松村道雄 MATSUMURA Michio

研究者番号	20107080
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2013年度: 大阪大学, 学内共同利用施設等, 教授 2012年度 – 2013年度: 大阪大学, 太陽エネルギー化学研究センター, 教授 2002年度 – 2009年度: 大阪大学, 太陽エネルギー化学研究センター, 教授 1997年度 – 1999年度: 大阪大学, 有機光工学研究センター, 教授 1994年度 – 1995年度: 大阪大学, 有機光工学研究センター, 教授 1988年度: 大阪大学, 基礎工学部, 助教授 1987年度: 大阪大学, 基礎工学部, 講師
審査区分/研究分野	研究代表者理工系 / 工業物理化学 / ナノ構造科学 / ナノ材料・ナノバイオサイエンス / 電子デバイス・電子機器研究代表者以外物理化学一般
キーワード	研究代表者シリコン / 電気化学 / 表面 / 界面 / 触媒 / 溶解 / 酸素 / 有機薄膜 / ナノ加工 / 光照射 … もっと見る研究代表者以外アモルファスシリコン / 太陽電池 / プラズマCVD法 / 光電気化学 / 金属微粒子 / 酸化物薄膜 / 半導体電極 / 水素発生 / Amorphous silicon / Solar cell / Plasma CVD method / Photoelectrochemistry / Ultrafine metal particle / Oxide film / Semiconductor electrode / Hydrogen evolution 隠す

気相中の触媒金属／Ｓｉ界面で起こる新規エッチング現象研究代表者
- 研究代表者
  
  松村道雄
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2013
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  大阪大学
触媒作用を利用したシリコンへの微細配線形成技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松村道雄
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2009
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  大阪大学
触媒法によるシリコンへのナノサイズ孔・溝形成技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松村道雄
- 研究期間 (年度)
  2007
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  大阪大学
金属の触媒作用を利用した半導体マイクロ・ナノ加工技術開拓のための基礎研究研究代表者
- 研究代表者
  
  松村道雄
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2009
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  ナノ材料・ナノバイオサイエンス
- 研究機関
  大阪大学
有機薄膜系太陽電池の高効率化を目指した接合構造の制御研究代表者
- 研究代表者
  
  松村道雄
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  大阪大学
金属微粒子の触媒作用を利用したシリコン基板へのナノ細孔の形成研究代表者
- 研究代表者
  
  松村道雄
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  ナノ構造科学
- 研究機関
  大阪大学
有機薄膜系太陽電池の高効率化を目指した界面構造制御研究代表者
- 研究代表者
  
  松村道雄
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2004
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  大阪大学
有機薄膜系太陽電池の高効率化を目指した界面構造制御研究代表者
- 研究代表者
  
  松村道雄
- 研究期間 (年度)
  2002
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  大阪大学
シリコン/酸化物界面およびシリコン表面の化学構造の新規評価法の開拓研究代表者
- 研究代表者
  
  松村道雄
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  工業物理化学
- 研究機関
  大阪大学
光照射による溶液中のシリコン表面の原子レベルでの構造変化研究代表者
- 研究代表者
  
  松村道雄
- 研究期間 (年度)
  1999
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 研究機関
  大阪大学
光照射による溶液中のシリコン表面の原子レベルでの構造変化研究代表者
- 研究代表者
  
  松村道雄
- 研究期間 (年度)
  1998
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 研究機関
  大阪大学
シリコン表面の原子レベルでの平坦化に関する電気化学的手法を用いた研究研究代表者
- 研究代表者
  
  松村道雄
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1998
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  工業物理化学
- 研究機関
  大阪大学
有機EL素子の動作機構の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  松村道雄
- 研究期間 (年度)
  1994 – 1995
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  工業物理化学
- 研究機関
  大阪大学
積層型アモルファスシリコン電極を用いた湿式太陽電池による水の分解
- 研究代表者
  
  坪村宏
- 研究期間 (年度)
  1987 – 1989
- 研究種目
  
  一般研究(A)
- 研究分野
  
  物理化学一般
- 研究機関
  大阪大学

すべて 2014 2013 2012 2010 2009 2008

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] 自己集積化ナノリソグラフィーを利用したSiナノホールアレイ形成とCu埋め込み2013
- 著者名/発表者名
  近藤英一、玉井　架、松村道雄
- 雑誌名
  
  表面技術
  
  巻: 64 号: 12 ページ: 659-661
- DOI
  10.4139/sfj.64.659
- NAID
  130004704927
- ISSN
  0915-1869, 1884-3409
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656232
[雑誌論文] Pore Formation in a Silicon Wafer Using a Platinum Needle Electrode with Application of Square-Wave Potential Pulses in HF Solution2013
- 著者名/発表者名
  Tomohiko Sugita, Kazuki Hiramatsu, Shigeru Ikeda, Michio Matsumura
- 雑誌名
  
