオンビーム照射による発光スペクトル2015
- 著者名/発表者名
  龍頭啓充、Francesco Musumeci、坂田彬、竹内光明、高岡義寛
- 学会等名
  ナノ学会第13回大会
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2015-05-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K06015
[学会発表] Surface Modification by Using Ionic Liquid Ion Beams2013
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, M. Takeuchi, H. Ryuto et al.
- 学会等名
  E-MRS 2013 Spring Meeting
- 発表場所
  Strasbourg, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Surface Smoothing of Glass Substrate by Irradiation of Ionic Liquid Ion Beams2013
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, H. Ryuto, G.H. Takaoka et al.
- 学会等名
  2013 MRS Spring Meeting
- 発表場所
  San Francisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Interactions of Fragment Ions of Tetradecane with Solid Surfaces2013
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, M. Takeuchi, H. Ryuto et al.
- 学会等名
  E-MRS 2013 Spring Meeting
- 発表場所
  Strasbourg, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Low Fragment Polyatomic Molecular Ion Source by Using Permanent Magnets2013
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, H. Ryuto, G.H. Takaoka et al.
- 学会等名
  15th International Conference on Ion Sources (ICIS'13)
- 発表場所
  Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Irradiation Effect of Gas-Hydrate Cluster Ions on Solid Surfaces2013
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, H. Ryuto, M. Takeuchi et al.
- 学会等名
  The 17th International Conference on Radiation Effects in Insulators (REI-17)
- 発表場所
  Helsinki, Finland
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Effects of Ionic Liquid EMIM-N(CN)2 Ion Beam Irradiation2013
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, H. Ryuto, G.H. Takaoka et al.
- 学会等名
  23rd Annual Meeting of MRS-Japan
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Development of High-current Ionic Liquid Ion Source toward Surface Modification2013
- 著者名/発表者名
  Mitsuaki Takeuchi (代表者), Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
- 学会等名
  2013 MRS Spring Meeting & Exhibit April 1-5, 2013 San Francisco, California, USA
- 発表場所
  San Francisco, California, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Characteristics of Acetone Cluster Ion Beam for Surface Processing and Modification2013
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, M. Takeuchi, G.H. Takaoka et al.
- 学会等名
  15th International Conference on Ion Sources (ICIS'13)
- 発表場所
  Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Equipment to Detect Luminuscence Induced by Cluster Ion Collision2013
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, M. Takeuchi, G.H. Takaoka et al.
- 学会等名
  15th International Conference on Ion Sources (ICIS'13)
- 発表場所
  Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] イオン液体イオンビーム照射によるガラス基板の表面改質(II）2013
- 著者名/発表者名
  濱口拓也，竹内光明 (代表者)，龍頭啓充，高岡義寛
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] イオン液体イオンビーム照射によるガラス基板の表面改質(II)2013
- 著者名/発表者名
  濱口拓也, 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Surface Smoothing of Glass Substrate by Irradiation of Ionic Liquid Ion Beams2013
- 著者名/発表者名
  Mitsuaki Takeuchi, Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
- 学会等名
  2013 MRS Spring Meeting & Exhibit
- 発表場所
  San Francisco, California, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Surface Smoothing of Glass Substrate by Irradiation of Ionic Liquid Ion Beams2013
- 著者名/発表者名
  Mitsuaki Takeuchi (代表者), Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
- 学会等名
  2013 MRS Spring Meeting & Exhibit April 1-5, 2013 San Francisco, California, USA
- 発表場所
  San Francisco, California, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Polyatomic Ion Beam of Ionic Liquids with Different Conductivity2013
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, H. Ryuto, G.H. Takaoka et al.
- 学会等名
  23rd Annual Meeting of MRS-Japan
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Development of High-Current Ionic Liquid Ion Source toward Surface Modification2013
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, H. Ryuto, G.H. Takaoka et al.
- 学会等名
  2013 MRS Spring Meeting
- 発表場所
  San Francisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Development of High-current Ionic Liquid Ion Source toward Surface Modification2013
- 著者名/発表者名
  Mitsuaki Takeuchi, Takuya Hamaguchi, Hiromichi Ryuto, Gikan H Takaoka
- 学会等名
  2013 MRS Spring Meeting & Exhibit
- 発表場所
  San Francisco, California, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] イオン液体イオンビームの質量分析2012
- 著者名/発表者名
  濱口拓也, 植田亨, 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2012-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Surface Processing Using Water Cluster Ion Beams2012
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, H. Ryuto, M. Takeuchi, et al.
- 学会等名
  The 18th Int. Con￡on Ion Beam Modifi. Mater. (IBMM2012)
- 発表場所
  青島(中国)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Deposition of Ionic Liquid Ion Beams on Solid Surfaces2012
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, H. Ryuto, G. H. Takaoka, et al.
- 学会等名
  25th Int. Conf.on Atomic Colli. Solids (ICACS-25)
- 発表場所
  京都(日本)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Deposition of Ionic Liquid Ion Beams on Solid Substrate2012
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
- 学会等名
  25th International Conference on Atomic Collisions in Solids
