百瀬健 MOMOSE Takeshi

研究者番号	10611163
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 熊本大学, 半導体・デジタル研究教育機構, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2023年度: 熊本大学, 半導体・デジタル研究教育機構, 准教授 2016年度 – 2022年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 講師 2015年度: 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 講師 2014年度: 東京大学, 大学院工学系研究科, 助教 2012年度 – 2014年度: 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 2011年度 – 2012年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教
審査区分/研究分野	研究代表者反応工学・プロセスシステム / 小区分27020:反応工学およびプロセスシステム工学関連 / ナノ材料工学 / 機能材料・デバイス / 材料加工・処理研究代表者以外小区分27010:移動現象および単位操作関連 / 反応工学・プロセスシステム / 反応工学・プロセスシステム
キーワード	研究代表者超臨界流体 / 製膜 / 有機半導体 / 有機薄膜太陽電池 / 3Dプリンタ / 導波管 / テラヘルツ波 / 金属コーティング / 超臨界流体薄膜堆積法 / 材料合成プロセス … もっと見る / プロセス / ナノ充填 / 3次元メモリ / 強誘電体薄膜 / 超臨界 / Cu / 3次元実装 / 溶解度 / 光学材料 / ナノ充填技術 / ULSI / MEMS … もっと見る研究代表者以外超臨界流体 / 超臨界堆積法 / 結晶核生成 / 密度汎関数法 / 臨界核 / 亜臨界水 / 超臨界水 / 離散要素法 / 分子シミュレーション / 晶析 / 核生成 / 化合物太陽電池 / 太陽電池 / 化合物半導体 / 金属・酸化膜積層構造形成 / 薄膜形成 / メモリーデバイス / ステップカバレッジ / 電極金属 / 超臨界 / BiTiO3 / SrTiO3 / SrRuO3 / 電極形成 / ナノキャパシタ / 強誘電体 / 超臨界流体薄膜合成 / 強誘電体 / 高誘電体 / 電極 / FeRAM / DRAM / プロセス開発 / 薄膜合成隠す

3Dプリンタによるテラヘルツ波無線通信素子の形成に向けた金属コーティング技術研究代表者
- 研究代表者
  
  百瀬健
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分27020:反応工学およびプロセスシステム工学関連
- 研究機関
  熊本大学
   東京大学
高圧流体中での晶析・表面反応過程を模擬した実用シミュレータの開発と設計指針の確立
- 研究代表者
  
  本間哲雄
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分27010:移動現象および単位操作関連
- 研究機関
  八戸工業高等専門学校
超臨界流体を用いた3次元ナノ櫛歯型有機薄膜太陽電池の構築研究代表者
- 研究代表者
  
  百瀬健
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2019
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  反応工学・プロセスシステム
- 研究機関
  東京大学
超臨界流体を用いた強誘電体メモリ用複合酸化物薄膜の形成研究代表者
- 研究代表者
  
  百瀬健
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  ナノ材料工学
- 研究機関
  東京大学
超臨界流体埋め込み成膜による三次元接合型化合物半導体太陽電池の真の実現と高効率化
- 研究代表者
  
  笘居高明
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2014
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  反応工学・プロセスシステム
- 研究機関
  東北大学
3次元実装における極微細縦方向配線のシングルステップ形成研究代表者
- 研究代表者
  
  百瀬健
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  反応工学・プロセスシステム
- 研究機関
  東京大学
革新的有機半導体埋め込み技術開発による有機薄膜太陽電池の高効率化研究代表者
- 研究代表者
  
  百瀬健
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2013
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  機能材料・デバイス
- 研究機関
  東京大学
ULSI／MEMS対応マルチスケール薄膜堆積技術の構築研究代表者
- 研究代表者
  
  百瀬健
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2012
- 研究種目
  
  研究活動スタート支援
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  東京大学
超臨界流体を利用したナノキャパシタ構造形成プロセスの構築
- 研究代表者
  
  霜垣幸浩
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  反応工学・プロセスシステム
- 研究機関
  東京大学

