一色実 ISSHIKI Minoru

研究者番号	20111247
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2002年度 – 2012年度: 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 1995年度 – 1999年度: 東北大学, 素材工学研究所, 教授 1992年度 – 1993年度: 東北大学, 素材工学研究所, 教授 1991年度: 東北大学, 選鉱製錬研究所, 助教授 1987年度 – 1990年度: 東北大学, 工学部, 助手
審査区分/研究分野	研究代表者金属生産工学 / 金属生産工学研究代表者以外金属生産工学 / 金属生産工学 / 金属製錬・金属化学 / 構造・機能材料 / 無機工業化学
キーワード	研究代表者フォトルミネッセンス / 薄膜 / 成長機構 / MOCVD / Oxidation / Thin Film / Copper / Hafnium / Zirconium / 誘電特性 … もっと見る / 酸化 / 銅 / ハフニウム / ジルコニウム / high purity iron / high quality single crystal / Si substrate / hydrogen terminate / molecular beam epitaxy / chemical vapor transport / β-FeSi_2 / β-FeSi_2単結晶 / 化学気相輸送法 / 電気特性 / β-FeSi2単結晶 / 半導体用超高純度鉄 / 超高純度鉄 / 高品位単結晶 / Si基板 / 水素終端処理 / 分子線エピタキシー / 化学気相輸送 / β-FeSi2 / Kinetics / High purity metals / Refining / Hydrogen plasma / Plasma melting / 蒸発種 / 反応速度 / 分光学的解析 / 熱伝導 / 蒸発 / 発光スペクトル / シミュレーション / 高純度金属 / 精製 / 水素プラズマ / プラズマ溶解 / アクセプター・ドーピング / フォト・ルミネッセンス / P型伝導 / 伝導型制御 / セレン化亜鉛 / 格子間原子 / アクセプター / Znfe_x Te_<1-x> / 成長速度 / 熱力学モデル / ZnSe_xTe_1ー_x混晶薄膜 / MOCVD成長 / エピタキシャル成長 / ZnSexTe_<1ーx> / アクセプタ-準位 / カリウム / ナトリウム / ZnSe … もっと見る研究代表者以外高純度金属 / 水素プラズマ / 高純度化 / 微量不純物 / ランタン / 金属生産工学 / 希土類金属 / ジルコニウム / 水素プラズマ溶解 / 高純度精製 / 精製 / 帯溶融 / Annealing effect / Trace impurity / Cobalt / Iron / Copper / Purity evaluation / Residual resistivity ratio / High purity metals / 伝導電子 / サイズ効果 / 真空焼鈍 / 水素焼鈍 / 比抵抗 / クロム / 焼鈍効果 / コバルト / 鉄 / 銅 / 純度評価 / 残留抵抗比 / Vacuum melting / Zone melting / Purification / Lantharum / Neodymium / Rare earth metal / 真空溶解 / 高真空溶解 / 帯域溶融 / ネオジム / フォト・ルミネッセンス / ドーピング / アクセプター / P型伝導 / 伝導型制御 / セレン化亜鉛 / 不純物除去 / バナジウム / プラズマ溶解 / 不純物 / 高融点金属 / 減圧水素プラズマ / バナジウムジルコニウム / モリブデン / 配線評価用TEG / パルスめっき技術 / 配線抵抗率 / 添加剤フリーめつき技術 / 超高純度めっき材料 / ULSI / 微細構造 / Cuの高純度化 / TEG / 分子動力学シミュレーション / 革新的高導電性 / 超高純度めっき材 / 添加剤フリー / Cu 配線 / 収差補正STEM / クレヴァス / Ru膜 / 添加剤フリーめっき / 収差補正TEM / 粒界不純物 / 抵抗率 / 超高純度硫酸銅 / Cu配線 / LSI / 情報材料 / 電子 / 水素プラズマ溶解精製 / セリウム / 活性水素 / 帯溶融精製 / 精製機構 / プラズマ溶解精製 / 不純物強除去速度 / チタン / ハフニウム / 機能展開 / 超微細構造 / 化学マニピュレーション / 分子・粒子のテクトニクス / ナノテクノジ- / 活性金属 / レアメタル / 熱プラズマ隠す