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Irradiation Effect of Ionic Liquid BMI-PF_6 Ion Beam on Glass Surface2012
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, H. Ryuto, G.H. Takaoka, et al.
- 学会等名
  IUMRS-Int. Conf. on Electro. Mat. (IUMRS-ICEM2012)
- 発表場所
  横浜(日本)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] イオン液体イオンビームの固体表面照射効果2012
- 著者名/発表者名
  竹内光明, 濱口拓也, 植田亨, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2012-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] 水クラスターイオンとシリコン基板の表面反応2012
- 著者名/発表者名
  市橋岳, 西村拓朗, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2012-03-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Irradiation Effects of Ethanol Clustaf Ion Beam on Mica Surface2012
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, M. Takeuchi, G.H. Takaoka, et al.
- 学会等名
  IUMRS-Int. Conf. on Electro. Mat. (IUMRS-ICEM2012)
- 発表場所
  横浜(日本)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Acetone Cluster Ion Beam Irradiation on Solid Surfaces2012
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, M. Takeuchi, G.H. Takaoka, et al.
- 学会等名
  25^<th> Int. Conf. on Atomic Colli. Solids (ICACS-25)
- 発表場所
  京都(日本)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] 固体表面改質へ向けたイオン液体 EMI-BF4 イオンビームの特性評価2012
- 著者名/発表者名
  竹内光明 (代表者)，濱口拓也，龍頭啓充，高岡義寛
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Surface Reaction between Water Cluster Ion and Silicon Substrate2012
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, M. Takeuchi, G.H. Takaoka, et al.
- 学会等名
  25^<th> Int. Conf. on Atomic Colli. Solids (ICACS-25)
- 発表場所
  京都(日本)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Development of Ionic Liquid Ion Source with Porous Emitter for Surface Modification2012
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
- 学会等名
  25th International Conference on Atomic Collisions in Solids
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Acetone cluster ion beam irradiation on solid surfaces2012
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, Y. Kakumoto, S. Itozaki, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
- 学会等名
  25th International Conference on Atomic Collisions in Solids
- 発表場所
  Kyoto
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[学会発表] Iradiation Effect of Ionic Liquid BMI-PF6 Ion Beam on Glass Surface2012
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
- 学会等名
  IUMRS-ICEM2012
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Irradiation effects of ethanol cluster ion beam on mica surface2012
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, Y. Ohmura, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
- 学会等名
  International Union of Material Research Societies-International Conference on Electronic Materials 2012
- 発表場所
  Yokohama
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[学会発表] 多原子分子クラスターイオンビームの固体表面に対する照射効果2012
- 著者名/発表者名
  大村祐貴, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2012-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Ion Beam Properties of Ionic Liquid Ion Source with Porous Emitter for BMI-PF6 and EMI-BF42012
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi (代表者), T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
- 学会等名
  IUMRS-ICEM2012, september 23-28, Yokohama, Japan
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Ion Beam Properties of Ionic Liquid Ion Source with Porous Emitter for BMI-PF6 and EMI-BF42012
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
- 学会等名
  IUMRS-ICEM2012
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] イオン液体イオンビームの固体表面照射効果2012
- 著者名/発表者名
  竹内光明, 濱口拓也, 植田亨, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Development of Ionic Liquid Ion Source with Porous Emitter for Surface Modification2012
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, H. Ryuto, G. H. Takaoka, et al.
- 学会等名
  25th Int. Conf on Atomic Com. Solids (ICACS-25)
- 発表場所
  京都(日本)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Surface reaction between water cluster ion and silicon surface2012
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, G. Ichihashi, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
- 学会等名
  25th International Conference on Atomic Collisions in Solids
- 発表場所
  Kyoto
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[学会発表] Development of Ionic Liquid Ion Source with Porous Emitter for Surface Modification2012
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi (代表者), T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
- 学会等名
  25th International Conference on Atomic Collisions in Solids October 21-25, 2012 Kyoto, Japan
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] イオン液体イオンビーム照射によるガラス基板の表面改質2012
- 著者名/発表者名
  濱口拓也, 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Production and Irradiation of Ionic Liquid Cluster Ions2012
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, M. Takeuchi, H. Ryuto, et al.
- 学会等名
  The 18^<th> Int. Conf. on Ion Beam Modifi. Mater. (IBMM2012)
- 発表場所
  青島(中国)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] 超音速自由噴流法で生成したアセトンクラスターイオンビームのビーム特性2012
- 著者名/発表者名
  龍頭啓充、糸崎俊介、角元友樹、竹内光明、高岡義寛
- 学会等名
  ナノ学会第10回大会
- 発表場所
  大阪
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[学会発表] Deposition of Ionic Liquid Ion Beams on Solid Substrate2012
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi (代表者), T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