[雑誌論文] Supercritical fluid deposition for conformal Cu film formation on sub-millimeter-scale structures used to fabricate terahertz waveguides2022
- 著者名/発表者名
  Huang Yuyuan、Deura Momoko、Shimoyama Yusuke、Shimogaki Yukihiro、Momose Takeshi
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 15 号: 7 ページ: 075502-075502
- DOI
  10.35848/1882-0786/ac737b
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[雑誌論文] Suitability of metallic materials for constructing metal-coated dielectric terahertz waveguides2022
- 著者名/発表者名
  Huang Yuyuan、Konishi Kuniaki、Deura Momoko、Shimoyama Yusuke、Yumoto Junji、Kuwata-Gonokami Makoto、Shimogaki Yukihiro、Momose Takeshi
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 131 号: 10 ページ: 105106-105106
- DOI
  10.1063/5.0075639
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[雑誌論文] Development of a model for evaluating propagation loss of metal-coated dielectric terahertz waveguides2021
- 著者名/発表者名
  Huang Yuyuan、Konishi Kuniaki、Deura Momoko、Shimoyama Yusuke、Yumoto Junji、Kuwata-Gonokami Makoto、Shimogaki Yukihiro、Momose Takeshi
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 130 号: 5 ページ: 055104-055104
- DOI
  10.1063/5.0058662
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[雑誌論文] Experimental Approach to Estimate Diffusivity of Metal Organics in Supercritical CO2 at High Temperatures2017
- 著者名/発表者名
  チョウ　ユウ、下山　裕介、百瀬　健、霜垣　幸浩
- 雑誌名
  
  The Journal of Supercritical Fluids
  
  巻: V. 120 part2 ページ: 209-217
- DOI
  10.1016/j.supflu.2016.05.048
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15J09484, KAKENHI-PROJECT-26600040
[雑誌論文] Solubility of bis-(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)copper(II) in mixed supercritical CO2 and H2 systems for application in supercritical fluid deposition of Cu2015
- 著者名/発表者名
  Takeshi Momose, Aiko Kondo, Tatsuya Kamiya, Hideo Yamada, Junji Ohara, Yasuhiro Kitamura, Hirohisa Uchida, Yukihiro Shimogaki, and Masakazu Sugiyama
- 雑誌名
  
  Journal of Supercritical Fluids
  
  巻: 未定ページ: 193-200
- DOI
  10.1016/j.supflu.2015.04.002
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709075
[雑誌論文] Strontium ruthenium oxide deposition in supercritical carbon dioxide using a closed reactor system2013
- 著者名/発表者名
  Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
- 雑誌名
  
  J.Supercritical Fluid
  
  巻: 79 ページ: 244-250
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[雑誌論文] Ethanol-Assisted Flow-Type Supercritical Fluid Deposition of SrRuO3 for Stoichiometric Film Formation2013
- 著者名/発表者名
  Kyubong Jung, Yu Zhao, Takeshi Momose ,and Yukihiro Shimogaki
- 雑誌名
  
  ECS Solid State Letters
  
  巻: 2
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[雑誌論文] Strontium ruthenium oxide deposition in supercritical carbon dioxide using a closed reactor system2013
- 著者名/発表者名
  Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
- 雑誌名
  
  The Journal of Supercritical Fluid
  
  巻: In Press ページ: 244-250
- DOI
  10.1016/j.supflu.2013.03.008
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[雑誌論文] Step Coverage Quality of Cu Films by Supercritical Fluid Deposition Compared with Chemical Vapor Deposition2010
- 著者名/発表者名
  T.Momose, M.Sugiyama, E.Kondoh, Y.Shimogaki
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys.
  
