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川嶋 なつみ  Kawashima Natsumi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 10908635
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2024年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究員
2021年度 – 2022年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究員
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分18020:加工学および生産工学関連 / 0301:材料力学、生産工学、設計工学、流体工学、熱工学、機械力学、ロボティクス、航空宇宙工学、船舶海洋工学およびその関連分野
キーワード
研究代表者
光計測 / 干渉計測 / 厚さ計測 / 温度依存性 / 屈折率 / レーザー計測 / 広帯域光干渉 / 分散
  • 研究課題

    (2件)
  •  半導体基板の絶対厚さ及び厚さむらの高精度測定を目指したハイブリッド干渉計の開発研究代表者

    • 研究代表者
      川嶋 なつみ
    • 研究期間 (年度)
      2024 – 2025
    • 研究種目
      若手研究
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
  •  Si屈折率温度依存性の高精度測定のための両面ータンデムハイブリッド干渉計の開発研究代表者

    • 研究代表者
      川嶋 なつみ
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2022
    • 研究種目
      研究活動スタート支援
    • 審査区分
      0301:材料力学、生産工学、設計工学、流体工学、熱工学、機械力学、ロボティクス、航空宇宙工学、船舶海洋工学およびその関連分野
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所

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