- 学会等名
  25th International Conference on Atomic Collisions in Solids October 21-25, 2012 Kyoto, Japan
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Ion Beam Properties of Ionic Liquid Ion Source with Porous Emitter for BMI-PFe and EMI-BF42012
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, H. Ryuto, G.H. Takaoka, et al.
- 学会等名
  IUMRS-Int. Conf. on Electro. Mat. (IUMRS-ICEM2012)
- 発表場所
  横浜(日本)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Irradiation Effect of Ionic Liquid BMI-PF6 Ion Beam on Glass Surface2012
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi (代表者), T. Hamaguchi, H. Ryuto, and G. H. Takaoka
- 学会等名
  IUMRS-ICEM2012, september 23-28, Yokohama, Japan
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Irradiation effects of water cluster ion beam on PMMA surface2011
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, G. Ichihashi, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
- 学会等名
  The Eleventh International Symposium on Sputtering & Plasma Processes
- 発表場所
  Kyoto
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[学会発表] 酸素クラスターイオンビーム援用蒸着法により作製したSiOx薄膜の表面分析2011
- 著者名/発表者名
  福島大貴, Xin Jin, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
- 学会等名
  第58応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2011-03-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] シリコン基板への炭素系多原子分子イオンビーム蒸着2011
- 著者名/発表者名
  竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  第58応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2011-03-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] シリコン表面へのエタノールクラスターイオン照射効果の基板温度依存性2011
- 著者名/発表者名
  龍頭啓充、向井寛、大村祐貴、竹内光明、高岡義寛
- 学会等名
  ナノ学会第9回大会
- 発表場所
  札幌
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[学会発表] 水クラスターイオンビーム照射によるアクリル基板のスパッタリング2011
- 著者名/発表者名
  市橋岳, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
- 学会等名
  第58応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2011-03-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] 含浸型イオン液体イオン源のイオンビーム特性2011
- 著者名/発表者名
  植田亨, 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  第58応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2011-03-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] H. Ryuto, H. Mukai, M. Takeuchi, G. H. Takaoka2011
- 著者名/発表者名
  H. Ryuto, H. Mukai, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
- 学会等名
  The Eleventh International Symposium on Sputtering & Plasma Processes
- 発表場所
  Kyoto
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[学会発表] 多原子分子クラスターイオン照射痕のAFM観察II2011
- 著者名/発表者名
  大村祐貴, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形
- 年月日
  2011-09-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] ポリイミド基板への酸素クラスターイオンビーム照射効果,第58応用物理学関係連合講演会講演予稿集2011
- 著者名/発表者名
  古谷健悟, 龍頭啓充, 竹内光明, ピヤヌットソムマニ, 辻博司, 高岡義寛
- 学会等名
  第58応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2011-03-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] テトラデカンを用いた多原子分子イオンビームの生成2011
- 著者名/発表者名
  竹内光明, 今中浩輔, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形
- 年月日
  2011-09-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] 固体表面改質へ向けたイオン液体 EMI-BF4 イオンビームの特性評価2011
- 著者名/発表者名
  竹内光明, 濱口拓也, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] 多原子分子クラスターイオンのシリコン基板表面に対する照射効果の基板温度依存性2011
- 著者名/発表者名
  向井寛, 大村祐貴, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
- 学会等名
  第58応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2011-03-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] 水クラスターイオンビーム照射によるPMMA基板のマイクロパターニング2011
- 著者名/発表者名
  市橋岳, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形
- 年月日
  2011-09-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Irradiation effects of water cluster ion beam on PMMA surface2011
- 著者名/発表者名
  H.Ryuto, G.Ichihashi, M.Takeuchi, G.H.Takaoka
- 学会等名
  The 11th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes
- 発表場所
  Kyoto
- 年月日
  2011-05-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] エタノールクラスターを用いたシリコン基板表面加工2011
- 著者名/発表者名
  龍頭啓充、向井寛、大村祐貴、竹内光明、高岡義寛
- 学会等名
  ナノ学会第9回大会
- 発表場所
  札幌
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[学会発表] 酸素イオンビーム照射によるポリイミド基板の表面改質2011
- 著者名/発表者名
  古谷健悟, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形
- 年月日
  2011-09-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Carbon thin film synthesized by polyatomic ion beam deposition2011
- 著者名/発表者名
  M.Takeuchi, H.Ryuto, G.H.Takaoka
- 学会等名
  The 11th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes
- 発表場所
  Kyoto
- 年月日
  2011-05-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] 含浸型イオン液体イオン源のイオンビーム特性(II)2011
- 著者名/発表者名
  植田亨, 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形
- 年月日
  2011-09-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] アセトンクラスターの生成2011
- 著者名/発表者名
  糸崎俊介, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
- 学会等名
  第58応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2011-03-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Temperature dependent irradiation effects of polyatomic cluster ion beam on silicon surfac2011
- 著者名/発表者名
  H.Ryuto, H.Mukai, M.Takeuchi, G.H.Takaoka
- 学会等名
  The 11th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes
- 発表場所
  Kyoto
- 年月日
  2011-05-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] シリコン表面へのエタノールクラスターイオン照射効果の基板温度依存性2011
- 著者名/発表者名
  龍頭啓充, 向井寛, 大村祐貴, 竹内光明, 高岡義寛
- 学会等名
  第9回ナノ学会
- 発表場所
  札幌
- 年月日
  2011-06-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] エタノールクラスターを用いたシリコン基板表面加2011
