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石井 成行  ISHI Shigeyuki

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 20222937
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2001年度 – 2002年度: 富山県立大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者以外
プラズマ理工学
キーワード
研究代表者以外
TiO_2 / Si / Fe / ECR / ?-FeSi_2 / ECOLOGICAL MATERIALS / SOLID MATERIAL SOURCE / MULTICHARGED ION / 半導体構成材料 / 環境低負荷 … もっと見る / β-FeSi_2 / 環境低負荷材料 / 固体ソース / 多価イオン 隠す
  • 研究課題

    (1件)
  • 共同研究者

    (1人)
  •  環境低負荷半導体構成材料の多価イオン生成とプロセス応用に関する研究

    • 研究代表者
      加藤 裕史
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      富山県立大学
  • 1.  加藤 裕史 (40224547)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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