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栗田 政則  KURITA Masanori

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 20087175
その他のID
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2002年度 – 2003年度: 長岡技術科学大学, 工学部, 教授
1988年度: 長岡技術科学大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
材料力学
研究代表者以外
計測工学
キーワード
研究代表者
弾性定数 / 窒化けい素 / アルミナ / セラミックス / 実験応力解析 / 非破壊検査 / X線回折 / 残留応力測定
研究代表者以外
FZ wafer / CZ wafer … もっと見る / scattered light detection / COP (crystal originated particle) detection / particle detection / インライン自動検査装置 / COP検出 / 半導体ウエハ表面検査 / 結晶空洞検出 / ナノメータ不純物検出 隠す
  • 研究課題

    (2件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  半導体ウエハ表面・内部のナノメータ不純物・結晶空洞自動計測装置の開発

    • 研究代表者
      秋山 伸幸
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      長岡技術科学大学
  •  ガウス曲線法を用いたX線回析によるセラミックスの残留応力測定の研究研究代表者

    • 研究代表者
      栗田 政則
    • 研究期間 (年度)
      1988
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      材料力学
    • 研究機関
      長岡技術科学大学
  • 1.  秋山 伸幸 (90251850)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  小泉 光義
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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