- 著者名/発表者名
  龍頭啓充, 向井寛, 大村祐貴, 竹内光明, 高岡義寛
- 学会等名
  第9回ナノ学会
- 発表場所
  札幌
- 年月日
  2011-06-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] 水クラスターイオンビームのアクリル基板への照射効果2010
- 著者名/発表者名
  市橋岳, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学
- 年月日
  2010-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Carbon Implantation by Polyatomic Ion Source of Organic Liquids2010
- 著者名/発表者名
  M.Takeuchi
- 学会等名
  1st International Particle Accelerator Conference
- 発表場所
  京都国際会館(京都市)
- 年月日
  2010-05-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[学会発表] エタノールクラスターイオンビームのガラス表面への照射効果2010
- 著者名/発表者名
  糸崎俊介, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学
- 年月日
  2010-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] 多原子分子イオンビームによるシリコン基板への炭素注入2010
- 著者名/発表者名
  竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学
- 年月日
  2010-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Fabrication of Impregnated-Electrode-Type Polyatomic Ion Source with Ionic Liquid2010
- 著者名/発表者名
  M.Takeuchi, H.Ryuto, G.H.Takaoka
- 学会等名
  IIT2010
- 発表場所
  Kyoto
- 年月日
  2010-06-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] 多原子分子イオンビームによるシリコン表面照射効果2010
- 著者名/発表者名
  竹内光明
- 学会等名
  電子情報通信学会12月度シリコン材料・デバイス(SDM)研究会
- 発表場所
  京都大学(京都市)
- 年月日
  2010-12-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[学会発表] 多原子分子イオンビームによるシリコン表面照射効果2010
- 著者名/発表者名
  竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会
- 発表場所
  京都大学
- 年月日
  2010-12-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Polyatomic Ion Source with Ionic Liquid for Shallow Implantation2010
- 著者名/発表者名
  M.Takeuchi
- 学会等名
  18th International Conference on Ion Implantation Technology
- 発表場所
  京都大学(京都市)
- 年月日
  2010-06-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560329
[学会発表] Surface Processing and Modification of Polymers by Water Cluster Ion Beam2010
- 著者名/発表者名
  H.Ryuto, M.Takeuchi, G.H.Takaoka
- 学会等名
  IIT2010
- 発表場所
  Kyoto
- 年月日
  2010-06-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] CARBON IMPLANTATION BY POLYATOMIC ION SOURCE OF ORGANIC LIQUIDS2010
- 著者名/発表者名
  M.Takeuchi, H.Ryuto, G.H.Takaoka
- 学会等名
  IPAC'10
- 発表場所
  Kyoto
- 年月日
  2010-05-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] APPLICATION OF LIQUID CLUSTER ION BEAMS IN SURFACE PROCESSING2010
- 著者名/発表者名
  H.Ryuto, M.Takeuchi, G.H.Takaoka
- 学会等名
  IPAC'10
- 発表場所
  Kyoto
- 年月日
  2010-05-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] 含浸型イオン液体イオン源の試作2010
- 著者名/発表者名
  植田亨、竹内光明、龍頭啓充、高岡義寛
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学
- 年月日
  2010-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] シリコン基板に対するエタノールクラスターイオン照射効果の基板温度依存性2010
- 著者名/発表者名
  向井寛, 龍頭啓充, 竹内光明, 高岡義寛
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学
- 年月日
  2010-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Ion Beam Deposition/Etchnig by EMIM-N(CN)2 Ionic Liquid Ion Source
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, H. Ryuto, G.H. Takaoka et al.
- 学会等名
  The 15th IUMRS-International Conference in Asia (IUMRS-ICA2014)
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2014-08-24 – 2014-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Photon Emission from Solid Surfaces Irradiated by Cluster Ion Beams
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, H. Ryuto, M. Takeuchi et al.
- 学会等名
  The 19th International Conference on Ion Beam Modification of Materials (IBMM2014)
- 発表場所
  Leuven, Belgium
- 年月日
  2014-09-14 – 2014-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Mesenchymal Stem Cell Adhesion on Metal and Polymeric Surfaces Modified by Oxygen Cluster Ion Irradiation
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, M. Takeuchi, H. Ryuto et al.
- 学会等名
  The 15th IUMRS-International Conference in Asia (IUMRS-ICA2014)
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2014-08-24 – 2014-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Irradiation Effects of Fragment Ions of Tetradecane on Glass Surfaces
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, M. Takeuchi, H. Ryuto et al.
- 学会等名
  20th International Conference on Ion Implantation Technology (IIT2014)
- 発表場所
  Portland, USA
- 年月日
  2014-06-24 – 2014-07-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] 含浸型イオン液体イオン源のイオンビーム特性II
- 著者名/発表者名
  植田亨, 竹内光明, 龍頭啓充, 高岡義寛
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760252
[学会発表] Sputtering of Metal Surfaces by CO2-hydrate Cluster Ion Beams
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, H. Ryuto, M. Takeuchi et al.
- 学会等名
  The 19th International Conference on Ion Beam Modification of Materials (IBMM2014)
- 発表場所
  Leuven, Belgium
- 年月日
  2014-09-14 – 2014-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Sputtering and Chemical Modification of Soild Surfaces Using Oxygen Ion Beams
- 著者名/発表者名
  G.H. Takaoka, H. Ryuto, M. Takeuchi et al.
- 学会等名
  20th International Conference on Ion Implantation Technology (IIT2014)
- 発表場所
  Portland, USA
- 年月日
  2014-06-24 – 2014-07-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010
[学会発表] Field-Emitted Ion Beam of Ionic Liquids with Different Viscosities
- 著者名/発表者名
  M. Takeuchi, H. Ryuto, G.H. Takaoka et al.
- 学会等名
  The 15th IUMRS-International Conference in Asia (IUMRS-ICA2014)
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2014-08-24 – 2014-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24360010