スパッタリング・ターゲット用高融点金属の高純度精製
- 研究代表者
  
  三村耕司
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  金属生産工学
- 研究機関
  東北大学
極限高純度めっきプロセスによるＣｕ配線ナノ構造制御と次世代ナノＬＳＩへの展開
- 研究代表者
  
  大貫仁
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  構造・機能材料
- 研究機関
  茨城大学
高誘電率ゲート絶縁膜用ターゲット金属の高純度精製
- 研究代表者
  
  三村耕司
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2009
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  金属生産工学
- 研究機関
  東北大学
超高純度金属の低温酸化とナノ酸化膜のストイキオメトリー制御研究代表者
- 研究代表者
  
  一色実
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  金属生産工学
- 研究機関
  東北大学
耐環境型半導体β-FeSi_2単結晶の成長、評価とストイキオメトリ制御研究代表者
- 研究代表者
  
  一色実
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  金属生産工学
- 研究機関
  東北大学
活性金属の化学マニュピュレーション
- 研究代表者
  
  市川勝
- 研究期間 (年度)
  1997
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  無機工業化学
- 研究機関
  北海道大学
残留抵抗比による高純度金属およびその薄膜の精確な純度評価法の確立
- 研究代表者
  
  三村耕司
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  金属生産工学
- 研究機関
  東北大学
水素プラズマ溶解の不純物除去促進機構の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  一色実
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1998
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  金属生産工学
- 研究機関
  東北大学
プラズマ帯溶融精製法の開発とレアメタル高純度化への応用
- 研究代表者
  
  三村耕司
- 研究期間 (年度)
  1995
- 研究種目
  
  試験研究(B)
- 研究分野
  
  金属生産工学
- 研究機関
  東北大学
MOCVD法によるZnfex Te_<1-X>薄膜単結晶の成長と点欠陥の挙動研究代表者
- 研究代表者
  
  一色実
- 研究期間 (年度)
  1992
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東北大学
改良型電子ビーム浮遊帯域溶融精製法による希土類金属の高純度化
- 研究代表者
  
  三村耕司
- 研究期間 (年度)
  1992 – 1993
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  金属製錬・金属化学
- 研究機関
  東北大学
光MOCVD法によるZnse_xTe_1‐_x薄膜単結晶の成長と点欠陥の挙動研究代表者
- 研究代表者
  
  一色実
- 研究期間 (年度)
  1991
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東北大学
光MOCVD法によるZnSexTe_<1ーx>薄膜単結晶の成長と点欠陥の挙動研究代表者
- 研究代表者
  
  一色実
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東北大学
超高純度単結晶を用いたZnSeの伝導型制御に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  一色実
- 研究期間 (年度)
  1989
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東北大学
超高純度単結晶を用いたZnSeの伝導型制御に関する研究
- 研究代表者
  
  望月勝美
- 研究期間 (年度)
  1988
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東北大学
超高純度単結晶を用いたZmSeの伝導型成業に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  一色実
- 研究期間 (年度)
  1987
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東北大学

すべて 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005 2004

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Development of a Nondestructive Method Utilizing X-ray Diffraction for the Evaluation of Grain Size Distributions of Cu Interconnects2011
- 著者名/発表者名
  T.Inami, J.Onuki, M.Isshiki
- 雑誌名
  
  Electrochemical and Solid-State Letters
  
  巻: 14
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] Development of a Nondestructive Method Utilizing X-ray Diffraction for the Evaluation of Grain Size Distributions of Cu Interconnects2011
- 著者名/発表者名
  T.Inami, J.Onuki, M.Isshiki
- 雑誌名
  