  巻: 49
- NAID
  210000068539
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[学会発表] Supercritical fluid deposition for semiconductors2024
- 著者名/発表者名
  Takeshi Momose
- 学会等名
  The Society of Chemical Engineering, Japan, 89th annual Meeting (international session)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] Development of low-resistivity copper thin film formation process on polymer using supercritical fluid deposition2023
- 著者名/発表者名
  Yusuke Nakajima, Yukihiro Shimogaki, and Takeshi Momose
- 学会等名
  ADMETA Plus 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] 超臨界流体薄膜堆積法の基礎と半導体応用2023
- 著者名/発表者名
  百瀬健
- 学会等名
  公益社団法人新化学技術推進協会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] 超臨界流体薄膜堆積法によるポリマー上への低抵抗率銅薄膜形成プロセスの開発2023
- 著者名/発表者名
  中嶋佑介，霜垣幸浩，百瀬健
- 学会等名
  化学工学会第54回秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] 超臨界流体薄膜堆積法を用いた誘電体上の低抵抗率銅薄膜形成に向けた前処理条件の検討2023
- 著者名/発表者名
  中嶋佑介，Huang Yuyuan，霜垣幸浩，百瀬健
- 学会等名
  化学工学会第88年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] 高アスペクト比構造へのCu-SCFDプロセス最適設計に向けたCu(tmhd)2のscCO2への溶解度と拡散係数の測定2022
- 著者名/発表者名
  師井滉平，Huang Yuyuan，出浦桃子，下山裕介，霜垣幸浩，百瀬健
- 学会等名
  化学工学会第53回秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] Suitability of metallic materials for metal-coated dielectric terahertz waveguides2022
- 著者名/発表者名
  Yuyuan Huang、Kuniaki Konishi、Momoko Deura、Yusuke Shimoyama、Junji Yumoto、Makoto Kuwata-Gonokami、Yukihiro Shimogaki、Takeshi Momose
- 学会等名
  第69回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] Investigation of Cu coating by supercritical fluid deposition on high aspect ratio features for THz wave devices2022
- 著者名/発表者名
  Yuyuan Huang, Kuniaki Konishi, Momoko Deura, Yusuke Shimoyama, Junji Yumoto, Makoto Kuwata-Gonokami, Yukihiro Shimogaki, Takeshi Momose
- 学会等名
  第81回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] Propagation loss mechanism in metal-coated dielectric terahertz wave parallel-plate waveguide2021
- 著者名/発表者名
  Yuyuan Huang、Kuniaki Konishi、Momoko Deura、Yusuke Shimoyama、Junji Yumoto、Makoto Kuwata-Gonokami、Yukihiro Shimogaki、Takeshi Momose
- 学会等名
  第82回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] Propagation loss of metal-coated dielectric parallel-plate waveguide in transverse-electric (TE) mode2021
- 著者名/発表者名
  Yuyuan Huang、Kuniaki Konishi、Momoko Deura、Yusuke Shimoyama、Junji Yumoto、Makoto Kuwata-Gonokami、Yukihiro Shimogaki、Takeshi Momose
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] Physical Model For Evaluating Propagation Loss Of Metal-coated Dielectric Terahertz Waveguides2021
- 著者名/発表者名
  3.Yuyuan Huang, Kuniaki Konishi, Momoko Deura, Yusuke Shimoyama, Junji Yumoto, Makoto Kuwata-Gonokami, Yukihiro Shimogaki, Takeshi Momose
- 学会等名
  46th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] Supercritical fluid deposition of Cu for sub-millimeter-scale features2021
- 著者名/発表者名
  Huang Yuyuan・Deura Momoko・Shimoyama Yusuke・Shimogaki Yukihiro・Momose Takeshi
- 学会等名
  第52回化学工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] Supercritical fluid deposition technique enabling metallic coating onto 3D-printed polymer for fabrication of high-aspect-ratio THz devices2020
- 著者名/発表者名
  Takeshi Momose, Kuniaki Konishi, Yu Zhao, Hirotaka Morishita, Tetsuya Tsuchida, Yuyuan Huang, Hiroyuki Yasukochi, Kentaro Soeda, Momoko Deura, Yusuke Shimoyama, Junji Yumoto, Makoto Kuwata-Gonokami, and Yukihiro Shimogaki
- 学会等名
  45th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] Film thickness dependence on propagation loss of coated metal in terahertz waveguides2020
- 著者名/発表者名
  Yuyuan Huang、Kuniaki Konishi、Momoko Deura、Yusuke Shimoyama、Junji Yumoto、Makoto Kuwata-Gonokami、Yukihiro Shimogaki、Takeshi Momose
- 学会等名
  第81回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] Material evaluation for inner metallic coating of hollow dielectric THz waveguides2020
- 著者名/発表者名
  Yuyuan Huang, Kuniaki Konishi, Momoko Deura, Yusuke Shimoyama, Junji Yumoto, Makoto Kuwata-Gonokami, Yukihiro Shimogaki, Takeshi Momose
- 学会等名
  45th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] Impact of surface oxidation on wave propagation of Cu-coated THz waveguides2020
- 著者名/発表者名
  Yuyuan Huang、Kuniaki Konishi、Momoko Deura、Yusuke Shimoyama、Junji Yumoto、Makoto Kuwata-Gonokami、Yukihiro Shimogaki、Takeshi Momose
- 学会等名
  第81回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02511
[学会発表] Crystalline ultra-thin tetracene film formation by temperature-driven supercritical fluid deposition2019
- 著者名/発表者名
  1.Yanshao Lee, Momoko Deura, Yusuke Shimoyama, Yukihiro Shimogaki, and Takeshi Momose
- 学会等名
  18th Asian Pacific Confederation of Chemical Engineering Congress (APCChE 2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06127