  ACS Appl. Mater. Interfaces
  
  巻: 5 ページ: 2580-2584
- DOI
  10.1021/am303167c
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656232
[雑誌論文] Acceleration of groove formation in silicon using catalytic wire electrodes for development of a slicing technique2010
- 著者名/発表者名
  M.S. Salem, C.-L. Lee, S. Ikeda, M. Matsumura
- 雑誌名
  
  J. Mater. Process. Technol Vol.210,No.2
  
  ページ: 330-334
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19310073
[雑誌論文] Formation of 100-μm-deep Vertical Pores in Si Wafers by Wet Etching and Cu Electrodeposition2009
- 著者名/発表者名
  C.-L. Lee, S. Tsuru, Y. Kanda, S. Ikeda, M. Matsumura
- 雑誌名
  
  Electrochem. Soc Vol.156,No.12
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19310073
[雑誌論文] Electrochemical Grooving of Si Wafers Using Catalytic Wire Electrodes in HF Solution2009
- 著者名/発表者名
  C.-L. Lee, Y. Kanda, T. Hirai, S. Ikeda, M. Matsumura
- 雑誌名
  
  J. Electrochem. Soc Vol.156,No.3
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19310073
[雑誌論文] 触媒を利用したシリコンのエッチングと太陽電池製造工程への応用2009
- 著者名/発表者名
  李佳龍、池田茂、松村道雄
- 雑誌名
  
  生産技術 Vol.61,No.1
  
  ページ: 27-31
- NAID
  40016873419
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19310073
[雑誌論文] Pore Formation in Silicon by Wet Etching Using Micrometer-sized Metal Particles as Catalysts2008
- 著者名/発表者名
  C.-L. Lee, K. Tsujino, Y. Kanda, S. Ikeda, M. Matsumura
- 雑誌名
  
