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田畑 彰守  Tabata Akimori

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 20227250
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 名古屋大学, 工学研究科, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2007年度 – 2008年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 准教授
1996年度: 名古屋大学, 工学部, 助手
1993年度: 名古屋大学, 工学部, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
電子・電気材料工学 / 電子・電気材料工学
キーワード
研究代表者
アモルファス炭化シリコン / N_2分解 / ドーピング / 炭化シリコン / ナノ結晶 / ラジカル源 / ホットワイヤー化学気相成長法 / アモルファム / 光伝導度 / 変調高周波放電 … もっと見る / プラズマCVD / 光電導度 / ラジカルビーム / キャピラリプレート / プラズマCVD法 隠す
  • 研究課題

    (3件)
  • 研究成果

    (15件)
  •  ラジカル源を併用したHW-CVD技術の開発と不純物転化ナノ結晶薄膜作成への応用研究代表者

    • 研究代表者
      田畑 彰守
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2008
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  変調RFプラズマCVD法によるアモルファス炭化シリコン薄膜の作製研究代表者

    • 研究代表者
      田畑 彰守
    • 研究期間 (年度)
      1996
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  二元系アモルファス半導体薄膜作製のためのラジカルビームCVD装置の開発研究代表者

    • 研究代表者
      田畑 彰守
    • 研究期間 (年度)
      1993
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      名古屋大学

すべて 2009 2008

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Preparation of N-type nanocrystalline 3C-SiC films by hot-wire CVD using N2 as doping gas2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Hoshide, A. Tabata, A. Kitagawa, A. Kondo
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 517

      ページ: 3524-3524

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314
  • [雑誌論文] Preparation of n-type nanocrystalline 3C-SiC films by hot-wire CVD using N_2 as doping gas2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Hoshide, A. Tabata, A. Kitagawa A. Kondo
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (未定印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314
  • [雑誌論文] N_2 decomposition by hot wire and N_2 post-deposition treatment on hydrogenated microcrystalline silicon thin films.2009

    • 著者名/発表者名
      K. Mazaki A. Tabata, A. Kitagawa A. Kondo
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (未定印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314
  • [雑誌論文] H_2 decomposition by hot wire and N_2 post-deposition treatment on hydrogenated microcrystalline silicon thin films2009

    • 著者名/発表者名
      M. Koji, A. Tabata, A. Kitagawa, A. Kondo
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 517

      ページ: 3452-3452

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314
  • [学会発表] ガラス基板上へのn型ナノ結晶3C-SiC薄膜の低温堆積とその高品質化2008

    • 著者名/発表者名
      星出純希, 田畑彰守, 北川明彦, 近藤明弘
    • 学会等名
      SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第17回講演会予稿集
    • 発表場所
      大田区産業プラザ(35-36)
    • 年月日
      2008-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314
  • [学会発表] N_2 decomposition by hot wire and N_2 post-deposition treatment on hydrogenated microcrystalline silicon thin films.2008

    • 著者名/発表者名
      M. Mazaki, A. Tabata. Kitagawa, A. Kondo
    • 学会等名
      5th International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) process
    • 発表場所
      Massachusetts, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314
  • [学会発表] N_2ガスをドーピング原料としたn型ナノ結晶3 C-SiC薄膜の開発2008

    • 著者名/発表者名
      星出純希, 田畑彰守, 北川明彦, 近藤明弘
    • 学会等名
      第5回Cat-CVD研究会講演予稿集、
    • 発表場所
      神奈川工科大学、神奈川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314
  • [学会発表] Improvement of electrical properties of n-type nanocrystalline 3C-SiC thin films prepared by hot-wire CVD at high H_2-dilution2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Hoshide A. Tabata
    • 学会等名
      30th International Symposium on Dry Process
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314
  • [学会発表] N2ガスをドーピング原料としたn型ナノ結晶3C-SiC薄膜の開発2008

    • 著者名/発表者名
      星出純希, 田畑彰守, 北川明彦, 近藤明弘
    • 学会等名
      第5回Cat-CVD研究会講演予稿集
    • 発表場所
      神奈川工科大学メディアホール(33-36)
    • 年月日
      2008-06-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314
  • [学会発表] H_2 decomposition by hot wire and N2 post-deposition treatment on hydrogenated microcrystalline silicon thin films2008

    • 著者名/発表者名
      M. Koji, A. Tabata, A. Kitagawa, A. Kondo
    • 学会等名
      5th International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) process
    • 発表場所
      Massachusetts (USA)
    • 年月日
      2008-08-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314
  • [学会発表] Preparation of n-type nanocrystalline 3C-SiC films by hot-wire CVD usine N_2 as doping gas2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Hoshide, A. Tabata A. Kitagawa, A. Kondo
    • 学会等名
      5th International Conference on Hot-wire CVD (Cat-CVD) process
    • 発表場所
      Massachusetts, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314
  • [学会発表] Preparation of n-type nano- crystalline 3C-SiC films by hot-wire CVD using N2 as doping gas2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Hoshide, A. Tabata, A. Kitagawa, A. Kondo
    • 学会等名
      5th International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) process
    • 発表場所
      Massachusetts (USA)
    • 年月日
      2008-08-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314
  • [学会発表] ホットワイヤーによるN2ガス分解2008

    • 著者名/発表者名
      間崎耕司, 田畑彰守, 北川明彦, 近藤明弘
    • 学会等名
      第5回Cat-CVD研究会講演予稿集
    • 発表場所
      神奈川工科大学メディアホール(33-36)
    • 年月日
      2008-06-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314
  • [学会発表] Improvement of electrical properties of n-type nano- crystalline 3C-SiC thin films prepared by hot-wire CVD at high H2-dilution2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Hoshide, A. Tabata
    • 学会等名
      30th International Symposium on Dry Process
    • 発表場所
      Tokyo (Japan)
    • 年月日
      2008-11-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314
  • [学会発表] ホットワイヤーによるN_2ガス分解2008

    • 著者名/発表者名
      間崎耕司, 田畑彰守, 北川明彦, 近藤明弘
    • 学会等名
      第5回Cat-CVD研究会講演予稿集、
    • 発表場所
      神奈川工科大学、神奈川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560314

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