[学会発表] Ultra-thin continuous crystalline tetracene film formation by temperature-driven supercritical fluid deposition2019
- 著者名/発表者名
  レイゲンショウ,出浦桃子,下山裕介,霜垣幸浩,百瀬健
- 学会等名
  化学工学会第84年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06127
[学会発表] Tetracene thin film formation for organic photovoltaics by temperature-driven supercritical fluid deposition2018
- 著者名/発表者名
  黎彦劭，出浦桃子，下山裕介，霜垣幸浩，百瀬健
- 学会等名
  化学工学会第50回秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06127
[学会発表] 超臨界流体の温度勾配を利用したテトラセン製膜技術の構築2017
- 著者名/発表者名
  木下圭，下山裕介，霜垣幸浩，百瀬健
- 学会等名
  第19回化学工学会学生発表会
- 発表場所
  東京農工大学，小金井，東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06127
[学会発表] Supercritical fluid deposition of conformal oxide films: 3-dimentionally-stacked RuO2/TiO2/RuO2 structures for MIM capacitors2017
- 著者名/発表者名
  Yu Zhao, Yusuke Shimoyama, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki
- 学会等名
  Electron Devices Technology and Manufacturing Conference 2017
- 発表場所
  富山，日本
- 年月日
  2017-02-28
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600040
[学会発表] Thin film deposition using chemical reaction in supercritical fluid for high-aspect-ratio 3-dimensional features2017
- 著者名/発表者名
  チョウユウ，下山裕介，百瀬健，霜垣幸浩
- 学会等名
  化学工学会　第82年会
- 発表場所
  芝浦工業大学，豊洲，東京
- 年月日
  2017-03-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600040
[学会発表] 超臨界流体を用いたBi4Ti3O12製膜における反応機構解析2016
- 著者名/発表者名
  チョウユウ，下山裕介，百瀬健，霜垣幸浩
- 学会等名
  化学工学会第48回秋季大会
- 発表場所
  徳島大学，徳島，徳島
- 年月日
  2016-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600040
[学会発表] 超臨界流体により形成したRuO2薄膜の結晶化に向けたアニール処理2016
- 著者名/発表者名
  チョウユウ，下山裕介，百瀬健，霜垣幸浩
- 学会等名
  化学工学会第81年会
- 発表場所
  関西大学，大阪府，大阪市
- 年月日
  2016-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600040
[学会発表] Supercritical fluid deposition of metals and metal oxides for electronic device applications2015
- 著者名/発表者名
  Takeshi Momose
- 学会等名
  The 7th China-Japan Symposium on Chemical Engineering
- 発表場所
  Beijing, China
- 年月日
  2015-10-16
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709075
[学会発表] コンフォーマルな超臨界流体堆積におけるCO2圧力の影響2015
- 著者名/発表者名
  チョウユウ，百瀬健，下山裕介，霜垣幸浩
- 学会等名
  化学工学会第47回秋季大会
- 発表場所
  北海道大学，北海道，札幌市
- 年月日
  2015-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600040
[学会発表] New approach to estimate diffusivity of metal organics in supercritical CO2 at high temperatures2015
- 著者名/発表者名
  Yu Zhao, Takeshi Momose, Shimoyama Yusuke, and Yukihiro Shimogaki
- 学会等名
  11th International Symposium on Supercritical Fluids
- 発表場所
  Seoul, Korea
- 年月日
  2015-10-11
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600040
[学会発表] 反応速度論に基づく超臨界CO2流体中拡散係数の新規推定方法2015
- 著者名/発表者名
  チョウユウ，百瀬健，下山裕介，霜垣幸浩
- 学会等名
  化学工学会第47回秋季大会
- 発表場所
  北海道大学，北海道，札幌市
- 年月日
  2015-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600040
[学会発表] 超臨界流体の温度変化を利用した新規アントラセン製膜技術2014
- 著者名/発表者名
  豊倉祥太，高原梢，近藤愛子，百瀬健，内田博久，霜垣幸浩
- 学会等名
  第16回化学工学会学生発表会（東京大会）
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス，東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24655168
[学会発表] 超臨界流体の温度変化を利用した新規アントラセン製膜技術2014
- 著者名/発表者名
  豊倉祥太, 高原梢江, 近藤愛子, 百瀬健, 内田博久, 霜垣幸浩
- 学会等名
  第16回化学工学会学生発表会
- 発表場所
  東京工業大学
- 年月日
  2014-03-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24655168
[学会発表] 超臨界流体を用いたTiO2多孔質薄膜中へのCuInS2埋め込み成膜プロセスの評価2014
- 著者名/発表者名
  渡辺伸司, 笘居高明, 中安祐太, 百瀬健, 本間格
- 学会等名
  化学工学会第79年会
- 発表場所
  岐阜
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25630353
[学会発表] 超臨界流体を用いたCuInS2のTiO2多孔質膜中への埋め込み成膜による3D-CIS太陽電池構造の作製2014
- 著者名/発表者名
  笘居高明, 渡辺伸司, 中安祐太, 百瀬健, 本間格
- 学会等名
  化学工学会第79年会
- 発表場所
  岐阜
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25630353
[学会発表] Kinetics study of TiO2 deposition in supercritical CO2 using Micro-/Macro-cavity method2013
- 著者名/発表者名
  Kyubong Jun, Yu Zhao, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
- 学会等名
  化学工学会第７８年会
- 発表場所
  大阪大学豊中キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[学会発表] Solubility measurement of Cu(tmhd)2 and Mn(pmcp)2 in supercritical CO2/H2 mixture for supercritical fluid deposition2013
- 著者名/発表者名
  Takeshi Momose, Aiko Kondo, Hideo Yamada, Junji Ohara, Yasuhiro, Kitamura, Hirohisa Uchida, Yukihiro Shimogaki, and Masakazu Sugiyama
- 学会等名
  9th World Congress of Chemical Engineering (WCCE9)
- 発表場所
  Soul, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709075
[学会発表] Supercritical fluid deposition (SCFD) of crystallized TiO2 with alcohol assistance2013
- 著者名/発表者名
  Yu Zhao, Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
- 学会等名
  E-MRS Spring Conference 2013
- 発表場所
  Strasbourg, France.
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[学会発表] Conformal step coverage TiO2 deposition using supercritical CO22013