  Electrochemical and Solid-State Letters 14
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] 高純度めっき材料を用いた低抵抗率Cu配線形成プロセスの8インチウエハによる検証2011
- 著者名/発表者名
  田代優, 門田裕行, 伊藤雅彦, 打越雅仁, 三村耕司, 一色実, 大貫仁
- 雑誌名
  
  日本金属学会誌
  
  巻: 75(掲載決定)
- NAID
  10029368773
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] 高純度めっき材料を用いた低抵抗率Cu配線形成プロセスの8インチウエハによる検証2011
- 著者名/発表者名
  田代優, 打越雅仁, 三村耕司, 一色実, 大貫仁
- 雑誌名
  
  本金属学会誌 75掲載決定
- NAID
  10029368773
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] Preparation of high purity metals for advanced devices2011
- 著者名/発表者名
  一色実、三村耕司、打越雅仁
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: Vol.519 号: 24 ページ: 8451-8455
- DOI
  10.1016/j.tsf.2011.05.038
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360311
[雑誌論文] 金属の高純度精製プロセス2011
- 著者名/発表者名
  三村耕司、打越雅仁、一色実
- 雑誌名
  
  金属
  
  巻: 81巻ページ: 941-948
- URL
  http://www.agne.co.jp/kinzoku/
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360311
[雑誌論文] Hydrogen effect on refining of Mo metal by Ar-H_2 plasma arc melting2010
- 著者名/発表者名
  J.W.Lim, K.Mimura, D.Miyawaki J.M.Oh, G.S.Choi, S.B.Kim, M.Uchikoshi, M.Isshiki
- 雑誌名
  
  Materials Letters
  
  巻: 64 ページ: 2290-2292
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360311
[雑誌論文] Purification of CuC12 by anion-exchange separation using multi-column method2010
- 著者名/発表者名
  M.Uchikoshi, Y.Yamada, Y.Baba, J.Onuki, K.Mimura, M.Isshiki
- 雑誌名
  
  High Temperature Materials and Processes
  
  巻: 29 ページ: 469-481
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] Hydrogen effect on refining of Mometal by Ar-H2 plasma arc melting2010
- 著者名/発表者名
  J.W.Lim, 三村耕司 , D.Miyawaki, J.M.Oh, G.S.Choi, S.B.Kim, 打越雅仁、一色実
- 雑誌名
  
  Materials Letters
  
  巻: Vol.64 号: 21 ページ: 2290-2292
- DOI
  10.1016/j.matlet.2010.07.067
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360311
[雑誌論文] Refining effect of hydrogen plasma arc melting on titanium sponges2010
- 著者名/発表者名
  三村耕司, J. W. Lim, J. M. Oh, G. S. Choi, S. W. Cho, 打越雅仁, 一色実
- 雑誌名
  
  Materials Letters Vol. 64
  
  ページ: 411-414
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360339
[雑誌論文] Refining effect of hydrogen plasma arc melting on titanium sponges2010
- 著者名/発表者名
  K.Mimura, J.W. Lim, J.M. Oh, G.S. Choi, S.W. Cho, M.Uchikoshi, M.Isshiki
- 雑誌名
  
  Materials Letters 64
  
  ページ: 411-414
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360339
[雑誌論文] Impurity behavior in Cu refined by Ar plasma-arc zone melting2009
- 著者名/発表者名
  G.M.Lalev, J.-W.Lim, N.R.Munirathnam, G.-S.Choi, M.Uchikoshi, K.Mimura, M.Isshiki
- 雑誌名
  
  Metals and Materials International 15
  
  ページ: 753-757
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] Purification of Cu by hydrogen plasma-arc zone melting and characterization of trace impurities by secondary ion mass spectrometry2009
- 著者名/発表者名
  G.M.Lalev, J.W.Lim, N.R.Munirathnmam, G.S.Choi, M.Uchikoshi, K.Mimura, M.Isshiki
- 雑誌名
  