  J. Mater. Chem Vol.18,No.9
  
  ページ: 1015-1020
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19310073
[産業財産権] 結晶基板に孔を形成する方法、並びに結晶基板内に配線や配管を有する機能性デバイス2012
- 発明者名
  松村道雄、永田大地、釘宮公一
- 権利者名
  松村道雄、永田大地、釘宮公一
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2012-185715
- 出願年月日
  2012-08-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656232
[産業財産権] 結晶基板に孔を形成する方法、並びに結晶基板に配線や配管を有する機能デバイス2012
- 発明者名
  松村道雄, 永田大地, 釘宮公一
- 権利者名
  大阪大学
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2012-08-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656232
[学会発表] TSV Formation by Metal-Assisted Chemical Etching2014
- 著者名/発表者名
  松村道雄
- 学会等名
  第一回日仏三次元集積回路ワークショップ
- 発表場所
  日仏会館
- 年月日
  2014-06-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656232
[学会発表] Making Through Holes in Si for 3D IC Packaging by Metal-Catalyzed Wet Etching: Progress and Challenges2014
- 著者名/発表者名
  川口遼馬、巽　康司、原田隆史、池田　茂、松村道雄
- 学会等名
  MRS Spring Meeting
- 発表場所
  San Francisico
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656232
[学会発表] 「Making Through Holes in Si for 3D IC Packaging by Metal-Catalyzed Wet Etching : Progress and Challenges2014
- 著者名/発表者名
  R. Kawaguchi, K. Tatsumi, T. Harada, S. Ikeda and M. Matsumura
- 学会等名
  2014 MRS Spring Meeting
- 発表場所
  San Francisco
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656232
[学会発表] Pd触媒を用いたSiの気相エッチングと貫通孔形成2013
- 著者名/発表者名
  川口遼馬，原田隆史，池田茂，松村道雄
- 学会等名
  第74回　応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学田辺キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656232
[学会発表] Making Fine Cu Wires in a Si Wafer Using Catalytic Reactions2013
- 著者名/発表者名
  K. Tatsumi, S. Ikeda and M. Matsumura
- 学会等名
  2013 MRS Spring Meeting
- 発表場所
  San Francisco
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656232
[学会発表] Pd触媒を用いたSiの気相エッチングと貫通孔形成2013
- 著者名/発表者名
  川口遼馬, 原田隆史, 池田茂, 松村道雄
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋期学術講演会
- 発表場所
  同志社大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656232
[学会発表] 金属触媒を用いたシリコンの新規気相エッチング法2012
- 著者名/発表者名
  永田大地, 杉田智彦, 池田茂, 松村道雄
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656232
[学会発表] Micromachining of Silicon Wafers with Catalytic Needle Electrodes in HF solution2010
- 著者名/発表者名
  T. Sugita, T. Hirai, S. Ikeda, M. Matsumura
- 学会等名
  The 217th Meeting of The Electrochemical Society (ECS)
- 発表場所
  Vancouver, Canada (The Fairmont Hotel Vancouver)
- 年月日
  2010-04-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19310073
[学会発表] アノード分極した金属針によるシリコンウェハへの微細孔の形成2010
- 著者名/発表者名
  杉田智彦, 平井豪, 松村道雄
- 学会等名
  第57回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  平塚(東海大学湘南キャンパス)
- 年月日
  2010-03-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19310073
[学会発表] 触媒粒子を用いたエッチングにより形成されるシリコンの新規表面構造2009
- 著者名/発表者名
  神田裕士, 原田隆史, 松村道雄
- 学会等名
  電気化学秋季大会
- 発表場所
  小金井(東京農工大学工学部)
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19310073
[学会発表] 触媒針電極を用いたシリコン基板への微細加工2009
- 著者名/発表者名
  杉田智彦, 平井豪, 松村道雄
- 学会等名
  第70回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  富山(富山大学五福キャンパス)
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19310073
[学会発表] 触媒針電極を用いたシリコン基板への貫通孔の形成2009
- 著者名/発表者名
  杉田智彦, 平井豪, 池田茂, 松村道雄
- 学会等名
  電気化学会第76回大会
- 発表場所
  京都(京都大学吉田キャンパス)
- 年月日
  2009-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19310073
[学会発表] 電気化学的エッチング反応を利用したシリコンブロックのスライシング2009
- 著者名/発表者名
  李佳龍, 神田裕士, Mohamed Shaker Salem, 池田茂, 松村道雄
- 学会等名
  電気化学会第76回大会
- 発表場所
  京都(京都大学吉田キャンパス)
- 年月日
  2009-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19310073
[学会発表] 水素プラズマ処理により多結晶シリコン中に取り込まれた水素の状態について2009
- 著者名/発表者名
  水田紘平, 池田茂, 松村道雄
- 学会等名
  第70回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  富山(富山大学五福キャンパス)
- 年月日
  2009-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19310073
[学会発表] Wet Processes for Boring, Grooving and Slicing Silicon Using Metal Catalysts2009
- 著者名/発表者名
  Chia-Long Lee, Yuji Kanda, Mohamed Shaker Salem, Takeshi Hirai, Shigeru Ikeda, Michio Matsumura
- 学会等名
  2009 Material Research Society (MRS) Spring Meeting
- 発表場所
  San Francisco, USA (San Francisco Marriott Hotel
- 年月日
  2009-04-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19310073
[学会発表] Electrochemical Grooving of Slicing Silicon Wafers Using Catalytic Wires2008
- 著者名/発表者名
  Chia-Long L S alem, Takeshi Hirai, Shigeru Ikeda, Michio Matsumura
- 学会等名
  電気化学日米合同大会
- 発表場所
  Honolulu, USA(ヒルトン・ハワイアンヴィレッジ)
- 年月日
  2008-10-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19310073

1. 池田茂 (40312417)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 11件
2. 小林光 (90195800)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
3. 中戸義禮 (70029502)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
4. 坪村宏 (20029367)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. 大佐々崇宏 (30403124)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 辻埜和也 (40403125)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 原田隆史 (00379314)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 平井豪 (80423086)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 近藤英一 (70304871)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

松村 道雄 MATSUMURA Michio

研究課題

研究成果

共同研究者

気相中の触媒金属／Ｓｉ界面で起こる新規エッチング現象研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

触媒作用を利用したシリコンへの微細配線形成技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

触媒法によるシリコンへのナノサイズ孔・溝形成技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

金属の触媒作用を利用した半導体マイクロ・ナノ加工技術開拓のための基礎研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

有機薄膜系太陽電池の高効率化を目指した接合構造の制御研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

金属微粒子の触媒作用を利用したシリコン基板へのナノ細孔の形成研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

有機薄膜系太陽電池の高効率化を目指した界面構造制御研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

有機薄膜系太陽電池の高効率化を目指した界面構造制御研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

シリコン/酸化物界面およびシリコン表面の化学構造の新規評価法の開拓研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

光照射による溶液中のシリコン表面の原子レベルでの構造変化研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

光照射による溶液中のシリコン表面の原子レベルでの構造変化研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

シリコン表面の原子レベルでの平坦化に関する電気化学的手法を用いた研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

有機EL素子の動作機構の解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

松村道雄 MATSUMURA Michio