- 著者名/発表者名
  Kyubong Jung, Yu Zhao, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
- 学会等名
  Materials for Advanced Metallization 2013
- 発表場所
  Leuven, Bergium.
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[学会発表] Supercritical fluid deposition of crystallized TiO2 with assistance of alcohol2013
- 著者名/発表者名
  Yu Zhao, Kyubong Jun, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
- 学会等名
  化学工学会第７８年会
- 発表場所
  大阪大学豊中キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[学会発表] Deposition Mechanism of Metal Oxide for FeRAM Electrode using Flow Type Supercritical Fluid Deposition Reactor2012
- 著者名/発表者名
  Kyubong Jung, Yu Zhao, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
- 学会等名
  Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-state Science
- 発表場所
  Hawaii, USA.
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[学会発表] Low temperature process for Strontium Ruthenium Oxide in Supercritical Carbon Dioxide2012
- 著者名/発表者名
  Kyubong Jung, Takeshi Momose, and YukihiroShimogaki
- 学会等名
  10th International Symposium on Supercritical Fluids
- 発表場所
  San Francisco, USA.
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[学会発表] 超臨界流体を利用した次世代DRAM用高誘電体薄膜作製プロセスの開発2012
- 著者名/発表者名
  渡邊圭, 百瀬健, 霜垣幸浩
- 学会等名
  化学工学会
- 発表場所
  工学院大学(新宿)
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[学会発表] Supercritical Fluid Deposition of Bismuth Titanate for Embedded FeRAM Applications2012
- 著者名/発表者名
  Yu Zhao, Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
- 学会等名
  Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-state Science
- 発表場所
  Hawaii, USA.
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[学会発表] Novel Supercritical Fluid Deposition Technique of SiO2 using Flow Channel Reactor2012
- 著者名/発表者名
  百瀬健
- 学会等名
  ISSF 2012 : 10th International Symposium on Sup ercritical Fluids
- 発表場所
  Hyatt Regency San Francisco, USA
- 年月日
  2012-05-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23860016
[学会発表] Precursors Selection for TiO2 Thin Film Deposition in Supercritical CO22012
- 著者名/発表者名
  Yu Zhao, Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
- 学会等名
  International Union of Materials Research Societies- International Conference on Electronic Materials
- 発表場所
  Yokohama
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[学会発表] フローチャネル型製膜装置によるSiO2-SCFD2012
- 著者名/発表者名
  百瀬健
- 学会等名
  化学工学会
- 発表場所
  工学院大学
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23860016
[学会発表] RuO2 Deposition Using Supercritical Fluid Deposition (SCFD)2011
- 著者名/発表者名
  Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
- 学会等名
  Advanced Metallization Conference 2011, Asian Session
- 発表場所
  Tokyo
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[学会発表] Ru and Pt Films Fabrication for 3D Capacitor Electrodes Using Supercritical Fluid Deposition Technique2011
- 著者名/発表者名
  Kei Watanabe, Takeshi Momose, and YukihiroShimogaki
- 学会等名
  Advanced Metallization Conference 2011, Asian Session
- 発表場所
  Tokyo
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360329
[学会発表] 超臨界流体堆積法を用いた量論組成Bi4Ti3O12製膜
- 著者名/発表者名
  チョウ　ユウ，鄭珪捧，百瀬　健，霜垣　幸浩
- 学会等名
  化学工学会　第46回秋季大会
- 発表場所
  九州大学，博多，福岡
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600040
[学会発表] CuInS2 DEPOSITION INTO TiO2 NANOPOROUS THIN FILM USING SUPERCRITICAL FLUID
- 著者名/発表者名
  Yoji Yasui, Shinji Watanabe, Takaaki Tomai, Takeshi Momose, Itaru Honma
- 学会等名
  International Symposium on Chemical- Environmental-Biomedical Technology
- 発表場所
  Taiwan, Chang Gung
- 年月日
  2014-09-10 – 2014-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25630353
[学会発表] Conformal Deposition of Crystalline Bi4Ti3O12 Using Supercritical Fluid Deposition for 3D-Structure Ferroelectric Memories
- 著者名/発表者名
  Yu Zhao, Kyubong Jung, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki
- 学会等名
  Material Research Society, Fall meeting, 2015
- 発表場所
  Boston, USA
- 年月日
  2014-11-29 – 2014-12-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600040
[学会発表] 超臨界流体堆積法を用いた強誘電体メモリ用Bi4Ti3O12の均一製膜
- 著者名/発表者名
  チョウ　ユウ，百瀬　健，霜垣　幸浩
- 学会等名
  化学工学会　第80年会
- 発表場所
  芝浦工業大学，豊洲，東京
- 年月日
  2015-03-19 – 2015-03-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600040
[学会発表] Solubility measurement and correlation of Cu(tmhd)2 and Mn(pmcp)2 in mixture of scCO2 + H2 for supercritical fluid deposition
- 著者名/発表者名
  Takeshi Momose, Aiko Kondo, Tatsuya Kamiya, Hideo Yamada, Junji Ohara, Yasuhiro Kitamura, Hirohisa Uchida, Yukihiro Shimogaki, and Masakazu Sugiyama
- 学会等名
  14th Euro Meeting on Supercritical Fluids
- 発表場所
  Marseille, France
- 年月日
  2014-05-18 – 2014-05-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709075