  Materials Characterization 60
  
  ページ: 60-64
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] Concentration Behavior of Non-Metallic Impurities in Cu Rods Refined by Argon and Hydrogen Plasma-Arc Zone Melting2009
- 著者名/発表者名
  G.M.Lalev, J.-W.Lim, N.R.Munirathnam, G.-S.Choi, M.Uchikoshi, K.Mimura, M.Isshiki
- 雑誌名
  
  Materials Transactions 50
  
  ページ: 618-621
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] Purification of lanthanum and cerium by plasma arczone melting2008
- 著者名/発表者名
  三村耕司、佐藤貴則、一色実
- 雑誌名
  
  Journal of Materials Science 43
  
  ページ: 721-2730
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360339
[雑誌論文] Purification of lanthanum and cerium by plasma arc zone melting2008
- 著者名/発表者名
  三村耕司, 佐藤貴則, 一色実
- 雑誌名
  
  Journal of Materials Science Vol. 43
  
  ページ: 2721-2730
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360339
[雑誌論文] High quality beta-FeSi2 epitaxial film growth on hydrogen terminated Si(111) by Molecular Beam Epitaxy2005
- 著者名/発表者名
  M.Isshiki, et al.
- 雑誌名
  
  Materials Letters (印刷中)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350394
[雑誌論文] Growth of β-FeSi2 single crystals by the chemical vapor transport method2004
- 著者名/発表者名
  M.Isshiki, et al.
- 雑誌名
  
  Phys.stat.sol.(c) 1
  
  ページ: 2495-2499
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350394
[雑誌論文] Production of semiconductor grade high purity iron2004
- 著者名/発表者名
  M.Isshiki, et al.
- 雑誌名
  
  J.Thin Solid Films 461
  
  ページ: 94-99
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350394
[学会発表] 水素プラズマ溶解による金属Moの高純度精製2012
- 著者名/発表者名
  三村耕司、宮脇大、打越雅仁、一色実
- 学会等名
  日本金属学会
- 発表場所
  横浜市
- 年月日
  2012-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360311
[学会発表] 水素プラズマ溶解による金属Moの溶解精製2012
- 著者名/発表者名
  三村耕司、宮脇大、打越雅仁、一色実
- 学会等名
  日本金属学会
- 発表場所
  横浜国立大(横浜市)
- 年月日
  2012-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360311
[学会発表] Hydrogen Plasma Arc Melting and Refining of Refractory Metals2011
- 著者名/発表者名
  K.Mimura, M.Isshiki
- 学会等名
  International Symposium of Materials Integration
- 発表場所
  Sendai, Japan
- 年月日
  2011-12-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360311
[学会発表] Hydrogen plasma arc melting and refining of refractory metals2011
- 著者名/発表者名
  三村耕司、一色実
- 学会等名
  International Symposium ofMaterials Integration
- 発表場所
  東北大学(仙台市)
- 年月日
  2011-12-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22360311
[学会発表] 水素プラズマアーク溶解によるTi及びTi合金の精製2009
- 著者名/発表者名
  三村耕司, J. W. Lim, G. S. Choi, 一色実
- 学会等名
  日本金属学会
- 発表場所
  京都大学(京都市)
- 年月日
  2009-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360339
[学会発表] Refining and Purification of Rare Metals using Plasma Arc Heating2008
- 著者名/発表者名
  三村耕司, 一色実
- 学会等名
  Symposium on the Development and Applications of Rare Metals
- 発表場所
  大田(韓国)
- 年月日
  2008-05-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360339
[学会発表] Refining and Purification of Rare Metals using Plasma Are Heating2008
- 著者名/発表者名
  三村耕司、一色実
- 学会等名
  Symposium on the Development and Applications of Rare Metals
- 発表場所
  Korea, Daejon
- 年月日
  2008-05-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360339
[学会発表] Preparation and Characterization of High Purity Metals2007
- 著者名/発表者名
  M. Isshiki
- 学会等名
  2007 International Symposium on Minerals and Materials Processing
- 発表場所
  Daejeon (Korea)
- 年月日
  2007-04-20
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360366
[学会発表] Preparation and Characterization of High Purity Metals2007
- 著者名/発表者名
  M. Isshiki
- 学会等名
  2007 International Symposium on Minerals and Materials Processing
- 発表場所
  Korea, Daejeon
- 年月日
  2007-04-20
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360366
[学会発表] Plasma arc melting and refining of titanium and hafnium2007
- 著者名/発表者名
  Kouji Mimura J.-W. Lim, G.-S. Choi, Minoru Isshiki
- 学会等名
  International Symposium of Resource Recycling 2007
- 発表場所
  Korea, Jeju
- 年月日
  2007-11-27
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360366
[学会発表] Electrical resistivity of Cu films deposited by ion beam deposition: Effects of grain size, impurities, and morphological defect2006
- 著者名/発表者名
  J.-W. Lim, M. Isshiki
- 学会等名
  Global Convention of Ethnic Korean Scientists and Engineers
- 発表場所
  Seoul (Korea)
- 年月日
  2006-09-18
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360366
[学会発表] Aqueous Purification Processes to Produce Advanced Materials for the Electronic and Semiconductors Industry2005
- 著者名/発表者名
  Minoru Isshiki
- 学会等名
  EUROMAT 2005
- 発表場所
  Czech Republic, Prague
- 年月日
  2005-09-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360366
[学会発表] Aqueous Purification Processes to Produce Advanced Materials for the Electronic and Semiconductors Industry2005
- 著者名/発表者名
  Minoru Isshiki
- 学会等名
  EUROMAT 2005
- 発表場所
  Prague
- 年月日
  2005-09-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17360366

