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横川 凌  Yokogawa Ryo

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 10880619
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 広島大学, 半導体産業技術研究所, 助教
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2020年度 – 2024年度: 明治大学, 理工学部, 助教
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分21050:電気電子材料工学関連 / 0302:電気電子工学およびその関連分野
キーワード
研究代表者
界面 / 表面 / X線非弾性散乱 / 熱伝導率 / SiGe / 局在振動モード / 非調和振動 / ナノ構造 / ラマン分光法 / シリコンゲルマニウム … もっと見る / フォノン / ラマンシフト / 温度可変ラマン分光法 / 熱酸化膜 / X線回折 / Si / 熱電発電デバイス / CTR散乱 / 放射光X線回折 / Si酸化膜 / 放射光 / X線回折 / 酸化膜 / 熱電変換 / シリコン 隠す
  • 研究課題

    (3件)
  • 研究成果

    (24件)
  •  斜入射X線非弾性散乱法によるGeおよびSi表面・界面のフォノン散乱解明に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      横川 凌
    • 研究期間 (年度)
      2024 – 2026
    • 研究種目
      若手研究
    • 審査区分
      小区分21050:電気電子材料工学関連
    • 研究機関
      明治大学
  •  温度可変ラマン分光法によるSiGe混晶の微視的な熱伝導機構解明に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      横川 凌
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2023
    • 研究種目
      若手研究
    • 審査区分
      小区分21050:電気電子材料工学関連
    • 研究機関
      明治大学
  •  温度可変放射光X線回折による熱電発電Siデバイスの局所領域熱特性評価に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      横川 凌
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2021
    • 研究種目
      研究活動スタート支援
    • 審査区分
      0302:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      明治大学

すべて 2024 2023 2022 2021 2020

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Local thermal conductivity properties of a SiGe nanowire observed by laser power sweep Raman spectroscopy2024

    • 著者名/発表者名
      Sugawa Sho、Yokogawa Ryo、Ogura Atsushi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 63 号: 2 ページ: 02SP68-02SP68

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ad1bc0

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [雑誌論文] Determination of Ge-fraction-shift coefficients for Raman spectroscopy in all vibration modes investigated by single-crystalline bulk SiGe and its application to strain evaluation in SiGe film grown on substrate2024

    • 著者名/発表者名
      Yokogawa Ryo、Sugawa Sho、Yonenaga Ichiro、Arai Yasutomo、Ogura Atsushi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 63 号: 3 ページ: 035503-035503

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ad29db

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [雑誌論文] Temperature Dependence of Raman Peak Shift in Single-Crystalline Silicon-Germanium2023

    • 著者名/発表者名
      Sugawa Sho、Yokogawa Ryo、Yoshioka Kazutoshi、Arai Yasutomo、Yonenaga Ichiro、Ogura Atsushi
    • 雑誌名

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      巻: 12 号: 6 ページ: 064004-064004

    • DOI

      10.1149/2162-8777/acdffa

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [雑誌論文] Origin of carrier lifetime degradation in floating-zone silicon during a high-temperature process for insulated gate bipolar transistor2020

    • 著者名/発表者名
      Yokogawa Ryo、Kobayashi Hiroto、Numasawa Yohichiroh、Ogura Atsushi、Nishizawa Shin-ichi、Saraya Takuya、Ito Kazuo、Takakura Toshihiko、Suzuki Shinichi、Fukui Munetoshi、Takeuchi Kiyoshi、Hiramoto Toshiro
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: 11 ページ: 115503-115503

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abc1d0

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K22418
  • [学会発表] SiGeラマンスペクトルの非対称ブロードニングに関する考察2024

    • 著者名/発表者名
      横川 凌, 寿川 尚, 前田 唯葉, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] Local Thermal Conductivity Properties of SiGe Nanowire Observed by Laser Power Sweep Raman Spectroscopy2023

    • 著者名/発表者名
      S. Sugawa, R. Yokogawa, A. Ogura
    • 学会等名
      36th International Microprocess and Nanotechnology Conference 2023 (MNC2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] レーザパワー掃引ラマン分光法によるSiGeナノワイヤの熱伝導特性評価2023