1. 龍頭啓充 (20392178)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 80件
2. 高岡義寛 (90135525)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 53件

竹内 光明 TAKEUCHI Mitsuaki

研究課題

研究成果

共同研究者

液体クラスターイオンビームを用いたスピントロニクス材料の表面改質・加工

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

水和クラスターのサイズ分離・構造解析と固体表面との相互作用の研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

液体クラスターイオンビームによる半導体加工法実用化のためのビーム強度増強

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

有機液体を用いた多原子分子イオン源の開発と極浅イオン注入への応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Characterization by transmission electron microscopy and small-angle X-ray scattering of Au clusters formed in ionic liquids2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Spectroscopic evidences of high temperatures and pressures during the cluster ion beam interaction with solid surfaces2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Crystal Structure and Accelerated Ion-Irradiation Effect of Water Clusters2016

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Sputtering of silicon and glass substrates with polyatomic molecular ion beams generated from ionic liquids2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Growth behavior of gold nanoparticles synthesized in unsaturated fatty acids by vacuum evaporation methods2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Ion-Beam Deposition/Etching Using EMIM-N(CN)<sub>2</sub> Ionic Liquid Ion Source2015

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

言語

データソース

[雑誌論文] Irradiation Effect of Gas-Hydrate Cluster Ions on Solid Surfaces2014

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] Interactions of Fragment Ions of Tetradecane with Solid Surfaces2014

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] Interaction between Water Cluster Ions and Mica Surface2014

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Mesenchymal Stem Cell Adhesion on Metal and Polymeric Surfaces Modified by Oxygen Cluster Ion Irradiation2014

著者名/発表者名

竹内光明 TAKEUCHI Mitsuaki