1. 三村耕司 (00091752)

共同の研究課題数: 9件

共同の研究成果数: 22件
2. 石川幸雄 (40250823)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
3. 古川吉孝 (70209170)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
4. 王吉豊 (30271977)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 望月勝美 (30089792)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
6. 大貫仁 (70315612)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 5件
7. 石川信博 (00370312)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 近藤和夫 (50250478)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 稲見隆 (20091853)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
10. 長南安紀 (30363740)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 伊藤真二 (50370317)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
12. 打越雅仁 (60447191)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
13. 太田弘道 (70168946)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 永野隆敏 (70343621)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 木村隆 (70370319)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 篠嶋妥 (80187137)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 青山隆 (80363737)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 田代優 (90272111)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
19. 市川勝 (70176288)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
20. 山中昭司 (90081314)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
21. 北川進 (20140303)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
22. 鈴木寛治 (30106629)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
23. 杉本忠夫 (80235895)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

一色 実 ISSHIKI Minoru

研究課題

研究成果

共同研究者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超高純度金属の低温酸化とナノ酸化膜のストイキオメトリー制御研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

耐環境型半導体β-FeSi_2単結晶の成長、評価とストイキオメトリ制御研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

水素プラズマ溶解の不純物除去促進機構の解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

MOCVD法によるZnfex Te_<1-X>薄膜単結晶の成長と点欠陥の挙動研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

光MOCVD法によるZnse_xTe_1‐_x薄膜単結晶の成長と点欠陥の挙動研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

光MOCVD法によるZnSexTe_<1ーx>薄膜単結晶の成長と点欠陥の挙動研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

超高純度単結晶を用いたZnSeの伝導型制御に関する研究研究代表者

研究代表者

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研究種目

研究機関

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研究種目

一色実 ISSHIKI Minoru

[雑誌論文] 高純度めっき材料を用いた低抵抗率Cu配線形成プロセスの8インチウエハによる検証2011