    • 著者名/発表者名
      寿川 尚, 横川 凌, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第7回フォノンエンジニアリング研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] ラマン分光法によるSiGeナノワイヤの熱伝導測定2023

    • 著者名/発表者名
      寿川 尚, 横川 凌, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] 液浸ラマン分光法による高Ge濃度SiGe薄膜のラマンスペクトルに現れるブロードピークの温度依存性評価2023

    • 著者名/発表者名
      前田 唯葉, 横川 凌, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第7回フォノンエンジニアリング研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] 3次元自己組織化多層SiGeナノドットの熱物性2023

    • 著者名/発表者名
      横川 凌, 寿川 尚, 前田 唯葉, 伊藤 佑太, 山下 雄一郎, Wen Wei-Chen, 山本 裕司, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] 3次元自己組織化多層SiGeナノドットのフォノン散乱評価2023

    • 著者名/発表者名
      横川 凌, 寿川 尚, 前田 唯葉, 伊藤 佑太, 山下 雄一郎, Wen Wei-Chen, 山本 裕司, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第7回フォノンエンジニアリング研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] バルクSiGeを用いた無歪ラマンシフト全振動モードの導出2023

    • 著者名/発表者名
      横川 凌, 寿川 尚, 柴山 裕貴, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] 高Ge組成バルクSiGeにおける局在振動モードラマンスペクトルの温度依存性2023

    • 著者名/発表者名
      横川 凌, 寿川 尚, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] Phonon properties of bulk silicon-germanium analyzed by inelastic X-ray scattering2022

    • 著者名/発表者名
      Ryo Yokogawa
    • 学会等名
      The 8th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] Temperature Dependence of Raman Peak Shift in Single-Crystalline Si-Rich SiGe2022

    • 著者名/発表者名
      Sho Sugawa, Ryo Yokogawa, Yasutomo Arai, Ishiro. Yonenaga, Atsushi Ogura
    • 学会等名
      242nd ECS Meeting
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] 放射光技術を利用した次世代熱電発電デバイス用Ⅳ族半導体の微小領域熱特性評価2022

    • 著者名/発表者名
      横川 凌, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第9回SPring-8次世代先端デバイス研究会/第72回SPring-8先端利用技術ワークショップ 「半導体プロセス開発の現状と放射光の役割」
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K22418
  • [学会発表] SiGe混晶のフォノン物性解明へ向けて2022

    • 著者名/発表者名
      横川 凌
    • 学会等名
      第6回フォノンエンジニアリング研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] 温度可変放射光X線回折による熱酸化およびスパッタSiO2/Si界面の熱特性評価2022

    • 著者名/発表者名
      横川 凌, 渡辺 剛, 廣沢 一郎, 富田 基裕, 渡邉 孝信, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K22418
  • [学会発表] Evaluation of Strained Group IV Semiconductor Devices by Oil-Immersion Raman Spectroscopy2022

    • 著者名/発表者名
      Ryo Yokogawa, Chia-Tsong Chen, Kasidit Toprasertpong, Mitsuru Takenaka, Shinishi Takagi, Atsushi Ogura
    • 学会等名
      242nd ECS Meeting
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] Si-rich SiGeバルク単結晶におけるラマン散乱の温度依存性2022

    • 著者名/発表者名
      寿川 尚, 横川 凌, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] Ge-rich SiGeバルク単結晶におけるラマンピークの温度依存性2022

    • 著者名/発表者名
      寿川 尚, 横川 凌, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14201
  • [学会発表] X線逆格子空間マッピングを用いたメサ構造状カーボンドープシリコンにおける3軸歪評価2021

    • 著者名/発表者名
      吉岡 和俊, 小原田 賢聖, 小笠原 凱, 廣沢 一郎, 渡辺 剛, 横川 凌, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K22418
  • [学会発表] Strain Behaviors and Characteristics of Phonon Transports in Group IV Semiconductors Observed by Synchrotron Radiation Techniques2021

    • 著者名/発表者名
      Ryo Yokogawa, Atsushi Ogura
    • 学会等名
      Material Research Meeting 2021 (MRM2021)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K22418
  • [学会発表] ラマン分光法によるAsイオン注入Siの歪評価2021

    • 著者名/発表者名
      小原田 賢聖, 佐竹 雄太, 横川 凌, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K22418

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