1. 霜垣幸浩 (60192613)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 15件
2. 笘居高明 (80583351)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
3. 本間哲雄 (10369910)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
4. 秋月信 (30707188)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. 佐藤剛史 (60375524)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 小西邦昭 (60543072)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 11件
7. 中安祐太

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
8. 渡辺伸司

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
9. 安井容二

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
10. チョウユウ

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 2件

百瀬 健 MOMOSE Takeshi

研究課題

研究成果

共同研究者

3Dプリンタによるテラヘルツ波無線通信素子の形成に向けた金属コーティング技術研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

高圧流体中での晶析・表面反応過程を模擬した実用シミュレータの開発と設計指針の確立

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

超臨界流体を用いた3次元ナノ櫛歯型有機薄膜太陽電池の構築研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超臨界流体を用いた強誘電体メモリ用複合酸化物薄膜の形成研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超臨界流体埋め込み成膜による三次元接合型化合物半導体太陽電池の真の実現と高効率化

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

3次元実装における極微細縦方向配線のシングルステップ形成研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

革新的有機半導体埋め込み技術開発による有機薄膜太陽電池の高効率化研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ULSI／MEMS対応マルチスケール薄膜堆積技術の構築研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超臨界流体を利用したナノキャパシタ構造形成プロセスの構築

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Supercritical fluid deposition for conformal Cu film formation on sub-millimeter-scale structures used to fabricate terahertz waveguides2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Suitability of metallic materials for constructing metal-coated dielectric terahertz waveguides2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Development of a model for evaluating propagation loss of metal-coated dielectric terahertz waveguides2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Experimental Approach to Estimate Diffusivity of Metal Organics in Supercritical CO2 at High Temperatures2017

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Solubility of bis-(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)copper(II) in mixed supercritical CO2 and H2 systems for application in supercritical fluid deposition of Cu2015

著者名/発表者名

百瀬健 MOMOSE Takeshi